JP5943766B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
11 ウエーハ
24 粗研削ホイール
26 粗研削砥石
28 仕上げ研削ユニット
49 仕上げ研削ホイール
42 仕上げ研削砥石
44 ターンテーブル
68 吸引保持部
68a 保持面
80 固定支持部
90 可動支持部
Claims (1)
- 被加工物を研削する研削装置であって、
被加工物を保持する円錐状の保持面を有し、該保持面の円錐軸を回転軸としたチャックテーブルと、
回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に装着された研削ホイールとを有し、該チャックテーブルに保持された被加工物に該保持面の中心から外周に至る研削領域に研削加工を施す研削手段と、
該スピンドルの負荷電流値を検出する負荷電流値検出手段と、
該チャックテーブルの傾きを変更する傾き変更手段と、
該負荷電流値検出手段で検出した負荷電流値に基づいて、該傾き変更手段を制御する制御手段と、
を具備したことを特徴とする研削装置。
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