JP2016020255A - 階間搬送設備 - Google Patents
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Abstract
Description
前記昇降体と一体に昇降し且つ階において物品を支持する荷受台との間で搬送対象の物品を移載する移載装置と、を備えて物品を複数の階の間で搬送する昇降搬送装置が設けられたものであって、
前記昇降経路が隣接して複数設定され、前記複数の昇降経路の夫々について前記昇降搬送装置が設けられ、前記荷受台として、階に搬入する物品を支持する搬入用荷受台と、階から搬出する物品を支持する搬出用荷受台と、搬送対象の物品を保管する保管用荷受台と、が設けられ、前記複数の昇降経路の全ての前記昇降搬送装置における前記移載装置は、前記保管用荷受台を移載対象とする点を特徴とする。
保管用荷受台は複数の昇降経路の全ての昇降搬送装置における前記移載装置の移載対象となるから、ある1つの昇降搬送装置が故障したとしても、他の昇降搬送装置にて当該保管用荷受台に支持している物品を取り出すことができる。したがって、物品が保管用荷受台に取り残されることがない。
このため、保管用荷受台に対する物品の移載を、他の移載装置又は他の移載装置が支持する物品との干渉が生じない状態で適切に行うことができる。
そして、このような2台の昇降搬送装置における保管用荷受台が、第1移載用支持体を備える移載装置が移載対象とする物品と、第2移載用支持体を備える移載装置が移載対象とする物品とを、同じ姿勢で支持することができるように構成されているから、保管用荷受台として、単一の姿勢で物品を支持することが可能なものを備えておけばよい。
このため、複数の昇降搬送装置における移載装置のいずれもが移載対象とする保管用荷受台を備えるにしても、第1移載用支持体にて物品を移載する場合と第2移載用支持体にて物品を移載する場合との夫々によって保管用荷受台の姿勢を切換えるように構成する場合に比べて、保管用荷受台の構成の簡素化を図ることができる。
図1及び図2に示すように、半導体基板を収納した容器Bを搬送対象の物品として複数の階(図1において、上階U、中階M、下階Dにて示す)に亘って搬送する階間搬送設備2が、平面視で2つ並べて設けられている。
尚、本実施形態においては、上階Uと下階Dとの間に設けられる中階Mには、階間搬送設備2に対して容器Bを授受する天井搬送装置3や床走行式搬送装置4は設けられていないが、中階Mにも天井搬送装置3や床走行式搬送装置4を設ける構成としてもよい。
図示は省略するが、容器Bの底部には、平面視で、中央部から放射状に3つの案内凹溝が設けられている。3つの案内凹溝のうち2つは、容器Bの奥行き方向で容器の前面Bf側に位置して、容器Bの奥行き方向に直交する左右方向に離間して形成され、3つの案内凹溝のうち1つは容器Bの奥行き方向で容器の背面Br側に位置して、容器Bの奥行き方向に直交する左右方向で容器Bの中央に形成されている。
出入口形成部2Cは、天井搬送装置3との間で容器Bを授受するための外部容器授受箇所P1としての上方側外部容器授受箇所P1Cと、床走行式搬送装置4との間で容器Bを授受するための外部容器授受箇所P1としての下方側外部容器授受箇所P1Fと、を備えている。以降、特に必要がある場合を除き、上方側外部容器授受箇所P1Cと下方側外部容器授受箇所P1Fとをまとめて外部容器授受箇所P1として説明する。
すなわち、荷受台として、階に搬入する容器Bを支持する搬入用荷受台と、階から搬出する容器Bを支持する搬出用荷受台と、が設けられている。
なお、本実施形態では、容器搬送コンベヤ20Vとして、上方側外部容器授受箇所P1Cを外部側端部に有する上方側の容器搬送コンベヤ20Vと、下方側外部容器授受箇所P1Fを外部側端部に有する下方側の容器搬送コンベヤ20Vとが設けられているが、以下の説明においては、それらを区別せずに単に容器搬送コンベヤ20Vとして説明する。
本実施形態において、昇降搬送装置Eは、主に昇降マスト2M、昇降体21、アーム22、アーム駆動部23、及び、移載用支持体24を備える移載装置25、を備えて構成される。したがって、昇降搬送装置Eは、上階Uと下階Dとに亘って容器Bを昇降搬送することができる。なお、接近検出センサ29は、上述したエリアセンサに限定されるものではなく、例えば赤外線や超音波等を用いた距離センサや、CCDカメラ等による形状認識装置等を用いて構成してもよい。
壁体20WAには、隣接する昇降空間形成体2Tの内部空間同士を連通する連通孔形成部20Hが設けられている。この連通孔形成部20Hは、図示は省略するが、下端が床Fの上面から設定高さ高い高さであり、上端が出入口形成部2Cの上端の高さより設定高さ低い高さとなるように設けられている。
尚、連通孔形成部20Hの水平方向での開口幅は、容器Bの奥行き方向視での左右方向の幅よりも大きく形成されている。
保管用荷受台Tの夫々は、容器Bを載置する状態で支持する左右一対の荷受用支持体50を備えている。一対の荷受用支持体50は、上記移載用支持体24が通過できる間隔だけ離間して設けられている(図4を参照)。
移載用支持体24は、平面視で、回動支点22Jに近接する基端側から離間する先端側に近づくほど先細り状となる第1移載用支持体24A、又は、平面視で、回動支点22Jに近接する基端側と離間する先端側とがほぼ同じ幅に形成される第2移載用支持体24Bのいずれかにて構成される。なお、以降の説明において、平面視で移載用支持体24の基端側から先端側に向かう方向を移載用支持体の奥行き方向、平面視で当該移載用支持体の奥行き方向と直交する方向を移載用支持体の幅方向と称する。
第2移載用支持体24Bの基端側には、移載用支持体24の幅方向中央部に1つの支持ピン24kが配置され、同先端側には、移載用支持体24の幅方向に離間して2つの支持ピン24kが配置されている。したがって第2移載用支持体24Bは、容器Bの背面Brが基端側となる姿勢(第2姿勢)で容器Bを支持することになる。
図3及び図6に示すように、第1移載用支持体24Aと第2移載用支持体24Bとは、隣接する昇降経路についての昇降搬送装置E(以下、隣接する昇降搬送装置Eと称する)同士ではそれらの何れかのうち異なるタイプのものとなるように設定されている。
すなわち、複数の移載装置25の夫々は、搬送対象の容器Bを支持する移載用支持体24を備え、昇降経路が隣接する昇降搬送装置Eの少なくとも2台の昇降搬送装置Eのうち、一方の昇降搬送装置Eに設けられた移載装置25は、移載用支持体24として、容器Bを第1姿勢で支持する第1移載用支持体24Aを備え、他方の昇降搬送装置Eに設けられた移載装置25は、移載用支持体24として、容器Bを第1姿勢と異なる第2姿勢で支持する第2移載用支持体24Bを備えている。
すなわち、少なくとも2台の昇降搬送装置Eにおける移載装置25のいずれもが移載対象とする保管用荷受台Tは、一方の昇降搬送装置Eに設けられた移載装置25が移載対象とする容器Bと、他方の昇降搬送装置Eに設けられた移載装置25が移載対象とする容器Bとを同じ姿勢で支持するように構成されている。
つまり、隣接する昇降搬送装置Eとは、保管用荷受台Tを兼用する複数の隣接する昇降搬送装置Eをいう。
第1シャッター体KS1及び第2シャッター体KS2は、連通孔形成部20Hの上下方向全体に亘って設けられている。尚、第1シャッター体KS1及び第2シャッター体KS2は、作業者による作業領域に対応する高さがあればよく、作業領域より上方には第1シャッター体KS1及び第2シャッター体KS2が設けられない構成としてもよい。
同様に、第2シャッター体KS2を閉塞することによって、保管用荷受台Tが存在する空間と第2昇降搬送装置E2側の空間とを仕切ることができる。つまり、第2シャッター体KS2を閉塞することで、第1昇降搬送装置E1の移載装置25の作動領域と、第2昇降搬送装置E2側の空間とを仕切ることができるため、第2昇降搬送装置E2のメンテナンス作業に当たって、作業者が第1昇降搬送装置E1の移載装置25の作動領域に侵入しないようにすることができる。したがって、第1昇降搬送装置E1については後述する自動運転モードでの作動を継続させたままで、作業者が第2昇降搬送装置E2のメンテナンス作業を安全に行えることになる。
すなわち、メンテナンス対象の昇降搬送装置Eについての移載装置25が容器Bの移載作動を行う場合の作動領域を、平面視で保管用荷受台Tが存在する領域と当該メンテナンス対象の昇降搬送装置Eが存在する領域とに仕切るシャッター体KSが、保管用荷受台Tが設置された階毎に設けられている。
そして、シャッター体KSは、作動領域を仕切る作用状態と非作用状態とに切り換え自在に構成され、かつ、作用状態において、メンテナンス対象の昇降搬送装置Eとは異なる他の昇降搬送装置Eについての移載装置25による保管用荷受台Tに対する容器Bの移載を許容するように構成されている。
制御部Hは、例えば中央処理装置とハードディスク等の記憶装置とを備えたパーソナルコンピュータやPCサーバ等の汎用コンピュータにて構成されている。
制御部Hには、第1昇降搬送装置E1に対応する第1昇降駆動部26A、第1アーム駆動部23A、第1接近検出センサ29A、及び第1シャッター駆動部KM1と、第2昇降搬送装置E2に対応する第2昇降駆動部26B、第2アーム駆動部23B、第2接近検出センサ29B、及び第2シャッター駆動部KM2とが、通信可能に接続されており、第1昇降駆動部26A、第2昇降駆動部26B、第1アーム駆動部23A、第2アーム駆動部23B、第1シャッター駆動部KM1、及び、第2シャッター駆動部KM2の作動を制御自在に構成されているとともに、第1接近検出センサ29A、及び、第2接近検出センサ29Bの検出情報を入力自在に構成されている。
すなわち、複数の昇降搬送装置Eの作動を制御する制御部Hが設けられている。
メンテナンス作業を行う場合、メンテナンス対象の昇降搬送装置Eの作動を、上記の自動運転モードから、作業者の指令によって昇降搬送装置Eを作動させる手動運転モードに切換える。モードの切換えは、図示しないコントローラや、制御部Hにおけるモード切換コマンド等によって行う。
このとき、メンテナンス作業対象の昇降搬送装置Eの接近検出センサ29の検出エリアに他の昇降搬送装置Eの移載装置25が存在することを検出した場合には、制御部Hは、メンテナンス作業対象の昇降搬送装置Eの移載装置25の作動、及び、メンテナンス作業対象でない(すなわち、接近検出センサ29によって検出された)昇降搬送装置Eの移載装置25の作動の双方の作動を停止させるとともに、コントローラに警告表示を表示する(ステップ#4)。
本実施形態において、上記ステップ#4の処理が干渉回避制御に相当する。すなわち、制御部は、同一の階において複数の移載装置25を移載作動させる場合に、当該複数の移載装置25についての昇降搬送装置Eにおける少なくとも一つの接近検出センサ29の検出情報に基づいて、同一階で移載作動させる複数の移載装置25同士の干渉を回避するように複数の昇降搬送装置Eの作動を制御する干渉回避制御を実行する。
制御部Hは、上記ステップ#2〜ステップ#4の制御を、手動モードが解除されるまで実行する(ステップ#5)。
(1)上記実施形態では、昇降搬送装置Eを水平方向に2つ並べて設ける構成を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、図10に示すように、昇降搬送装置Eを水平方向に3つ(図10のE21、E22、E23を参照)並べて設ける構成としてもよい。この場合、昇降搬送装置E21及びE22の夫々、ならびに、昇降搬送装置E22及びE23の夫々が、本発明における隣接する昇降経路の夫々に設けられる昇降搬送装置Eに相当する。また、図10では、昇降搬送装置E22の移載用支持体24を第1移載用支持体24Aとし、昇降搬送装置E22に隣接する昇降搬送装置E21及び昇降搬送装置E23の移載用支持体24を第2移載用支持体24Bとしている。
なお、昇降搬送装置Eを水平方向に3つ以上並べて設け、それらにおける移載装置25の全てが同一の保管用荷受台Tを移載対象とするように構成してもよい。この場合、各昇降搬送装置Eは、シャッター体KSを作用状態とした場合にそれら複数の各昇降搬送装置Eの全てがシャッター体KSに対して同じ側とならない配置とする。
