WO2006108503A1 - Verfahren zur verbesserung der barriereeigenschaften keramischer sperrschichten - Google Patents

Verfahren zur verbesserung der barriereeigenschaften keramischer sperrschichten Download PDF

Info

Publication number
WO2006108503A1
WO2006108503A1 PCT/EP2006/002700 EP2006002700W WO2006108503A1 WO 2006108503 A1 WO2006108503 A1 WO 2006108503A1 EP 2006002700 W EP2006002700 W EP 2006002700W WO 2006108503 A1 WO2006108503 A1 WO 2006108503A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
ceramic
barrier
layer
phps
improving
Prior art date
Application number
PCT/EP2006/002700
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Manfred Hoffmann
Wolfgang Lohwasser
Original Assignee
Alcan Technology & Management Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alcan Technology & Management Ltd. filed Critical Alcan Technology & Management Ltd.
Priority to US11/918,038 priority Critical patent/US20090029056A1/en
Priority to EP06723683A priority patent/EP1888812A1/de
Priority to CA002603736A priority patent/CA2603736A1/en
Priority to AU2006233551A priority patent/AU2006233551A1/en
Priority to MX2007011281A priority patent/MX2007011281A/es
Priority to JP2008504645A priority patent/JP2008536711A/ja
Publication of WO2006108503A1 publication Critical patent/WO2006108503A1/de

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
    • C23C18/1229—Composition of the substrate
    • C23C18/1245—Inorganic substrates other than metallic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
    • C23C18/1204—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material inorganic material, e.g. non-oxide and non-metallic such as sulfides, nitrides based compounds
    • C23C18/1208—Oxides, e.g. ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
    • C23C18/1204—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material inorganic material, e.g. non-oxide and non-metallic such as sulfides, nitrides based compounds
    • C23C18/122—Inorganic polymers, e.g. silanes, polysilazanes, polysiloxanes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/14—Decomposition by irradiation, e.g. photolysis, particle radiation or by mixed irradiation sources
    • C23C18/143—Radiation by light, e.g. photolysis or pyrolysis
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/02—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by baking
    • B05D3/0254—After-treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/06—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to radiation
    • B05D3/061—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to radiation using U.V.
    • B05D3/065—After-treatment
    • B05D3/067—Curing or cross-linking the coating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
    • B05D7/02—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials to macromolecular substances, e.g. rubber
    • B05D7/04—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials to macromolecular substances, e.g. rubber to surfaces of films or sheets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
    • B05D7/50—Multilayers
    • B05D7/52—Two layers

