JP2016014600A - 変位検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1.第1の実施形態:光路長の変化をキャンセルする回折格子を配置した変位検出装置
1−1.構成
1−2.変位検出方法
2.第2の実施形態:光路長の変化及び光源の波長変化をキャンセルする回折格子を配置した変位検出装置
3.第3の実施形態:光路長の変化及び光源の波長変化をキャンセルする回折格子を配置した変位検出装置
3−1.構成
3−2.変位検出方法
4.変位検出装置の利用例
[1−1.構成]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る変位検出装置の概略構成図である。本実施形態の変位検出装置1は、透過型の第1回折格子7を用いて、被測定部材5の高さ方向の変位を検出する装置である。ここで、高さ方向とは、被測定部材の被測定面5aが平面であるとした場合に、その被測定面5aに垂直な方向を指し、図1では、高さ方向をz方向として示す。図1に示すように、変位検出装置1は、光源2と、光束分割部4と、第1回折格子7と、反射部6と、受光部10と、第2回折格子9と、相対位置情報出力部11とを備える。
スレーザ、固体レーザ、発光ダイオード等を用いることができる。
[式1]
d1=nλ/(sin(π/2−θ1)+sin(π/2−θ2))
ここで、nは、正の次数である。
[式2]
π/2−θ+sin−1{λ/d1−sin(π/2−θ)}≒Const
[式3]
2{L(θ3)sinθ3}=D
[式4]
tan(θ3)=D/2a
[式5]
tanθ3={tan(π/2−θ)}/2
ここで、θは第1の光束L1の被測定面5aへの入射角、π/2−θは第1の光束L1の第1回折格子7への入射角、θ3は第1の光束L1の第2回折格子9への入射角である。すなわち、式2で示される条件を満たすように第2回折格子9が配置されたとき、被測定部材5のチルトによる光路長の変位をキャンセルすることができる。
[式6]
d1=λ/(2×sin(π/2−θ))
d2=λ/(2×sinθ3)
[式7]
θ0=π/2−θ−θ3
そして、この式7を式5に代入することで、以下の式8を得ることができる。
[式8]
θ0=π/2−θ−arctan[{tan(π/2−θ)}/2]
次に、図1,図6及び図7を参照して、本実施形態の変位検出装置1を用いた変位検出方法について説明する。
図9は、本発明の第2の実施形態に係る変位検出装置の概略構成図である。本実施形態の変位検出装置20は、第2の光束L2を第1回折格子7で回折させる点と、光源2の近傍に第3回折格子21が設けられる点で、第1の実施形態に係る変位検出装置1と異なる。図9において、図1に対応する部分には同一符号を付し、重複説明を省略する。
[式9]
θ4=π/2−θ−θ3
次に、本発明の第3の実施形態に係る変位検出装置について説明する。図10は、本実施形態の変位検出装置の概略構成図である。本実施形態の変位検出装置30は、第1の光束L1及び第2の光束L2を2回、第1回折格子7に入射させた後に、受光部10に入射させる点で第2の実施形態に係る変位検出装置20と異なる。図10において、図1及び図9に対応する部分には同一符号を付し、重複説明を省略する。
図10に示すように、本実施形態の変位検出装置30では、光束分割部4と被測定部材5との間には、第1の位相板31が配置されており、光束分割部4と反射部22との間には第2の位相板32が配置されている。第1の位相板31と第2の位相板32はそれぞれ1/4波長反等で構成されている。
次に、図10、図6及び図7を参照して、本実施形態の変位検出装置30を用いた変位検出方法について説明する。
次に、上述した第1〜第3の実施形態に係る変位検出装置の利用例について図11及び図12を参照して説明する。図11は、第1の利用例について示す模式図である。図12は、第2の利用例について示す模式図である。なお、図11及び図12に示す利用例における被測定部材5は、例えば、回折格子スケールを用いたものである。
Claims (5)
- 光を出射する光源と、
前記光源から出射された光を、第1の光束及び第2の光束に分割する光束分割部と、
前記光束分割部に分割され、かつ、被測定部材の被測定面によって反射された第1の光束を回折し、回折した前記第1の光束を再び前記被測定部材の被測定面に入射させる透過型の第1回折格子と、
前記光束分割部に分割された第2の光束を反射させる反射部と、
前記第1回折格子で回折された後に前記被測定部材の被測定面に入射され、前記被測定部材の被測定面によって反射された前記第1の光束と、前記反射部で反射された前記第2の光束を結合する光束結合部と、
前記光束結合部によって前記第1の光束と前記第2の光束を結合することによって得られた干渉光を受光する受光部と、
前記第1の光束の、前記被測定部材と前記受光部との間の光路上に配置され、前記第1回折格子で回折された後に前記被測定部材の被測定面に入射され、前記被測定部材の被測定面によって反射された前記第1の光束を回折する透過型の第2回折格子と、
前記受光部により受光した干渉光の強度に基づいて前記被測定部材の被測定面の高さ方向の変位情報を出力する相対位置情報出力部と
を備える変位検出装置。 - 前記第1の光束における前記光束分割部から前記第1回折格子を介して前記光束結合部までの光路長と、前記第2の光束における前記光束分割部から前記反射部を介して前記光束結合部までの光路長は略等しく設定されている
請求項1に記載の変位検出装置。 - 前記第1回折格子の格子ベクトルは、前記被測定部材の被測定面に対して略直角に配置される
請求項1又は2に記載の変位検出装置。 - 前記第1の光束の、前記第1回折格子及び前記第2回折格子への各々の入射角がブラッグ条件を満たし、かつ、前記光束分割部から出射された前記第1の光束が最初に前記被測定部材の被測定面に入射する際の入射角θと前記第1回折格子の格子ベクトルに対する前記第2回折格子の格子ベクトルの角度θ0とが、
θ0=π/2−θ−arctan[{tan(π/2−θ)}/2]
を満たす
請求項2に記載の変位検出装置。 - さらに、前記光源と、前記光束分割部との間の光路上に配置された第3回折格子を備える
請求項1〜4のいずれか一項に記載の変位検出装置。
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