TWI327560B - Glass package that is hermetically sealed with a frit and method of fabrication - Google Patents
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Description
1327560 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於密閉性密封玻璃包裝,其適合保護對大 氣環境為$敏之薄膜裝置。該裝置一些範例為有機發射光 線二極體(0LED)顯示器,感測器,以及其他光學農置。本發 明使用0LED顯示器作為範例列舉說明。 、 [先前技術] 目則0LED為相當多研究之主題,因為其用途以及潛在 廣泛地使用於電子照明裝置中。例如,單一 〇LED能夠使用 於離散^射光線裝置巾或_)陣顺触帛於光線應用或 平板顯示H躺(例如GLED陣列)。傳統㈣)顯示器已知為 非常明亮以及具有良好顏色對比以及寬廣的視角。不過, ,統0LED顯示器以及特別是位於其中之電極及有機層易遭 ,衰,,此由於由大氣環境之魏及濕氣滲漏至〇LED顯示 器士父互伽所致。假如OLed顯示器内電極及有機層密閉 性,隔絕大氣魏,人們了解嶋_器壽命能夠有效 地k汁。非常不幸地^過去難以發展出密封處理過程以密 閉性地密封0LED顯示器。-些難以適當地密封〇LED顯示器 之因素簡單地說明如下: •密閉性密封應該對氧氣(10—3cc/m2/曰)及水份(1 (TVm2/日) 提供障壁層。 •密,性密封尺寸應該為最小的(例如〈2酬},因而對_ 員不器尺寸不會有負面的影響。 二二密封處理過程中產生之溫度應該不會使〇LED顯示器内 列如電極以及有機層)受損。例如,在〇LED顯示器中 i扭费封卜2酿之0LE:D第一圖素在密封處理過程申不應該 加熱至超過l0(rc。 内^^^處^過程帽釋出之氣體不應餅染⑽請示器 第6 頁 1327560 顯示器、封應該月匕夠使電子連接⑷如薄膜鉻)進入_ 筠㈣=及其=有 來密封_顯示器。雖然該型式密封 =吊&供良好的機械強度,其非常昂貴以及有許多情況益 氣及水,散至0⑽顯示器内。另外-種“ 〇=顯不裔之一般方式為利用金屬銲接,不過所形成密 ίίί溫度範_並不耐用,_ _顯示器中玻璃板與 ^間之^膨脹係數差異相當大。因而,需要解決先前所 k及之問取麟絲紐傳絲封QLED顯示器方式之 缺點。本發明密閉性密封技術將滿足這些以及其他需求。 【發明内容】 /' 本發明包含制性㈣GLED顯示n以及製造密閉性密 顯㈣之枝。基本上,密卩概密封QLED顯示器藉 供第一基板以及第二基板以及沉積玻璃料第一 域I)沉齡第一紐。照射光源(:4雷射第 )再使用來加熱玻璃料,其熔融以及形成密閉性密封該密 閉性在、封將第一基^連接至第二基^以及亦保護_)。玻 璃料為摻雜至少一種過渡金屬以及降低熱膨服係數填充_ 之玻璃,使得當照射光源加熱玻璃料時,其將軟化及形成連 接。其能夠使玻璃料溶融以及形成密閉性密封同時避免對 0LED造成熱損壞。 【實施方式】 參考圖1-7,其中揭示出本發明密閉性密封〇LED顯示器 100以及製造密閉性密封0LED顯示器1〇〇之方法2〇〇。雖然 本發明密封處理過程針對底下密閉性密封〇Led顯示器 第7 頁 製造說明,人們了解相同的或類似的密封處理過程能夠使 用於其他應用中,其中兩塊玻璃板需要彼此加以密封。因 而’本發明不應以有限的方式加以推論。 ^參考圖Μ及1B,其為頂視圖及斷面圖,其顯示出密閉性 费封OLED顯示器1〇〇之基本組件。〇LED顯示器1〇〇包含許多 層:第一基板102(例如為玻璃板1〇2),系列〇LED 104,摻雜 玻璃料106(例如為參閱試驗丨_5及表2_5)以及第二基板1〇7 。OLED顯示器1〇〇具有由玻璃料1〇6形成之密閉性密封1〇8, 其保護位於第-絲102與第二絲1〇7(例如玻璃板1〇7) ’ 間之OLED 104。密閉性密封1〇8通常位於况册顯示器1〇〇之 週邊。以及OLED 104位於密閉性密封ι〇8週邊内。密閉性密 封108如何由玻璃料1〇6以及相關組件例如為使用來形成密 閉性遂、封108之照射光源11〇(例如雷射Η〇a以及紅外線燈 泡110b)形成,將參考圖2-7在底下詳細加以說明。 參考圖2,其為流程圖,其顯示出製造密閉性密封 顯示器100優先方法之步驟。開始為步驟2〇2及2〇4,其提供 第一基板102及第二基板1〇7,使得能夠製造出〇LED顯示器 100。在優先實施例中,第一及第二基板1〇2及1〇7為透明的 玻璃板,其類似本公司製造銷售之編號1737玻璃或Eagle 2000玻璃。可加以變化,第一及第二基板1〇2及1〇7能夠為 透明玻璃板類似Asahi(例如為OA10玻璃以及〇A2i玻璃), Nippon Electric Glass Co., NHTechno and Samsung Coming Precision Glass Co.玻璃公司所製造及銷售 玻璃。 在步驟206時,OLED 104以及其他線路沉積在第一基板 102上。一般0LED 104包含陽極,一層或多層有機層及陰極 。不過,热知此技術者了解任何已知OLED 104或未來OLED 104能夠使用於OLED顯示器1〇〇中。再次地^人們了解假如 OLED顯示器100並不製造出而是使用本發明處理過程製造 第8頁 出玻璃包襄,該步驟能夠加以省略。 H208時,玻璃料106沿著第二玻璃板107沉積出。 例如,玻璃料106能夠放置距離第二玻璃板1〇7自 =1職處。在優先實施例中,玻璃料106為低溫玻、 含一種或多種吸收性離子,該離子由例如鐵,銅歲及敍^ 取出。玻璃料106亦能夠摻雜(例如逆變填充料添加性填 充料)較低熱膨脹係數之玻璃料1〇6,使得其實質上與兩個 玻璃板102及107熱膨脹係數相匹配。在試驗卜5 ^表2_5 中提供數種範例性玻璃料106組成份。 -° 一在步驟210中(選擇性),玻璃料106能夠為預先燒結至 第二基板107。為了達成該目標,在步驟2〇8沉積在第二基 板107上之玻璃料1〇6後再加熱,使得其黏附至第二基板1〇7 。底下針對試驗3對選擇性步驟210作更詳細說明。 在步驟212中,玻璃料106藉由照射光源11〇(例如雷射 110a’紅外線燈泡ii〇b)加熱,使得玻璃料1〇6形成密閉性密 封108,其連接以及黏附第一基板1〇2至第二基板ι〇7(參閱 圖1B)。密閉性密封1〇8亦保護〇LED 104避免大氣中氧氣及 水份進入0LED顯示器1〇〇。如圖ία及1B所示,密閉性密封 108通常位於0LED顯示器1〇〇外側邊緣之内側。玻璃料1〇6 能夠使用任何數目照射光源11〇例如雷射11〇a(參閱試驗卜 3)以及紅外線燈泡ll〇b(參閱試驗4)加熱。 底下進行數個試驗。基本試驗使用數種不同照射光源 110以加熱不同玻璃料106以連接或黏合兩塊編號1737玻璃 板102及107。試驗1-5對這些範例性玻璃料1〇6提供不同的 組成份。 mkl: 在該試驗中,照射光源11〇為雷射110a(例如為810nraTi :藍寶石雷射110a),其發射雷射光束H2a通過透鏡U4a以 及通過第一基板102,其加熱及軟化玻璃料1〇6(參閱圖3A)。 第 9 頁 1327560 制地義雷射光束112使得其有效地加熱以及軟化玻璃 ,106,其將促使玻璃料ι〇6形成密閉性密封1〇8,其將連接 第-絲102至第二絲1〇7。雷射11〇發射出特定波長(例 如800nm波長)之雷射光束112a以及玻璃料1〇6由推雜一種 或多種過渡金屬(例如釩,鐵,及/或斂)製造出以在特定波 長由射光束112a下提昇其吸收特性。玻璃料吸收特性 之提昇係指當發射絲112a域·⑽吸收時玻璃 料被軟化及形成密閉性密封1〇8。加以對照,選擇基板 及1〇7(例如編號1737玻璃板1〇2及1〇7)使得其並不會吸收 雷射110a發出之照射。因而,紐1〇2及1〇7在特定波長雷 射光束下具有相當低吸收性,其將有祕將不想要熱量由 所形成密酿細⑽娜至嶋。再她,在雷射操 作過程中OLED 104不應該加熱至超過8〇_1〇〇〇c。人們了解 該試驗中OLED 104並不位於基板上。 如底下所說明,為了增加玻璃料1〇6吸收,玻璃必需摻 #一種或多種過渡金屬例如鈒,鐵,或鉉。此完成係因為‘ 刖所提及過渡金屬在8〇〇-面附近具有大的吸收面積如圖 j-3F吸收頻譜曲線圖所示。人們了解過渡金屬選擇與特 疋種類雷射110a以及fr射llGa功率及轉移速率相關。 以價格,可靠性以及維護費用為依據,以光纖傳輸光線之 810nm,30瓦半導體雷射為良好的選擇。 為了證實該方式之可行性,兩種範例性玻璃料使用 ^9瓦800nm之Ti:藍寶石雷射ii〇a進行雷射加熱,其輸出由 ΙΟαη透鏡i14a聚焦至玻璃料1〇6。範例性玻璃料1〇6放置於 兩個1-醜厚之編號1737玻璃板1〇2與1〇7之間。第一玻璃料 由含有鐵,訊及磷之玻璃製造出。圖3G為由該玻璃料 ⑽形成密封108之相 >;圖,該玻璃料藉由移動速率為〇. 2fflm 』至5nnn/s由左至右之雷射u〇a加以軟化。以及第二玻璃 料106由含有鐵,鈒及磷之玻璃製造出。圖3H為由該玻璃料 1〇6形成密封108之相片圖,該玻璃料藉由移動速率為〇. 2麵 /s至5mm/s由左至右之雷射ll〇a加以軟化。在形成這些密 封108過程中,在玻璃板102及107中並未觀察到溫度^高。 在玻璃板102及107中並未觀察到裂縫。 人們立即地了解能夠使用其他形式雷射110a,其決定 於特定玻璃料106及基板1〇2及1〇7之光學特性,雷射能夠在 不同的速率以及不同的波長下操作。不過,在特定玻璃料 106中雷射波長應該在尚吸收頻帶内。例如,能約使用鏡( _nm<l<12G0nm),Nd:YAG〇1064nm),Nd:YALO〇l. 〇8 微米),以及销:(λ約為1. 5微米)連續波雷射。 在本試驗中,使用C〇2雷射110a以局部性地加熱沿著基 板102及107邊緣分散之玻璃料1〇6而不會由密封邊緣產生 ,著溫度提m有-騎促使鋪示賊璃熱膨服 係數相匹配之VA-Fe^-Pza預製件玻璃料106的填充料沿 著編號1737玻璃板102以及107之一邊緣放置著。'而後^ 雷射110a對釩酸鹽鐵構酸鹽玻璃料106加熱。在破璃料1〇6 軟化點溫度下,釩酸鹽鐵磷酸鹽玻璃料1〇6流動 玻璃板102及1〇7黏附在一起以及在後續冷卻循環 化以形成密閉性密封108。® 4A及為# 璃料106以及猶1737玻璃鉍1〇2及1〇7之透射曲^圖。 本峨另外一項係關於放置預製件鈒酸鹽鐵鱗 璃料106於編號1737玻璃基板1〇2及1〇7之間。由^缝 很容易地由先前處理過程例如切割及處理之步維二 簡玻璃絲1〇2及107邊緣產生,當最初裂縫較 已知溫度梯度以及熱膨脹係數不相匹配下在’ 玻細2及1〇7界面處邊緣破裂的可能性將:: 雷射及後續冷卻循環過程巾所產生之熱應力生在 的以及並不會釋除應力。為了解決該_,在該^^中彈^ 第11頁 1327560 製件飢酸鹽鐵磷酸鹽玻璃料106塗覆於距離編號1737玻璃 基板102及107自由邊緣一小段距離處(參閱圖3A及4C)。 試驗3: 在該試驗中,照射光源110為雷射ll〇a(例如c〇2雷射 110a),其發射雷射光束112a通過分裂光束光學元件500,該 元件將雷射光束112a分裂雷射光束112a’及112a",其再導 引朝向第一及第二編號1737玻璃基板102及1〇7(參閱圖5A) 。如圖所示,雷射ll〇a發射雷射光束112&朝向分裂光束光 學元件500,該元件包含50/50光束分裂器502,其分裂雷射 光束112a為雷射光束H2a,及112a"。第一雷射光束U2a, 為反射鏡504(例如為塗覆Au反射鏡504)使得光線導引通過 透鏡506到達第一編號1737玻璃基板1〇2上。第二雷射光束 112a"反射至一系列反射鏡5〇8及51〇(例如為塗覆Au反射鏡 508及510)使得光線導引通過透鏡512到達第二編號ία?玻 璃板107。使用分裂光束光學組件5〇〇以傳送熱量至基板 102及107集中區域,其能夠以下列所說明方式軟化以及黏 附範j性玻璃料106,其中控制溫度分佈以及殘餘應力以達 成可靠性密封組件。人們了解分裂光束光學組件5〇〇能夠 使用於試驗1及2中以及存在許多不同型式之組件能夠使用 於本發明中以分裂雷射絲112a,使得其與勒反} 〇2及1〇7 相交。 在該試驗中,選擇範例性V2〇5-Zn〇—PACVZP)玻璃料 106及編號1737玻璃基板1〇2及1〇7。密封第一步驟21〇即 預先燒結VZP玻璃料106至基板1〇7在4〇〇它下高溫爐環境中 進行歷時1小時,以及接著在高溫爐中冷卻以防止產生裂縫 。在VZP玻璃料1〇6以及絲1〇7界面處觀察到良好的廳 f生,以及因而良好的黏接而沒有呈現出任何局部分層或非 黏附區域。接著為使用集中化瓜雷射1 i〇a之密封第二步 驟。制地級102及1〇7兩個表面邊緣藉由瓜雷射論 第12頁 1327560 集中地加熱至VZP玻璃料106之軟化溫度。C〇2雷射110a發 射單束光束112a,其被分裂為兩束光束112a’及112a”,其聚 焦至基板搬及107上(參閱圖5A)。圖5C顯示出黏附基板 102及107之頂視相片圖。 在本試驗中照射光源110為1000瓦特紅外線燈泡110b, 其藉由可變電壓控制器加以控制。該特別紅外線燈泡發射 出800至2000nm波長範圍之光線。使用紅外線燈泡n〇b密 封之試樣由兩塊編號1737玻璃基板102及107所構成,其中 範例性玻璃料106沿著基板102及107四個邊緣塗覆為薄的 長條。使用於試驗4中範例性玻璃料106組成份提供於表1 中。 表1* 混合 # 混合組成(wt. %) 糸脲份(艱%) 獅斗 玻槲 5801 (80%) (平觸択寸= 15-20 μιη) (20%) (平觸択寸= 15-20 μπι) Ti〇2 20 P2O5 30 V205 50 Li20 25 AI2O3 25 Si02 50 5817 (70%) (平寸= 15-20 μπι) (30%) (平觸択寸= 15-20 μπι) Fe203 12.5 P2O5 35 V2〇5 52.5 Li20 25 Al2〇3 25 Si02 50 5913 (80%) (平觸iR寸= 5-10 μπι) (20%) (平觸iR寸= 5-10 μιη) ZnO 20 P2〇5 30 V205 50 Li20 25 A1203 25 Si02 50 *人們了解這些玻璃料106能夠使用於在此所說明其他任何試驗中以密封編號1737玻璃板 102 及 107。 如先前所提及,當使用紅外線來密封玻璃料106時,玻 璃料106吸收紅外線區域之熱量為重要的。如先前所說明, 在氧化物玻璃中叙為特別強烈之紅外線吸收劑。因而該試 驗中大部份初始標定以及密封工作使用具有混合料5801之 玻璃料106而完成,其包含鈦-鈒玻璃料以及經蓉土石夕酸鹽 填充料之混合物(參閱表1)。5801混合粉末首先使用適當 溶劑/黏接劑系統例如為醋酸戊酯/硝化纖維素,或松脂油 第13 頁 1327560 形成為糊料,其裝入注射器内,贼再狀工沿著編號1737 ,填缺102及1〇7邊緣分佈。在塗覆58〇1混合玻璃料1〇6 後,兩塊玻璃板102及1〇7再以人工方式使用中度手握應力 彼此擠壓,以及再放置於1〇〇1烘箱中乾燥58〇1混合玻璃料 106 〇 試樣基板102及107再放置於紅外線燈泡底下4〇醒(大 約燈泡焦距)以及放置於耐火布上面以作為隔絕用途。密 封步驟212每-次在單側進行。由蓉土所構成对火磚放置 於j個玻璃板102及1〇7表面上以作為紅外線遮罩,除了將 被獄封之實際密封邊緣外。在範例性玻璃板1〇2及1〇7中之 溫度藉由穿過頂板102鑽出小洞孔之兩塊玻璃板1〇2及1〇7 中央熱電偶加以監測。一旦被遮蓋玻璃板1〇2及1〇7及熱電 偶放置於紅外線燈泡下,燈泡控制器加以調整為丨⑽最大功 率,以及试樣基板102及1〇7再調整方向以進行實際密封。 關閉控制器,對熱電偶作最終檢查,以及再立即地打開調整 至作為密封之數值(通常為最大輸出之4〇_6〇%)。 在紅外線操作過程中,以吸收紅外線之保護性眼鏡觀 看密封邊緣。一旦在5801混合玻璃料1〇6中觀察到軟化,立 即地關掉紅外線燈泡電源,以及燈泡本身由試樣基板1〇2及 107移開。密封一個邊緣一般所需要時間大約為6〇秒。圖 6A顯示出溫度之曲線圖,其為使用5801混合玻璃料對編 號1737玻璃基板102及1〇7之Γχΐ"組件四邊作密封過程中 時間之函數。人們了解最高中央溫度在75至95ΐ範圍内。 圖6Β顯示出採用以上述相同方式除了使用5817玻璃料而並 不使用5801混合玻璃料1〇6外密封編號1737玻璃基 板102及107之SEM斷面。顯微圖顯示分佈於良好溶融5817 混合玻璃料106中之填充料顆粒。如人們所看到,5817混合 玻璃料106確實含有一些大的氣泡或孔隙其可能由被捕獲 黏接劑所形成。人們了解儘管短的加熱時間(⑼秒),5817混 第14 頁 1327560 及 合玻璃料106為良好地熔融以及對編號〗737 107呈現出良好的黏附性。 胃_ 除了先前所提及5801及5817混合玻璃料職紅外線 封工作亦糊搬齡物断。幼―半㈣離紐、 102及107進行測試以及密封在He滲漏測試中測 漏量並不呈現出大於10%%。 17〜 人們了解已使财射雜融顺表丨卜 料。特別i也發射雷射光束收聚焦於2· 5麵光點上以及以
0. 5mm/s移動速度之7瓦81〇nm連續波(qv)半導體雷射〗1〇a 使用$炼融5913混合玻璃料106(參閱圖6C)。在操作雷射 110a刖,5913混合玻璃料1〇6加以網版塵製,預先煆燒以及 加以研磨以減小厚度變化至小於微米。 試驗:5: 在詳細說明該言^驗前,當設計使用作為製造密閉性密 封玻璃料100之玻璃料106時,人們應該記住存在數種考慮 。這些考慮列出於底下: 〜
•也、巧溫度-為了避免OLED 104之熱衰變,玻璃料1〇6應該 在相當低溫度下密封,使得在〇Led顯示器1〇〇中距離密封邊 緣之短距離(1-3刪)處之溫度並不會超過i〇〇〇c 〇 •膨脹匹配性-玻璃料1〇6熱膨脹性應該與基板1〇2及1〇7 相匹配以限制密封應力以及因而消除密封中由於破裂喪失密 閉性。 •密閉性-玻璃料106應該形成密閉性密封以及對〇LED顯示 器100中元件提供長期保護。 ^密封玻璃料最好拌隨只在相鄰OLED中達成最小溫度提 昇之規定能夠滿足低溫密封玻璃料1〇6。不過,大部份低溫 合理耐久性之氧化物玻璃料具有熱膨脹係數遠高於基板 102及107之熱膨脹係數。因而低溫玻璃料之高熱膨脹係 數需要使用降低熱膨脹係數之填充料添加劑,或惰性材料 第15 頁
丄JZ/DOU 2 二夠加性填充料',例如為鋰礬土矽酸鹽 ΓΪ 7 ί身本為較低熱膨服係數,或π逆變填充料”例
產生尺寸之變化。目而,為了符合QLE 及一些局部邊緣加 為辟触在密綱財使相鄰溫度 出密iSf-H由峨1737麟級1(32及皿製造 出在封0LED顯不器1〇〇之低炼融玻璃料1〇6列於 璃料⑽細*錢(即 <靴),錢低高溫 巧饴^皿度(<55() C)。雖然這些玻璃料⑽全部由正常玻 炼融技術製造出,人們了解許乡這些玻璃料 =膠凝技術製造出。列於表2中組成份包含下歹= 106: 鹽這些玻璃料1〇6具有中等熱膨脹係數( =110x10 /C),良好的水溶耐久性,但是具有低黏附力 、點。因而,其需要逆變填充料以降低熱膨脹係氣以及红 過渡金屬)以允許藉由局部化裝置例如半 導體110a以及紅外線燈泡110b進行加熱。 •混合驗金屬鋅磷酸鹽(R2P)_這些玻璃料1〇6具有高數值之 熱膨脹係數(130x10 7/°c),但是呈現出良好的黏接性。因 而其需要添;Μ目t乡填充料贿低鱗麟紅所需要之 37xl(T7/°C。因而密封溫度相當高。 • _酸鹽玻璃-這些玻璃料1〇6結合低Tg以及低熱膨服係 數之特性。其呈現出良好的黏接性,但是遭遇不良水溶耐 久性之缺點。由於在矽酸鹽玻璃中釩本身為強烈紅外線吸 收劑,這些玻璃對局部密封技術具相當吸引力。 •鉛硼酸鹽玻璃-這些玻璃料1〇6主要為共熔的,其 由電視密封玻璃料組成份發展出。其高熱膨脹係數需要相 第16 頁 1327560 當數量填充料加入以降低其熱膨脹係數以與顯示器玻璃之 熱膨脹係數相匹配。 •混合組成份(例如鋅鹼金屬磷酸鹽混合pb〇及驰)_混合 玻璃料106通常提供多項優點優於各別最終成份其具有良 好的紅外線吸收性質,但是通常具有例如高熱膨脹係數之 缺點。 表2 SZP RZP V-phos PB RZP+V, EbO 翻 昏鋅-麵 鹽 混合驗金屬-鋅 mmm H 釩篇 份(^>4 %) 60% SnO 32% P2〇5 6% ZnO 2% B2O3 45% ZnO 33% p2〇5 20% R2〇 2% Al2〇3 50% V205 30% P2O5 20% ZnO 62% PbO 34% B2O3 3% Si〇2 1% AI2O3 30% P205 * 23% ZnO 20% R20 . 15% PbO 10% V205 2% AI2O3 -^:τ9 (°〇 300° 3250 300° 350° 310。 * 37CTE^$^ 臟飼溫Sra 475-500。 500°-550° 425-450° 500-550° 500-550。 —^ CTE (l〇-7/°C) 110 130 70 130 140 iMf性 低^,餅 耐久性 低 Tg,低 CTE, mmmi 負_性 mm\, 碰Ml 劑;高的高應 密铺驢 顯_醒 劑,·高的蔵显 猶铺酿 料;高的高溫 纖對雛 人觸幽觀10 6肯銳麵粧扁肺纖φ以密對臟 1737¾^ 102 及 107。 如表2所示,凱填酸鹽為主之玻璃料廳提供獨特之低 Tg,以及低熱膨脹係數。在石夕酸鹽玻璃中釩為強烈紅外線 吸收劑,因而在局部密封方法例如紅外線燈泡中以及近紅 外線及遠紅外線雷射(即800-900nm雷射,以及10. 6微米COz 雷射)中釩為理想之選擇。在及Ti〇2~ P2O5-V2O5系統中,细麟酸鹽之操作啟始點為低Tg玻璃。圖 第17 頁 顯不出鈦细磷酸鹽玻璃料895 ,冥耳比為基準)之近紅外線透射鱗⑽㈣玻璃料並未 .、、、,於表2中)。〉主意在獅_15〇〇咖波長範圍内該玻璃料 之吸收性。加以對比,編號1737玻璃基板1〇2及1〇7在 ㈨(H500nm波長範圍内為接近完全透明的。
雖然的5 AFD鈒鱗酸鹽玻璃料1〇6具有低熱膨脹係數, 「熱膨脹係缝不會相當低而與編號1737玻璃缺1〇2及 熱膨脹係數相隨,其並不需要添加玻璃料。由於玻璃 料106具有相當低熱膨脹係數其允許使用添加性填充料以 降低熱膨脹係數,其並不添加"逆變”填充料,該填充料會產 生微細裂縫,其將導致非密閉性密封。非常不幸地^ 895 玻f料106甚至於具有填充料數量接近最大數量(約25-3〇% 重置比),其與編號1737玻璃基板1〇2及1〇7仍然不會呈現出 令人滿意之相匹配。
不過,持續對組成份研究發現能夠製造出鋅飢碟酸鹽 ^璃料106,當加入填充料時,其熱膨脹係數相當低而與編 號1737玻璃基板1〇2及1〇7熱膨脹係數非常相匹配。具有組 成份20ZnO-30P2〇5-50V2〇5(莫耳比)玻璃料之Tg及熱膨脹 係數量測值分別為30(TC以及70χ10_7Λ:。實際上,底下所 說明但是並不列於表2中5895混合玻璃料106為鋅飢碟酸鹽 以及添加性填充料之混合,其顯示出與編號1737玻璃基板 102及107良好的膨脹性相匹配以及良好的黏接。5895混合 玻璃料106包含鋅飢構酸鹽玻璃料(2〇ZnO-30P2a-50V2〇5 莫耳比)以及々-鋰霞石玻璃陶变GOLizOdSAlzO^OSiOz 莫耳比)如下列成份(重量比): •玻璃料,(5-10微米平均顆粒尺寸)75% •填充料(5-10微米平均顆粒尺寸)1〇% •填充料(15-20微米平均顆粒尺寸)15% 圖7B為呈現出對接密封膨脹性不相匹配數據之曲線圖為溫 第18 頁 丄以/360 又之函數,其中混合5895玻璃料106塗覆於編號1737玻璃基 板102。密封由使用醋酸戊酯及硝化纖維為載體/黏接劑系 統之糊狀物配製出,以及在具有偏極器觀察埠之高溫爐中 假^其加熱至45(TC,保持1小時,以及再冷卻至室溫。在 冷卻循環中,在特定溫度間隔下作光彈性量測以監測編號 1737玻璃基板1〇2中之減緩度,其為與玻璃料1〇6膨脹性不 相匹配所導致。使用光彈性量測以計算基板玻璃1〇2與玻 璃料106間總膨脹不相匹配& ^τ=ΑΤ(α8-α〇 ⑴ 其中ag,a f分別為玻璃及玻璃料之熱膨脹係數;以及ΛΤ 為關切之溫度範圍。 人們了解在圖7Β中所顯示5895混合玻璃料1〇6與編號 1737玻璃基板1〇2及107間在125°c下最大膨服不相匹配大 約為+350ppm,以及室溫下不相匹配為+既卯取兩者情況下 玻璃料106在中等張力下。