Definitions

  • the invention relates to a method for improving the fürtr ⁇ ttssperrwir- effect for water vapor and gases in a flexible carrier material having at least one barrier layer of ceramic material.
  • Barrier layers of metals or of inorganic or ceramic materials are known and are deposited on plastic films, in particular for packaging applications, using methods of the vacuum thin-film technique.
  • Lacquers known for this purpose are the or- cocer or, for example, also the coating systems described in OS-A-5 645 923, which lead to an improvement of the barrier effect up to a factor of 10. Due to their organic components, these lacquers can not completely prevent the permeability through a pore, but only reduce it, since they themselves are permeable to most gases, in particular to water vapor.
  • multi-layer structures which have been produced by alternating coating by means of PVD or plasma CVD technology with an inorganic barrier layer and a subsequently to be cured liquid lacquer layer have been investigated for some years.
  • the liquid coating layers have the task to cover each of the defects of the vacuum coating and so again to provide a perfect surface as possible for the following vacuum coating available.
  • the lacquer layer should be applied as thin as possible and even have the lowest possible permeability, so that by the lacquer layer and the above-described sealing effect as well as possible.
  • a disadvantage of the prior art is that in order to achieve so-called flexible Ultrabarriere Jardin with a required permeability to water vapor of ⁇ 10 "4 g / (m 2 24 h), as for example for flexible OLED displays or for organic photovoltaic structures be required, the required barriers achieved only by very many (for example 5-10) layer pairs of lacquer layer and ceramic layer and the many coating processes lead to high costs and high reject rates in production.
  • the invention is based on the object of providing a method of the type called to provide a way in which in ceramic barrier layers, the residual permeability to water vapor can be further reduced compared to the methods of the prior art.
  • the ceramic barrier layers are coated with a solution of perhydropolysilazane (PHPS) and subsequently cured to form a silicon oxide layer.
  • PHPS perhydropolysilazane
  • PHPS can be applied to the barrier layers dissolved in an organic solvent.
  • Suitable solvents are for example XyIoI or DBE (dibasic ester) dissolved.
  • DBE is a substance made from a mixture of methyl esters of glutaric, adipic and succinic acids.
  • a solution of max. 10% by volume, preferably max. 3 vol.% PHPS used in organic solvent a solution of max. 10% by volume, preferably max. 3 vol.% PHPS used in organic solvent.
  • the curing of the coating applied to the ceramic layer can be carried out at a suitable temperature of max. 100 0 C are performed.
  • the curing of the coating applied to the ceramic layer can also be effected by irradiation with high-energy UV light.
  • a PHPS solution is applied to each barrier layer prior to deposition of the subsequent barrier layer and cured.
  • the liquid coating according to the invention with a PHPS solution gives an ideal "smoothing layer" for the subsequent ceramic barrier layer.
  • the need for cross-linking of the inorganic Si-O-Si network relatively high temperatures of> 250 ° C, already mild temperatures is formed with the use of perhydropolysilazane of ⁇ 100 0 C, or by UV curing with high-energy UV light, a dense SiO 2 layer.
  • To convert PHPS to SiO 2 water in the form of atmospheric moisture is required, with H 2 and NH 3 subsequently escaping from the layer.
  • the SiO 2 layer thicknesses are in the range of about 500 nm.
  • the flexible carrier material is, for example, a plastic film in the form of a tape, a plastic film or a laminate with a plastic film onto which the deposition of the ceramic barrier layer takes place.
  • the PHPS solution may, for example, be applied by means of smooth or anilox rollers to a tape-shaped plastic film with a ceramic barrier layer deposited thereon.
  • a suitable barrier layer of ceramic material is, for example, a 10 nm to 200 nm thick ceramic layer of Al 2 O 3 or of SiO x produced in a vacuum.
  • the preferred thickness of the ceramic layer of Al 2 O 3 or SiO x is between about 40 and 150 nm.
  • x of the ceramic layer of SiO x is a number between 0.9 and 1.2, in a second preferred variant a number between 1.3 and 2, in particular between 1.5 and 1.8.
  • the ceramic barrier layer (s) is coated with a solution of perhydropolysilazane (PHPS) and subsequently cured to form a silicon oxide layer (SiO x ).
  • PHPS perhydropolysilazane

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

Bei einem Verfahren zur Verbesserung der Durchtrittssperrwirkung für Wasserdampf und Gase bei einem flexiblen Trägermaterial mit wenigstens einer Sperrschicht aus keramischem Material werden die keramischen Sperrschichten mit einer Lösung von Perhydropolysilazan (PHPS) beschichtet und nachfolgend unter Ausbildung einer Siliziumoxidschicht ausgehärtet.

Description

Verfahren zur Verbesserung der Barriereeigenschaften keramischer Sperrschichten
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Verbesserung der Durchtrϊttssperrwir- kung für Wasserdampf und Gase bei einem flexiblen Trägermaterial mit wenigstens einer Sperrschicht aus keramischem Material.
Barriereschichten aus Metallen oder aus anorganischen bzw. keramischen Materialien sind bekannt und werden insbesondere für Verpackungsanwen- düngen mit Verfahren der Vakuumdünnschicht-Technik auf Kunststofffolien abgeschieden.
Die Abscheidung grossflächiger defektfreier Beschichtungen ist mit Verfahren der Vakuumdünnschicht-Technik nicht möglich, da die zu beschichtenden Oberflächen nicht perfekt ausgebildet sind und auch nicht absolut staubfrei bereitgestellt werden können. Die defekten Stellen in der Beschichtung führen zu einer unerwünschten Restdurchlässigkeit der Kombination aus Barriereschicht und Kunststofffolie.
Zur Verringerung der Restpermeabilität des Systems Kunststofffilm / Vakuumschicht ist es bekannt, die aus dem Vakuum auf dem Kunststofffilm abgeschiedene Sperrschicht zu überlackieren. Dies führt zu einem Überdecken oder sogar Verstopfen der Poren mit dem Lack und damit zu einer verminderten Durchlässigkeit der Poren. Für diesen Zweck bekannte Lacke sind die Ormo- cere oder beispielsweise auch die in der OS-A- 5 645 923 beschriebenen Lacksysteme, die zu einer Verbesserung der Barrierewirkung bis zu einem Faktor 10 führen. Diese Lacke können auf Grund ihrer organischen Komponenten die Durchlässigkeit durch eine Pore nicht vollständig verhindern, sondern nur verringern, da sie selber für die meisten Gase, insbesondere für Wasserdampf, permeabel sind.
Ausschliesslich anorganisch aufgebaute Lackierungen, wie Sol/Gel-Lacke, die bei für normale Kunststofffolien geeigneten Temperaturen aufgebracht und ausgehärtet werden können, sind nicht bekannt.
Um die Restpermeabilität der Schichtsystem weiter herabzusetzen, werden da- her seit einigen Jahren Mehrschicht-Strukturen untersucht, die durch alternierendes Beschichten mittels PVD- oder Plasma-CVD-Technik mit einer anorganischen Barriereschicht und einer anschliessend auszuhärtenden flüssigen Lackschicht hergestellt werden. Die flüssigen Lackschichten haben dabei die Aufgabe, jeweils die Fehlstellen der Vakuumbeschichtung zu überdecken und so wieder eine möglichst perfekte Oberfläche für die folgende Vakuumbeschichtung zur Verfügung zu stellen. Zudem sollte die Lackschicht möglichst dünn applizierbar sein und selbst eine möglichst niedrige Permeabilität besitzen, damit durch die Lackschicht auch der oben beschriebene Abdichtungseffekt möglichst gut erfolgt.
Nachteilig beim Stand der Technik ist, dass man zur Erzielung von so genannten flexiblen Ultrabarrierestrukturen mit einer geforderten Permeabilität für Wasserdampf von < 10"4 g / (m2 24 h), wie sie z.B. für flexible Oled-Displays oder für organische Photovoltaik-Strukturen benötigt werden, die geforderten Barrieren nur durch sehr viele (beispielsweise 5-10) Schichtpaare aus Lackschicht und Keramikschicht erzielt und die vielen Beschichtungsprozesse zu hohen Kosten und auch zu hohen Ausschussraten in der Produktion führen.
Um in Ultrabarriereregionen vorzustossen, müssen bei der Vakuumbeschich- tung zudem Beschichtungsverfahren eingesetzt werden, die zu sehr niedrigen Defektraten führen. Die eingesetzten Sputter-Verfahren sind sehr langsame Beschichtungsverfahren und damit sehr kostspielig. Schichten, die mit Aufdampfverfahren hergestellt werden, erreichen nicht die mit Sputter-Verfahren erzielte Restdurchlässigkeit pro Schicht, so dass für Ultrabarriere-Anwendun- gen noch mehr Schichtpaare benötigt werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs ge- nannten Art bereitzustellen, mit welchen bei keramischen Sperrschichten die Restdurchlässigkeit für Wasserdampf im Vergleich zu den Verfahren nach dem Stand der Technik weiter vermindert werden kann.
Zur erfindungsgemässen Lösung der Aufgabe führt, dass die keramischen Sperrschichten mit einer Lösung von Perhydropolysilazan (PHPS) beschichtet und nachfolgend unter Ausbildung einer Siliziumoxidschicht ausgehärtet werden.
PHPS kann in einem organischen Lösungsmittel gelöst auf die Sperrschichten aufgetragen werden. Geeignete Lösungsmittel sind beispielsweise XyIoI oder DBE (dibasic ester) gelöst. DBE ist eine Substanz aus einer Mischung von Di- methylestern der Glutar-, Adipin- und Bernsteinsaure.
