KR20140147161A - Semiconductor light emitting device and manufacturing method of the same - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 218
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000005215 recombination Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000006798 recombination Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 94
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 79
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 79
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 claims description 50
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 7
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
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- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16245—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
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Abstract
Description
본 개시(Disclosure)는 전체적으로 반도체 발광소자에 관한 것으로, 특히 복층구조의 봉지부를 구비하는 반도체 발광소자 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다. The present disclosure relates generally to a semiconductor light emitting device, and more particularly, to a semiconductor light emitting device including a sealing portion of a multilayer structure and a method of manufacturing the same.
여기서, 반도체 발광소자는 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 반도체 광소자를 의미하며, 3족 질화물 반도체 발광소자를 예로 들 수 있다. 3족 질화물 반도체는 Al(x)Ga(y)In(1-x-y)N (0=x=1, 0=y=1, 0=x+y=1)로 된 화합물로 이루어진다. 이외에도 적색 발광에 사용되는 GaAs계 반도체 발광소자 등을 예로 들 수 있다. Here, the semiconductor light emitting element means a semiconductor light emitting element that generates light through recombination of electrons and holes, for example, a group III nitride semiconductor light emitting element. The III-nitride semiconductor is made of a compound of Al (x) Ga (y) In (1-x-y) N (0 = x = 1, 0 = y = 1, 0 = x + y = 1). A GaAs-based semiconductor light-emitting element used for red light emission, and the like.
여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art). Herein, the background art relating to the present disclosure is provided, and these are not necessarily meant to be known arts.
도 1은 종래의 반도체 발광소자의 일 예(Lateral Chip)를 나타내는 도면으로서, 반도체 발광소자는 기판(100), 기판(100) 위에, 버퍼층(200), 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(300), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(400), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(500)이 순차로 증착되어 있으며, 그 위에 전류 확산을 위한 투광성 도전막(600)과, 본딩 패드로 역할하는 전극(700)이 형성되어 있고, 식각되어 노출된 제1 반도체층(300) 위에 본딩 패드로 역할하는 전극(800)이 형성되어 있다. 버퍼층(200)은 생략될 수 있다.FIG. 1 is a diagram showing a conventional semiconductor light emitting device. The semiconductor light emitting device includes a
도 2는 종래의 반도체 발광소자의 다른 예(Flip Chip)를 나타내는 도면으로서, 반도체 발광소자는 기판(100), 기판(100) 위에, 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(300), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(400), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(500)이 순차로 증착되어 있으며, 그 위에 기판(100) 측으로 빛을 반사시키기 위한 3층으로 된 전극막(901), 전극막(902) 및 전극막(903)이 형성되어 있고, 식각되어 노출된 제1 반도체층(300) 위에 본딩 패드로 기능하는 전극(800)이 형성되어 있다. FIG. 2 is a view showing another example of a conventional semiconductor light emitting device (Flip Chip). The semiconductor light emitting device includes a
도 3은 종래의 반도체 발광소자의 또 다른 예(Vertical Chip)를 나타내는 도면으로서, 반도체 발광소자는 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(300), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(400), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(500)이 순차로 증착되어 있으며, 제2 반도체층(500)에 제1 반도체층(300)으로 빛을 반사시키기 위한 금속 반사막(910)이 형성되어 있고, 지지 기판(930) 측에 전극(940)이 형성되어 있다. 금속 반사막(910)과 지지 기판(930)은 웨이퍼 본딩층(920)에 의해 결합된다. 제1 반도체층(300)에는 본딩 패드로 기능하는 전극(800)이 형성되어 있다. FIG. 3 is a view showing another example of a conventional semiconductor light emitting device (Vertical Chip). The semiconductor light emitting device includes a
도 4는 미국 등록특허공보 제6,650,044호에 도시된 반도체 발광소자의 일 예를 나타내는 도면으로서, 반도체 발광소자는 플립 칩의 형태로, 기판(100), 기판(100) 위에, 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(300), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(400), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(500)이 순차로 증착되어 있으며, 그 위에 기판(100) 측으로 빛을 반사시키기 위한 반사막(950)이 형성되어 있고, 식각되어 노출된 제1 반도체층(300) 위에 본딩 패드로 기능하는 전극(800)이 형성되어 있으며, 기판(100) 및 반도체층(300,400,500)을 둘러싸도록 봉지제(1000)가 형성되어 있다. 반사막(950)은 도 2에서와 같이 금속층으로 이루어질 수 있지만, 도 5에 도시된 바와 같이, SiO2/TiO2로 된 DBR(Distributed Bragg Reflector)과 같은 절연체 반사막으로 이루어질 수 있다. 반도체 발광소자는 전기 배선(820,960)이 구비된 PCB(1200; Printed Circuit Board)에 도전 접착제(830,970)를 통해 장착된다. 봉지제(1000)에는 주로 형광체가 함유된다. 여기서 반도체 발광소자는 봉지제(1000)를 포함하므로, 구분을 위해, 봉지제(1000)를 제외한 반도체 발광소자 부분을 반도체 발광소자 칩이라 부를 수 있다. 이러한 방법으로 도 4에 도시된 바와 같이 반도체 발광소자 칩에 봉지제(1000)가 도포될 수 있다.4 is a diagram showing an example of a semiconductor light emitting device shown in U.S. Patent No. 6,650,044, wherein a semiconductor light emitting device is formed on a
도 5는 종래의 반도체 발광소자의 또 다른 예를 나타내는 도면으로서, 반도체 발광소자는 기판(100), 기판(100) 위에 성장되는 버퍼층(200), 버퍼층(200) 위에 성장되는 n형 반도체층(300), n형 반도체층(300) 위에 성장되는 활성층(400), 활성층(400) 위에 성장되는 p형 반도체층(500), p형 반도체층(500) 위에 형성되며, 전류 확산 기능을 하는 투광성 도전막(600), 투광성 도전막(600) 위에 형성되는 p측 본딩 패드(700) 그리고 식각되어 노출된 n형 반도체층(300) 위에 형성되는 n측 본딩 패드(800)를 포함한다. 그리고 투광성 도전막(600) 위에는 분포 브래그 리플렉터(900; DBR: Distributed Bragg Reflector)와 금속 반사막(904)이 구비되어 있다.The semiconductor light emitting device includes a
도 6 및 도 7은 미국 등록특허공보 제6,650,044호에 도시된 반도체 발광소자의 제조 방법의 일 예를 나타내는 도면으로서, 먼저 필름 또는 플레이트로 된 장착면(10) 위에, 반도체 발광소자 칩(20)이 놓인다. 다음으로, 격벽(82; Partition)과 개구부(81)가 구비된 스텐실 마스크(80)를, 반도체 발광소자 칩(20)이 노출되도록 장착면(10) 위에 놓는다. 다음으로, 봉지제(40)를 개구부(81)에 투입한 다음, 일정 시간 봉지제(40)를 경화한 후, 스텐실 마스크(80)를 장착면(10)으로부터 분리한다. 스텐실 마스크(80)는 주로 금속 재질로 이루어진다.6 and 7 are views showing an example of a method of manufacturing a semiconductor light emitting device shown in U.S. Patent No. 6,650,044. First, a semiconductor light
도 8은 종래의 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 나타내는 도면으로서, 도 1에 도시된 반도체 발광소자 칩(1)가 장착된 패키지를 도시하고 있다. 패키지는 리드 프레임(4,5), 리드 프레임(4,5)을 고정하고 오목부(7)를 형성하는 몰드(6)를 구비한다. 반도체 발광소자(1; 반도체 발광소자 칩)가 리드 프레임(4)에 장착되어 있으며, 반도체 발광소자 칩(1)을 덮도록 봉지제(1000)가 오목부(7)를 채우고 있다. 주로 봉지제(1000)는 형광체를 포함한다. 이 경우에, 기판(100)이 아래에 놓이게 되며, 기판(100)의 두께가 80~150um에 이르게 되므로, 빛을 생성하는 활성층(400)이 이보다 높은 위치에 놓이게 되어, 오목부(7) 내에서 빛을 전체적으로 고르게 발광할 수 있게 되며, 봉지제(1000)에 형광체가 구비되는 경우에 이 형광체를 잘 여기할 수 있게 된다. 그러나 도 2에 도시된 반도체 발광소자가 패키지에 장착되는 경우에, 기판(100)이 위를 향하게 되므로, 빛을 생성하는 활성층(400)이 패키지 바닥으로부터 20um를 넘지 않는 범위 내에 위치하게 되며, 오목부(7) 내에서 빛을 전체적으로 고르게 발광하기가 쉽지 않으며, 봉지제(1000)에 형광체가 구비되는 경우에 이 형광체를 잘 여기하기가 쉽지 않게 된다. 따라서 도 2에 도시된 것과 같은 플립 칩이 사용되는 경우에, 도 8에서와 같이 디스펜서를 이용한 봉지제의 형성보다는 도 4에서와 같이 봉지제(1000)가 반도체 발광소자 칩을 균일하게 덮을 수 있는 방안이 고려되어야 한다.FIG. 8 is a view showing another example of a conventional semiconductor light emitting device, which shows a package on which the semiconductor light
이에 대하여 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.This will be described later in the Specification for Implementation of the Invention.
