KR101295354B1 - Mask frame assembly for evaporation and pssivation for manufacturing White OLED panel, manufacturing method and apparatus thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리, 그 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로, 그 목적은 4세대 이상의 White OLED 패널을 양산하도록 대형 프레임을 필요로 하는 면적의 홀로 분할되도록 스틱 마스크를 이동시켜 위치시키고, 분할시 사용된 마스크가 중앙부 처짐등이 발생하지 않도록 장력을 가한후 용접시키는 제조방법 및 그 제조장치 그리고 이로부터 제조된 마스크프레임어셈블리를 제공하는 데 있다.
본 발명의 구성은 프레임 및 마스크 공급장치, 프레임 로딩 장치, 마더글라스 공급 및 로딩 장치, 마스크 공급장치, 마스크와 마더글라스의 위치 매칭용 카메라장치, 마스크를 프레임에 용접하는 장치를 포함하여 구성된 White OLED 패널 제작용 마스크프레임 제조장치에 있어서, 밴드스틱 마스크의 양측단을 파지하여 장력을 인가한 채로 프레임 단변방향으로 이동하게 마주보는 한쌍의 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼와; 밴드스틱 마스크의 양측단을 파지하여 장력을 인가한 채로 프레임 장변방향으로 이동하게 마주보는 한쌍의 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼;를 포함하여 구성된 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크 프레임 어셈블리의 제조장치와 이를 이용한 방법과 이로부터 제조된 마스크 프레임 어셈블리를 발명의 특징으로 한다.The present invention relates to an organic deposition and encapsulation mask frame assembly for manufacturing white OLED panels, a method for manufacturing the same, and an apparatus thereof, and an object thereof is divided into holes having an area requiring a large frame to mass-produce four or more generations of white OLED panels. The present invention provides a manufacturing method and apparatus for manufacturing the same, and a mask frame assembly manufactured therefrom, in which a stick mask is moved to be positioned so as to be positioned, and a mask used at the time of division is applied after applying tension to prevent central deflection or the like.
The structure of the present invention comprises a frame and mask supply device, a frame loading device, a mother glass supply and loading device, a mask supply device, a camera device for position matching of the mask and mother glass, a device for welding the mask to the frame White OLED An apparatus for manufacturing a mask frame for panel manufacturing, comprising: a pair of frame short sides (Y-axis) movable grippers facing each other so as to move in a frame short side direction while holding both ends of the bandstick mask and applying tension; A mask frame for organic deposition and encapsulation for fabricating a white OLED panel comprising: a pair of frame long sides (X-axis) movable grippers facing each other to move in the longitudinal direction of the frame while applying tension by applying both ends of the bandstick mask. An apparatus for manufacturing an assembly, a method using the same, and a mask frame assembly manufactured therefrom are features of the invention.
Description
본 발명은 White OLED용 TV 제작 공정중의 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리, 그 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로, 자세하게는 AMOLED와 함께 각광 받고 있는 White OLED를 4세대 이상으로 대형화하기 위해 복수개의 메탈 스틱 마스크를 이용하여 제작한 마스크 프레임 어셈블리와 이를 제조하는 방법과 그 제조장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a mask frame assembly for organic deposition and encapsulation, a manufacturing method and a manufacturing apparatus for producing a white OLED panel in a TV manufacturing process for white OLED, in detail, more than four generations of white OLED that is in the spotlight with AMOLED. The present invention relates to a mask frame assembly manufactured by using a plurality of metal stick masks, a method for manufacturing the same, and an apparatus for manufacturing the same.
OLED(유기발광다이오드)는 반응속도가 박막트랜지스터액정표시장치(TFT LCD)보다 월등히 빠르다. 또 자체 발광으로 백라이트 없이 두께와 무게를 3분의 1이나 줄일 수 있으며 넓은 시야각과 저전력 소비 구조를 자랑하는 차세대 디스플레이이다.OLEDs (organic light emitting diodes) have a much faster reaction rate than thin film transistor liquid crystal displays (TFT LCDs). The self-illumination reduces thickness and weight by one third without backlight, and is a next-generation display with a wide viewing angle and low power consumption.
이러한 OLED는 AM방식(능동)과 PM방식(수동)으로 나뉜다. PMOLED는 AMOLED에 비해 제작단가가 낮고, 소비전력, 수명과 해상도에 한계가 있다. AMOLED는 각 화소마다 TFT와 커패시터가 있으며 소비전력, 수명, 해상도 측면 모두에서 우수하기 때문에, TFT의 제작으로 인해 제조비용이 높아진다는 단점을 딛고, 현재 각 분야의 활발한 개발과 양산 시도가 이어지고 있다. 무엇보다 AMOLED의 강점은 무엇보다 화질 경쟁력이다. 최대 경쟁자인 LCD에 비해 색 재현율은 30% 포인트나 높고 명암비는 20배나 뛰어나다. LCD의 최대 약점인 동영상의 잔상현상도 AMOLED에서는 찾아볼 수 없다. 이는 LCD가 백라이트라는 간접광원을 액정, 컬러필터 등을 통과시키며 다소 복잡하게 화면을 연출하는 반면에 AMOLED는 유기물질이 자체 발광해 곧바로 자연색의 화면을 재현하기 때문이다. 더욱이 OLED는 LCD와 비교해 구조가 단순해 제조시 부품 측면에서 매우 유리하다는 장점이 있다.
These OLEDs are divided into AM type (active) and PM type (passive). PMOLED has lower manufacturing cost than AMOLED and has limitations in power consumption, lifespan and resolution. Since AMOLED has TFT and capacitor in each pixel and is excellent in terms of power consumption, lifespan, and resolution, the manufacturing cost is increased due to the manufacture of TFT. Most of all, AMOLED's strength is image quality competitiveness. Compared to LCD, the biggest competitor, the color reproduction rate is 30 percentage points higher and the contrast ratio is 20 times better. Afterimage of video, the biggest weakness of LCD, is not found in AMOLED. This is because LCD creates a somewhat complicated screen by passing an indirect light source called backlight through liquid crystal, color filter, etc., while AMOLED reproduces natural color screen by emitting organic material by itself. Moreover, OLED has a simple structure compared to LCD, which is very advantageous in terms of components in manufacturing.
그러나 OLED는 재료 원가, 구동회로, 드라이버 IC 가격을 보면, OLED는 감가상각이 차지하는 비율이 전체 원가의 반에 이를 정도로 크다. 이는 OLED가 아직 소비자들에게 대중화되지 않아 대량생산에 의한 제조 단가 효과를 보기 어렵기 때문이다. However, in terms of OLED material cost, driver circuit, and driver IC, OLED depreciation accounts for half of the total cost. This is because OLED is not yet popularized to consumers and it is difficult to see the cost effect of manufacturing by mass production.
이러한 현실 때문에 최근 대두되고 있는 디스플레이 기술이 White OLED 기술이다. White OLED 기술을 쉽게 설명하자면 LCD 패널의 장점과 AMOLED 패널의 장점을 하이브리드화 기술이다.Because of this reality, the display technology that is emerging recently is White OLED technology. To easily explain the White OLED technology, the merits of LCD panel and AMOLED panel are hybridization technology.
즉, 색상을 나타내는 RGB 칼라필터 위에 스위칭 기능이 있는 White OLED 및 TFT를 배치시켜 자체발광하는 White OLED를 TFT로 스위칭시켜 RGB 칼라필터의 색상을 디스플레이하는 기술이다. That is, it is a technology to display the color of the RGB color filter by arranging the white OLED and the TFT having a switching function on the RGB color filter representing the color to switch the self-emitting white OLED to the TFT.
이러한 White OLED 패널을 대형화 할수 있다면 LCD급의 양산수율과 AMOLED에 버금가는 고품질의 디스플레이패널을 보급형으로 제공할 수 있게 된다.
If the white OLED panel can be enlarged, it will be able to provide high-quality display panels comparable to LCD-level mass production yields and AMOLED.
하지만 아직까지는 현재 대중화되어 보급된 LCD나 PDP급의 40인치 이상 또는 8세대 이상의 White OLED 패널을 대량 제작할 수 있는 기술이 제공되지 못하고 있는 실정이어서 고품질의 디스플레이 패널 보급은 요원한 실정이다.
However, it is still difficult to provide high-quality display panels because the technology for mass production of LCD or PDP-class 40 inch or more or 8 generation or more white OLED panels is not provided.
물론 큰 사이즈의 코일이 구비되어 원장방식으로 구현하면 되나, 하나의 원장으로 된 마스크를 이용하여 대형화하기 어려운 이유는 마스크의 원재료인 코일의 공급 크기가 대형화에 필요한 크기 사이즈로 생산되지 않고 있기 때문이다. 즉, 채산성의 문제로 코일 생산업체에서는 White OLED 디스플레이 업체에서 필요로 하는 크기의 코일을 생산하지 않기 때문이다.
Of course, a large size coil is provided and implemented in the ledger method, but it is difficult to enlarge the size by using a mask made of one ledger because the supply size of the coil, which is a raw material of the mask, is not produced in the size required for large size. . In other words, due to profitability, coil producers do not produce coils of the size required by white OLED display companies.
또한 4세대 이상의 White OLED 패널을 대량으로 제작하기 위해서는 고정세를 가지면서 White OLED를 증착시킬 수 있는 White OLED용 마스크프레임 어셈블리 제작기술이 뒷받침 되면 수율 문제를 극복하면서 양산할 수 있지만 대부분의 마스크프레임어셈블리 제조기술이나 장치들이 LCD나 AMOLED 패널 제작을 위한 용도여서 White OLED용 마스크프레임어셈블리에 곧바로 적용하기가 어렵기 때문이다.In addition, in order to manufacture large quantities of white OLED panels of 4th generation or more, if a mask frame assembly manufacturing technology for white OLEDs capable of depositing white OLEDs is supported, it can be mass-produced while overcoming yield problems, but most mask frame assemblies are manufactured. This is because the manufacturing technology and devices are used to manufacture LCD or AMOLED panels, so it is difficult to apply them directly to the mask frame assembly for white OLED.
구체적인 이유는 종래 대형화가 이루어진 LCD나 대형화 기술이 한창 개발되고 있는 AMOLED용 마스크프레임 어셈블리 제조방법이나 제조장치 중 FMM Type OLED의 경우는 R,G,B용 유기물 증착을 위해 각 픽셀들에 대응하기 위한 촘촘한 홀이 형성된 Fine Metal Mask를 이용하고, Metal 증착 및 봉지는 OPEN Mask를 이용하는데 반해 White OLED는 이와 달리 R,G,B 색상에 대응하기 위해 LCD 제조 공정에서 사용하는 Color Filter 유리를 사용하기 때문에 White 유기물 증착과 Metal 증착 및 봉지 공정에서 모두 Open Mask를 이용한다. 따라서, Fine Metal Mask의 적용이 불필요하며 Open Mask 제작의 경우 원장 내부를 다면취하여 제작의 경우는 Mask Coil Size의 한계성으로 적용이 어렵다. The specific reason is that in order to cope with each pixel for the deposition of organic material for R, G, and B in the case of FMM Type OLED among the manufacturing method or manufacturing apparatus of mask frame assembly for AMOLED, which is being developed in large-scale LCD or large-sized technology. Fine Metal Mask with dense holes is used, and metal deposition and encapsulation are using OPEN Mask, whereas White OLED uses Color Filter glass used in LCD manufacturing process to cope with R, G, and B colors. Open mask is used in both white organic material deposition and metal deposition and encapsulation processes. Therefore, it is not necessary to apply Fine Metal Mask, and in case of making Open Mask, it is difficult to apply due to the limitation of Mask Coil Size in case of manufacturing by multiplying the inside of the ledger.
또한 도 11에 도시된 바와 같이 원장 내부를 다면취하여 제작하는 종래의 방식으로는 마스크의 처짐없이 장력이 유지된 채로 정밀하게 위치되기 어려워 대면적의 White OLED용 마스크프레임어셈블리를 제조하기가 어렵기 때문이다.In addition, in the conventional method of manufacturing the multi-sided inside the ledger as shown in FIG. 11, since it is difficult to precisely position it while maintaining the tension without sagging of the mask, it is difficult to manufacture a mask frame assembly for a large area white OLED. to be.
즉, 마스크가 장력을 가지지 않고 위치가 정밀하지 않으면 마스크 중앙처짐이 발생하여 쉐도우(Shadow)와 증착 위치성에 해가되어 고정세의 White OLED용 패널이 제공되지 못하여 수율이 떨어지게 된다는 문제점이 있다.
In other words, if the mask does not have tension and the position is not precise, mask center deflection occurs, which is detrimental to shadow and deposition position, and thus a high-definition white OLED panel cannot be provided, resulting in a drop in yield.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 4세대 이상의 White OLED 패널을 양산하도록 대형 프레임을 필요로 하는 면적의 홀로 분할되도록 스틱 마스크를 이동시켜 위치시키고, 분할시 사용된 마스크가 중앙부 처짐등이 발생하지 않도록 장력을 가한후 용접시키는 제조방법 및 그 제조장치 그리고 이로부터 제조된 마스크프레임어셈블리를 제공하는 데 있다.
An object of the present invention for solving the above problems is to move and position the stick mask to be divided into holes of the area that needs a large frame to mass-produce 4 or more generations of white OLED panels, the mask used during the division is sagging in the center, etc. The present invention provides a fabrication method, a fabrication apparatus, and a mask frame assembly manufactured therefrom which are subjected to tension after welding so as not to occur.
상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은, White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리의 제조방법에 있어서,
(A) 내부에 홀이 형성되지 않은 더미형 밴드스틱 마스크의 부착위치 결정을 위한 마더글라스를 위치시키는 단계와;
(B) 밴드스틱 마스크가 용접되어 고정될 프레임을 로딩하는 단계와;
(C) 밴드스틱 마스크의 양측단을 각각 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼에 파지시키는 단계와;
(D) 밴드스틱 마스크를 파지한 양측단 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼를 각각 프레임 단변 방향 또는 장변 방향의 용접지점으로 이동시킨 후 장력을 인가하면서 마더글라스에 형성된 밴드스틱 마스크 표시부와 매칭시키는 단계와;
(E) 마더글라스 표시부 위치와 매칭된 밴드스틱 마스크의 휨 방지를 위해 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼에 구비된 θ각도 조절모터를 이용 θ각도를 조절하는 단계와;
(F) 위치 결정 및 θ각도 조절된 밴드스틱 마스크의 양측단을 프레임에 용접하는 단계와;
(G) 프레임의 단변(Y축) 또는 장변(X축) 상에 설치할 밴드스틱 마스크 숫자 만큼 상기 (C)단계에서 (F)단계를 반복하여 밴드스틱 마스크의 양측단을 프레임에 용접시킴으로써 복수개의 밴드스틱 마스크에 의해 분할 형성된 복수개의 White OLED 홀을 만드는 단계;로 구성하되,
상기 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼는 밴드스틱 마스크를 파지하는 파지실린더와, 이 파지실린더를 전후진 시키는 실린더를 이용해 밴드스틱 마스크의 양측단을 파지하여 장력을 인가한 채로 리니어서보모터상에서 임의의 용접지점으로 선형 운동함과 동시에 이송 중 발생된 밴드스틱 마스크의 θ각(수평방향 변화 각)을 조절하도록 하부에 장치된 θ축 힌지를 중심으로 파지실린더 및 실린더가 장치된 부분을 회전시키도록 일측에 설치된 θ각도 조절모터와, 회전한 파지실린더 및 실린더부를 타측방향에서 지지하는 θ축 조절 완충수단을 포함하여 구성된 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 White OLED용 TV 제작 공정중의 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리의 제조방법을 제공함으로서 달성된다.
본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 밴드스틱 마스크는 프레임의 단변에 먼저 용접한 후, 프레임의 장변에 용접할 수 있다.
본 발명은 바람직한 실시예로, 상기 밴드스틱 마스크는 프레임의 단변 또는 장변에 용접시 내측에서 외측방향으로 용접할 수 있다.
또한 본 발명은 다른 실시형태로, 프레임 및 마스크 공급장치, 프레임 로딩 장치, 마더글라스 공급 및 로딩 장치, 마스크 공급장치, 마스크와 마더글라스의 위치 매칭용 카메라장치, 마스크를 프레임에 용접하는 장치를 포함하여 구성된 White OLED 패널 제작용 마스크프레임 제조장치에 있어서,
밴드스틱 마스크의 양측단을 파지하여 장력을 인가한 채로 프레임 단변방향으로 이동하게 마주보는 한쌍의 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼와;
밴드스틱 마스크의 양측단을 파지하여 장력을 인가한 채로 프레임 장변방향으로 이동하게 마주보는 한쌍의 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼;를 포함하여 구성하되,
상기 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼는 밴드스틱 마스크를 파지하는 파지실린더와, 이 파지실린더를 전후진 시키는 실린더를 이용해 밴드스틱 마스크의 양측단을 파지하여 장력을 인가한 채로 리니어서보모터상에 설치되어 임의의 용접지점으로 선형 운동하도록 구성됨과 동시에 이송 중 발생된 밴드스틱 마스크의 θ각(수평방향 변화 각)을 조절하도록 하부에 장치된 θ축 힌지를 중심으로 파지실린더 및 실린더가 장치된 부분을 회전시키도록 일측에 설치된 θ각도 조절모터와, 회전한 파지실린더 및 실린더부를 타측방향에서 지지하는 θ축 조절 완충수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 White OLED용 TV 제작 공정중의 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리의 제조장치를 제공함으로써 달성된다.
또한 본 발명은 다른 실시형태로, 상기 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리 제조방법에 따라 제조된,
둘레를 이루는 프레임과;
상기 프레임의 안쪽 공간을 가로질러 장변 및 단변에 용접 설치된 하나 이상의 밴드스틱 마스크와;
상기 프레임의 장변 및 단변에 전면 접촉되어 용접된 밴드스틱 마스크와;
상기 프레임의 단변 또는 장변에 용접된 복수개의 밴드스틱 마스크에 의해 프레임 안쪽 공간에 형성된 복수개의 White OLED 증착용 홀;로 구성된 것을 특징으로 하는 White OLED용 TV 제작 공정중의 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리를 제공함으로써 달성된다.
In the present invention to achieve the object as described above and to perform the problem for eliminating the conventional drawbacks, in the manufacturing method of the mask frame assembly for organic deposition and encapsulation for white OLED panel fabrication,
(A) positioning a mother glass for determining an attachment position of a dummy bandstick mask having no holes formed therein;
(B) loading the frame to which the bandstick mask is welded and fixed;
(C) gripping both ends of the bandstick mask with a frame short side (Y axis) movable gripper or a long side (X axis) movable gripper, respectively;
(D) Both sides of the frame's short-side (Y-axis) movable gripper or long-side (X-axis) movable gripper holding the bandstick mask are moved to the welding point of the frame short or long side, respectively, and formed on the mother glass while applying tension. Matching the bandstick mask display;
(E) Adjusting the angle of θ by using the θ angle control motor provided in the frame short side (Y axis) movable gripper or long side (X axis) movable gripper to prevent bending of the bandstick mask matched with the position of the mother glass display; ;
(F) welding both ends of the positioning and? Angle adjusted bandstick mask to the frame;
(G) Repeat step (C) to (F) as many times as the number of band stick masks to be installed on the short side (Y axis) or long side (X axis) of the frame to weld both ends of the band stick mask to the frame. Making a plurality of white OLED holes divided by a bandstick mask;
The frame short side (Y axis) movable gripper or long side (X axis) movable gripper uses a grip cylinder for holding a band stick mask and a cylinder for advancing and holding the grip cylinder to hold both ends of the band stick mask to apply tension. While holding the linear motion to any welding point on the liner servo motor, the holding cylinder and cylinder are centered around the θ axis hinge installed at the bottom to adjust the θ angle (horizontal change angle) of the bandstick mask generated during transfer. TV manufacturing process for white OLED, characterized in that it comprises a θ angle control motor installed on one side to rotate the installed portion, and a θ-axis adjustment buffer means for supporting the rotated holding cylinder and the cylinder portion in the other direction By providing a manufacturing method of mask frame assembly for organic deposition and encapsulation for white OLED panel manufacturing in China It is.
According to an exemplary embodiment of the present invention, the bandstick mask may be welded to the short side of the frame first and then to the long side of the frame.
According to an exemplary embodiment of the present invention, the bandstick mask may be welded from the inner side to the outer side when welding the short side or the long side of the frame.
The present invention also provides, in another embodiment, a frame and mask supply device, a frame loading device, a mother glass supply and loading device, a mask supply device, a camera device for position matching of a mask and a mother glass, and a device for welding a mask to a frame. In the mask frame manufacturing apparatus for producing a white OLED panel,
A pair of frame short sides (Y-axis) movable grippers facing each other so as to move in a frame short side direction while holding both ends of the bandstick mask while applying tension;
And a pair of frame long sides (X-axis) movable grippers facing each other so as to move in the longitudinal direction of the frame while applying tension by holding both ends of the bandstick mask.
The frame short side (Y axis) movable gripper or long side (X axis) movable gripper uses a grip cylinder for holding a band stick mask and a cylinder for advancing and holding the grip cylinder to hold both ends of the band stick mask to apply tension. It is installed on the liner servo motor and is configured to linearly move to any welding point, and at the same time, it is gripped around the θ axis hinge installed at the bottom to adjust the θ angle (horizontal change angle) of the bandstick mask generated during the transfer. White OLED TV production comprising a θ angle control motor installed on one side to rotate the cylinder and the cylinder-mounted portion, a rotating grip cylinder and a θ-axis control buffer means for supporting the cylinder portion in the other direction Providing manufacturing apparatus of mask frame assembly for organic deposition and encapsulation for white OLED panel in process It is achieved.
In another embodiment, the present invention is manufactured according to the manufacturing method of the mask frame assembly for organic deposition and encapsulation for manufacturing the White OLED panel,
A circumferential frame;
One or more bandstick masks welded to the long side and the short side across the inner space of the frame;
A bandstick mask welded in front contact with the long and short sides of the frame;
Organic OLEDs for manufacturing white OLED panels during a TV manufacturing process for white OLEDs, comprising: a plurality of white OLED deposition holes formed in a space inside the frame by a plurality of bandstick masks welded to the short or long sides of the frame. By providing a mask frame assembly for deposition and encapsulation.
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상기와 같은 본 발명은 4세대 이상의 대면적화가 가능한 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리가 제공된다는 장점과,As described above, the present invention provides an organic deposition and encapsulation mask frame assembly for fabricating a white OLED panel capable of large area of 4th generation or more, and
또한 프레임의 장변과 단면 방향에 마주보는 한쌍씩 총 4개의 크리퍼를 이용하여 공급된 밴드스틱 마스크를 파지시킨 후 원하는 위치에 밴드스틱 마스크를 정밀하게 위치시킬 수 있다는 장점과,In addition, it is possible to precisely position the bandstick mask at a desired position after holding the supplied bandstick mask using four creepers in pairs facing the long side and the cross-sectional direction of the frame.
또한 밴드스틱 마스크의 장력을 인가하면서 위치결정시 밴드스틱 마스크의 θ각도를 조절할 수 있어 휨 및 처짐을 방지함으로써 고정세의 White OLED 패널을 제작할 수 있어 쉐도우 현상 등을 방지할 수 있다는 장점을 가진 유용한 발명으로 산업상 그 이용이 크게 기대되는 발명이다.
In addition, the θ angle of the bandstick mask can be adjusted while applying the tension of the bandstick mask to prevent warpage and sag, thus making it possible to manufacture a high-definition white OLED panel, which can prevent shadow phenomenon. The invention is an invention that is expected to be greatly used in the industry.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따라 밴드스틱 마스크로 분할된 홀을 보인 White OLED용 마스크프레임어셈블리를 보인 평면 예시도이고,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따라 밴드스틱 마스크로 분할된 홀을 보인 White OLED용 마스크프레임어셈블리를 보인 평면 예시도이고,
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따라 이동형 그리퍼를 이용 프레임에 마스크를 용접하는 순서를 보인 예시도이고,
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따라 이동형 그리퍼를 이용 프레임에 마스크를 용접하는 장치를 보인 예시도이고,
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 전체 구성을 보인 개략도이고,
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 θ각도 보정 수단을 보인 예시도이고,
도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 프레임 및 마더글라스 업다운 장치를 보인 예시도이고,
도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 밴드스틱 마스크 로딩 장치를 보인 예시도이고,
도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 비전 및 레이저 용접장치를 보인 예시도이고,
도 10은 본 발명 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법 순서도이고,
도 11은 종래 원장 내부를 다면취하여 제작하는 White OLED용 마스크프레임어셈블리 예시도이다.1 is a plan view showing a mask frame assembly for a white OLED showing a hole divided into a bandstick mask according to an embodiment of the present invention,
2 is a plan view showing a mask frame assembly for a white OLED showing a hole divided into a bandstick mask according to another embodiment of the present invention,
3 is an exemplary view illustrating a procedure of welding a mask to a frame using a movable gripper according to an embodiment of the present invention.
4 is an exemplary view showing an apparatus for welding a mask to a frame using a movable gripper according to an embodiment of the present invention,
5 is a schematic view showing an overall configuration according to an embodiment of the present invention,
6 is an exemplary view showing a θ angle correction means according to an embodiment of the present invention,
7 is an exemplary view showing a frame and a mother up-down apparatus according to an embodiment of the present invention,
8 is an exemplary view showing a bandstick mask loading apparatus according to an embodiment of the present invention,
9 is an exemplary view showing a vision and laser welding apparatus according to an embodiment of the present invention,
10 is a flowchart illustrating a method of manufacturing the mask frame assembly of the present invention;
11 is an exemplary view illustrating a mask frame assembly for a white OLED fabricated by multi-sided fabrication of a conventional ledger.
이하 본 발명의 실시 예인 구성과 그 작용을 첨부도면에 연계시켜 상세히 설명하면 다음과 같다. 또한 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따라 밴드스틱 마스크로 분할된 홀을 보인 White OLED용 마스크프레임어셈블리를 보인 평면 예시도이고, 도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따라 밴드스틱 마스크로 분할된 홀을 보인 White OLED용 마스크프레임어셈블리를 보인 평면 예시도이다.1 is a plan view showing a mask frame assembly for a white OLED showing a hole divided into a bandstick mask according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is divided into a bandstick mask according to another embodiment of the present invention This is a plan view showing a mask frame assembly for a white OLED showing a hole.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 마스크프레임어셈블리의 구조는 둘레를 이루는 프레임(1)과; 상기 프레임의 장변 및 단변에서 내부 공간을 가로질러 용접 설치된 하나 이상의 밴드스틱 마스크(2a)와; 상기 프레임의 장변 및 단변에 전면 접촉되어 용접된 밴드스틱 마스크(2b)와; 상기 프레임의 단변 또는 장변에 용접된 밴드스틱 마스크에 의해 프레임 안쪽 공간에 형성된 복수개의 White OLED 증착용 홀(3);로 구성된다.As shown, the structure of the mask frame assembly according to the present invention comprises a frame (1) forming a circumference; At least one bandstick mask (2a) welded across the internal space at the long and short sides of the frame; A bandstick mask (2b) welded in front contact with the long and short sides of the frame; And a plurality of white OLED deposition holes 3 formed in the inner space of the frame by a bandstick mask welded to the short or long side of the frame.
상기 밴드스틱 마스크(2a)는 내부에 아무런 홀 등이 가공되지 않은 긴 띠 형식 더미형 분할 마스크이다.The
본 발명의 마스크프레임어셈블리는 White OLED 제작 중 유기증착(Evaporation) 및 봉지(Passivation)에 사용되는 마스크프레임어셈블리이다.The mask frame assembly of the present invention is a mask frame assembly used for organic evaporation and encapsulation during white OLED fabrication.
상기 마스크프레임어셈블리에 적용되는 프레임은 증착용 프레임(Frame)으로 그 재질은 Invar 36 및 SUS420을 사용한다. 이때 두께는 30mmt 및 20mmt이고, 두께공차는 100㎛t 이하 ± 10%이며, 평탄도가 50㎛ 이하인 것을 사용하는 것이 바람직하다. 물론 이와 같은 수치에 본 발명에 꼭 한정되는 것은 아니고 바람직한 예를 든 것이다. The frame applied to the mask frame assembly is a deposition frame, and materials thereof are Invar 36 and SUS420. At this time, the thickness is 30mmt and 20mmt, the thickness tolerance is 100㎛t or less ± 10%, it is preferable to use a flatness of 50㎛ or less. Of course, these numerical values are not necessarily limited to the present invention, but preferable examples are given.
또한 상기 밴드스틱 마스크의 재질은 바람직하게는 Invar, Stainless Steel, Ni-Co Alloy로 용접 가능한 재질이며, 두께는 100㎛ ± 10%인 것을 사용한다.In addition, the material of the band stick mask is preferably a material that can be welded with Invar, Stainless Steel, Ni-Co Alloy, the thickness is used 100㎛ ± 10%.
또한 상기한 프레임과 밴드스틱 마스크를 이용하여 마스크 프레임 어셈블리 제조시 온도 변화에 대한 영향을 최소화하기 위해 프레임과 밴드스틱 마스크는 동일한 재질을 사용하는 것이 바람직하다.
In addition, it is preferable to use the same material for the frame and the bandstick mask in order to minimize the influence on the temperature change in manufacturing the mask frame assembly using the frame and the bandstick mask.
상기와 같이 구성된 마스크프레임어셈블리가 구비됨으로 인해 상기 White OLED 증착용 홀(3)을 통해 유기물인 White OLED 증착 소스가 증착 대상 유리기판에 증착되어 4세대(유리기판 기준 가로와 세로 각각 780㎜와 920㎜인 크기) 이상의 대면적 White OLED 패널 제작도 가능하게 되었다. 이러한 White OLED패널이 제작되면 그 전면에 RGB 칼라 필터가 부착되어 White OLED의 스위칭 동작에 따른 발광시 색상을 표출하여 디스플레이 된다.
Due to the mask frame assembly configured as described above, the white OLED deposition source, which is an organic material, is deposited on the glass substrate to be deposited through the white
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따라 이동형 그리퍼를 이용 프레임에 마스크를 용접하는 순서를 보인 예시도이고, 도 4는 본 발명의 한 실시예에 따라 이동형 그리퍼를 이용 프레임에 마스크를 용접하는 장치를 보인 예시도이다.FIG. 3 is an exemplary view showing a procedure of welding a mask to a frame using a movable gripper according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an apparatus for welding a mask to a frame using a movable gripper according to an embodiment of the present invention. It is an exemplary diagram showing.
도시된 바와 같이 본 발명의 마스크프레임어셈블리는 종래와 같은 고정형 그리퍼가 아닌 이동형 그리퍼를 이용하여 복수개의 밴드스틱 마스크를 프레임상에 위치시켜 용접하여 구성된다. As shown, the mask frame assembly of the present invention is constructed by placing and welding a plurality of bandstick masks on a frame by using a movable gripper instead of a conventional fixed gripper.
이를 위해 본 발명은 프레임을 사이에 두고 마주보는 한쌍의 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼(4a)와 프레임을 사이에 두고 마주보는 한쌍의 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼(4b)로 구성되어 총 4개의 이동형 그리퍼를 사용하여 밴드스틱 마스크를 위치시키고자 하는 특정 위치로 이동시키고 장력을 인가하여 프레임에 용접하게 된다.To this end, the present invention comprises a pair of frame short sides (Y-axis)
이때 바람직한 용접순서는 프레임의 단변에 밴드스틱 마스크를 용접한 후 프레임의 장변에 밴드스틱 마스크를 용접하고, 단변 및 장변에서의 용접순서는 내측에서 외측방향으로 용접한다. 구체적으로 도시된 한 실시예에 따라 단변에서의 용접순서를 설명하면 내측 ①, ② 위치에서 외측방향 ③, ④ 위치의 순서로 하면 된다. 또한 장변에서의 용접순서는 내측 ⑤위치에서 외측방향 ⑥, ⑦ 위치의 순서로 하면 된다. 이와 같은 순서는 도면처럼 분할된 경우에 한정되는 것이다.At this time, the preferred welding order is to weld the bandstick mask on the short side of the frame, and then the bandstick mask on the long side of the frame, and the welding order on the short and long sides is welded from the inside to the outside. Specifically, the welding order at the short sides according to an exemplary embodiment of the present invention may be performed in the order of the positions of the inner and
단 언제나 상기 프레임 단변 방향으로 용접되는 복수개의 밴드스틱 마스크 중 양측 밴드스틱 마스크는 장변 프레임과 전면 접촉되어 용접되고, 상기 프레임 장변 방향으로 용접되는 복수개의 밴드스틱 마스크 중 양측 밴드스틱 마스크는 단변 프레임과 전면 접촉되어 용접되도록 함으로써 폭이 길이방향 대비 작은 밴드스틱 마스크의 처짐이나 뒤틀림을 방지하게 구성한다.However, both band stick masks of the plurality of band stick masks welded in the frame short side direction are welded in front contact with the long side frame, and both band stick masks of the band band masks welded in the frame long side direction are connected to the short side frame. It is configured to prevent sagging or twisting of the bandstick mask having a smaller width relative to the longitudinal direction by being welded in front contact.
이와 같이 용접하게 되면 프레임의 뒤틀림이 없어 완성된 마스크 프레임 어셈블리의 구조가 견고하게 된다.
This welding ensures that the structure of the completed mask frame assembly is firm without distortion of the frame.
도 4에 따라 보다 구체적으로 설명하자면 한쌍의 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼(4a)와 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼(4b)는 각각 그 하부마다 장치된 리니어서보모터(Liner servo motor, 5)상에서 정밀하게 선형 왕복운동을 하도록 구성된다. 즉, 이 상기 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 한쌍은 항시 리니어서보모터(Liner servo motor, 5)상에서 연동되어 움직이게 구성된다. 마찬가지로 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼 한쌍 역시 리니어서보모터(Liner servo motor)에 장치되어 연동되어 움직인다. More specifically, according to FIG. 4, a pair of frame short side (Y-axis)
또한 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼(4a)와 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼(4b)는 리니어서보모터(Liner servo motor, 5) 상에서의 왕복운동뿐만 아니라 이와 직교되는 방향으로 전후진하도록 내부에 각각 실린더(41a, 41b)가 구성되어 로딩된 밴드스틱 마스크를 파지하기 위해 그리퍼가 전후진하고 이후 파지실린더(42a, 42b)가 밴드스틱 마스크를 파지한다. 파지후에는 밴드스틱 마스크를 용접할 위치로 리니어서보모터상에서 직선 운동을 하여 해당 위치로 이송후 멈추게 된다. 이송이 멈추면 후술될 비전 및 레이저 용접장치가 이동하여 밴드스틱 마스크의 위치와 마더글라스간을 매칭하고 용접하게 된다.In addition, the frame short side (Y axis)
이와 같은 밴드스틱 마스크를 로딩하면 도 3에 도시된 바와 같은 순서인 프레임의 단변에 밴드스틱 마스크를 용접한 후 프레임의 장변에 밴드스틱 마스크를 용접하면 된다.
