KR20080005447A - 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 및 취출하는 방법 및 장치 - Google Patents

전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 및 취출하는 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 컨테이너로부터 처리 스테이션으로 이동시키는 방법, 전자 부품을 갖는 캐리어를 보관 컨테이너로부터 공급 컨테이너로 이동시키는 방법, 및 전자 부품을 갖는 캐리어를 처리 스테이션에 공급하고 이들을 처리 스테이션으로부터 취출하는 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 컨테이너와 처리 스테이션 사이에서 이동시키기 위한 장치와, 이러한 장치와 전자 부품을 갖는 캐리어를 위한 처리 스테이션과의 조립체에 관한 것이다.
인캡슐레이션, 컨베이어 벨트, 캐리어, 카세트, 조인트 하우징

Description

전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 및 취출하는 방법 및 장치{METHOD AND DEVICE FOR SUPPLYING AND DISCHARGING CARRIERS WITH ELECTRONIC COMPONENTS}
본 발명은 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 컨테이너로부터 처리 스테이션으로 이동시키는 방법, 전자 부품을 갖는 캐리어를 보관 컨테이너로부터 공급 컨테이너로 이동시키는 방법, 및 전자 부품을 갖는 캐리어를 처리 스테이션에 공급하고 이들을 처리 스테이션으로부터 취출하는 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 컨테이너와 처리 스테이션 사이에서 이동시키기 위한 장치와, 이러한 장치와 전자 부품을 갖는 캐리어를 위한 처리 스테이션과의 조립체에 관한 것이다.
전자 부품을 갖는 캐리어, 보다 구체적으로는 반도체 회로가 제공되어 있는 캐리어의 처리에서는 용적이 크고 복잡한 장비가 사용되고 있다. 이러한 캐리어에 대해 가능한 처리로는, 그 중에서도, 접속부(와이어 본딩, 솔더링)를 배치하고, 부품을 인캡슐레이션하고(모듈링), 과잉 재료를 제거하고(디게이팅(degating)), 부품을 검사하는 등의 처리가 있다. 캐리어는 금속층(리드 프레임)으로 구성되거나 또는 더욱 복잡한 층형 구조(보드)를 가질 수 있다. 이러한 캐리어는 일반적으로 캐리어가 서로 접촉하지 않고 적층 상태로 보관될 수 있는 공급 컨테이너(카세트)에 공급 및 취출된다. 캐리어를 언로딩 장치(오프 로더)에 위치시키는 것이 일반적이며, 이 언로딩 장치에서는 캐리어가 공급 컨테이로부터 제거되어, 컨베이어 벨트에 의해 처리 스테이션의 방향으로 후속하여 이동되도록 컨베이어 벨트 상에 위치된다. 캐리어가 처리 스테이션에 도착된 후, 이 캐리어는 동시에 캐리어를 향해 이동된 조작 장치(manipulator)를 이용하여 처리 스테이션에 위치되고, 처리가 수행된 후에 처리 스테이션으로부터 제거된다. 최종적으로, 처리된 캐리어는 통상적으로 언로딩 장치의 반대쪽의 컨베이어 벨트측 상에 배치되는 로딩 장치에 취출되며, 그 캐리어는 컨베이어 벨트로부터 제거되고, 처리된 제품을 위한 공급 컨테이너에 위치된다. 이러한 종래의 공급 및 취출 시스템을 이용하면, 인접 위치된 다수의 처리 스테이션을 작동시키는 것이 가능하며, 그러므로 컨베이어 벨트가 작동을 위한 모든 처리 스테이션을 따라 주행한다. 이러한 종래의 시스템을 이용하면, 캐리어의 공급 및 취출이 신뢰적인 방식으로 수행될 수 있고, 캐리어의 공급 및 취출이 별도의 처리 스테이션으로부터 분리(적어도 실질적으로)될 수 있다.
미국 특허 번호 제6,069,034호에는 재료를 경화시켜 부품이 리드 프레임 상에 고정되도록 하기 위한 자동 기능 장치가 개시되어 있다. 리드 프레임이 적층되어 있는 컨테이너(카세트)는, 수직으로 이동 가능한 리프트 플레이트에 의해, 단속적으로 움직이는 블레이드가 매 회마다 리드 프레임을 카세트로부터 푸시할 수 있는 높이로 배치된다. 카세트로부터 푸시된 리드 프레임은 그 후 여전히 동일한 평면으로 경화 챔버에 이동된다.
본 발명의 목적은 지금까지는 명백하지 않았던 전자 부품을 갖는 캐리어를 위한 처리 스테이션의 평면에서의 로딩 및 언로딩을 종래 기술에 비해 간략화시키고, 이를 위해 요구되는 수단을 제공하는 것이다.
이러한 목적을 위해, 본 발명은 청구항 1 및 청구항 8에 따른 캐리어를 공급 컨테이너로부터 처리 스테이션으로 이동시키는 방법을 제공한다. 제1 평면 및 제2 평면은 서로 평행하며, 옵션에 따라서는 서로 일치할 수도 있다. 따라서, 종래 기술에서와는 상이하게, 전자 부품을 인캡슐레이션할 때에 인캡슐레이션 장치 내로의 캐리어의 "슬라이딩"을 이용할 수 있다. 지금까지, 이것은 그립퍼(gripper)를 이용하여 캐리어를 처리 위치 내의 인캡슐레이션 장치(몰드)에 위치시키는 조작 장치를 이용하여서만 이루어져 왔다. 본 명세서 내의 교시는 그립퍼를 이용하여 캐리어를 정확하게 위치시키고 인캡슐레이션을 가능하게 하는 것을 포함한다. 그러나, 본 발명의 방법을 통해, 캐리어를 인캡슐레이션 장치 내로 슬라이드할 수 있으며, 이로써 캐리어의 공급(마찬가지로 취출 역시)의 현저한 간략화가 가능하게 된다. 모든 조작 수단에 대하여 별도의 캐리어가 단일 평면에서 자유롭게 이동될 수 있도록 하는 것만이 요구되므로, 더욱 신속하고, 더욱 신뢰적이며, 저렴한 비용으로 작업이 수행될 수 있도록 하는 것이 가능하다. 종래 기술에 비해 제한되는 조작 수단의 이동의 자유는, 조작 수단으로 하여금 비교적 간략한 형태를 취하도록 하며, 또한 조작 수단을 높은 속도와 정확도로 작동할 수 있도록 한다. 또 다른 중요한 장점은, 조작 수단의 이동의 자유가 제함됨으로써, 매우 한정된 공간에의 캐리어의 공급을 수행할 수 있게 된다는 점이다. 또한, 처리 단계 B) 및 C) 동안에 캐리어의 이동이 이러한 목적을 위해 제공되는 가이드에 의해 안내되는 것도 가능하다.
캐리어가 처리 단계 B)와 C) 중의 적어도 하나의 처리 단계와 처리 단계 F)와 G) 중의 적어도 하나의 처리 단계 동안 가스 스트림(gas stream)에 의해 지지되는 경우는 더욱 이롭다. 가스 스트림 및 보다 구체적으로는 에어 스트림에 의해 지지되는 캐리어의 장점은, 그에 따라 캐리어의 균일한 가열 또는 냉각이 가능하다는 점이다. 그러므로, 초박막의 캐리어(예컨대, 기판의 형태에서는 0.1∼0.25㎜의 두께를 갖는)가 바람직하지 않은 캐리어의 변형을 초래함이 없이 슬라이드될 수 있다.
