NL1028907C2 - Werkwijze en inrichting voor het aanvoeren en het afvoeren van dragers met elektronische componenten. - Google Patents
Werkwijze en inrichting voor het aanvoeren en het afvoeren van dragers met elektronische componenten. Download PDFInfo
- Publication number
- NL1028907C2 NL1028907C2 NL1028907A NL1028907A NL1028907C2 NL 1028907 C2 NL1028907 C2 NL 1028907C2 NL 1028907 A NL1028907 A NL 1028907A NL 1028907 A NL1028907 A NL 1028907A NL 1028907 C2 NL1028907 C2 NL 1028907C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- electronic components
- carrier
- processing
- storage container
- processed
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/02—Feeding of components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67201—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the load-lock chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67236—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations the substrates being processed being not semiconductor wafers, e.g. leadframes or chips
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
Λ
Werkwijze en inrichting voor het aanvoeren en het afvoeren van dragers met elektronische componenten
De uitvinding heeft betrekking op werkwijzen voor het van een voorraadhouder naar 5 een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten, werkwijzen voor het van een bewerkingstation naar een voorraadhouder verplaatsen van een drager met elektronische componenten, alsook op werkwijzen voor het aan een bewerkingstation toevoeren en van een bewerkingsstation afvoeren van dragers met elektronische componenten. De uitvinding heeft tevens betrekking op een inrichting 10 voor het tussen een voorraadhouder en een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten en op een samenstel van zo een inrichting met een bewerkingsstation voor dragers met elektronische componenten.
Bij het bewerken van dragers met elektronische componenten, en meer in het bijzonder 15 dragers voorzien van halfgeleiderschakelingen, wordt gebruik gemaakt van volumineuze en complexe apparatuur. Mogelijke bewerkingen van zulke dragers zijn ondermeer: het aanbrengen van verbindingen (“wire bounding, soldering”), het omhullen van de componenten (“molding”), het verwijderen overtollig materiaal (“degating”), het inspecteren van de componenten, en zo voorts. De dragers kunnen 20 bestaan uit een metaallaag (“lead frames”) of een meer complexe gelaagde structuur bezitten (“boards”). Dergelijke drager worden gebruikelijk aangevoerd en afgevoerd in voorraadhouders (“cassettes”) waarin de dragers gestapeld worden opgeborgen zonder dat zij contact maken met elkaar. Gebruikelijk is de drager in een ontlaadinrichting (“off loader”) te plaatsen waarin een drager uit de voorraadhouder wordt genomen en 25 vervolgens op een transportband wordt geplaatst om vervolgens met de transportband richting een bewerkingsstation te worden bewogen. Aangekomen bij het j i bewerkingsstation wordt met een gelijktijdig met de drager verplaatste manipulator de j drager in het bewerkingsstation geplaatst en na het uitvoeren van de bewerking weer uit ! het bewerkingsstation genomen, ten slotte wordt de bewerkte drager afgevoerd naar een | 30 laadinrichting die gebruikelijk aan de tegenovergestelde zijde van de transportbaan dan j de ontlaadinrichting staat opgesteld, alswaar de drager van de transportband wordt ! genomen en in een voorraadhouder voor bewerkte producten wordt geplaatst. Met zo j een bestaand toevoer en afvoersysteem kunnen ook een aantal naast elkaar geplaatste bewerkingsstations worden bediend; de transportbaan voert dan langs alle te bedienen 7 ! j 2 bewerkingsstations. Met een dergelijke bestaand systeem kan de toevoer en afvoer van dragers gebruikszeker worden uitgevoerd en kan de toevoer en afvoer van de dragers (althans in hoofdzaak) worden ontkoppeld van de afzonderlijke bewerkingstations.
5 Doel van de onderhavige uitvinding is het ten opzichte van de stand der techniek vereenvoudigen van het beladen en ontladen van bewerkingsstations voor dragers met elektronische componenten en het verschaffen van de daartoe benodigde middelen.
De uitvinding verschaft daartoe een werkwijze voor het van een voorraadhouder naar 10 een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten omvattende de bewerkingsstappen: A) het op een specifieke hoogte plaatsen van de voorraadhouder met te bewerken drager met elektronische componenten, zodanig dat de te bewerken drager met elektronische componenten althans in hoofdzaak in een vlak is gelegen met een invoerpositie van het bewerkingsstation, B) het vanuit de 15 voorraadhouder in een horizontaal vlak naar de invoerpositie verplaatsen van de te bewerken drager met elektronische componenten, en C) het vanuit de invoerpositie doorzetten van de te bewerken drager met elektronische componenten naar de bewerkingspositie van het bewerkingsstation. Daarbij ondergaat de drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap C) bij voorkeur althans in 20 hoofdzaak een horizontale verplaatsing. Aanvullend is het tevens mogelijk dat de drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap B) in het horizontale vlak wordt geroteerd. Bij het aldus aanvoeren van een drager vindt de verplaatsing hoofdzakelijk in één enkel horizontaal vlak plaatst Dit wil zeggen dat alle manipulatiemiddelen voor de afzonderlijke dragers (dat wil zeggen dragers die uit een 25 voorraadhouder zijn genomen) slecht bewegingsvrijheid in een enkel vlak behoeven te verschaffen. Deze, ten opzichte van de stand der techniek, beperkte bewegingsvrijheid van de manipulatiemiddelen maakt dat deze relatief eenvoudig kunnen worden uitgevoerd en daardoor bovendien ook met grote nauwkeurigheid kunnen werken. Nog een belangrijk voordeel is dat dit het mogelijk maakt de toevoer van de dragers uit te 30 voeren met een zeer beperkt ruimtebeslag terwijl het toch mogelijk blijft een drager over bijvoorbeeld 180° te roteren.
De uitvinding verschaft tevens een werkwijze voor het van een voorraadhouder naar een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten 1028907 3 omvattende de bewerkingsstappen: D) het aangrenzend een invoerpositie van het bewerkingsstation positioneren van de voorraadhouder met te bewerken drager met elektronische componenten, E) het op zodanige hoogte ten opzichte van de invoerpositie brengen van de voorraadhouder dat de te bewerken drager met 5 elektronische componenten in een vlak is gelegen met de invoerpositie, F) het vanuit de voorraadhouder met een lineaire beweging naar de invoeipositie verplaatsen van de te bewerken drager met elektronische componenten, en G) het vanuit de invoerpositie doorzetten van de te bewerken drager met elektronische componenten naar de bewerkingspositie van het bewerkingsstation. Bij voorkeur vormen daarbij de 10 verplaatsingen van de drager tijdens bewerkingsstappen F) en G) vloeiend aansluitende bewegingen die in een rechte lijn kunnen zijn gelegen. Ook bij deze werkwijze wordt, evenals bij de voorgaand beschreven werkwijze, de te verplaatsen drager samen met de voorraadhouder in een zodanige uitgangspositie gebracht dat het transporttraject van de voorraadhouder naar het bewerkingsstation ten opzichte van de stand der techniek zeer 15 eenvoudig is; de complexiteit van het positioneren ligt veeleer in het voortraject bij het positioneren van de voorraadhouder. Een voordeel hiervan is dat de (kwetsbare) drager grotendeel wordt gemanipuleerd in een afgeschermde toestand (namelijk opgeborgen in de voorraadhouder) zodat de kans op beschadiging van de drager tijdens, of ten gevolge van, transporthandelingen gering is. Nog een voordeel is dat de transporthandelingen 20 worden opgedeeld in deelprocessen die afzonderlijk eenvoudiger zijn dan een geïntegreerde dragermanipulatie volgens de stand der techniek. Deze afzonderlijke deelprocessen zijn relatief eenvoudig te mechaniseren en te automatiseren.
In een voorkeursvariant is de voorraadhouder voorzien van een aantal boven elkaar 25 gelegen dragers met elektronische componenten zodanig dat na het doorlopen van de bewerkingsstappen D) - G) ten minste de bewerkingsstappen E) - G) kunnen worden doorlopen voor opvolgend aan te voeren dragers met elektronische componenten. ZO kan een voorraadhouder met meerdere drager worden ontladen terwijl deze tussen twee opvolgend uit de voorraadhouder te verwijderen dragers slecht een zeer kort en zeer 30 eenvoudig (gewoonlijk lineair) transporttraject hoeft te doorlopen. Dit leidt naast de in bovengaande alinea reeds opgesomde voordelen ook tot een kort minimale cyclustijd tussen twee opvolgde toe te voeren dragers.
1028 90 7 4
Voor het doorzetten van een (ten minste gedeeltelijk) uit een voorraadhouder stekende drager kunnen de dragers met elektronische componenten tijdens bewerkingsstap G) vanuit de invoerpositie naar de bewerkingspositie worden verplaatst onder tussenkomst van ten minste één aangedreven rollenpaar. Ook is het mogelijk dat bij het verplaatsen 5 van de dragers tussen de invoer- en de bewerkingspositie de dragers een tussenstation passeren. Zo een bewerkingsstation kan bijvoorbeeld een (voor)verwarming van de dragers bewerkstelligen zodanig dat de dragers in voorverwarmde toestand in bijvoorbeeld een omhulinrichting worden geplaatst.
10 De uitvinding verschaft bovendien een werkwijze voor het van een bewerkingsstation naar een voorraadhouder verplaatsen van een bewerkte drager met elektronische componenten omvattende de bewerkingsstappen: K) het vanuit een bewerkingspositie van het bewerkingsstation naar een uitvoerpositie verplaatsen van de bewerkte drager met elektronische componenten, L) het een specifieke hoogte plaatsen van de 15 voorraadhouder voor een bewerkte drager met elektronische componenten, zodanig dat een opneempositie van de voorraadhouder voor de bewerkte drager met elektronische componenten althans in hoofdzaak in een vlak is gelegen met een uitvoerpositie van het bewerkingsstation, en M) het vanuit de uitvoerpositie in een horizontaal vlak naar opneempositie van de voorraadhouder verplaatsen van de bewerkte drager met 20 elektronische componenten. Bij voorkeur ondergaat de bewerkte drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap K) althans in hoofdzaak een horizontale verplaatsing. Ook is het mogelijk dat de bewerkte drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap M) in het horizontale vlak wordt geroteerd. Met deze werkwijze kan niet alleen het aanvoeren van dragers aan een bewerkingsinrichting 25 maar ook het weer van het bewerkingsstation naar een voorraadhouder afvoeren van bewerkte dragers, althans hoofdzakelijk, in één enkel horizontaal vlak plaatsvinden.
Ook deze afvoerende manipulatiemiddelen behoeven alzo slechts bewegingsvrijheid in een enkel vlak te verschaffen. De reeds eerder genoemde voordelen hiervan zijn de relatief, ten opzichte van de stand der techniek, beperkte bewegingsvrijheid van de 30 manipulatiemiddelen die daardoor eenvoudig kunnen worden uitgevoerd en toch met grote nauwkeurigheid kunnen werken. Een ander bijkomend voordeel is dat ook tijdens de afvoer van bewerkte dragers deze indien gewenst met een zeer beperkt ruimtebeslag geroteerd kunnen worden.
1 0 2 8 9 0 7 5
De onderhavige uitvinding omvat ook nog een werkwijze voor het van een bewerkingstation naar een voorraadhouder verplaatsen van een drager met elektronische componenten, overeenkomstig conclusie 7. Daarbij zijn de verplaatsingen van de drager tijdens bewerkingsstappen P) en Q) bij voorkeur in een rechte lijn gelegen.
5 Overeenkomstig de bovengenoemde voordelen van de toevoer van dragers aan een bewerkingsstation kunnen deze voordelen ook worden gerealiseerd bij het van een bewerkingsstation afvoeren van een bewerkte drager. Ook daarbij kan de voorraadhouder zijn ingericht voor het bevatten van een aantal boven elkaar gelegen dragers met elektronische componenten zodanig dat na het doorlopen van de 10 bewerkingsstappen N) - Q) ten minste de bewerkingsstappen O) - Q) kunnen worden doorlopen voor opvolgend aan te voeren dragers met elektronische componenten. Wederom is het mogelijk de dragers aansluitend te verplaatsen onder tussenkomst van ten minste één aangedreven rollenpaar. Ook kunnen de dragers bij het verplaatsen een tussenstation passeren, bijvoorbeeld een tussenstation voor het inklemmen van een 15 bewerkte drager en/of het gecontroleerd uitharden van een van omhulmateriaal voorziene drager. Zo kan ongewenste vervorming van een drager en/of ongewenste spanningsopbouw in een drager worden tegengegaan.
De uitvinding ziet bovendien op gecombineerde werkwijzen voor het aansluitend aan 20 een bewerkingstation toevoeren en vervolgens van een bewerkingsstation afvoeren van dragers volgens de toevoer- en afvoerwerkwijzen zoals bovengaand beschreven, waarbij de invoerpositie van het bewerkingsstation samenvalt met de afVoerpositie van het bewerkingsstation. Daarbij kan de voorraadhouder van waaruit een te bewerken drager met elektronische componenten wordt aangevoerd na toevoer van een drager aan het 25 bewerkingsstation worden verwijderd van de invoerpositie van het bewerkingsstation, en wordt opvolgend de voorraadhouder waarin een bewerkte drager met elektronische componenten toegevoerd aangrenzend de uitvoerpositie van het bewerkingsstation gepositioneerd. Deze twee verschillende voorraadhouders, gebruikelijk zijn dit identieke voorraadhouders, kunnen door middel van een gemeenschappelijke 30 draagstructuur worden verplaatst. Daarbij is het ook mogelijk dat met een enkele constructie meerdere bewerkingsstations kunnen worden gevoed en worden ontladen.
De uitvinding verschaft bovendien een inrichting voor het tussen een voorraadhouder en een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten 1028907 6 omvattende: een verplaatsbare draagstructuur voor het ten opzichte van het bewerkingsstation positioneren van een voorraadhouder, en een horizontaal verplaatsbare manipulator voor het tussen de voorraadhouder en het bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten. Zo een verplaatsbare 5 draagstructuur bijvoorbeeld (lineair) vertikaal verplaatsbare draagstructuur kan door een intermitterend bewegingspatroon afwisselend steeds een wisselende voorraadhouder ten minste op de hoogte van het bewerkingsstation laten aansluiten. Reeds bovengaand zijn naar aanleiding van de werkwijzen volgens de onderhavige uitvinding de voordelen van een dergelijke inrichting benoemd; eenvoud van constructie, grote 10 positienauwkeurigheid met relatief beperkte investeringen en compacte bouw van de inrichting.
In een specifieke uitvoeringsvariant is het mogelijk dat de inrichting (lineair) verplaatsbaar is langs meerdere bewerkingsstations zodanig dat er meerdere 15 bewerkingsstations met een enkele inrichting volgens de onderhavige uitvinding lineair kunnen worden beladen respectievelijk ontladen. Ook een combinatie van de vertikaal verplaatsbare draagstructuur en de langs meerdere bewerkingsstation verplaatsbare inrichting vormt een voordelige uitvoeringsvariant. Voor het voorzien in zowel toevoer als afvoer van dragers met een enkele inrichting is het voordelig indien de verplaatsbare 20 draagstructuur is ingericht voor het ondersteunen van ten minste twee voorraadhouders; een eerste voorraadhouder voor het opnemen van te bewerken dragers met elektronische componenten, en een tweede houder voor het opnemen van bewerkte dragers met elektronische componenten.
25 Indien de horizontaal verplaatsbare manipulator verwarmbaar is wordt het mogelijk het te verplaatsen product zowel tijdens de aanvoer te conditioneren (voor te verwarmen) om zo een verbeterde kwaliteit bij het bewerkingsproces (met name bij het omhullen) te bewerkstelligen. Ook bij het afVoeren van bewerkte producten kan het voordelig zijn om de temperatuur van de bewerkte drager gelijkmatig te verminderen of boven een 30 bepaalde temperatuur te houden. Dit om de kwaliteit van het uiteindelijke product verder te verbeteren. Opgemekrt wordt dat ook als werkwijzen volgens de onderhavige uitvinding extra voordelig kunnen worden toegepast met het voorverwarmen en/of naverwarmen van de drager respectievelijk bij het aanvoeren van nog te bewerken dragers en het afvoeren van bewerkte dragers.
1028907 7
De verplaatsbare draagstructuur kan in een uitvoeringsvariant zijn voorzien van ten minste één aangedreven eindloze transporteur voor ververplaatsing van een voorraadhouder. De lineair verplaatsbare manipulator heeft als voordeel dat deze zeer 5 eenvoudig kan zijn uitgevoerd en het voor een goede werking niet nodig is dat de manipulator een productafhankelijke configuratie heeft; met een eenvoudige universele opduwer kunnen er dragers worden opgeduwd onafhankelijk van de specifieke vorm en afmetingen van de drager. Een ander belangrijk voordeel is dat de inrichting overeenkomstig de uitvinding tot een aanzienlijke ruimtebesparing leidt ten opzichte 10 van de bestaande toevoer- en afvoermiddelen voor dragers van elektronische componenten. Bij een opstelling van meerdere aangrenzende bewerkingsstations is het tot op heden gebruikelijk een laadstation en een ontlaadstation aan de overliggende zijden van de rij bewerkingsstations te plaatsen en deze twee stations te verbinden een langs de bewerkingsstation voerende geleiding; dit wil zeggen dat voor de toevoer en 15 afvoer van dragers aan drie zijden van de rij bewerkingsstation ruimte in beslag wordt genomen. Volgens de onderhavige uitvinding is er nog slechts een ruimtebeslag aan één van de zijden van de rij bewerkingsstations. Dit leidt tot een aanzienlijke beperking in het ruimteslag van de bewerkingsapparatuur voor elektronische componenten. Dit voorddeel van ruimtebesparing is daarenboven nog groter in omstandigheden waarin de 20 bewerkingsprocessen in een specifiek geconditioneerde omgeving (bijvoorbeeld een “clean room” omgeving) dient plaats te vinden.
Ter vergroting van de voorraadcapaciteit is het voordelig indien de inrichting is voorzien van ten minste één bufferpositie voor het op voorraad houden van één of 25 meerdere voorraadhouders, welke bufferpositie koppelbaar is met de draagstructuur voor het uitwisselen van een voorraadhouder. Een lege, respectievelijk volle voorraadhouder (in geval van de aanvoer van dragers, respectievelijk de afvoer van dragers) kan met een dergelijke inrichting worden vervangen voor een volle, respectievelijk lege voorraadhouder.
30
In weer een andere uitvoeringsvariant is de inrichting voorzien van verticale verplaatsingsmiddelen voor het gestapeld houden van ten minste één voorraadhouder voor te bewerken dragers met elektronische componenten en ten minste één voorraadhouder voor bewerkte dragers met elektronische componenten. Zo kunnen 1 0 2 8 90 7 8 zowel de aanvoer als de afvoer van de dragers naar een zelfde positie in de inrichting plaatsvinden. Dit maakt dat de inrichting nog verder verkleind kan worden en beperkt de bouwkosten. Opgemerkt zij dat deze variant met verticale verplaatsingsmiddelen voor het gestapeld houden van te legen en te vullen voorraadhouders kan wordne 5 toegepast in combinatie met alle in deze aanvrage beschreven inrichtingen en dat de vinding teven s de werkwijze omvat van het vertikaal verplaatsen van een aantal boven elkaar gelegen voorraadhouders om vervolgens de aanvoer en afvoer van dragers naar een zelfde locatie plaats te laten vinden.
10 De uitvinding verschaft daarenboven een samenstel van een bewerkingsstation en een inrichting zoals voorgaand beschreven waarbij het bewerkingstation is voorzien van ten minste één transporteur voor het tussen substations voor het verrichten van deelbewerkingen transporteren van een drager met elektronische componenten, en dat de horizontale, respectievelijk lineaire, bewegingsrichting van de manipulator althans in 15 hoofdzaak loodrecht staat op de transportrichting van de transporteur van het bewerkingsstation. Een dergelijk samenstel kent meerdere substations; een voorbeeld hiervan is een omhulinrichting voor het met een omhulmateriaal omgeven van de met een drager verbonden elektronische componenten met een (voor)verwarmingsstation en/of een station waarin een bewerkte drager geconditioneerd wordt afgekoeld zodanig 20 dat vervorming van de drager beheersbaar is.
In een voorkeursvariant is het bewerkingsstation voorzien van ten minste één rollentransporteur waarvan de transportrichting aansluit op de transportrichting van de lineaire manipulator van de inrichting voor het tussen een voorraadhouder en een 25 bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten. Zo een rollentransporteur vormt een relatief eenvoudige transporteur die bovendien zo kan worden uitgevoerd dat deze is ingericht voor aangrijping op producten met uiteenlopende dimensies.
30 De onderhavige uitvinding zal verder worden verduidelijkt aan de hand van de in navolgende figuren weergegeven niet-limitatieve uitvoeringsvoorbeelden. Hierin toont: figuur 1 een vooraanzicht op een inrichting voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten overeenkomstig de onderhavige uitvinding, 1028907 9 figuur 2 een schematisch bovenaanzicht op een samenstel van een aantal bewerkingsstations en een inrichting voor aanvoer en afvoer van dragers, figuur 3 een zijaanzicht op een inrichting voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten overeenkomstig de onderhavige uitvinding en een 5 bewerkingsstation dat bestaat uit verschillende op elkaar aansluitende substations, figuur 4 een zijaanzicht op een alternatieve uitvoeringsvariant van een inrichting voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten overeenkomstig de onderhavige uitvinding, figuur 5 A een bovenaanzicht op een alternatieve uitvoeringsvariant van een inrichting 10 voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten overeenkomstig de onderhavige uitvinding, en figuren 5B en 5C een schematisch zijaanzicht en een schematisch vooraanzicht op een deel van een inrichting voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten zoals getoond in figuur 5A.
15
Figuur 1 toont een cassette 1 met een aantal te bewerken dragers 2 en een cassette 3 die is bestemd voor het opnemen van bewerkte dragers. De cassettes 1,3 worden onder tussenkomst van klemmechanismen 4 vastgehouden door een draagstructuur 5. De draagstructuur 5 is vertikaal (zie pijl Pi) verplaatsbaar door bediening van een eindloze j ! 20 transportband 6 die wordt aangedreven door een motor 7. Door het verplaatsen van de draagstructuur 5 kan een cassette 1 in een zodanige positie worden gebracht dat er een drager 2 op een juiste hoogte kan worden uitgeschoven, respectievelijk kan de cassette 3 in een zodanige positie worden gebracht dat er een bewerkte drager in kan worden geschoven. De draagstructuur 5, transportband 6 en de motor 7 zijn verbonden met een 25 gestel 8 welk gestel 8 door een tweede bandtransporteur 9 in een horizontale richting (zie pijl P2) verplaatsbaar is door bediening van een motor 10. Door verplaatsing van hert gestel 8 is het mogelijk de draagstructuur 5 aan te laten sluiten op meerdere naast elkaar opgestelde, en in deze figuur niet getoonde, bewerkingsstations.
30 Figuur 2 toont een bovenaanzicht op een drietal bewerkingsstations 20 aangrenzend waaraan een bandtransporteur 21 is opgesteld. De bandtransporteur 21 wordt aangedreven door een motor 22 (conform de tweede bandtransporteur 9 en de motor 10 uit figuur 1). Door verplaatsing van de bandtransporteur 21 wordt gelijktijdig een op de bandtransporteur 21 geplaatst gestel 23 bewogen. Het gestel 23 is beladen met cassettes 10 2 8 9 0 7 10 waarvan slechts een bovenste cassette 24 in deze figuur zichtbaar is. Voor het uit de cassette 24 duwen van een drager is het gestel tevens voorzien van een pusher 25 die rechtlijnig intermitterend verplaatsbaar is. Indien de pusher 25 tevens is voorzien van een, niet weergegeven, grijper is het ook mogelijk met de pusher 25 bewerkte dragers 5 vanuit een bewerkingsstation 20 naar een cassette 24 te verplaatsen.
Figuur 3 toont een inrichting 30 voor aanvoer en afvoer van dragers met elektronische componenten 32 overeenkomstig de onderhavige uitvinding en een bewerkingsstation i 31 dat bestaat uit verschillende op elkaar aansluitende substations 33, 34. De inrichting 10 30 voert een drager 32 aan uit een bovenste cassette 35 die daartoe met een mechanisme zoals beschreven aan de hand van figuur 1 op zodanige hoogte is gebracht (zie pijl P3) dat de drager 32 zich op de hoogte bevindt van een doorvoeropening 36 in de mantel van het bewerkingsstation 31. Een pusher 37, aangedreven door een rotorarm 38 die in verbinding staat met een elektromotor 39, drukt vervolgens (zie pijl P4) de drager 32 uit 15 de cassette 35. De drager zal daardoor worden aangegrepen door een rollenpaar 40 dat deel uitmaakt van het bewerkingsstation 31. Het rollenpaar 40, aangedreven door een elektromotor 41, voert de drager 32 naar een verwarmingsplaat 42 ter voorverwarming van de drager 32. Na (voor)verwarming wordt de drager 32 doorgezet naar een transferpers 34 alwaar de op de drager 32 aanwezige componenten worden omhuld met 20 epoxyhars behuizingen 43. Voor het transport van de verwarmingsplaat 42 naar de transferpers 34 kan gebruik worden gemaakt van, niet weergegeven, transportmiddelen naar keuze. Na het voltooien van de omhulbewerking voert een tweede pusher 44 de van omhulmateriaal 43 voorziene drager terug naar het eerste substation 33. Het eerste substation 33 in deze figuur is zodanig meervoudig uitgevoerd dat het vertikaal 25 verplaatsbaar is (zie pijl P5). In het onderste deel van het substation 33 kan zo een drager met behuizingen 43 gedurende enige tijd worden ingeklemd om zo vervorming (“warpage”) van de drager met behuizingen 43 te voorkomen. Na voldoende lange verblijftijd van de drager met behuizingen 43 in het substation 33 kan de drager met behuizingen 43, bijvoorbeeld onder tussenkomst van het wielenpaar 40 worden 30 afgevoerd naar een cassette 45 die daartoe uiteraard eerst op zodanige hoogte is gebracht dat deze aansluit op de doorvoeropening 36 in het bewerkingsstation 31.
Figuur 4 toont een inrichting 50 met een stationair liftsysteem 51 voor cassettes 52, 53 dat aansluit op een buffersysteem 54 waarmee respectievelijk lege cassettes 55 en 1 0 2 8 9 0 7 11 cassettes 56 met nog te bewerken dragers 57 aan het liftsysteem 51 kunnen worden toegevoerd (zie respectievelijk pijlen Pé, P7). Met het liftsysteem 51 kunnen respectievelijk ook lege cassettes 58 en cassettes 59 met bewerkte dragers 60 van het liftsysteem 51 worden afgevoerd (zie respectievelijk pijlen Pg, P9). Op het stationair 5 liftsysteem 51 sluit een verplaatsbaar (zie pijl P10) substation 61 aan dat is voorzien van een voorverwarmplaat 62 en een persconstructie 63 ter voorkoming van vervorming van een drager voorzien van omhulmateriaal 64. Het verplaatsbaar substation 61 kan de te bewerken drager 65 naar een in deze figuur niet nader gespecificeerd bewerkingsstation voeren, respectievelijk kan daar een drager voorzien van omhulmateriaal 64 uitnemen 10 en terugvoeren naar het stationair liftsysteem 51.
Figuur 5A toont een inrichting 70 met een tweetal bewerkingsstations 71, 72 waaraan vanuit een voorraadhouder 73 een drager 74 met elektronische componenten 75 kan worden aangevoerd. Daartoe wordt de voorraadhouder 73 door een liftmechanisme 76 15 op een zodanige hoogte geplaatst dat de drager 74 zich bevindt op het niveau waarop de bewerking inde bewerkingsstations 71, 72 plaatsvindt. Door het in een horizontaal vlak verplaatsen van een manipulator 77 overeenkomstig de pijl Z1 is de drager verplaatsbaar tussen een positie aangrenzend de voorraadhouder 73 en de bewerkingsstations 71, 72. Door een lineaire verplaatser 78 (pusher en/of puller) kunnen 20 de drager in de bewerkingsstations 71,72 en de voorraadhouder 73 worden geduwd en eventueel ook uit de bewerkingsstations 71, 72 en de voorraadhouder 73 worden getrokken. Voor deze laatste functies, het uit de bewerkingsstations 71,72 en de voorraadhouder trekken van de dragers, kunnen eventueel ook andere (niet getoonde) pushers worden toegepast die daartoe aan de achterzijde van de bewerkingsstations 71, 25 72 en de voorraadhouder 73 kunnen worden opgesteld.
Figuur 5B toont een zijaanzicht op de inrichting 70 waarin naast een viertal voorraadhouders 73 slechts een gestel 79 zichtbaar is. De voorraadhouders 73 worden gedragen door een viertal verdiepingen 80 die deel uitmaken van een liftsysteem. Door 30 nu de hoogte van de verdiepingen 80 te variëren kan een uit een voorraadhouder 73 te verwijderen drager of een vrij positie in een voorraadhouder 73 voor het opnemen van een bewerkte drager juist op de werkhoogte worden gebracht van de schematisch weergegeven transporteur 81 waarmee het transport in de Z\ richting (zie figuur 5A) kan worden gerealiseerd. Figuur 5C ten slotte toont een schematisch vooraanzicht op de 1 0 2 8 9 0 7 12 liftinstallatie met verdiepingen 80 waarop de voorraadhouders 73 zijn geplaatst. Hierbij is zichtbaar dat de voorraadhouders 73 in dit geval dubbel zijn uitgevoerd voor het op een zelfde niveau houden van twee dragers. Opgemerkt wordt bovendien dat op deze wijze voorraadhouders 73 met nog te bewerken dragers en voorraadhouders 73 met 5 reeds bewerkte producten 73 al dan niet in combinatie met lege voorraadhouders 73 allen boven elkaar geplaatst kunnen zijn. Door middel van het beschreven liftmechaniek kunnen zij allen steeds op de gewenste werkhoogte worden gebracht.
1 028 90 7
Claims (33)
1. Werkwijze voor het van een voorraadhouder naar een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten omvattende de 5 bewerkingsstappen: A) het op een specifieke hoogte plaatsen van de voorraadhouder met te bewerken drager met elektronische componenten, zodanig dat de te bewerken drager met elektronische componenten althans in hoofdzaak in een vlak is gelegen met een invoerpositie van het bewerkingsstation,
2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk dat de drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap C) althans in hoofdzaak een horizontale verplaatsing ondergaat. i
3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk dat de drager met 20 elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap B) in het horizontale vlak wordt geroteerd.
