JP4694210B2 - ブレードカバー装置 - Google Patents

Description

本発明は，切削装置の切削ブレードを覆うブレードカバー装置に関する。

精密切削装置，例えばダイシング装置においては，高速回転するスピンドルの先端部に装着された切削ブレードを用いて，半導体ウェハ等の被加工物を切削する。かかる切削装置では，図７に示すように，切削ブレード１２２の外周を覆うようにしてブレードカバー１４０が配設されている。このブレードカバー１４０には，切削ブレード１２２や加工点を冷却したり，切削屑を押し流したりするために，切削ブレード１２２の両側面（Ｙ軸方向前面および背面）側から切削液を供給する一対の側面ノズル（ブレードクーラノズル）１２７が設けられている。

さらに，この側面ノズル１２７だけでは切削液を十分に供給できない場合などには，切削ブレード１２２の外周面に対して切削液を供給する外周ノズル（シャワーノズル）１６４が追加設置される。この外周ノズル１６４は，通常，切削ブレードの外周面と対向するように切削方向前方に配設される。この外周ノズル１６４を追加設置する場合，ブレードカバー１４０に対して外周ノズルユニット１６０を外付けする方式が一般的であった。

この外周ノズルユニット１６０を外付けするときには，図７に示すように，ブレードカバー１４０の側面側から，外周ノズルユニット１６０をブレードカバー１４０に対してボルト１５０で固定していた。この固定方式では，外周ノズル１６４の噴射口１６２のスピンドル軸方向（Ｙ軸方向）の位置を，切削ブレード１２２の外周面の位置に正確に合わせる必要がある。この噴射口１６２の位置と，切削ブレード１２２の外周面の位置とが正確に合っていないと，外周ノズル１６４による冷却効果が低減し，被加工物に大きなチッピングが発生してしまうという問題が生じる。そこで，外周ノズルユニット１６０のボルト貫通孔をＹ軸方向と平行な長孔にしてＹ軸方向に位置調節可能な構成にしておき，外周ノズルユニット１６０をブレードカバー１４０に取り付けるときには，外周ノズルユニット１６０が適正なＹ軸位置に位置づけられるように微調節した上で，ブレードカバー１４０の側面側からボルト１５０で外周ノズルユニット１６０を固定していた。

ところが，設置面積が小さい切削装置の場合，図７に示すように，ブレードカバー１４０の近傍に，切削装置本体の壁やカバー等の障害物１１１が存在するため，ブレードカバー１４０の側面側には非常に狭いスペースしか存在ない。このため，外周ノズルユニット１６０の取り付け作業では，特殊な工具が必要となり作業が困難であるため，ある程度熟練したオペレータでなければ，取り付けることができないという問題があった。

かかる問題を解決するために，特許文献１，２に記載されているように，外周ノズルユニットとブレードカバーとを一体化して，外周ノズルをブレードカバーに内蔵化する構成が考えられる。このように外周ノズルをブレードカバーに内蔵化することによって，外周ノズルユニットを後から取り付けるといったオペレータの作業が不要になるからである。

特開２００３−５９８６４号公報 特開平１１−１１４９４９号公報

しかしながら，上記従来の外周ノズルが内蔵化されたブレードカバーでは，例えば，初期設定時に切削ブレードの外周面と外周ノズルの噴射口とを正確に位置合わせして外周ノズルを内蔵化させ，かつ，同じ種類の切削ブレードを交換使用した場合であったとしても，切削ブレードの交換後には，外周ノズルの噴射口と切削ブレードの外周面とのＹ軸方向の位置がずれてしまうという問題があった。より詳細には，切削装置では，数μｍレベルの切削加工精度が要求されるが，切削ブレードや切削ブレードを固定するマウント部材などの品質がそのレベルを満たすことは難しい。このため，マウントナットを締める力や切削ブレードの品質による厚さのバラツキ，更には，スピンドルとマウント部材とを接合するテーパ面を高精度に製作することは困難であり誤差が生じやすい，などといった要因から，切削ブレードを交換すると，どうしても外周ノズルの噴射口と切削ブレードの外周面とのＹ軸方向の位置がずれてしまっていた。この結果，外周ノズルから噴射された切削液による冷却効果が低減し，被加工物にチッピングが生じることがあった。

また，外周ノズルユニットを外付けする方式のブレードカバーでは，外周ノズルユニット１６０全体の位置をＹ軸方向に微調節して取り付けていたが，外周ノズルを内蔵化する方式のブレードカバーでは，このような調節方式では，外周ノズルの噴射口の位置をＹ軸方向に調節することができないという問題があった。

さらに，かかる外周ノズルの噴射口の位置調節作業を，ブレードカバーの側面側から行ったのでは，特殊な工具が必要となり作業が困難となる。このため，外周ノズルの噴射口の位置を，ブレードカバーの前面側から容易に調節することが可能なブレードカバーが希求されていた。