또 다른 기능으로서, 전자 부품을 갖는 캐리어가 제1 평면 및 제2 평면에 평행한 평면에서 처리 단계 A)와 C) 사이에서 회전될 수 있으며, 예컨대 캐리어를 예를 들어 180°이상 회전시키는 것이 가능하다. 종래 기술의 인캡슐레이션 장치에서 캐리어의 정확한 위치 결정의 중요한 조건은, 위치 결정 핀이 캐리어에 배치된 개구부에 정확하게 끼워맞춤하는 방식으로 캐리어가 위치되는 위치 결정 핀의 존재에 관련된다. 이러한 방식의 위치 결정은 인캡슐레이션 장치 내로의(또는 외부로의) 슬라이드를 곤란하게 하거나 심지어는 불가능하게 한다. 그러나, 본 발명에 따르면, 전자 부품은 처리 위치에 놓인 캐리어에 대하여 위치 결정 부재를 이동시킴으로써 처리 스테이션에 위치될 수 있다. 이것은, 제2 평면에 관련하여, 이동 가능한 위치 결정 부재가 제2 평면에(또한, 그에 따라 제1 평면에도) 직각을 이루는 이동 부품에 의해 이동 가능하다는 것을 의미한다. 위치 결정 부재(예컨대, 위치 결정 핀)는 예컨대 이동 가능한 상위 몰드부(상단 몰드)에 확고하게 연결되거나, 또는 인캡슐레이션 장치에서 이동 가능하게 될 수 있다.
이러한 목적을 위해 적용되어야 하는 그립퍼(원하지 않는) 없이도 레벨의 차이를 보상하기 위해 제1 평면과 제2 평면 사이에서 중개 위치(intermediate position)가 전환될 수 있다(예컨대, 수직으로). 수직으로 이동 가능한 간편한 테이블은 이러한 목적에 충분하다. 제1 평면과 제2 평면이 일치하면, 이러한 추가의 가능은 당연히 불필요하다.
전자 부품을 갖는 캐리어의 공급 컨테이너와 캐리어의 처리 위치 사이에서의 이동 시에, 캐리어는 또한 중간 처리 스테이션을 통과할 수 있으며, 이것은 이전의 절에서 설명된 이동 가능 테이블과 옵션으로 조합될 수 있다.
특히, 청구항 8에 한정된 방법으로부터, 공급 컨테이너로부터 처리 스테이션으로의 이송 경로가 종래 기술에 비해 매우 간단하며, 위치 결정의 복잡도가 공급 컨테이너의 위치 결정에서의 이전의 경로에서보다 다소 존재한다는 것이 명백하다. 그 이점은, 캐리어(상처입기 쉬운)가 대체로 보호된 상태로(즉, 공급 컨테이너에 보관된 상태로) 취급되어, 이송 동작 동안 또는 이송 동작의 결과로서 캐리어가 손상을 입게 되는 경우가 감소된다는 점이다. 또 다른 장점은 이송 동작이 서브-프로세스들로 분할되며, 이들 서브-프로세스들은 각각 종래 기술에 따른 일체화된 캐리어 조작보다 더욱 간편하다. 이들 별도의 서브-프로세스는 비교적 용이하게 기계화되고 자동화될 수 있다. 또한, 복수의 캐리어를 갖는 공급 컨테이너가 언로드될 수 있으며, 이로써 공급 컨테이너로부터 연속하여 이동될 2개의 캐리어 간의 매우 짧고 매우 간단한(일반적으로 직선의) 이송 경로를 주행해야 한다. 이것은, 이전의 절에서 이미 언급한 장점 외에, 연속적으로 공급된 2개의 캐리어 간의 짧은 최소 사이클 시간을 발생한다.
공급 컨테이너로부터 빠져나오는(적어도 부분적으로) 캐리어를 전진시키기 위해, 전자 부품을 갖는 캐리어가 처리 단계 G) 동안 적어도 한 쌍의 피동 롤러(driven roller)를 통해 중개 위치로부터 처리 위치로 이동될 수 있다. 또한, 캐리어는 공급 컨테이너와 처리 위치 사이에서의 캐리어의 이동 시에 중간 스테이션을 통과하는 것도 가능하다. 이러한 처리 스테이션은 예컨대 캐리어의 가열(사전 가열)을 실현할 수 있으며, 이로써 캐리어는 사전 가열된 상태로 예컨대 인캡슐레이션 장치에 위치된다.
또한, 본 발명은, 전자 부품을 갖는 처리된 후의 캐리어를 처리 스테이션으로부터 공급 컨테이너로 이동시키는 청구항 14 및 청구항 20에 따른 복수의 방법을 제공한다. 바람직한 실시예에서, 전자 부품을 갖는 캐리어는 처리 위치에 위치된 캐리어에 대하여 위치 결정 수단을 이동시킴으로써 처리 스테이션에 인출된다. 처리할 캐리어의 인캡슐레이션 장치에의 공급에 기초하여 전술한 바 있는 장점들은 처리된 후의 캐리어를 인캡슐레이션 장치로부터 제거할 때에도 실현될 수 있다. 취출(discharge) 시에, 전자 부품을 갖는 처리된 후의 캐리어는 제1 평면 및 제2 평면에 평행한 평면에서 처리 단계 K)와 M) 사이에서 회전되는 것이 가능하다. 처리 단계 K)와 M) 동안의 캐리어의 이동은 이러한 목적을 위해 제공되는 가이드에 의해 안내될 수 있으며, 이 가이드는 캐리어의 공급을 위해서도 이용될 수 있다. 캐리어의 공급 시에 가이드를 이용하는 것이 가능한 것처럼, 중개 위치 또한 취출 시에 제1 평면과 제2 평면 사이에서 전환될 수도 있다. 캐리어의 슬라이딩은 일반적으로 수평 평면에서 이루어진다. 그러므로, 취출 조작 수단만이 이동에 대해 제한된 자유를 제공하여야 한다. 그에 대한 전술한 장점은 종래 기술에 비해 조작 수단의 이동이 상대적으로 제한된 자유를 갖는다는 것이며, 이에 의해 간편한 형태를 취할 수 있고, 커다란 정확도로 기능할 수 있게 된다. 또 다른 추가의 장점은 처리된 캐리어가 필요에 따라 그 취출 동안에 매우 한정된 공간에서 회전될 수 있다는 점이다. 처리 단계 P) 및 Q) 동안의 캐리어의 이동은 일직선으로 이루어질 수 있다. 처리 단계 K)와 M) 중의 적어도 하나의 처리 단계와 처리 단계 P)와 Q)의 적어도 하나의 처리 단계 동안, 가스 스트림에 의해 지지되는 캐리어의 장점은, 캐리어의 공급 동안 가스 스트림에 의해 지지되는 캐리어의 전술한 장점에 대응한다.
처리 스테이션에의 캐리어의 공급에 대한 전술한 장점에 의하면, 이들 장점은 또한 처리된 캐리어를 처리 스테이션으로부터 취출할 때에도 실현될 수 있다. 공급 컨테이너는 하나의 캐리어 위에 다른 캐리어가 위치되는 전자 부품을 갖는 다수의 캐리어를 수용하도록 구성되며, 이로써 처리 단계 N) 내지 Q)를 수행한 후에, 처리 단계 O) 내지 Q) 중 적어도 하나의 처리 단계가 연속적으로 공급되는 전자 부품을 갖는 캐리어에 대해 수행될 수 있다. 다시, 적어도 한 쌍의 피동 롤러를 통해 캐리어를 연속적으로 이동시키는 것이 가능하다. 이동 시, 캐리어는 예컨대 처리된 캐리어의 클램핑을 위해 및/또는 인캡슐레이션 재료가 제공된 캐리어의 제어된 경화를 위해 중간 스테이션을 통과할 수 있다. 그러므로, 캐리어의 바람직하지 않은 변형 및/또는 캐리어 내의 바람직하지 않은 응력의 형성이 방지될 수 있다.
또한, 본 발명은, 청구항 26에 따른 캐리어를 처리 스테이션에 연속적으로 공급하고, 그 후 처리 스테이션으로부터 취출하는 조합된 방법에 관한 것으로, 본 방법에서는, 제1 평면과 제2 평면이 예컨대 서로 일치할 수 있다. 처리할 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급하는 공급 컨테이너는 캐리어를 처리 스테이션에 공급한 후에 처리 스테이션의 중개 위치로부터 제거될 수 있으며, 전자 부품을 갖는 처리된 후의 캐리어가 취입되는 공급 컨테이너가 후속하여 처리 스테이션의 취출 위치에 인접하게 배치된다. 통상적으로 동일한 공급 컨테이너인 이들 2개의 상이한 공급 컨테이너는 조인트 지지 구조를 통해 배치될 수 있다. 또한, 복수의 처리 스테이션이 단일 구성으로 제공되고 언로딩될 수 있는 것도 가능하다.
또한, 본 발명은 청구항 31에 따른 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 컨테이너와 처리 스테이션 사이에서 이동시키기 위한 장치를 제공한다. 단속(斷續)적인 이동 패턴에 의해, 예컨대 수직으로(직선으로) 이동 가능한 지지 구조부와 같은 이러한 이동 가능한 지지 구조부는, 항상 교번적으로, 다른 공급 컨테이너를 처리 스테이션의 적어도 하나의 높이에서 연결하도록 할 수 있다. 이러한 장치는 본 발명에 따른 방법을 참조하여 전술한 장점, 즉 구조적인 간략화, 빠른 이동 속도, 비교적 제한된 투자로 얻어지는 높은 위치 정확도, 및 장치의 컴팩트한 구성이 가능하다는 장점을 갖는다. 본 발명의 장치는 이동 가능한 지지 구조부와 인캡슐레이션 스테이션 사이에서 평행하게 연장하는 가이드가 설치되는 것이 바람직하다. 장점을 갖는 실시예의 변형예에서는, 캐리어를 지지하기 위한 가스 스트림을 발생하기 위해 가스 공급 수단이 제공된다. 이들 수단은 예컨대 가이드 아래에 배치된 송풍 노즐(blow nozzle)을 포함할 수 있다.
인캡슐레이션 스테이션은 캐리어의 처리 위치에 대하여 인캡슐레이션 장치에서 이동 가능한 위치 결정 수단이 설치되어, 슬라이딩을 통한 캐리어의 공급 및 취출이 가능하게 되고, 캐리어의 높은 위치 정확도가 여전히 얻어질 수 있도록 할 수 있다. 보다 구체적으로, 위치 결정 부재는 제1 평면에 수직을 이루는 이동 부품으로 평면에 대해 이동 가능하게 된다. 위치 결정 부재는 예컨대 위치 결정 핀을 포함하거나, 또는 이동 가능한 상단 몰드의 일부(상위측 몰드부)를 형성할 수 있다.
또 다른 바람직한 실시예에서, 인캡슐레이션 장치는 적어도 부분적으로 인캡슐레이션되는 캐리어의 면에 맞물리는 가이드가 제공되며, 이 가이드는 인캡슐레이션 재료를 안내하도록 구성된다. 이러한 가이드는, 전문 용어로는 탑 게이팅(top gating)으로도 지칭되는, 인캡슐레이션이 이루어져야만 하는 면에 대해 제조될 인캡슐레이션의 공급부(a feed of an encapsulation)와 일체화될 수 있다. 캐리어의 에지는 가이드에 의해 인캡슐레이션 재료에 의한 오염이 방지되며, 또한 소위 이송 몰딩 장치(transfer moulding apparatus) 등의 인캡슐레이션 스테이션 내로의 캐리어의 슬라이딩과 인캡슐레이션 스테이션 외부로의 캐리어의 슬라이딩을 가능하게 할 수 있다.
이동 가능한 지지 구조부는 적어도 2개의 레벨, 예컨대 처리할 전자 부품을 갖는 캐리어를 수용하기 위한 제1 레벨과, 전자 부품을 갖는 처리된 후의 캐리어를 수용하기 위한 제2 레벨로 공급 컨테이너를 지지할 수 있다. 그러므로, 적층된 상황에서는, 복수의 레벨이 이용 가능하며, 컨테이너가 그 레벨로 지지될 수 있다. 따라서, 이동 가능한 지지 구조부의 처리 용량이 간편한 방법으로 증가될 수 있다. 예컨대, 오염의 가능성이 감소됨에 따라 중단의 가능성 또한 감소될 수 있다.
특정 실시예의 변형예에서는, 복수의 처리 스테이션이 본 발명에 따른 장치의 1개를 이용하여 직선으로 로드되고 또한 언로드될 수 있도록, 본 발명의 장치가 복수의 처리 스테이션을 따라 이동(직선 이동)하는 것도 가능하다. 수직으로 이동 가능한 지지 구조부와, 복수의 처리 스테이션을 따라 이동 가능한 장치의 조합은, 이로운 변형 실시예를 형성한다. 하나의 장치로 캐리어의 공급 및 취출 양쪽을 제공하기 위해서는, 이동 가능한 지지 구조부가 적어도 2개의 공급 컨테이너, 즉 처리할 전자 부품을 갖는 캐리어를 수용하기 위한 제1 공급 컨테이너와, 전자 부품을 갖는 처리된 후의 캐리어를 수용하기 위한 제2 공급 컨테이너를 지지하도록 구성되는 것이 이롭다.
조작 장치가 가열 가능한 경우에는, 트리트먼트 처리(treatment process)(구체적으로는, 인캡슐레이션)에서 향상된 품질을 달성하기 위해 공급 동안 이동될 제품을 상태조절(가열)하는 것이 가능하게 된다. 처리된 제품의 취출 시에, 처리 후의 캐리어의 온도를 점차적으로 감소시키거나, 또는 처리 후의 캐리어를 소정 온도 이상으로 유지하는 것이 이로울 수도 있다. 이것은 최종 제품의 품질을 추가로 향상시키도록 작용한다. 본 발명에 따른 다른 방법이, 처리될 캐리어의 공급 및 처리된 캐리어의 취출에서 캐리어의 사전 가열 및/또는 사후 가열에 추가로 적용될 수 있어 이롭다는 것에 유의하여야 한다.
변형 실시예에서, 이동 가능한 지지 구조부는 공급 컨테이너를 이동시키기 위한 적어도 하나의 피동 무한 컨베이어가 설치될 수 있다. 직선으로 이동 가능한 조작 장치는, 매우 간단한 형태를 취할 수 있고, 양호한 기능을 위해 조작 장치가 제품 관련 구성을 가질 필요가 없다는 장점을 가지며, 간편하고 보편적인 푸셔가 캐리어의 특정 형태 및 치수에 무관하게 푸싱될 수 있다. 또 다른 중요한 장점은, 본 발명에 따른 장치가 전자 부품의 캐리어에 대한 종래의 공급 및 취출 수단에 비해 현저한 공간 절감의 결과를 갖는다는 점이다. 복수의 인접한 처리 스테이션의 구성에서, 지금까지는, 로딩 스테이션과 언로딩 스테이션을 처리 스테이션의 행의 반대측 상에 배치하고, 이들 2개의 스테이션을 처리 스테이션을 따라 안내하는 가이드에 연결하는 것이 일반적이며, 이것은 캐리어의 공급 및 취출을 위해 처리 스테이션의 행의 3개의 측면에 공간이 소요된다는 것을 의미한다. 본 발명에 의하면, 처리 스테이션의 행의 측면 중 하나의 측면에 하나의 점유 공간만을 유지한다. 이것은 전자 부품을 위한 처리 장치에 의해 점유되는 공간의 현저한 절감을 발생시킨다. 그러나, 이러한 공간 절감의 장점은 트리트먼트 처리가 특수하게 조절된 환경(예컨대, 클린룸 환경)에서 이루어져야만 하는 조건에서는 특히 더 크게 된다.
보관 용량을 증가시키기 위해서는, 하나 이상의 공급 컨테이너의 공급을 유지하기 위한 하나 이상의 버퍼링 위치가 장치에 제공되는 것이 이로우며, 이 버퍼링 위치는 공급 컨테이너를 교환하기 위해 지지 구조부에 연결될 수 있다. 이러한 장치에서 비어있는 상태 또는 채워져 있는 상태의 공급 컨테이너(캐리어의 공급 또는 캐리어의 취출의 경우에서)는 채워져 있는 상태 또는 비어있는 상태의 공급 컨테이너로 대체될 수 있다.
다른 변형 실시예에서, 본 발명의 장치는, 처리할 전자 부품을 갖는 캐리어를 위한 적어도 하나의 공급 컨테이너와 전자 부품을 갖는 처리된 후의 캐리어를 위한 적어도 하나의 공급 컨테이너를 적층된 형태로 유지하는 수직 이동 수단이 설치된다. 그러므로, 캐리어의 공급 및 취출 모두가 장치 내의 동일 위치에서 이루어질 수 있다. 이로써, 장치를 더 소형화할 수 있으며, 제조 비용을 감소시킬 수 있게 된다. 적층된 공급 컨테이너를 채워지거나 비어있는 상태로 하기 위한 수직 이동 수단을 갖는 이러한 변형예는, 본 명세서에 설명한 모든 장치와 조합하여 적용될 수 있으며, 본 발명은, 캐리어의 공급 및 취출이 동일한 지점에서 이루어지도록 하기 위해, 하나 위에 다른 하나가 위치된 복수의 공급 컨테이너를 수직으로 이동시키는 방법을 포함한다.
또한, 본 발명은 인캡슐레이션 스테이션과 청구항 36에 따른 전술한 바와 같은 장치의 조립체를 제공한다. 이러한 조립체는 복수의 서브스테이션을 포함하며, 그 예가 가열(사전 가열) 스테이션이다. 서브스테이션에 대한 또 다른 가능성은, 처리 스테이션에서 캐리어가 거치게 되는 처리로 인한 캐리어의 변형을 제한하는 장치에 관련된다. 처리 스테이션과 공급 컨테이너 사이의 중개 위치는, 서로 평행한 제1 평면 및 제2 평면에 이동 부품이 직각을 이루도록 하는 방향으로 직선으로 이동 가능한 지지체에 의해 결정될 수 있다. 전술한 바와 같이, 지지체는 또한 하나 위에 다른 하나가 위치되는 다수의 평행 지지 위치를 가질 수도 있다.
도 1은 본 발명에 따른 장치와 인캡슐레이션 스테이션의 조립체의 실시예에 대한 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 전자 부품을 갖는 캐리어의 공급 및 취출을 위한 장치의 정면도이다.
도 3은 다수의 처리 스테이션과 캐리어의 공급 및 취출을 위한 장치의 조립체의 개략 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 전자 부품을 갖는 캐리어의 공급 및 취출을 위한 장치와, 약간의 상호 접속하는 서브스테이션으로 이루어진 처리 스테이션에 대한 측면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 전자 부품을 갖는 캐리어의 공급 및 취출을 위한 장치의 다른 실시예의 측면도이다.
도 6A는 본 발명에 따른 전자 부품을 갖는 캐리어의 공급 및 취출을 위한 장치의 다른 실시예의 평면도이며, 도 6B와 도 6C는 도 6A에 도시된 바와 같이 전자 부품을 갖는 캐리어의 공급 및 취출을 위한 장치의 일부분에 대한 개략 측면도와 개략 정면도이며, 도 6D는 본 발명에 따른 전자 부품을 갖는 캐리어의 공급 및 취출을 위한 장치의 후속의 다른 실시예의 평면도이다.
이하에서는 첨부 도면에 도시된 비제한적인 예시 실시예에 기초하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.
