JP2973636B2 - 変位検出装置 - Google Patents

変位検出装置

Info

Publication number
JP2973636B2
JP2973636B2 JP3247712A JP24771291A JP2973636B2 JP 2973636 B2 JP2973636 B2 JP 2973636B2 JP 3247712 A JP3247712 A JP 3247712A JP 24771291 A JP24771291 A JP 24771291A JP 2973636 B2 JP2973636 B2 JP 2973636B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
displacement
scale
servo
measured
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP3247712A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0589480A (ja
Inventor
佳代子 谷口
隆生 湯川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Manufacturing Systems Corp
Original Assignee
Sony Precision Technology Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Precision Technology Inc filed Critical Sony Precision Technology Inc
Priority to JP3247712A priority Critical patent/JP2973636B2/ja
Priority to DE4219311A priority patent/DE4219311C2/de
Priority to US07/898,422 priority patent/US5247165A/en
Publication of JPH0589480A publication Critical patent/JPH0589480A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2973636B2 publication Critical patent/JP2973636B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、非接触センサを用いて
被測定面との間の変位を高精度かつ高速度に検出するよ
うにした変位検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、被測定物の変位または形状を
測定するために、非接触センサを有する変位検出装置が
用いられている。
【0003】このような変位検出装置では、例えば、非
接触センサとして、レーザ光とフォーカスエラー信号と
を発生する検出光学系と対物レンズとを利用し、上記対
物レンズにより上記レーザ光を被測定面に集光させ、そ
の反射光から非点収差法によりフォーカスエラー信号を
得、このフォーカスエラー信号の絶対レベル(例えば、
電圧値)から被測定面の変位を検出するようにしてい
た。
【0004】ところが、このようにフォーカスエラー信
号の絶対レベルにより変位を検出する変位検出装置で
は、フォーカスエラー信号自体のリニアリティが悪いた
め検出精度を高くすることができないという問題があっ
た。
【0005】そこで、変位の検出精度を高めるために、
上記非接触センサの出力が一定値になるようにサーボを
かけ、例えば、上記対物レンズの移動をこの対物レンズ
と一体的に移動するようにされたリニアスケールの目盛
を読み取るように構成することも考えられる。
【0006】このように、サーボをかけ、被測定面の変
位量を検出する変位検出装置としては、上記したような
検出光学系を用いる技術以外に、容量型の非接触センサ
とリニアスケールとを組み合わせたもの、走査型トンネ
