TW201711936A - 搬運系統 - Google Patents

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Abstract

本發明的搬運系統(1)，係具備：上下並排設置的第1軌道(11A)及第2軌道(11B)，而且裝置埠(101)係位於它們的其中一邊的側方的下方；分別沿著第1軌道(11A)及第2軌道(11B)行駛，用來搬運FOUP(90)之複數個高架搬運車(20A，20B)；設在第1軌道(11A)及第2軌道(11B)之另一邊的側方的下方，用來載置FOUP(90)之保管棚架(40)，而高架搬運車(20A，20B)係具有：可把持FOUP(90)之把持部(21)；可將把持部(21)移動到裝置埠(101)的上方及保管棚架(40)的上方之移動機構(23)；可將被移動機構(23)移動到裝置埠(101)的上方及保管棚架(40)的上方的把持部(21)，予以相對於裝置埠(101)及保管棚架(40)進行昇降之昇降機構(22)。

Description

搬運系統
本發明的其中一種形態係關於搬運系統。
已知的適用於例如：半導體製造工場的搬運系統，係具備：上下並排設置的第1軌道及第2軌道；分別沿著第1軌道及第2軌道行駛的高架搬運車；分別設在第1軌道及第2軌道的側方之保管棚架(例如：請參考專利文獻1)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2007-331906號公報
針對於上述的搬運系統，基於謀求提昇半導體處理裝置的工作率之觀點考量，係要求：抑制高架搬運 車的堵塞(堵車)現象，以對於半導體處理裝置的裝置埠有效率地進行被搬運物的搬運。
因此，本發明的其中一種形態之目的係提供：能夠提昇對於裝置埠之被搬運物的搬運效率的搬運系統。
本發明的其中一種形態的搬運系統，係具備：第1軌道、第2軌道、複數個高架搬運車、以及保管部，第1軌道係設成：裝置埠係位於第1軌道的其中一邊的側方的下方；第2軌道係沿著第1軌道並排設置在第1軌道的鉛直方向的下方，並使裝置埠位在第2軌道的其中一邊的側方的下方；複數個高架搬運車係分別沿著第1軌道及第2軌道行駛，以搬運被搬運物；保管部係設在第1軌道及第2軌道之另一邊的側方的下方，用來載置被搬運物；高架搬運車係具有：把持部，其係可把持被搬運物；移動機構，其係可將把持部移動到裝置埠的上方及保管部的上方；昇降機構，其係可將被移動機構移動到裝置埠的上方 及保管部的上方的把持部，分別相對於裝置埠及保管部進行昇降。
這種搬運系統，不僅是第1軌道上的高架搬運車及第2軌道上的高架搬運車之雙方的高架搬運車，都對於同一個裝置埠，即使對於同一個保管部，亦可進行移載被搬運物。如此一來，就可執行例如：將從第1軌道上的高架搬運車及第2軌道上的高架搬運車之其中一方的高架搬運車載置到保管部的被搬運物，藉由另一方的高架搬運車從保管部取得而載置到裝置埠的這種動作。因此，根據這種搬運系統，係可提昇對於裝置埠之被搬運物的搬運效率。
本發明的其中一種形態的搬運系統，係又具備：用來控制高架搬運車的動作之控制裝置，控制裝置，係當第1軌道上的高架搬運車及第2軌道上的高架搬運車之雙方的高架搬運車，處於想要對於同一個裝置埠進行移載被搬運物之裝置埠側移載動作的狀況下，就在前述第1軌道上的前述高架搬運車及前述第2軌道上的前述高架搬運車之其中一方的前述高架搬運車正在執行前述裝置埠側移載動作的期間，禁止另一方的前述高架搬運車執行前述裝置埠側移載動作；當前述第1軌道上的前述高架搬運車及前述第2軌道上的前述高架搬運車之雙方，處於想要對於同一個前述保管部執行移載前述被搬運物之保管部側移載動作的狀況下，就在前述第1軌道上的前述高架搬運車及前述第2軌道上的前述高架搬運車之其中一方的前述高 架搬運車正在執行前述保管部側移載動作的期間，就禁止另一方的前述高架搬運車執行前述保管部側移載動作。藉此，係可確實地防止：第1軌道上的高架搬運車及第2軌道上的高架搬運車之雙方的高架搬運車同時對於同一個裝置埠，執行被搬運物之裝置埠側移載動作、以及第1軌道上的高架搬運車及第2軌道上的高架搬運車之雙方的高架搬運車同時對於同一個保管部，執行被搬運物之保管部側移載動作。
本發明的其中一種形態的搬運系統，係又具備：用來控制高架搬運車的動作之控制裝置，控制裝置係針對同一個裝置埠，當第1軌道上的高架搬運車及第2軌道上的高架搬運車之其中一方的高架搬運車處於：從該裝置埠取得應該被從該裝置埠回收的被搬運物，而第1軌道上的高架搬運車及第2軌道上的高架搬運車之另一方的高架搬運車處於：想要將被供給到該裝置埠之被供給側的被搬運物載置到該裝置埠的狀況下，當另一方的高架搬運車在較之其中一方的高架搬運車更早抵達對於該裝置埠的移載領域時，就將高架搬運車的動作控制成：在其中一方的高架搬運車抵達移載領域而從該裝置埠取得應該被回收的被搬運物之前，使另一方的高架搬運車在移載領域進行待機；且將高架搬運車的動作控制成：在另一方的高架搬運車已經在移載領域待機的狀態下，使已抵達移載領域的其中一方的高架搬運車從該裝置埠取得應該被回收的被搬運物；且將高架搬運車的動作控制成：在其中一方的高架搬 運車從該裝置埠取得應該被回收的被搬運物之後，使另一方的高架搬運車將被供給側的被搬運物載置到該裝置埠。如此一來，例如：在其中一方的高架搬運車抵達移載領域之前的時間比較短的情況下，既可抑制另一方的高架搬運車所在的軌道上發生堵塞現象，又可從裝置埠取得應該被回收的被搬運物，並且將被供給側的被搬運物載置到裝置埠。
本發明的其中一種形態的搬運系統，控制裝置，係先取得其中一方的高架搬運車抵達移載領域為止的預測時間，如果該預測時間短於既定時間的話，就將高架搬運車的動作控制成：在其中一方的高架搬運車抵達移載領域而從該裝置埠取得應該被回收的被搬運物之前，使另一方的高架搬運車在移載領域進行待機。如此一來，係可客觀地判斷其中一方的高架搬運車抵達移載領域為止的時間，可更確實地抑制在另一方的高架搬運車所在的軌道上發生堵塞現象。
本發明的其中一種形態的搬運系統，係又具備：用來控制高架搬運車的動作之控制裝置，控制裝置係針對同一個裝置埠，當第1軌道上的高架搬運車及第2軌道上的高架搬運車之其中一方的高架搬運車，從該裝置埠取得應該被從該裝置埠回收的被搬運物，第1軌道上的高架搬運車及第2軌道上的高架搬運車之另一方的高架搬運車處於：想要將被供給到該裝置埠之被供給側的被搬運物載置到該裝置埠的狀況下，當另一方的高架搬運車在較之 其中一方的高架搬運車更早抵達對於該裝置埠的移載領域時，就將高架搬運車的動作控制成：使另一方的高架搬運車將被供給側的被搬運物載置於保管部之後，從該裝置埠取得應該被回收的被搬運物，並且將高架搬運車的動作控制成：使已經抵達移載領域之其中一方的高架搬運車從保管部取得被供給側的被搬運物之後，將被供給側的被搬運物載置於該裝置埠。如此一來，例如：當其中一方的高架搬運車抵達移載領域為止的時間比較長的情況下，既可抑制另一方的高架搬運車所在的軌道上發生堵塞現象，又可從裝置埠取得應該被回收的被搬運物，並且可將被供給側的被搬運物載置於裝置埠。
本發明的其中一種形態的搬運系統，控制裝置，係先取得其中一方的高架搬運車抵達移載領域為止的預測時間，如果該預測時間較之既定時間更長的話，就將高架搬運車的動作控制成：使另一方的高架搬運車將被供給側的被搬運物載置於保管部之後，從該裝置埠取得應該被回收的被搬運物。如此一來，可以客觀地判斷其中一方的高架搬運車抵達移載領域為止的時間，而可更確實地抑制另一方的高架搬運車所在的軌道上發生堵塞現象。
根據本發明的其中一種形態，係可提供：能夠提昇對於裝置埠之被搬運物的搬運效率之搬運系統。
1‧‧‧搬運系統
11A‧‧‧第1軌道
11B‧‧‧第2軌道
20A，20B‧‧‧高架搬運車
21‧‧‧把持部
22‧‧‧昇降機構
22a‧‧‧捲揚機構
22b‧‧‧皮帶
23‧‧‧移動機構
40‧‧‧保管棚架
40a‧‧‧保管部
50‧‧‧控制裝置
90，90A，90B‧‧‧FOUP(被搬運物)
91‧‧‧凸緣部
100‧‧‧半導體處理裝置
101‧‧‧裝置埠
R‧‧‧移載領域
第1圖係本發明的一種實施方式的搬運系統的平面圖。
第2圖係第1圖的搬運系統的一部分的正面圖。
第3圖係說明第1圖的搬運系統中的第1取放控制的說明圖。
第4圖係說明第1圖的搬運系統中的第1取放控制的說明圖。
第5圖係說明第1圖的搬運系統中的第1取放控制的說明圖。
第6圖係說明第1圖的搬運系統中的第1取放控制的說明圖。
第7圖係說明第1圖的搬運系統中的第1取放控制的說明圖。
第8圖係說明第1圖的搬運系統中的第2取放控制的說明圖。
第9圖係說明第1圖的搬運系統中的第2取放控制的說明圖。
第10圖係說明第1圖的搬運系統中的第2取放控制的說明圖。
第11圖係說明第1圖的搬運系統中的第2取放控制的說明圖。
第12圖係說明第1圖的搬運系統中的第2取放控制 的說明圖。
第13圖係說明第1圖的搬運系統中的第2取放控制的說明圖。
第14圖係說明第1圖的搬運系統中的第2取放控制的說明圖。
第15圖係說明第1圖的搬運系統中的第2取放控制的說明圖。
第16圖係說明第1圖的搬運系統中的第1連鎖控制的說明圖。
第17圖係說明第1圖的搬運系統中的第1連鎖控制的說明圖。
第18圖係說明第1圖的搬運系統中的第2連鎖控制的說明圖。
第19圖係說明第1圖的搬運系統中的第1連鎖控制的說明圖。
以下，將佐以圖面詳細說明本發明的較佳實施方式。此外，在各圖中的相同或相當的部分，係標示同一元件符號並省略重複說明。
[搬運系統的構成方式]
如第1圖及第2圖所示，搬運系統1係具備：軌道10A，10B；複數個高架搬運車20A，20B；複數個保管棚 架40；控制裝置50。軌道10A，10B係架設在具有複數個半導體處理裝置100之半導體製造工場的頂棚附近。高架搬運車20A，20B係OHT型(Overhead Hoist Transfer)的高架搬運車，係以吊掛在軌道10A，10B的下方的狀態，沿著軌道10A，10B往其中一方向行駛。亦即，高架搬運車20A，20B係分別沿著軌道10A，10B朝向軌道的延伸方向行駛。又，在以下的說明中，將沿著軌道10A行駛的高架搬運車稱為高架搬運車(第1高架搬運車)20A，將沿著軌道10B行駛的高架搬運車稱為高架搬運車(第2高架搬運車)20B。高架搬運車20A，20B係可將收容著複數個半導體晶圓之前開式晶圓收容盒(以下簡稱為FOUP；Front Opening Unified Pod)對於各半導體處理裝置100的裝置埠101進行搬運。保管棚架40係設置成對應各半導體處理裝置100。例如在軌道10A，10B的延伸方向上之與各半導體處理裝置100的裝置埠101對應的位置，係設有至少一個保管棚架40。保管棚架40係在軌道10A，10B的延伸方向上設置在與各半導體處理裝置100的裝置埠101相同的位置。或者，對應於各半導體處理裝置100之保管棚架40，在軌道10A，10B的延伸方向上，係設置在較之該半導體處理裝置100的裝置埠101更上游側(高架搬運車20A，20B的行駛方向的上流側)。控制裝置50係用來控制高架搬運車20A，20B的動作。
軌道10A，10B分別是由：工序間軌道13A，13B；工序內軌道14A，14B以及分岐軌道15A，15B所 構成。高架搬運車20A，20B係可經由分岐軌道15A，15B而往來於工序間軌道13A，13B與工序內軌道14A，14B之間。工序內軌道14A，14B由鉛直方向觀看時，係呈迴圈狀。
在搬運系統1中，係由：工序內軌道14A的一部分來構成第1軌道11A，並且係由：工序內軌道14B的一部分來構成第2軌道11B。第1軌道11A及第2軌道11B係由：設在工序內軌道14A，14B內的直線部分所構成的。第2軌道11B係沿著第1軌道11A設置。亦即，第1軌道11A與第2軌道11B係以可讓高架搬運車20朝同一方向行駛的方式，平行地設置。第2軌道11B係在第1軌道11A的下方(正下方)，沿著該第1軌道11A以及沿著鉛直方向並排設置。亦即，如第2圖等所示，第2軌道11B係在第1軌道11A的下方，而且並排設置於鉛直方向上，從鉛直方向觀看的話，第1軌道11A與第2軌道11B係設在一致的位置上。在第1軌道11A及第2軌道11B的側面，分別設有可與高架搬運車20A，20B進行通訊的複數個收發訊部12A，12B(請參考第3圖)。
複數個裝置埠101，係在工序內軌道14A，14B的外側(從鉛直方向觀看時，較之呈迴圈狀的工序內軌道14A，14B更外周側)，沿著第1軌道11A及第2軌道11B的延伸方向進行配置。如果就一對第1軌道11A及第2軌道11B來看的話，複數個裝置埠101係設在：位於上下並排設置的第1軌道11A及第2軌道11B的其中 一邊的側方的下方。
複數個裝置埠101，其上表面係供載置高架搬運車20A，20B的被搬運物也就是FOUP90，將該FOUP90移載到半導體處理裝置100。又，複數個裝置埠101，當收容在FOUP90的半導體晶圓被半導體處理裝置100處理之後，就將該FOUP90從半導體處理裝置100移載過來，而形成在其上面載置著FOUP90的狀態。
半導體處理裝置100係藉由裝置控制裝置102來控置其動作(請參考第3圖)。裝置控制裝置102係在高架搬運車20A，20B之間進行通訊，而對於高架搬運車20A，20B發出對於裝置埠101之FOUP90的移載許可。在本實施例中，所稱的：對於裝置埠101之FOUP90的移載，係包含：將高架搬運車20A，20B所保持(裝載)中的FOUP90供給(載置)到裝置埠101的情況；以及將載置在裝置埠101的FOUP90由高架搬運車20A，20B進行回收(取得)的情況。在本實施例中，所稱的：對於保管棚架40之FOUP90的移載，係包含：將高架搬運車20A，20B保持中的FOUP90供給到保管棚架40的情況；以及將已載置在保管棚架40的FOUP90由高架搬運車20A，20B進行回收的情況。
在複數個保管棚架40係用來載置FOUP90。換言之，複數個保管棚架40係用來支承FOUP90。保管棚架40上的領域，係可發揮在其上面載置FOUP90之作為保管部40a的功能。保管部40a係可供停止在第1軌道 11A及第2軌道11B停止的高架搬運車20A，20B移載FOUP90之暫時保管領域。
就一對第1軌道11A及第2軌道11B而言，複數個保管棚架40相對於第1軌道11A及第2軌道11B而言，係設在：與設有複數個裝置埠101的這一邊相反的另一邊的側方的下方。亦即，複數個保管棚架40，由鉛直方向觀看時，係設在：中間隔著第1軌道11A及第2軌道11B之與複數個裝置埠101相對向的側方。複數個裝置埠101係設在：呈迴圈狀的工序內軌道14A，14B的內側。複數個裝置埠101係沿著第1軌道11A及第2軌道11B的延伸方向設置，在鉛直方向上係設在較之第2軌道11B更下方。
以這種方式，每一個搬運系統1都是具備：裝置埠101係位於它們的其中一邊的側方的下方之呈上下並排設置的第1軌道11A及第2軌道11B；分別沿著第1軌道11A及第2軌道11B行駛，用來搬運FOUP90之高架搬運車(第1高架搬運車)20A及高架搬運車(第2高架搬運車)20B；相對於第1軌道11A及第2軌道11B，設在另一邊的側方的下方之用來載置FOUP90的保管棚架40。
高架搬運車20A係沿著第1軌道11A行駛，用來搬運FOUP90。高架搬運車20B係沿著第2軌道11B行駛，用來搬運FOUP90。高架搬運車20A，20B係將FOUP90在例如：裝置埠101，101之間、保管棚架40， 40之間、裝置埠101及保管棚架40之間進行搬運。
每一個高架搬運車20A，20B都具有：可將FOUP90對於裝置埠101及保管棚架40進行移載之被搬運物移載機構。被搬運物移載機構係包含：把持部21、昇降機構22、移動機構23。又，高架搬運車20A，20B分別係具有收發訊部24A，24B。
把持部21係可對FOUP90的凸緣部91進行把持及解放的裝置。把持部21係可把持FOUP90的凸緣部91。把持部21係當高架搬運車20A，20B要從裝置埠101及保管棚架40取得FOUP90的時候，就進行把持FOUP90的凸緣部91。把持部21係當高架搬運車20A，20B要將FOUP90載置到裝置埠101及保管棚架40的時候，就將FOUP90的凸緣部91予以解放。
昇降機構22係將把持部21在鉛直方向上進行昇降的裝置。昇降機構22係可將把持部21朝鉛直方向昇降。昇降機構22係包含：捲揚機構22a、以及皮帶22b。捲揚機構22a係被移動機構23所保持。捲揚機構22a係將皮帶22b沿著鉛直方向往上捲以及往下捲的裝置。捲揚機構22a係可將皮帶22b沿著鉛直方向往上捲以及往下捲。皮帶22b係從捲揚機構22a往下垂，其下端係保持著把持部21。昇降機構22係可將被把持部21所把持的FOUP90往上捲以及往下捲長達至少能夠抵達裝置埠101及保管棚架40為止的距離。
移動機構23係可從高架搬運車20A，20B對 於兩邊的側方移動把持部21及昇降機構22的裝置。可從高架搬運車20A，20B對於兩邊的移動把持部21及昇降機構22。亦即，移動機構23係可從高架搬運車20A，20B，將把持部21及昇降機構22朝向與高架搬運車20A，20B的行進方向垂直的水平方向進行移動。移動機構23係可將把持部21及昇降機構22移動到裝置埠101的上方及保管棚架40的上方。當把持部21正把持著FOUP90的情況下，移動機構23係可將該FOUP90往裝置埠101及保管棚架40的鉛直方向上方移動。
分別停止在第1軌道11A及第2軌道11B的高架搬運車20A，20B係可將FOUP90移載到位於該第1軌道11A及第2軌道11B的側方且位於下方的裝置埠101及保管棚架40之雙方。換言之，高架搬運車20A及高架搬運車20B係可對於同一個裝置埠101及同一個保管棚架40進行FOUP90的移載。亦即，第1軌道11A上的高架搬運車20A及第2軌道11B上的高架搬運車20B皆可在其與裝置埠101之間，將FOUP90進行收授(移載)。而且，第1軌道11A上的高架搬運車20A及第2軌道11B上的高架搬運車20B皆可在其與保管棚架40之間，進行FOUP90的收授。亦即，保管棚架40係具備：行駛在第1軌道11A上的高架搬運車20A及行駛在第2軌道11B上的高架搬運車20B所共用的保管部40a。
具體而言，高架搬運車20A，20B係從：在第1軌道11A及第2軌道11B的正下方，把持部21正把持 著FOUP90的凸緣部91的狀態下，令移動機構23作動而將FOUP90分別移動到裝置埠101及保管棚架40的上方。接下來，高架搬運車20A，20B使捲揚機構22a作動將皮帶22b往下捲，降下FOUP90載置於裝置埠101上或保管棚架40上。藉此，高架搬運車20A，20B就將FOUP90移載(載置)到裝置埠101及保管棚架40。
又，高架搬運車20A，20B係利用把持部21，把持住被載置在裝置埠101上或保管棚架40上的載置狀態下的FOUP90的凸緣部91。接下來，高架搬運車20A，20B使捲揚機構22a作動而使皮帶22b往上捲，以使FOUP90上昇。接下來，高架搬運車20A，20B使移動機構23作動，將FOUP90移動到第1軌道11A及第2軌道11B的正下方。藉此，高架搬運車20A，20B係可從裝置埠101或保管棚架40移載(取得)FOUP90。
收發訊部24A，24B係分別設在高架搬運車20A，20B的各上面(請參考第3圖)。收發訊部24A係可與設在第1軌道11A的收發訊部12A進行通訊。收發訊部12A，24A係依據SEMI規格E84之可互相通訊的8位元感應器的收發訊部。收發訊部24B係可與設在第2軌道11B的收發訊部12B進行通訊。收發訊部12B，24B係依據SEMI規格E84之可互相通訊的8位元感應器的收發訊部。收發訊部24A，24B係當高架搬運車20A，20B位於可與收發訊部12A，12B之間進行通訊的位置時，就經由收發訊部12A，12B來連接到裝置控制裝置102。
控制裝置50係控制複數個高架搬運車20A，20B的動作。控制裝置50係具有：用來控制位於各區域的高架搬運車20A，20B的動作之區域控制裝置52A，52B；可與各區域控制裝置52A，52B進行通訊，用來統管各區域控制裝置52A，52B之上位控制裝置51(請參考第3圖)。各區域控制裝置52A，52B所管轄的區域，係依第1軌道與第2軌道而各為不同的區域，而且係依每一個半導體處理裝置100而各為不同的區域。此外，各區域控制裝置52A，52B所管轄的區域，也不限定於這種劃分方法。
[搬運系統中的取放控制]
以上所述的構成方式的搬運系統1，例如：係可執行下列的取放控制。此外，在以下的說明中的對於裝置埠101的移載領域R係指：在第1軌道11A上及第2軌道11B上，高架搬運車20A，20B停止而可對於該裝置埠101進行移載FOUP90的領域。對於裝置埠101的移載領域R，係在第1軌道11A上及第2軌道11B上，在分別沿著第1軌道11A及第2軌道11B的方向上，與裝置埠101及保管棚架40相同位置的領域。或者，也包含：在該方向上，與裝置埠101對應的保管棚架40係設在較之該裝置埠101更上游側的態樣中，對於裝置埠101的移載領域R，就是在該方向上，與該裝置埠101對應的保管棚架40相同位置的領域。
首先，說明第1取放控制。在第1取放控制中，控制裝置50係針對於同一個裝置埠101，當高架搬運車20A，20B之其中一方的高架搬運車係從裝置埠101取得FOUP90，另一方的高架搬運車係將別個FOUP90載置到已經清空的裝置埠101的情況下，另一方的高架搬運車較之其中一方的高架搬運車更早抵達對於裝置埠101的移載領域R時，係在其中一方的高架搬運車抵達移載領域R從裝置埠101取得FOUP90之前，係控制成：使另一方的高架搬運車在移載領域R進行待機，在另一方的高架搬運車已經在移載領域R進行待機的狀態下，控制成：使已經抵達移載領域R的其中一方的高架搬運車從裝置埠101取得FOUP90，其中一方的高架搬運車從裝置埠101取得FOUP90之後，係控制成：使另一方的高架搬運車將別個FOUP90載置到裝置埠101。
具體而言，如第3圖所示，例如：針對於同一個裝置埠101，尚未裝載FOUP90的狀態(亦即，空狀態)的高架搬運車20B(亦即，空台車)，係從該裝置埠101取得被從該裝置埠101回收之回收側的FOUP90也就是FOUP90B，而已裝載了FOUP90的狀態(亦即，實狀態)的高架搬運車20A(亦即，實台車)處於應將被供給到該裝置埠101之被供給側的FOUP90也就是FOUP90A載置到該裝置埠101的狀況下，當高架搬運車20A較之高架搬運車20B更早抵達對於該裝置埠101的移載領域R(請參考第1圖)時，控制裝置50，係將高架搬運車 20A，20B的動作控制成：在高架搬運車20B抵達移載領域R從該裝置埠101取得FOUP90B之前，使高架搬運車20A在移載領域R進行待機。接下來，係如第4圖及第5圖所示，控制裝置50，係將高架搬運車20A，20B的動作控制成：使已抵達移載領域R的高架搬運車20B從該裝置埠101取得FOUP90B。接下來，係如第6圖所示，控制裝置50，係將高架搬運車20A，20B的動作控制成：駛高架搬運車20B從移載領域R往下一個目的地行駛。接下來，係第7圖所示，控制裝置50，係將高架搬運車20A，20B的動作控制成：使高架搬運車20A將FOUP90A載置於該裝置埠101。
其次，針對第2取放控制進行說明。針對於第2取放控制，控制裝置50係針對於同一個裝置埠101，高架搬運車20A，20B的其中一方的高架搬運車從該裝置埠101取得FOUP90，另一方的高架搬運車將別個FOUP90載置於已經清空的裝置埠101的情況下，另一方的高架搬運車較之其中一方的高架搬運車更早抵達對於該裝置埠101的移載領域R時，就以使另一方的高架搬運車將別個FOUP90載置於保管棚架40而從裝置埠101取得FOUP90的方式來進行控制，並且以使抵達了移載領域R之其中一方的高架搬運車從保管棚架40取得別個FOUP90而將別個FOUP90載置到裝置埠101的方式來進行控制。
具體而言，如第8圖及第9圖所示，例如：針對於同一個裝置埠101，空狀態的高架搬運車20B從該 裝置埠101被從該裝置埠101回收側的FOUP90也就是FOUP90B，實狀態的高架搬運車20A處於應將被供給到該裝置埠101之供給側的FOUP90也就是FOUP90A載置到該裝置埠101的狀況下，當高架搬運車20A較之高架搬運車20B更早抵達對於該裝置埠101的移載領域R(請參考第1圖)時，控制裝置50就將高架搬運車20A，20B的動作控制成：使高架搬運車20A將FOUP90A載置到保管棚架40。接下來，如第10圖及第11圖所示，控制裝置50係將高架搬運車20A，20B的動作控制成：使高架搬運車20A從該裝置埠101取得FOUP90B。接下來，如第12圖所示，控制裝置50係將高架搬運車20A，20B的動作控制成：使高架搬運車20A從移載領域R往下一個目的地行駛。接下來，如第13圖及第14圖所示，控制裝置50係將高架搬運車20A，20B的動作控制成：使已抵達移載領域R的高架搬運車20B從保管棚架40取得FOUP90A。接下來，如第15圖所示，控制裝置50係將高架搬運車20A，20B的動作控制成：使高架搬運車20B將從保管棚架40取得的FOUP90A載置到該裝置埠101。
在搬運系統1中，控制裝置50係取得上述其中一方的高架搬運車抵達移載領域R為止的預測時間，如果該預測時間較之既定時間更短的話，在其中一方的高架搬運車抵達移載領域R從裝置埠101取得FOUP90之前，就以使上述另一方的高架搬運車在移載領域R進行待機的方式來進行控制。又，在搬運系統1中，控制裝置50取 得上述其中一方的高架搬運車抵達移載領域R為止的預測時間，如果該預測時間較之既定時間更長的話，就以使上述另一方的高架搬運車將別個FOUP90載置於保管棚架40而從裝置埠101取得FOUP90的方式來進行控制。
具體而言，在搬運系統1中，控制裝置50在執行第1取放控制或第2取放控制之前，先取得：高架搬運車20A較之高架搬運車20B更早抵達對於該裝置埠101的移載領域R(請參考第1圖)之後至高架搬運車20B抵達為止的預測時間。更具體而言，對於來自區域控制裝置52A的洽詢之由上位控制裝置51計算出來的預測時間。接下來，控制裝置50係對於預測時間進行判定其是否為既定時間以下。接下來，控制裝置50，如果判定為：預測時間是既定時間以下的話，就執行第1取放控制，如果判定為：預測時間是較之既定時間更長的話，就執行第2取放控制。
[搬運系統中的連鎖控制]
此外，在搬運系統1中，例如：係可執行下列的連鎖控制。
首先說明第1連鎖控制。在第1連鎖控制中，控制裝置50，當高架搬運車20A，20B之雙方都是對於同一個裝置埠101移載FOUP90的情況下，係允許其中一方的高架搬運車所執行的移載動作，在這個期間則是禁止另一方的高架搬運車所執行的移載動作。
具體而言，如第16圖及第17圖所示，控制裝置50係執行上位控制裝置51與區域控制裝置52A，52B之間的通訊。並且控制裝置50針對於同一個裝置埠101，處於想要同時地讓高架搬運車20A，20B之雙方執行移載FOUP90之裝置埠側移載動作的狀況下，只有對於高架搬運車20A，20B的其中一方允許其和裝置控制裝置102進行通訊。其結果，對於未被允許和裝置控制裝置102進行通訊的高架搬運車，就不會發出來自裝置控制裝置102的移載許可。被允許與裝置控制裝置102進行通訊之高架搬運車結束了裝置埠側移載動作之後，才會對於未被允許與裝置控制裝置102進行通訊的高架搬運車，允許其與裝置控制裝置102進行通訊。控制裝置50也不一定是要先對於：高架搬運車20A，20B之中，率先抵達移載領域R的高架搬運車，允許其與裝置控制裝置102進行通訊。在圖示的例子中，控制裝置50係以在高架搬運車20A正在執行裝置埠側移載動作的期間，禁止高架搬運車20B執行裝置埠側移載動作的方式，來控制高架搬運車20A，20B的動作。具體而言，控制裝置50係將高架搬運車20A，20B的動作控制成：在使高架搬運車20A的把持部21藉由移動機構23而移動到移載對象的裝置埠101的上方的期間，禁止高架搬運車20B的把持部21藉由移動機構23移動到移載對象的裝置埠101的上方。
其次，針對第2連鎖控制進行說明。在第2連鎖控制中，控制裝置50，當高架搬運車20A，20B之雙 方要對於同一個保管棚架40進行移載FOUP90的情況下，允許其中一方的高架搬運車所執行的移載動作，在這個期間，則禁止另一方的高架搬運車所執行的移載動作。
具體而言，如第18圖及第19圖所示，控制裝置50係在上位控制裝置51與區域控制裝置52A，52B之間進行通訊。並且，控制裝置50，針對於同一個保管棚架40，若處於同時有高架搬運車20A，20B之雙方想要執行移載FOUP90之保管部側移載動作的狀況下，只對於高架搬運車20A，20B的其中一方，允許其對於該保管棚架40進行FOUP90的移載。控制裝置50不一定是要對於高架搬運車20A，20B之中率先抵達移載領域R的高架搬運車，允許其與裝置控制裝置102進行通訊。在圖示的例中，控制裝置50，係將高架搬運車20A，20B的動作控制成：當高架搬運車20A在執行保管部側移載動作的期間，禁止高架搬運車20B執行保管部側移載動作。具體而言，控制裝置50，係將高架搬運車20A，20B的動作控制成：在使高架搬運車20A的把持部21藉由移動機構23移動到移載對象的保管棚架40的上方的期間，禁止高架搬運車20B的把持部21藉由移動機構23移動到移載對象之保管棚架40的上方。
[作用及效果]
如上所述，在搬運系統1中，第1軌道11A上的高架搬運車20A及第2軌道11B上的高架搬運車20B之雙方 的高架搬運車，不僅是針對同一個裝置埠101，即使是針對同一個保管棚架40，亦可進行FOUP90的移載工作。藉此，例如：第1軌道11A上的高架搬運車20A及第2軌道11B上的高架搬運車20B之其中一方的高架搬運車係可執行：將載置在保管棚架40的FOUP90，由另一方的高架搬運車從保管棚架40取得並載置到裝置埠101的這種動作。因此，根據這種搬運系統1，係可提昇對於裝置埠101之FOUP90的搬運效率。
在搬運系統1中，又具備：用來控制高架搬運車20A，20B的動作之控制裝置50，控制裝置50係當高架搬運車20A，20B之雙方的高架搬運車處於想要對於同一個裝置埠101執行移載FOUP90之裝置埠側移載動作的狀況下，在高架搬運車20A，20B的其中一方正在執行裝置埠側移載動作的期間，禁止另一方執行裝置埠側移載動作，高架搬運車20A，20B之雙方處於想要對於同一個保管棚架40執行移載FOUP90之保管部側移載動作的狀況下，在高架搬運車20A，20B的其中一方正在執行保管部側移載動作的期間，禁止另一方執行保管部側移載動作。藉此，可以確實地防止：高架搬運車20A，20B之雙方的高架搬運車對於同一個裝置埠101，同時地執行FOUP90的裝置埠側移載動作、以及高架搬運車20A，20B之雙方的高架搬運車對於同一個保管棚架40，同時地執行FOUP90的保管部側移載動作。
在搬運系統1中，又具備：用來控制高架搬 運車20A，20B的動作之控制裝置50，控制裝置50係針對於同一個裝置埠101，當高架搬運車20B從該裝置埠101取得應該被從該裝置埠101回收的FOUP90也就是FOUP90B，高架搬運車20A處於想要將被供給到該裝置埠101之被供給側的FOUP90也就是FOUP90A載置到該裝置埠101的狀況下，當高架搬運車20A較之高架搬運車20B更早抵達對於該裝置埠101的移載領域R時，在高架搬運車20B抵達移載領域R而從該裝置埠101取得應該被回收的FOUP90B之前，係以使高架搬運車20A在移載領域R進行待機的方式，來控制高架搬運車20A，20B的動作。當高架搬運車20A已經在移載領域R待機的狀態下，係以使抵達移載領域R的高架搬運車20B從該裝置埠101取得應該被回收的FOUP90B的方式，來控制高架搬運車20A，20B的動作。當高架搬運車20B從該裝置埠101取得應該被回收的FOUP90B之後，就以使高架搬運車20A將被供給側的FOUP90A載置到該裝置埠101的方式，來控制高架搬運車20A，20B的動作。如此一來，例如：在高架搬運車20B抵達移載領域R為止的時間較短的情況下，既可抑制高架搬運車20A所在的第1軌道11A上發生堵塞現象，又可從裝置埠101取得應該被回收的FOUP90B，並且可將被供給側的FOUP90A載置到裝置埠101。
在搬運系統1中，控制裝置50係先取得高架搬運車20B抵達移載領域R為止的預測時間，該預測時 間為既定時間以下的情況下，在高架搬運車20B抵達移載領域R而從該裝置埠101取得應該被回收的FOUP90B之前，係以使高架搬運車20A在移載領域R進行待機的方式，來控制高架搬運車20A，20B的動作。如此一來，係可客觀地判斷高架搬運車20B抵達移載領域R為止的時間，可更確實地抑制高架搬運車20A所在的第1軌道11A上發生堵塞現象。
在搬運系統1中，又具備：用來控制高架搬運車20A，20B的動作之控制裝置50，控制裝置50係針對於同一個裝置埠101，當高架搬運車20B從該裝置埠101取得應該被從該裝置埠101回收的FOUP90也就是FOUP90B，高架搬運車20A處於想要將被供給到該裝置埠101之被供給側的FOUP90也就是FOUP90A載置到該裝置埠101的狀況下，當高架搬運車20A較之高架搬運車20B更早抵達對於該裝置埠101的移載領域R時，就將高架搬運車20A，20B的動作控制成：使高架搬運車20A將被供給側的FOUP90A載置於保管棚架40而從該裝置埠101取得應該被回收的FOUP90B。並且將高架搬運車20A，20B的動作控制成：使已經抵達移載領域R的高架搬運車20B從保管棚架40取得被供給側的FOUP90A，並將被供給側的FOUP90A載置於該裝置埠101。如此一來，例如：在高架搬運車20B抵達移載領域R為止的時間比較長的情況下，既可抑制高架搬運車20A所在的第1軌道11A上發生堵塞現象，又可從裝置埠101取得應該被 回收的FOUP90B，並且可將被供給側的FOUP90A載置到裝置埠101。
在搬運系統1中，控制裝置50係先取得高架搬運車20B抵達移載領域R為止的預測時間，如果該預測時間較之既定時間更長的話，就將高架搬運車20A，20B的動作控制成：使高架搬運車20A將被供給側的FOUP90A載置於保管棚架40而從該裝置埠101取得應該被回收的FOUP90B。如此一來，係可客觀地判斷高架搬運車20B抵達移載領域R為止的時間，係可更確實抑制高架搬運車20A所在的第1軌道11A上發生堵塞現象。
[變形例]
以上，係說明了本發明的一種實施方式，但本發明並不限定於上述的這一種實施方式。例如：第1軌道11A及第2軌道11B亦可製作成：可讓高架搬運車20A，20B互相行駛進去。
又，在上述實施方式的取放控制中，高架搬運車20B係作為空台車，高架搬運車20A係作為實台車，並且讓高架搬運車20A較之高架搬運車20B更早抵達裝置埠101的移載領域R，相反地，亦可將高架搬運車20A作為空台車，將高架搬運車20B作為實台車，讓高架搬運車20B較之高架搬運車20A更早抵達裝置埠101的移載領域R。這種情況下，和上述的取放控制相比較，除了實狀態的高架搬運車及空狀態的高架搬運車所行駛的軌 道互相置換之外，也是執行同樣的取放控制。
又，在上述實施方式中，利用控制裝置50來取得：從實狀態的高架搬運車20A抵達移載領域R起算至空狀態的高架搬運車20B抵達移載領域R為止的預測時間的方法，並不限於由上位控制裝置51計算出預測時間的方法，例如：也可以是由控制裝置50向更上位的控制裝置進行洽詢，而從更上位的控制裝置受取預測時間的資訊。
又，在上述實施方式中，係當控制裝置50判定預測時間是既定時間以下時，執行第1取放控制，當判定預測時間是較之既定時間更長時，執行第2取放控制，但是，也可以是：當判定預測時間是短於既定時間時，執行第1取放控制，判定預測時間為既定時間以上時，執行第2取放控制。
又，在上述實施方式中，控制裝置50係先取得預測時間，當判定該預測時間是既定時間以下時，執行第1取放控制，當判定該預測時間是較之既定時間更長時，執行第2取放控制。但是，控制裝置50亦可不取得該預測時間，而是根據高架搬運車20A抵達移載領域R的時間點，來執行第2取放控制。亦即，亦可將第2取放控制較之第1取放控制更優先地執行。
又，在上述實施方式中，也可以是：不先取得該預測時間，而是從高架搬運車20A抵達移載領域R起算的既定時間(例如：10秒鐘)使其進行待機，當高 架搬運車20A在移載領域R進行待機的期間內，高架搬運車20B尚未抵達移載領域R的話，則執行第2取放控制。此時，也可以藉由下列的控制方式來取代第2取放控制，亦即，以使高架搬運車20B開始進行下一個動作(例如：進行將FOUP90A載置於保管棚架40的動作，或者保持著FOUP90A的狀態在軌道上繞行一周的動作)的方式，來控制高架搬運車20A，20B的動作。
又，在上述實施方式的連鎖控制中，控制裝置50，係以：當高架搬運車20A在執行裝置埠側移載動作或保管部側移載動作的期間，禁止高架搬運車20B執行裝置埠側移載動作或保管部側移載動作的方式，來控制高架搬運車20A，20B的動作。但是，也可以是控制裝置50係以：當高架搬運車20B在執行裝置埠側移載動作或保管部側移載動作的期間，禁止高架搬運車20A執行裝置埠側移載動作或保管部側移載動作的方式，來控制高架搬運車20A，20B的動作。
又，在上述實施方式中，也可以是：不經由上位控制裝置51，而直接利用區域控制裝置52A，52B來執行連鎖控制。亦即，連鎖控制也可以是由區域控制裝置52A，52B互相進行通訊，利用這些區域控制裝置52A，52B來控制高架搬運車20A，20B。
又，在上述實施方式中，除了第1軌道11A及第2軌道11B之外，亦可將第3軌道設置在從鉛直方向觀察時係位於與第1軌道及第2軌道一致的位置上。亦 即，也可以是將3條軌道並排設置在鉛直方向上的構成方式。具體而言，第3軌道也可以是：讓裝置埠101位在該第3軌道的其中一邊的側方的下方處，並且該第3軌道是沿著第1軌道11A及第2軌道11B，在鉛直方向上並排地設在第2軌道11B的下方。這種構成方式，亦可與上述實施方式同樣地適用上述取放控制及連鎖控制。
又，在上述實施方式中，也可以是將4條以上的軌道在鉛直方向上並排設置的構成方式。這種構成方式，亦可與上述實施方式同樣地適用上述取放控制及連鎖控制。
此外，在上述實施方式中，本發明的搬運系統搬運的被搬運物，並不限定於收容了複數個半導體晶圓的FOUP90，亦可為收容了玻璃晶圓、光柵等之其他容器。又，本發明的搬運系統，並不限定只適用於半導體製造工場，亦可適用在其他的工廠施設。
11A‧‧‧第1軌道
11B‧‧‧第2軌道
20A，20B‧‧‧高架搬運車
21‧‧‧把持部
22‧‧‧昇降機構
22a‧‧‧捲揚機構
22b‧‧‧皮帶
23‧‧‧移動機構
40‧‧‧保管棚架
40a‧‧‧保管部
90‧‧‧FOUP(被搬運物)
91‧‧‧凸緣部
100‧‧‧半導體處理裝置
101‧‧‧裝置埠

Claims (6)

  1. 一種搬運系統，其係具備：第1軌道、第2軌道、複數個高架搬運車以及保管部，該第1軌道係設成：裝置埠係位在該第1軌道的其中一邊的側方的下方；該第2軌道係沿著前述第1軌道並排設置在前述第1軌道的鉛直方向的下方，並使前述裝置埠位在該第2軌道的其中一邊的側方的下方；該複數個高架搬運車係分別行駛於前述第1軌道及前述第2軌道以搬運被搬運物；該保管部係設在前述第1軌道及前述第2軌道之另一邊的側方的下方，用以載置前述被搬運物，前述高架搬運車係具有：把持部，其係可把持前述被搬運物；移動機構，其係可將前述把持部移動到前述裝置埠的上方及前述保管部的上方；昇降機構，其係可將被前述移動機構移動到前述裝置埠的上方及前述保管部的上方的前述把持部，分別相對於前述裝置埠及前述保管部進行昇降。
  2. 如請求項1所述的搬運系統，其中，又具備：用以控制前述高架搬運車的動作之控制裝置，前述控制裝置，當前述第1軌道上的前述高架搬運車及前述第2軌道上的前述高架搬運車之雙方的前述高架搬運車，處於想要 對於同一個前述裝置埠執行移載前述被搬運物之裝置埠側移載動作的狀況下，就在前述第1軌道上的前述高架搬運車及前述第2軌道上的前述高架搬運車之其中一方的前述高架搬運車正在執行前述裝置埠側移載動作的期間，禁止另一方的前述高架搬運車執行前述裝置埠側移載動作；當前述第1軌道上的前述高架搬運車及前述第2軌道上的前述高架搬運車之雙方，處於想要對於同一個前述保管部執行移載前述被搬運物之保管部側移載動作的狀況下，就在前述第1軌道上的前述高架搬運車及前述第2軌道上的前述高架搬運車之其中一方的前述高架搬運車正在執行前述保管部側移載動作的期間，禁止另一方的前述高架搬運車執行前述保管部側移載動作。
  3. 如請求項1所述的搬運系統，其中，又具備：用以控制前述高架搬運車的動作之控制裝置，前述控制裝置，針對於同一個前述裝置埠，當前述第1軌道上的前述高架搬運車及前述第2軌道上的前述高架搬運車之其中一方的前述高架搬運車從該裝置埠取得應該被從該裝置埠回收之前述被搬運物，前述第1軌道上的前述高架搬運車及前述第2軌道上的前述高架搬運車之另一方的前述高架搬運車，處於想要將被供給到該裝置埠之被供給側的前述被搬運物載置到該裝置埠的狀況下，當另一方的前述高架搬運車較之其中一方的前述高架搬運車更早抵達對於該裝置埠的移載領域時， 將前述高架搬運車的動作控制成：在其中一方的前述高架搬運車抵達前述移載領域而從該裝置埠取得前述應該被回收的被搬運物之前，使另一方的前述高架搬運車在前述移載領域進行待機，且將前述高架搬運車的動作控制成：在另一方的前述高架搬運車已經在前述移載領域待機的狀態下，使已經抵達前述移載領域的其中一方的前述高架搬運車從該裝置埠取得前述應該被回收的被搬運物，且將前述高架搬運車的動作控制成：當其中一方的前述高架搬運車從該裝置埠取得前述應該被回收的被搬運物之後，使另一方的前述高架搬運車將前述被供給側的被搬運物載置到該裝置埠。
  4. 如請求項3所述的搬運系統，其中，前述控制裝置，係先取得其中一方的前述高架搬運車抵達前述移載領域為止的預測時間，如果該預測時間短於既定時間的話，就將前述高架搬運車的動作控制成：在其中一方的前述高架搬運車抵達前述移載領域而從該裝置埠取得前述應該被回收的被搬運物之前，使另一方的前述高架搬運車在前述移載領域進行待機。
  5. 如請求項1所述的搬運系統，其中，又具備：用以控制前述高架搬運車的動作之控制裝置，前述控制裝置，針對於同一個前述裝置埠，當前述第1軌道上的前述高架搬運車及前述第2軌道上的前述高架搬運車之其中一 方的前述高架搬運車從該裝置埠取得應該被從該裝置埠回收的前述被搬運物，前述第1軌道上的前述高架搬運車及前述第2軌道上的前述高架搬運車之另一方的前述高架搬運車，處於想要將被供給到該裝置埠的被供給側的前述被搬運物載置到該裝置埠的狀況下，當另一方的前述高架搬運車較之其中一方的前述高架搬運車更早抵達對於該裝置埠的移載領域時，就將前述高架搬運車的動作控制成：使另一方的前述高架搬運車將前述被供給側的被搬運物載置到前述保管部，並從該裝置埠取得前述應該被回收的被搬運物，且將前述高架搬運車的動作控制成：使已經抵達前述移載領域之其中一方的前述高架搬運車從前述保管部取得前述被供給側的被搬運物，並將前述被供給側的被搬運物載置到該裝置埠。
  6. 如請求項5所述的搬運系統，其中，前述控制裝置，係先取得其中一方的前述高架搬運車抵達前述移載領域為止的預測時間，如果該預測時間較之既定時間更長的話，就將前述高架搬運車的動作控制成：使另一方的前述高架搬運車將前述被供給側的被搬運物載置於前述保管部，並從該裝置埠取得前述應該被回收的被搬運物。
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