そこで，本発明はこのような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，外周ノズルが内蔵化されたブレードカバー装置において，ブレードカバー装置の前面側から，外周ノズルの噴射口の位置をスピンドル軸方向に容易に調節することが可能な，新規かつ改良されたブレードカバー装置を提供することにある。

上記課題を解決するために，本発明の第１の観点によれば，スピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって：ブレードカバー装置に内蔵化され，切削ブレードの外周面と対向配置され，切削ブレードに切削液を供給する外周ノズルと；外周ノズルの噴射口の位置をスピンドルの軸方向に移動させる噴射口位置調節手段と；を備え，上記ブレードカバー装置の上部側は一体的に構成され，上記ブレードカバー装置の下部側は，スピンドルの軸方向に，外周ノズルが内蔵化されたブレードカバー前部と，ブレードカバー前部と所定の隙間を空けて配置されるブレードカバー後部とに分断されており，上記噴射口位置調節手段は，ブレードカバー装置の前面側からスピンドルの軸方向にブレードカバー前部を貫通して，ブレードカバー後部と係合する押さえボルトと；ブレードカバー装置の前面側からスピンドルの軸方向にブレードカバー前部に挿入されてブレードカバー前部と係合し，その先端部がブレードカバー後部の前面に当接する突き当てボルトと；を備え，押さえボルト及び突き当てボルトをブレードカバー装置の前面側から回転させることにより，外周ノズルの噴射口の位置をスピンドルの軸方向に移動させることを特徴とする，ブレードカバー装置が提供される。

かかる構成により，ブレードカバー装置に外周ノズルが内蔵化されている場合であっても，オペレータは，噴射口位置調節手段を操作して，外周ノズルの噴射口の位置をスピンドル軸方向に調節できる。このため，切削ブレードを交換した場合であっても，外周ノズルの噴射口の位置を切削ブレードの位置に合わせることができるので，外周ノズルからの切削液による冷却効果を向上させて，好適な状態で切削加工を実行できる。従って，被加工物にチッピングが発生することがなく，加工品質が向上する。

また，オペレータは，ブレードカバー装置の前面側から噴射口位置調節手段を操作できるので，特殊な工具を用いることなく，外周ノズルの噴射口の位置をスピンドルの軸方向に容易かつ迅速に調節することができる。なお，ブレードカバー装置の前面とは，ブレードカバー装置のスピンドル軸方向手前側の面（オペレータ側の面）である。一方，ブレードカバー装置の背面とは，ブレードカバー装置のスピンドル軸方向奥側の面（オペレータと反対側の面）である。

また，上記噴射口位置調節手段は，ブレードカバー装置の外周ノズルが内蔵化された部分をスピンドルの軸方向に弾性変形させることにより，外周ノズルの噴射口をスピンドルの軸方向に移動させる。これにより，噴射口位置調節手段の構造を簡単にすることができる。なお，ブレードカバー装置の外周ノズルが内蔵化された部分の材質は，好適に弾性変形な素材，例えばプラスチック等の合成樹脂であることが好ましい。

また，上記ブレードカバー装置の上部側は一体的に構成され，上記ブレードカバー装置の下部側は，スピンドルの軸方向に，外周ノズルが内蔵化されたブレードカバー前部と，ブレードカバー前部と所定の隙間を空けて配置されるブレードカバー後部とに分断されており，上記噴射口位置調節手段は，ブレードカバー装置の前面側からスピンドルの軸方向にブレードカバー前部を貫通して，ブレードカバー後部と係合する押さえボルトと；ブレードカバー装置の前面側からスピンドルの軸方向にブレードカバー前部に挿入されてブレードカバー前部と係合し，その先端部がブレードカバー後部の前面に当接する突き当てボルトと；を備え，押さえボルト及び／又は突き当てボルトをブレードカバー装置の前面側から回転させることにより，外周ノズルの噴射口の位置をスピンドルの軸方向に移動させるようにしてもよい。

かかる構成により，突き当てボルトおよび押さえボルトはブレードカバー装置前面側から操作可能である。この突き当てボルトを締結してブレードカバー前部に深く螺合させる，及び／又は，押さえボルトを弛緩してブレードカバー後部に浅く螺合させることにより，ブレードカバー前部をスピンドルの軸方向前面側に弾性変形させて，外周ノズルの噴射口をスピンドルの軸方向前面側に移動させることができる。また，突き当て部材を弛緩してブレードカバー前部に浅く螺合させる，及び／又は，押さえボルトを締結してブレードカバー後部に深く螺合させることにより，ブレードカバー前部をスピンドルの軸方向背面側に弾性変形させて，外周ノズルの噴射口をスピンドルの軸方向背面側に移動させることができる。このように，比較的簡単な構造の噴射口位置調節手段を用いて，ブレードカバー装置前面側から，外周ノズルの噴射口の位置を容易に調節できる。

以上説明したように本発明によれば，ブレードカバー装置に内蔵化された外周ノズルであっても，外周ノズルの噴射口の位置をスピンドル軸方向に調節できるので，切削ブレードを交換した場合であっても，外周ノズルの噴射口の位置を切削ブレードの外周面の位置に合わせることができる。このため，外周ノズルから噴射された切削液による冷却効果を向上させて，好適な状態で切削加工を実行できる。従って，切断加工により被加工物にチッピングが発生することを防止して，加工品質を向上できる。

また，オペレータは，ブレードカバー装置の前面側から噴射口位置調節手段を操作できるので，特殊な工具を必要とせずに，外周ノズルの噴射口の位置を容易に調節することができる。

以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

（第１の実施形態）
まず，図１に基づいて，本発明の第１の実施形態にかかる切削装置の一例であるダイシング装置１０の全体構成について説明する。なお，図１は，本実施形態にかかるダイシング装置１０を示す全体斜視図である。

図１に示すように，ダイシング装置１０は，例えば，半導体ウェハなどの被加工物を切削加工する切削手段である切削ユニット２０と，被加工物を保持する被加工物保持手段であるチャックテーブル（図示せず。）と，切削ユニット移動機構（図示せず。）と，チャックテーブル移動機構（図示せず。）とを備える。

切削ユニット２０は，スピンドルに装着された切削ブレード２２を備えている。この切削ユニット２０は，切削ブレード２２を高速回転させながら被加工物に切り込ませることにより，被加工物を切削して極薄のカーフ（切溝）を形成する。

また，チャックテーブルは，例えば，その上面が略平坦な円盤状のテーブルであり，その上面に真空チャック（図示せず。）等を具備している。このチャックテーブル上には，例えば，ウェハテープ（図示せず。）を介してフレーム（図示せず。）に支持された状態の被加工物が載置される。チャックテーブルは，かかる被加工物を真空吸着して安定的に保持する。

切削ユニット移動機構は，切削ユニット２０をＹ軸方向に移動させる。このＹ軸方向は，切削方向（Ｘ軸方向）に対して直交する水平方向であり，切削ユニット２０内に延設されたスピンドルの軸方向と一致する。切削ユニット２０をＹ軸方向に移動させることにより，切削ブレード２２の刃先を被加工物の切削位置（切削ライン）に位置合わせすることができる。また，切削ブレード２２の交換作業時や，後述する外周ノズルの噴射口位置調節作業時には，切削ユニット２０をＹ軸方向手前側（オペレータ側），即ち，ダイシング装置１０の前面（正面）側に前進させて，切削ユニット２０をオペレータが作業しやすい位置に配置することができる。さらに，この切削ユニット移動機構は，切削ユニット２０をＺ軸方向（垂直方向）にも移動させる。これにより，被加工物に対する切削ブレード２２の切り込み深さを調整することができる。

チャックテーブル移動機構は，切削加工時に，被加工物を保持したチャックテーブルを切削方向（Ｘ軸方向）に往復移動させて，被加工物に対し切削ブレード２２の刃先を直線的な軌跡で作用させる。

かかる構成のダイシング装置１０は，高速回転する切削ブレード２２を被加工物に切り込ませながら，切削ユニット２０とチャックテーブルとを相対移動させることにより，被加工物の格子状に配置された複数の切削ラインを切削する。これによって，被加工物をダイシング加工して，複数のチップに分割することができる。

ところで，図１に示すようなダイシング装置１０は，設置面積が小さくなるように装置構成が工夫されており，比較的縦長の構造となっている。このため，切削ユニット２０のＸ軸方向両サイドには，切削ユニット２０を覆う壁１１が，切削ユニット２０の近傍に配置されているので，切削ユニット２０の側方には，狭いスペースしか存在しない。従って，オペレータは，切削ユニット２０の側面側（Ｘ軸方向両側）から切削ユニット２０にアクセスして，各種の調整，メンテナンス作業を行うことが困難である。そこで，本実施形態にかかる切削ユニット２０では，オペレータが，切削ユニット２０の前面側（Ｙ軸方向手前側）からアクセスして，外周ノズルの噴射口の位置をスピンドルの軸方向（Ｙ軸方向）に調節できるように改善されている点に特徴を有する。なお，この噴射口位置調節手段の詳細については後述する。

次に，図２に基づいて，本実施形態にかかる切削ユニット２０の構成について詳細に説明する。なお，図２は，本実施形態にかかる切削ユニット２０を示す斜視図である。

図２に示すように，切削ユニット２０は，例えば，フランジ２１と，切削ブレード２２と，ナット２４と，スピンドル２５と，スピンドルハウジング２６と，側面ノズル２７と，ブレードカバー装置４０と，を主に備える。

切削ブレード２２は，例えば，略リング形状を有する極薄の切削砥石である。かかる切削ブレード２２は，例えば，フランジ２１およびナット２４などによって，スピンドル２５の先端部２５ａに装着される。本実施形態にかかる切削ブレード２２は，例えば，所謂ワッシャーブレードで構成されており，その両側をフランジ２１で挟持してナット２４で固定することによって，スピンドル２５に軸着される構成である。しかし，かかる例に限定されず，切削ブレード２２は，外周部に配される切削砥石である切り羽部と，当該切り羽部をスピンドル２５に軸着するための基台部とが一体構成されたハブブレードで構成されてもよい。

また，スピンドル２５は，例えば，モータ（図示せず。）の回転駆動力を切削ブレード２２に伝達するための回転軸であり，装着された切削ブレード２２を例えば３０，０００ｒｐｍで高速回転させることができる。このスピンドル２５の大部分は，スピンドルハウジング２６に覆われているが，その先端部２５ａは，スピンドルハウジング２６から露出しており，かかる先端部２５ａに切削ブレード２２等が装着される。なお，このスピンドル２５は，切削方向（Ｘ軸方向）と直交するＹ軸方向に延設されている。

また，スピンドルハウジング２６は，スピンドル２５の外周を覆うようにして設けられたハウジングである。このスピンドルハウジング２６は，内部に設けられたエアベアリング（図示せず。）等によって，スピンドル２５を回転可能に支持する。

また，側面ノズル２７は，例えば，ブレードカバー装置４０に取り付けられ，切削ブレード２２の側面（切削ブレード２２のＹ軸方向側の平坦面をいう。）の下部に隣接して配設される切削液供給ノズルである。この側面ノズル２７は，後述する図３等で示すように，切削ブレード２２の正面側に配される正面ノズル２７ａと，切削ブレード２２の背面側に配される背面ノズル２７ｂの総称である。かかる側面ノズル２７は，切削ブレード２２の側面下部および加工点に向けて，切削液（例えば切削水）を噴射する。このようにして切削液を供給することによって，切削ブレード２２および加工点を冷却して，切削加工時に被加工物にチッピングが発生することを防止できる。また，かかる切削液の供給によって，切削加工により生じた切削屑を洗い流すこともできる。

また，ブレードカバー装置４０は，切削ブレード２２の外周を覆うようにして配設され，スピンドルハウジング２６の先端部に固定される。このブレードカバー装置４０は，切削ブレード２２を保護するとともに，切削加工に伴う切削液や切削屑，破損したブレード片などが，切削ユニット２０外部に飛散することを防止する。このブレードカバー装置４０は，以下に詳述するように，切削液供給ノズルとして外周ノズルが内蔵化されており，この外周ノズルの噴射口の位置を調整する噴射口位置調節手段が設けられている点に特徴を有する。

次に，図２〜図３に基づいて，本実施形態にかかるブレードカバー装置４０について詳細に説明する。図３は，本実施形態にかかるブレードカバー装置４０を示す正面図（ａ）および右側面図（ｂ）である。

図２および図３に示すように，ブレードカバー装置４０は，大別すると，例えば，スピンドルハウジング２６に固定され，切削ブレード２２の外周を覆う固定基台部４４と，固定基台部４４の上部にＸ軸方向にスライド可能に取り付けられる移動カバー部４２と，から構成されている。

固定基台部４４は，例えば，プラスチック等の合成樹脂で形成された略直方体形状の部材であり，スピンドルハウジング２６の前面に固設されている。この固定基台部４４の前面（Ｙ軸方向手前側の面）の中央部には，切削ブレード２２径より若干大径の略円形の凹部４４２が陥没形成されている。この凹部４４２内に切削ブレード２２を配置することによって，切削ブレード２２の外周のうち被加工物に切り込ませる下部を除く部分が，固定基台部４４によって覆われる。これにより，固定基台部４４によって，切削ブレード２２を保護するとともに，切削加工時における切削液，切削屑等の飛散を防止できる。

また，この固定基台部４４には，図３に示すように，外周ノズル６０が内蔵化されている。この外周ノズル６０は，切削ブレード２２の外周面と対向するように配置され，切削方向前方（Ｘ軸正方向）から切削ブレード２２の外周に対して切削液を噴射する切削液供給ノズル（シャワーノズル）である。

この外周ノズル６０は，固定基台部４４の切削方向前方側の一部（後述するブレードカバー前部４６）の内部に形成されている。かかる外周ノズル６０は，切削液を噴射する例えば略円形の噴射口６２と，この噴射口６２に連通される流路６４とを有する。噴射口６２は，固定基台部４４の凹部４４２の切削方向前方側の側面において，切削ブレード２２の外周面と対向する位置に形成されている。また，流路６４は，固定基台部４４のブレードカバー前部４６の内部に垂直方向に延びるように形成され，外部から供給された切削液を噴射口６２に導く。

さらに，この固定基台部４４の一側上部には，ホース連結部５２が設けられており，このホース連結部５２には，ブレードカバー装置４０の外部に設けられた切削液供給手段（図示せず。）に連通された給液ホース５２１が連結される。かかる構成により，給液ホース５２１を介して供給された切削液は，固定基台部４４の内部に形成された外周ノズル６０の流路６４を通り，噴射口６２から切削ブレード２２の外周面に向けて噴射される。

このように，本実施形態にかかるブレードカバー装置４０では，従来のように，外周ノズルユニットを固定基台部４４に外付けするのではなく，固定基台部４４自体に噴射口６２および流路６４を形成することによって，外周ノズル６０が内蔵化（換言すると，外周ノズルユニットと固定基台部４４とが一体化）されている。これによって，ブレードカバー装置４０の部品数を低減し，外周ノズル６０を設置するための構成を単純化することができる。

また，移動カバー部４２は，図２に示すように，例えば，ステンレス等の金属製であり，固定基台部４４の上面全体と，固定基台部４４のＹ軸方向の前面および背面の上部と，固定基台部４４のＸ軸方向の一側面の上部とを覆うようにして配設されている。この移動カバー部４２は，その上面にＸ軸方向に延びる長孔４２５が形成されており，この長孔４２５に挿入され固定基台部４４と螺合するクランプボルト５３によって固定基台部４４に対して固定されている。かかる構成により，クランプボルト５３を弛緩することによって，移動カバー部４２を固定基台部４４に対してＸ軸方向にスライドさせることができる。

また，この移動カバー部４２の一側の下部には，図３に示すように，上記２つの側面ノズル２７（正面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂ）が取り付けられている。さらに，移動カバー部４２の一側上部には，例えば２つのホース連結部５１が設けられており，この各ホース連結部５１には，上記切削液供給手段と連通された給液ホース５１１が連結される。かかる構成により，給液ホース５１１を介して供給された切削液は，移動カバー部４２の内部に形成された流路４２６を通って各側面ノズル２７に達し，各側面ノズル２７から切削ブレード２２の両側面（前面及び背面）の下部および加工点に向けて噴射される。

次に，上記構成のブレードカバー装置４０において，上記外周ノズル６０の噴射口６２の位置調節する噴射口位置調節手段７０について，図２〜４を参照して説明する。なお，図４は，図３（ａ）のＡ−Ａ線における部分拡大断面図である。

本実施形態にかかる噴射口位置調節手段７０は，ブレードカバー装置４０の外周ノズル６０が形成された部分を，スピンドル２５の軸方向（以下，「Ｙ軸方向」という。）に弾性変形させることにより，外周ノズル６０の噴射口４２をＹ軸方向に移動させて，切削ブレード２２の外周面位置と合うように位置調節するものである。

この噴射口位置調節手段７０は，例えば，図２〜図４に示すように，ブレードカバー装置４０の固定基台部４４の下部側をＹ軸方向に分断することによって形成されたブレードカバー前部４６およびブレードカバー後部４８と，押さえボルト７４と，突き当てボルト７６と，から構成される。

図２および図３（ｂ）に示すように，ブレードカバー装置４０の固定基台部４４は，少なくとも外周ノズル６０の噴出口６２が配設された箇所を含む下部側の部分が，垂直方向に延びるスリット状の隙間７２によって，ブレードカバー装置４０の前面側に位置するブレードカバー前部４６と，ブレードカバー装置４０の背面側に位置するブレードカバー後部４８とに分断されている。このうち，ブレードカバー前部４６には，上記外周ノズル６０が内蔵化されている。

この隙間７２は，例えば，固定基台部４４の下面から垂直方向に所定高さまでスリットを入れることによって形成される。この隙間７２のＹ軸方向の形成位置は，例えば，固定基台部４４のＹ軸方向の中心位置であり，また，隙間７２のＹ軸方向の幅は，外周ノズル６０の噴射口３２の位置調整幅（最大で例えば１ｍｍ程度）に応じて決定される。また，隙間７２のＺ軸方向の長さは，固定基台部４４の下面から少なくとも外周ノズル６０の噴射口３２よりも上部に達する長さであり，この隙間７２により分断されたブレードカバー前部４６がＹ軸方向に十分に弾性変形可能となるような長さに決定される。

さらに，この隙間７２の上端部には，隙間７２のＹ軸方向の幅より大きい直径を有する円形拡幅孔７２１が形成されている。この円形拡幅孔７２１により，ブレードカバー前部４６がブレードカバー後部４８に対してＹ軸方向に弾性変形するときに，隙間７２の上端部における応力が緩和されるので，円形拡幅孔７２１周辺における固定基台部４４の破損を防止し，ブレードカバー前部４６をＹ軸方向に円滑に弾性変形させることができる。

押さえボルト７４は，図４に示すように，ブレードカバー装置４０の前面側（即ち，ブレードカバー前部４６の前面４６１側）から，Ｙ軸方向にブレードカバー前部４６のボルト通過孔４６２を貫通して，ブレードカバー後部４８の雌ネジ孔４８２と螺合する。この押さえボルト７４の頭部７４ａとブレードカバー前部４６の前面４６１との間には，ワッシャー７４１が介在されており，押さえボルト７４の回転によってブレードカバー前部４６の前面４６１が傷つかないようになっている。

上記ブレードカバー前部４６のボルト貫通孔４６２は，ブレードカバー前部４６をＹ軸方向に貫通形成されている。このボルト貫通孔４６２の内径は，押さえボルト７４の雄ねじ部７４ｂの径より大径である。このため，押さえボルト７４の雄ねじ部７４ｂとブレードカバー前部４６とが係合することはないが，押さえボルト７４の頭部７４ａによって，ブレードカバー前部４６がブレードカバー後部４８側に向けて係止される。

一方，突き当てボルト７６は，図４に示すように，ブレードカバー装置４０の前面側（即ち，ブレードカバー前部４６の前面４６１側）から，ブレードカバー前部４６の雌ネジ孔４６４にＹ軸方向に挿入される。この突き当てボルト７６の雄ねじ部７６ｂは，ブレードカバー前部４６にＹ軸方向に貫通形成された雌ネジ孔４６４と螺合する。

さらに，この突き当てボルト７６の先端部７６ｃは，隙間７２内において，ブレードカバー後部４８の前面４８１に突き当てられる。図４に示すようにブレードカバー前部４６が弾性変形していない状態で，突き当てボルト７６の先端部７６ｃがブレードカバー後部４８の前面４８１に突き当てられたとしても，突き当てボルト７６の頭部７６ａとブレードカバー前部４６の前面４６１とが所定間隔離隔するように，雄ねじ部７６ｂの長さが調整されている。このため，図４の状態から，突き当てボルト７６を締結方向に回転させて，さらに深くブレードカバー前部４６に螺合させることが可能である。

以上のような構成の押さえボルト７４および突き当てボルト７６を用いて，噴射口６２の位置をＹ軸方向前後に移動させて調節できる。

具体的には，噴射口６２の位置をＹ軸方向後方に移動させる場合には，突き当てボルト７６を弛緩方向に回転させて，突き当てボルト７６の雄ねじ部７６ｂをブレードカバー前部４６の雌ネジ孔４６４に対して浅く螺合させるとともに，押さえボルト７４を締結方向に回転させて，押さえボルト７４の雄ねじ部７４ｂをブレードカバー後部４８の雌ネジ孔４８２に対して深く螺合させる。これにより，押さえボルト７４によってブレードカバー前部４６がＹ軸方向後方に押圧されるため，ブレードカバー前部４６がブレードカバー後部４８に接近するようにＹ軸方向後方に弾性変形する。このとき，ブレードカバー前部４６がブレードカバー後部４８との間には，隙間７２が存在するので，この隙間７２の幅だけブレードカバー前部４６はブレードカバー後部４８側に弾性変形できる。このようにして，ブレードカバー前部４６に設けられた外周ノズル６０の噴射孔６２を，ブレードカバー装置４０背面側（Ｙ軸方向後方）に移動させることができる。

一方，噴射口６２の位置をＹ軸方向前方に移動させる場合には，突き当てボルト７６を締結方向に回転させて，突き当てボルト７６の雄ねじ部７６ｂをブレードカバー前部４６の雌ネジ孔４６４に対して深く螺合させるとともに，押さえボルト７４を弛緩方向に回転させて，押さえボルト７４の雄ねじ部７４ｂをブレードカバー後部４８の雌ネジ孔４８２に対して浅く螺合させる。これにより，突き当てボルト７６の先端部７６ｃがブレードカバー後部４８の前面４８１を押圧するため，ブレードカバー前部４６がブレードカバー後部４８から離隔するようにＹ軸方向前方に弾性変形する。これにより，ブレードカバー前部４６に設けられた外周ノズル６０の噴射孔６２を，ブレードカバー装置４０前面側（Ｙ軸方向前方）に移動させることができる。

なお，微調整する場合には，押さえボルト７４または突き当てボルト７６のいずれか一方を回転させるだけでも，外周ノズル６０の噴射孔６２をＹ軸方向前方／後方にある程度移動させることは可能である。

（第２の実施形態）
次に，本発明の第２の実施形態にかかるブレードカバー装置４０について説明する。なお，第２の実施形態にかかるブレードカバー装置４０は，上述した第１の実施形態にかかるブレードカバー装置４０と比べて，噴射口位置調節手段７０の構成が下記の点で相違するのみであり，その他の機能構成は上記第１の実施形態の場合と略同一であるので，詳細説明は省略する。

以下に，図５及び図６に基づいて，第２の実施形態にかかるブレードカバー装置４０について説明する。なお，図５は，第２の実施形態にかかるブレードカバー装置４０を示す正面図（ａ）および右側面図（ｂ）である。図６は，図５（ａ）のＢ−Ｂ線における部分拡大断面図である。

図５および図６に示すように，ブレードカバー装置４０の固定基台部４４は，外周ノズル６０が内蔵化された正面側のブレードカバー前部４６と，背面側のブレードカバー後部４８とに垂直方向に完全に分断されており，このブレードカバー前部４６とブレードカバー後部４８と別部品として構成されている。このように完全に分断されたブレードカバー前部４６とブレードカバー後部４８とは，これらの間の上部に所定厚みのスペーサ７９を介在させて，例えば２つの連結ボルト７８によって連結固定されている。

この連結ボルト７８は，図６に示すように，ブレードカバー装置４０の前面側（即ち，ブレードカバー前部４６の前面４６１側）からＹ軸方向に挿入され，ブレードカバー前部４６およびスペーサ７９を貫通してブレードカバー後部４８にまで至る。この連結ボルト７８の雄ねじ部７８ｂは，ブレードカバー前部４６の雌ネジ孔４６６およびブレードカバー後部４８の雌ネジ孔４８６と螺合し，連結ボルト７８の頭部７８ａは，ブレードカバー前部４６の前面４６１側を係止する。このようにして，連結ボルト７８は，分断されたブレードカバー前部４６とブレードカバー後部４８とを連結固定する。

このようにして連結固定されたブレードカバー前部４６とブレードカバー後部４８との間には，連結ボルト７８付近より上部側にスペーサ７９が介在している，このため，かかるブレードカバー前部４６とブレードカバー後部４８との間の下部側には，上記スペーサ７９のＹ軸方向幅分の隙間７２が存在している。この隙間７２が存在する箇所には，上述した押さえボルト７４および突き当てボルト７６が配設されている。かかる押さえボルト７４および突き当てボルト７６は，上記第１の実施形態と略同一の機能構成を有するので，詳細説明は省略する。

このように，第２の実施形態にかかる噴射口位置調節手段７０では，第１の実施形態のように固定基台部４４にスリット状の隙間７２を形成して部分的にブレードカバー前部４６とブレードカバー後部４８とに分断するのではなく，固定基台部４４をブレードカバー前部４６とブレードカバー後部４８とに完全に分断し，これらの間にスペーサ７９を介在させて連結ボルト７８で連結することで，ブレードカバー前部４６の弾性変形に必要な隙間７２を形成する構造である。

このような構造であっても，上記第１の実施形態と同様に，押さえボルト７４及び／又は突き当てボルト７６を締結／弛緩させることにより，ブレードカバー前部４５をＹ軸方向に弾性変形させて，外周ノズル６０の噴射口６２の位置をＹ軸方向に調節することができる。さらに，ブレードカバー前部４６とブレードカバー後部４８とを別部品に分離することで，隙間７２が設けられた固定基台部４４を比較的簡単に製造できるようになる。

以上，第１および第２の実施形態にかかる外周ノズル内蔵型のブレードカバー装置４０が具備する噴射口位置調節手段７０について説明した。かかる噴射口位置調節手段７０を用いて，外周ノズル６０の噴射口６２の位置をＹ軸方向に微調整して，切削ブレード２２の外周面に容易かつ正確に位置合わせすることができる。

具体的には，外周ノズル６０の噴射口６２をブレードカバー装置４０の背面側（図４の右側）に移動させる場合には，六角レンチ等の一般的な工具を用いて，突き当てボルト７６を弛緩させ，押さえボルト７４を締結させる。これにより，外周ノズル６０が内蔵化されたブレードカバー前部４６をＹ軸方向後方弾性変形させて，外周ノズル６０の噴射口６２をＹ軸方向後方に移動させ，切削ブレード２２の外周面に位置合わせできる。

一方，外周ノズル６０の噴射口６２をブレードカバー装置４０の正面側（図４の左側）に移動させる場合には，上記一般的な工具を用いて，押さえボルト７４を弛緩させ，突き当てボルト７６を締結させる。これにより，ブレードカバー前部４６をＹ軸方向前方に弾性変形させて，外周ノズル６０の噴射口６２をＹ軸方向前方に正面側に移動させ，切削ブレード２２の外周面に位置合わせできる。

従って，破損や消耗等が原因で切削ブレード２２を交換した場合に，上記噴射口位置調節手段７０によって，外周ノズル６０の噴射口６２の位置を切削ブレード２２の外周位置に正確に合わせることができる。このため，外周ノズル６０から切削液を適切な位置に供給して，切削ブレード２２および加工点の冷却効果を向上させることができるので，被加工物におけるチッピングの発生を防止できる。

また，この位置調節の際に，オペレータは，ブレードカバー装置４０の前面側からアクセスして噴射口位置調節手段７０を操作（押さえボルト７４および突き当てボルト７６を締結／弛緩）できる。このため，オペレータは，特殊な工具を用いることなく，外周ノズル６０の噴射口６２の位置をＹ軸方向に容易かつ迅速に調節でき，作業の熟練度も必要としない。

また，外周ノズル６０がブレードカバー装置４０に内蔵されているので，従来の外周ノズルユニットを後付けするオペレータの作業が不要になるとともに，ブレードカバー装置４０の構造をシンプルにすることができる。

以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

例えば，上記実施形態では，切削装置としてダイシング装置１０の例を挙げて説明したが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，スピンドル２５により高速回転する切削ブレード２２を用いて被加工物を切削加工する装置であれば，例えば，ダイシング加工以外の切削加工を行う各種の切削装置であってもよい。

また，上記実施形態では，ブレードカバー装置４０は，移動カバー部４２と固定基台部４４とから構成されていたが，本発明はかかる例に限定されず，移動カバー部４２と固定基台部４４とを一体化してもよいし，或いは，側面ノズル２７を固定基台部４４に設置して移動カバー部４２を省略してもよい。

また，上記実施形態では，ブレードカバー装置４０の固定基台部４４の材質はプラスチック等の合成樹脂であったが，本発明はかかる例に限定されない。固定基台部４４の材質は，外周ノズル６０が形成されたブレードカバー前部４６を，最大位置調節幅だけ弾性変形させることが可能な材質であれば，例えば，金属類など任意の材質であってよい。

また，上記実施形態にかかるブレードカバー装置４０では，押さえボルト７４および突き当てボルト７６は，押さえボルト７４がＺ軸方向上部側に位置するように上下に隣接して配置されていたが，本発明は，かかる例に限定されない。例えば，押さえボルト７４および突き当てボルト７６を上下逆に配置してもよいし，或いは，水平方向または斜め方向に並べて配置してもよい。

また，上記実施形態では押さえボルト７４および突き当てボルト７６は，それぞれ１個ずつ設置されていたが，かかる例に限定されず，複数個設置してもよい。

また，上記実施形態では，押さえボルト７４および突き当てボルト７６の双方を締結／弛緩方向に回転させて，噴射口６２の位置をＹ軸方向に調節したが，かかる例に限定されない。例えば，押さえボルト７４または突き当てボルト７６のいずれか一方を締結／弛緩方向に回転させることで，噴射口６２の位置をある程度はＹ軸方向に移動させて微調節することも可能である。

本発明は，切削装置における切削ブレードを覆うブレードカバー装置に適用可能である。

本発明の第１の実施形態にかかるダイシング装置を示す全体斜視図である。 同実施形態にかかる切削ユニットを示す斜視図である。 同実施形態にかかるブレードカバー装置を示す正面図（ａ）および右側面図（ｂ）である。 図３（ａ）のＡ−Ａ線における部分拡大断面図である。 本発明の第２の実施形態にかかるブレードカバー装置を示す正面図（ａ）および右側面図（ｂ）である。 図５（ａ）のＢ−Ｂ線における部分拡大断面図である。 従来のブレードカバー装置を示す正面図である。

符号の説明

１０ ： ダイシング装置
２０ ： 切削ユニット
２２ ： 切削ブレード
２５ ： スピンドル
２７ ： 側面ノズル
４０ ： ブレードカバー装置
４２ ： 移動カバー部
４４ ： 固定基台部
４６ ： ブレードカバー前部
４８ ： ブレードカバー後部
６０ ： 外周ノズル
６２ ： 噴射口
７０ ： 噴射口位置調節手段
７２ ： 隙間
７４ ： 押さえボルト
７６ ： 突き当てボルト
７８ ： 連結ボルト

Claims (1)

1. スピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって：
   前記ブレードカバー装置に内蔵化され，前記切削ブレードの外周面と対向配置され，前記切削ブレードに切削液を供給する外周ノズルと；
   前記外周ノズルの噴射口の位置を前記スピンドルの軸方向に移動させる噴射口位置調節手段と；
   を備え，
   前記ブレードカバー装置の上部側は一体的に構成され，前記ブレードカバー装置の下部側は，前記スピンドルの軸方向に，前記外周ノズルが内蔵化されたブレードカバー前部と，前記ブレードカバー前部と所定の隙間を空けて配置されるブレードカバー後部とに分断されており，
   前記噴射口位置調節手段は，
   前記ブレードカバー装置の前面側から前記スピンドルの軸方向に前記ブレードカバー前部を貫通して，前記ブレードカバー後部と螺合する押さえボルトと；
   前記ブレードカバー装置の前面側から前記スピンドルの軸方向に前記ブレードカバー前部に挿入されて前記ブレードカバー前部と螺合し，その先端部が前記ブレードカバー後部の前面に当接する突き当てボルトと；
   を備え，
   前記押さえボルト及び前記突き当てボルトを前記ブレードカバー装置の前面側から回転させることにより，前記外周ノズルの噴射口の位置を前記スピンドルの軸方向に移動させることを特徴とする，ブレードカバー装置。
   

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