4. Werkwijze voor het van een voorraadhouder naar een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten omvattende de 25 bewerkingsstappen: D) het aangrenzend een invoerpositie van het bewerkingsstation positioneren van de voorraadhouder met te bewerken drager met elektronische componenten, E) het op zodanige hoogte ten opzichte van de invoerpositie brengen van de voorraadhouder dat de te bewerken drager met elektronische componenten in een vlak 30 is gelegen met de invoerpositie, F) het vanuit de voorraadhouder met een lineaire beweging naar de invoerpositie verplaatsen van de te bewerken drager met elektronische componenten, en G) het vanuit de invoerpositie doorzetten van de te bewerken drager met elektronische componenten naar de bewerkingspositie van het bewerkingsstation. 1028907
5. Werkwijze volgens conclusie 4, met het kenmerk dat de verplaatsingen van de ! drager tijdens bewerkingsstappen F) en G) vloeiend aansluitende bewegingen zijn.
6. Werkwijze volgens conclusie 4 of 5, met het kenmerk dat de verplaatsingen van de drager tijdens bewerkingsstappen F) en G) in een rechte lijn zijn gelegen.
7. Werkwijze volgens een der conclusies 4-6, met het kenmerk dat de voorraadhouder is voorzien van een aantal boven elkaar gelegen dragers met 10 elektronische componenten zodanig dat na het doorlopen van de bewerkingsstappen D) - G) ten minste de bewerkingsstappen E) - G) kunnen worden doorlopen voor opvolgend aan te voeren dragers met elektronische componenten.
8. Werkwijze volgens een der conclusies 4-7, met het kenmerk dat de dragers 15 met elektronische componenten tijdens bewerkingsstap G) vanuit de invoerpositie naar de bewerkingspositie worden verplaatst onder tussenkomst van ten minste één aangedreven rollenpaar.
9. Werkwijze volgens een der conclusies 4-8, met het kenmerk dat bij het 20 verplaatsen van de dragers met elektronische componenten tussen de invoerpositie en de bewerkingspositie de dragers een tussenstation passeren.
10. Werkwijze voor het van een bewerkingsstation naar een voorraadhouder verplaatsen van een bewerkte drager met elektronische componenten omvattende de 25 bewerkingsstappen: K) het vanuit een bewerkingspositie van het bewerkingsstation naar een uitvoerpositie verplaatsen van de bewerkte drager met elektronische componenten, L) het een specifieke hoogte plaatsen van de voorraadhouder voor een bewerkte drager met elektronische componenten, zodanig dat een opneempositie van de voorraadhouder 30 voor de bewerkte drager met elektronische componenten althans in hoofdzaak in een vlak is gelegen met een uitvoerpositie van het bewerkingsstation, en M) het vanuit de uitvoerpositie in een horizontaal vlak naar opneempositie van de voorraadhouder verplaatsen van de bewerkte drager met elektronische componenten. 10 28 90 7
10 B) het vanuit de voorraadhouder in een horizontaal vlak naar de invoerpositie verplaatsen van de te bewerken drager met elektronische componenten, en C) het vanuit de invoerpositie doorzetten van de te bewerken drager met elektronische componenten naar de bewerkingspositie van het bewerkingsstation.
11. Werkwijze volgens conclusie 10, met het kenmerk dat de bewerkte drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap K) althans in hoofdzaak een horizontale verplaatsing ondergaat.
12. Werkwijze volgens conclusie 10 of 11, met het kenmerk dat de bewerkte drager met elektronische componenten tijdens de bewerkingsstap M) in het horizontale vlak wordt geroteerd.
13. Werkwij ze voor het van een bewerkingstation naar een voorraadhouder i 10 verplaatsen van een drager met elektronische componenten, omvattende de bewerkingsstappen: N) het aangrenzend een uitvoerpositie van het bewerkingsstation positioneren van de voorraadhouder voor het bevatten van een bewerkte drager met elektronische componenten,
14. Werkwijze volgens conclusie 13, met het kenmerk dat de verplaatsingen van de drager tijdens bewerkingsstappen P) en Q) in een rechte lijn zijn gelegen.
15. Werkwijze volgens conclusie 13 of 14, met het kenmerk dat de voorraadhouder is ingericht voor het bevatten van een aantal boven elkaar gelegen dragers met 30 elektronische componenten zodanig dat na het doorlopen van de bewerkingsstappen N) - Q) ten minste de bewerkingsstappen O) - Q) kunnen worden doorlopen voor opvolgend aan te voeren dragers met elektronische componenten. 1028907
15 O) het op zodanige hoogte ten opzichte van de uitvoerpositie brengen van de voorraadhouder dat een vrije opneempositie van de voorraadhouder in een vlak is gelegen met de uitvoerpositie, P) het vanuit een bewerkingspositie van het bewerkingsstation naar de uitvoerpositie verplaatsen van een bewerkte drager met elektronische componenten, en 20 Q) het van de uitvoerpositie met een lineaire beweging naar de voorraadhouder verplaatsen van de bewerkte drager met elektronische componenten, waarbij de verplaatsingen van de drager tijdens bewerkingsstappen P) en Q) vloeiend aansluitende bewegingen zijn.
16. Werkwijze volgens een der conclusies 13 -15, met het kenmerk dat de dragers met elektronische componenten tijdens bewerkingsstap Q) vanuit de bewerkingspositie naar de uitvoerpositie worden verplaatst onder tussenkomst van ten minste één aangedreven rollenpaar. 5
17. Werkwijze volgens een der conclusies 13 -16, met het kenmerk dat bij het verplaatsen van de dragers met elektronische componenten tussen de bewerkingspositie en de uitvoerpositie de dragers een tussenstation passeren.
18. Werkwijze voor het aan een bewerkingstation toevoeren en van een bewerkingsstation afvoeren van dragers met elektronische componenten, waarbij een te bewerken drager met elektronische componenten wordt aangevoerd overeenkomstig een der conclusies 1 - 3 en na het voltooien van de bewerking de bewerkte drager met elektronische componenten wordt afgevoerd volgens een der conclusies 10-12. 15
19. Werkwijze voor het aan een bewerkingstation toevoeren en van een bewerkingsstation afvoeren van dragers met elektronische componenten, waarbij een te bewerken drager met elektronische componenten wordt aangevoerd overeenkomstig een der conclusies 4 - 9 en na het voltooien van de bewerking de bewerkte drager met 20 elektronische componenten wordt afgevoerd volgens een der conclusies 13-17.
20. Werkwijze volgens conclusie 18 of 19, met het kenmerk dat de invoerpositie van het bewerkingsstation samenvalt met de afvoerpositie van het bewerkingsstation.
