TW411493B - Blade cover in a cutting apparatus - Google Patents

Description

411493 A7 B7 五、發明説明（彳) 〔發明所屬之技術領域〕 本發明係有關一種爲了保護進行切削半導體晶圓等的 切削裝置的刀片等設在刀片周圍之刀片蓋。 〔習知之技術〕 被配設在切削半導體晶圓等的切削裝置之切削機構’ 係爲周知的第1 0圖所示之切削機構5 0 ;該切削機構5 0，係由可旋轉的支持在主軸殼51內之主軸52、和被 安裝在主軸5 2之旋轉刀片5 3、和覆蓋在旋轉刀片5 3 周圍並被安裝在主軸殼5 1前端之刀片蓋5 4所概略構成 的。 刀片蓋5 4係由被安裝在主軸殼5 1之後部蓋5 5、* 和以螺栓5 6固定在後部蓋5 5的前面並在後部蓋5 5之 間隔著旋轉刀片5 3而配設之前部蓋5 7、和利用裝卸用 螺栓5 8裝卸自如的配設在後部蓋5 5的上部，更利用微 調整用螺釘5 9來微調整安裝位置之刀片檢測機構6 0所 構成的。 在後部蓋5 5及前部蓋5 7，係分別配設有於切削時 供應切削水之切削水供應噴嘴5 5 a、5 7 a ;又，如第 1 1圖所示，在刀片檢測機構6 0係具備有相對立之發光 元件6 #與感光元件6 2 f於感光元件6 2來感光自發光 元件6 1所發光的光，即可根據感光的光強度來檢測旋轉 刀片5 3的缺口狀態。 -H - n HI n n u 1 j - x 1 - τ 穿 - i (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本f ) 本紙張尺度通扣中围围家標準（CNS ) Λ4ϋ格（210X297公釐） -4- 411493 a7 B7 -" —I . _ ___________- - — _ 五、發明説明（2 ) ' 〔發明欲解決之問題〕 但是，爲了更換刀片等卸下旋轉刀片5 3時，由於配 設在前部蓋5 7的切削水供應噴嘴5 7 a會造成不便，必 須鬆開螺栓5 6從後部蓋5 5卸下前部蓋5 7 ;又，裝卸 前部蓋5 7之際’旋轉刀片5 3會接觸到切削水供應噴嘴 5 7 a而有破壞旋轉刀片5 3的情形= 甚至卸下旋轉刀片5 3之際，必須鬆開裝卸用螺栓 5 8，刀片檢測機構6 0也須讓路等待在比旋轉刀片5 3 外周更上方之處；又，爲了淸.理刀片檢測機構6 0等卸下 刀片檢測機構6 0之際，必要完全卸下裝卸用螺栓5 8， 又，安裝時，必須螺緊裝卸用螺栓5 8，同時利用微調整 用螺栓5 9來進行安裝位置的微調整。 如此一來，習知之刀片蓋於裝卸旋轉刀片及刀片檢測 機構必須做煩雜的作業，而具有解決有關煩雜度，且 達到裝卸容易化及縮短裝卸時的時間之謀題。 〔用以解決課題之手段〕 爲解決上述課題的>具體機構本發明係提供一針對包含 :保持被加工物之夾頭台_、和切削被保持在該夾頭台的被 加工物之切削機構之切置虫其特徵爲： 切削機構係包含有安裝旋轉刀片之主軸、和可旋轉的 支持該主軸之主軸殼； 在該主軸殼係安裝由配設有從後部供應切削水至旋轉 刀片的後部切削水供應噴嘴之刀片蓋本體、和 —ΙΊ1Ν--------.----- ------嫂、- (誚先閱讀背面之注意事項再填寫本W) 本紙张尺度速用中國國家標準（CNS )六心兄格（2l〇XW7公釐) ~ A7 B7 411493 五、發明説明（3 ) ' 在該刀片蓋本體之間隔著旋轉刀片從前部供應切削水 之前部切削水供應噴嘴體、和 檢測旋轉刀片狀態之刀片檢測機構所構成之刀片蓋； 前部切削佚應」直嘴體係被定位在作用位置與非作用位 置，在該位置聯動並讓刀片檢測機構被定位在作用位置與 非作用位置之切削裝置之刀片蓋者。 如此一來，切削水供應噴嘴體與刀片檢測機構爲聯動 而定位，藉此不必如習知般需個別進行裝卸，就能達到作 業的效率化。 又，其附加要件爲：前部切削水供應噴嘴體，係具有 可旋轉的卡合在刀片蓋本體之臂部、和連結在該臂部之前 部切削水供應噴嘴，前部切削水供應噴嘴體，係利用旋轉 而被定位在作用位置與非作用位置，刀片檢測機構係可上 下動的被配設在刀片蓋本體，利用設在臂部的卡合構件的 作用而在前部切削水供應噴嘴體的旋轉做聯動的上下動作 ，且被定位在作用位置與非作用位置。 