여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).SUMMARY OF THE INVENTION Herein, a general summary of the present disclosure is provided, which should not be construed as limiting the scope of the present disclosure. of its features).
본 개시에 따른 일 태양에 의하면(According to one aspect of the present disclosure), 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층, 제1 반도체층과 제2 반도체층 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합을 이용해 빛을 생성하는 활성층, 제1 반도체층에 전기적으로 연결되는 제1 전극 및 제2 반도체층에 전기적으로 연결되는 제2 전극을 구비하며, 제1 전극 및 제2 전극이 하부에 위치하는 반도체 발광소자 칩; 제1 전극 및 제2 전극이 위치하는 측에서 반도체 발광소자 칩의 둘레에 위치하는 제1 봉지부; 및 제1 봉지부 및 반도체 발광소자 칩을 덮는 제2 봉지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자가 제공된다.According to one aspect of the present disclosure, there is provided a semiconductor device comprising: a first semiconductor layer having a first conductivity; a second semiconductor layer having a second conductivity different from the first conductivity; A first electrode electrically connected to the first semiconductor layer, and a second electrode electrically connected to the second semiconductor layer, wherein the active layer is formed between the first semiconductor layer and the second semiconductor layer, A semiconductor light emitting device chip in which one electrode and a second electrode are positioned below; A first encapsulant positioned around the semiconductor light emitting device chip on a side where the first electrode and the second electrode are located; And a second encapsulation part covering the first encapsulation part and the semiconductor light emitting device chip.
본 개시에 따른 다른 일 태양에 의하면, 반도체 발광소자를 제조하는 방법에 있어서, 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층, 제1 반도체층과 제2 반도체층 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합을 이용해 빛을 생성하는 활성층, 제1 반도체층에 전기적으로 연결되는 제1 전극 및 제2 반도체층에 전기적으로 연결되는 제2 전극을 구비하는 반도체 발광소자 칩을, 제1 전극 및 제2 전극이 하부에 위치하도록 플레이트 위에 고정하는 단계; 반도체 발광소자 칩 둘레의 플레이트의 상면을 덮도록 제1 봉지부를 형성하는 단계; 제1 봉지부 및 반도체 발광소자 칩을 덮도록 제2 봉지부를 형성하는 단계; 및 반도체 발광소자의 경계를 따라, 제1 봉지부 및 제2 봉지부를 함께 절단하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법이 제공된다. According to another aspect of the present disclosure, there is provided a method of manufacturing a semiconductor light emitting device, comprising: forming a first semiconductor layer having a first conductivity, a second semiconductor layer having a second conductivity different from the first conductivity, An active layer interposed between the second semiconductor layers and generating light by recombination of electrons and holes, a first electrode electrically connected to the first semiconductor layer, and a second electrode electrically connected to the second semiconductor layer, Fixing the light emitting device chip on the plate such that the first electrode and the second electrode are positioned at the bottom; Forming a first sealing part to cover an upper surface of the plate around the semiconductor light emitting device chip; Forming a second sealing part to cover the first sealing part and the semiconductor light emitting device chip; And cutting the first encapsulation part and the second encapsulation part together along the boundary of the semiconductor light emitting device.
이에 대하여 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.This will be described later in the Specification for Implementation of the Invention.
도 1은 종래의 반도체 발광소자의 일 예(Lateral Chip)를 나타내는 도면,
도 2는 종래의 반도체 발광소자의 다른 예(Flip Chip)를 나타내는 도면,
도 3은 종래의 반도체 발광소자의 또 다른 예(Vertical Chip)를 나타내는 도면,
도 4는 미국 등록특허공보 제6,650,044호에 도시된 반도체 발광소자의 일 예를 나타내는 도면,
도 5는 종래의 반도체 발광소자의 또 다른 예를 나타내는 도면,
도 6 및 도 7은 미국 등록특허공보 제6,650,044호에 도시된 반도체 발광소자의 제조 방법의 일 예를 나타내는 도면,
도 8은 종래의 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 나타내는 도면,
도 9는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 일 예를 나타내는 도면,
도 10은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다른 일 예를 나타내는 도면,
도 11은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 나타내는 도면,
도 12는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 나타내는 도면,
도 13은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 나타내는 도면,
도 14 내지 도 19는 본 개시에 따른 반도체 발광소자를 제조하는 방법의 일 예를 나타낸 도면,
도 20은 본 개시에 따른 반도체 발광소자를 제조하는 방법의 다른 일 예를 나타낸 도면,
도 21은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다른 일 예를 나타내는 도면,
도 22는 도 21의 반도체 발광소자를 부분적으로 분해하여 나타내는 도면,
도 23은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 나타내는 도면,
도 24는 도 23의 반도체 발광소자를 부분적으로 분해하여 나타내는 도면.1 is a view showing an example of a conventional semiconductor light emitting device (lateral chip)
2 is a view showing another example (Flip Chip) of a conventional semiconductor light emitting device,
3 is a view showing still another example of a conventional semiconductor light emitting device (Vertical Chip)
4 is a view showing an example of a semiconductor light emitting device shown in U.S. Patent No. 6,650,044,
5 is a view showing still another example of a conventional semiconductor light emitting device,
6 and 7 are views showing an example of a method of manufacturing a semiconductor light emitting device shown in U.S. Patent No. 6,650,044,
8 is a view showing still another example of a conventional semiconductor light emitting device,
9 is a view showing an example of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
10 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
11 is a view showing still another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
12 is a view showing still another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
13 is a view showing still another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
14 to 19 are views showing an example of a method of manufacturing the semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
20 is a view showing another example of a method of manufacturing the semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
21 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
FIG. 22 is a partially exploded view of the semiconductor light emitting device of FIG. 21,
23 is a view showing still another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure,
FIG. 24 is a partially exploded view of the semiconductor light emitting element of FIG. 23; FIG.
이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)). The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 9는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 일 예를 나타내는 도면이고, 도 10은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다른 일 예를 나타내는 도면이며, 도 11은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 나타내는 도면이고, 도 12는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 나타내는 도면이며, 도 13은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 나타내는 도면이다. FIG. 9 is a view showing an example of a semiconductor light emitting device according to the present disclosure, FIG. 10 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure, and FIG. 11 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure FIG. 12 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure, and FIG. 13 is a view showing still another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure.
본 개시에 따른 반도체 발광소자는, 도 9에 나타낸 것과 같이, 금속 기판(110), 반도체 발광소자 칩(150), 제1 봉지부(160) 및 제2 봉지부(170)를 포함한다. The semiconductor light emitting device according to the present disclosure includes a
금속 기판(110)은 절연부(113) 및 이 절연부(113)를 사이에 두고 측면을 마주하도록 배치되는 제1 도전부(111)와 제2 도전부(112)를 구비한다. 금속 기판(110)은 상면(116)과 상면(116)에 대향하는 하면(117)을 구비한다. 제1 도전부(111)와 제2 도전부(112) 사이에 위치하는 절연부(113)가 상면(116)으로부터 하면(117)으로 이어지며, 따라서 제1 도전부(111)와 제2 도전부(112)가 절연부(113)에 의해 전기적으로 절연된다. The
제1 도전부(111)와 제2 도전부(112)의 재질은 도전성 금속 또는 전도성 반도체라면 특별한 제한이 없으며, 이러한 재료로 W, Mo, Ni, Al, Zn, Ti, Cu, Si 등과 같은 재료 및 이들 중 적어도 하나를 포함하는 합금 형태를 들 수 있고, 전기 전도성, 열 전도성, 반사율 등을 고려했을 때, Al을 적합한 예로 들 수 있다. 물론, 도전성 재료라면 특별한 제한이 없으며, 도전성을 가진다면 비금속 재료 또한 사용될 수 있을 것이다. The material of the first
절연부(113)는 백색, 유색 또는 투명의 절연재료로 이루어진다. 절연부(113)는 점착성을 가지는 절연접착제로 이루어질 수도 있다. 절연부(113)는 제1 도전부(111)와 제2 도전부(112)를 전기적으로 절연하는 역할 뿐만 아니라, 금속 기판(110)을 형성할 때 제1 도전부(111)와 제2 도전부(112)를 서로 접합시키는 역할 또한 수행할 수 있다. The insulating
금속 기판(110)은 경면처리된 상면(116)을 구비할 수 있으며, 이 경우 금속 기판(110)의 상면(116)은 더 높은 반사율을 가지게 된다. The
한편, 금속 기판(110)은, 높은 반사율을 제공하기 위한 것으로서, 금속 기판(110)의 상면(116)을 표면처리 없이 그대로 사용하거나 경면처리하는 대신에, 도 10에 나타낸 것과 같이, 제1 도전부(111)와 제2 도전부(112)의 상면을 덮도록 형성되는 Ag층(114)을 더 포함할 수 있다. Instead of using the
반도체 발광소자 칩(150)은 발광다이오드(LED: Light Emitting Diode) 일 수 있으며, 도 2, 도 4 및 도 5에 예시된 플립 칩 형태로 제공될 수 있다. 반도체 발광소자 칩(150)은 제1 도전성(예: n형)을 가지는 제1 반도체층(종래도면 참조), 제1 도전성과 다른 제2 도전성(예: p형)을 가지는 제2 반도체층(종래도면 참조), 제1 반도체층과 제2 반도체층 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합을 이용해 빛을 생성하는 활성층(종래도면 참조), 제1 반도체층에 전기적으로 연결되는 제1 전극(151), 및 제2 반도체층에 전기적으로 연결되는 제2 전극(152)을 구비한다. 반도체 발광소자 칩(150)은, 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)이 하부에 위치하여 금속 기판(110)의 상면(116)과 마주하도록 배치된다. 반도체 발광소자 칩(150)은 또한 제1 전극(151) 및 제2 전극(152) 반대편, 즉 상부에 위치하는 사파이어 기판을 구비할 수 있다. The semiconductor light emitting
반도체 발광소자 칩(150)은 금속 기판(110)의 상면(116) 측에서 절연부(113)에 걸쳐서 위치하게 된다. 반도체 발광소자 칩(150)은 제1 도전부(111) 및 제2 도전부(112)와 넓은 면적에 걸쳐 접촉하게 되며, 따라서 반도체 발광소자 칩(150)에서 발생한 열은 금속 기판(110)을 통해 효과적으로 방출될 수 있다. The semiconductor light emitting
한편, 본 개시에 따른 반도체 발광소자는, 도 11에 나타낸 것과 같이, 금속 기판(110)이 생략된 구조, 즉 반도체 발광소자 칩(150), 제1 봉지부(160) 및 제2 봉지부(170) 만을 포함하는 구조로 이루어질 수도 있다. 이때, 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)은 반도체 발광소자의 하부로 노출된다. 11, the semiconductor light emitting device according to the present disclosure has a structure in which the
제1 봉지부(160)는 반도체 발광소자 칩(150) 둘레의 금속 기판(110)의 상면(116)을 덮도록 형성된다. 즉, 제1 봉지부(160)는 반도체 발광소자 칩(150)의 둘레에 소정의 높이를 가지도록 형성된다. 제2 봉지부(170)는 제1 봉지부(160) 및 반도체 발광소자 칩(150)을 덮도록 형성되며, 또한 컨포멀한 외형을 가지도록 형성될 수 있다. 그러나, 외형이 반드시 컨포멀한 형태일 필요는 없다. The
제1 봉지부(160)는 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)의 높이에 대응하는 두께를 가지는 것이 바람직하다. 예를 들어, 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)의 높이는 대략 2㎛ 내지 7㎛ 범위 이내의 높이를 가지게 되며, 제1 봉지부(160) 또한 대략 2㎛ 내지 7㎛ 범위 이내에서 결정되는 두께를 가지게 된다. 물론, 제1 봉지부(160)의 두께는 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)의 높이보다 조금 두꺼울 수도 있고 조금 얇을 수도 있다. The
제1 봉지부(160)는 실리콘 등과 같은 투명재질의 수지로 이루어질 수 있으며, 제2 봉지부(170)는 실리콘 등과 같은 투명재질의 수지와 형광체(171)로 이루어질 수 있다. 이와 같이 제1 봉지부(160)가 형광체를 포함하지 않음에 따라, 고가인 형광체의 사용량 감소로 원가절감 효과를 얻을 수 있다. The
제1 봉지부(160)는 제2 봉지부(170)를 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)의 높이만큼 띄우는 역할을 한다. 좀 더 상세히 설명하면, 형광체(171)를 포함하는 제2 봉지부(170)는 형성시 일반적으로 4시간 내지 7시간 정도의 경화과정을 거치게 되는데, 경화 도중에 형광체가 제2 봉지부(170) 전체에 균일하게 분포하는 것이 아니라, 아래로 침강하게 된다. 즉, 형광체는 제2 봉지부(170)의 아래쪽으로 조밀하게 분포하게 되고, 위로 갈수록 듬성듬성 분포하게 된다. 제2 봉지부(170) 아래에 제1 봉지부(160)가 없다면, 형광체(171)는 반도체 발광소자 칩(150)의 둘레에서 바닥까지 침강하게 되어, 반도체 발광소자 칩(150)을 구성하는 복수의 반도체층 보다 아래쪽의 영역에 조밀하게 분포하게 된다. 이 경우, 복수의 반도체층과 사파이어 기판의 측면으로부터 방출되는 청색광과 만나지 못하는 형광체가 많아지게 되어, 보는 방향에 따라 색좌표 편차가 발생할 수 있다. 반면, 상기한 바와 같이 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)의 높이를 고려하여 결정되는 두께를 가지는 제1 봉지부(160)가 제2 봉지부(170) 아래에 구비되면, 제2 봉지부(170)가 제1 봉지부(160)의 두께만큼 높아지고, 제2 봉지부(170)에 포함되는 형광체(171)는 반도체 발광소자 칩(150)의 둘레에서 제1 봉지부(160)보다 위쪽의 영역에 분포하게 된다. 즉, 복수의 반도체층 및 사파이어 기판의 측면과 마주하는 빛이 방출되는 영역에 형광체(171)가 분포하게 된다. 따라서, 복수의 반도체층과 사파이어 기판의 측면으로부터 방출되는 청색광이 더 많은 형광체(171)와 잘 만나게 되어, 방사 특성을 개선하고 형광체의 효율을 상승시킬 수 있다. The
한편, 본 개시에 따른 반도체 발광소자는, 도 12에 나타낸 것과 같이, 반도체 발광소자 칩(150)의 상면(156)과 제2 봉지부(170) 사이에 형성되는 제3 봉지부(180)를 더 포함할 수 있다. 제3 봉지부(180)는 제1 봉지부(160)와 마찬가지로 실리콘 등과 같은 투명재질의 수지로 이루어질 수 있다. 제3 봉지부(180) 역시 형광체를 포함하지 않음에 따라, 고가인 형광체의 사용량 감소로 원가절감 효과를 얻을 수 있다. 12, the semiconductor light emitting device according to the present disclosure includes a
제3 봉지부(180)는 도 12에 나타낸 바와 같이 일정한 두께를 가질 수도 있지만, 도 13에 나타낸 바와 같이, 볼록한 단면 형상을 가지도록 형성될 수 있다. 제3 봉지부(180)가 볼록한 단면 형상을 가질 경우, 렌즈 효과에 의해 광추출 효율의 향상을 기대할 수 있다.
The
상기한 바와 같은 반도체 발광소자는 다음과 같은 방법으로 제조될 수 있다. The semiconductor light emitting device as described above can be manufactured by the following method.
도 14 내지 도 19는 본 개시에 따른 반도체 발광소자를 제조하는 방법의 일 예를 나타낸 도면이다. FIGS. 14 to 19 are views showing an example of a method of manufacturing the semiconductor light emitting device according to the present disclosure.
도 14에 나타낸 것과 같이, 복수의 도전판(101)을 절연접착제(103) 등과 같은 절연재료를 사용하여 접착하는 방식으로 반복 적층하여 적층체(105)를 준비한다. As shown in Fig. 14, the
이와 같은 적층체(105)를 절단하여, 도 15에 나타낸 것과 같이, 절연접착제(103)로 이루어진 절연부(113') 및 도전판(101)으로 이루어진 도전부(111',112')가 반복되는 구조의 원판 형태의 금속 기판(110')을 형성한다. 이와 같은 금속 기판(110')에서, 도전부(111')와 도전부(112') 사이에 절연부(113')가 위치하게 되며, 인접한 두 도전부(111',112')는 절연부(113')에 의해 전기적으로 절연된다. 금속 기판(110')은 상면(116') 및 상면(116')에 대향하는 하면(117')을 구비하게 되며, 절연부(113')는 금속 기판(110')의 상면(116')으로부터 하면(117')으로 이어지게 된다. 15, the insulating portion 113 'made of the insulating
이와 같이 준비된 금속 기판(110') 위에, 도 16에 나타낸 것과 같이, 반도체 발광소자 칩(150)이 고정된다. 반도체 발광소자 칩(150)은, 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)이 하부에 위치하여 금속 기판(110')의 상면(116')과 마주하도록 배치된다. 반도체 발광소자 칩(150)은 절연부(113')에 걸쳐서 위치하게 된다. On the metal substrate 110 'thus prepared, the semiconductor light emitting
구체적으로, 금속 기판(110')의 상면(116')에서, 제1 전극(151)은 절연부(113') 좌측의 도전부(111') 상면(116')에 접합되고, 제2 전극(152)은 절연부(113) 우측의 도전부(112') 상면(116')에 접합된다. 이러한 접합은 Ag 페이스트와 같은 도전성 접착제를 이용하여 수행되거나, 반도체 발광소자 분야에 이미 알려진 다양한 방법(eutectic, Au stud bonding 등)이 사용될 수 있다. Specifically, on the upper surface 116 'of the metal substrate 110', the
다음으로, 도 17에 나타낸 것과 같이, 반도체 발광소자 칩(150) 주변의 금속 기판(110')의 상면(116')을 덮도록 제1 봉지부(160')를 형성한다. 이와 같은 제1 봉지부(160')를 형성하는 과정에서 모든 반도체 발광소자 칩(150)의 상면(156)을 덮도록 제3 봉지부(180)가 동시에 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1 봉지부(160')와 제3 봉지부(180)는 액상의 투명재질의 수지를 금속 기판(110')의 상면 측에서 스프레이 방식으로 분사하여 동시에 형성될 수 있다. 이와 같은 스프레이 방식을 통해 제1 봉지부(160')가 2㎛ 내지 7㎛ 범위 이내의 얇은 두께를 가지도록 형성할 수 있다. 이때, 제3 봉지부(180)는, 도 12에 나타낸 것과 같이 일정한 두께를 가질 수도 있지만, 도 13에 나타낸 것과 같이 표면장력에 의해 볼록한 단면 형상을 가질 수도 있다. 또한, 스프레이 방식으로 제1 봉지부(160')와 제3 봉지부(180)를 함께 형성하는 과정에서 열을 가할 수 있다. 이와 같이 열을 가하게 되면 표면장력이 증가하여, 제3 봉지부(180)가 더욱 볼록한 단면 형상을 가지도록 할 수 있다. 한편, 스프레이 공정의 특성상 제1 봉지부(160')와 제3 봉지부(180)를 형성하기 위한 분사 도중에 투명재질의 수지가 반도체 발광소자 칩 측면의 위쪽에 묻을 수도 있을 것이다. 17, the first encapsulant 160 'is formed to cover the upper surface 116' of the metal substrate 110 'around the semiconductor light-emitting
이어서, 도 18에 나타낸 것과 같이, 제1 봉지부(160'), 반도체 발광소자 칩(150)의 측면(158) 및 제3 봉지부(180)를 덮도록 제2 봉지부(170')를 형성한다. 제2 봉지부(170')는 실리콘 등과 같은 액상의 투명재질의 수지와 형광체를 포함할 수 있다. 18, the second encapsulation portion 170 'is formed so as to cover the first encapsulation portion 160', the
제2 봉지부(170')의 경화가 완료된 후, 도 19에 나타낸 것과 같이, 평면상에서 반도체 발광소자의 예정된 경계(A)를 따라 경화된 제1 봉지부(160'), 제2 봉지부(170') 및 금속 기판(110')를 함께 절단하여, 개별적인 반도체 발광소자로 완성된다. After the completion of the curing of the second encapsulation part 170 ', as shown in FIG. 19, the first encapsulation part 160' and the second encapsulation part 160 ', which are cured along the predetermined boundary A of the semiconductor light- 170 'and the metal substrate 110' are cut together to complete an individual semiconductor light emitting device.
도 9에 나타낸 것과 같은 완성된 반도체 발광소자에서, 원판 형태의 금속 기판(110')은 금속 기판(110)을 이루게 되며, 금속 기판(110)은 절연부(113) 및 절연부(113)를 사이에 두고 절연부(113)에 의해 절연되는 제1 도전부(111)와 제2 도전부(112)를 구비하게 된다. 이때 제1 도전부(111)는 금속 기판(110')에 포함된 도전부들(111',112') 중 절연부(113') 일측에 위치하는 도전부(111')의 일부분으로 이루어지고, 제2 도전부(112)는 절연부(113')를 사이에 두고 도전부(111') 맞은편에 위치하는 도전부(112')의 일부분으로 이루어질 것이다.
In the completed semiconductor light emitting device as shown in FIG. 9, the metal substrate 110 'in the form of a disk forms a
한편, 도 20은 본 개시에 따른 반도체 발광소자를 제조하는 방법의 일 예로서, 도 15에 나타낸 것과 같은 금속 기판(110')을 사용하지 않고, 내열 테이프, 내열 시트 등으로 이루어질 수 있는 플레이트(210)를 사용하여 반도체 발광소자를 제조할 수 있다. 20 shows an example of a method of manufacturing the semiconductor light emitting device according to the present disclosure, in which a metal plate 110 'as shown in FIG. 15 is not used and a plate (not shown) made of a heat resistant tape, 210 may be used to fabricate the semiconductor light emitting device.
금속 기판(110') 대신에 플레이트(210)가 사용된다는 점, 이 플레이트(210)가 절단 공정 이전에 제거된다는 점, 결과적으로 도 11에 나타낸 것과 같은 금속 기판(110)이 생략된 구조의 반도체 발광소자가 형성된다는 점을 제외하면, 이상의 반도체 발광소자를 제조하는 방법과 유사하다. The reason why the
구체적으로, 도 20에 나타낸 것과 같이, 준비된 플레이트(210) 위에 접착제 등을 이용하여 반도체 발광소자 칩(150)이 고정되며, 이어서 제1 봉지부(160')와 제3 봉지부(180)가 형성된 다음 제2 봉지부(170')가 형성되고, 경화가 완료되면 플레이트(210)가 제거되고, 플레이트(210)가 제거된 후 제1 봉지부(160') 및 제2 봉지부(170')를 함께 절단하여, 개별적인 반도체 발광소자로 완성된다.
20, the semiconductor light emitting
도 21은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 다른 일 예를 나타내는 도면이고, 도 22는 도 21의 반도체 발광소자를 부분적으로 분해하여 나타내는 도면이다. FIG. 21 is a view showing another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure, and FIG. 22 is a partially exploded view showing the semiconductor light emitting device of FIG.
반도체 발광소자는 금속 기판(110)과 반도체 발광소자 칩(150) 사이에서 절연부(113)를 덮는 비도전성 반사막(130)을 더 포함할 수 있다. The semiconductor light emitting device may further include a non-conductive
금속 기판(110)의 상면(116)은 반도체 발광소자 칩(150)이 놓이게 되는 부분으로서, 금속 기판(110)을 구성하는 절연부(113) 또한 상면(116)으로 부분적으로 노출된다. 절연부(113)의 금속 기판(110) 상면(116)으로 노출되는 부분은 반도체 발광소자 칩(150)에서 방출되는 강한 빛에 노출되는 부분으로서, 탈색 및 변색에 취약하다. 절연부(113)가 탈색되거나 변색되면, 반도체 발광소자 칩(150)에서 방출된 빛의 금속 기판(110) 상면(116)에서의 반사효율이 저하될 수 있다. The
비도전성 반사막(130)은, 절연부(113)의 탈색 및 변색에 따른 반사효율 저하를 개선할 수 있도록 한 것으로서, 금속 기판(110)의 상면(116) 측에서 절연부(113)를 덮도록 형성된다. 제조 공정 중에, 이와 같은 비도전성 반사막(130)은, 반도체 발광소자 칩(150)을 원판 형태의 금속 기판(110')의 상면 측에 고정하기 이전에, 금속 기판(110')의 상면 측에서 절연부(113')를 덮는 방식으로 형성될 수 있다. The nonconductive
비도전성 반사막(130)은 절연부(113)을 덮어 절연부(113)의 탈색 및 변색을 방지함으로써 금속 기판(110) 상면(116)에서의 반사효율 저하를 방지할 뿐만아니라, 비도전성 반사막(130) 자체에 의한 반사효율 향상효과를 얻을 수 있도록 한다. The nonconductive
비도전성 반사막(130)은 반사막으로 기능하되, 빛의 흡수를 방지하도록 투광성 물질로 구성되는 것이 바람직하다. 비도전성 반사막(150)은 예를 들어, SiOx, TiOx, Ta2O5, MgF2, SiN, SiON, Al2O3 등과 같은 투광성 유전체 물질로 구성될 수 있다. 비도전성 반사막(130)은, 예를 들어, SiOx, 및 TiOx 등과 같은 투광성 유전체 물질로 구성되는 단일 유전체 막, 굴절율이 다른 이질적인 복수의 유전체 막(예: SiO2/TiO2, SiO2/Ta2O5, SiO2/TiO2/Ta2O5 등), 바람직하게는 예를 들어 SiO2와 TiO2의 조합으로 된 단일의 분포 브래그 리플렉터(Distributed Bragg Reflector: DBR) 또는 유전체 막과 분포 브래그 리플렉터의 조합 등 다양한 구조로 이루어질 수 있다. The non-conductive
분포 브래그 리플렉터는 보다 많은 양의 빛을 반사시킬 수 있으며 특정 파장에 대한 설계가 가능하여 발생되는 빛의 파장에 대응하여 효과적으로 반사시킬 수 있다. 따라서, 비도전성 반사막(130)이 분포 브래그 리플렉터를 포함할 경우, 반사효율을 더욱 향상시킬 수 있다. 분포 브래그 리플렉터는, 예를 들어 TiO2/SiO2의 조합으로 이루어지는 반복 적층 구조를 구비할 수 있으며, 물리 증착법(PVD; Physical Vapor Deposition), 그 중에서도 전자선 증착법(E-Beam Evaporation) 또는 스퍼터링법(Sputtering) 또는 열 증착법(Thermal Evaporation)에 의해 형성될 수 있다. Distribution Bragg reflectors can reflect more light and can be designed for specific wavelengths, effectively reflecting the wavelength of light generated. Therefore, when the non-conductive
예를 들어, 분포 브래그 리플렉터가 TiO2층/SiO2층의 조합으로 구성되는 경우, 각 층은 주어진 파장의 1/4의 광학 두께를 기본적으로 가지도록 설계되지만, 빛의 입사 각도에 대한 영향과 패키지 안에서 발생할 수 있는 빛의 파장(blue, Green, yellow, red 등)을 고려하여 최적설계가 되면 각 층의 광학 두께는 1/4을 정확하게 유지할 필요는 없으며, 그 조합의 수는 4 ~ 20 페어(pairs)가 적합하다. 조합의 수가 너무 적으면 분포 브래그 리플렉터의 반사효율이 떨어지고, 조합의 수가 너무 많으면 두께가 과도하게 두꺼워지기 때문이다. 한편, 각 층은 기본적으로 주어진 파장의 1/4의 광학 두께를 가지도록 설계되지만, 고려 대상의 파장 대역에 따라서 주어진 파장의 1/4 보다 큰 광학 두께를 가지도록 설계될 수 있다. 이와 더불어, 분포 브래그 리플렉터는 각기 다른 광학 두께를 가지는 TiO2층/SiO2층의 조합들로 설계될 수도 있다. 정리하면, 분포 브래그 리플렉터는 반복 적층되는 복수의 TiO2층/SiO2층의 조합을 포함할 수 있고 하며, 복수의 TiO2층/SiO2층의 조합은 각각 서로 다른 광학 두께를 가질 수 있다. For example, if the distributed Bragg reflector is composed of a combination of TiO 2 layer / SiO 2 layers, each layer is designed to have essentially an optical thickness of 1/4 of a given wavelength, Considering the light wavelengths (blue, green, yellow, red, etc.) that can occur in the package, it is not necessary to keep 1/4 of the optical thickness of each layer optimally when designing. pairs are suitable. If the number of combinations is too small, the reflection efficiency of the distributed Bragg reflector is deteriorated, and if the number of combinations is too large, the thickness becomes excessively thick. On the other hand, each layer is basically designed to have an optical thickness of 1/4 of a given wavelength, but may be designed to have an optical thickness greater than 1/4 of a given wavelength depending on the wavelength band of interest. In addition, distributed Bragg reflectors may be designed with combinations of TiO 2 / SiO 2 layers having different optical thicknesses. To summarize, the distributed Bragg reflector may comprise a combination of multiple TiO 2 layers / SiO 2 layers that are repeatedly laminated, and combinations of a plurality of TiO 2 layers / SiO 2 layers may each have a different optical thickness.
금속 기판(110)은 경면 처리된 상면(116)을 구비하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 금속 기판(110)을 구성하는 제1 도전부(111) 및 제2 도전부(112)가 Al로 이루어지고, 폴리싱(polishing) 등과 같은 방법으로 경면 처리가 수행되면, 금속 기판(110)의 상면(116)은 높은 반사율을 가지게 된다. 이와 같은 금속 기판(110)의 경면 처리는, 비도전성 반사막(130)의 형성에 앞서, 원판 형태의 금속 기판(110')의 상면(116)을 경면 처리하는 방식으로 수행될 수 있다. The
한편, 경면처리를 하는 대신에, 금속 기판(110)은 Al 재질의 제1 도전부(111) 및 제2 도전부(112)의 상면을 덮는 반사율이 높은 Ag층(114)을 포함할 수도 있다. Ag층(114)은 증착 등과 같은 방법으로 형성될 수 있다. 금속 기판(110)이 Ag층을 구비하는 경우, 경면처리를 생략하더라도 금속 기판(110)의 상면(116)은 높은 반사율을 가지게 된다.Instead of the mirror surface treatment, the
따라서, 금속 기판(110)의 상면(116) 측에서, 비도전성 반사막(130)에 의해 절연부(113)의 탈색 또는 변색이 방지됨에 따라 절연부(113)의 탈색 또는 변색으로 인한 반사효율 저하가 방지되고, 비도전성 반사막(130)으로 덮인 영역의 경우 비도전성 반사막(130) 자체에 의해 높은 반사율을 가지게 되며, 이와 더불어 비도전성 반사막(130)으로 덮이지 않은 영역의 경우에도 금속 기판(110)의 상면(116)이 경면 처리되거나 Ag층으로 덮여 향상된 반사율을 가지게 됨에 따라, 반도체 발광소자는 더욱 향상된 반사효율을 가지게 된다. Therefore, as the insulating
이때, 반도체 발광소자 칩(150)은 비도전성 반사막(130)에 걸쳐서 위치하게 된다. 구체적으로, 금속 기판(110)의 상면(116)에서, 제1 전극(151)은 비도전성 반사막(130) 좌측의 제1 도전부(111)에 접합되고, 제2 전극(152)은 비도전성 반사막(130) 우측의 제2 도전부(112)에 접합된다. 따라서, 비도전성 반사막(130)은, 금속 기판(110)의 상면(116) 위에서, 제1 전극(151)과 제2 전극(152) 사이에 위치하게 된다. At this time, the semiconductor light emitting
비도전성 반사막(130)이 구비되는 경우, 제1 봉지부(160)는 반도체 발광소자 칩(150) 주변의 금속 기판(110)의 상면, 반도체 발광소자 칩(150) 주변으로 노출되는 비도전성 반사막(130)의 상면 및 반도체 발광소자 칩(150)의 상면을 덮도록 형성된다.When the non-conductive
도 23은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 나타내는 도면이고, 도 24는 도 23의 반도체 발광소자를 부분적으로 분해하여 나타내는 도면이다. FIG. 23 is a view showing still another example of the semiconductor light emitting device according to the present disclosure, and FIG. 24 is a partially exploded view showing the semiconductor light emitting device of FIG.
비도전성 반사막(130)은 금속 기판(110)의 상면(116) 전체를 덮도록 형성될 수 있다. 그리고, 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)이 각각 제1 도전부(111) 및 제2 도전부(112)와 전기적으로 연결될 수 있도록 하기 위한 것으로서, 비도전성 반사막(130)은 제1 도전부(111)를 부분적으로 노출시키는 제1 관통구멍(121) 및 제2 도전부(112)를 부분적으로 노출시키는 제2 관통구멍(122)를 구비한다. 제1 관통구멍(121)과 제2 관통구멍(122)은 각각 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)이 삽입될 수 있도록 하기 위해, 제1 전극(151) 및 제2 전극(152)이 놓일 위치에 제1 전극(151) 및 제2 전극(152) 보다 조금 크게 형성된다. 이와 같이, 비도전성 반사막(130)이 금속 기판(110)의 상면(116)에 넓게 형성됨으로써, 더욱 향상된 반사효율을 달성할 수 있다. The non-conductive
한편, 금속 기판(110)이 경면 처리된 상면(116)을 구비하거나 Ag층(114)을 구비하고, 이러한 경면 처리된 금속 기판(110)의 상면(116) 또는 Ag층(114) 위에 비도전성 반사막(130)이 형성될 경우, 경면 처리되지 않은 금속 기판(110)의 상면(116)에 비도전성 반사막(130)이 형성될 경우와 비교하여, 상대적으로 얇은 두께의 비도전성 반사막(130)으로도 동등한 반사효율을 달성할 수 있다. 즉, 금속 기판(110)의 상면(116)을 경면 처리하거나 Ag층(114)을 구비함으로써, 비도전성 반사막(130)을 얇게 구성할 수 있게 된다. On the other hand, when the
이와 같이 비도전성 반사막(130)이 금속 기판(110)의 상면(116) 전체를 덮도록 형성되는 경우, 제1 봉지부(160)는 반도체 발광소자 칩(150) 주변으로 노출되는 비도전성 반사막(130)의 상면 및 반도체 발광소자 칩(150)의 상면을 덮도록 형성되며, 제1 봉지부(160)의 두께는 비도전성 반사막(130)의 두께만큼 얇게 형성될 수 있을 것이다.
When the non-conductive
이하 본 개시의 다양한 실시 형태에 대하여 설명한다.Various embodiments of the present disclosure will be described below.
(1) 제2 봉지부는 형광체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. (1) The semiconductor light emitting device according to (1), wherein the second encapsulant comprises a phosphor.
(2) 제1 봉지부는 제1 전극 및 제2 전극의 높이에 대응하는 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. (2) The semiconductor light emitting device of
(3) 반도체 발광소자 칩의 상면과 제2 봉지부 사이에 형성되는 제3 봉지부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. (3) a third encapsulant formed between the upper surface of the semiconductor light emitting device chip and the second encapsulation part.
(4) 제3 봉지부는 볼록한 단면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. (4) The semiconductor light emitting device according to (4), wherein the third sealing portion has a convex cross-sectional shape.
(5) 절연부 및 절연부에 의해 전기적으로 절연되는 제1 도전부와 제2 도전부를 구비하며, 상면과 상면에 대향하는 하면을 가지고, 절연부가 상면으로부터 하면으로 이어진 금속 기판;으로서, 제1 도전부가 제1 전극과 접합되고, 제2 도전부가 제2 전극과 접합되도록, 반도체 발광소자 칩 및 제1 봉지부 하부에 위치하는 금속 기판;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. (5) A metal substrate having a first conductive portion and a second conductive portion that are electrically insulated by an insulating portion and an insulating portion, the insulating portion having a top surface and a bottom surface opposed to the top surface and extending from the top surface to the bottom surface, Further comprising a metal substrate located below the semiconductor light emitting device chip and the first encapsulation part such that the conductive part is bonded to the first electrode and the second conductive part is bonded to the second electrode.