도 1은 조인트 하우징(104)에 조립되어 있는 3개의 인캡슐레이션 스테이 션(101, 102, 103)의 조립체(100)의 사시도이다. 이 하우징(104)은 처리할 캐리어를 갖는 도면에 도시되어 있지 않은 카세트를 위한 공급 스테이션(105)이 설치되어 있다. 공급 스테이션은 이러한 목적을 위해 리프트 시스템이 설치되며, 이에 따라, 하나 위에 다른 하나가 위치되는 2개의 레벨로 설치된 무한 컨베이어 벨트(106, 107)에 의해 공급된 카세트가 요구된 높이에 도달할 수 있다. 공급 스테이션(105)이 카세트를 요구된 높이로 한 후, 캐리어는 카세트(제1 평면)에서 벗어나, 이러한 목적을 위해 공급 스테이션(105)에 이동된 전환 테이블(translatable table)(108) 상으로 슬라이드될 수 있다. 전환 테이블(108)은 캐리어가 그 위로 슬라이드될 수 있는 2개의 지지 레벨(109, 110)을 갖는다. 전환 테이블(108)은 인캡슐레이션 스테이션(101, 102, 103) 중 하나의 스테이션에 이동되어, 처리된 캐리어(인캡슐레이션 재료가 제공된)를 비어있는 지지 레벨(109 또는 110) 상에 수용하거나, 또는 탑재되어 있는 캐리어를 인캡슐레이션 스테이션(101, 102, 103) 중의 하나에 공급한다. 이러한 목적을 위해, 전환 테이블(108)에는 리프트 장치가 설치되어 있으며, 이에 의해 전환 테이블(108)이 수직으로 이동할 수 있다. 인캡슐레이션 스테이션(101, 102, 103)은, 캐리어가 전환 테이블(108)의 수평 평면에서 슬라이드인(sliding in) 또는 슬라이드아웃(sliding out)될 수 있도록 구성된다. 인캡슐레이션 스테이션(101, 102, 103)의 로딩 및 언로딩 동안에는 수직 이동이 이루어지지 않는다. 그리고, 처리된 캐리어가 카세트에서 빠져나와 전환 테이블(108) 상으로 슬라이드하고, 또한 전환 테이블(108)에서 빠져나와 카세트 내로 슬라이드할 때에는, 캐리어의 수직 이동 역시 이루어지지 않는다. 그러나, 이것은 인캡슐 레이션 스테이션(101, 102, 103)의 로딩 및 언로딩이 캐리어의 수평 이동만으로 실현될 수 있는 것보다 혁신적이지 못하다. 전환 테이블(108)은 또한 지지 레벨(109, 110) 중의 하나에 뒤틀림 방지 유닛 또는 예컨대 열처리 스테이션 등의 임의의 다른 유닛이 제공되는 방식으로 구현될 수 있다. 또한, 전환 테이블(108)은 수직축을 중심으로 회전 가능한 형태를 취할 수도 있다.
도 2는 처리할 다수의 캐리어(2)를 갖는 카세트(1)와 처리된 캐리어를 수용하기 위한 목적의 카세트(3)를 도시하고 있다. 카세트(1, 3)는 클램핑 장치(4)를 통해 지지 구조부(5)에 의해 고정되어 유지된다. 지지 구조부(5)는 모터(7)에 의해 구동되는 무한 컨베이어 벨트(6)를 작동함으로써 수직으로 이동할 수 있다(화살표 P1을 참조). 지지 구조부(5)를 이동시킴으로써, 카세트(1)는 캐리어(2)가 정확한 높이에서 슬라이드아웃될 수 있는 위치에 위치될 수 있고, 카세트(3)는 처리된 캐리어가 슬라이드인될 수 있는 위치에 위치될 수 있다. 지지 구조부(5), 컨베이어 벨트(6) 및 모터(7)는 프레임(8)에 연결되며, 이 프레임(8)은 모터(10)를 작동함으로써 제2 컨베이어 벨트(9)에 의해 수평 방향(화살표 P2를 참조)으로 이동될 수 있다. 프레임(8)을 이동시킴으로써, 지지 구조부(5)를 도 2에는 도시되어 있지 않은 복수의 인접 위치된 처리 스테이션에 연결할 수 있다.
도 3은 컨베이어 벨트(21)가 인접하여 배치되어 있는 3개의 처리 스테이션(20)의 평면도를 도시하고 있다. 컨베이어 벨트(21)는 모터(22)에 의해 구동된다(도 2의 제2 컨베이어 벨트(9) 및 모터(10)와 마찬가지로). 컨베이어 벨트(21)를 이동시킴으로써, 컨베이어 벨트(21) 상에 위치된 프레임(23)이 동시에 이동된 다. 프레임(23)에는 카세트가 탑재되며, 도면에는 상위측 카세트(24)만이 나타내어져 있다. 캐리어를 카세트(24)의 외부로 푸시하기 위해, 프레임에는 일직선의 왕복 방식으로 이동할 수 있는 푸셔(pusher)(25)가 제공된다. 푸셔(25)에 도시되지 않은 그립퍼(gripper)가 제공되면, 처리된 캐리어를 푸셔(25)를 이용하여 처리 스테이션(20)으로부터 카세트(24)로 이동시키는 것이 가능하다.
도 4는 본 발명에 따른 전자 부품(32)을 갖는 캐리어의 공급 및 취출을 위한 장치(30)를 도시하는 도면이며, 여기에서 처리 스테이션(31)은 서로 연결되어 있는 약간의 서브스테이션(33, 34)으로 이루어져 있다. 캐리어 공급 및 취출 장치(30)는, 도 2를 참조하여 설명된 바와 같은 메카니즘을 이용하여, 이러한 목적을 위해 캐리어(32)가 처리 스테이션(31)의 케이스 내의 통로 개구부(36)의 높이에 위치되는 높이(화살표 P3를 참조)로 되는 상위측 카세트(35)로부터 캐리어(32)를 공급한다. 그리고나서, 전기 모터(39)에 연결되는 회전자 암(38)에 의해 구동되는 푸셔(37)는 캐리어(32)를 카세트(35)의 외부로 푸시한다(화살표 P4를 참조). 캐리어는 처리 스테이션(31)의 일부를 형성하는 한 쌍의 롤러(40)에 의해 맞물리게 될 것이다. 전기 모터(41)에 의해 구동된 한 쌍의 롤러(40)는 캐리어(32)를 가열 플레이트(42)에 운반하여 캐리어(32)를 사전 가열시킨다. 캐리어(32)는 사전 가열된 후에 이송 몰드(transfer mold)(34)를 향해 전진하게 되며, 이송 몰드에서는 캐리어(32) 상에 위치된 전자 부품이 에폭시 수지 하우징(43)으로 인캡슐레이션된다. 가열 플레이트(42)를 이송 몰드(34)에 이송하기 위해, 필요에 따라 이송 수단(도시되지 않음)이 사용될 수 있다. 인캡슐레이션 공정을 완료한 후, 제2 푸셔(44)는 인캡슐레이션 재료(43)가 제공되어 있는 캐리어를 다시 제1 서브스테이션(33)에 운반한다. 도 4에서의 제1 서브스테이션(33)은 수직으로 이동(화살표 P5를 참조) 가능한 방식으로 복수 개의 형태를 취한다. 에폭시 수지 하우징(43)을 갖는 이러한 캐리어는 약간의 시간 동안 하위부의 서브스테이션(33)에서 클램프되어, 에폭시 수지 하우징(43)을 갖는 캐리어의 변형(뒤틀림)이 방지된다. 에폭시 수지 하우징(43)을 갖는 캐리어가 충분히 긴 시간 동안 서브스테이션(33)에 잔류된 후, 에폭시 수지 하우징(43)을 갖는 캐리어가 예컨대 한 쌍의 롤러(40)를 통해 카세트(45)에 취출될 수 있으며, 카세트(45)는 이러한 목적을 위해 당연히 먼저 처리 스테이션(31)의 통로 개구부(36)에 연결되는 높이로 위치된다.