利用設有臂部的卡合構件的作用而在前部切削水供應 噴嘴體的旋轉做聯動來上下作動刀片檢測機構，藉此即可 以一觸即開式來開關前部切削水供應噴嘴體，同時將刀片 檢測機構讓路等待在不妨礙旋轉刀片更換等作業的上方位 置。 甚至其附加要件爲：在前部切削水供應噴嘴體係配設 有卡止構件’於前述前部切削水供應噴嘴體被定位在作用 位置之際’利用前述卡止構件來維持固定作用位置的定位 本紙張尺度適用中围國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） — 1!1;-----------丨訂，------？ (誚先閱讀背而之注項再填寫本頁). 好浐部中夾打ί-Λβ.τ.ίβ介合作办印^ -6- 411493 B7___ 五、發明説明（4 )… 1 :及卡止構件係爲具有卡合部之板簧，在刀片蓋本體，係 形成有卡合前述卡合部之被卡合部。 利用卡止機維持固是ir矿位置前定位，藜此即予 需奠習知所使用的螺栓，也不需要裝卸螺栓等作業。 又，其附加要件爲：前部切削水供應噴嘴體被定位在 非作用位置之際，刀片檢測機構係爲打開形在前部切削水 供應噴嘴體的臂部之卡合構件，即可脫離刀片蓋本體。 藉由此種構成，就能很容易的進行裝卸刀片檢測機構 0 / 再者其附加要件爲：在前部切削供應噴嘴體係配設有 開關用之把持構件。 藉由配設此種把持構件，就能簡便的進行旋轉前部切-削水供應噴嘴體的操作。 〔發明之實施形態〕 本發明之實施形態係就配設在第1圖所示的切削裝置 1 0的切削機構之刀片蓋做說明；於切削裝置1 0中，保 持半導體晶圓等被加工物的夾頭台11是在X軸方向移動 ，且被定位在校準機構1 2的正下方利用圖案匹配等處理 來檢測應該切削的範圍，更藉由夾頭台1 1在X軸方向的 移動，利用切削機構1 3來切削應該切削的範圍。 切削機構1 3，係如第2圖，由爲圓板狀刀刃之旋轉 刀片1 4 '和前端安裝旋轉刀片1 4之主軸1 5、和可旋 轉的支持主軸15之主軸殼16所構成的；並在主軸殼 本紙張尺度適扣中®國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐} (讀先閱讀背面之注意事項再填ΐ?本I) 訂、 好妒部中次"1?而爻-"消货合作心印欠 411493 A7 -…' By 五、發明说明（5 ) ' 1 6前端安裝刀片蓋2 0。 該刀片蓋2 0係由被安裝在主軸1 6之刀片蓋本體 2 1、和配設在刀片蓋本體2 1上部之刀片檢測機構2 2 、和配設在刀片蓋本體2 1前部之前部切削水供應噴嘴體 2 3所構成的。 刀片蓋本體2 1係被安裝在主軸殻1 6的前端，在其 下部配設有從後部供應切削水至旋轉刀片1 4之後部切削 水供應噴嘴2 4 ;又在側面係設有卡止被設在前部切削水 供應噴嘴體2 3的卡止機構3 6的卡合部3 7之被卡合部 3 8，更從上部突出兩根圓柱狀之引導突起2 5。 刀片檢測機構2 2係在其下部設有如習知例的第1 1 圖所示的相對立的發光元件與感光元件之檢測部2 6，引 導突起2 7 (參照第4圖）係被設在刀片蓋本體2 1的導 槽2 8所引導，並可上下動的被卡合，又兩個導孔2 9係 從刀片蓋本體2 1突出於上方的兩根引導突起2 5所引導 ，並可上下動的做遊動嵌合；又，在側面係具備有卡合前 部切削水洪應水供應噴嘴體2 3的卡合構件3 0之卡合槽 3 1° 前部切削水供應噴嘴體2 3係具備有在刀片蓋本體 2 1之間隔著旋轉刀片1 4而配設的，由以旋轉軸3 2爲 中心而可旋轉的被卡合之臂部3 3、和被連結在臂部3 3 來供應切削水之前部切削水供應噴嘴3 4、和旋轉時把持 臂部3 3之把持構件3 5所構成的；又，在臂部33係具 備有作動刀片檢測機構2 2的卡合槽3 1內的圓柱狀突起 (請先閱讀背面之ΐί意事項孙填巧本f )

-S 本紙張尺度適州中國國家標準（CNS ) A4規势（210X297公釐） -8- 41149含 A7 B7 五、發明説明（6 ) "~" ~~~ 之卡合構件3 0 ’更具備有爲了維持與刀片蓋本體2 1的 固定狀態的板簧之卡止機構3 6。 (誚先閲讀背面之注意事項再墒碎本S ) 於此種切削裝置中’旋轉刀片14是被安裝在主軸 1 5 ’從旋轉刀片1 4的前後邊供應切削水邊切削被加工 物的狀態中’如第2及3圖所示，卡止機構3 6的卡合部 3 7是卡合在刀片蓋本體2 1的被卡合部3 8 ,且前部切 削水供應噴嘴體2 3係位於作用位置而以整體維持固定被 卡合在刀片蓋本體2 1的狀態。 卸下旋轉刀片1 4之際’首先把持構件3 5往前舉起 ’藉此將在作用位置的前部切削水供應噴嘴體2 3往前側 上方舉起’就能解除卡合部3 7與被卡合部3 8的卡合狀 態，以旋轉軸3 2爲中心向上方旋轉臂部3 3。 被設在臂部3 3的卡合構件3 0，係如第2及3圖所 示’臂部3 3旋轉前係位於卡合槽3 1的下端：一旦從該 狀態緩緩地旋轉臂部3 3，卡合構件3 0就會在卡合槽 3 1內向上方移動’不久就碰撞到卡合槽3 1的頂部3 9 ;且一旦更爲舉起把持構件3 5而旋轉臂部3 3，如第4 及5圖所示，卡合構件3 0會在卡合槽3 1內一邊移動至 後部一邊舉起頂部3 9，引導構件2 7會被導槽2 8引導 ，同時導孔2 9會一邊被引導突起2 5引導一邊將刀片檢 測機構2 2整體往上推；再者，於第4圖中圖式省略，但 被連結在臂部3 3的前部切削水供應噴嘴3 4也是隨著臂 部33的旋轉做旋轉。 且一旦更加旋轉臂部3 3 ,臂部3 3會碰撞到旋轉抑 本紙张尺度適中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 411493 A7 B7 五、發明説明（7 ) 止部4 0而停止旋轉’前部切削水供應噴嘴體2 3 ’係定 位在非作用位置，爲第6、7及8圖所示的狀態；該狀態 係自旋轉刀片1 4的外周將前部切削水供應噴嘴體2 3的 前部切削水供應噴嘴3 4及刀片檢測機構2 2更往，i：.推’ 連裝卸旋轉刀片14,碰撞到前部切削水供應噴嘴3 4或 刀片檢測機構2 2，而破壞旋轉刀片1 4的危險性也減少 ，易於進行旋轉刀片14的更換；因而只要鬆開安裝用螺 栓4 1就能從主軸1 5的前端卸下，很容易的進行旋轉刀 片1 4的裝卸。 如此一來當前部切削水供應噴嘴體2 3被定位在非作 用位置，卡合機構3 0係如第8圖所示，爲位於卡合槽 3 1的開放部4 2的正上方；因而，如第9圖所示，將刀-片檢測機構2 2往上舉起·藉此卡合構件3 0係爲位於卡 合槽3 1的外部，卡合槽3 1會從與卡合構件3 0的卡合 狀態被打開，而引導構件2 7及導孔2 9也會從與導槽 2 8及引導突起2 5的卡合狀態被打開，刀片檢測機構 2 2就能脫離刀片蓋本體2 1。 另一方面，一次脫離刀片蓋本體2 1的刀片檢測機構 2 2，係如以下被安裝在刀片蓋本體2 1 ;首先，透過開 放部4 2將卡合構件3 0嵌合在卡合槽3 1 ;並且反轉臂 部3 3 ’藉此這回卡合構件3 0會在卡合槽3 1移動至前 部’刀片檢測機構2 2，係爲引導構件2 7被導槽2 8引 導’同時導孔2 9會一邊被引導突起2 5引導一邊下降， 如第2及3圖所示’當前部切削水供應噴嘴體2 3被定位 本紙張尺度適用中围國家榡準（CNS>A4規格（210X297公釐} 訂------广| (請先聞讳背面之注意事項典填巧本頁) -10 - 411493 A7 B7 五、發明説明（8 ) ' 在作用位置時，刀片檢測機構.2 2也會回到作用位置；此 時，前部切削水供應噴嘴體2 3係以卡合機構3 6的卡合 部3 7卡合在被卡合部3 8來維持固定在作用位置之定位 〇 如此，前部切削水供應噴」輿體2 3與刀片檢測機構 2 2爲聯動，藉由卡合構件3 0的作用，一旦前部切削水 供應噴嘴體2 3定位._在-作甩位置，刀片檢測機構2 2也會 被定位在作用位置，一旦前,.直_切-削_水供應噴嘴體2 3被定 位在非作ϋ置，刀片檢測機構2 2也會被定位在非作用 位置。 〔發明之效果〕 如以上說明，有關本發明之切削裝置之刀片蓋，，系利 應噴嘴體與刀片檢測機構爲聯動而定位的，不 必如習知般需個別進行裝卸，ή可達到作業效化，又， 利用設在臂部的卡合構件的作用在前述切削水供應噴嘴體 ，的旋轉做聯動而上下作動片二檢_遍[_機_搆J藉&亂-可Λ又觸 即開式來開關前部切削水供應噴嘴體，同時將刀片檢測機 構讓路等待在不妨礙更換旋轉刀片等作業的上方位置，更 利用卡止機構持固定作用位置的定位，由於藉此不需 .要習知所使用的螺栓，也不需要裝卸螺栓等作業，就能縮 短旋轉刀片的更篮需的時_間,。 又，前部切削水供應噴嘴體被定位在非作用位置之際 ，刀片檢測機構會從形成在前部切削水供應噴嘴體的臂部 本紙張尺度適扣中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 111 — —.----}------ 訂------严 _- (请先間讀背而之注意事項再填巧本哀) -11 - A7 411493 B7 五、發明説明（9 ) ' 的卡合構件被打開，脫離刀片蓋本體’藉此就能很容易地 進行裝卸刀片檢測機構。 更在前部切削水供應噴嘴體配設開關用之把持構件’ 藉此就能很簡便地進行旋轉前部切削水供應噴嘴體的操作 〔圖面之簡單說明〕 第1圖係表示配設有關本發明切削裝置之刀片蓋的切 削裝置之立體圖； 第2圖係表示同一切削裝置之刀片蓋的實施形態的其 中一例之立體圖； 第3圖係表示同一切削裝置之刀片蓋中，前部切削水， 供應噴嘴體與刀片蓋本體及刀片檢測機構的卡合狀態之說 明圖； 第4圖係表示同一切削裝置之刀片蓋中，前部切削水 供應噴嘴體與刀片檢測機構爲連動狀態之立體圖； 第5圖係表示同一切削裝置之刀片蓋中，前部切削水 供應噴嘴體與刀片蓋本體及刀片檢測機構的卡合狀態之說 明圖； 第6圖係表示同一切削裝置之刀片蓋中，前部切削水 供應噴嘴體與刀片檢測機構爲連動狀態之立體圖； 第7圖係表示同一切削裝置之刀片蓋被定位在非作用 位置的狀態之側面圖； 第8圖係表示同一切削裝置之刀片蓋中，前部切削水 本紙張尺度適用中固國家標率（CNS ) A4规格（21 OX297公釐） (誚先閱讀背.δ之注意事項界填』??本及) 'yf -12- A7 B7 412493 五、發明説明（10 供應噴嘴體與刀片蓋本體及刀片檢測機構的卡合狀態&說 明圖； (請先閱讀背面之注意事項再填巧本芄) 第9圖係表示同一切削裝置之刀片蓋中，裝卸刀片檢 測機構的狀態之立體圖； 第1 0圖係表示習知切削裝置之刀片蓋之立體圖： 第1 1圖係表示習知刀片檢測機構的構成之說明圖。 〔符號之說明〕 1 0 :切削裝置 1 1 :夾頭台 1 2 :校準機構 1 3 :切削機構 1 4 :旋轉刀片 1 5 :主軸 1 6 :主軸殻 2 0 :刀片蓋 2 1 :刀片蓋本體 2 2 :刀片檢測機構 2 3 :前部切削水供應噴嘴體 2 4 :後部切削水供應噴嘴 2 5 :引導突起 2 6 :檢測部 2 7 :引導構件 2 8 ·_導槽 2 9 :導孔 本紙張尺度適州中國國家標準（CNS )八4说格（210X297公釐） -13- 411493 A7 B7

五、發明説明（H 3 0 :卡合構件 3 1 :卡合槽 — 3 2 :旋轉軸 3 3 :臂部 3 4 :前部切削水供應噴嘴 3 5 :把持構件 3 6 :卡止機構 3 7 :卡合部 3 8 :被卡合部 3 9 :頂部 4 0 :旋轉抑止部 4 1 :安裝用螺帽 4 2 :開放部 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 好浐部中"^lf^h-T·消於4'竹71印緊 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4C格（2丨0X297公釐） -14-

Claims (1)

1. 脩疋! 4113 Α8 Β8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 第871 1 1689號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國89年2月修正 1 . 一種切削裝置之刀片蓋，針對包含：保持被加工 物之夾頭台、和切削被保持在該夾頭台的被加工物之切削 機構之切削裝置中，其特徵爲： 前述切削機構係包含有安裝旋轉刀片之主軸、和可旋 轉的支持該主軸之主軸殼； 在該主軸殼係安裝由配設有從後部供應切削水至前述 旋轉刀片的後部切削水供應噴嘴之刀片蓋本體、和 在該刀片蓋本體之間隔著前述旋轉刀片從前部供應切 削水之前部切削水供應噴嘴體、和 檢測前述旋轉刀片狀態之刀片檢測機構所構成之刀片 蓋； 前述前部切削供應噴嘴體係被定位在作位置與非作位 置，在該位置聯動並讓前述刀片檢測機構被定位在作用位 置與非作用位置。 2 .如申請專利範圍第1項之切削裝置之刀片蓋，其 中，前部切削水供應噴嘴體，係具有可旋轉的卡合在刀片 蓋本體之臂部、和連結在該臂部之前部切削水供應噴嘴， 前述前部切削水供應噴嘴體，係利用前述旋轉而被定位在 作用位置與非作用位置； 刀片檢測機構係可上下動的被配設在前述刀片蓋本體 ，利用設在前述臂部的卡合構件的作用而在前述前部切削 本紙張尺度速用中國困家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）-1 - ---------^------訂------^ (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 脩疋! 4113 Α8 Β8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 第871 1 1689號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國89年2月修正 1 . 一種切削裝置之刀片蓋，針對包含：保持被加工 物之夾頭台、和切削被保持在該夾頭台的被加工物之切削 機構之切削裝置中，其特徵爲： 前述切削機構係包含有安裝旋轉刀片之主軸、和可旋 轉的支持該主軸之主軸殼； 在該主軸殼係安裝由配設有從後部供應切削水至前述 旋轉刀片的後部切削水供應噴嘴之刀片蓋本體、和 在該刀片蓋本體之間隔著前述旋轉刀片從前部供應切 削水之前部切削水供應噴嘴體、和 檢測前述旋轉刀片狀態之刀片檢測機構所構成之刀片 蓋； 前述前部切削供應噴嘴體係被定位在作位置與非作位 置，在該位置聯動並讓前述刀片檢測機構被定位在作用位 置與非作用位置。 2 .如申請專利範圍第1項之切削裝置之刀片蓋，其 中，前部切削水供應噴嘴體，係具有可旋轉的卡合在刀片 蓋本體之臂部、和連結在該臂部之前部切削水供應噴嘴， 前述前部切削水供應噴嘴體，係利用前述旋轉而被定位在 作用位置與非作用位置； 刀片檢測機構係可上下動的被配設在前述刀片蓋本體 ，利用設在前述臂部的卡合構件的作用而在前述前部切削 本紙張尺度速用中國困家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）-1 - ---------^------訂------^ (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 411493 A8 B8 C8 ____D8 六、申請專利範圍 水供應噴嘴體的旋轉做聯動的上下動作，且被定位在作用 位置與非作用位置。 3 .如申請專利範圍第2項所述之切削裝置之刀片蓋 ’其中’在前部切削水供應噴嘴體係配設有卡止構件； 前述前部切削水供應噴嘴體被定位在作用位置之際， 利用前述卡止構件來維持固定前述作用位置的定位。 4 .如申請專利範圍第3項所述之切削裝置之刀片蓋 ，其中*卡止構件係爲具有卡合部之板簧； 在刀片蓋本體，係形成卡合前述卡合部之被卡合部。 5 .如申請專利範圍第2項所述之切削裝置之刀片蓋 ，其中，前部切削水供應噴嘴體被定位在非作用位置之際 ，刀片檢測機構係爲打開形在前述前部切削水供應噴嘴體 的臂部之卡合構件，即可脫離刀片蓋本體》 6 ·如申請專利範圍第1、2、3、4或5項所述之 切削裝置之刀片蓋，其中，在前部切削供應噴嘴體係配設 有開關用之把持構件。 ---------^------1T------^ 1 {請先Η讀背面之注意事項再填寫本頁) ' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度通用中鬮國家揉丰（CMS ) Α4規格（210X297公釐）-2 -