When the bandstick mask is loaded, the bandstick mask may be welded to the short side of the frame in the order shown in FIG. 3, and then the bandstick mask may be welded to the long side of the frame.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 전체 구성을 보인 개략도이고, 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 θ각도 보정 수단을 보인 예시도이고, 도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 프레임 및 마더글라스 업다운 장치를 보인 예시도이고, 도 8은 본 발명의 한 실시예에 따른 밴드스틱 마스크 로딩 장치를 보인 예시도이고, 도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 비전 및 레이저 용접장치를 보인 예시도이다.
5 is a schematic view showing an overall configuration according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is an exemplary view showing a θ angle correction means according to an embodiment of the present invention, Figure 7 according to an embodiment of the
도시된 바와 같이 본 발명의 리니어서보모터(5)상에 설치된 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼(4a)와 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼(4b)를 포함한 전체 장치구성은 크게 공급된 프레임을 로딩하고 그 하부에 마더글라스를 위치시키는 프레임 및 마더글라스 업다운 장치(6)와; 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼(4a)와 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼(4b)가 파지하여 이송할 밴드스틱 마스크를 업다운시키는 밴드스틱 마스크 로딩 장치(7)와; 밴드스틱 마스크와 마더글라스를 매칭시키고, 프레임과 밴드스틱 마스크를 용접하는 내부에 카메라, 레이저변위센서, 레이저용접장치를 구비한 비전 및 레이저 용접장치(8)와; 이 비전 및 레이저 용접장치를 이송하는 비전 및 레이저 용접장치 이송용 리니어서보모터(Liner servo motor, 9)를 포함하여 구성된다.As shown, the overall device configuration including the frame short side (Y-axis)
또한 상기 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼(4a) 또는 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼(4b)에는 이송중 발생된 θ각(수평방향 변화 각, 도 6 참조)을 미세하게 조절하도록 θ각도 조절모터(11)가 구비될수 있다. In addition, the θ angle is adjusted to finely adjust the θ angle (horizontal direction change angle, see FIG. 6) generated during transfer to the frame short side (Y axis) moving
즉, 한쌍의 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼(4a) 또는 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼(4b)가 파지하여 이송중인 밴드스틱 마스크는 정밀한 리니어서보모터에 의해 이송중이더라도 미세한 변화가 일어난 상태로 이송될 수 있는데, 이러한 상태에서 보정 없이 프레임에 그냥 용접하게 되면 불량 마스크프레임어셈블리가 생산되어 사용치 못하게 된다. 종래방식에서는 이와 같은 θ각도가 발생하게 되면 밴드스틱 마스크를 다시 처음 위치로 되돌려 처음부터 다시 이송하게 되는데, 이러한 작업은 번거롭게 공정수가 추가되고, 시간도 많이 소요되는 단점이 있을 뿐만 아니라 θ각도가 정확히 교정된다는 보장도 없게 된다. 이러한 문제점 때문에 본 발명은 해당 위치에서 보정작업을 실시할 수 있는 교정 수단을 구비한 것이다.That is, the bandstick mask being transported by the pair of frame short side (Y-axis)
상기에서 θ각도 조절모터(11) 대신에 수동식 마이크로 미터를 설치할 수도 있으나 θ각도 조절모터(11)를 사용하는 것이 정밀제어가 가능하다. 이러한 모터로는 서보모터나 스텝모터와 같은 정밀 제어 모터를 사용하는 것이 바람직하다.
Instead of the θ
구체적으로 본 발명은 θ각도 보정을 위해 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼(4a) 또는 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼(4b) 하부에 장치된 θ축 힌지(10)를 중심으로 파지실린더(42a, 42b) 및 실린더(41a, 41b)가 장치된 부분을 회전토록 하는 θ각도 조절모터(11)와 이 θ각도 조절모터(11)의 회전으로 전진한 로드(111)와의 접촉에 의해 회전한 파지실린더(42a, 42b) 및 실린더(41a, 41b)부를 타측방향에서 지지하도록 θ각도 조절모터(11)의 마주보는 방향에 θ축 조절 완충수단(12)이 설치된다.Specifically, in the present invention, the
상기 θ각도 조절모터(11)의 미세 회전에 의해 로드 전진으로 조정된 θ각은 후방에 위치한 레버식 또는 스크류식 θ축 고정장치(13)에 의해 조정된 θ각이 고정되도록 구성할 수 있다.
The θ angle adjusted by rod advance by the fine rotation of the θ
상기 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼(4a) 또는 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼(4b) 하부에는 이동형 그리퍼 Up/Down 모터(14)가 구비되는데, 이를 이용하여Up/Down을 반복함으로써 위치 반복 정도를 측정하게 된다. 즉, 프레임 및 마더글라스 업다운 장치(6) 상에 인디게이터(Indicator- 미도시됨)를 설치한 후 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼(4a) 또는 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼(4b)를 20mm 반복 이동해 가며 위치를 측정한다. 측정횟수는 각 그리퍼(Gripper)당 20회 정도로 하여 ± 10um 이하가 되도록 한다.
Under the frame short side (Y-axis)
상기 프레임 및 마더글라스 업다운 장치(6)는 복수개의 실린더를 통해 승하강되도록 구성되고, 프레임 및 마더글라스를 지지하는 지그등이 구비되는데 이와 같은 구성은 일반적인 업다운 장치 구성이고, 통상의 지식을 가진자가 도면을 통해 용이하게 실시 할 수 있으므로 자세한 설명은 생략한다.The frame and the mother glass up and down device (6) is configured to move up and down through a plurality of cylinders, and the jig for supporting the frame and the mother glass is provided, such a configuration is a general up-down device configuration, Since the drawings can be easily carried out, a detailed description thereof will be omitted.
상기 밴드스틱 마스크 로딩 장치(7)는 복수개의 실린더를 통해 승하강되도록 구성되고, 밴드스틱 마스크를 지지하는 지그등이 구비되는데 이와 같은 구성은 일반적인 로딩 장치 구성이고, 통상의 지식을 가진자가 도면을 통해 용이하게 실시 할 수 있으므로 자세한 설명은 생략한다.The bandstick
상기 비전 및 레이저 용접장치(8)와; 이 비전 및 레이저 용접장치를 이송하는 비전 및 레이저 용접장치 이송용 리니어서보모터(Liner servo motor, 9) 구성은 통상적인 구성이고, 통상의 지식을 가진자가 도면을 통해 용이하게 실시 할 수 있으므로 자세한 설명은 생략한다.
The vision and laser welding device (8);
상기와 같은 마스크 프레임 어셈블리 제조장치에 의한 White OLED 패널 제작을 위한 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법을 도 10에 따라 단계별로 설명하면 다음과 같다.The manufacturing method of the mask frame assembly for manufacturing the white OLED panel by the mask frame assembly manufacturing apparatus as described above will be described step by step according to FIG.
(A) 밴드스틱 마스크의 부착위치 결정을 위한 마더글라스를 위치시키는 단계(S100)와;(A) positioning the mother glass for determining the attachment position of the bandstick mask (S100);
(B) 밴드스틱 마스크가 용접되어 고정될 프레임을 로딩하는 단계(S200)와;(B) loading the frame on which the bandstick mask is welded and fixed (S200);
(C) 밴드스틱 마스크의 양측단을 각각 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼에 파지시키는 단계(S300)와;(C) gripping both ends of the bandstick mask to a frame short side (Y axis) movable gripper or a long side (X axis) movable gripper (S300);
(D) 밴드스틱 마스크를 파지한 양측단 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼를 각각 프레임 단변 방향 또는 장변 방향의 용접지점으로 이동시킨 후 장력을 인가하면서 마더글라스에 형성된 밴드스틱 마스크 표시부와 매칭시키는 단계(S400)와;(D) Both sides of the frame's short-side (Y-axis) movable gripper or long-side (X-axis) movable gripper holding the bandstick mask are moved to the welding point of the frame short or long side, respectively, and formed on the mother glass while applying tension. Matching the bandstick mask display unit (S400);
(E) 마더글라스 표시부 위치와 매칭된 밴드스틱 마스크의 휨 방지를 위해 프레임 단변 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼에 구비된 θ각도 조절모터를 이용 θ각도를 조절하는 단계(S500)와;(E) adjusting the angle of θ by using the θ angle adjusting motor provided in the frame short side movable gripper or the long side (X axis) movable gripper to prevent bending of the bandstick mask matched with the mother glass display position (S500);
(F) 위치 결정 및 θ각도 조절된 밴드스틱 마스크의 양측단을 프레임에 용접하는 단계(S600)와;(F) welding both sides of the bandstick mask having the positioning and? Angle adjusted to the frame (S600);
(G) 프레임의 단변(Y축) 또는 장변(X축) 상에 설치할 밴드스틱 마스크 숫자 만큼 상기 (C)단계에서 (F)단계를 반복하여 밴드스틱 마스크의 양측단을 프레임에 용접시킴으로써 복수개의 White OLED 홀을 만드는 단계(S700);로 구성된다.
(G) Repeat step (C) to (F) as many times as the number of band stick masks to be installed on the short side (Y axis) or long side (X axis) of the frame to weld both ends of the band stick mask to the frame. It is configured; making a white OLED hole (S700).
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상기에서 프레임의 단변 및 장변에서의 용접순서는 내측에서 외측방향으로 용접한다.
The welding order in the short and long sides of the frame is welded from the inside to the outside.
상기에서 프레임 단변 방향으로 용접되는 복수개의 밴드스틱 마스크 중 양측 밴드스틱 마스크는 장변 프레임과 전면 접촉되어 용접되고, 상기 프레임 장변 방향으로 용접되는 복수개의 밴드스틱 마스크 중 양측 밴드스틱 마스크는 단변 프레임과 전면 접촉되어 용접된다.
Of the plurality of bandstick masks welded in the frame short side direction, both side band stick masks are welded in front contact with the long side frame, and both band stick masks of the plurality of band stick masks welded in the frame long side direction are short side frame and front face. Contact and welded.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims and their equivalents. Of course, such modifications are within the scope of the claims.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
(1) : 프레임 (2a, 2b) : 밴드스틱 마스크
(3) : 홀 (4a) : 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼
(4b) : 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼
(5) : 리니어서보모터 (41a, 41b) : 실린더
(42a, 42b) : 파지실린더
(6) : 프레임 및 마더글라스 업다운 장치
(7) : 밴드스틱 마스크 로딩 장치
(8) : 비전 및 레이저 용접장치
(9) : 비전 및 레이저 용접장치 이송용 리니어서보모터
(10) : θ축 힌지 (11) : θ각도 조절모터
(12) : θ축 조절 완충수단 (13) : θ축 고정장치
(14) : 이동형 그리퍼 Up/Down 모터Description of the Related Art
(1): frame (2a, 2b): bandstick mask
(3): Hole (4a): Frame short side (Y axis) movable gripper
(4b): Long frame (X-axis) movable gripper
(5): Liner servo motor (41a, 41b): Cylinder
(42a, 42b): Gripping cylinder
(6): frame and mother glass up-down device
(7): bandstick mask loading device
(8): Vision and laser welding device
(9): Liner servo motor for conveying vision and laser welding equipment
(10): θ axis hinge (11): θ angle control motor
(12): θ axis adjustment buffer means (13): θ axis fixing device
(14): Mobile Gripper Up / Down Motor
Claims (9)
(A) 내부에 홀이 형성되지 않은 더미형 밴드스틱 마스크의 부착위치 결정을 위한 마더글라스를 위치시키는 단계와;
(B) 밴드스틱 마스크가 용접되어 고정될 프레임을 로딩하는 단계와;
(C) 밴드스틱 마스크의 양측단을 각각 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼에 파지시키는 단계와;
(D) 밴드스틱 마스크를 파지한 양측단 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼를 각각 프레임 단변 방향 또는 장변 방향의 용접지점으로 이동시킨 후 장력을 인가하면서 마더글라스에 형성된 밴드스틱 마스크 표시부와 매칭시키는 단계와;
(E) 마더글라스 표시부 위치와 매칭된 밴드스틱 마스크의 휨 방지를 위해 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼에 구비된 θ각도 조절모터를 이용 θ각도를 조절하는 단계와;
(F) 위치 결정 및 θ각도 조절된 밴드스틱 마스크의 양측단을 프레임에 용접하는 단계와;
(G) 프레임의 단변(Y축) 또는 장변(X축) 상에 설치할 밴드스틱 마스크 숫자 만큼 상기 (C)단계에서 (F)단계를 반복하여 밴드스틱 마스크의 양측단을 프레임에 용접시킴으로써 복수개의 밴드스틱 마스크에 의해 분할 형성된 복수개의 White OLED 홀을 만드는 단계;로 구성하되,
상기 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼는 밴드스틱 마스크를 파지하는 파지실린더와, 이 파지실린더를 전후진 시키는 실린더를 이용해 밴드스틱 마스크의 양측단을 파지하여 장력을 인가한 채로 리니어서보모터상에서 임의의 용접지점으로 선형 운동함과 동시에 이송 중 발생된 밴드스틱 마스크의 θ각(수평방향 변화 각)을 조절하도록 하부에 장치된 θ축 힌지를 중심으로 파지실린더 및 실린더가 장치된 부분을 회전시키도록 일측에 설치된 θ각도 조절모터와, 회전한 파지실린더 및 실린더부를 타측방향에서 지지하는 θ축 조절 완충수단을 포함하여 구성된 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 White OLED용 TV 제작 공정중의 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리의 제조방법.