Zum Auftragen von PHPS auf die keramischen Schichten wird bevorzugt eine Lösung von max. 10 Vol.-%, vorzugsweise max. 3 Vol.-% PHPS im organischen Lösungsmittel verwendet.
Die Aushärtung der auf die keramische Schicht aufgetragenen Beschichtung kann bei einer für normale Kunststofffolien geeigneten Temperatur von max. 100 0C durchgeführt werden.
Die Aushärtung der auf die keramische Schicht aufgetragenen Beschichtung kann auch durch Bestrahlen mit hochenergetischem UV-Licht erfolgen.
Bei einem Trägermaterial mit wenigstens zwei Sperrschichten aus keramischem Material wird auf jede Sperrschicht vor der Abscheidung der nachfolgenden Sperrschicht eine PHPS-Lösung aufgetragen und ausgehärtet.
Es hat sich gezeigt, dass die erfindungsgemässe Flüssigbeschichtung mit einer PHPS-Lösung eine ideale "Glättschicht" für die nachfolgende keramische Sperrschicht ergibt. Im Gegensatz zu Sol-Gel-Lacken, die zur Vernetzung des anorganischen Si-O- Si-Netzwerkes relativ hohe Temperaturen von > 250 °C benötigen, bildet sich bei Verwendung von Perhydropolysilazan bereits milden Temperaturen von < 100 0C oder durch UV-Härtung mit hochenergetischem UV-Licht eine dichte SiO2-Schicht aus. Zur Umsetzung von PHPS zu SiO2 wird Wasser in Form von Luftfeuchtigkeit benötigt, wobei anschliessend H2 und NH3 aus der Schicht entweicht. Die SiO2 -Schichtdicken liegen im Bereich von ca. 500 nm.
Versuche haben gezeigt, dass vor allem die zweifache PHPS-Beschichtung einer Keramikschicht die Durchlässigkeit von Wasserdampf bei einer Temperatur von 38 0C und 90 % relativer Luftfeuchte von ca. 4 auf 0.03 g/(m2 24 h) erniedrigt, was einem Verbesserungsfaktor von ca. 100 entspricht. Bei Verwendung von herkömmlichen Lacken, wie SoI-GeI-, Epoxy-Amin-, Acrylat-Lacken, wird lediglich eine Verbesserung um etwa einen Faktor 10 erreicht. Auch die Sauerstoffbarriere einer zweifach mit PHPS lackierten Keramikschicht wird deutlich von ca. 2 cm3/(m2 d bar) auf < 0.01 cm3/(m2 d bar) verbessert. Eine genaue Ermittlung des Verbesserungsfaktors ist bedingt durch das Erreichen der Geräte-Messgrenze nicht möglich.
Das flexible Trägermaterial ist beispielsweise eine in Form eines Bandes vorliegende Kunststofffolie, ein Kunststofffilm oder ein Laminat mit einem Kunststofffilm, auf den die Abscheidung der keramischen Sperrschicht erfolgt.
Die PHPS-Lösung kann beispielsweise mittels Glatt- oder Rasterwalzen auf einen in Bandform vorliegenden Kunststofffilm mit darauf abgeschiedener keramischer Sperrschicht aufgetragen werden.
Eine geeignete Sperrschicht aus keramischem Material ist beispielsweise eine im Vakuum erzeugte 10 nm bis 200 nm dicke keramische Schicht aus AI2O3 oder aus SiOx. Die bevorzugte Dicke der keramischen Schicht aus AI2O3 oder aus SiOx liegt zwischen etwa 40 und 150 nm. Bei einer ersten bevorzugten Variante ist x der keramischen Schicht aus SiOx eine Zahl zwischen 0.9 und 1.2, bei einer zweiten bevorzugten Variante eine Zahl zwischen 1.3 und 2, insbesondere zwischen 1.5 und 1.8.
Patentansprüche
1. Verfahren zur Verbesserung der Durchtrittssperrwirkung für Wasserdampf und Gase bei einem flexiblen Trägermaterial mit wenigstens einer Sperrschicht aus keramischem Material,
dadurch gekennzeichnet, dass
die keramische/n Sperrschicht/en mit einer Lösung von Perhydropolysila- zan (PHPS) beschichtet und nachfolgend unter Ausbildung einer Siliziumoxidschicht (SiOx) ausgehärtet wird/werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass PHPS in einem organischen Lösungsmittel, vorzugsweise in XyIoI oder in DBE (diba- sic ester) gelöst auf die keramische/n Schicht/en aufgetragen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass zum Auftragen von PHPS auf die keramische/n Schicht/en eine Lösung von max. 10 Vol.-%, vorzugsweise max. 3 Vol.-% PHPS im organischen Lösungsmittel verwendet wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Aushärtung der auf die keramische/n Schicht/en aufgetragenen Beschichtung bei einer Temperatur von max. 100 0C durchgeführt wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Aushärtung der auf die keramische/n Schicht/en aufgetragenen Beschichtung durch Bestrahlen mit hochenergetischem UV-Licht durchgeführt wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die PHPS-Lösung mittels Glatt- oder Rasterwalzen auf die kerami-