また、複数の昇降搬送装置Eの夫々において、異なる階に出入口形成部2C、天井搬送装置3、及び、床走行式搬送装置4を設ける構成としてもよく、何れの階に出入口形成部2C及びそれとの間で容器Bを搬送する天井搬送装置3又は床走行式搬送装置4を設けるかは、任意に設定可能である。
さらに、上記実施形態では、1つの階に対して天井搬送装置3、及び、床走行式搬送装置4の双方を設ける構成を説明したが、これらのうちの一方のみを備える構成としたり、これら以外の搬送装置(例えばベルトコンベヤ等)を備える構成としてもよい。
21 昇降体
24 移載用支持体
25 移載装置
29 接近検出センサ
B 物品
E 昇降搬送装置
H 制御部
KS 仕切体
T 保管用荷受台
Claims (5)
- 複数の階に亘る昇降経路に沿って昇降自在な物品搬送用の昇降体と、
前記昇降体と一体に昇降し且つ階において物品を支持する荷受台との間で搬送対象の物品を移載する移載装置と、を備えて物品を複数の階の間で搬送する昇降搬送装置が設けられた階間搬送設備であって、
前記昇降経路が隣接して複数設定され、
前記複数の昇降経路の夫々について前記昇降搬送装置が設けられ、
前記荷受台として、階に搬入する物品を支持する搬入用荷受台と、階から搬出する物品を支持する搬出用荷受台と、搬送対象の物品を保管する保管用荷受台と、が設けられ、
前記複数の昇降経路の全ての前記昇降搬送装置における前記移載装置は、前記保管用荷受台を移載対象とする階間搬送設備。 - 前記複数の昇降搬送装置の作動を制御する制御部が設けられ、
前記制御部は、前記複数の移載装置のうちの1つに前記保管用荷受台に対する移載作動を行わせている間は、当該保管用荷受台に対する他の前記移載装置の移載作動を禁止する排他移載制御を実行するように構成されている請求項1に記載の階間搬送設備。 - 複数の前記昇降搬送装置の夫々に、他の昇降搬送装置における移載装置の接近を検出する接近検出センサが設けられ、
前記制御部は、同一の階において複数の前記移載装置を移載作動させる場合に、当該複数の移載装置についての前記昇降搬送装置における少なくとも一つの前記接近検出センサの検出情報に基づいて、同一階で移載作動させる複数の前記移載装置同士の干渉を回避するように複数の前記昇降搬送装置の作動を制御する干渉回避制御を実行する請求項1又は2に記載の階間搬送設備。 - メンテナンス対象の前記昇降搬送装置についての前記移載装置が物品の移載作動を行う場合の作動領域を、平面視で前記保管用荷受台が存在する領域と当該メンテナンス対象の昇降搬送装置が存在する領域とに仕切る仕切体が、前記保管用荷受台が設置された階毎に設けられ、
前記仕切体は、前記作動領域を仕切る作用状態と非作用状態とに切り換え自在に構成され、かつ、前記作用状態において、メンテナンス対象の前記昇降搬送装置とは異なる他の前記昇降搬送装置についての前記移載装置による前記保管用荷受台に対する物品の移載を許容する請求項1〜3の何れか1項に記載の階間搬送設備。 - 前記複数の移載装置の夫々は、搬送対象の物品を支持する移載用支持体を備え、
前記昇降経路が隣接する前記昇降搬送装置の少なくとも2台の昇降搬送装置のうち、一方の前記昇降搬送装置に設けられた前記移載装置は、前記移載用支持体として、物品を第1姿勢で支持する第1移載用支持体を備え、他方の前記昇降搬送装置に設けられた前記移載装置は、前記移載用支持体として、物品を前記第1姿勢と異なる第2姿勢で支持する第2移載用支持体を備え、
前記少なくとも2台の昇降搬送装置における移載装置のいずれもが移載対象とする前記保管用荷受台は、前記一方の前記昇降搬送装置に設けられた前記移載装置が移載対象とする物品と、前記他方の前記昇降搬送装置に設けられた前記移載装置が移載対象とする物品とを同じ姿勢で支持するように構成されている請求項1〜4記載の階間搬送設備。
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