In the manufacturing method of the mask frame assembly for organic deposition and encapsulation for white OLED panel manufacturing,
(A) positioning a mother glass for determining an attachment position of a dummy bandstick mask having no holes formed therein;
(B) loading the frame to which the bandstick mask is welded and fixed;
(C) gripping both ends of the bandstick mask with a frame short side (Y axis) movable gripper or a long side (X axis) movable gripper, respectively;
(D) Both sides of the frame's short-side (Y-axis) movable gripper or long-side (X-axis) movable gripper holding the bandstick mask are moved to the welding point of the frame short or long side, respectively, and formed on the mother glass while applying tension. Matching the bandstick mask display;
(E) Adjusting the angle of θ by using the θ angle control motor provided in the frame short side (Y axis) movable gripper or long side (X axis) movable gripper to prevent bending of the bandstick mask matched with the position of the mother glass display; ;
(F) welding both ends of the positioning and? Angle adjusted bandstick mask to the frame;
(G) Repeat step (C) to (F) as many times as the number of band stick masks to be installed on the short side (Y axis) or long side (X axis) of the frame to weld both ends of the band stick mask to the frame. Making a plurality of white OLED holes divided by a bandstick mask;
The frame short side (Y axis) movable gripper or long side (X axis) movable gripper uses a grip cylinder for holding a band stick mask and a cylinder for advancing and holding the grip cylinder to hold both ends of the band stick mask to apply tension. While holding the linear motion to any welding point on the liner servo motor, the holding cylinder and cylinder are centered around the θ axis hinge installed at the bottom to adjust the θ angle (horizontal change angle) of the bandstick mask generated during transfer. TV manufacturing process for white OLED, characterized in that it comprises a θ angle control motor installed on one side to rotate the installed portion, and a θ-axis adjustment buffer means for supporting the rotated holding cylinder and the cylinder portion in the other direction Method for manufacturing mask frame assembly for organic deposition and encapsulation for white OLED panel fabrication.
상기 밴드스틱 마스크는 프레임의 단변에 먼저 용접한 후, 프레임의 장변에 용접하는 것을 특징으로 하는 White OLED용 TV 제작 공정중의 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 1,
The bandstick mask is first welded to the short side of the frame, and then welded to the long side of the frame manufacturing method of the mask frame assembly for organic deposition and encapsulation for white OLED panel production during the TV manufacturing process for white OLED.
상기 밴드스틱 마스크는 프레임의 단변 또는 장변에 용접시 내측에서 외측방향으로 용접하는 것을 특징으로 하는 White OLED용 TV 제작 공정중의 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리의 제조방법.
The method according to claim 3,
The band stick mask is a method for manufacturing an organic deposition and encapsulation mask frame assembly for manufacturing a white OLED panel during the white OLED TV manufacturing process, characterized in that the welding from the inner side to the outer side when welding to the short side or long side of the frame.
밴드스틱 마스크의 양측단을 파지하여 장력을 인가한 채로 프레임 단변방향으로 이동하게 마주보는 한쌍의 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼와;
밴드스틱 마스크의 양측단을 파지하여 장력을 인가한 채로 프레임 장변방향으로 이동하게 마주보는 한쌍의 프레임 장변(X축) 이동형 그리퍼;를 포함하여 구성하되,
상기 프레임 단변(Y축) 이동형 그리퍼 또는 장변(X축) 이동형 그리퍼는 밴드스틱 마스크를 파지하는 파지실린더와, 이 파지실린더를 전후진 시키는 실린더를 이용해 밴드스틱 마스크의 양측단을 파지하여 장력을 인가한 채로 리니어서보모터상에 설치되어 임의의 용접지점으로 선형 운동하도록 구성됨과 동시에 이송 중 발생된 밴드스틱 마스크의 θ각(수평방향 변화 각)을 조절하도록 하부에 장치된 θ축 힌지를 중심으로 파지실린더 및 실린더가 장치된 부분을 회전시키도록 일측에 설치된 θ각도 조절모터와, 회전한 파지실린더 및 실린더부를 타측방향에서 지지하는 θ축 조절 완충수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 White OLED용 TV 제작 공정중의 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리의 제조장치.
Mask frame for manufacturing white OLED panel including frame and mask supply device, frame loading device, mother glass supply and loading device, mask supply device, camera device for position matching of mask and mother glass, device for welding mask to frame In the manufacturing apparatus,
A pair of frame short sides (Y-axis) movable grippers facing each other so as to move in a frame short side direction while holding both ends of the bandstick mask while applying tension;
And a pair of frame long sides (X-axis) movable grippers facing each other so as to move in the longitudinal direction of the frame while applying tension by holding both ends of the bandstick mask.
The frame short side (Y axis) movable gripper or long side (X axis) movable gripper uses a grip cylinder for holding a band stick mask and a cylinder for advancing and holding the grip cylinder to hold both ends of the band stick mask to apply tension. It is installed on the liner servo motor and is configured to linearly move to any welding point, and at the same time, it is gripped around the θ axis hinge installed at the bottom to adjust the θ angle (horizontal change angle) of the bandstick mask generated during the transfer. White OLED TV production comprising a θ angle control motor installed on one side to rotate the cylinder and the cylinder-mounted portion, a rotating grip cylinder and a θ-axis control buffer means for supporting the cylinder portion in the other direction Manufacturing apparatus of mask frame assembly for organic deposition and encapsulation for white OLED panel manufacturing in process.
둘레를 이루는 프레임과;
상기 프레임의 안쪽 공간을 가로질러 장변 및 단변에 용접 설치된 하나 이상의 밴드스틱 마스크와;
상기 프레임의 장변 및 단변에 전면 접촉되어 용접된 밴드스틱 마스크와;
상기 프레임의 단변 또는 장변에 용접된 복수개의 밴드스틱 마스크에 의해 프레임 안쪽 공간에 형성된 복수개의 White OLED 증착용 홀;로 구성된 것을 특징으로 하는 White OLED용 TV 제작 공정중의 White OLED 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리.
Prepared according to the method of manufacturing a mask frame assembly for organic deposition and encapsulation for producing the White OLED panel of any one of claims 1, 3, 4,
A circumferential frame;
One or more bandstick masks welded to the long side and the short side across the inner space of the frame;
A bandstick mask welded in front contact with the long and short sides of the frame;
Organic OLEDs for manufacturing white OLED panels during a TV manufacturing process for white OLEDs, comprising: a plurality of white OLED deposition holes formed in a space inside the frame by a plurality of bandstick masks welded to the short or long sides of the frame. Mask frame assembly for deposition and encapsulation.
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