(6) 금속 기판과 반도체 발광소자 칩 사이에서 절연부를 덮는 비도전성 반사막;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. (6) The semiconductor light emitting device according to
(7) 비도전성 반사막은 금속 기판의 상면 전체를 덮고, 제1 도전부를 부분적으로 노출시키는 제1 관통구멍 및 제2 도전부를 부분적으로 노출시키는 제2 관통구멍을 구비하며, 제1 전극은 제1 관통구멍을 통해 제1 도전부에 전기적으로 연결되고, 제2 전극은 제2 관통구멍을 통해 제2 도전부에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. (7) The non-conductive reflective film has a first through hole for partially exposing the first conductive portion and a second through hole for partially exposing the second conductive portion, covering the entire upper surface of the metal substrate, And the second electrode is electrically connected to the second conductive part through the second through hole. The semiconductor light emitting device of
(8) 금속 기판은 제1 도전부와 제2 도전부의 상면을 덮도록 형성되는 Ag층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.(8) The semiconductor light emitting device according to (8), further comprising an Ag layer formed to cover the upper surfaces of the first conductive portion and the second conductive portion.
(9) 제2 봉지부는 형광체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법. (9) A method for manufacturing a semiconductor light emitting device, wherein the second encapsulant comprises a phosphor.
(10) 제1 봉지부를 형성하는 단계는 플레이트의 상면 측에서 스프레이하는 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법. (10) The method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to any one of the preceding claims, wherein the step of forming the first sealing portion is performed in a spraying manner on the upper surface side of the plate.
(11) 제1 봉지부를 형성하는 단계에서, 반도체 발광소자 칩의 상면과 제2 봉지부 사이에 위치하는 제3 봉지부가 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법. (11) In the step of forming the first encapsulation part, a third encapsulation part positioned between the upper surface of the semiconductor light-emitting device chip and the second encapsulation part is formed at the same time.
(12) 제1 봉지부를 형성하는 단계에서, 제3 봉지부가 볼록한 단면 형상을 가지도록 열을 가하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법. (12) In the step of forming the first encapsulation part, heat is applied so that the third encapsulation part has a convex cross-sectional shape.
(13) 절단하는 단계에 앞서 수행되는, 플레이트를 제거하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법. (13) removing the plate, which is performed prior to the step of cutting. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
(14) 플레이트는, 절연부 및 절연부에 의해 서로 전기적으로 절연되는 제1 도전부와 제2 도전부를 구비하며, 상면 및 상면에 대향하는 하면을 가지고, 절연부가 상면으로부터 하면으로 이어지는 금속 기판이며, 제1 도전부가 제1 전극과 접합되고, 제2 도전부가 제2 전극과 접합되며, 절단하는 단계에서, 금속 기판은 제1 봉지부 및 제2 봉지부와 함께 절단되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법.(14) The plate is a metal substrate having a first conductive portion and a second conductive portion electrically insulated from each other by an insulating portion and an insulating portion, the insulating portion having a lower surface opposed to the upper surface and the upper surface, , The first conductive portion is bonded to the first electrode, the second conductive portion is bonded to the second electrode, and the metal substrate is cut along with the first sealing portion and the second sealing portion in the cutting step. Lt; / RTI >
(15) 반도체 발광소자 칩을 금속 기판의 상면 측에 고정하기 이전에, 금속 기판의 상면 측에서 절연부를 덮도록 비도전성 반사막을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법.(15) A method of manufacturing a semiconductor light emitting device, comprising: forming a non-conductive reflective film on an upper surface side of a metal substrate so as to cover an insulating portion before fixing a semiconductor light emitting device chip on an upper surface side of the metal substrate; How to.
(16) 비도전성 반사막을 형성하는 단계 이전에, 금속 기판의 상면을 경면 처리하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법.(16) The method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to
본 개시에 따른 하나의 반도체 발광소자에 의하면, 높은 광추출 효율을 달성할 수 있다. According to one semiconductor light emitting device according to the present disclosure, high light extraction efficiency can be achieved.
본 개시에 따른 다른 하나의 반도체 발광소자에 의하면, 방사 특성을 개선하고 형광체의 효율을 상승시킬 수 있다. According to another semiconductor light emitting device according to the present disclosure, the radiation characteristic can be improved and the efficiency of the phosphor can be increased.
본 개시에 따른 또 다른 하나의 반도체 발광소자에 의하면, 비도전성 반사막을 통해 반사 효율 저하를 방지할 수 있다. According to another semiconductor light emitting device according to the present disclosure, it is possible to prevent a reduction in reflection efficiency through a non-conductive reflective film.
본 개시에 따른 또 다른 하나의 반도체 발광소자에 의하면, 형광체의 사용량을 줄여 원가절감을 가능하게 한다. According to another semiconductor light emitting device according to the present disclosure, it is possible to reduce the amount of the phosphor used to reduce the cost.
본 개시에 따른 하나의 반도체 발광소자를 제조하는 방법에 의하면, 광추출 효율이 높은 반도체 발광소자를 제공할 수 있다. According to the method for manufacturing a single semiconductor light emitting device according to the present disclosure, a semiconductor light emitting device having high light extraction efficiency can be provided.
본 개시에 따른 다른 하나의 반도체 발광소자를 제조하는 방법에 의하면, 방사 특성이 우수하고 형광체의 효율이 높은 반도체 발광소자를 제공할 수 있다. According to another method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure, it is possible to provide a semiconductor light emitting device having excellent radiation characteristics and high efficiency of a phosphor.
본 개시에 따른 또 다른 하나의 반도체 발광소자를 제조하는 방법에 의하면, 용이하게 반도체 발광소자를 대량생산할 수 있다. According to another method of manufacturing a semiconductor light emitting device according to the present disclosure, mass production of a semiconductor light emitting device can be easily performed.
101: 도전판 103: 절연접착제
105: 적층체 110: 금속 기판
111: 제1 도전부 112: 제2 도전부
113: 절연부 121: 제1 관통구멍
122: 제2 관통구멍 130: 비도전성 반사막
150: 반도체 발광소자 칩 151: 제1 전극
152: 제2 전극 160: 제1 봉지부
170: 제2 봉지부 180: 제3 봉지부101: conductive plate 103: insulating adhesive
105: laminate 110: metal substrate
111: first conductive part 112: second conductive part
113: insulation part 121: first through hole
122: second through hole 130: non-conductive reflective film
150: semiconductor light emitting device chip 151: first electrode
152: second electrode 160: first sealing portion
170: second sealing part 180: third sealing part
Claims (18)
제1 전극 및 제2 전극이 위치하는 측에서 반도체 발광소자 칩의 둘레에 위치하는 제1 봉지부; 및
제1 봉지부 및 반도체 발광소자 칩을 덮는 제2 봉지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. A first semiconductor layer having a first conductivity, a second semiconductor layer having a second conductivity different from the first conductivity, an active layer interposed between the first and second semiconductor layers and generating light by recombination of electrons and holes, A first electrode electrically connected to the first semiconductor layer, and a second electrode electrically connected to the second semiconductor layer, wherein the first electrode and the second electrode are positioned below the semiconductor light emitting device chip;
A first encapsulant positioned around the semiconductor light emitting device chip on a side where the first electrode and the second electrode are located; And
And a second encapsulation part covering the first encapsulation part and the semiconductor light emitting device chip.
제2 봉지부는 형광체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. The method according to claim 1,
And the second encapsulant comprises a phosphor.
제1 봉지부는 제1 전극 및 제2 전극의 높이에 대응하는 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. The method of claim 2,
Wherein the first encapsulant has a thickness corresponding to a height of the first electrode and the second electrode.