這些不相匹配數值顯示混合5895 玻璃料106與編號1737玻璃基板1〇2及1〇7間具有相當 良好之膨脹匹配性。5895混合玻璃料1〇6與編號1737玻璃 基板逆夾層密封在450°C下高溫爐假燒一小時顯示-25ppm 不相匹配(玻璃料在中等壓力下),其顯示895混合玻璃料 106與編號1737玻璃基板1〇7間具有良好之膨脹匹配性。 這些辞飢磷酸鹽玻璃料106亦提供能夠符合〇led密封 之费閉性要求。由紅外線燈泡11此或81 Onm雷射ll〇a加熱 或利用5895混合玻璃料1〇6密封之數個ι"χι"編號丨737玻璃 基板組件通過氦滲漏試驗,該測試藉由保持真空下降至被 儀器量測出之最低滲漏率lxHTW/s。除此,在810nm雷 射玻璃料密封過程中由紅外線攝影機,熱電偶,以及熱顯示 漆各別溫度量測全部顯示離密封邊緣lmm處最高溫度為$ 10(TC。 適合作為密封由編號1737玻璃基板1〇2及1〇7製造出 第19 頁 1327560 0LED顯示器loo另外一個可能之低溶融釩玻璃料i〇6列於表 3-5中。表3鑑^出本發明之釩玻璃料106,其中各成份以莫 耳百分比表示。 ' _ 表 3 釩玻璃料106
ZnO 0-20 0—20 P2O5 V2O5 20-40 30-60
第2〇 頁 比較ϋ歹釩玻璃料106更優先組成份,其與表3所列成份 明域她,其中所有成份以莫二=!出本發
含有30%冷-鋰霞石填充料之範例性混合鈒玻璃料1〇6 依據表5所列組成份配製出,其具有下列組成份:汉狨
Sbz〇3, 27% PA, 47. 5% V2O5,1% Ti〇2,及 1% Αω 。在試驗中,該範例性混合凱玻璃料1〇6通過嚴格的環境測 試(85 C/85%相對濕度槽)以及呈現出極良好水溶耐久性。 了解在這些試驗中測定出範例性混合凱玻璃料 106之熱膨脹係數為36.3xlO-Vt:(室溫(RT)至250°C)。該 熱膨脹係數與基板玻璃102/107之熱膨脹係數37χΐ 〇Ί 十分相匹配。加以對比,並不含有万鋰霞石填充料之範例 性凱玻璃料106進行測試以及熱膨脹係數為81.5χ1〇-7/ΐ :如人們所知,為了使玻璃基板熱膨脹係數符合3〇_4〇χ1〇 _7/°C範圍内,範例性鈒玻璃料1〇6中需要填充料。 人們了解大部份傳統低溫密封OLED顯示器為Pb〇為主, 因為PbO玻璃料具有良好的流動性,以及黏接特性。不過, 第21 頁 附性與傳統Pb為主之玻璃料相當。合耐纽,以及黏 矛'此’人們了解其他具有Sb2〇3含量高達28 5%之籍定 有成域t於先前所提及範例性混合釩玻璃料106。 ηί所提及列於表1-5 +玻璃料組成份,人們了解 二组。發展但I能夠使用來密封兩塊玻璃板之玻璃 本發明其他不同的優點及特點列出於底下: •密閉性密封具有下列特性: 。與玻璃級102及107具有良好的熱膨脹匹配性。 。低軟化點溫度。 。良好的化學及水溶耐久性。 。良好接至玻璃基板1〇2及1〇7。 。良好接至銅金屬引線(例如陽極及陰極)。 。密實,具有非常低孔隙率。 。不含錯及鎘。 .除了編號1737玻璃板以及Eagle 2000玻璃板外其他形式 之基板102及107能夠使用本發明密封處理過程使彼此密封 為重要的。例如,由Asahi Glass Co.(例如為OA10玻璃及 0A21 玻璃),Nippon Electric Glass Co.,NHTechno and Samsung Corning Corning Precision Glass Co.公司所 製造玻璃基板102及107能夠使用本發明密封處理過程彼此 加以密封。 •本發明除了由摻雜一種或多種過渡金屬玻璃製造出玻璃 料106能夠加以熔融以形成密閉性密封1〇8,尚可考慮其他 因素。這些考慮因素包含密封玻璃102及107及玻璃料1〇6 之熱膨脹係數間十分相匹配^以及密封玻璃102及1〇7及玻 第22 頁 1〇6黏滯?(例如應變點,軟化點〕間十分相匹配。人們 同= 員ί優先地玻璃料106熱膨脹係數相 玻璃M1G2及107之熱__ 108 件例如密封之雷射功率,聚焦以及速度。 八 顯示器1GG及方法200提供數項優點優於目前業界實 ί 2況μ其中=有機黏接劑在0LED顯示器中提供密閉性 ^ 2 ^示器100並不f要存在除濕劑。第二, f OLfD顯示器中由於水份所導致傳统紫外義化黏接劑密 ΐΐϊΐ速率快於無機密封之情況。第三所提出方法200 實^也減少某一組件循環時間(處理時間),其中紫外線固 化密封(有機密封)通常需要在高溫爐中作延長時間之後處 =第四,GLED顯igg將為較長壽命·傳統環氧樹脂 後封0LED顯示器長,其對水氣渗透性提供較差之抵抗性。 第五,0LED⑨封方法2GG能夠很容《地整合至製造生產線。 •本發明玻璃料106能夠設計來吸收除了上述所說明红外 線區域外之其他區域熱量。 • 2們了解除了先前所提及範例性玻璃料外,存在其他組 成份或已存在或正發展之其他種類玻璃料,但是能夠依據 本發明加以使肋製劍所需要之QLED顯示器。 ^依據^驟210預先密封至一塊玻璃絲1〇2及1〇7找璃 料106此夠銷售為零件或預先燒結鄰近給〇LED顯示器⑽製 造商,其能夠再按裝0ELD 104以及在其工廠中使用局部化 加熱源進行最終加熱及冷卻步驟212。 • _顯不器100能夠為主動0LED顯示器或被動0LED顯示 器 100。 •人們了解本發明另外一項在於在完成加熱步驟21〇後控 制0LED顯不器1〇〇之冷卻速率。突然及快速地冷卻會導致 大的熱應變,其將在密閉性密封1〇8以及密封玻璃板1〇2及 第23 頁 =7上產生高的彈性熱應力。人們了解適當的冷卻速率決 定^將密封之特定OLED顯示器1〇0之尺寸以及熱量由〇LED 顯示器100消散至外界環境之速率。 、雖然本發明數個實施例已列舉在附圖以及在先前詳細 說明中加以說明,人們了解本發明並不會受限於所揭示之 實施例’然而能夠作許多再排列,改變及替代,其並不會脫 離下列申請專利範圍所揭示及所界定之本發明精神。 【圖式簡單說明】 第一圖A及B為頂視圖及斷面圖,其顯示出本發明〇led 顯示器密閉性密封; 第二圖為流程圖,其顯示出製造第一圖A&B中所示密 閉性密封OLED顯示器之方法。 第二圖A為透射圖,其顯示出試驗1中由雷射密閉性密 封之兩個基板。 第二圖B-F為摻雜不同過渡金屬範例性之玻璃吸收頻 譜。 第三圖G為具有由鐵鈒磷酸鹽玻璃料所形成密封之兩 塊玻璃板的頂視相片圖,該玻璃料在試驗工中藉由雷射加以 溶融及雷射平移速度為〇. 2mm/s至5mm/s由左至右移動。 第二圖Η為具有由欽叙鱗酸鹽玻璃料所形成密封之兩 塊玻璃板的頂視相片圖,該玻璃料在試驗i中藉由雷射加以 溶融及雷射平移速度為〇. 2nnn/s至5mm/s由左至右移動。 第四圖A及B為试驗2中所使用範例性鈒鐵磷酸鹽玻璃 料(圖4A)及Coming 1737玻璃基板(圖4B)之透射曲線圖。 第四圖C為試驗2中所製造無裂縫密封玻璃板之側視相 片圖。 第五圖A顯示出s式驗3中雷射及分裂光束光學元件矣卜列 ,其使用來加熱玻璃板兩侧。 第五圖B為試驗3中預製件玻璃料之頂視圖,該玻璃料 第24 頁 1327560 放置距離玻璃板邊緣一小段距離。 第五圖C顯示言输3中製造出無裂縫玻璃板之相片圖。 第六圖A為當利用紅外線燈泡使用說明於試驗4中5801 ,雜玻璃料來密封Coming 1737 ΓχΓ玻璃板組件四邊時 為時間函數之溫度曲線圖。 第六圖Β顯示出利用言擔4中所說明以紅外線燈泡加熱 並使用5817摻雜玻璃料密封ΓχΓ編號1737玻璃板組件之 斷面相片圖。 第六圖C為試驗4中所說明使用5913混合玻璃料利用雷 射加熱密封之編號1737玻璃板無裂縫組件的相片圖。 第七圖Α為使用說明於試驗5中鈦飢糊楚鹽玻璃料( 莫耳比為基準)之接近紅外線透射曲 線圖。 第七圖B為曲線圖,其顯示出於試驗5中以5895混合玻 璃料塗覆於峨而玻魏巾接合㈣之舰不相匹喊 據,其為溫度之函數。 附圖元件符號說明: 有機發射光線二極體(0LED)顯示器1〇0;第一基板 102;有機發射光線沐體1〇4;玻璃料職第二絲1〇7 ;滅’性密封I。8;照射絲11G;雷射腺;雷射光束 112a’112a,112a";透鏡114a;製造密閉性密封〇led顯示 器方法200;提供第-級202;提供帛二絲204;沉積 0LED於第一基板上;沉積玻璃料於第二基板上;預先燒結 玻璃料至第二紐上210;加熱玻璃料使得玻璃料溶融以 及形成連接第一基板至第二基板之密閉性密封M2;分裂 光束光學潘綠賴H 5〇2;反概5Q4;透鏡^ ;反射鏡508, 510;透鏡512。 第25 頁
Claims (1)
- 月 Γ γ年 十、申請專利範圍: 種發射光線有機二極體裝置,其具有至少一個 Γίϊ,體位於彼此連接兩塊板之間,該連接藉“射 所形成密閉性密封’其將促使玻璃料熔融以及 密士封’同時避免至少一個發射光線有機冰體 2熟劣化,其中玻璃料為掺雜至少一種過渡金屬以 …f脹係數之填充料的玻璃,降低熱膨脹係數之填充料的 熱外脹係放為等於或小於兩塊板的熱膨服係數。 2甘依據中請專利麵第1項之發射光線有機體裝置, 八中當與玻璃料由雷射吸收熱能比較時第一及第二玻^ 板兩者將由雷射吸收較少熱能。 3·依據申請專利範圍第1項之發射光線有機二極體裝置, 其中填充料為負值熱膨脹係數填充料或添加性填充料。’ 4.依據申請專利範圍第1項之發射光線有機二^體裝置, 其中發射光線有機二極體裝置為顯示器。 ’ 5· —種發射光線有機二^體顯示器,其包含: 第一基板; 至少一個有機發光二極體; 第二基板; 玻璃料,其由摻雜至少一種過渡金屬以及降低熱膨脹係數之 填充料的玻璃製造出,降低熱膨脹係數之填充料的熱膨服係數 為等於或小於第一及第二基板的熱膨脹係數,其中玻璃料藉由 ,射加熱,其將使玻璃料軟化以及形成密閉,陡密封該密封將 弟基板連接至第二基板以及亦保護位於第一基板連接至第 二基板間之至少一個發射光線有機二極體裝置。 