도 5는 카세트(52, 53)를 위한 고정형의 리프트 시스템(51)을 갖는 장치(50)를 도시하고 있으며, 리프트 시스템(51)은 버퍼 시스템(54)에 연결되고, 이로써 비어있는 상태의 카세트(55) 또는 아직 처리되어야 하는 캐리어(57)를 갖는 카세트(56)가 리프트 시스템(51)에 공급될 수 있다(각각 화살표 P6 및 P7을 참조). 리프트 시스템(51)을 이용하여, 비어있는 상태의 카세트(58) 또는 처리된 캐리어(60)를 갖는 카세트(59)를 리프트 시스템(51)으로부터 취출할 수도 있다(각각 화살표 P8 및 P9를 참조). 고정형의 리프트 시스템(51)에 대해서는, 인캡슐레이션 재료(64)가 제공된 캐리어의 변형을 방지하기 위해 사전가열 플레이트(62) 및 압착 구성부(63)가 설치되어 있는 이동 가능 서브스테이션(61)(화살표 P10를 참조)이 연결된다. 이동 가능한 서브스테이션(61)은 처리할 캐리어(65)를 도 5에 구체적으로 도시되지 않은 처리 스테이션에 운반할 수 있으며, 인캡슐레이션 재료(64)가 제공 된 캐리어를 각각 이동시킬 수 있고, 이 캐리어를 다시 고정형의 리프트 시스템(51)에 운반할 수 있다.
도 6A는 전자 부품(75)을 갖는 캐리어(74)가 공급 컨테이너(73)로부터 공급될 수 있는 2개의 처리 스테이션(71, 72)을 갖는 장치(70)를 도시하고 있다. 이를 위해, 공급 컨테이너(73)는, 처리 스테이션(71, 72)에서 처리가 이루어지는 레벨로 캐리어(74)가 위치되도록 하는 높이로 리프트 장치(76)에 의해 위치된다. 화살표 Z1을 따른 수평 평면에서 조작 장치(77)를 이동시킴으로써, 캐리어(74)는 공급 컨테이너(73)에 인접한 위치와 처리 스테이션(71, 72) 사이에서 이동할 수 있다. 선형 이동기(78)(푸셔 및/또는 풀러)에 의해, 캐리어(74)는 처리 스테이션(71, 72) 및 공급 컨테이너(73) 내로 푸시될 수 있고, 처리 스테이션(71, 72) 및 공급 컨테이너(73)의 외부로 인출될 수 있다. 후자의 기능을 위해, 처리 스테이션(71, 72) 및 공급 컨테이너(73)의 외부로 캐리어(74)를 인출하는 것은, 이러한 목적을 위해 처리 스테이션(71, 72) 및 공급 컨테이너(73)의 뒤쪽에 위치될 수 있는 상이한 푸셔(도시하지 않음)를 적용하는 것도 옵션으로 가능하다.
도 6B는 4개의 공급 컨테이너(73) 외에 프레임(79)이 도시되어 있는 장치(70)의 측면도이다. 공급 컨테이너(73)는 리프트 시스템의 일부를 형성하는 4개의 플로어(80)에 의해 지지된다. 플로어(80)의 높이를 변화시킴으로써, 캐리어가 공급 컨테이너(73)로부터 제거되도록 하거나, 또는 처리된 캐리어를 수용하기 위한 공급 컨테이너(73)의 개방 위치가 개략적으로 도시된 컨베이어(81)의 작업 높이로 되도록 할 수 있으며, 이로써 Z1 방향(도 6A를 참조)으로의 이송이 실현될 수 있 다. 도 6C는 공급 컨테이너(73)가 위치되는 플로어(80)를 갖는 리프트 장치의 개략 정면도이다. 이 경우에서의 공급 컨테이너(73)는 2개의 캐리어를 동일한 레벨로 유지하기 위해 더블형의 형태를 취한다. 또한, 아직 처리해야 할 캐리어를 갖는 공급 컨테이너(73)와 이미 처리된 캐리어를 갖는 공급 컨테이너(73)가, 비어있는 상태의 공급 컨테이너(73)와의 조합 여부에 상관없이, 이러한 방식으로 하나 위에 다른 하나가 전부 위치될 수 있음을 유의하여야 한다. 이들 공급 컨테이너(73)의 전부가 전술한 리프트 장치를 통해 요구된 작업 높이로 항상 위치될 수 있다.
도 6D는 도 6A에 도시된 바와 같은 장치(70)와 유사한 장치(85)를 도시하고 있다. 따라서, 대응하는 구성요소에는 대응하는 도면부호가 부여되어 있다. 전자 부품(75)을 갖는 캐리어(74)가 공급 컨테이너(73)로부터 2개의 처리 스테이션(71, 72)에 공급될 수 있다. 이를 위해, 공급 컨테이너(73)는, 리프트 장치(76)에 의해, 처리 스테이션(71, 72)에서 처리가 이루어지는 레벨로 캐리어(74)가 위치되는 높이로 다시 위치된다. 화살표 Z1에 따른 수평 평면에서 조작 장치(86)를 이동시킴으로써, 캐리어(74)는 공급 컨테이너(73)에 인접한 위치와 처리 스테이션(71, 72) 사이에서 이동할 수 있다. 이중 이동기(double displacer)(87)에 의해, 캐리어(74)가 처리 스테이션(71, 72) 및 공급 컨테이너(73) 내로 푸시될 수 있고, 또한 처리 스테이션(71, 72) 및 공급 컨테이너(73)의 외부로 인출될 수 있다. 도 6A에 도시된 장치(70)와는 달리, 도 6D에 도시된 조작 장치(86)는, 역시 이중의 형태를 취하는 처리 스테이션(71, 72)에 대한 로딩 및 언로딩이 장치(70)를 이용한 것보다 더욱 신속하게 이루어질 수 있도록, 캐리어(74)를 위한 2개의 홀더 포지션(holder position)이 설치되어 있다. 처리 스테이션(71, 72)에 위치된 2개의 캐리어의 배향이 일반적으로 마주보는 형태이기 때문에, 캐리어(74)의 공급 및 취출이 그에 맞게 조정되어야 한다. 이를 위해, 조작 장치(86)는 점선으로 도시된 조작 장치(86')의 자세로 나타낸 바와 같이 회전할 수 있다. 그러므로, 조작 장치(86)는 2개의 측면으로부터 로딩될 수 있다.

Claims (45)

  1. 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 컨테이너로부터 처리 스테이션(processing station)으로 이동시키는 캐리어 이동 방법으로서,
    A) 처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어가 상기 처리 스테이션의 중개 위치(intermediate position)와 적어도 실질적으로 하나의 평면에 놓이도록, 처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어를 구비한 상기 공급 컨테이너를 특정 높이로 위치시키는 단계;
    B) 처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어를, 상기 공급 컨테이너로부터 제1 평면 내의 상기 중개 위치로 이동시키는 단계; 및
    C) 처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어를, 상기 중개 위치로부터, 상기 제1 평면에 평행한 제2 평면 내의 상기 처리 스테이션의 처리 위치로 전진시키는 단계
    를 포함하며,
    상기 단계 C)에 따라 상기 캐리어를 제공한 후, 상기 처리 스테이션은 상기 전자 부품을 적어도 부분적으로 인캡슐레이션하는 인캡슐레이션 공정을 수행하는,
    캐리어 이동 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 단계 B) 및 C) 동안의 상기 캐리어의 이동은 이러한 목적을 위해 제공 되는 가이드에 의해 안내되는, 캐리어 이동 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 단계 B)와 C)의 하나 이상의 단계 동안 가스 스트림(gas stream)에 의해 지지되는, 캐리어 이동 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    전자 부품을 갖는 상기 캐리어는, 상기 단계 A)와 C)의 사이에서, 상기 제1 평면 및 상기 제2 평면에 평행한 평면 내에서 회전하는, 캐리어 이동 방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    전자 부품을 갖는 상기 캐리어는, 상기 처리 위치에 놓인 상기 캐리어에 대하여 위치 설정 부재(positioning element)를 이동시킴으로써 상기 처리 스테이션에 위치되는, 캐리어 이동 방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 중개 위치는 상기 제1 평면과 상기 제2 평면 사이에서 전환할 수 있는, 캐리어 이동 방법.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어는, 상기 공급 컨테이너와 상기 처리 위치 사이에서의 전자 부품을 갖는 상기 캐리어의 이동 시에, 중간 처리 스테이션을 통과하는, 캐리어 이동 방법.
  8. 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 컨테이너로부터 처리 스테이션으로 이동시키는 캐리어 이동 방법으로서,
    D) 처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어를 구비한 상기 공급 컨테이너를, 상기 처리 스테이션의 중개 위치에 인접하게 위치시키는 단계;
    E) 상기 공급 컨테이너를, 상기 중개 위치에 대하여, 처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어가 상기 중개 위치에 연결되는 제1 평면 내에 놓이도록 하는 높이로 배치하는 단계;
    F) 처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어를, 상기 제1 평면에서의 선형 이동을 통해, 상기 공급 컨테이너로부터 상기 중개 위치로 이동시키는 단계; 및
    G) 처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어를, 상기 중개 위치로부터, 상기 제1 평면에 평행한 제2 평면 내의 상기 처리 스테이션의 처리 위치로 이동시키는 단계
    를 포함하며,
    상기 처리 스테이션은, 상기 단계 G)에 따라 상기 처리 위치에 놓여진 상기 캐리어에 대해, 상기 전자 부품을 적어도 부분적으로 인캡슐레이션하는 인캡슐레이션 공정을 수행하는,
    캐리어 이동 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    전자 부품을 갖는 상기 캐리어는, 상기 처리 위치에 놓여진 상기 캐리어에 대하여 위치 설정 부재를 이동시킴으로써 상기 처리 스테이션에 위치되는, 캐리어 이동 방법.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 단계 F) 및 G) 동안의 상기 캐리어의 이동은 이러한 목적을 위해 제공되는 가이드에 의해 안내되는, 캐리어 이동 방법.
  11. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 단계 F) 및 G)의 하나 이상의 단계 동안 가스 스트림에 의해 지지되는, 캐리어 이동 방법.
  12. 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어는, 상기 중개 위치와 상기 처리 위치 사이에서의 전자 부품을 갖는 상기 캐리어의 이동 시에, 중간 처리 스테이션을 통과하는, 캐리어 이동 방법.
  13. 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 중개 위치는 상기 제1 평면과 상기 제2 평면 사이에서 전환할 수 있는, 캐리어 이동 방법.
  14. 전자 부품을 갖는 처리된 후의 캐리어를 처리 스테이션으로부터 공급 컨테이너로 이동시키는 캐리어 이동 방법으로서,
    K) 전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어를, 처리 위치로부터, 상기 처리 스테이션의 제2 평면 내의 중개 위치로 이동시키는 단계;
    L) 전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어를 위한 상기 공급 컨테이너의 수용 위치가 상기 제2 평면에 평행한 제1 평면 내에 놓이도록, 전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어를 위한 상기 공급 컨테이너를 특정 높이로 위치시키는 단계; 및
    M) 전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어를, 상기 중개 위치로부터 상기 제1 평면 내의 상기 공급 컨테이너의 수용 위치로 이동시키는 단계
    를 포함하며,
    상기 단계 K)에 따른 처리된 후의 상기 캐리어의 취출을 행하기 전에, 전자 부품을 갖는 상기 캐리어는, 상기 전자 부품을 적어도 부분적으로 인캡슐레이션하는 인캡슐레이션 공정을 거치게 되는,
    캐리어 이동 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    전자 부품을 갖는 상기 캐리어는, 상기 처리 위치에 놓여진 상기 캐리어에 대하여 위치 설정 부재를 이동시킴으로써 상기 처리 스테이션에서 취출되는, 캐리어 이동 방법.
  16. 제14항 또는 제15항에 있어서,
    전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어는, 상기 단계 K)와 M) 사이에서, 상기 제1 평면 및 상기 제2 평면에 평행한 평면 내에서 회전하는, 캐리어 이동 방법.
  17. 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어의 이동이 상기 단계 K)와 M) 동안에 이러한 목적을 위해 제공된 가이드에 의해 안내되는, 캐리어 이동 방법.
  18. 제14항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 단계 K)와 M)의 하나 이상의 단계 동안 가스 스트림에 의해 지지되는, 캐리어 이동 방법.
  19. 제14항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 중개 위치는 상기 제1 평면과 상기 제2 평면 사이에서 전환 가능한, 캐 리어 이동 방법.
  20. 전자 부품을 갖는 캐리어를 처리 스테이션으로부터 공급 컨테이너로 이동시키는 캐리어 이동 방법으로서,
    N) 전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어를 수용하는 상기 공급 컨테이너를 상기 처리 스테이션의 중개 위치에 인접하게 위치시키는 단계;
    O) 상기 공급 컨테이너를, 상기 중개 위치에 대하여, 상기 공급 컨테이너의 개방된 수용 위치가 제1 평면에 놓이도록 하는 높이로 배치하는 단계;
    P) 상기 제1 평면에 평행한 제2 평면 내에서, 처리 위치로부터의 전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어를, 상기 처리 스테이션으로부터 상기 중개 위치로 이동시키는 단계; 및
    Q) 전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어를, 상기 제1 평면에서의 선형 이동을 통해, 상기 중개 위치로부터 상기 공급 컨테이너로 이동시키는 단계
    를 포함하며,
    상기 단계 P)와 Q) 동안의 상기 캐리어의 이동은 매끄럽게 이루어지는 연결된 이동이며,
    상기 단계 P)에 따른 처리된 후의 상기 캐리어의 인출을 행하기 전에, 상기 전자 부품을 갖는 상기 캐리어는, 상기 전자 부품을 적어도 부분적으로 인캡슐레이션하는 인캡슐레이션 공정을 거치게 되는,
    캐리어 이동 방법.
  21. 제20항에 있어서,
    전자 부품을 갖는 상기 캐리어는, 상기 처리 위치에 놓여진 상기 캐리어에 대하여 위치 설정 부재를 이동시킴으로써 상기 처리 스테이션에서 취출되는, 캐리어 이동 방법.
  22. 제20항 또는 제21항에 있어서,
    상기 캐리어의 이동은 상기 단계 P) 및 Q) 동안 이러한 목적을 위해 제공된 가이드에 의해 안내되는, 캐리어 이동 방법.
  23. 제20항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 단계 P)와 Q)의 하나 이상의 단계 동안 가스 스트림에 의해 지지되는, 캐리어 이동 방법.
  24. 제20항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어는, 상기 처리 위치와 인출 위치 사이에서의 전자 부품을 갖는 상기 캐리어의 이동 시에, 중간 스테이션을 통과하는, 캐리어 이동 방법.
  25. 제20항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 중개 위치는 상기 제1 평면과 상기 제2 평면 사이에서 전환 가능한, 캐 리어 이동 방법.
  26. 전자 부품을 갖는 캐리어를 처리 스테이션에 공급하고 상기 처리 스테이션으로부터 취출하는 캐리어 공급 및 취출 방법으로서,
    처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어가 제1항 내지 제7항 중의 어느 한 항의 캐리어 이동 방법에 따라 공급되며, 처리가 완료된 후에는, 상기 전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어가 제14항 내지 제19항 중의 어느 한 항의 캐리어 이동 방법에 따라 취출되는,
    캐리어 공급 및 취출 방법.
  27. 전자 부품을 갖는 캐리어를 처리 스테이션에 공급하고 상기 처리 스테이션으로부터 취출하는 캐리어 공급 및 취출 방법으로서,
    처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어가 제8항 내지 제13항 중의 어느 한 항의 캐리어 이동 방법에 따라 공급되며, 처리가 완료된 후에는, 상기 전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어가 제20항 내지 제25항 중의 어느 한 항의 캐리어 이동 방법에 따라 취출되는,
    캐리어 공급 및 취출 방법.
  28. 제26항 또는 제27항에 있어서,
    상기 제1 평면과 상기 제2 평면은 서로 일치하는, 캐리어 공급 및 취출 방 법.
  29. 제26항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,
    처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어를 공급하는 공급 컨테이너는, 상기 캐리어가 상기 처리 스테이션에 제공된 후에, 중개 위치로부터 제거되며,
    전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어를 취입하는 상기 공급 컨테이너가, 후속하여 중개 위치에 인접하게 위치되는,
    캐리어 공급 및 취출 방법.
  30. 제26항 내지 제29항 중 어느 한 항에 있어서,
    처리할 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급하는 공급 컨테이너와, 전자 부품을 갖는 처리된 후의 캐리어가 공급되는 공급 컨테이너가, 조인트 지지 구조(joint support structure)를 통해 이동되는, 캐리어 공급 및 취출 방법.
  31. 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 컨테이너와 처리 스테이션 사이에서 이동시키는 캐리어 이동 장치로서,
    상기 처리 스테이션에 대해 상기 공급 컨테이너를 위치시키는 이동 가능한 지지 구조부; 및
    상기 공급 컨테이너와 상기 처리 스테이션 사이에서 전자 부품을 갖는 상기 캐리어를 이동시키고, 평행한 평면들 내에서만 이동 가능한 하나 이상의 조작 장 치(manipulator)
    를 포함하며,
    상기 처리 스테이션은, 상기 전자 부품을 적어도 부분적으로 인캡슐레이션하는 인캡슐레이션 공정을 수행하는 인캡슐레이션 스테이션인,
    캐리어 이동 장치.
  32. 제31항에 있어서,
    상기 이동 가능한 지지 구조부와 상기 인캡슐레이션 스테이션 사이에 평행하게 연장하는 가이드가 설치되어 있는, 캐리어 이동 장치.
  33. 제31항 또는 제32항에 있어서,
    이동시킬 상기 캐리어를 지지하기 위한 가스 공급 수단이 설치되어 있는, 캐리어 이동 장치.
  34. 제31항 내지 제33항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 인캡슐레이션 스테이션에는, 상기 캐리어의 처리 위치에 대하여, 상기 인캡슐레이션 장치 내에서 이동 가능한 위치 결정 부재가 설치되어 있는, 캐리어 이동 장치.
  35. 제31항 내지 제34항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 인캡슐레이션 장치에는, 상기 캐리어의 적어도 부분적으로 인캡슐레이션될 면 상에 맞물리는 가이드가 설치되어 있으며, 상기 가이드는 인캡슐레이션 재료를 안내하도록 구성되어 있는, 캐리어 이동 장치.
  36. 제31항 내지 제35항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 조작 장치는 가열 가능한 것인, 캐리어 이동 장치.
  37. 제31항 내지 제36 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동 가능한 지지 구조부는, 적어도, 처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어를 수용하기 위한 제1 공급 컨테이너와, 전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어를 수용하기 위한 제2 컨테이너를 지지하도록 구성되는, 캐리어 이동 장치.
  38. 제31항 내지 제37항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동 가능한 지지 구조부에는, 상기 공급 컨테이너를 이동시키기 위한 하나 이상의 피동 무한 컨베이어(driven endless conveyor)가 설치되어 있는, 캐리어 이동 장치.
  39. 제31항 내지 제38항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공급 컨테이너의 공급을 유지(holding)하기 위한 하나 이상의 버퍼링 위치(buffering position)가 제공되어 있으며, 상기 버퍼링 위치는 상기 공급 컨테 이너를 교환하기 위해 상기 이동 가능한 지지 구조부에 연결될 수 있는, 캐리어 이동 장치.
  40. 제31항 내지 제39항 중 어느 한 항에 있어서,
    처리할 전자 부품을 갖는 상기 캐리어를 위한 하나 이상의 상기 공급 컨테이너와, 전자 부품을 갖는 처리된 후의 상기 캐리어를 위한 하나 이상의 상기 공급 컨테이너를 적층된 상태로 유지하는 수직 이동 수단이 설치되어 있는, 캐리어 이동 장치.
  41. 처리 스테이션과 제31항 내지 제40항 중의 어느 한 항에 따른 캐리어 이동 장치의 조립체로서,
    인캡슐레이션 스테이션에는, 서브 프로세스를 수행하기 위한 서브스테이션들 사이에서 전자 부품을 갖는 캐리어를 이송하기 위한 하나 이상의 컨베이어가 설치되어 있으며,
    평행한 평면에 평행을 이루고 있는 조작 장치의 직선 이동 방향은, 상기 처리 스테이션의 컨베이어의 이송 방향에 적어도 실질적으로는 수직을 이루는,
    조립체.
  42. 제41항에 있어서,
    상기 처리 스테이션에서 상기 캐리어가 거치는 처리로 인한 상기 캐리어의 변형을 제한하기 위한 장치가, 공급 컨테이너와 상기 처리 스테이션 사이에서 전자 부품을 갖는 상기 캐리어를 이동시키기 위한 장치와, 상기 처리 스테이션의 사이에, 배치되어 있는, 조립체.
  43. 제41항 또는 제42항에 있어서,
    상기 처리 스테이션과 상기 공급 컨테이너 사이의 중개 위치는, 평행한 평면에 수직을 이루며 직선으로 이동 가능한 지지체에 의해 결정되는, 조립체.
  44. 제43항에 있어서,
    상기 지지체는 하나의 지지 위치 위에 다른 지지 위치가 형성되어 있는 다수의 병렬 지지 위치를 포함하는, 조립체.
  45. 제41항 내지 제44항 중 어느 한 항에 있어서,
    이동시킬 상기 캐리어를 지지하는 가스 공급 수단이 설치되어 있는, 조립체.
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