Claims

sche/n Schicht/en aufgetragen wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass bei einem Trägermaterial mit wenigstens zwei Sperrschichten aus keramischem Material auf jede Sperrschicht vor der Bildung der nachfolgenden keramischen Sperrschicht eine PHPS-Lösung aufgetragen und ausgehärtet wird.
PCT/EP2006/002700 2005-04-11 2006-03-24 Verfahren zur verbesserung der barriereeigenschaften keramischer sperrschichten WO2006108503A1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/918,038 US20090029056A1 (en) 2005-04-11 2006-03-24 Method for Improving the Barrier Characteristics of Ceramic Barrier Layers
EP06723683A EP1888812A1 (de) 2005-04-11 2006-03-24 Verfahren zur verbesserung der barriereeigenschaften keramischer sperrschichten
CA002603736A CA2603736A1 (en) 2005-04-11 2006-03-24 Method for improving the barrier characteristics of ceramic barrier layers
AU2006233551A AU2006233551A1 (en) 2005-04-11 2006-03-24 Method for improving the barrier characteristics of ceramic barrier layers
MX2007011281A MX2007011281A (es) 2005-04-11 2006-03-24 Metodo para mejorar las propiedades de barrera de capas de barrera de ceramica.
JP2008504645A JP2008536711A (ja) 2005-04-11 2006-03-24 セラミックバリア層の遮断特性を改善する方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH6472005 2005-04-11
CH00647/05 2005-04-11

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2006108503A1 true WO2006108503A1 (de) 2006-10-19

Family

ID=36577366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2006/002700 WO2006108503A1 (de) 2005-04-11 2006-03-24 Verfahren zur verbesserung der barriereeigenschaften keramischer sperrschichten

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20090029056A1 (de)
EP (1) EP1888812A1 (de)
JP (1) JP2008536711A (de)
AU (1) AU2006233551A1 (de)
CA (1) CA2603736A1 (de)
MX (1) MX2007011281A (de)
WO (1) WO2006108503A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2174780A1 (de) 2008-10-10 2010-04-14 Sika Technology AG Aufwickelbarer Fliesenaufbau, Verfahren zur Herstellung sowie die Verwendung

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2006244072B2 (en) 2005-05-10 2012-09-20 Intermune, Inc. Pyridone derivatives for modulating stress-activated protein kinase system
FR2980394B1 (fr) * 2011-09-26 2013-10-18 Commissariat Energie Atomique Structure multicouche offrant une etancheite aux gaz amelioree
CN103998230B (zh) * 2011-12-16 2015-11-25 柯尼卡美能达株式会社 气体阻隔膜
WO2013161894A1 (ja) * 2012-04-25 2013-10-31 コニカミノルタ株式会社 ガスバリア性フィルム、電子デバイス用基板および電子デバイス
JP6507523B2 (ja) * 2014-08-22 2019-05-08 コニカミノルタ株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子
CN110950668A (zh) * 2019-12-19 2020-04-03 江西省萍乡市南坑高压电瓷厂 一种高疏水性电瓷的制造方法
US11557499B2 (en) * 2020-10-16 2023-01-17 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for prevention of component cracking using stress relief layer

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5614271A (en) * 1995-08-11 1997-03-25 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. Method for the formation of a silica-based coating film
EP1134073A1 (de) * 2000-03-14 2001-09-19 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Gassperrfilm
US20020006487A1 (en) * 2000-06-06 2002-01-17 O'connor Paul J. Transmission barrier layer for polymers and containers
US20020034885A1 (en) * 2000-07-27 2002-03-21 Toyohiko Shindo Coating film and method of producing the same

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69430927T2 (de) * 1993-09-30 2003-02-06 Toppan Printing Co. Ltd., Tokio/Tokyo Gasundurchlässiges Verbundmaterial

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5614271A (en) * 1995-08-11 1997-03-25 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. Method for the formation of a silica-based coating film
EP1134073A1 (de) * 2000-03-14 2001-09-19 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Gassperrfilm
US20020006487A1 (en) * 2000-06-06 2002-01-17 O'connor Paul J. Transmission barrier layer for polymers and containers
US20020034885A1 (en) * 2000-07-27 2002-03-21 Toyohiko Shindo Coating film and method of producing the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2174780A1 (de) 2008-10-10 2010-04-14 Sika Technology AG Aufwickelbarer Fliesenaufbau, Verfahren zur Herstellung sowie die Verwendung