6·依據申請專利範圍第5項之發射光線有機二極體顯示 器,其中當與玻璃料由雷射吸收熱能比較時,第一及第 二基板兩者將由雷射吸收較少熱能。 7.依據申請專利範圍第5項之發射光線有機二極體顯示 第1 頁 1327560 器,其中填充料為負值熱膨脹係數填充料或添加性填充料, 其包含鐘馨土矽酸鹽化合物例如為万鋰霞石。 、,, t依據申請專利範圍第5項之發射光線有機二極體顯示 器,其中玻璃料為含有一種或多種吸收性離子之低溫^^ 料,該離子由鐵,鋼,鈒,及敛選取出。 9·依據申請專利範圍第5項之發射光線有機二^體顯示 器’其中排除降低熱膨脹係數填充料之玻璃料以莫耳百分 比表示具有下列組成份:〇-臟KA 0-20% Fe^'MO% Sb2〇3,20-40% PA,30-60% m,0-20% Ti〇2,0-5% AI2O3,0-5% B2O3,0-5% W〇3,0-5% Bi2〇3。 =·依據申請專利範圍第5項之發射光線有機二極體顯示 器’其中玻璃料由鈦-飢玻璃,鋅釩玻璃,Sn-Zn-磷酸鹽玻 璃,混合鹼金屬鋅填酸鹽玻璃,釩填酸鹽玻璃,pb_蝴酸鹽 玻璃,以及具有飢及錯混合驗金屬屬鋅鱗酸鹽玻璃種類選 取出。 '、 11. 一種製造發射光線有機二極體裝置之方法,該方法包含 下列步驟: , 提供第一基板; 提供第二基板; 沉積玻璃料於一個基板上,該玻璃料由摻雜至少一種過 渡金屬以及降低熱膨脹係數之填充料的玻璃製造出,降低 熱膨脹係數之填充料的熱膨脹係數為等於或小於第一及 第一基板的熱膨脹係數,以及 沉積至少一個發射光線有機二極體於一個基板上;以及 一加熱以及再冷卻玻璃料,其將促使玻璃料軟化以及形成 岔閉性岔封,該密封將第一基板連接至第二基板以及亦保 護至少一個發射光線有機二極體。 12. 依據申請專利範圍第u項之方法,其中更進一步包含下 列步驟:放置黏接劑於第—及第二勤^外側邊緣間之間隙 第2 頁 1327560 内,其中間隙由存在密閉性密封而形成。 其進-步包含下 ί定==專利=:丨項之方法^加熱步驟在預先 封,同時避免對至少-個發射光線有機沐體3閉心 15. 依據申請專利細第u項之方法,其中加熱步驟更進一 步包含使用雷射以發射出加熱該玻璃料之雷射光。 16. 贈申請專利範圍第15項之方法其中玻璃料在红外線 區域内具有提昇敝雛以及該雷械束具有紅外線區域 之波長,使得當雷射光束與該玻璃料交互作用時與每一第 一及第一基板所吸收熱量相比較時,該玻璃料將由 束吸收更多熱量。 17. 依據申請專利範圍第11項之方法,其中加熱步驟更進一 步包含使用紅外線燈泡以發射出加熱該玻璃料之n。 18·依據申請專利範圍第17項之方法,其中玻璃料在紅外線 區域内具有提昇吸收特性以及該光線具有紅外線區域之波 長,使得當雷射光束與該玻璃料交互作用時與每一第一及 第二基板所吸收熱量相比較時,該玻璃料將由雷射光束吸 收更多熱量。 19. 依據申請專利範圍第11項之方法,其中玻璃料具有軟化 點溫度低於第一及第二基板之軟化點溫度。 20. 依據申請專利範圍第11項之方法,其中玻璃料之熱膨服 係數與第一及第二基板之熱膨脹係數相匹配。 ' / 21·依據申請專利範圍第11項之方法,其中填充料為負值熱 膨脹係數填充料或添加性填充料》 ' 22.依據申請專利範圍第11項之方法,其中玻璃料為含有一 種或多種吸收性離子之低溫玻璃料,該離子由鐵,銅,机及 鈥選取出。 第3 頁 1327560 23.依據申請專利範圍第11項之方法,其中排除降低熱膨脹 係數填充料之玻璃料以莫耳百分比表示具有下列組成份:〇 -10%K2〇, 0-20% FeA 0-40% SIA 20-40% P2〇s,30 -60% V2O5, 0-20% T1O2, 0-5% AI2O3, 0-5% B2O3, 0-5% W〇3, 0-5% Bi2〇3。 24·依據申請專利範圍第ii項之方法,其中玻璃料由鈦_釩 玻璃’ #釩玻璃,磷酸鹽玻璃,混合鹼金屬辞罐酸鹽 玻璃,鈒填酸鹽玻璃,Pb-硼酸鹽玻璃,以及具有鈒及錯混合 驗金屬屬鋅鱗酸鹽玻璃種類選取出。 25.依據申請專利範圍第i項之發射光線有機^^體裝置, 其中玻璃料平均顆粒尺寸在5微米至1〇微米之間。 100°C 第25項之發射光線有機屬裝置 =在加熱過程中離密封邊緣!咖之裝置最高溫度為^ 專利範圍第1項之發射光線有機二極鮮置 二在加熱過程中離密封邊緣1職之装置最高S 光線有機4體裝 29. 依據申請專利^^^^^微来之間。 粒尺寸在5微米至1〇微米之間。,/、中破璃料平均顆 30. 依據申請專利.範圍第29項0之方 中離密封邊緣lrnm之裝詈备古 法’其中在加熱過程 礼依據巾_範 mi之裝置最命在加熱過程中 32.依據申請專利範圍第 =l〇〇C。 粒尺寸在5微米至1〇微米之間。,>、中坡璃料平均顆
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