반도체 발광소자 칩의 상면과 제2 봉지부 사이에 형성되는 제3 봉지부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. The method according to claim 1,
And a third encapsulation part formed between the upper surface of the semiconductor light emitting device chip and the second encapsulation part.
제3 봉지부는 볼록한 단면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. The method of claim 4,
And the third sealing portion has a convex cross-sectional shape.
절연부 및 절연부에 의해 전기적으로 절연되는 제1 도전부와 제2 도전부를 구비하며, 상면과 상면에 대향하는 하면을 가지고, 절연부가 상면으로부터 하면으로 이어진 금속 기판;으로서, 제1 도전부가 제1 전극과 접합되고, 제2 도전부가 제2 전극과 접합되도록, 반도체 발광소자 칩 및 제1 봉지부 하부에 위치하는 금속 기판;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. The method according to claim 1,
A metal substrate having a first conductive portion and a second conductive portion that are electrically insulated by an insulating portion and an insulating portion, the insulating portion having a top surface and a bottom surface opposed to the top surface and extending from the top surface to the bottom surface, And a metal substrate located below the semiconductor light emitting device chip and the first encapsulation part so that the second conductive part is bonded to the first electrode and the second conductive part is bonded to the second electrode.
금속 기판과 반도체 발광소자 칩 사이에서 절연부를 덮는 비도전성 반사막;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. The method of claim 6,
And a non-conductive reflective film covering the insulating portion between the metal substrate and the semiconductor light emitting device chip.
비도전성 반사막은 금속 기판의 상면 전체를 덮고, 제1 도전부를 부분적으로 노출시키는 제1 관통구멍 및 제2 도전부를 부분적으로 노출시키는 제2 관통구멍을 구비하며,
제1 전극은 제1 관통구멍을 통해 제1 도전부에 전기적으로 연결되고,
제2 전극은 제2 관통구멍을 통해 제2 도전부에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자. The method of claim 7,
The non-conductive reflective film has a first through hole partially covering the entire upper surface of the metal substrate and partially exposing the first conductive portion and a second through hole partially exposing the second conductive portion,
The first electrode is electrically connected to the first conductive portion through the first through hole,
And the second electrode is electrically connected to the second conductive portion through the second through hole.
금속 기판은 제1 도전부와 제2 도전부의 상면을 덮도록 형성되는 Ag층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자.The method of claim 6,
Wherein the metal substrate further comprises an Ag layer formed to cover the upper surfaces of the first conductive portion and the second conductive portion.
제1 도전성을 가지는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층, 제1 반도체층과 제2 반도체층 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합을 이용해 빛을 생성하는 활성층, 제1 반도체층에 전기적으로 연결되는 제1 전극 및 제2 반도체층에 전기적으로 연결되는 제2 전극을 구비하는 반도체 발광소자 칩을, 제1 전극 및 제2 전극이 하부에 위치하도록 플레이트 위에 고정하는 단계;
반도체 발광소자 칩 둘레의 플레이트의 상면을 덮도록 제1 봉지부를 형성하는 단계;
제1 봉지부 및 반도체 발광소자 칩을 덮도록 제2 봉지부를 형성하는 단계; 및
반도체 발광소자의 경계를 따라, 제1 봉지부 및 제2 봉지부를 함께 절단하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법. A method of manufacturing a semiconductor light emitting device,
A first semiconductor layer having a first conductivity, a second semiconductor layer having a second conductivity different from the first conductivity, an active layer interposed between the first and second semiconductor layers and generating light by recombination of electrons and holes, A first electrode electrically connected to the first semiconductor layer, and a second electrode electrically connected to the second semiconductor layer, the first electrode and the second electrode being fixed on the plate so that the first electrode and the second electrode are positioned below ;
Forming a first sealing part to cover an upper surface of the plate around the semiconductor light emitting device chip;
Forming a second sealing part to cover the first sealing part and the semiconductor light emitting device chip; And
And cutting the first sealing portion and the second sealing portion together along the boundary of the semiconductor light emitting device.
제2 봉지부는 형광체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법. The method of claim 10,
And the second encapsulant comprises a fluorescent material.
제1 봉지부를 형성하는 단계는 플레이트의 상면 측에서 스프레이하는 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법. The method of claim 10,
Wherein the step of forming the first sealing portion is performed in a manner of spraying on the upper surface side of the plate.
제1 봉지부를 형성하는 단계에서, 반도체 발광소자 칩의 상면과 제2 봉지부 사이에 위치하는 제3 봉지부가 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법. The method of claim 12,
Wherein a third sealing portion located between the upper surface of the semiconductor light emitting device chip and the second sealing portion is formed at the same time in the step of forming the first sealing portion.
제1 봉지부를 형성하는 단계에서, 제3 봉지부가 볼록한 단면 형상을 가지도록 열을 가하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법. 14. The method of claim 13,
Wherein the step of forming the first sealing portion applies heat so that the third sealing portion has a convex cross-sectional shape.
절단하는 단계에 앞서 수행되는, 플레이트를 제거하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법. The method of claim 10,
And removing the plate, wherein the step is performed prior to the step of cutting.
플레이트는, 절연부 및 절연부에 의해 서로 전기적으로 절연되는 제1 도전부와 제2 도전부를 구비하며, 상면 및 상면에 대향하는 하면을 가지고, 절연부가 상면으로부터 하면으로 이어지는 금속 기판이며,
제1 도전부가 제1 전극과 접합되고, 제2 도전부가 제2 전극과 접합되며,
절단하는 단계에서, 금속 기판은 제1 봉지부 및 제2 봉지부와 함께 절단되는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법.The method of claim 10,
The plate is a metal substrate having a first conductive portion and a second conductive portion electrically insulated from each other by an insulating portion and an insulating portion, the insulating portion having a lower surface opposed to the upper surface and the upper surface,
The first conductive part is bonded to the first electrode, the second conductive part is bonded to the second electrode,
Wherein the metal substrate is cut together with the first encapsulation part and the second encapsulation part in the cutting step.
반도체 발광소자 칩을 금속 기판의 상면 측에 고정하기 이전에, 금속 기판의 상면 측에서 절연부를 덮도록 비도전성 반사막을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법.18. The method of claim 16,
And forming a nonconductive reflective film on the upper surface of the metal substrate so as to cover the insulating portion before fixing the semiconductor light emitting device chip on the upper surface side of the metal substrate.
비도전성 반사막을 형성하는 단계 이전에, 금속 기판의 상면을 경면 처리하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 발광소자를 제조하는 방법.18. The method of claim 17,
Further comprising the step of mirror-finishing the upper surface of the metal substrate before the step of forming the non-conductive reflective film.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020130066521A KR101629403B1 (en) | 2013-06-11 | 2013-06-11 | Semiconductor light emitting device and manufacturing method of the same |
PCT/KR2014/005131 WO2014200267A1 (en) | 2013-06-11 | 2014-06-11 | Semiconductor light-emitting device and method for manufacturing same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020130066521A KR101629403B1 (en) | 2013-06-11 | 2013-06-11 | Semiconductor light emitting device and manufacturing method of the same |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140188210A Division KR20150018481A (en) | 2014-12-24 | 2014-12-24 | Semiconductor light emitting device and manufacturing method of the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20140147161A true KR20140147161A (en) | 2014-12-30 |
KR101629403B1 KR101629403B1 (en) | 2016-06-13 |
Family
ID=52676034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020130066521A KR101629403B1 (en) | 2013-06-11 | 2013-06-11 | Semiconductor light emitting device and manufacturing method of the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101629403B1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 2013-06-11 KR KR1020130066521A patent/KR101629403B1/en active IP Right Grant
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---|---|
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