Also Published As

Publication number Publication date
CA2603736A1 (en) 2006-10-19
US20090029056A1 (en) 2009-01-29
JP2008536711A (ja) 2008-09-11
AU2006233551A1 (en) 2006-10-19
EP1888812A1 (de) 2008-02-20
MX2007011281A (es) 2007-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2006108503A1 (de) Verfahren zur verbesserung der barriereeigenschaften keramischer sperrschichten
EP2012938B1 (de) Flexible plasmapolymere produkte, entsprechende artikel und verwendung
EP2361288B1 (de) Hochbarrierenverbunde und verfahren zu ihrer herstellung
EP0792846A1 (de) Barriereschichten
DE69311639T2 (de) Thermische Behandlung von Siliziumhydrid enthaltenden Materialen in einer Stickstoffoxyd-Atmosphäre
DE102014105939B4 (de) Verfahren zur Herstellung einer Entspiegelungsschicht auf einer Silikonoberfläche und optisches Element
DE69517871T2 (de) Inselbeschichtungssystem mit verringertem Lösungsmittel
DE102016120781A1 (de) Verbundfolie zur Beschichtungsstoffübertragung, deren Verwendung und ein Verfahren zur Herstellung der Verbundfolie sowie ein Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Kunststoffbauteiles
EP3200931B1 (de) Verbund aus substrat, plasmapolymerer schicht, mischschicht und deckschicht
EP3854907A1 (de) Verbund mit barrierefunktion, dessen herstellung und verwendung
EP2272928A1 (de) Hochbarrierenverbunde und Verfahren zu ihrer Herstellung
EP2699705B1 (de) Verfahren zum abscheiden eines transparenten barriereschichtsystems
WO2003003481A2 (de) Verfahren zur herstellung eines polymerfreien bereichs auf einem substrat
DE10310827A1 (de) Schichtkombination mit hydrophoben Eigenschaften und Verfahren zu deren Aufbringung
DE102006028809B4 (de) Wafer-Träger-Anordnung, Schichtverbund zur Verwendung bei der Herstellung einer solchen Wafer-Träger-Anordnung sowie entsprechende Verfahren und Verwendungen
DE102004004039A1 (de) Verfahren zum Herstellen einer Permeationsbarrierefolie
DE102022115402A1 (de) Verfahren zur Beschichtung einer Oberfläche eines Sichtbauteilgrundkörpers, Sichtbauteil zur Verkleidung eines Kraftfahrzeuges und Anlage zur Herstellung eines Sichtbauteiles
DE102017130353A1 (de) Sol-Gel-basierte Haftvermittlungsschicht für PTFE-basierte Beschichtungen und Verfahren zur Herstellung derselben
EP0530838A1 (de) Mehrschichtiges Korrekturmaterial, Verfahren zu seiner Herstellung und Verwendung
DE202012003210U1 (de) Temperaturbeständiges Graphit-Dichtungsmaterial, dessen Herstellung und dessen Verwendung
EP2687298B1 (de) Verfahren zum Patinieren von Produkten aus Kupfer oder aus einer Kupferlegierung sowie Produkte hergestellt nach diesem Verfahren
DE112013005567T5 (de) Hydrophiles Element und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102018108587A1 (de) Barriereschichten sowie Zusammensetzungen für deren Herstellung
DE102019119692A1 (de) Verfahren zur Herstellung umweltstabiler Aluminium Spiegel auf Kunststoff
EP1975215A1 (de) Verfahren zum Ausbilden dünner flüssiger Schichten auf flexiblen Substraten aus Polymeren und/oder Metallen

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2006723683

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2006233551

Country of ref document: AU

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: MX/a/2007/011281

Country of ref document: MX

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2603736

Country of ref document: CA

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2006233551

Country of ref document: AU

Date of ref document: 20060324

Kind code of ref document: A

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2006233551

Country of ref document: AU

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2008504645

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 4487/CHENP/2007

Country of ref document: IN

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: DE

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: RU

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: RU

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2006723683

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11918038

Country of ref document: US