21. Werkwijze volgens een der conclusie 18-20, met het kenmerk dat de voorraadhouder van waaruit een te bewerken drager met elektronische componenten wordt aangevoerd na toevoer van een drager aan het bewerkingsstation wordt verwijderd van de invoerpositie van het bewerkingsstation, en dat opvolgend de voorraadhouder waarin een bewerkte drager met elektronische componenten wordt 30 toegevoerd aangrenzend de uitvoerpositie van het bewerkingsstation wordt gepositioneerd.
22. Werkwijze volgens een der conclusies 18-21, met het kenmerk dat de voorraadhouder van waaruit een te bewerken drager met elektronische componenten 1 0 2 8 90 7 wordt aangevoerd en de voorraadhouder waarin een bewerkte drager met elektronische componenten wordt toegevoerd door middel van een gemeenschappelijke draagstructuur worden verplaatst.
23. Inrichting voor het tussen een voorraadhouder en een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten omvattende: - een verplaatsbare draagstructuur voor het ten opzichte van het bewerkingsstation positioneren van een voorraadhouder, en - een horizontaal verplaatsbare manipulator voor het tussen de voorraadhouder en het 10 bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten.
24. Inrichting volgens conclusie 23, met het kenmerk dat de horizontaal verplaatsbare manipulator slechts lineair verplaatsbaar is.
25. Inrichting volgens conclusie 23 of 24, met het kenmerk dat de horizontaal verplaatsbare manipulator verwarmbaar is.
26. Inrichting volgens een der conclusie 23 -25, met het kenmerk dat de verplaatsbare draagstructuur is ingericht voor het ondersteunen van ten minste twee 20 voorraadhouders; een eerste voorraadhouder voor het opnemen van te bewerken dragers met elektronische componenten, en een tweede houder voor het opnemen van bewerkte dragers met elektronische componenten.
27. Inrichting volgens een der conclusie 23 - 26, met het kenmerk dat de 25 verplaatsbare draagstructuur is voorzien van ten minste een aangedreven eindloze transporteur voor ververplaatsing van een voorraadhouder.
28. Inrichting volgens een der conclusies 23 - 27, met het kenmerk dat de inrichting is voorzien van ten minste één bufferpositie voor het op voorraad houden van 30 een voorraadhouder, welke bufferpositie koppelbaar is met de draagstructuur voor het uitwisselen van een voorraadhouder.
29. Inrichting volgens een der conclusies 23 - 28, met het kenmerk dat de inrichting is voorzien van verticale verplaatsingsmiddelen voor het gestapeld houden 1028907 van ten minste één voorraadhouder voor te bewerken dragers met elektronische componenten en ten minste één voorraadhouder voor bewerkte dragers met elektronische componenten.
30. Samenstel van een bewerkingsstation en een inrichting volgens een der conclusies 24 - 29, met het kenmerk dat het bewerkingstation is voorzien van ten minste één transporteur voor het tussen substations voor het verrichten van deelbewerkingen transporteren van een drager met elektronische componenten, en dat de lineaire bewegingsrichting van de manipulator althans in hoofdzaak loodrecht staat 10 op de transportrichting van de transporteur van het bewerkingsstation.
31. Samenstel volgens conclusie 30, met het kenmerk dat het bewerkingsstation is voorzien van ten minste één rollentransporteur waarvan de transportrichting aansluit op de transportrichting van de lineaire manipulator van de inrichting voor het tussen een 15 voorraadhouder en een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten.
32. Samenstel volgens conclusie 30 of 31, met het kenmerk dat het bewerkingsstation een omhulinrichting is voor het met een omhulmateriaal omgeven 20 van de met een drager verbonden elektronische componenten.
33. Samenstel volgens een der conclusies 30 - 32, met het kenmerk dat tussen het bewerkingsstation en de inrichting voor het tussen een voorraadhouder en een bewerkingsstation verplaatsen van een drager met elektronische componenten een 25 inrichting staat opgesteld voor het beperken van vervorming van de drager ten gevolge van de bewerking die de drager heeft ondergaan in het bewerkingsstation. 102*907
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL1028907A NL1028907C2 (nl) | 2005-04-29 | 2005-04-29 | Werkwijze en inrichting voor het aanvoeren en het afvoeren van dragers met elektronische componenten. |
PCT/NL2006/050101 WO2007001179A2 (en) | 2005-04-29 | 2006-04-25 | Method and device for supplying and discharging carriers with electronic components |
KR1020077027573A KR101236878B1 (ko) | 2005-04-29 | 2006-04-25 | 전자 부품을 갖는 캐리어를 공급 및 취출하는 방법 및 장치 |
CN2006800140284A CN101167172B (zh) | 2005-04-29 | 2006-04-25 | 用于提供和卸除具有电子元件的承载器的方法和设备 |
MYPI20061950A MY162382A (en) | 2005-04-29 | 2006-04-27 | Method and device for supplying and discharging carries with elecronic components |
TW095114996A TWI453847B (zh) | 2005-04-29 | 2006-04-27 | 用於供應及卸放具有電子元件之載具之方法及裝置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL1028907 | 2005-04-29 | ||
NL1028907A NL1028907C2 (nl) | 2005-04-29 | 2005-04-29 | Werkwijze en inrichting voor het aanvoeren en het afvoeren van dragers met elektronische componenten. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL1028907C2 true NL1028907C2 (nl) | 2006-10-31 |
Family
ID=35756366
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL1028907A NL1028907C2 (nl) | 2005-04-29 | 2005-04-29 | Werkwijze en inrichting voor het aanvoeren en het afvoeren van dragers met elektronische componenten. |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101236878B1 (nl) |
CN (1) | CN101167172B (nl) |
MY (1) | MY162382A (nl) |
NL (1) | NL1028907C2 (nl) |
TW (1) | TWI453847B (nl) |
WO (1) | WO2007001179A2 (nl) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6804409B2 (ja) * | 2017-08-04 | 2020-12-23 | Towa株式会社 | 樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法 |
TWI671847B (zh) * | 2018-02-09 | 2019-09-11 | 鴻勁精密股份有限公司 | 電子元件作業設備 |
DE102018205926B3 (de) * | 2018-04-18 | 2019-08-29 | Asm Assembly Systems Gmbh & Co. Kg | Beladevorrichtung, Bestücksystem und Verfahren zum Bestücken von SMT Leiterplatten mit SMT Bauteilen |
JP7068094B2 (ja) * | 2018-08-10 | 2022-05-16 | アピックヤマダ株式会社 | ワーク搬送装置、樹脂搬送装置及び樹脂モールド方法 |
KR20220090156A (ko) * | 2020-12-22 | 2022-06-29 | (주)테크윙 | 전자부품 전달장치 및 전자부품 처리용 핸들러 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0272141A2 (en) * | 1986-12-19 | 1988-06-22 | Applied Materials, Inc. | Multiple chamber integrated process system |
JPS6487016A (en) * | 1987-09-30 | 1989-03-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Operating method for roller leveler |
NL9401211A (nl) * | 1993-07-22 | 1995-02-16 | Towa Corp | Werkwijze en inrichting voor het vormen van hars om elektronische delen af te dichten. |
NL9401930A (nl) * | 1994-11-18 | 1996-07-01 | Fico Bv | Modulaire omhulinrichting. |
NL1003366C2 (nl) * | 1996-06-18 | 1997-12-19 | Fico Bv | Inrichting en werkwijze voor het omhullen van produkten. |
US6069342A (en) * | 1996-12-18 | 2000-05-30 | Texas Instruments Incorporated | Automated multiple lead frame strip radiant die attach material curing apparatus |
US20020170672A1 (en) * | 1997-06-04 | 2002-11-21 | Ilya Perlov | Method and apparatus for improved substrate handling |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57128940A (en) * | 1981-02-04 | 1982-08-10 | Sony Corp | Heat treating method for substrate |
KR101120497B1 (ko) * | 2002-11-15 | 2012-02-29 | 외를리콘 솔라 아게, 트뤼프바흐 | 2차원 확장 기판의 진공처리용 장치 및 그기판의 제조방법 |
CN100410750C (zh) * | 2003-06-17 | 2008-08-13 | 友达光电股份有限公司 | 承载翻转平台 |
NL1028824C2 (nl) * | 2005-04-20 | 2006-10-23 | Fico Bv | Werkwijze en inrichting voor het verplaatsen van in een rechthoekige structuur gerangschikte elektronische componenten. |
-
2005
- 2005-04-29 NL NL1028907A patent/NL1028907C2/nl active Search and Examination
-
2006
- 2006-04-25 WO PCT/NL2006/050101 patent/WO2007001179A2/en active Application Filing
- 2006-04-25 KR KR1020077027573A patent/KR101236878B1/ko active IP Right Grant
- 2006-04-25 CN CN2006800140284A patent/CN101167172B/zh active Active
- 2006-04-27 MY MYPI20061950A patent/MY162382A/en unknown
- 2006-04-27 TW TW095114996A patent/TWI453847B/zh active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0272141A2 (en) * | 1986-12-19 | 1988-06-22 | Applied Materials, Inc. | Multiple chamber integrated process system |
JPS6487016A (en) * | 1987-09-30 | 1989-03-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Operating method for roller leveler |
NL9401211A (nl) * | 1993-07-22 | 1995-02-16 | Towa Corp | Werkwijze en inrichting voor het vormen van hars om elektronische delen af te dichten. |
NL9401930A (nl) * | 1994-11-18 | 1996-07-01 | Fico Bv | Modulaire omhulinrichting. |
NL1003366C2 (nl) * | 1996-06-18 | 1997-12-19 | Fico Bv | Inrichting en werkwijze voor het omhullen van produkten. |
US6069342A (en) * | 1996-12-18 | 2000-05-30 | Texas Instruments Incorporated | Automated multiple lead frame strip radiant die attach material curing apparatus |
US20020170672A1 (en) * | 1997-06-04 | 2002-11-21 | Ilya Perlov | Method and apparatus for improved substrate handling |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 013, no. 296 (M - 846) 10 July 1989 (1989-07-10) * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080005447A (ko) | 2008-01-11 |
WO2007001179A2 (en) | 2007-01-04 |
MY162382A (en) | 2017-06-15 |
TWI453847B (zh) | 2014-09-21 |
CN101167172A (zh) | 2008-04-23 |
CN101167172B (zh) | 2010-05-19 |
WO2007001179A3 (en) | 2007-08-16 |
TW200727383A (en) | 2007-07-16 |
KR101236878B1 (ko) | 2013-02-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106995140B (zh) | 一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组 | |
US20110276174A1 (en) | Palletizer machine and method of palletizing | |
JPH0549422B2 (nl) | ||
NL9401930A (nl) | Modulaire omhulinrichting. | |
KR20220051016A (ko) | 처리 유닛에 제품의 그룹을 공급하는 방법 및 시스템 | |
NL1028907C2 (nl) | Werkwijze en inrichting voor het aanvoeren en het afvoeren van dragers met elektronische componenten. | |
CN214088630U (zh) | 一种工字电感自动浸锡装置 | |
NL2001790C2 (nl) | Inrichting en werkwijze voor het zagen van elektronische componenten. | |
US6848174B2 (en) | Apparatus and method for processing electronic components | |
JP7203414B2 (ja) | 樹脂供給取出装置、ワーク搬送装置及び樹脂モールド装置 | |
TW201701392A (zh) | 電子元件載盤搬送方法及裝置 | |
JPS61252035A (ja) | 組立て装置 | |
KR20070109954A (ko) | 카세트 운반 방법 및 카세트 운반 장치 | |
CN103415352A (zh) | 液体涂覆装置和液体涂覆方法 | |
JP4370041B2 (ja) | 樹脂タブレット供給装置及び樹脂封止装置 | |
CN108605431B (zh) | 元件封装设备及其方法 | |
CN211365091U (zh) | 一种电源适配器自动上下料设备 | |
CN103391819A (zh) | 液体涂覆装置和液体涂覆方法 | |
JP3911402B2 (ja) | 半導体封止装置 | |
KR20160069749A (ko) | 반도체 패키지 몰딩 시스템 | |
CN218429397U (zh) | 半导体自动化塑封设备 | |
US20020172580A1 (en) | Workpiece-carrier changeover arrangement and the method for changing over workpiece carriers | |
CN212023987U (zh) | 一种sip封装工艺中全自动化高效激光镭射系统 | |
NL1008018C2 (nl) | Werkwijze en inrichting voor het separeren en overzetten van electronische componenten. | |
US20240150124A1 (en) | System, method and use for picking objects for eyeglass manufacturing |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PD2B | A search report has been drawn up | ||
SD | Assignments of patents |
Effective date: 20131017 |
|
TD | Modifications of names of proprietors of patents |
Effective date: 20131017 |