WO2009098795A1 - セラミックス微粒子の製造方法及びそれに用いられるセラミックス微粒子の製造装置 - Google Patents

セラミックス微粒子の製造方法及びそれに用いられるセラミックス微粒子の製造装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2009098795A1
WO2009098795A1 PCT/JP2008/065277 JP2008065277W WO2009098795A1 WO 2009098795 A1 WO2009098795 A1 WO 2009098795A1 JP 2008065277 W JP2008065277 W JP 2008065277W WO 2009098795 A1 WO2009098795 A1 WO 2009098795A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
microdroplets
unit
ceramic
fine particles
continuous phase
Prior art date
Application number
PCT/JP2008/065277
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Hiroyuki Goto
Hideo Uemoto
Tomoki Sugino
Original Assignee
Covalent Materials Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Covalent Materials Corporation filed Critical Covalent Materials Corporation
Priority to US12/438,249 priority Critical patent/US8206623B2/en
Priority to EP08792787.7A priority patent/EP2251077A4/en
Publication of WO2009098795A1 publication Critical patent/WO2009098795A1/ja

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
    • C01B13/14—Methods for preparing oxides or hydroxides in general
    • C01B13/145—After-treatment of oxides or hydroxides, e.g. pulverising, drying, decreasing the acidity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2/00—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic
    • B01J2/02—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic by dividing the liquid material into drops, e.g. by spraying, and solidifying the drops
    • B01J2/06—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic by dividing the liquid material into drops, e.g. by spraying, and solidifying the drops in a liquid medium
    • B01J2/08—Gelation of a colloidal solution
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2/00—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic
    • B01J2/18—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic using a vibrating apparatus
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/01—Particle morphology depicted by an image
    • C01P2004/03—Particle morphology depicted by an image obtained by SEM
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/30—Particle morphology extending in three dimensions
    • C01P2004/32—Spheres
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00—Particle morphology
    • C01P2004/51—Particles with a specific particle size distribution
    • C01P2004/52—Particles with a specific particle size distribution highly monodisperse size distribution

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing ceramic fine particles and a device for producing ceramic fine particles used therein.
  • fine particles solid fine particles having a particle diameter of about several ⁇ m to several hundreds of ⁇ m have been used for applications such as separation / separation column packings.
  • resin fine particles as a method of manufacturing fine particles composed of resin (hereinafter referred to as resin fine particles), for example, as described in Patent Document 1, there are two types in a fine flow path having an intersection.
  • the liquid continuous phase, dispersed phase
  • the generated microdroplets are solidified by light irradiation, heating, cooling or the like to generate the microdroplets.
  • Ceramic fine particles composed of ceramics among the fine particles
  • a spray dry method for example, disclosed in Patent Document 3
  • a physical crushing method for example, Patent Document 4
  • An object of the present invention is to provide a method for producing ceramic fine particles that can easily produce ceramic fine particles composed of only a solid component, and a device for producing ceramic fine particles used therein.
  • a dispersed phase comprising an aqueous liquid comprising a gelling agent that gels by cooling and a ceramic raw material in a continuous phase composed of an oily liquid containing a surfactant. And generate the microdroplets, collect the generated microdroplets, cool the microdroplets, remove the continuous phase component, and then calcine the microdroplets.
  • the fine channel structure does not become complicated, and has a spherical shape close to a perfect circle, and is excellent in monodispersity, and is a ceramic composed of only a solid component of a single ceramic. Microparticles can be easily manufactured.
  • the method for producing ceramic fine particles according to the present invention comprises an aqueous liquid containing a gelling agent that gels by cooling and a ceramic raw material in a continuous phase composed of an oily liquid containing a surfactant.
  • Agar can be suitably used as the gelling agent. With such a configuration, when the generated microdroplet is cooled, the microdroplet can be hardened rapidly, so that the shape of the microdroplet is not deteriorated, and a state close to a perfect circle is obtained. Can form a strong spherical gel.
  • the microdroplets are preferably generated in a heated environment. By providing such a configuration, the dispersed phase containing agar can be prevented from being solidified before microdroplet formation, and microdroplets can be efficiently generated.
  • the apparatus for producing ceramic fine particles according to the present invention is a dispersed phase composed of an aqueous liquid in which a gelling agent that gels by cooling and a ceramic raw material are contained in a continuous phase composed of an oily liquid containing a surfactant.
  • a microchannel structure generating microdroplets by being fed, a continuous phase supply unit for supplying the continuous phase in the microchannel structure, and supplying the dispersed phase in the microchannel structure
  • a dispersed phase supply unit a recovery unit for recovering the microdroplets generated by the microchannel structure, a cooling unit for cooling the microdroplets recovered by the recovery unit, and the microdroplets cooled by the cooling unit And a drying unit for drying the microdroplet cleaned by the cleaning unit.
  • the fine channel structure does not become complicated, and has a spherical shape close to a perfect circle, and is excellent in monodispersity, and is a ceramic composed of only a solid component of a single ceramic. Microparticles can be easily manufactured.
  • the dispersed phase containing agar can be prevented from being solidified before microdroplet formation, and microdroplets can be efficiently generated.
  • the fine channel structure does not become complicated, has a spherical shape close to a perfect circle, is excellent in monodispersity, and easily manufactures ceramic fine particles composed of only the solid component of the ceramic alone.
  • the manufacturing method of the ceramic fine particle which can be done, and the manufacturing apparatus of the ceramic fine particle used therein are provided.
  • FIG. 1 is a flow chart of each step showing the method for producing ceramic fine particles according to the present embodiment.
  • microdroplets are first generated using a well-known microchannel structure (S100: microdroplet generation step).
  • the continuous phase and the dispersed phase are supplied, for example, through separate paths into the microchannels of the known microchannel structure, and the junction portion where the continuous phase and the dispersed phase join together
  • the dispersed phase is fed into the continuous phase, the dispersed phase is continuously sheared, has a spherical shape close to a perfect circle, and is a minute composed of the dispersed phase excellent in monodispersity. Generate droplets.
  • the continuous phase used in the microdroplet generation step S100 is composed of an oily liquid containing a surfactant.
  • a surfactant when surfactant is not contained in this oil-based liquid, when continuously shearing a dispersed phase, it is difficult to continuously generate spherical microdroplets close to a perfect circle.
  • the oily liquid for example, isoparaffin can be used.
  • the surfactant for example, sorbitan trioleate can be used.
  • the continuous phase may be, for example, one containing about 4 wt% of a surfactant with respect to an oily liquid.
  • the dispersed phase used in the micro droplet generation step S100 is composed of an aqueous liquid containing a gelling agent that gels (solidifies) upon cooling and a ceramic raw material.
  • the gelling agent is not particularly limited as long as it is aqueous, and the material is not particularly limited as long as it burns and vaporizes in the later-described firing step, but the gelation rate is fast and a large amount of gelation strength can be obtained
  • agar In particular, high purity agarose purified from agar is more preferable in terms of purity.
  • Agar can form a strong gel rapidly by cooling even small amounts such as a few percent, so in the cooling step to be described later, it is a spherical shape close to a perfect circle generated using a microchannel structure A strong spherical gel can be easily generated in a state close to a perfect circle without deteriorating the shape of the microdroplet.
  • ceramic ultrafine particles are used as the ceramic material.
  • the ultrafine particles referred to herein mean those having a particle diameter smaller than the ceramic particles to be finally produced, and for example, fine particles having primary particles or secondary particles having a particle diameter on the order of nm to several ⁇ m That's right.
  • the ceramic ultrafine particles can be dispersed and mixed in a predetermined amount in the above-described gelling agent, the material is not particularly limited, but carbon contained in the gelling agent (for example, agar) serving as a binder is removed If necessary, an oxide-based ceramic material that can be fired in an oxygen-containing atmosphere can be used.
  • non-oxide ceramic materials can also be applied as long as the inclusion of a few percent of carbon contained in the gelling agent (for example, agar) is acceptable.
  • the carbon is suitably applicable because it is used as a part of the raw material.
  • the ceramic ultrafine particles used here can use what was produced
  • agar when using agar as a gelatinizer, it is preferable to perform the production
  • agar when used as the gelling agent, it is preferable to carry out the heating environment as described above, but whether or not it is carried out under the heating environment is set appropriately depending on the material of the gelling agent. .
  • the inner surface of the fine flow channel is preferably hydrophobic since the dispersed phase used for forming the microdroplet is aqueous.
  • the inner surface of the microchannel is hydrophilic, the flow of the dispersed phase in the microchannel is adversely affected, and it is difficult to generate spherical microdroplets close to a perfect circle.
  • microdroplet cooling step S110 the micro droplets generated in the micro channel structure in the micro droplet generation step S100 are discharged to the outside of the micro channel structure, and, for example, using the recovery container, the continuous liquid crystal Recover with the phase and cool the recovered microdroplets. Since the dispersed phase contains a gelling agent which solidifies by cooling, the gelling agent contained in the microdroplet is solidified by cooling, whereby the whole microdroplet is solidified. It becomes spherical gel.
  • the microdroplet generated in the micro flow channel structure is collected outside and the collected micro droplets are cooled, so the micro flow channel structure itself becomes complicated.
  • the microdroplet generated in the microflow channel structure is cooled and solidified in the microflow channel structure, the dispersed phase supplied into the microflow channel is solidified before the microdroplet is generated. In order not to do, it is necessary to newly provide a heating means etc., and the micro channel structure itself is complicated, which is not preferable.
  • the temperature which cools this micro droplet is suitably set by the gelatinizer to be used, when using agar as a gelatinizer, it is preferable to cool to 10 degrees C or less.
  • the generated micro droplets may be cooled while being collected, or may be cooled after being collected. It is needless to say that since it is preferable to carry out the cooling treatment immediately, it is preferable to cool while collecting the generated microdroplets.
  • the cooled microdroplet (spherical gel) is washed (S120: microdroplet washing step).
  • the continuous phase component oil liquid component including surfactant
  • the surfactant component used in the micro droplet generation step S100 is removed.
  • a microdroplet is recovered, and a solvent such as ethanol is supplied into a cooled recovery container to replace the continuous phase recovered together with the microdroplet with the solvent in the container. . Further, by performing this process, the water contained in the microdroplet is also replaced by the solvent.
  • the washed spherical gel is dried to obtain a spherical ceramic compact (S130: microdroplet drying step).
  • the solvent used in the micro droplet cleaning step S120 is removed.
  • the solvent in the recovery container replaced with the solvent is evaporated and removed by performing vacuum drying under reduced pressure.
  • a spherical ceramic compact is obtained.
  • the dried spherical gel that is, the spherical ceramic molded body is fired (S140: microdroplet firing step).
  • the gelling agent contained in the spherical ceramic compact is fired and vaporized by firing the spherical ceramic compact, and the gelling agent is removed from the spherical ceramic compact.
  • the spherical ceramic sintered body which became only the solid component of the ceramic raw material is obtained.
  • the atmosphere gas used when performing this baking and the baking temperature are set appropriately depending on the materials of the gelling agent and the ceramic raw material used, but when agar is used as the gelling agent, the atmosphere gas and the baking temperature are used in an oxygen atmosphere gas.
  • the agar can be suitably removed from the spherical ceramic compact.
  • it is also effective to bake in a hydrogen atmosphere.
  • the firing temperature according to the material and particle diameter of the ceramic raw material used for the dispersed phase, it is possible to arbitrarily control the structure of the ceramic fine particles to be manufactured from the porous body to the dense body.
  • the method for producing ceramic fine particles according to the present invention includes the above-described steps, the fine channel structure does not become complicated, and has a spherical shape close to a perfect circle, and It is possible to easily manufacture ceramic fine particles which are excellent in monodispersity and are constituted only of solid components of a single ceramic.
  • the microdroplets collected directly are fired without performing the above-described microdroplet cleaning step S120, the respective microdroplets are condensed and combined with each other, and the shape of the microdroplet itself is greatly deteriorated. It is not preferable because it Preferably, the step of coating the oily component on the spherical gel washed in the micro droplet cleaning step S120 is further included after the micro droplet cleaning step S120 and before the micro droplet drying step S130.
  • the oily component such as isoparaffin is supplied to a recovery container substituted with a solvent such as ethanol in the microdroplet washing step S120, and the solvent is It is carried out by replacing with an oily component.
  • the microdroplet drying step S130 is performed on the spherical gel coated with the oil component to remove the solvent component and the oil component, and then the micro droplet baking step S140 is performed, whereby the micro droplet baking step S140 is performed. It is possible to prevent the deterioration of the shape of the spherical ceramic molded body in the above, and to obtain more spherical ceramic fine particles.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram for explaining a ceramic fine particle manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the apparatus 1 for producing ceramic fine particles according to the present embodiment includes a microdroplet generation unit 10, a microdroplet collection unit 60, a microdroplet cooling unit 90, and a microdroplet cleaning unit 100 and a micro droplet drying unit 120.
  • the micro droplet generation unit 10 includes a micro flow channel structure 20 that generates micro droplets by feeding the dispersed phase into the continuous phase, and a continuous phase supply unit that supplies the continuous phase into the micro flow channel structure 20. 30 and a dispersed phase supply unit 40 for supplying a dispersed phase into the fine flow path structure 20.
  • the micro droplet generator 10 has a configuration in which each is fixed on a plastic plate substrate 15.
  • the micro-channel ceramic structure 20 includes a continuous phase supply port 21 for supplying a continuous phase, a first micro channel 22 extending from the continuous phase supply port 21, and a dispersed phase for supplying a dispersed phase.
  • the second microchannel 24 extending from the supply port 23 and the dispersed phase inlet 23 and connected with the first microchannel 22 at an arbitrary angle, the first microchannel 22 and the second microchannel 24 are connected,
  • a third microchannel 25 through which the continuous phase supplied from the continuous phase supply port 21 and the microdroplets generated by feeding the dispersed phase into the continuous phase flow, and the third microchannel 25
  • a discharge port 26 for discharging the flowing continuous phase and the microdroplet.
  • the first micro flow channel 22 and the third micro flow channel 25 are linearly connected, and the second micro flow channel 24 is The structure of a so-called T-shape connected at an angle of 90 degrees to each of the first micro channel 22 and the third micro channel 25 will be described, but the micro channel structure 20 according to the present invention is It is only necessary to have a configuration in which microdroplets are generated by feeding the dispersed phase into the continuous phase, and the present invention is not limited to the configuration as shown in FIG.
  • the groove for forming the first to third microchannels is formed on the surface of the first plate-like substrate by a known method (etching, laser processing, etc.).
  • a through hole serving as the continuous phase supply port, the dispersed phase supply port and the discharge port is formed on a plate-like substrate by a known method (machining, laser processing, etc.), and a first plate-like substrate and a second plate-like It can manufacture by joining a board
  • the material used for the micro flow channel structure 20 is not particularly limited as long as the groove portion and the through hole can be formed and a certain degree of chemical resistance is provided.
  • the fine flow path structure 20 is made of, for example, quartz, glass, ceramics such as Al 2 O 3 , YAG, silicon, resin, or the like. In the present embodiment, an example using glass will be described.
  • the continuous phase supply unit 30 holds a predetermined amount of the continuous phase and, for example, the continuous phase supply port 21 of the microchannel structure 20 via the supply pipe 33.
  • a continuous phase feeder 37 eg, a syringe for feeding the The continuous phase supply device 37 is provided with, for example, a control unit (not shown) capable of controlling the supply amount of the continuous phase.
  • maintained at the continuous phase supply apparatus 37 is comprised by the oil-based liquid containing surfactant as mentioned above.
  • the dispersed phase supply unit 40 holds the dispersed phase in a predetermined amount, and holds the held dispersed phase in, for example, the dispersed phase supply port 23 of the microchannel structure 20 through the supply pipe 43. It comprises the dispersed phase supply apparatus 47 (for example, syringe) which supplies to.
  • the dispersed phase supply device 47 is provided with, for example, a control unit (not shown) capable of controlling the supply amount of the dispersed phase.
  • the dispersed phase held by the dispersed phase supply device 47 is composed of an aqueous liquid containing a gelling agent that gels by cooling and a ceramic raw material.
  • the entire microdroplet generation unit 10, that is, the micro flow path structure 20, the continuous phase supply unit 30, and the dispersed phase supply unit 40 For example, it is preferable that a heating unit for heating to about 50 ° C. is further provided.
  • the heating unit can be constituted of, for example, a heater 50 embedded in the plate-like substrate 15 shown in FIG.
  • the micro droplet recovery unit 60 (hereinafter simply referred to as the recovery unit 60) simultaneously flows with the micro droplet 70 generated by the micro flow path structure 20 and the micro droplet 70.
  • the continuous phase 75 is constituted by a recovery container (for example, a glass beaker) which recovers the continuous phase 75 through the discharge pipe 65 connected to the discharge port 26 of the microchannel structure 20.
  • the micro droplet cooling unit 90 is configured of a metal holding container holding ice water 97 having ice 93 for cooling the collection unit 60.
  • the micro droplet cleaning unit 100 discharges the continuous phase 75 by discharging the continuous phase 75 recovered by the recovery unit 60 from the recovery unit 60, not shown.
  • a solvent supply unit (not shown) for supplying a solvent 105 such as ethanol into the collected recovery unit 60; and a second drainage unit (not shown) for draining the solvent 105 supplied in the recovery unit 60 from the recovery unit 60.
  • the first drainage means (not shown) and the second drainage means are, for example, inclined while fixing the recovery unit 60 so that only the continuous phase 75 or the solvent 105 is drained from the recovery unit 60.
  • An apparatus can be used.
  • the solvent supply unit (not shown) is, for example, a solvent supply unit (not shown) which is provided around the recovery unit 60 and holds a predetermined amount of solvent and can supply the held solvent into the recovery unit 60. It is done. That is, in the micro droplet cleaning unit 100, the continuous phase 75 collected in the collection unit 60 is replaced with the solvent 105 (FIG. 2A), and then the solvent 105 is drained from the collection unit 60 (see FIG. 2 (b). As described above, since the micro droplet cleaning unit 100 includes the first and second drainage means and the solvent supply means, the continuous phase components present in the recovery unit 60, in particular, the interface, are thereby provided. The activator component can be removed.
  • the micro droplet cleaning unit 100 further includes a stirring unit (not shown) for stirring the solvent 105 after the solvent 105 is supplied to the recovery unit 60 by the solvent supply unit, and a vibration unit (not shown) for applying vibration to the collection unit 60.
  • a stirring unit for stirring the solvent 105 after the solvent 105 is supplied to the recovery unit 60 by the solvent supply unit
  • a vibration unit (not shown) for applying vibration to the collection unit 60.
  • stirring means and vibration means By providing such stirring means and vibration means, the efficiency of removing the continuous phase component present in the recovery unit 60 is improved.
  • the stirring means and the vibration means may be provided to the extent that the spherical gel contained in the recovery unit 60 is not broken. is necessary.
  • the micro droplet drying unit 120 is configured, for example, by a dryer (not shown) that performs vacuum drying under reduced pressure.
  • the solvent 105 remaining in the collection unit 60 is completely evaporated and removed.
  • the micro droplet drying unit 120 may be configured by a heater (not shown) that heats the recovery unit 60 instead of the dryer.
  • the apparatus for producing ceramic fine particles according to the present invention since the apparatus for producing ceramic fine particles according to the present invention has the above-described configuration, the fine channel structure does not become complicated, and has a spherical shape close to a perfect circle, and a single unit. It is possible to easily manufacture ceramic fine particles which are excellent in dispersibility and which are constituted only of solid components of a single ceramic. Moreover, it is preferable that the manufacturing apparatus of the ceramic fine particle which concerns on this invention is further provided with the not-shown oil-component component coating
  • the oil component coating unit for example, includes an oil component supply means (not shown) for supplying oil components into the recovery unit 60, and a third drainage (not shown) for draining oil components supplied into the recovery unit 60 from the recovery unit 60.
  • the oil component supply means is, for example, provided around the recovery unit 60, and holds a predetermined amount of the oil component, and can supply the retained oil component into the recovery unit 60 (not shown).
  • the oily component referred to here for example, isoparaffin can be used as described above.
  • As the third drainage means for example, a drainage device (not shown) for draining the oil component from the recovery unit 60 by tilting it while fixing the recovery unit 60 can be used.
  • Example 1 Ceramic fine particles were manufactured using an apparatus for manufacturing ceramic fine particles as shown in FIG.
  • Dispersed phase isoparaffin containing surfactant sorbitan trioleate
  • Dispersed phase isoparaffin containing surfactant sorbitan trioleate
  • the resulting microdroplets and the continuous phase were collected in a beaker and cooled with ice water to form a spherical gel.
  • ethanol was supplied into the beaker to wash the spherical gel and remove the continuous phase component contained in the beaker. After washing with ethanol, the beaker was heated to about 70 ° C. to evaporate the ethanol component in the beaker. Finally, the spherical ceramic molded body obtained by evaporating the ethanol component of the spherical gel was put into a heating furnace, and sintered in an oxygen atmosphere gas at 600 ° C. for 1 hour to produce ceramic fine particles.
  • the SEM photograph of the ceramic fine particle manufactured in Example 1 is shown in FIG. As shown in FIG. 3, it was confirmed that the ceramic fine particles manufactured in Example 1 had a spherical shape close to a perfect circle.
  • Example 2 After the ethanol washing, before evaporation of the ethanol component, isoparaffin containing no surfactant was supplied into the beaker to coat the washed spherical gel with isoparaffin. Thereafter, the beaker was heated to about 70 ° C. to evaporate the isoparaffin in the beaker to obtain a spherical ceramic molded body. Finally, the obtained spherical ceramic molded body was put into a heating furnace, and sintered in an oxygen atmosphere gas at 600 ° C. for 1 hour to produce ceramic fine particles. Others were carried out in the same manner as in Example 1. The SEM photograph of the ceramic fine particle manufactured in Example 2 is shown in FIG. As shown in FIG. 4, it was confirmed that the ceramic fine particles produced in Example 2 had a spherical shape closer to a true circle than that of Example 1.
  • Ceramic fine particles were manufactured in the same manner as in Example 1 except that the washing with ethanol was not performed. As a result, although the fine droplets were formed and cooled, although they had a spherical shape close to a perfect circle, after firing, the respective fine particles are condensed and a spherical shape close to a perfect circle could not be obtained.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

　微細流路構造体が煩雑化すること無く、真円に近い球状の形状を備え、かつ、単分散性に優れ、セラミックス単体の固体成分のみで構成されたセラミックス微粒子を容易に製造することができるセラミックス微粒子の製造方法及びそれに用いられるセラミックス微粒子の製造装置を提供する。 　界面活性剤を含む油性液体で構成された連続相中に、冷却によりゲル化するゲル化剤とセラミックス原料とが含まれる水性液体で構成された分散相が送り込まれることによって微小液滴を生成する工程（Ｓ１００）と、前記生成した微小液滴を回収し、冷却する工程（Ｓ１１０）と、前記冷却した微小液滴を洗浄する工程（Ｓ１２０）と、前記洗浄した微小液滴を乾燥する工程（Ｓ１３０）と、前記乾燥した微小液滴を焼成する工程（Ｓ１４０）とを備える。

Description

セラミックス微粒子の製造方法及びそれに用いられるセラミックス微粒子の製造装置
　本発明は、セラミックス微粒子の製造方法及びそれに用いられるセラミックス微粒子の製造装置に関する。
　近年、分取・分離用カラム充填剤などの用途に数μｍから数百μｍ程度の粒径を有する固体微粒子（以下、単に、微粒子という）が用いられている。
　このような微粒子のうち、樹脂で構成された微粒子（以下、樹脂微粒子という）の製造方法としては、例えば、特許文献１に記載されているように、交差部を有する微細流路内に２種類の液体（連続相、分散相）を導入して微小液滴を生成し、この生成した微小液滴を、光照射や、加熱、冷却などにより固化させて生成する技術が知られている。
　また、樹脂微粒子の製造方法として、微小流路で生成した微小液滴を、微小流路構造体の外部でビーカーなどに収集して硬化すると、硬化した微小粒子の粒径のばらつきが大きくなるという課題を解決するために、例えば、特許文献２に記載されているように、微小流路の合流部で微小液滴が生成した直後に光照射や加熱を行って、微小流路構造体内の排出流路で微小液滴を硬化させる技術が知られている。
　また、前記微粒子のうち、セラミックスで構成された微粒子（以下、セラミックス微粒子という）の製造方法としては、スプレードライ法（例えば、特許文献３に開示）や物理的粉砕法（例えば、特許文献４に開示）等を用いる技術が知られている。
特開２００４－５９８０２号公報 特開２００４－１２２１０７号公報 特開２００６－３１５８７１号公報 特開２００５－１７４７１１号公報
　しかしながら、特許文献３、４に記載されているスプレードライ法や物理的粉砕法を用いて製造されたセラミックス微粒子は、真円に近い球状粒子を製造することが困難であり、形状がいびつになり（形状が悪く）、また均一な粒径を得ることができず、粒径分布が悪いという問題があった。
なお、前記微粒子が球状から外れて形状が悪くなると微粒子としての流動性が悪化してしまうため、この微粒子を例えば充填剤に用いた場合は、その充填性が悪化するという問題があった。また、このようなセラミックス微粒子は、分散性が悪いため、分散性を良くするため各種分級工程が必要とされ、製造工程が煩雑化すると共に、歩留も悪いという問題があった。
　また、ゾルゲル法と懸濁重合法や乳化重合法を組み合わせて、粒径がサブミクロンから数十μｍのシリカゲルを製造する方法も実用化されているが、この方法では、それ以上のより大きな粒径のセラミックス微粒子を効率よく製造することが難しいという問題があった。
　更に、前述した特許文献１、２に記載されているような微細流路を用いた微粒子の製造方法では、樹脂微粒子の球状化においては成功しているが、セラミックス微粒子、特に、セラミックス単体の固体成分のみで構成されたセラミックス微粒子を球状化させた例はなく、難しいとされていた。
　更に、特許文献２に記載されているように、微小流路の合流部で微小液滴が生成した直後に光照射や加熱を行う場合は、微小液滴が生成される前に分散相が硬化しないように、様々な工夫（光照射の場合はマスク、加熱の場合は断熱材等）を施さなければならず、微細流路構造体が煩雑化してしまうという問題もあった。
　そこで、本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、微細流路構造体が煩雑化すること無く、真円に近い球状の形状を備え、かつ、単分散性に優れ、セラミックス単体の固体成分のみで構成されたセラミックス微粒子を容易に製造することができるセラミックス微粒子の製造方法及びそれに用いられるセラミックス微粒子の製造装置を提供することを目的とする。
　本発明に係るセラミックス微粒子の製造方法は、界面活性剤を含む油性液体で構成された連続相中に、冷却によりゲル化するゲル化剤とセラミックス原料とが含まれる水性液体で構成された分散相が送り込まれることによって微小液滴を生成し、前記生成した微小液滴を回収し、冷却した後、前記連続相成分を除去し、その後、前記微小液滴を焼成することを特徴とする。
　このような構成を備えることで、微細流路構造体が煩雑化すること無く、真円に近い球状の形状を備え、かつ、単分散性に優れ、セラミックス単体の固体成分のみで構成されたセラミックス微粒子を容易に製造することができる。
　詳しくは、本発明に係るセラミックス微粒子の製造方法は、界面活性剤を含む油性液体で構成された連続相中に、冷却によりゲル化するゲル化剤とセラミックス原料とが含まれる水性液体で構成された分散相が送り込まれることによって微小液滴を生成する工程と、前記生成した微小液滴を回収し、冷却する工程と、前記冷却した微小液滴を洗浄する工程と、前記洗浄した微小液滴を乾燥する工程と、前記乾燥した微小液滴を焼成する工程と、を備えたことを特徴とする。
　このような構成を備えることで、微細流路構造体が煩雑化すること無く、真円に近い球状の形状を備え、かつ、単分散性に優れ、セラミックス単体の固体成分のみで構成されたセラミックス微粒子を容易に製造することができる。
　前記ゲル化剤は、寒天を好適に用いることができる。
　このような構成を備えることで、前記生成した微小液滴を冷却する際、急速に微小液滴を硬化させることができるため、微小液滴の形状を悪化させることがなく、真円に近い状態で強固な球状ゲルを形成することができる。
　前記ゲル化剤に、寒天を用いる場合には、前記微小液滴の生成は、加熱環境下で行うことが好ましい。
　このような構成を備えることで、寒天を含む前記分散相が微小液滴生成前に固化されるのを防止することができ、効率よく微小液滴を生成することができる。
　本発明に係るセラミックス微粒子の製造装置は、界面活性剤を含む油性液体で構成された連続相中に、冷却によりゲル化するゲル化剤とセラミックス原料とが含まれる水性液体で構成された分散相が送り込まれることによって微小液滴を生成する微細流路構造体と、前記微細流路構造体内に前記連続相を供給する連続相供給部と、前記微細流路構造体内に前記分散相を供給する分散相供給部と、前記微細流路構造体で生成した微小液滴を回収する回収部と、前記回収部で回収した微小液滴を冷却する冷却部と、前記冷却部で冷却した微小液滴を洗浄する洗浄部と、前記洗浄部で洗浄した微小液滴を乾燥する乾燥部と、を備えることを特徴とする。
　このような構成を備えることで、微細流路構造体が煩雑化すること無く、真円に近い球状の形状を備え、かつ、単分散性に優れ、セラミックス単体の固体成分のみで構成されたセラミックス微粒子を容易に製造することができる。
　前記ゲル化剤に寒天を用いる場合には、前記微細流路構造体、前記連続相供給部及び前記分散相供給部を加熱する加熱部を更に備えていることが好ましい。
　このような構成を備えることで、寒天を含む前記分散相が微小液滴生成前に固化されるのを防止することができ、効率よく微小液滴を生成することができる。
　本発明は、微細流路構造体が煩雑化すること無く、真円に近い球状の形状を備え、かつ、単分散性に優れ、セラミックス単体の固体成分のみで構成されたセラミックス微粒子を容易に製造することができるセラミックス微粒子の製造方法及びそれに用いられるセラミックス微粒子の製造装置が提供される。
本発明の実施形態に係るセラミックス微粒子の製造方法を示す各工程のフローチャートである。 本発明の実施形態に係るセラミックス微粒子の製造装置を説明するための概念図である。 実施例１で製造したセラミックス微粒子のＳＥＭ写真である。 実施例２で製造したセラミックス微粒子のＳＥＭ写真である。
符号の説明
１　　　セラミックス微粒子の製造装置
１０　　微小液滴生成部
２０　　微細流路講造体
３０　　連続相供給部
４０　　分散相供給部
５０　　加熱部
６０　　微小液滴回収部
９０　　微小液滴冷却部
１００　微小液滴洗浄部
１２０　微小液滴乾燥部
　以下、本発明について、図面を参照して、詳細に説明する。
　図１は、本実施形態に係るセラミックス微粒子の製造方法を示す各工程のフローチャートである。
　本発明に係るセラミックス微粒子の製造方法は、図１に示すように、最初に、周知の微細流路構造体を用いて微小液滴を生成する（Ｓ１００：微小液滴生成工程）。
　この微小液滴生成工程Ｓ１００では、周知の微細流路構造体の微細流路内に連続相と分散相を例えば別経路で供給し、前記連続相と前記分散相が合流する合流部で、前記連続相中に前記分散相が送り込まれることによって、前記分散相が連続的にせん断され、真円に近い球状の形状を有し、かつ、単分散性に優れた前記分散相で構成された微小液滴を生成する。
　この微小液滴生成工程Ｓ１００で用いられる連続相は、界面活性剤を含む油性液体で構成されている。なお、該油性液体に界面活性剤が含まれていない場合には、分散相を連続的にせん断する際、真円に近い球状の微小液滴を連続的に生成することが難しい。前記油性液体は、例えば、イソパラフィンを用いることができる。また、前記界面活性剤は、例えば、ソルビタントリオレエートを用いることができる。前記連続相は、例えば、油性液体に対して界面活性剤が４ｗｔ％程度含まれるものを用いることができる。
　また、この微小液滴生成工程Ｓ１００で用いられる分散相は、冷却によりゲル化（固化）するゲル化剤と、セラミックス原料とが含まれる水性液体で構成されている。
　前記ゲル化剤は水性のものが用いられ、後述する焼成工程において燃焼、気化するものであれば、その材料は特に限定されないが、ゲル化速度が速く、少量で大きなゲル化強度を得られる点から寒天を用いることが好ましい。特に、寒天から精製された高純度アガロースが純度の面でより好ましい。
　寒天は、数％という小量でも、冷却することで急速に強固なゲルを形成することができるため、後述する冷却工程において、微細流路構造体を用いて生成された真円に近い球状の微小液滴の形状を悪化させることなく、真円に近い状態で容易に強固な球状ゲルを生成することができる。
　前記セラミック原料は、セラミックス超微粒子が用いられる。ここでいう超微粒子とは、最終的に製造されるセラミックス微粒子よりも粒径が小さいものをいい、例えば、ｎｍオーダーから数μｍ程度の粒径をもつ１次粒子或いは２次粒子を有する微粒子をさす。なお、前記セラミックス超微粒子は、前述したゲル化剤に所定量分散、混合させることができれば、特にその材料は限定されないが、バインダとなるゲル化剤（例えば、寒天）に含まれるカーボンを除去することが必要であるならば、酸素含有雰囲気で焼成可能な酸化物系セラミックス材料を用いることができる。また、ゲル化剤（例えば、寒天）に含まれるカーボンの数％の含有を許容できるものであれば、非酸化物系セラミックス材料も適用可能である。特に、水溶性カーボンブラックや炭化物金属系のセラミックス超微粒子を用いる場合には、前記カーボンを原料の一部として使用するため好適に適用が可能である。なお、ここで用いられるセラミックス超微粒子は、周知の方法（例えば、湿式合成法や物理的粉砕法等）により生成されたものを用いることができる。
　なお、ゲル化剤として、寒天を用いる場合には、前記微小液滴生成工程Ｓ１００における微小液滴の生成は、加熱環境下で行うことが好ましい。このような構成とすることで、寒天を含む分散相が微小液滴生成前に固化されるのを防止することができ、効率よく微小液滴を形成することができる。
　なお、ゲル化剤として、寒天を用いた場合には、前述したように加熱環境下で行うことが好ましいが、加熱環境下で行うかどうかは、ゲル化剤の材料に応じて適時設定される。
　また、前記周知の微細流路構造体は、例えば、断面方向の幅及び高さが２０～１０００μｍ程度の微細流路が形成されたものが用いられる。また、前記微細流路構造体は、微小液滴の形成に用いられる分散相が水性であるため、微細流路の内面は疎水性であることが好ましい。前記微細流路の内面が親水性である場合には、微細流路内の分散相の流れに悪影響を及ぼし、真円に近い球状の微小液滴を生成することが難しい。
　次に、生成した微小液滴を回収し、冷却する（Ｓ１１０：微小液滴冷却工程）。
　この微小液滴冷却工程Ｓ１１０では、微小液滴生成工程Ｓ１００の微細流路構造体内で生成した微小液滴を、微細流路構造体の外部へ排出して、例えば、回収容器を用いて前記連続相と共に回収し、回収した微小液滴を冷却する。なお、前記分散相には冷却により固化するゲル化剤が含まれているため、冷却することで、微小液滴内に含まれるゲル化剤が固化し、これによって、微小液滴全体が固化されて球状ゲルとなる。
　このように、微小液滴冷却工程Ｓ１１０では、微細流路構造体で生成した微小液滴をその外部で回収し、回収した微小液滴を冷却するため、微細流路構造体自体が煩雑化することが無く、かつ、微細流路構造体を用いて生成された真円に近い球状の微小液滴の形状を悪化させることなく、真円に近い状態で容易に強固な球状ゲルを生成することができる。
　なお、微細流路構造体内で生成した微小液滴を微細流路構造体内で冷却して固化させる場合には、微小液滴が生成される前に、微細流路内に供給した分散相が固化しないように、新たに、加熱手段等を設ける必要があり、微細流路構造体自体が煩雑化してしまうため好ましくない。
　なお、この微小液滴を冷却する温度は、使用するゲル化剤により適時設定されるが、ゲル化剤に寒天を用いた場合には、１０℃以下に冷却することが好ましい。
　また、この微小液滴冷却工程Ｓ１１０では、生成した微小液滴を回収しながら冷却してもよく、回収した後、冷却してもよい。なお、早急に冷却処理を施すことが好ましいため、生成した微小液滴を回収しながら冷却したほうが好ましいのは言うまでもない。
　次に、冷却した微小液滴（球状ゲル）を洗浄する（Ｓ１２０：微小液滴洗浄工程）。
　この微小液滴洗浄工程Ｓ１２０では、微小液滴生成工程Ｓ１００で使用した連続相成分（界面活性剤を含む油性液体成分）、特に、界面活性剤成分を除去する。主たる方法としては、例えば、微小液滴が回収され、冷却された回収容器内にエタノール等の溶剤を供給して、該容器内で、微小液滴と共に回収された連続相を前記溶剤に置換する。また、この処理を行うことで、微小液滴に含まれている水分も前記溶剤に置換される。
　次に、洗浄した球状ゲルを乾燥して球状セラミック成形体を得る（Ｓ１３０：微小液滴乾燥工程）。
　この微小液滴乾燥工程Ｓ１３０では、微小液滴洗浄工程Ｓ１２０で使用した溶剤を除去する。主たる方法としては、例えば、前記溶剤に置換した該回収容器内の溶剤を、減圧下により真空乾燥を行うことで、蒸発させて除去する。これによって、球状セラミックス成形体が得られる。
　最後に、乾燥させた球状ゲル、すなわち、球状セラミック成形体を焼成する（Ｓ１４０：微小液滴焼成工程）。
　この微小液滴焼成工程Ｓ１４０では、前記球状セラミック成形体を焼成することで、球状セラミック成形体内に含まれるゲル化剤が焼成、気化されて、前記ゲル化剤が球状セラミック成形体内から除去され、セラミックス原料の固体成分のみとなった球状セラミック焼結体が得られる。
　この焼成を行う際に用いられる雰囲気ガス、焼成温度は、使用する前記ゲル化剤及びセラミックス原料の材質によって適時設定されるが、ゲル化剤として寒天を用いた場合には、酸素雰囲気ガス中で焼成することにより、前記寒天を球状セラミック成形体内から好適に除去することが可能である。また、寒天に含まれる金属不純物の除去を目的とする場合は、水素雰囲気中で焼成することも効果的である。
　また、分散相に使用するセラミックス原料の材質や粒径によって、焼成温度を制御することにより、製造されるセラミックス微粒子の構造を多孔体から緻密体まで任意に制御することが可能である。
　以上のように、本発明に係るセラミックス微粒子の製造方法は、上述した各々の工程を備えているため、微細流路構造体が煩雑化すること無く、真円に近い球状の形状を備え、かつ、単分散性に優れ、セラミックス単体の固体成分のみで構成されたセラミックス微粒子を容易に製造することができる。
　なお、前述した微小液滴洗浄工程Ｓ１２０を行わず、直接回収した微小液滴を焼成した場合には、各微小液滴同士が凝縮、結合してしまい、微小液滴自体の形状が大きく悪化してしまうため、好ましくない。
　なお、微小液滴洗浄工程Ｓ１２０後、微小液滴乾燥工程Ｓ１３０前に、微小液滴洗浄工程Ｓ１２０で洗浄した球状ゲルに油性成分を被膜する工程を更に備えることが好ましい。
　この油性成分を球状ゲルに被膜する方法としては、例えば、微小液滴洗浄工程Ｓ１２０において、エタノール等の溶剤に置換された回収容器に、例えば、イソパラフィン等の油性成分を供給し、前記溶剤を前記油性成分に置換することで行う。
　その後、油性成分を被膜させた球状ゲルに対して微小液滴乾燥工程Ｓ１３０を行い、前記溶剤成分及び油性成分を除去した後、前記微小液滴焼成工程Ｓ１４０を行うと、微小液滴焼成工程Ｓ１４０における球状セラミック成形体の形状の悪化を防止することができ、より球状のセラミックス微粒子を得ることができる。
　次に、前述したセラミックス微粒子の製造方法に用いられるセラミックス微粒子の製造装置を説明する。図２は、本発明の実施形態に係るセラミックス微粒子の製造装置を説明するための概念図である。
　本実施形態に関るセラミックス微粒子の製造装置１は、図２に示すように、微小液滴生成部１０と、微小液滴回収部６０と、微小液滴冷却部９０と、微小液滴洗浄部１００と、微小液滴乾燥部１２０とを備える。
　微小液滴生成部１０は、連続相中に分散相が送り込まれることによって微小液滴を生成する微細流路構造体２０と、微細流路構造体２０内に連続相を供給する連続相供給部３０と、微細流路構造体２０内に分散相を供給する分散相供給部４０とを備える。微小液滴生成部１０は、例えば、図２に示すように、プラスチック製の板状基板１５上に各々固定された構成を備えている。
　微細流路講造体２０は、図２に示すように、連続相を供給する連続相供給口２１と、連続相供給口２１から延びる第１微細流路２２と、分散相を供給する分散相供給口２３と、分散相供給口２３から伸び、第１微細流路２２と任意の角度をもって繋がる第２微細流路２４と、第１微細流路２２と第２微細流路２４と繋がり、前記連続相供給口２１から供給した連続相と、前記連続相中に前記分散相が送り込まれることによって生成される微小液滴とが流れる第３微細流路２５と、前記第３微細流路２５を流れる連続相及び微小液滴を排出する排出口２６とを備える。
　本実施形態で係る微細流路構造体２０は、図２に示すように、第１微細流路２２と第３微細流路２５が直線的に繋がっており、第２微細流路２４は、第１微細流路２２及び第３微細流路２５に対して各々９０度の角度をもって繋がったいわゆるＴ字型の構成のものを用いて説明するが、本発明に係る微細流路構造体２０は、連続相中に分散相が送り込まれることによって微小液滴が生成される構成を備えていればよく、図２に示すような構成に限定されるものではない。
　微細流路講造体２０は、例えば、第１の板状基板の表面に前記第１から第３微細流路となる溝部を周知の方法（エッチング、レーザー加工等）で形成し、第２の板状基板上に前記連続相供給口、分散相供給口及び排出口となる貫通口を周知の方法（機械加工、レーザー加工等）で形成し、第１の板状基板と第２の板状基板とを前記溝部と前記貫通口とを合わせるように接合することで製造することができる。
　微細流路構造体２０に用いられる材質としては、前記溝部や前記貫通口が形成可能であって、かつ、ある程度の耐薬品性を備えていれば、特に限定されない。微細流路構造体２０は、例えば、石英、ガラス、Ａｌ2Ｏ3、ＹＡＧ等のセラミックス、シリコン、樹脂等で構成されている。なお、本実施形態では、ガラスを用いた例で説明する。
　連続相供給部３０は、図２に示すように、連続相を所定量保持すると共に、保持された連続相を、例えば、供給管３３を介して微細流路構造体２０の連続相供給口２１に供給する連続相供給装置３７（例えば、注射器）で構成されている。この連続相供給装置３７には、例えば、連続相の供給量を制御可能な図示しない制御部が設けられている。なお、連続相供給装置３７に保持される連続相は、前述したように、界面活性剤を含む油性液体で構成されている。
　分散相供給部４０は、図２に示すように、分散相を所定量保持すると共に、保持された分散相を、例えば、供給管４３を介して微細流路構造体２０の分散相供給口２３に供給する分散相供給装置４７（例えば、注射器）で構成されている。この分散相供給装置４７には、例えば、分散相の供給量を制御可能な図示しない制御部が設けられている。なお、分散相供給装置４７に保持される分散相は、前述したように、冷却によりゲル化するゲル化剤とセラミックス原料とが含まれる水性液体で構成されている。
　なお、前記分散相に含まれるゲル化剤に、寒天を用いる場合には、微小液滴生成部１０全体、すなわち、微細流路構造体２０、連続相供給部３０及び分散相供給部４０を、例えば、５０℃程度に加熱する加熱部が更に設けられていることが好ましい。加熱部は、例えば、図２に示す板状基板１５内に埋め込んだ加熱ヒータ５０より構成することができる。
　このような構成とすることで、前記分散相に含まれるゲル化剤に、寒天を用いる場合には、微小液滴が微細流路構造体２０の合流部２９で生成される前に該ゲル化剤を含む分散相が固化してしまうのを防止することができる。
　微小液滴回収部６０（以下、単に、回収部６０という）は、例えば、図２に示すように、微細流路構造体２０で生成された微小液滴７０と、微小液滴７０と同時に流れる連続相７５を、微細流路構造体２０の排出口２６に連結された排出管６５を介して回収する回収容器（例えば、ガラス製のビーカー）で構成されている。
　微小液滴冷却部９０は、例えば、図２に示すように、回収部６０を冷却するための、氷９３を有する氷水９７を保持した金属製の保持容器で構成されている。
　微小液滴洗浄部１００は、例えば、図２に示すように、回収部６０に回収された連続相７５を回収部６０から排液する図示しない第１の排液手段と、連続相７５を排液した回収部６０内にエタノール等の溶剤１０５を供給する図示しない溶剤供給手段と、回収部６０内に供給された溶剤１０５を回収部６０から排液する図示しない第２の排液手段とを備える。
　前記図示しない第１の排液手段、前記第２の排液手段は、例えば、回収部６０を固定しながら傾斜させて連続相７５又は溶剤１０５のみを回収部６０から排液する図示しない排液装置を用いることができる。
　前記図示しない溶剤供給手段は、例えば、回収部６０の周辺に設けられ、溶剤を所定量保持すると共に、保持された溶剤を、回収部６０内に供給することができる図示しない溶剤供給装置で構成されている。
　すなわち、微小液滴洗浄部１００では、回収部６０に回収された連続相７５は、溶剤１０５に置換され（図２（ａ））、その後、回収部６０から溶剤１０５が排液される（図２（ｂ））。
　このように、微小液滴洗浄部１００では、前記第１、第２の排液手段及び前記溶剤供給手段を備えているため、これによって、回収部６０内に存在する連続相成分、特に、界面活性剤成分を除去することができる。
　また、微小液滴洗浄部１００は、溶剤供給手段により回収部６０に溶剤１０５が供給された後、溶剤１０５を攪拌する図示しない攪拌手段や、回収部６０に振動を付与する図示しない振動手段を設けてもよい。このような攪拌手段や、振動手段を設けることで、回収部６０内に存在する連続相成分を除去する効率が向上する。ただし、前記図示しない攪拌手段や振動手段を備える場合には、それによって、回収部６０に収容されている球状ゲルを破壊しないように、その限度において、前記攪拌手段及び抵振手段を設けることが必要である。
　微小液滴乾燥部１２０は、例えば、減圧下により真空乾燥を行う図示しない乾燥機で構成されている。微小液滴乾燥部１２０では、例えば、図示しない乾燥機を用いて、図２に示すように、回収部６０に残存する溶剤１０５を完全に蒸発させて除去する。
　なお、微小液滴乾燥部１２０は、前記乾燥機ではなく、回収部６０を加熱する図示しない加熱ヒータで構成されていてもよい。
　以上のように、本発明に係るセラミックス微粒子の製造装置は、上述した構成を備えているため、微細流路構造体が煩雑化すること無く、真円に近い球状の形状を備え、かつ、単分散性に優れ、セラミックス単体の固体成分のみで構成されたセラミックス微粒子を容易に製造することができる。
　また、本発明に係るセラミックス微粒子の製造装置は、微小液滴洗浄部１００で洗浄した微小液滴を油性成分で被膜する図示しない油性成分被膜部を更に備えていることが好ましい。
　油性成分被膜部は、例えば、回収部６０内に油性成分を供給する図示しない油性成分供給手段と、回収部６０内に供給された油性成分を回収部６０から排液する図示しない第３の排液手段で構成されている。
　前記油性成分供給手段は、例えば、回収部６０の周辺に設けられ、油性成分を所定量保持すると共に、保持された油性成分を、回収部６０内に供給することができる図示しない油性成分供給装置で構成されている。ここでいう油性成分は、前述したように、例えば、イソパラフィンを用いることができる。
　前記第３の排液手段は、例えば、回収部６０を固定しながら傾斜させて油性成分を回収部６０から排液する図示しない排液装置を用いることができる。
　以下、本発明を実施例に基づきさらに具体的に説明するが、本発明は下記実施例により制限されるものではない。
（実施例１）
　図２に示すようなセラミックス微粒子の製造装置を用いてセラミックス微粒子を製造した。
　幅及び高さが２００μｍであり、内面が疎水性である微細流路を有するＴ字型の微細流路構造体内に、連続相として、界面活性剤（ソルビタントリオレエート）を含むイソパラフィンを、分散相として、水、寒天及び一次粒子の粒径が５０ｎｍ～１００ｎｍであるリン酸カルシウム粉が分散混合された水性液体を各々供給して、前記分散相で構成された微小液滴を微細流路構造体内で生成し、前記生成した微小液滴及び前記連続相をビーカーで回収して、氷水により冷却して球状ゲルとした。
　次に、ビーカーに回収した前記連続相を排液した後、エタノールを前記ビーカー内に供給して、球状ゲルを洗浄し、前記ビーカー内に含まれる連続相成分を除去した。エタノール洗浄後、前記ビーカーを７０℃程度に加熱し、前記ビーカー内のエタノール成分を蒸発させた。
　最後に、球状ゲルのエタノール成分を蒸発させて得られた球状セラミック成形体を、加熱炉に投入し、酸素雰囲気ガス中、６００℃で、１時間焼成することにより、セラミックス微粒子を製造した。
　図３に、実施例１で製造したセラミックス微粒子のＳＥＭ写真を示す。
　図３に示すように、実施例１で製造されたセラミックス微粒子は、真円に近い球状の形状を備えていることが確認された。
（実施例２）
　前記エタノール洗浄後、前記エタノール成分を蒸発させる前に、ビーカー内に、界面活性剤を含まないイソパラフィンを供給して、洗浄した球状ゲルをイソパラフィンにより被膜させた。その後、前記ビーカーを７０℃程度に加熱し、前記ビーカー内のイソパラフィンを蒸発させて球状セラミック成形体を得た。最後に、得られた球状セラミック成形体を加熱炉に投入し、酸素雰囲気ガス中、６００℃で、１時間焼成することにより、セラミックス微粒子を製造した。
　その他は、実施例１と同様な方法で行った。
　図４に、実施例２で製造したセラミックス微粒子のＳＥＭ写真を示す。
　図４に示すように、実施例２で製造されたセラミックス微粒子は、実施例１のものよりも、真円により近い球状の形状を備えていることが確認された。
（比較例１）
　前記エタノール洗浄後を行わないで、その他は、実施例１と同様な方法でセラミックス微粒子を製造した。
　その結果、微小液滴を生成し冷却した時点では、真円に近い球状の形状を備えていたにもかかわらず、焼成後においては、各々の微粒子同士が凝縮してしまい、真円に近い球状のセラミックス微粒子を得ることが出来なかった。

Claims (6)

  1. 　界面活性剤を含む油性液体で構成された連続相中に、冷却によりゲル化するゲル化剤とセラミックス原料とが含まれる水性液体で構成された分散相が送り込まれることによって微小液滴を生成し、前記生成した微小液滴を回収し、冷却した後、前記連続相成分を除去し、その後、前記微小液滴を焼成することを特徴とするセラミックス微粒子の製造方法。
  2. 　界面活性剤を含む油性液体で構成された連続相中に、冷却によりゲル化するゲル化剤とセラミックス原料とが含まれる水性液体で構成された分散相が送り込まれることによって微小液滴を生成する工程と、
    　前記生成した微小液滴を回収し、冷却する工程と、
    　前記冷却した微小液滴を洗浄する工程と、
    　前記洗浄した微小液滴を乾燥する工程と、
    　前記乾燥した微小液滴を焼成する工程と、
    　を備えたことを特徴とするセラミックス微粒子の製造方法。
  3. 　前記ゲル化剤は、寒天であることを特徴とする請求項１又は２に記載のセラミックス微粒子の製造方法。
  4. 　前記微小液滴の生成は、加熱環境下で行うことを特徴とする請求項３に記載のセラミックス微粒子の製造方法。
  5. 　界面活性剤を含む油性液体で構成された連続相中に、冷却によりゲル化するゲル化剤とセラミックス原料とが含まれる水性液体で構成された分散相が送り込まれることによって微小液滴を生成する微細流路構造体と、
    　前記微細流路構造体内に前記連続相を供給する連続相供給部と、
    　前記微細流路構造体内に前記分散相を供給する分散相供給部と、
    　前記微細流路構造体で生成した微小液滴を回収する回収部と、
    　前記回収部で回収した微小液滴を冷却する冷却部と、
    　前記冷却部で冷却した微小液滴を洗浄する洗浄部と、
    　前記洗浄部で洗浄した微小液滴を乾燥する乾燥部と、
    　を備えることを特徴とするセラミックス微粒子の製造装置。
  6. 　前記微細流路構造体、前記連続相供給部及び前記分散相供給部を加熱する加熱部を更に備えていることを特徴とする請求項５に記載のセラミックス微粒子の製造装置。
PCT/JP2008/065277 2008-02-08 2008-08-27 セラミックス微粒子の製造方法及びそれに用いられるセラミックス微粒子の製造装置 WO2009098795A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/438,249 US8206623B2 (en) 2008-02-08 2008-08-27 Process for producing ceramic fine particles, and ceramic fine particle producing apparatus used therein
EP08792787.7A EP2251077A4 (en) 2008-02-08 2008-08-27 METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC MICROPARTICLES AND APPARATUS FOR PRODUCING CERAMIC MICROPARTICLES FOR CARRYING OUT SAID METHOD

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008028402A JP5473231B2 (ja) 2008-02-08 2008-02-08 セラミックス微粒子の製造方法及びそれに用いられる球状セラミックス成形体の製造装置
JP2008-028402 2008-11-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2009098795A1 true WO2009098795A1 (ja) 2009-08-13

Family

ID=40951882

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2008/065277 WO2009098795A1 (ja) 2008-02-08 2008-08-27 セラミックス微粒子の製造方法及びそれに用いられるセラミックス微粒子の製造装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8206623B2 (ja)
EP (1) EP2251077A4 (ja)
JP (1) JP5473231B2 (ja)
WO (1) WO2009098795A1 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010100502A (ja) * 2008-10-27 2010-05-06 Covalent Materials Corp セラミックス粒子
US20100021734A1 (en) * 2008-07-22 2010-01-28 Covalent Materials Corporation Ceramic particles and producing method thereof
BE1022015B1 (fr) * 2014-07-16 2016-02-04 Magotteaux International S.A. Grains ceramiques et procede pour leur production.
TWI638653B (zh) 2017-11-22 2018-10-21 財團法人金屬工業研究發展中心 微粒製造裝置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05192907A (ja) * 1992-01-20 1993-08-03 Osaka Gas Co Ltd 無機質均一微小球体の製造方法
JP2003512923A (ja) * 1999-11-01 2003-04-08 コーボー プロダクツ インコーポレーテッド 化粧品用ゲルビーズの製造方法及び装置
JP2004059802A (ja) 2002-07-30 2004-02-26 Japan Science & Technology Corp 固体微粒子の製造方法およびその装置
JP2004122107A (ja) 2002-04-25 2004-04-22 Tosoh Corp 微小流路構造体、これを用いた微小粒子製造方法及び微小流路構造体による溶媒抽出方法
JP2005174711A (ja) 2003-12-10 2005-06-30 Tdk Corp 誘電体セラミックス粉末、誘電体セラミックス粉末の製造方法及び複合誘電体材料
JP2006315871A (ja) 2005-05-10 2006-11-24 Pentax Corp リン酸カルシウム系化合物ナノ粒子、その分散液およびそれらの製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6797203B2 (en) * 2002-07-12 2004-09-28 Cerco Llc Method of forming ceramic beads
EP1610888A2 (en) * 2003-04-10 2006-01-04 President And Fellows Of Harvard College Formation and control of fluidic species
GB0616052D0 (en) * 2006-08-11 2006-09-20 Bhp Billiton Petroleum Pty Ltd Improvements relating to hose
US20100021734A1 (en) * 2008-07-22 2010-01-28 Covalent Materials Corporation Ceramic particles and producing method thereof

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05192907A (ja) * 1992-01-20 1993-08-03 Osaka Gas Co Ltd 無機質均一微小球体の製造方法
JP2003512923A (ja) * 1999-11-01 2003-04-08 コーボー プロダクツ インコーポレーテッド 化粧品用ゲルビーズの製造方法及び装置
JP2004122107A (ja) 2002-04-25 2004-04-22 Tosoh Corp 微小流路構造体、これを用いた微小粒子製造方法及び微小流路構造体による溶媒抽出方法
JP2004059802A (ja) 2002-07-30 2004-02-26 Japan Science & Technology Corp 固体微粒子の製造方法およびその装置
JP2005174711A (ja) 2003-12-10 2005-06-30 Tdk Corp 誘電体セラミックス粉末、誘電体セラミックス粉末の製造方法及び複合誘電体材料
JP2006315871A (ja) 2005-05-10 2006-11-24 Pentax Corp リン酸カルシウム系化合物ナノ粒子、その分散液およびそれらの製造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2251077A4

Also Published As

Publication number Publication date
JP5473231B2 (ja) 2014-04-16
EP2251077A4 (en) 2015-08-26
EP2251077A1 (en) 2010-11-17
JP2009184890A (ja) 2009-08-20
US8206623B2 (en) 2012-06-26
US20100219544A1 (en) 2010-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2567859C2 (ru) Способ формирования катализатора с ингибированной подвижностью наноактивного материала
WO2009098795A1 (ja) セラミックス微粒子の製造方法及びそれに用いられるセラミックス微粒子の製造装置
JP2650837B2 (ja) エアロゾル分解による銀粉末の製法
CN108348998A (zh) 附加制造方法和设备
JP6422679B2 (ja) 中空粒子の製造装置
US9303321B2 (en) Cladding composition with flux particles
JP2006517856A (ja) ラピッドプロトタイプ生成プロセス用の粒子コーティング方法
JP4624006B2 (ja) 球状複合粒子の製造方法およびその製造装置
BR112020009436B1 (pt) Processo e aparelho para esferoidizar e/ou atomizar uma matériaprima
CN104874806B (zh) 一种超细低氧含量铜球形粉末的制造方法
CN111670164A (zh) 用于涂覆刻蚀室的粉末
JP2006124787A (ja) 高結晶性ナノ銀粒子スラリー及びその製造方法
JP2018188629A (ja) 熱可塑性成形材料粉体の製造方法
CN111670162B (zh) 环境屏障
TWI471266B (zh) 碳化物微粒子之製造方法
JP6846245B2 (ja) 噴霧熱分解による微小粒子製造装置
US20110057358A1 (en) Method of production of solid and porous films from particulate materials by high heat flux source
JP2010100514A (ja) セラミックス粒子及びその製造方法
JP2010046654A (ja) セラミックス粒子の製造方法
JP2001064703A5 (ja)
JP6548406B2 (ja) 溶射材料およびその製造方法、溶射方法並びに溶射製品
Razib et al. A review on micro-patterning processes of vertically aligned carbon nanotubes array (VACNTs array)
CN102050638A (zh) 孔洞化陶瓷
JP2018065078A (ja) 噴霧熱分解装置
JP6630047B2 (ja) 溶射材料の製造方法、および、溶射方法

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 12438249

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2008792787

Country of ref document: EP

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08792787

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE