JP2650837B2 - エアロゾル分解による銀粉末の製法 - Google Patents
エアロゾル分解による銀粉末の製法Info
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- JP2650837B2 JP2650837B2 JP5248394A JP24839493A JP2650837B2 JP 2650837 B2 JP2650837 B2 JP 2650837B2 JP 5248394 A JP5248394 A JP 5248394A JP 24839493 A JP24839493 A JP 24839493A JP 2650837 B2 JP2650837 B2 JP 2650837B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、銀粉末の改良製法に指
向される。特に、本発明は、十分に高密度であり、高い
純度を持ち、かつ球形の形態を持つ銀粉末の製法に指向
される。
向される。特に、本発明は、十分に高密度であり、高い
純度を持ち、かつ球形の形態を持つ銀粉末の製法に指向
される。
【０００２】
【従来の技術】銀の粉末は、電子産業において厚膜導体
ペーストの製造のために使用される。厚膜ペーストは、
基材上にスクリーンプリントされて、伝導性の回路パタ
ーンを形成する。これらの回路は、次に乾燥、焼成され
て液体有機ビヒクルを揮発させ、そして銀粒子を焼結さ
せる。プリント回路技術は、次第に高密度かつ一層精密
な電子回路を要求している。これらの要件に適合するた
め、導線は幅が益々せまくなり、線の間の距離が益々小
さくなって来た。高密度の密に詰まったせまい線のため
に必要な銀粉末は、できるだけ大きさが単一で円滑な球
でなければならない。
ペーストの製造のために使用される。厚膜ペーストは、
基材上にスクリーンプリントされて、伝導性の回路パタ
ーンを形成する。これらの回路は、次に乾燥、焼成され
て液体有機ビヒクルを揮発させ、そして銀粒子を焼結さ
せる。プリント回路技術は、次第に高密度かつ一層精密
な電子回路を要求している。これらの要件に適合するた
め、導線は幅が益々せまくなり、線の間の距離が益々小
さくなって来た。高密度の密に詰まったせまい線のため
に必要な銀粉末は、できるだけ大きさが単一で円滑な球
でなければならない。
【０００３】金属粉末を製造するのに現在使用されてい
る多くの方法を、銀粉末を得るのに適用することができ
る。例えば、化学的還元法、霧化又は粉砕、熱分解等の
物理的過程及び電気化学的過程を使用することができ
る。電子的応用において使用される銀の粉末は、一般に
化学的析出過程を使用して製造される。銀粉末は、銀粉
末を析出させることができる条件下に銀の可溶性の塩を
適当な還元剤と反応させる化学的還元によって得られ
る。使用される最も普通の銀塩は硝酸銀である。ヒドラ
ジン、亜硫酸塩及びギ酸塩を含む無機還元剤は、大きさ
がきわめて粗く、形が不規則で、かつ凝集のために大き
な粒子径分布を有する粉末を生じさせる可能性がある。
る多くの方法を、銀粉末を得るのに適用することができ
る。例えば、化学的還元法、霧化又は粉砕、熱分解等の
物理的過程及び電気化学的過程を使用することができ
る。電子的応用において使用される銀の粉末は、一般に
化学的析出過程を使用して製造される。銀粉末は、銀粉
末を析出させることができる条件下に銀の可溶性の塩を
適当な還元剤と反応させる化学的還元によって得られ
る。使用される最も普通の銀塩は硝酸銀である。ヒドラ
ジン、亜硫酸塩及びギ酸塩を含む無機還元剤は、大きさ
がきわめて粗く、形が不規則で、かつ凝集のために大き
な粒子径分布を有する粉末を生じさせる可能性がある。
【０００４】有機還元剤、例えばアルコール、糖又はア
ルデヒドは、アルカリ水酸化物と共に使用されて硝酸銀
を還元する。この還元反応は、きわめて速く、コントロ
ールすることが困難であり、残留アルカリイオンで汚染
された粉末を生じる。大きさは小さい（＜１ミクロン）
が、これらの粉末は、不規則な形を有し、よく詰まらな
い広い粒子径の分布を持つ傾向がある。銀粒子をつくる
ための霧化法は、エアロゾル分解方法であって、それは
プレカーサー溶液の粉末への変換が関係している。この
方法は、小滴の発生、この小滴のガスによる加熱された
反応器中への輸送、蒸発による溶剤の除去、多孔性固体
粒子を形成する塩の分解、そして次に完全に高密度の球
形純粋粒子を得る粒子の高密度化を含むものである。必
要条件は、小滴対小滴又は粒子対粒子の相互作用がない
こと及び小滴又は粒子の担体ガスとの化学的相互作用が
ないことである。
ルデヒドは、アルカリ水酸化物と共に使用されて硝酸銀
を還元する。この還元反応は、きわめて速く、コントロ
ールすることが困難であり、残留アルカリイオンで汚染
された粉末を生じる。大きさは小さい（＜１ミクロン）
が、これらの粉末は、不規則な形を有し、よく詰まらな
い広い粒子径の分布を持つ傾向がある。銀粒子をつくる
ための霧化法は、エアロゾル分解方法であって、それは
プレカーサー溶液の粉末への変換が関係している。この
方法は、小滴の発生、この小滴のガスによる加熱された
反応器中への輸送、蒸発による溶剤の除去、多孔性固体
粒子を形成する塩の分解、そして次に完全に高密度の球
形純粋粒子を得る粒子の高密度化を含むものである。必
要条件は、小滴対小滴又は粒子対粒子の相互作用がない
こと及び小滴又は粒子の担体ガスとの化学的相互作用が
ないことである。
【０００５】そして以下の先行技術が知られている。 特開昭６２−２４０４（特願昭６０−１３９９０４）Ａ
ｓａｄａら この引用文献は、金属塩の溶液をミストにし、このミス
トを金属塩の分解温度より高い温度において加熱するこ
とによって製造される厚膜ペースト用のものを指向す
る。この引用文献は、「合金」をつくるためのミスト化
過程の使用を開示している。ミストは、所望の金属又は
合金の融点より少なくとも１００℃高くで加熱されなけ
ればならないことも開示されている。 特公昭６３−３１５２２（特開昭６２−１８０７）（特
願昭６０−１３９９０３，Ａｓａｄａら 金属塩を含有する溶液を霧化して液滴を得、塩の分解温
度より高く、金属の融点より高く、そして金属が金属の
融点より低い温度で酸化物を形成するときには金属酸化
物の分解温度より高くこの液滴を加熱して分解した金属
粒を融解することによる金属粉末の生産。
ｓａｄａら この引用文献は、金属塩の溶液をミストにし、このミス
トを金属塩の分解温度より高い温度において加熱するこ
とによって製造される厚膜ペースト用のものを指向す
る。この引用文献は、「合金」をつくるためのミスト化
過程の使用を開示している。ミストは、所望の金属又は
合金の融点より少なくとも１００℃高くで加熱されなけ
ればならないことも開示されている。 特公昭６３−３１５２２（特開昭６２−１８０７）（特
願昭６０−１３９９０３，Ａｓａｄａら 金属塩を含有する溶液を霧化して液滴を得、塩の分解温
度より高く、金属の融点より高く、そして金属が金属の
融点より低い温度で酸化物を形成するときには金属酸化
物の分解温度より高くこの液滴を加熱して分解した金属
粒を融解することによる金属粉末の生産。
【０００６】Ｕ.Ｓ.４３,３９６,４２０ 銀及び金属塩の混合水溶液を、熱反応器中塩の壊変の温
度より実質的に高いが個々の化合物の融点より低い壁温
度において噴霧すること。Nagashimaら、化学焔法によ
る金属硝酸塩の水溶液からの微小金属粒子の製造、日本
化学会誌、１２、２２９３〜２３００ 微小金属粒子が化学焔によって製造された。焔温度が融
点より低いときには、金属粒子に非球形であり、焔温度
が金属の融点より十分高いときには、粒子はメルトを経
て形成され、完全に球形になる。Ｋａｔｏら、噴霧熱分
解技術による銀粒子の製造、日本化学雑誌、１２号、２
３４２−４（１９８５） この引用文献は、噴霧熱分解による球形非凝集銀ミクロ
粒子の生産の研究を記載する。粒子の表面は、Ａｇの融
点（９６１℃）より高い温度において平滑であったこ
と、又反応剤の濃度が増大するに従って粒子径分布が増
大したことが開示されている。一方、反応温度がＡｇの
融点より下に下るに従って、粒子の密度は低下した。
度より実質的に高いが個々の化合物の融点より低い壁温
度において噴霧すること。Nagashimaら、化学焔法によ
る金属硝酸塩の水溶液からの微小金属粒子の製造、日本
化学会誌、１２、２２９３〜２３００ 微小金属粒子が化学焔によって製造された。焔温度が融
点より低いときには、金属粒子に非球形であり、焔温度
が金属の融点より十分高いときには、粒子はメルトを経
て形成され、完全に球形になる。Ｋａｔｏら、噴霧熱分
解技術による銀粒子の製造、日本化学雑誌、１２号、２
３４２−４（１９８５） この引用文献は、噴霧熱分解による球形非凝集銀ミクロ
粒子の生産の研究を記載する。粒子の表面は、Ａｇの融
点（９６１℃）より高い温度において平滑であったこ
と、又反応剤の濃度が増大するに従って粒子径分布が増
大したことが開示されている。一方、反応温度がＡｇの
融点より下に下るに従って、粒子の密度は低下した。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】粉末の発生のための従
来の技術の適用の成功を今まで限定して来た主な問題
は、粒子形態のコントロールに欠けていたことである。
特に、十分に高密度の粒子を形成させるためには、材料
をその融点より上で処理しなければならないことが要件
である。融点より下で処理された材料は、高密度化され
ない不純な中空の型の粒子を生じる傾向があった。
来の技術の適用の成功を今まで限定して来た主な問題
は、粒子形態のコントロールに欠けていたことである。
特に、十分に高密度の粒子を形成させるためには、材料
をその融点より上で処理しなければならないことが要件
である。融点より下で処理された材料は、高密度化され
ない不純な中空の型の粒子を生じる傾向があった。
【０００８】本発明は、 Ａ．銀含有熱分解性化合物、好ましくは可溶性銀塩の不
飽和溶液を熱揮発性溶剤中に形成させ； Ｂ．不活性担体ガス中に分散させた工程Ａからの溶液の
微細な小滴から本質的になり、その小滴濃度が凝集の結
果、小滴濃度の１０％低下を生じる濃度より低いエアロ
ゾルを形成させ； Ｃ．エアロゾルを銀化合物の分解温度を越え、具体的に
は窒素中で少なくとも６００℃または空気中で少なくと
も９００℃、かつ銀の融点より低い操作温度に加熱し、
（１）溶剤を揮発させ、（２）銀化合物を純銀の微細粒
子の形状に分解し、そして（３）銀粒子を高密度化し；
そして Ｄ．銀粒子を担体ガス、反応副生物および溶剤揮発生成
物から分離する； 逐次工程からなる微細な銀粒子の製法を提供する。
飽和溶液を熱揮発性溶剤中に形成させ； Ｂ．不活性担体ガス中に分散させた工程Ａからの溶液の
微細な小滴から本質的になり、その小滴濃度が凝集の結
果、小滴濃度の１０％低下を生じる濃度より低いエアロ
ゾルを形成させ； Ｃ．エアロゾルを銀化合物の分解温度を越え、具体的に
は窒素中で少なくとも６００℃または空気中で少なくと
も９００℃、かつ銀の融点より低い操作温度に加熱し、
（１）溶剤を揮発させ、（２）銀化合物を純銀の微細粒
子の形状に分解し、そして（３）銀粒子を高密度化し；
そして Ｄ．銀粒子を担体ガス、反応副生物および溶剤揮発生成
物から分離する； 逐次工程からなる微細な銀粒子の製法を提供する。
【０００９】本明細書中において銀含有化合物用の溶剤
に関して使用される用語「揮発性」は、最高操作温度に
達した時点に溶剤が、気化によるかおよび／または分解
により、蒸気またはガスに完全に変換されることを意味
する。本明細書中において銀含有化合物に関して使用さ
れる用語「熱分解性」は、最高操作温度に達した時点に
銀含有化合物が完全に分解されて銀金属および揮発性副
生成物になることを意味する。たとえば、ＡｇＮＯ３は
Ａｇ金属とＮＯｘガスの形に分解され、そして有機銀化
合物はＡｇ金属、ＣＯ２ガスおよびＨ２Ｏ蒸気の形に分
解される。
に関して使用される用語「揮発性」は、最高操作温度に
達した時点に溶剤が、気化によるかおよび／または分解
により、蒸気またはガスに完全に変換されることを意味
する。本明細書中において銀含有化合物に関して使用さ
れる用語「熱分解性」は、最高操作温度に達した時点に
銀含有化合物が完全に分解されて銀金属および揮発性副
生成物になることを意味する。たとえば、ＡｇＮＯ３は
Ａｇ金属とＮＯｘガスの形に分解され、そして有機銀化
合物はＡｇ金属、ＣＯ２ガスおよびＨ２Ｏ蒸気の形に分
解される。
【００１０】
銀化合物：エアロゾルを形成させるために使用される担
体ガスに関して不活性であるかぎり、いずれの可溶性銀
塩も本発明の方法中使用することができる。適当な塩の
例は、ＡｇＮＯ3、Ａｇ3ＰＯ4、Ａｇ2ＳＯ4等である。
しかし、不溶性の銀塩、例えばＡｇＣｌは適当ではな
い。これら銀塩は、０.２モル／リットルの低濃度で、
そして塩の溶解度限界の少し下まで使用することができ
る。０.２モル／リットルより低いか、又は飽和の９０
％より高い濃度を使用しないことが好ましい。本発明の
方法のための銀源として水溶性の銀塩を使用することが
好ましいが、それにもかかわらず水性か又は有機溶剤に
溶解した他の溶剤可溶性銀化合物、例えば有機金属銀化
合物の使用によってこの方法を有効に実施することがで
きる。
体ガスに関して不活性であるかぎり、いずれの可溶性銀
塩も本発明の方法中使用することができる。適当な塩の
例は、ＡｇＮＯ3、Ａｇ3ＰＯ4、Ａｇ2ＳＯ4等である。
しかし、不溶性の銀塩、例えばＡｇＣｌは適当ではな
い。これら銀塩は、０.２モル／リットルの低濃度で、
そして塩の溶解度限界の少し下まで使用することができ
る。０.２モル／リットルより低いか、又は飽和の９０
％より高い濃度を使用しないことが好ましい。本発明の
方法のための銀源として水溶性の銀塩を使用することが
好ましいが、それにもかかわらず水性か又は有機溶剤に
溶解した他の溶剤可溶性銀化合物、例えば有機金属銀化
合物の使用によってこの方法を有効に実施することがで
きる。
【００１１】操作変量：本発明の方法は、次の基本的基
準が適合されるかぎり、多種多様な操作条件下に実施す
ることができる： １． エアロゾル中銀化合物の濃度は、液体溶剤の除去
の前の固形物の析出を防止するために、供給温度におけ
る飽和濃度より下、好ましくは飽和濃度より少なくとも
１０％下でなければならない； ２． エアロゾル中小滴の濃度は、反応器中生起する小
滴の集合があっても、小滴濃度の１０％を超える低下を
生じないように充分低くなければならない； ３． 反応器の温度は、金属銀の融点（９６０℃）より
下でなければならない。
準が適合されるかぎり、多種多様な操作条件下に実施す
ることができる： １． エアロゾル中銀化合物の濃度は、液体溶剤の除去
の前の固形物の析出を防止するために、供給温度におけ
る飽和濃度より下、好ましくは飽和濃度より少なくとも
１０％下でなければならない； ２． エアロゾル中小滴の濃度は、反応器中生起する小
滴の集合があっても、小滴濃度の１０％を超える低下を
生じないように充分低くなければならない； ３． 反応器の温度は、金属銀の融点（９６０℃）より
下でなければならない。
【００１２】銀含有化合物の飽和点より下で操作するこ
とが基本であるが、どちらかといえば本方法の操作にお
いてはその濃度は重要ではない。極めて低い濃度の銀化
合物を使用することができる。しかしながら、単位時間
当たりに製造可能な粒子量を最大にするために、より高
い濃度を使用することが通常好ましい。本発明のエアロ
ゾルを生成させるために、小滴発生用の常用のいずれの
装置、たとえばネブライザー、Ｃｏｌｌｉｓｏｎネブラ
イザー、超音波ネブライザー、振動オリフィスエアロゾ
ル発生機、遠心アトマイザー、二流体アトマイザー、電
気噴霧アトマイザー等を使用してもよい。銀粉末の粒子
径は、発生する小滴の大きさの直接関数である。エアロ
ゾル中の小滴の大きさは、本発明の方法の実施において
は重要ではない。しかしながら、上述したように、エア
ロゾル中の小滴濃度、すなわちエアロゾルの単位容積当
たりの小滴数は、銀粒子の粒径分布を広げる小滴の過度
の集合、すなわち凝集を招く程大きくなってはならない
ことが重要である。
とが基本であるが、どちらかといえば本方法の操作にお
いてはその濃度は重要ではない。極めて低い濃度の銀化
合物を使用することができる。しかしながら、単位時間
当たりに製造可能な粒子量を最大にするために、より高
い濃度を使用することが通常好ましい。本発明のエアロ
ゾルを生成させるために、小滴発生用の常用のいずれの
装置、たとえばネブライザー、Ｃｏｌｌｉｓｏｎネブラ
イザー、超音波ネブライザー、振動オリフィスエアロゾ
ル発生機、遠心アトマイザー、二流体アトマイザー、電
気噴霧アトマイザー等を使用してもよい。銀粉末の粒子
径は、発生する小滴の大きさの直接関数である。エアロ
ゾル中の小滴の大きさは、本発明の方法の実施において
は重要ではない。しかしながら、上述したように、エア
ロゾル中の小滴濃度、すなわちエアロゾルの単位容積当
たりの小滴数は、銀粒子の粒径分布を広げる小滴の過度
の集合、すなわち凝集を招く程大きくなってはならない
ことが重要である。
【００１３】その外、あるエアロゾール発生器につい
て、銀化合物の溶液の濃度が粒子径に効果を有する。特
に、粒子径は、濃度の三乗根のおよその関数である。し
たがって、銀化合物の濃度が高い程、析出された銀の粒
子径は大きい。粒子径の比較的大きい変化が必要である
場合には、異なったエアロゾル発生器が使用されなけれ
ばならない。銀化合物用の溶剤に関し、又銀化合物それ
自身に関して不活性である蒸気性材料の実質的にいずれ
でも、本発明の実施のための担体ガスとして使用するこ
とができる。適当な蒸気性材料の例は、空気、窒素、酸
素、水蒸気、アルゴン、ヘリウム、炭酸ガス等である。
これらのうち、空気及び窒素が好ましい。本発明の方法
を実施することができる温度範囲はかなり広く、銀化合
物の分解濃度から銀の融点（９６０℃）まで（しかしそ
れより下）である。担体ガスとして空気が使用されると
きには、析出される銀粒子の不純物レベルを低下させる
ために、少なくとも９００℃の温度において操作するこ
とが好ましい。しかし、担体ガスとして窒素が使用され
るときには、６００℃の低温において操作し、尚銀の中
の低い不純物レベル及び粒子の充分な高密度化を得るこ
とが可能である。
て、銀化合物の溶液の濃度が粒子径に効果を有する。特
に、粒子径は、濃度の三乗根のおよその関数である。し
たがって、銀化合物の濃度が高い程、析出された銀の粒
子径は大きい。粒子径の比較的大きい変化が必要である
場合には、異なったエアロゾル発生器が使用されなけれ
ばならない。銀化合物用の溶剤に関し、又銀化合物それ
自身に関して不活性である蒸気性材料の実質的にいずれ
でも、本発明の実施のための担体ガスとして使用するこ
とができる。適当な蒸気性材料の例は、空気、窒素、酸
素、水蒸気、アルゴン、ヘリウム、炭酸ガス等である。
これらのうち、空気及び窒素が好ましい。本発明の方法
を実施することができる温度範囲はかなり広く、銀化合
物の分解濃度から銀の融点（９６０℃）まで（しかしそ
れより下）である。担体ガスとして空気が使用されると
きには、析出される銀粒子の不純物レベルを低下させる
ために、少なくとも９００℃の温度において操作するこ
とが好ましい。しかし、担体ガスとして窒素が使用され
るときには、６００℃の低温において操作し、尚銀の中
の低い不純物レベル及び粒子の充分な高密度化を得るこ
とが可能である。
【００１４】エアロゾルを加熱するために使用される装
置の型は、それだけでは決定的ではなく、直接か又は間
接の加熱を使用することができる。例えば、管状炉を使
用しても、燃焼焔中の直接加熱を使用してもよい。エア
ロゾルを加熱する速度は（そしてしたがって滞留時間
も）、反応の動力学又は金属粉末の形態の見地からは重
要でない。反応温度に達し、そして粒子が充分高密度化
されると、粒子は、担体ガス、反応副生物及び溶剤揮発
生成物から分離され、１種又はそれ以上のデバイス、例
えばフィルター、サイクロン、静電分離器、バッグフィ
ルター、フィルターディスク等によって収集される。反
応完了時のガスは、担体ガス、銀化合物の分解生成物及
び溶剤蒸気よりなる。即ち、担体ガスとしてＮ2を使用
して水性硝酸銀から銀を製造する場合には、本発明の方
法からの流出ガスは、窒素酸化物、水及びＮ 2よりな
る。
置の型は、それだけでは決定的ではなく、直接か又は間
接の加熱を使用することができる。例えば、管状炉を使
用しても、燃焼焔中の直接加熱を使用してもよい。エア
ロゾルを加熱する速度は（そしてしたがって滞留時間
も）、反応の動力学又は金属粉末の形態の見地からは重
要でない。反応温度に達し、そして粒子が充分高密度化
されると、粒子は、担体ガス、反応副生物及び溶剤揮発
生成物から分離され、１種又はそれ以上のデバイス、例
えばフィルター、サイクロン、静電分離器、バッグフィ
ルター、フィルターディスク等によって収集される。反
応完了時のガスは、担体ガス、銀化合物の分解生成物及
び溶剤蒸気よりなる。即ち、担体ガスとしてＮ2を使用
して水性硝酸銀から銀を製造する場合には、本発明の方
法からの流出ガスは、窒素酸化物、水及びＮ 2よりな
る。
【００１５】試験装置：この作業において使用される実
験装置が図１中図示される。担体ガス源１が調節器３及
び流量計５を経てエアロゾル発生器７にＮ2か又は空気
を供給する。溶液ため９が、反応溶液をエアロゾル発生
器７に供給し、その中で担体ガス及び反応溶液は密に混
合されて、担体ガス中に分散された反応溶液の小滴より
なるエアロゾルを形成する。発生器７中で得られたエア
ロゾルは、エアロゾルが加熱されるムライト管を有する
Lindberg炉の反応器１３に送られる。圧力は、発生器７
と反応器１３との間のゲージ１１によって監視される。
加熱されたエアロゾルの温度は、熱電対１５によって測
定され、加熱されたフィルター１７に送られる。次に炉
の中の分解反応からの担体ガス及び揮発生成物は、フィ
ルター１７の下流側から排出される。
験装置が図１中図示される。担体ガス源１が調節器３及
び流量計５を経てエアロゾル発生器７にＮ2か又は空気
を供給する。溶液ため９が、反応溶液をエアロゾル発生
器７に供給し、その中で担体ガス及び反応溶液は密に混
合されて、担体ガス中に分散された反応溶液の小滴より
なるエアロゾルを形成する。発生器７中で得られたエア
ロゾルは、エアロゾルが加熱されるムライト管を有する
Lindberg炉の反応器１３に送られる。圧力は、発生器７
と反応器１３との間のゲージ１１によって監視される。
加熱されたエアロゾルの温度は、熱電対１５によって測
定され、加熱されたフィルター１７に送られる。次に炉
の中の分解反応からの担体ガス及び揮発生成物は、フィ
ルター１７の下流側から排出される。
【００１６】後述する試験操作を実施するに際して、加
圧担体ガスをエアロゾル発生器を通して導き、これは次
にエアロゾルを加熱反応器を通過させた。エアロゾル小
滴を炉の中で乾燥、反応そして高密度化させ、得られた
微細な金属粒子をフィルター上に集めた。フィルターに
おける熱電対がその温度を示し、それはフィルターにお
ける水の凝縮を防止するように約６０℃に保たれた。圧
力ケージを反応器の上流に保ち、フィルターの詰まりの
ための圧力の急な上昇があればこれを示した。担体ガス
は初めは空気であったが、超高純度（ＵＨＰ）窒素も使
用されて、純粋な銀の生成のために反応温度を低下させ
た。２つの型のエアロゾル発生器、（１）改造ＢＧＩ C
ollison ＣＮ−２５発生器及び（２）改造超音波Pollen
ex家庭用吸湿機を使用して金属粒子の特性に対する小滴
径の効果を求めた。反応器の温度を５００℃と９００℃
の間で変えた。滞留時間は、流速及び反応器温度の関数
として異なり、したがって５〜２１秒の範囲であった。
フィルターはナイロン膜フィルターであった。溶液ため
中ＡｇＮＯ3水溶液の濃度は、０.５から４.０モル／リ
ットルまで変った。
圧担体ガスをエアロゾル発生器を通して導き、これは次
にエアロゾルを加熱反応器を通過させた。エアロゾル小
滴を炉の中で乾燥、反応そして高密度化させ、得られた
微細な金属粒子をフィルター上に集めた。フィルターに
おける熱電対がその温度を示し、それはフィルターにお
ける水の凝縮を防止するように約６０℃に保たれた。圧
力ケージを反応器の上流に保ち、フィルターの詰まりの
ための圧力の急な上昇があればこれを示した。担体ガス
は初めは空気であったが、超高純度（ＵＨＰ）窒素も使
用されて、純粋な銀の生成のために反応温度を低下させ
た。２つの型のエアロゾル発生器、（１）改造ＢＧＩ C
ollison ＣＮ−２５発生器及び（２）改造超音波Pollen
ex家庭用吸湿機を使用して金属粒子の特性に対する小滴
径の効果を求めた。反応器の温度を５００℃と９００℃
の間で変えた。滞留時間は、流速及び反応器温度の関数
として異なり、したがって５〜２１秒の範囲であった。
フィルターはナイロン膜フィルターであった。溶液ため
中ＡｇＮＯ3水溶液の濃度は、０.５から４.０モル／リ
ットルまで変った。
【００１７】
【実施例】本発明の方法を実証する１０回の処理試験を
行なった。これらの試験の操作条件は、それから得られ
た銀粒子の選択された特性と共に、下の表１に示され
る。
行なった。これらの試験の操作条件は、それから得られ
た銀粒子の選択された特性と共に、下の表１に示され
る。
【００１８】
【表１】
【００１９】実施例１〜６の比較は、全く予期に反し
て、担体ガスがＮ2であるときはるかに低い操作温度に
おいて充分高密度化した銀粒子の生成を得ることができ
ることを示した。特に、ゼロ重量損失により示されるよ
うに、Ｎ2を使用して６００℃において得られた銀粒子
は充分高密度化されていた。一方、担体ガスとして空気
が使用されたときには、ゼロ重量損失を有する銀粒子を
得るためには９００℃において操作することが必要であ
った。即ち、この方法に対するエネルギー要求は、担体
ガスとして空気ではなくＮ2が使用されるときはるかに
小さい。両方の場合共銀の融点（９６０℃）より十分下
で高密度化された銀粒子が得られたことに注意するべき
である。実施例３及び７の比較は、エアロゾル発生器そ
れ自体が、同じ操作条件において得られる粒子の大きさ
に影響することを示す。特に、Collison装置を使用して
つくられる銀の粒子径は、Pollenx超音波装置のものよ
りはるかに大きい。このことは、表面積及び走査電子ミ
クロ組織検査の比較によって立証された。
て、担体ガスがＮ2であるときはるかに低い操作温度に
おいて充分高密度化した銀粒子の生成を得ることができ
ることを示した。特に、ゼロ重量損失により示されるよ
うに、Ｎ2を使用して６００℃において得られた銀粒子
は充分高密度化されていた。一方、担体ガスとして空気
が使用されたときには、ゼロ重量損失を有する銀粒子を
得るためには９００℃において操作することが必要であ
った。即ち、この方法に対するエネルギー要求は、担体
ガスとして空気ではなくＮ2が使用されるときはるかに
小さい。両方の場合共銀の融点（９６０℃）より十分下
で高密度化された銀粒子が得られたことに注意するべき
である。実施例３及び７の比較は、エアロゾル発生器そ
れ自体が、同じ操作条件において得られる粒子の大きさ
に影響することを示す。特に、Collison装置を使用して
つくられる銀の粒子径は、Pollenx超音波装置のものよ
りはるかに大きい。このことは、表面積及び走査電子ミ
クロ組織検査の比較によって立証された。
【００２０】実施例８〜１０の比較は、濃度を大きくす
ると銀粉末の平均粒子径が増大したことを示す。即ち、
粒子径は銀塩濃度の直接関数である。実施例３、５、６
及び７において得られた銀粒子のＸ線回折及び透過電子
顕微鏡法（ＴＥＭ）検査は、各々の場合粒子はきわめて
純粋かつ高度に結晶性であることを示した。このこと
は、実施例５によりつくられた粉末について得られたＸ
線回折パターンである図２から見ることができる。この
パターンは、本発明によって得られた銀粒子のＸ線回折
パターンの典型的なものである。実施例５及び６からの
粒子の密度のヘリウムピクノメトリー測定は、その密度
が実質的に理論値（１０.５cc／ｇ）と同じであったと
いう事実により示されるように、粒子は充分高密度化さ
れていた。
ると銀粉末の平均粒子径が増大したことを示す。即ち、
粒子径は銀塩濃度の直接関数である。実施例３、５、６
及び７において得られた銀粒子のＸ線回折及び透過電子
顕微鏡法（ＴＥＭ）検査は、各々の場合粒子はきわめて
純粋かつ高度に結晶性であることを示した。このこと
は、実施例５によりつくられた粉末について得られたＸ
線回折パターンである図２から見ることができる。この
パターンは、本発明によって得られた銀粒子のＸ線回折
パターンの典型的なものである。実施例５及び６からの
粒子の密度のヘリウムピクノメトリー測定は、その密度
が実質的に理論値（１０.５cc／ｇ）と同じであったと
いう事実により示されるように、粒子は充分高密度化さ
れていた。
【００２１】
【発明の効果】上のデータは、本発明の方法が、電子応
用に適した高品質の銀粒子を得るための、従来技術の金
属塩溶液の還元法のきわめて望ましい代替物を提供する
ことを示す。本発明によってつくられる銀粉末は、溶液
析出により得られる銀粒子において普通見出される不純
物、不規則な形状及び凝集を持たない。更に、銀の融点
より有意に低い温度において充分反応、高密度化した銀
粒子が得られた。本発明の方法についての経験から、反
応系が水性ＡｇＮＯ3をベースとし、担体ガスがＮ2であ
るとき、次の順序に従って銀粒子が生成すると考えられ
る： （１） エアロゾルが溶剤の蒸発温度より上に加熱され
るにしたがって、溶剤がエアロゾル小滴から蒸発し、こ
のようにしてＡｇＮＯ3の多孔性粒子を形成する； （２） 多孔性ＡｇＮＯ3粒子が更に４００〜４５０°
において加熱されるにしたがって、ＡｇＮＯ3粒子は分
解して多孔性の銀粒子を形成する；そして （３） 反応炉中残りの滞留時間の間に、多孔性銀粒子
が充分高密度化される。
用に適した高品質の銀粒子を得るための、従来技術の金
属塩溶液の還元法のきわめて望ましい代替物を提供する
ことを示す。本発明によってつくられる銀粉末は、溶液
析出により得られる銀粒子において普通見出される不純
物、不規則な形状及び凝集を持たない。更に、銀の融点
より有意に低い温度において充分反応、高密度化した銀
粒子が得られた。本発明の方法についての経験から、反
応系が水性ＡｇＮＯ3をベースとし、担体ガスがＮ2であ
るとき、次の順序に従って銀粒子が生成すると考えられ
る： （１） エアロゾルが溶剤の蒸発温度より上に加熱され
るにしたがって、溶剤がエアロゾル小滴から蒸発し、こ
のようにしてＡｇＮＯ3の多孔性粒子を形成する； （２） 多孔性ＡｇＮＯ3粒子が更に４００〜４５０°
において加熱されるにしたがって、ＡｇＮＯ3粒子は分
解して多孔性の銀粒子を形成する；そして （３） 反応炉中残りの滞留時間の間に、多孔性銀粒子
が充分高密度化される。
【図１】本発明が実証される試験装置の説明図。
【図２】本発明の方法によって得られた銀粒子のＸ線回
折パターン。
折パターン。
１ 担体ガス源 ３ 調節器 ５ 流量計 ７ エアロゾル発生器 ９ 溶液ため １１ ゲージ １３ 反応器 １５ 熱電対 １７ フィルター
フロントページの続き (73)特許権者 593184385 ザ・ユニバーシテイ・オブ・ニユーメキ シコ ＴＨＥ ＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ ＯＦ ＮＥＷ ＭＥＸＩＣＯ アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87131 −6003．アルバカーキ．ノースイース ト．ローマストリート（番地なし) (72)発明者 トイヴオ・タルモ・コーダス アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87122. アルバカーキ．サンラフアエルアベニユ ー11102 (72)発明者 テイモシー・リー・ウオード アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87106. アルバカーキ．ノースイースト．ローボ コート1408 (72)発明者 ハワード・デイビツド・グリツクスマン アメリカ合衆国デラウエア州19807．ウ イルミントン．ハーレクドライブ20 (56)参考文献 特開 平５−311212（ＪＰ，Ａ) 特公 平３−68484（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭63−31522（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】 Ａ．可溶性の熱分解性銀塩の不飽和溶液
を熱揮発性溶剤中に形成させ； Ｂ．不活性担体ガス中に分散させた工程Ａからの溶液の
微細な小滴から本質的になり、その小滴濃度が凝集の結
果、小滴濃度の１０％低下を生じる濃度より低いエアロ
ゾルを形成させ； Ｃ．エアロゾルを窒素中で少なくとも６００℃または空
気中で少なくとも９００℃の温度で、かつ銀の融点より
低い操作温度に加熱し、（１）溶剤を揮発させ、（２）
銀化合物を純銀の微細粒子の形状に分解し、そして
（３）銀粒子を高密度化し；そして Ｄ．銀粒子を担体ガス、反応副生物および溶剤揮発生成
物から分離する； 逐次工程からなる微細な銀粒子の製法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US95627192A | 1992-10-05 | 1992-10-05 | |
| US956271 | 1992-10-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06279816A JPH06279816A (ja) | 1994-10-04 |
| JP2650837B2 true JP2650837B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=25498011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5248394A Expired - Lifetime JP2650837B2 (ja) | 1992-10-05 | 1993-10-05 | エアロゾル分解による銀粉末の製法 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5439502A (ja) |
| EP (1) | EP0591882B1 (ja) |
| JP (1) | JP2650837B2 (ja) |
| KR (1) | KR100288095B1 (ja) |
| CN (1) | CN1056327C (ja) |
| DE (1) | DE69323825T2 (ja) |
| MY (1) | MY109256A (ja) |
| TW (1) | TW261554B (ja) |
Families Citing this family (49)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5429657A (en) * | 1994-01-05 | 1995-07-04 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for making silver-palladium alloy powders by aerosol decomposition |
| US5861136A (en) * | 1995-01-10 | 1999-01-19 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for making copper I oxide powders by aerosol decomposition |
| US5616165A (en) * | 1995-08-25 | 1997-04-01 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for making gold powders by aerosol decomposition |
| US5626645A (en) * | 1995-09-27 | 1997-05-06 | The United States Of America As Represented By The Department Of Energy | Process for making silver metal filaments |
| DE19545455C1 (de) * | 1995-12-06 | 1997-01-23 | Degussa | Verfahren zur Herstellung von Edelmetallpulvern |
| JP3277823B2 (ja) * | 1996-09-25 | 2002-04-22 | 昭栄化学工業株式会社 | 金属粉末の製造方法 |
| JP3206496B2 (ja) * | 1997-06-02 | 2001-09-10 | 昭栄化学工業株式会社 | 金属粉末及びその製造方法 |
| JP3137035B2 (ja) * | 1997-05-26 | 2001-02-19 | 昭栄化学工業株式会社 | ニッケル粉末及びその製造方法 |
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| DE69819740T2 (de) * | 1997-02-24 | 2004-09-30 | Superior Micropowders Llc, Albuquerque | Aerosolverfahren und -gerät, teilchenförmige produkte, und daraus hergestellte elektronische geräte |
| US6338809B1 (en) * | 1997-02-24 | 2002-01-15 | Superior Micropowders Llc | Aerosol method and apparatus, particulate products, and electronic devices made therefrom |
| US6780350B1 (en) | 1997-02-24 | 2004-08-24 | Superior Micropowders Llc | Metal-carbon composite powders, methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US6679937B1 (en) * | 1997-02-24 | 2004-01-20 | Cabot Corporation | Copper powders methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US6660680B1 (en) | 1997-02-24 | 2003-12-09 | Superior Micropowders, Llc | Electrocatalyst powders, methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US6699304B1 (en) * | 1997-02-24 | 2004-03-02 | Superior Micropowders, Llc | Palladium-containing particles, method and apparatus of manufacture, palladium-containing devices made therefrom |
| US7097686B2 (en) * | 1997-02-24 | 2006-08-29 | Cabot Corporation | Nickel powders, methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US6103393A (en) * | 1998-02-24 | 2000-08-15 | Superior Micropowders Llc | Metal-carbon composite powders, methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US6051257A (en) * | 1997-02-24 | 2000-04-18 | Superior Micropowders, Llc | Powder batch of pharmaceutically-active particles and methods for making same |
| JP3475749B2 (ja) * | 1997-10-17 | 2003-12-08 | 昭栄化学工業株式会社 | ニッケル粉末及びその製造方法 |
| US6911412B2 (en) | 1998-02-24 | 2005-06-28 | Cabot Corporation | Composite particles for electrocatalytic applications |
| US6753108B1 (en) * | 1998-02-24 | 2004-06-22 | Superior Micropowders, Llc | Energy devices and methods for the fabrication of energy devices |
| US6967183B2 (en) | 1998-08-27 | 2005-11-22 | Cabot Corporation | Electrocatalyst powders, methods for producing powders and devices fabricated from same |
| US20050097987A1 (en) * | 1998-02-24 | 2005-05-12 | Cabot Corporation | Coated copper-containing powders, methods and apparatus for producing such powders, and copper-containing devices fabricated from same |
| US7150920B2 (en) * | 1998-02-24 | 2006-12-19 | Cabot Corporation | Metal-carbon composite powders |
| JP3928309B2 (ja) | 1998-10-06 | 2007-06-13 | 昭栄化学工業株式会社 | ニッケル複合粒子、導体ペースト及びセラミック積層電子部品 |
| US7014885B1 (en) | 1999-07-19 | 2006-03-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Direct-write laser transfer and processing |
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| JP3772967B2 (ja) | 2001-05-30 | 2006-05-10 | Ｔｄｋ株式会社 | 磁性金属粉末の製造方法 |
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| US10703999B2 (en) | 2017-03-14 | 2020-07-07 | Saudi Arabian Oil Company | Integrated supercritical water and steam cracking process |
| KR102033545B1 (ko) | 2017-06-05 | 2019-10-17 | 대주전자재료 주식회사 | 은 입자 및 이의 제조방법 |
| US10526552B1 (en) | 2018-10-12 | 2020-01-07 | Saudi Arabian Oil Company | Upgrading of heavy oil for steam cracking process |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS621807A (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-07 | Shoei Kagaku Kogyo Kk | 金属粉末の製造方法 |
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| JPS62188709A (ja) * | 1986-02-13 | 1987-08-18 | Kawasaki Steel Corp | 球状銀微粉末の製造方法 |
| US4994107A (en) * | 1986-07-09 | 1991-02-19 | California Institute Of Technology | Aerosol reactor production of uniform submicron powders |
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-
1993
- 1993-09-29 TW TW082108028A patent/TW261554B/zh not_active IP Right Cessation
- 1993-10-01 MY MYPI93002007A patent/MY109256A/en unknown
- 1993-10-02 DE DE69323825T patent/DE69323825T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-02 EP EP93115961A patent/EP0591882B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-05 JP JP5248394A patent/JP2650837B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-05 KR KR1019930020518A patent/KR100288095B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1993-10-05 CN CN93118247A patent/CN1056327C/zh not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-04-08 US US08/225,413 patent/US5439502A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MY109256A (en) | 1996-12-31 |
| DE69323825T2 (de) | 1999-11-11 |
| EP0591882B1 (en) | 1999-03-10 |
| KR940008785A (ko) | 1994-05-16 |
| TW261554B (ja) | 1995-11-01 |
| KR100288095B1 (ko) | 2001-06-01 |
| JPH06279816A (ja) | 1994-10-04 |
| US5439502A (en) | 1995-08-08 |
| EP0591882A1 (en) | 1994-04-13 |
| CN1085143A (zh) | 1994-04-13 |
| DE69323825D1 (de) | 1999-04-15 |
| CN1056327C (zh) | 2000-09-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080516 Year of fee payment: 11 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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