ル顕微鏡(STM;Scanningtunneling Microscope)と
光干渉計とを組み合わせたものなどがある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにサーボをかけて検出精度を高めた変位検出装置で
は、サーボをかける都合上、周波数特性が比較的に低
い、例えば、100Hz程度までの振動の変位しか検出
できないという欠点があった。この検出測定の高速性を
上げるためには、上記したように非接触センサにサーボ
をかけないでそのまま出力レベルを計測するようにすれ
ばよいが、そうすると、リニアリティが悪くなってしま
うため検出精度が低くなってしまうという上述の問題が
解消されない。
【0008】また、従来の変位検出装置では、リニアス
ケールの測定軸は対物レンズの光軸に同軸に配置されて
いなかった。本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであり、高精度、かつ高速に被測定面の変位を検出
することを可能とする変位検出装置を提供することを目
的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明変位検出装置は、
例えば、図1に示すように、被測定面6の変位を検出す
る非接触センサ8と、この非接触センサ8と連結部材2
7により一体的に取り付けられたリニアスケール20の
目盛19を読み取る目盛読み取り手段28と、非接触セ
ンサ8と目盛読み取り手段28の出力信号E,Xが供給
される制御回路31とを備え、制御回路31には、非接
触センサ8の出力信号Eが目盛読み取り手段28の出力
信号Xにより校正された校正テーブル35Aが配された
ものである。
【0010】
【作用】本発明変位検出装置によれば、制御回路31
に、非接触センサ8の出力信号Eがリニアスケール20
の目盛19を読み取る目盛読み取り手段28の出力信号
Xにより校正された校正テーブル35Aが配されてい
る。このため、被測定面6の変位を検出する(被測定面
6までの距離を測定する)際に、サーボをかけずに、非
接触センサ8の出力信号Eに対応する校正された出力信
号Yを上記校正テーブル35Aから出力するようにする
ことで、高精度、かつ高速に被測定面6の変位を検出す
ることができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明変位検出装置の一実施例につい
て図面を参照して説明する。
【0012】図1において、1はフォーカスエラーの検
出光学系である。この検出光学系1は、レーザダイオー
ド2を含み、このレーザダイオード2から出射されるレ
ーザ光Lは、ビームスプリッタ3で反射され、ミラー4
によってさらに反射されて焦点距離f1を有する対物レ
ンズ5に入射する。
【0013】図1において、検出光学系1と対物レンズ
5とは非接触センサ8を形成する。なお、非接触センサ
としては、検出光学系1と対物レンズ5の組合せにかぎ
らず、静電容量センサまたはSTM等を使用することも
できる。
【0014】対物レンズ5に入射されたレーザ光Lは対
物レンズ5により被測定面6に集光される。被測定面6
で反射された反射光は、ミラー4で反射された後、ビー
ムスプリッタ3を透過して光検知器である4分割ダイオ
ード7上に再び集光される。
【0015】4分割ダイオード7は、図2に示すよう
に、4分割されたフォトダイオードが配された構成にさ
れており、被測定面6が対物レンズ5の焦点位置f1に
あるときには、図2Aに示すように、集光された光が円
形の光スポット11になる。また、対物レンズ5が被測
定面6に対して争点位置f1より遠ざかると、図2Bに
示すように、横に広がった楕円形の光スポット12にな
り、焦点位置f1より近づくと図2Cに示すように、縦
に広がった楕円形の光スポット13になる。
【0016】したがって、分割された各フォトダイオー
ドの出力信号をA,B,C,Dとするとき、次の数1で
示す出力信号(以下、フォーカスエラー信号という)E
を作成することにより、そのフォーカスエラー信号Eの
特性は、図3に示すようになる。
【0017】
【数1】E=(A+C)−(B+D)
【0018】図3の特性において、原点Oは合焦位置を
示し、対物レンズ5と被測定面6との間の距離をdとす
るとき、原点位置Oにおいて、焦点距離f1と距離dと
が等しくなる。
【0019】このような特性を有するフォーカスエラー
信号Eは制御回路31に供給されるとともに、スイッチ
32の共通接点32aおよび固定接点32bを通じてサ
ーボ制御回路15を構成する比較回路に供給される。ス
イッチ32は1回路2接点のスイッチであり、他に、無
接続の固定接点32cを有している。スイッチ32の制
御端子には、制御回路31からオン・オフの制御信号S
3が供給される。この制御信号S3のレベルにより共通
接点32aが固定接点32b側または固定接点32c側
に切り換えられる。
【0020】サーボ制御回路15は、比較回路とサーボ
アンプとを有している。このうち、サーボアンプに制御
回路31から信号S2が供給される。
【0021】サーボ制御回路15は、スイッチ32が図
示の状態にあり、信号S2が供給されていないとき、す
なわち、入力側にフォーカスエラー信号Eのみが供給さ
れている状態において、フォーカスエラー信号Eがゼロ
値となるような電流信号である駆動信号S1をアクチュ
エータ16に供給するように制御する。アクチュエータ
16は、可動コイル17と永久磁石18と棒状の連結部
材27とを有している。この可動コイル17の一端部は
連結部材27の一端部に固定され、この連結部材27の
他端部には、対物レンズ5が固定されている。
【0022】また、連結部材27の所定位置に目盛19
が付けられたリニアスケール20が固定されている。こ
こで、リニアスケール20の目盛19は、対物レンズ5
の光軸21の延長線22上に合わせて付けられている。
言い換えれば、リニアスケール20が対物レンズ5の光
軸21に対して同軸(インライン)上に配置されている
ことになる。なお、リニアスケール20としては、例え
ば、光の干渉縞を目盛19として記録した光学式スケー
ル(ホログラムスケール)を用いることができる。光学
式スケールに代替して、磁気式スケールまたは容量式ス
ケールを用いてもよい。また、リニアスケール20に
は、目盛19の略中央位置に原点31が形成されている
とよい。
【0023】リニアスケール20の目盛19は、図示し
ないシャーシ等に固定された検出ヘッド25により読み
取られる。なお、検出ヘッド25は、光軸21の延長線
22の方向の上下方向、矢印P,Q方向に移動させるこ
とが可能であり、その移動した地点でシャーシ等に固定
することが可能である。この検出ヘッド25の出力信号
は目盛読み取り信号Xとして信号処理回路26を通じて
制御回路31に供給される。ここで、検出ヘッド25と
信号処理回路26とは目盛読み取り手段28を構成す
る。
【0024】制御回路31は、マイクロコンピュータで
あり、図示しないCPU、ROM、RAM(図中、メモ
リ35として示している)、入出力インタフェースとし
てのA/D変換器、D/A変換器等を有している。メモ
リ35には、校正テーブル35Aが形成されている。こ
校正テーブル35Aの作成方法については、後に詳し
く説明する。サーボが切られているとき、すなわち、ス
イッチ32の共通接点32aが固定接点32c側に接続
されているときに、フォーカスエラー信号Eが制御回路
31に供給されたとき、制御回路31は、校正テーブル
35Aを参照して、フォーカスエラー信号Eに対応する
校正された出力信号(以下、校正データという)Yを出
力する。校正データYは、出力端子36を通じて図示し
ない表示器に供給される。なお、制御回路31からは、
表示器に対応した信号に変換されたメモリ読取り信号X
も出力される。
【0025】また、制御回路31には、発光ダイオード
等の発光素子37が、後に詳しく説明するサーボ引き込
み位置検出ランプとして接続されている。
【0026】上記した検出光学系1は、連結部材27に
取り付けて対物レンズ5と一体的に移動するように構成
してもよく、図示しないシャーシに固定してもよい。
【0027】次に上記実施例の動作について2つのケー
スに分けて説明する。第1のケースは、変位検出時にも
サーボをかけて変位量を検出する場合であり、第2のケ
ースは、予め校正テーブルを作成し、変位検出時にはサ
ーボをかけないでこの校正テーブルを参照して変位量を
検出するようにした本発明の一実施例による場合であ
る。この意味から、第1のケースは本発明の前提となる
技術である。
【0028】1.第1のケース(変位検出時にもサーボ
をかけて変位量を検出する場合)
【0029】図1において、スイッチ32の共通接点3
2aと固定接点32bとが接続された状態、いわゆるサ
ーボ引き込み可能な状態においては、サーボ制御回路1
5は、フォーカスエラー信号Eがゼロ値となるような駆
動信号S1をアクチュエータ16を構成する可動コイル
17に供給する。このため、可動コイル17と連結部材
27を通じて一体的に取り付けられている対物レンズ5
と被測定面6との間の距離dは、常に、対物レンズ5の
焦点距離f1に等しい値となるようにフィードバック制
御がなされる。
【0030】したがって、被測定面6が変位したときに
は、焦点距離f1を保持するように対物レンズ5とリニ
アスケール20とが被測定面6の変位方向と同一方向に
同一距離だけ変位することになるので、この変位量をリ
ニアスケール20の目盛19から検出ヘッド25により
検出することができる。そして、検出ヘッド25の出力
信号に基づき信号処理回路26により被測定面6の変位
量を計算することができる。計算された変位量としての
目盛読み取り信号Xは、制御回路31および出力端子3
6を通じて表示器上に表示される。
【0031】このようにサーボがかかった状態で被測定
面6の変位量を検出した場合には、対物レンズ5と一体
的に移動するようにされたリニアスケール20が対物レ
ンズ5の光軸21と同軸上、いわゆるインライン上に配
置されていることから、アッベ誤差が発生しない。この
ため、リニアスケール20の変位量と対物レンズ5の変
位量とが1:1に対応するので、きわめて高精度に変位
量を検出することができる。しかし、このようにサーボ
がかかった状態における検出可能周波数、言い換えれ
ば、被測定面6の検出可能振動周波数は、直流〜100
Hz程度であり、より高速の振動に対しては、被測定面
6の変位量に対して、リニアスケール20の変位量がサ
ーボ系の周波数特性を原因として小さな値になってしま
い測定誤差が大きくなる。
【0032】この第1のケースから非接触センサ8を形
成する検出光学系1の出力信号であるフォーカスエラー
信号Eのリニアリティが悪い場合でもサーボをかけてリ
ニアスケール20の目盛を読み取るように構成すること
により、高精度に変位量を検出できることが分かる。実
際、リニアスケール20の検出精度は、数nm〜100
数nm程度が得られる。以下に説明するように、本発明
は、この検出精度の良さを利用して構成される。なお、
サーボがかかっている場合における変位量の検出範囲
(測定範囲)は、約10mm程度まで可能である。
【0033】2.第2のケース(予め校正テーブルを作
成し、変位検出時にはサーボをかけないでこの校正テー
ブルを参照して変位量を検出するようにした場合)
【0034】第2のケースにおいて、まず、スイッチ3
2が接続されていないとき、すなわち、スイッチ32の
共通接点32aが固定接点32c側に接続されていてサ
ーボがかかっていない状態においては、つぎの点に留意
する必要がある。図4A(縦軸は変位量であり、横軸は
時間tである)に示すように、被測定面6が矢印P,Q
方向に正弦波状に振動(変位)した場合、被測定面6の
反射率が比較的に大きい場合には、フォーカスエラー信
号Eは、そのピーク値付近がクリッピングされた波形に
なり(図4B参照)、反射率が比較的小さい場合には、
フォーカスエラー信号Eの振幅が小さくなることに留意
する必要がある。なお、いずれの場合にも、サーボがか
かっていないので、フォーカスエラー信号Eは、リニア
リティの悪い波形になっている。
【0035】そこで、この実施例では、測定対象(被測
定面6の反射率)が決定された後に、この測定対象に対
応した、上記フォーカスエラー信号Eのリニアリティの
悪さを校正するための校正テーブル35Aを作成するよ
うにしている。
【0036】図5に示すフローチャートは、この校正テ
ーブル35Aを作成するための手順を示すものである。
【0037】校正テーブル35Aを作成するときには、
基本的にはサーボがかかる状態、すなわちスイッチ32
が図1のような接続状態にある。そこで、まず、メモリ
35のうち、校正テーブル35Aとして確保されている
領域に記憶されている内容を消去する(ステップS10
1)。
【0038】つぎに、制御回路31から所定の出力信号
S2をサーボ制御回路15のサーボアンプに供給するこ
とにより、可動コイル17、したがって、連結部材27
に固定されたリニアスケール20等を矢印P方向の末端
位置(図中、一番上に引き上げられた状態;最引き込み
位置)まで移動させておく(ステップS102)。な
お、出力信号S2のレベルに対して、連結部材27に一
体的に固定されているリニアスケール20は、比例的
(1次関数的)に矢印Pまたは矢印Q方向に移動する。
アクチュエータ16として使用しているボイスコイルモ
ータは、可動コイル17に供給される電流に対して直線
的、いわゆるリニアに移動するモータだからである。
【0039】つぎにリニアスケール20を等速で降下さ
せる信号S2をサーボ制御回路15に供給する(ステッ
プS103)。
【0040】このとき、制御回路31に接続された発光
素子37がサーボ引き込み位置において点灯する。すな
わち、サーボ引き込み範囲W(図3参照)のうち、合焦
位置(原点Oの位置、以下、サーボ引き込み点Oともい
う)においてのみ、発光素子37が点灯するようにして
おくことにより、サーボ引き込み点Oを視認することが
できる。なお、サーボ引き込み点Oにおいて、上記発光
素子37が点灯するようにするためには、制御回路31
によりフォーカスエラー信号Eの微係数変化を検出し
て、サーボ引き込み範囲Wを特定し、そのサーボ引き込
み範囲Wのうち、フォーカスエラー信号Eがゼロ値(実
際には、少し幅をもたせておく)になる点で点灯するよ
うに構成すればよい。
【0041】対物レンズ5の位置がサーボ引き込み範囲
Wに入ったことを検出した時に、制御回路31から出力
される信号S2の値をゼロ値にする(ステップS10
4)。
【0042】次に、図示しないキーボード等を利用して
被測定面6の変位範囲をカバーする検出範囲Dと検出の
分解能Rとを制御回路31に入力する(ステップS10
5)。例えば、検出範囲DをD=±1μmとし、分解能
RをR=0.02μmとする。この検出範囲Dと分解能
Rとから、検出範囲D内のデータ数NがN=100にな
ることが分かる。
【0043】つぎに検出ヘッド25を矢印P,Q方向に
移動し、リニアスケール20の原点31の位置に固定す
る(ステップS106)。原点31の位置は、目盛検出
信号Xにより特定することができる。
【0044】このとき、検出ヘッド25を原点31から
上下方向に移動させることにより、目盛読み取り信号X
により、上記検出範囲Dをカバーできる範囲となってい
るかどうかが分かる(ステップS107)。上記検出範
囲Dをカバーできない範囲外となっているときには、被
測定面6または図1に示す変位検出装置全体をカバーで
きる範囲まで移動させればよい。なお、本実施例によれ
ば、±20μm程度の検出範囲までカバーできる。
【0045】次に、制御信号S3によりスイッチ32の
共通接点32aを固定接点32bから固定接点32c側
に切り換えてサーボ動作を解除する(ステップS10
8)。この時、検出ヘッド25によって読み取られる目
盛読み取り信号Xがリニアスケール20の原点31の位
置を示す値になるような制御信号S2をサーボ制御回路
15に供給しておく。
【0046】この状態から、対物レンズ5が検出範囲D
=±1μmの間、分解能R=0.02μmのステップで
移動するように制御信号S2を変化させるとともに(そ
の際、0.02μmステップの移動は、目盛読み取り信
号Xを読み取ることにより正確に設定することができ
る)、フォーカスエラー信号Eの値をA/D変換してデ
ィジタルデータ(図6A中、電圧−V50ボルトから+
V50ボルトをA/D変換したディジタルデータ)を得
る。さらにそのディジタルデータ(フォーカスエラー信
号Eの電圧値)が得られたときの目盛読み取り信号X
(この目盛読み取り信号Xを校正データYという)を上
記ディジタルデータに対応して記憶しておくことにより
校正テーブル35Aが作成される。
【0047】結局、校正テーブル35Aは、図6Bに示
すように、フォーカスエラー信号Eの電圧値±V1〜V
50に対して精度の比較的に高いリニアスケール20で
校正された変位量(μm)を表す校正データYがプロッ
トされたテーブルになる。
【0048】実際に変位量を検出する際には、サーボを
切り、すなわち、スイッチ32の共通接点32aを固定
接点32c側に接続しておき、フォーカスエラー信号E
の値がゼロV(ボルト)の地点で、連結部材27をシャ
ーシに固定しておく。対物レンズ5も固定されることに
なる。
【0049】このようにした状態において、被測定面6
の振動を原因として発生するフォーカスエラー信号Eの
電圧変化を制御回路31によりリアルタイムにA/D変
換し、このA/D変換したディジタルデータにより校正
テーブル35A(図6B参照)を参照することにより、
精度の高いリニアスケール20によって校正された変位
量をリアルタイムに検出することができる。なお、A/
D変換してから校正テーブル35Aを参照するまでの時
間は100μS程度の時間で可能であるので、本実施例
によれば、被測定面6の振動周波数が10kHz程度ま
での範囲であれば、高精度に被測定面6の変位量を検出
することができる。
【0050】したがって、図1例の変位検出装置によれ
ば、サーボをかけた状態で、変位量±5mmかつ検出可
能周波数100Hz、またサーボをかけない状態で、変
位量±10μmかつ検出可能周波数10kHzまで、い
ずれの状態においても分解能数nm(≒0.005μ
m)の精度で検出することが可能になる。
【0051】なお、本発明は上述の実施例に限らず本発
明の要旨を逸脱することなく種々の構成を採り得ること
はもちろんである。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように、本発明変位検出装
置によれば、制御回路に、非接触センサの出力信号がリ
ニアスケールの目盛を読み取る目盛読み取り手段の出力
信号により校正された校正テーブルが配されている。こ
のため、被測定面の変位を検出(測定)する際に、サー
ボをかけずに、非接触センサの出力信号に対応する校正
された出力信号を上記校正テーブルから出力するように
することで、高精度、かつ高速に被測定面の変位を検出
することができるという効果が得られる。本発明の変位
検出装置によれば、リニアスケールの測定軸は対物レン
ズの光軸に同軸に配置されているため、高精度に被測定
面の変位を検出することができる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による変位検出装置の一実施例の構成を
示す線図である。
【図2】図1例における検出光学系を構成する4分割ダ
イオードの作用説明に供される線図である。
【図3】フォーカスエラー信号の特性図である。
【図4】被測定面の反射率とフォーカスエラー信号の波
形との対応関係の説明に供される線図である。
【図5】校正テーブルを作成する際の説明に供されるフ
ローチャートである。
【図6】Aは、校正テーブルの作成過程の説明に供され
る線図である。 Bは、校正テーブルの例を示す線図である。
【符号の説明】
1 検出光学系 5 対物レンズ 8 非接触センサ 19 目盛 20 リニアスケール 25 検出ヘッド 26 信号処理回路 28 目盛読み取り手段 31 制御回路 35A 校正テーブル E フォーカスエラー信号 X 目盛読み取り信号 Y 校正データ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−42508(JP,A) 特開 平1−217201(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 11/00 - 11/30 102 G01B 21/00 - 21/32

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定面の変位を検出する非接触センサ
    と、該非接触センサと連結部材により一体的に取り付け
    られたリニアスケールの目盛を読み取る目盛読み取り手
    段と、上記非接触センサと上記目盛読み取り手段の出力
    信号が供給される制御回路とを有し、該制御回路には上
    記非接触センサの出力信号が上記目盛読み取り手段の出
    力信号により校正された校正テーブルが配され、上記リ
    ニアスケールは上記非接触センサの測定軸に対して同軸
    的に配置されていることを特徴とする変位検出装置。
JP3247712A 1991-06-13 1991-09-26 変位検出装置 Expired - Fee Related JP2973636B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3247712A JP2973636B2 (ja) 1991-09-26 1991-09-26 変位検出装置
DE4219311A DE4219311C2 (de) 1991-06-13 1992-06-12 Verschiebungsdetektor
US07/898,422 US5247165A (en) 1991-06-13 1992-06-15 Displacement detecting apparatus using graduated linear scale

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3247712A JP2973636B2 (ja) 1991-09-26 1991-09-26 変位検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0589480A JPH0589480A (ja) 1993-04-09
JP2973636B2 true JP2973636B2 (ja) 1999-11-08

Family

ID=17167546

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3247712A Expired - Fee Related JP2973636B2 (ja) 1991-06-13 1991-09-26 変位検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2973636B2 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3772121B2 (ja) 2002-02-28 2006-05-10 ファナック株式会社 エンコーダの信号処理装置
WO2006088137A1 (ja) * 2005-02-18 2006-08-24 Pioneer Corporation 記録媒体、再生装置及び方法、並びにコンピュータプログラム
JP5414197B2 (ja) * 2008-04-16 2014-02-12 株式会社森精機製作所 変位検出装置
JP2009258022A (ja) 2008-04-18 2009-11-05 Sony Corp 変位検出装置
SG173479A1 (en) 2009-02-02 2011-09-29 Mitaka Koki Kk Method for noncontact measurement of surface shape and device thereof
JP5634138B2 (ja) 2010-06-17 2014-12-03 Dmg森精機株式会社 変位検出装置
JP5504068B2 (ja) 2010-06-23 2014-05-28 Dmg森精機株式会社 変位検出装置
JP5905729B2 (ja) 2011-10-26 2016-04-20 Dmg森精機株式会社 変位検出装置
JP5939956B2 (ja) 2012-10-12 2016-06-29 Dmg森精機株式会社 変位検出装置
JP6427399B2 (ja) 2014-04-14 2018-11-21 Dmg森精機株式会社 変位検出装置
JP6322069B2 (ja) 2014-07-02 2018-05-09 Dmg森精機株式会社 変位検出装置
JP6786442B2 (ja) * 2017-05-23 2020-11-18 Dmg森精機株式会社 変位検出装置
US10451401B2 (en) 2017-05-23 2019-10-22 Dmg Mori Co., Ltd. Displacement detecting device with controlled heat generation

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0589480A (ja) 1993-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5247165A (en) Displacement detecting apparatus using graduated linear scale
JP2973636B2 (ja) 変位検出装置
JP3473057B2 (ja) 変位検出装置
US5172002A (en) Optical position sensor for scanning probe microscopes
US5196713A (en) Optical position sensor with corner-cube and servo-feedback for scanning microscopes
JPS63252211A (ja) 表面との間隔を無接触式に測定するための装置
Zhang et al. An autofocusing measurement system with a piezoelectric translator
EP0843175B1 (en) Scanning probe microscope and signal processing apparatus
JPH05157554A (ja) 光学顕微鏡組込型プローブ顕微鏡
JP3256984B2 (ja) 変位検出装置
JP3349779B2 (ja) スキャナシステム及びこれを用いた走査型顕微鏡
EP0647835B1 (en) Displacement detecting system
US4994661A (en) Optical two-dimensional servo-loop for laser beam stabilization and/or position encoding
JP3318795B2 (ja) 変位検出装置
JPH0743144A (ja) 3次元表面形状測定装置
JPH0980059A (ja) スキャナーシステム
JP2004069445A (ja) 走査型プローブ顕微鏡
JPH10246728A (ja) 走査型プローブ顕微鏡における部分測定方法
JPH07174767A (ja) 走査型プローブ顕微鏡
JP3261223B2 (ja) 変位測定装置
KR960007897B1 (ko) 광픽업의 적응적 포커싱장치
JPH074914A (ja) 光学式微小変位、粗さ計
JPH0980060A (ja) 走査型プローブ顕微鏡
JPH06281448A (ja) 光学式変位センサー
JPH0886792A (ja) 走査型プローブ顕微鏡

Legal Events

Date Code Title Description
S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R370 Written measure of declining of transfer procedure

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080903

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080903

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090903

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100903

Year of fee payment: 11

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110903

Year of fee payment: 12

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110903

Year of fee payment: 12

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees