DE69232894T2 - Herstellungsverfahren fuer zweischichtenband vom tab-typ - Google Patents

Herstellungsverfahren fuer zweischichtenband vom tab-typ

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Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Folie für TAB (automatisiertes Folienbonden), die verwendet wird, um Halbleiterelemente daran zu befestigen, und insbesondere ein Verfahren zum Herstellen einer doppelschichtigen Folie für TAB.
  • Halbleiterbefestigungstechniken erlebten einen beachtlichen Fortschritt in den jüngsten Jahren. Insbesondere TAB wird aktiv weiterentwickelt, um auf den gegenwärtigen Bedarf an einer Befestigungstechnik mit hoher Dichte einzugehen, da TAB es ermöglicht, Leitermuster bei einer sehr hohen Dichte zu bilden, was es einfach macht, viele Anschlussstifte zu verbinden, und außerdem ermöglicht TAB ein gleichzeitiges Bonden aller Anschlüsse mit Halbleiterchips (Mehrfach-Bonden (gang bonding)) ohne Verwendung eines Drahtes.
  • Es gibt zwei Arten von Folien für TAB, d. h. Folien für TAB mit einer doppelschichtigen Struktur und Folien für TAB mit einer dreischichtigen Struktur. Die Folie für TAB mit einer dreischichtigen Struktur (nachstehend als dreischichtige Folie für TAB abgekürzt) ist im Allgemeinen ein Laminat, das durch Laminieren einer Leiterfolie (z. B. Kupferfolie) mit einer hitzebeständigen Harzfolie unter Verwendung eines Adhäsionsmittels erhalten wird, und weist eine Adhäsionsschicht von geringer Hitzebeständigkeit auf; folglich war die dreischichtige Folie für TAB ungeeignet, um die herausragenden Eigenschaften vollständig aufzuweisen, sogar falls eine Polyimidfolie als Harzfolie verwendet wird, die herausragende Eigenschaften bezüglich Hitzebeständigkeit, chemischer Beständigkeit und dergleichen aufweist.
  • Zwischenzeitlich weist die Folie mit einer doppelschichtigen Struktur für TAB (nachstehend als doppelschichtige Folie für TAB abgekürzt) im Allgemeinen herausragende Hitzebeständigkeit als eine Folie für TAB auf, da die Basisfolie keine Adhäsionsschicht aufweist; jedoch stellte es sich heraus, dass die doppelschichtige Folie für TAB aufgrund der Schwierigkeit bei der Produktion nur sehr begrenzt verwendbar ist. Das heißt, dass die doppelschichtige Folie für TAB nach zwei Verfahren hergestellt wird, d. h. ein Verfahren, das ein Ausbilden einer Leiterfolie auf einer hitzebeständigen Folie, die aus einem Polyimid oder dergleichen hergestellt ist, durch eine Dünnfilm-Bildungstechnik, wie Beschichtung durch Vakuumzerstäubung, Gasphasenabscheidung, Plattieren oder dergleichen, und sodann Anwenden einer Ätzbehandlung auf die Basisfolie und die Leiterschicht, um die gewünschten Löcher (Vorrichtungslöcher, Führungslöcher) und das gewünschte Leitermuster zu bilden, umfasst, und ein weiteres Verfahren, das ein Beschichten eines Lacks eines hitzebeständigen Harzes (z. B. Polyimid) direkt auf eine Leiterfolie (z. B. Kupferfolie), Trocknen des beschichteten Lacks, um eine doppelschichtige Basiskarte zu bilden, und sodann Anwenden einer Ätzbehandlung auf die Harzschicht und die Leiterfolie, um gewünschte Löcher und ein gewünschtes Leitermuster zu bilden, umfasst. In dem ersten Verfahren tritt jedoch die Schwierigkeit auf, dass eine gerollte Folie mit herausragender Flexibilität, eine Fe-Ni-Legierungsfolie mit einem herausragenden Modulus, etc., nicht verwendet werden kann; außerdem müssen die Basisfolienlöcher durch ein Ätzverfahren gebildet werden, was zu einer signifikant verminderten Produktivität führt verglichen mit dem Fall, bei dem das auf die dreischichtige Folie für TAB angewendete Stanzverfahren verwendet wird. Unterdessen ist es in dem letzteren Verfahren notwendig, dass die lineare thermische Expansion des verwendeten Harzes nahezu die gleiche wie die der Kupferfolie (Leiterschicht) sein muss, um die Bildung von Wellen und Falten zu vermeiden; solche Harze sind jedoch im Allgemeinen starr und weisen herausragende Lösungsmittelbeständigkeit auf, wodurch es schwierig wird, ein alkalisches Ätzen in vielen Fällen anzuwenden, und es nötig macht, Trockenätzen (z. B. Excimer-Laser) zu verwenden, um Löcher in der. Folienschicht auszubilden, was zu Nachteilen hinsichtlich der Produktivität und Kosten führt.
  • Inzwischen finden doppelschichtige flexible Materialien für eine gedruckte Schaltung, die keine Adhäsionsschicht aufweisen, vermehrt Anwendung, da elektronische Vorrichtungen kleiner und leichter werden.
  • Weiter haben nicht nur herkömmliche flexible Materialien für ein Verdrahten, sondern auch Materialien mit einer Stützfolie mit Löchern, wie die vorstehend genannte Trägerfolie für TAB, kürzlich vermehrt Anwendung gefunden.
  • Jedes dieser herkömmlichen Verfahren weist Nachteile hinsichtlich Hitzebeständigkeit, Adhäsionsstärke, Verarbeitbarkeit und chemischer Beständigkeit auf. Erstens weist das eine Adhäsionsschicht enthaltende dreischichtige flexible Material für eine gedruckte Schaltung den Nachteil auf, dass, da die Adhäsionsschicht eine geringe Hitzebeständigkeit aufweist, die Hitzebeständigkeit des flexiblen Materials für eine gedruckte Schaltung durch die Hitzebeständigkeit der Adhäsionsschicht bestimmt wird, sogar wenn ein Polyimid als Trägerfolie verwendet wird. Wenn die Leiterschicht durch Gasphasenabscheidung oder Beschichtung durch Vakuumzerstäubung gebildet wird, besteht der Nachteil darin, dass die Adhäsionsstärke zwischen der Trägerfolienschicht und der Leiterschicht ungenügend ist.
  • Wenn eine Polyamidsäure direkt aufgetragen und sodann getrocknet wird, um eine dicke Folie zu bilden und die Spannung aufgrund der durch eine Imidisierung verursachten Kontraktion größer ist als die Tragfestigkeit der Leiterschicht, werden große Wellen während des Trocknens erzeugt. Wenn eine Leiterschicht mit einer Polyamidsäurelösung direkt beschichtet und mehrmals getrocknet wird, gefolgt von einer Imidisierung, werden die während dieser Schritte erzeugten Wellen reduziert; da der der Leiterschicht naheliegende Folienanteil und der von der Leiterschicht entfernte Folienanteil verschiedene thermische Entwicklungen aufweisen, sind jedoch der Imidisierungsgrad und die Restlösungsmittelmenge in der Folie jeweils abhängig von dem Folienanteil unterschiedlich, was zu großen Wellen, Maßänderung, etc. der Folie nach einem Ätzen der Kupferfolie führt. Wenn ein Laser verwendet wird, insbesondere ein Excimer-Laser, wird eine hervorragende feine Verarbeitung erhalten und die Beschädigung der Kupferfolie ist gering; jedoch muss die starke Imidbindung gespalten werden, was zu einer langen Verarbeitungszeit, niedrigen Produktivität und hohen laufenden Kosten führt. Auch ein Polyimid mit einer molekularen Struktur, die fähig ist, nach einer Imidisierung einer Alkaliätzung unterzogen zu werden, weist insofern Schwierigkeiten auf, dass es eine geringe Löslichkeitsbeständigkeit aufweist, dass die Verwendung einer stark alkalischen Lösung als Ätzlösung eine beträchtliche Gefahr beinhaltet, und dass eine Entsorgung der Abfalllösung nicht einfach ist.
  • Die JP-A-63021115 betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Polyimidfolie. Eine Lösung aus Polyimid und/oder seines Vorläufers wird auf eine Trägerfolie ausgebracht und das Lösungsmittel entfernt, um eine selbsttragende Polyimidfolie bereitzustellen. Die Polyimidfolie wird von der Trägerfolie entfernt, getrocknet, gedehnt und sodann als eine Trägerfolie verwendet.
  • Die JP-A-1228833 betrifft einen Polyimid-Wabenkern der Sandwich-Bauweise, der aus laminierter aromatischer Polyimidfolie hergestellt wurde. Eine Lösung aus Polyimid oder Polyamidsäure wird auf eine rotierende Trommel aufgebracht, erhitzt und gedehnt. Eine Reihe von erhaltenen Polyimidfolien werden unter Hitze und Druck zusammen laminiert.
  • Die JP-A-56118421 betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer hitzeschrumpfbaren Polyimidfolie. Eine Lösung aus Polyamidsäure wird auf einem Substrat ausgebildet und ein Teil des Lösungsmittels wird verdampft, um eine Folie mit mindestens 50 Gew.-% Polyimid auszubilden. Die Folie wird sodann monoaxial gedehnt. Die hergestellte hitzeschrumpfbare Folie kann um einen Draht hitzegeschrumpft werden.
  • Die JP-A-56015326 betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer hitzeschrumpfbaren laminierten Folie. Geschmolzene Schichten eines Polyamidharz/Ethylenvinylacetat-Copolymers und eines thermoplastischen Harzes werden ozonisiert und laminiert. Das Laminat wird sodann abgekühlt und gedehnt.
  • Die JP-A-63161023 betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Basiskarte für eine gedruckte Schaltung. Eine Polyamidsäure wird direkt auf eine Metallfolie aufgebracht und erhitzt.
  • Die JP-A-2273984 betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer flexiblen gedruckten Schaltung. Ein hitzebeständiges Harz wird direkt auf eine Metallfolie aufgebracht, um eine doppelschichtige gedruckte Schaltung zu erhalten. Zwei solche Schaltungen werden sodann miteinander verbunden, wobei sich die Harzseiten gegenüberstehen.
  • Die EP-A-36330 betrifft ein Verfahren zum kontinuierlichen Herstellen einer aromatischen Polyimidfolie, das eine Polyimid-Lösung als ein Ausgangsmaterial benutzt.
  • Die JP-A-2174242 betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Bandträgers für doppelschichtiges TAB. Eine Leiterschicht wird auf einer Basisfolie ausgebildet und die Leiterschicht wird sodann geätzt.
  • Eine erfindungsgemäße Aufgabe ist die Bereitstellung eines Verfahrens zum Herstellen einer doppelschichtigen Folie für TAB bei einer hohen Produktivität, ohne dass die Hitzebeständigkeit, Alkalibeständigkeit, Lösungsmittelbeständigkeit und elektrischen Eigenschaften vermindert werden, die doppelschichtige Folien für TAB ohne eine Haftschicht aufweisen. Eine weitere erfindungsgemäße Aufgabe ist die Bereitstellung eines Verfahrens zum Herstellen einer doppelschichtigen Folie für TAB, die keine Wellen und eine gute Adhäsion zwischen der Kupferfolie und der Folie aufweist.
  • Eine weitere erfindungsgemäße Aufgabe ist die Bereitstellung eines Verfahrens zum Herstellen einer doppelschichtigen Folie für TAB, die eine hervorragende Lagegenauigkeit und Bildung von feinen Linien und ein Verdrahten von hoher Dichte erlaubt.
  • Die Erfindung stellt ein Verfahren zum Herstellen einer doppelschichtigen Folie für TAB bereit, das dadurch gekennzeichnet ist, dass gewünschte Löcher in einer Polyamidsäurefolie, die auf einer Trennfolie ausgebildet ist, gebildet werden, wobei die Folie einen Imidisierungsgrad von 10 bis 50% aufweist, die Polyamidsäurefolie und die Trennfolie auf eine Leiterfolie laminiert werden, so dass die Polyamidsäurefolie 2 mit der Leiterfolie 4 in Kontakt gebracht wird, die Trennfolie abgezogen wird, die Imidisierung vervollständigt wird und ein gewünschtes Muster in der Leiterfolie gebildet wird. Eine Polyamidsäurefolie mit einem Imidisierungsgrad von 10 bis 50% wird hierin als eine "halbgehärtete" Polyamidsäurefolie bezeichnet.
  • Vorteilhafterweise umfasst das Verfahren ein Bilden einer halbgehärteten Polyamidsäurefolie auf einer Trennfolie, Ausbilden von gewünschten Löchern (z. B. Vorrichtungslöchern) in der Polyamidsäurefolie, Druck-Bonden der zwei Folien an eine Leiterfolie, so dass die halbgehärtete Polyamidsäurefolie mit der Folie in Kontakt steht, Abziehen der Trennfolie, Vervollständigen der Imidisierung und anschließend Bilden eines gewünschten Musters in der Leiterfolie durch eine Ätzbehandlung oder dergleichen.
  • Die Polyamidsäurefolie wird vorzugsweise unter Verwendung eines Lacks gebildet, der durch Mischen von (A) einer Polyamidsäurelösung, die durch Umsetzen von 3,,3,4,4'-Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid mit p-Phenylendiamin erhalten wird, mit (B) einer Polyamidsäurelösung, die durch Umsetzen von Pyromellithsäuredianhydrid mit 4,4'-Diaminodiphenylether erhalten wird, bei einem Feststoffverhältnis von A/B = 55/45 bis 75/25 erhalten wird.
  • In dem erfindungsgemäßen Verfahren werden vorzugsweise die Löcher mit einem gewünschten Füllstoff nach Imidisierung befüllt und nach Bilden des Musters wird der Füllstoff entfernt.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Fig. 1a bis h sind Schnittansichten, die Schritte in der Erfindung zeigen. In Fig. 1 bezeichnen 1 bis 8 das Folgende:
  • 1 ... Polyester-Trennfolie
  • 2 ... Polyamidsäurefolie
  • 3 ... Vorrichtungsloch
  • 4 ... Kupferfolie
  • 5 ... Photoresist
  • 6 ... Polyimidfolie
  • 7 ... Führungsloch
  • 8 ... Füllstoff
  • Genaue Beschreibung der Erfindung
  • Als das Verfahren zum Bilden von gewünschten Löchern (z. B. Vorrichtungslöchern) in einer halbgehärteten Polyamidsäurefolie kann ein Stanzen, Ausschneiden, Alkaliätzen, Laserbehandeln, etc. verwendet werden. Wenn ein gewünschtes Resist-Muster auf einer Leitertolle gebildet und sodann eine Ätzbehandlung angewendet wird, ist es notwendig, die Löcher vorher mit einem gewünschten Füllstoff mit z. B. der gleichen Zusammensetzung wie der Resist zu befüllen, um ein Ätzen von den Löchern zu verhindern. Nach Bildung eines Leitermusters werden der auf der Leiterfolie verbleibende Resist und der Füllstoff entfernt und Führungslöcher werden durch Ausstanzen gebildet.
  • Als das Verfahren zum Bilden einer halbgehärteten Polyamidsäurefolie auf einer Trennfolie kann ein Verfahren verwendet werden, das ein Beschichten einer Trennfolie direkt mit einem Polyamidsäurelack und Trocknen des aufgetragenen Lacks umfasst. Daneben kann auch das nachstehende Verfahren, falls nötig, verwendet werden. Es kann ein Verfahren verwendet werden, das ein Näherbringen von zwei Polyamidsäurefolien mit gleichen oder verschiedenen Zusammensetzungen, die auf entsprechenden Trennfilmen ausgebildet sind, so dass die Polyamidsäurefolien-Seiten sich gegenüberstehen, oder ein Einfügen einer gewünschten Anzahl von Polyamidsäurefolien zwischen diesen und gleichzeitig ein Bonden dieser zwei oder mehrerer Polyamidsäurefolien unter Hitze und Druck umfasst, um eine dicke Polyamidsäurefolie zu erhalten.
  • Das heißt, eine Polyamidsäurelösung wird auf eine Trennfolie aufgebracht und getrocknet, bis sie klebfrei wird, wodurch eine halbgehärtete Polyamidsäurefolie gebildet wird. Die zwei somit gebildeten Polyamidsäurefolien werden näher aneinander gebracht, so dass die Polyamidsäurefolien-Seiten sich gegenüberstehen, und sie werden unter Hitze und Druck gebondet, um eine Polyamidsäurefolie mit einer Dicke zu erhalten, die zweimal so groß ist wie die der zuerst durch Beschichten und Trocknen erhaltenen Folie. In diesem Fall ist es möglich, zwischen die vorgenannten zwei Polyamidsäurefolien, falls nötig, eine gewünschte Anzahl von Polyamidsäurefolien, die von entsprechenden Trennfolien abgetrennt worden sind, so dass die Polyamidsäurefolien-Seiten sich gegenüberstehen, einzufügen, um eine dickere Polyamidsäurefolie zu erhalten. Es ist auch möglich, nach dem Laminieren eine der zwei Trennfolien abzuziehen und das gleiche Verfahren zu wiederholen, um eine noch dickere Polyamidsäurefolie zu erhalten.
  • Sodann wird die auf einer Trennfolie gebildete halbgehärtete Polyamidsäurefolie einer Lochbildung (Löcher werden in der Polyamidsäurefolie und der Trennfolie oder nur in der Polyamidsäurefolie gebildet) durch ein herkömmliches Verfahren, wie Stanzen, Ausschneiden, Alkaliätzen, Laser oder dergleichen, unterworfen. Stanzen ist im Hinblick auf die Produktivität und Kosten bevorzugt. Nachdem die Lochbildung beendet ist, wird die halbgehärtete Polyamidsäurefolie auf eine Leiterfolie unter Hitze und Druck gebondet; die Trennfolie wird abgezogen; sodann wird die Imidisierung ausreichend durchgeführt.
  • Erfindungsgemäß sind geeignete Bedingungen zum Trocknen der Polyamidsäurelösung, die auf eine Trennfolie aufgebracht wurde, um eine halbgehärtete Polyamidsäurefolie zu bilden, 80-200ºC und 5-30 Minuten. Wenn die Trocknungstemperatur niedriger als der vorgenannte Bereich und die Trocknungszeit kürzer als der vorgenannte Bereich ist, weist die halbgehärtete Polyamidsäurefolie beim Bonden auf eine Leiterfolie unter Hitze und Druck eine hohe Fließfähigkeit auf; es zeigt sich in hohem Maß ein Ausbreiten und Aussickern in und um die Löcher; die Foliendicke variiert stark; und die Maßänderung nach Imidisierung ist groß. Wenn die Trockungstemperatur höher als der vorgenannte Bereich und die Trocknungszeit länger als der vorgenannte Bereich ist, weist die halbgehärtete Polyamidsäurefolie beim Bonden auf eine Leiterfolie unter Hitze und Druck eine zu niedrige Fließfähigkeit auf, die Abzugkraft von der Leiterfolie ist gering und viele Fehlstellen treten auf.
  • Der Imidisierungsgrad der halbgehärteten Polyamidsäurefolie beträgt 10-50%, vorzugsweise 20-40%. Wenn der Imidisierungsgrad weniger als 10% beträgt, weist die Polyamidsäurefolie immer noch einen bestimmten Grad an Klebrigkeit auf, was zu einer geringen Bearbeitbarkeit führt, und klebt an der Rückseite der Abtrennfolie nach dem Aufwickeln, wodurch eine Trennung jeder Polyamidsäurefolie schwierig wird. Wenn der Imidisierungsgrad mehr als 50% beträgt, weist die Polyamidsäurefolie eine schlechte Schmelzeigenschaft auf und, wenn zwei solche Polyamidsäurefolien unter Hitze und Druck gebondet werden, ist es unmöglich, eine ausreichend laminierte Folie zu erhalten.
  • Beim Auftragen einer Polyamidsäurelösung, um eine Polyamidsäurefolie zu bilden, beträgt eine geeignete Dicke der Folie 50 um oder weniger hinsichtlich der Dicke nach Imidisierung. Wenn die Dicke größer als die vorgenannte ist, ist die Spannung aufgrund der durch die Imidisierung verursachten Kontraktion größer als die Tragfestigkeit der Trennfolie, wodurch während eines Trocknens große Wellen gebildet werden; ferner vermindert die große Dicke eine Verdampfungsgeschwindigkeit des Lösungsmittels, wodurch sich eine signifikant niedrigere Produktivität ergibt.
  • Die geeigneten Bedingungen zum Bonden von zwei halbgehärteten Polyamidsäurefolien oder einer halbgehärteten Polyamidsäurefolie und einer Leiterfolie unter Hitze und Druck betragen 70-200ºC, 5-100 kg/cm² und 5-30 Minuten, wenn eine Presse verwendet wird, und 70-200ºC, 1-500 kg/cm² und 0,1-50 m/min. wenn ein Laminator des Walzentyps verwendet wird. Im Hinblick auf die Bonding-Temperatur ist insbesondere eine Temperatur 10-30ºC niedriger als die Trocknungstemperatur für die Polyamidsäurefolie wünschenswert, da sie keine flüchtigen Materialien bildet. Die Bedingungen für die Imidisierung können diejenigen sein, die herkömmlicherweise in der Polyimidherstellung verwendet werden.
  • Die für eine Herstellung des halbgehärteten Polyamidsäurefilms verwendete Polyamidsäurelösung ist eine Lösung einer Rolyamidsäure, gelöst in einem organischen Lösungsmittel, wobei die Polyamidsäure herkömmlicherweise dadurch erhalten wird, dass ein Säureanhydrid mit einem Diamin umgesetzt wird.
  • Als das Säureanhydrid können, alleine oder zusammen mit zwei oder mehreren, verschiedene Säureanhydride, wie Trimellithsäureanhydrid, Pyromellithsäureanhydrid, 3,3',4,4'- Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid, 2,3,3',4'-Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid, 3,3,4,4'- Benzophenontetracarbonsäuredianhydrid, 3,3',4,4'-p-Terphenyltetracarbonsäuredianhydrid, 2,3,6,7-Naphthalentetracarbonsäuredianhydrid, 4,4'-Hexafluorisopropyliden-bis-(phthalsäureanhydrid) und dergleichen verwendet werden.
  • Als das Diamin können, allein oder zusammen mit zwei oder mehreren, verschiedene Diamine, wie p-Phenylendiamin, 4,4-Diaminodiphenylether, 4,4'-Diaminodiphenylsulfon, 4,4'- Diaminodiphenylmethan, 3, 3'-Dimethylbenzidin, 4,4'-Diamino-p-terphenyl, 4,4'-Diamino-pquaterphenyl, 2,8-Diaminodiphenylenoxid und dergleichen verwendet werden.
  • Die erfindungsgemäß verwendete Poiyamidsäurelösung kann jegliche sein, solang sie eine Folienformfähigkeit und Adhäsionseigenschaft auf einer Metallfolie aufweist. Jedoch erfüllt eine Polyamidsäurelösung, wie nachstehend gezeigt, am besten die gewünschten Zwecke. Das heißt, dass sie eine Polyamidsäuregemischlösung ist, die durch Mischen und Rühren von (A) einer Polyamidsäurelösung, die durch Umsetzen von 3,3,4,4'-Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid als eine Säureanhydrid-Komponente mit p-Phenylendiamin als eine Diamin- Komponente erhalten wird, und (B) einer Polyamidsäurelösung, die durch Umsetzen von Pyromellithsäuredianhydrid als eine Säureanhydrid-Komponente mit 4,4'-Diaminodiphenylether als eine Diamin-Komponente erhalten wird, bei einem Feststoffverhältnis von A/B = 55/45 bis 75/25 erhalten wird. Wenn der Anteil von A kleiner als der vorgenannte ist, neigt die erhaltene Polyamidsäure dazu, Wellen zu bilden. Wenn der Anteil von A größer als der vorgenannte ist, ist die erhaltene Polyamidsäurefolie zu starr, weist keine Flexibilität auf und zeigt eine verminderte Adhäsion an eine Kupferfolie.
  • Im Hinblick auf die zum Erhalten eines lichtdurchlässigen Polyimids verwendbaren Monomere umfasst das Säureanhydrid 2,2-Bis-(dicarboxyphenyl)hexafluorpropandianhydrid, Oxydiphthalsäureanhydrid, Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid, etc.; und das Diamin unterscheidet sich geringfügig abhängig von dem damit zusammen verwendeten Säureanhydrid, aber es umfasst m-substituierte Diamine mit einer Sulfongruppe, m-substituierte Diamine mit einer Etherbindung, Diamine mit einer Hexafluorpropylengruppe, etc. Vorzugsweise weist die lichtdurchlässige Polyimidschicht einen Vergilbungsindex (JIS K 7103) von 30 oder weniger, vorzugsweise 20 oder weniger auf.
  • Die Reaktion zwischen der Säureanhydrid-Komponente und der Diamin-Komponente erfolgt vorzugsweise bei einem molaren Verhältnis der Säureanhydrid-Komponente/Diamin-Komponente von 0,90 bis 1,00. Wenn das molare Verhältnis kleiner als 0,90 ist, wird kein ausreichend hoher Polymerisierungsgrad erhalten und die Folie weist nach dem Aushärten schlechte Eigenschaften auf. Wenn das molare Verhältnis größer als 1,00 ist, wird ein Gas während des Aushärtens gebildet, wodurch es unmöglich gemacht wird, eine glatte Folie zu erhalten.
  • Die Reaktion erfolgt herkömmlicherweise in einem organischen polaren Lösungsmittel, das nicht mit dem Säureanhydrid oder dem Diamin reagiert. Es ist notwendig, dass das organische polare Lösungsmittel inaktiv gegenüber dem Reaktionssystem ist, dass es für ein erhaltenes Produkt ein Lösungsmittel darstellt und außerdem, dass es ein gutes Lösungsmittel für zumindest eine der Reaktionskomponenten, vorzugsweise für beide ist. Typische Beispiele solch eines Lösungsmittels sind N,N-Dimethylformamid, N,N-Dimethylacetamid, Dimethylsulfon, Dimethylsulfoxid, N-Methyl-2-pyrrolidon, etc. Diese Lösungsmittel können allein oder zusammen verwendet werden. Daneben können nicht-polare Lösungsmittel, wie Benzol, Dioxan, Xylol, Toluol, Cyclohexan und dergleichen, zusammen mit dem organischen polaren Lösungsmittel als ein Dispergiermittel für Ausgangsmaterialien, ein Reaktionssteuerungsmittel, ein Mittel zum Steuern der Verdampfung aus dem Produkt, ein Folienglättungsmittel, etc. verwendet werden.
  • Vorzugsweise erfolgt die Reaktion im Allgemeinen unter wasserfreien Bedingungen. Das ist so, da, wenn Wasser vorhanden ist, die Gefahr besteht, dass das Wasser zur Ringöffnung des Säureanhydrids führt, was das Säureanhydrid inaktiviert und somit die Reaktion stoppt. Deshalb ist es notwendig, dass das Wasser in den zugeführten Ausgangsmaterialien und das Wasser in dem Lösungsmittel entfernt wird. Jedoch wird in manchen Fällen Wasser hinzugefügt, um den Fortgang der Reaktion zu steuern und dadurch den Polymerisationsgrad des erhaltenen Harzes zu steuern. Es ist auch bevorzugt, dass die Reaktion in einem inerten Gas erfolgt, um die Oxidation des Diamins zu verhindern. Als das inerte Gas wird im Allgemeinen trockenes Stickstoffgas verwendet.
  • Die Reaktionstemperatur beträgt vorzugsweise 0-100ºC. Das ist so, da die Reaktionsgeschwindigkeit, wenn die Reaktionstemperatur weniger als 0ºC beträgt, gering ist und, wenn die Reaktionstemperatur höher als 100ºC ist, die Ringschlussreaktion und Depolymerisationsreaktion der gebildeten Polyamidsäure eingeleitet werden. Die Reaktion erfolgt herkömmlicherweise bei etwa 20ºC.
  • Als ein für die Trennfolie verwendbares Material können aus Polypropylen, Polyester, Polyethersulfon, Polyimid, Polyethylen oder dergleichen hergestellte Plastikfolien angeführt werden.
  • Als ein für die Leiterschicht verwendbares Material können Metallfolien, die aus einem einzigen Metall, wie Kupfer, Aluminium, Nickel oder dergleichen hergestellt sind, und Metallfolien, die aus einer Legierung, wie Fe-Ni-Legierung, Fe-Cr-Al-Legierung oder dergleichen hergestellt sind, angeführt werden.
  • Die Erfindung ermöglicht eine Herstellung einer doppelschichtigen Folie für TAB mit Vorrichtüngslöchern und hervorragender Hitzebeständigkeit, chemischer Beständigkeit, etc., bei hoher Produktivität. Ferner ermöglicht die Erfindung die Herstellung einer doppelschichtigen Folie für TAB unter Verwendung einer gerollten Folie (eine Verwendung einer gerollten Folie war in dem Dampfabscheidungsverfahren, etc. unmöglich). Ferner ermöglicht die Erfindung die Herstellung einer doppelschichtigen Folie für TAB ohne Wellen und mit einer guten Adhäsionsstärke zwischen der Kupferfolie und der Folie.
  • Unterdessen tritt in der doppelschichtigen Folie für TAB, die unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Polyamidsäurefolie erhalten wird, keine Störung eines Schaltkreismusters auf, sogar wenn das Schaltkreismuster fein ausgebildet ist, da ein inneres Leitungsmuster auf der transparenten Polyimidfolienschicht ausgebildet ist; es ist einfach, eine Lagegenauigkeit von der Rückseite (Polyimidseite) unter Verwendung einer CCD-Kamera oder dergleichen durchzuführen, da die Vorrichtungsloch-Anteile nur durch die transparente Polyimidschicht mit einer kleineren Dicke ausgebildet werden; und ein Mehrfach-Bonden kann leicht bei einer hohen Genauigkeit dadurch durchgeführt werden, dass ein Wärmeblock von der Rückseite über das hochgradig hitzebeständige transparente Polyimid angelegt wird.
  • Die Erfindung ist einfach anwendbar, sogar auf kontinuierliche Schritte und als ein industrielles Verfahren zum Herstellen einer doppelschichtigen Folie für TAB geeignet.
  • Bester Weg zum Ausführen der Erfindung Beispiel 1
  • Fig. 1 zeigt die Schritte (a) bis (h), die bei der Herstellung einer erfindungsgemäßen doppelschichtigen Folie für TAB verwendet wurden.
  • 108 g gereinigtes, wasserfreies p-Phenylendiamin und 200 g 4,4'-Diaminodiphenylether wurden in einen mit einem Thermometer, einem Rührer, einem Rückflusskühler und einem Einlass für trockenes Stickstoffgas ausgestatteten Vierhals-Trennkolben gegeben. Dazu wurde ein gemischtes Lösungsmittel, das aus 90 Gew.-% wasserfreiem N-Methyl-2-pyrrolidon und 10 Gew.-% wasserfreiem Toluol bestand, in einer solchen Menge hinzugefügt, dass der Feststoffgehalt in den gesamten zugeführten Materialien 20 Gew.-% betrug, wodurch die zwei zuerst hinzugefügten Materialien in dem gemischten Lösungsmittel gelöst wurden. Trockenes Stickstoffgas floss während der gesamten Schritte, von dem Herstellungsschritt der Reaktion bis zur Entnahme des Produkts. Sodann wurden 294 g gereinigtes, wasserfreies 3,3',4,4'-Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid und 218 g gereinigtes, wasserfreies Pyromellithsäuredianhydrid in kleinen Portionen unter Rühren hinzugefügt. Da die Reaktion exotherm war, wurde das Reaktionssystem durch Zirkulieren von kaltem Wasser von etwa 15ºC in einem externen Wassertank abgekühlt. Nach der Zugabe wurde die interne Temperatur auf 20ºC gesetzt und ein Rühren erfolgte für 5 Stunden, um die Reaktion zu vervollständigen, wodurch eine Polyamidsäurelösung erhalten wurde.
  • Diese Polyamidsäurelösung wurde auf eine käufliche Trennfolie 1 (eine Polyesterfolie) unter Verwendung eines Walzenbeschichters derart aufgetragen, dass eine Dicke von 25 um nach Imidisierung erhalten wurde, gefolgt vom Trocknen bei 110ºC für 15 Minuten, um eine halbgehärtete Polyamidsäurefolie 2 mit einer Trennfolie (b) zu erhalten. Vorrichtungslöcher 3 wurden unter Verwendung eines Stempels (c) gebildet. Die Seite der Polyamidsäurefolie wurde mit der aufgerauten Oberfläche einer käuflichen Kupferfolie 4 in Kontakt gebracht und ein Bonden unter Hitze und Druck erfolgte bei 90ºC und 40 kg/cm² für 15 Minuten. Sodann wurde die Trennfolie 1 abgezogen und es erfolgte ein Erhitzen bei 380ºC für 1 Stunde, um die Imidisierung zu vervollständigen und eine Polyimidfolie 6 zu bilden, wodurch eine doppelschichtige Basiskarte mit Vorrichtungslöchern (d) erhalten wurde. Auf die Leiterfolie der doppelschichtigen Basiskarte (d) wurde ein gewünschtes Resist-Muster 5 aufgetragen und ein gewünschter Füllstoff 8 in die Löcher 3 (e) eingebracht und eine Ätzbehandlung wurde durchgeführt, um ein Leitermuster (f) zu bilden. Sodann wurden der auf der Leiterfolie verbleibende Resist 5 und der Füllstoff 8 entfernt (g). Ein Stanzen wurde verwendet, um Führungslöcher (7) zu bilden, wodurch eine doppelschichtige Folie für TAB erhalten wurde (h).
  • Beispiel 2
  • Zwei ähnliche halbgehärtete Polyamidsäurefolien, die jeweils auf einer Trennfolie (diese waren mit der in Beispiel 1 verwendeten identisch) ausgebildet wurden, wurden derart näher zusammengebracht, dass die Polyamidsäurefolien-Seiten sich gegenüberstanden. Sie wurden unter Verwendung einer Presse unter Hitze und Druck bei 100ºC und 20 kg/cm² 10 Minuten gebondet, um eine Polyamidsäure-Laminatfolie zu erhalten. Sodann wurde eine der Trennfolien abgezogen. Unter Verwendung dieser auf einer Trennfolie gebildeten halbgehärteten Polyamidsäure-Laminatfolie wurde das Verfahren von Beispiel 1 wiederholt, um eine doppelschichtige Folie für TAB zu erhalten.
  • Beispiel 3
  • Die gleiche wie in Beispiel 1 verwendete Polyamidsäurelösung wurde auf eine käufliche Polyesterfolie unter Verwendung eines Walzenbeschichters derart aufgetragen, dass eine Dicke von 25 um nach Imidisierung erhalten wurde, gefolgt von Trocknen bei 110ºC für 15 Minuten, um eine halbgehärtete Polyamidsäurefolie mit einer Trennfolie zu erhalten. Zwei dieser Folien wurden derart näher zusammengebracht, dass die entsprechenden Polyamidsäurefolien-Seiten sich gegenüberstanden, und wurden unter Hitze und Druck unter Verwendung eines Laminators des Rollentyps bei 90ºC, 15 kg/cm² und 0,2 m/min gebondet. Sodann wurden Löcher unter Verwendung eines Stempels gebildet. Eine der Trennfolien wurde abgezogen und die Polyamidsäurefolien-Seite wurde mit der aufgerauten Oberfläche einer käuflichen Kupferfolie in Kontakt gebracht. Sie wurden unter Hitze und Druck unter Verwendung einer Presse bei 90ºC und 40 kg/cm² 15 Minuten gebondet. Sodann wurde die Trennfolie abgezogen und es erfolgte ein Erhitzen bei 380ºC für 1 Stunde, um die Imidisierung zu vervollständigen. Das nachfolgende Verfahren war das gleiche wie in Beispiel 1, um eine doppelschichtige Folie für TAB zu erhralten.
  • Beispiel 4
  • 200 g gereinigter, wasserfreier 4,4'-Diaminodiphenylether wurde in einen mit einem Thermometer, einem Rührer, einem Rückflusskühler und einem Einlass für trockenes Stickstoffgas ausgestatteten Vierhals-Trennkolben gegeben. Dazu wurde ein gemischtes Lösungsmittel, das aus 90 Gew.-% wasserfreiem N-Methyl-2-pyrrolidon und 10 Gew.-% wasserfreiem Toluol bestand, in einer solchen Menge gegeben, dass der Feststoffgehalt in den gesamten zugeführten Materialien 20 Gew.-% betrug, wodurch das zuerst zugeführte Material in dem gemischten Lösungsmittel gelöst wurde. Trockenes Stickstoffgas floss während der gesamten Schritte, von dem Herstellungsschritt der Reaktion bis zur Entnahme des Produkts. Sodann wurden 218 g gereinigtes, wasserfreies Pyromellithsäuredianhydrid in kleinen Portionen unter Rühren hinzugefügt. Da die Reaktion exotherm war, wurde das Reaktionssystem durch Zirkulieren von kaltem Wasser von etwa 15ºC in einem externen Wassertank abgekühlt. Nach der Zugabe wurde die interne Temperatur auf 20ºC gesetzt und ein Rühren erfolgte für 5 Stunden, um die Reaktion zu vervollständigen, wodurch eine Polyamidsäurelösung erhalten wurde.
  • Diese Polyamidsäurelösung wurde auf eine käufliche Polyesterfolie unter Verwendung eines Walzenbeschichters derart aufgetragen, dass eine Dicke von 25 um nach Imidisierung erhalten wurde, gefolgt von Trocknen bei 110ºC für 10 Minuten, um eine halbgehärtete Polyamidsäurefolie mit einer Trennfolie (diese Polyamidsäurefolie wird als Folie II bezeichnet) zu erhalten. Sodann wurde die Trennfolie abgezogen und die Folie II wurde zwischen zwei Polyamidsäurefolien (Folien I) mit jeweils einer Trennfolie, wie in Beispiel 1 erhalten, derart eingefügt, dass die entsprechenden Polyamidsäurefolien-Seiten der Folie I sich gegenüberstanden. Die drei Polyamidsäurefolien wurden unter Hitze und Druck unter Verwendung einer Presse bei 100ºC und 25 kg/cm² 15 Minuten gebondet. Danach wurden Löcher unter Verwendung eines Stempels ausgebildet und eine der zwei Trennfolien wurde abgezogen. Die Polyamidsäurefolien-Seiten wurden mit der aufgerauten Oberfläche einer käuflichen Kupferfolie in Kontakt gebracht. Ein Bonden erfolgte unter Hitze und Druck unter Verwendung einer Presse bei 90ºC und 40 kg/cm² für 15 Minuten. Zuletzt wurde die verbleibende Trennfolie abgezogen und es erfolgte ein Erhitzen bei 380ºC für 1 Stunde, um die Imidisierung zu vervollständigen. Das nachfolgende Verfahren erfolgte ähnlich zu Beispiel 1, um eine doppelschichtige Folie für TAB zu erhalten.
  • Beispiel 5
  • 108 g gereinigtes, wasserfreies p-Phenylendiamin wurden in einen mit einem Thermometer, einem Rührer, einem Rückflusskühler und einem Einlass für trockenes Stickstoffgas ausgestatteten Vierhals-Trennkolben gegeben. Dazu wurde ein gemischtes Lösungsmittel, das aus 90 Gew.-% wasserfreiem N-Methyl-2-pyrrolidon und 10 Gew.-% wasserfreiem Toluol bestand, in einer solchen Menge gegeben, dass der Feststoffgehalt in den gesamten zugeführten Materialien 20 Gew.-% betrug, wodurch das zuerst zugeführte Material in dem gemischten Lösungsmittel gelöst wurde. Trockenes Stickstoffgas floss während der gesamten Schritte, von dem Herstellungsschritt der Reaktion bis zur Entnahme des Produkts. Sodann wurden 294 g gereinigtes, wasserfreies 3,3',4,4'-Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid in kleinen Portionen unter Rühren hinzugefügt. Da die Reaktion exotherm war, wurde das Reaktionssystem durch Zirkulieren von kaltem Wasser von etwa 15ºC in einem externen Wassertank abgekühlt. Nach der Zugabe wurde die interne Temperatur auf 20ºC gesetzt und es erfolgte ein Rühren für 5 Stunden, um die Reaktion zu vervollständigen, wodurch eine Polyamidsäurelösung (als A bezeichnet) erhalten wurde. Sodann wurden unter Verwendung der gleichen vorstehenden Vorrichtung und in der gleichen vorstehenden Weise 200 g wasserfreier 4,4'-Diaminodiphenylether und 218 g gereinigtes, wasserfreies Pyromellithsäuredianhydrid umgesetzt, um eine Polyamidsäurelösung (nachstehend als B bezeichnet) zu erhalten. A und B wurden so gemischt und gerührt, dass ein Feststoffverhältnis von A/B = 60/40 erhalten wurde.
  • Unter Verwendung der erhaltenen Polyamidsäurelösung und desgleichen Verfahrens wie in Beispiel 1 wurde eine halbgehärtete Polyamidsäurefolie erhalten. Sodann wurde eine doppelschichtige Folie für TAB aus dieser Folie erhalten.
  • Beispiel 6
  • Zwei ähnliche Polyamidsäurefolien, die gemäß Beispiel 5 erhalten wurden, wurden derart näher zusammengebracht, dass die entsprechenden Polyamidsäurefolien-Seiten sich gegenüberstanden. Sie wurden unter Hitze und Druck unter Verwendung einer Presse bei 100ºC und 20 kg/cm² 10 Minuten gebondet, um eine Polyamidsäure-Laminatfolie zu erhalten. Unter Verwendung dieser Polyamidsäure-Laminatfolie und in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 wurde eine doppelschichtige Folie für TAB erhalten.
  • Beispiel 7
  • Unter Verwendung der gleichen Polyamidsäurelösung wie in Beispiel 5 und in der gleichen Art und Weise wie in Beispiel 3 wurde eine doppelschichtige Folie für TAB erhalten.
  • Beispiel 8
  • Unter Verwendung der gleichen Vorrichtung und in der gleichen Art und Weise wie in Beispiel 5 wurden eine Lösung (als A bezeichnet) einer Polyamidsäure, die aus p-Phenylendiamin und 3,3',4,4'-Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid bestand, und eine Lösung (als B bezeichnet) einer Polyamidsäure, die aus 4,4'-Diaminodiphenylether und Pyromellithsäuredianhydrid bestand, hergestellt. A und B wurden so gemischt und gerührt, dass ein Feststoffverhältnis von A/B = 70/30 erhalten wurde. Unter Verwendung der erhaltenen Polyamidsäurelösung und der gleichen Art und Weise wie, in Beispiel 4 wurde eine doppelschichtige Folie für TAB erhalten.
  • Beispiel 9
  • Unter Verwendung der gleichen Vorrichtung und in der gleichen Art und Weise wie in Beispiel 5 wurden eine Lösung (als A bezeichnet) einer Polyamidsäure, die aus p-Phenylendiamin und 3,3',4,4'-Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid bestand, und eine Lösung (als B bezeichnet) einer Polyamidsäure, die aus 4,4'-Diaminodiphenylether und Pyromellithsäuredianhydrid bestand, hergestellt. A und B wurden so gemischt und gerührt, dass ein Feststoffverhältnis von A/B = 80/20 erhalten wurde. Das nachfolgende Verfahren erfolgte ähnlich zu Beispiel 1, wodurch eine doppelschichtige Folie für TAB erhalten wurde.
  • Die Bewertungsergebnisse für die in den Beispielen 5 bis 9 hergestellten Folien für TAB sind in der Tabelle 1 gezeigt. Tabelle 1
  • Anmerkungen *1: behandelt mit CH&sub2;Cl&sub2;
  • *2: Adhäsionsstärke zwischen Kupferfolie und Polyimidschicht
  • *3: 300ºC/3 min
  • : hervorragend
  • O: gut
  • Δ: annehmbar
  • Beispiel 10
  • Ein Mol 3,3'-Diaminodiphenylsulfon wurde in einen mit einem Thermometer, einem Rührer, einem Rückflusskühler und einem Einlass für trockenes Stickstoffgas ausgestatteten Vierhals-Trennkolben gegeben. Dazu wurde ein gemischtes Lösungsmittel, das aus 90 Gew.-% wasserfreiem N-Methyl-2-pyrrolidon und 10 Gew.-% wasserfreiem Toluol bestand, in einer solchen Menge gegeben, dass der Feststoffgehalt in den gesamten zugeführten Materialien 20 Gew.-% betrug, wodurch das zuerst zugeführte Material in dem gemischten Lösungsmittel gelöst wurde. Trockenes Stickstoffgas floss während der gesamten Schritte, von dem Herstellungsschritt der Reaktion bis zur Entnahme des Produkts. Sodann wurde 1 Mol gereinigtes, wasserfreies 3,3',4,4'-Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid in kleinen Portionen unter Rühren hinzugefügt. Da die Reaktion exotherm war, wurde kaltes Wasser von etwa 15ºC in einem externen Wassertank zirkulieren gelassen, um das Reaktionssystem abzukühlen.
  • Nach der Zugabe wurde die interne Temperatur auf 20ºC gesetzt, gefolgt von Rühren für 5 Stunden, um die Reaktion zu vervollständigen, wodurch eine Polyamidsäurelösung (A) erhalten wurde.
  • In die gleiche Vorrichtung und in der gleichen Art und Weise wurden 1 Mol gereinigtes, wasserfreies p-Phenylendiamin und 1 Mol gereinigter, wasserfreier 4,4'-Diaminophenylether gegeben. Dazu wurde ein gemischtes Lösungsmittel, das aus 90 Gew.-% wasserfreiem N-Methyl-2-pyrrolidon und 10 Gew.-% wasserfreiem Toluol bestand, in einer solchen Menge gegeben, dass der Feststoffgehalt in den gesamten zugeführten Materialien 20 Gew.-% betrug, wodurch die zwei zuerst zugeführten Materialien in dem gemischten Lösungsmittel gelöst wurden. Trockenes Stickstoffgas floss während der gesamten Schritte, von dem Herstellungsschritt der Reaktion bis zur Entnahme des Produkts. Sodann wurden 1 Mol gereinigtes, wasserfreies 3,3',4,4'-Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid und 1 Mol gereinigtes, wasserfreies Pyromellithsäuredianhydrid in kleinen Portionen unter Rühren hinzugegeben. Da die Reaktion exotherm war, wurde kaltes Wasser von etwa 15ºC in einem externen Wassertank zirkulieren gelassen, um das Reaktionssystem abzukühlen. Nach der Zugabe wurde die interne Temperatur auf 20ºC gesetzt, gefolgt von Rühren für 5 Stunden, um die Reaktion zu vervollständigen, wodurch eine Polyamidsäurelösung (B) erhalten wurde.
  • Beispiel 11
  • Ein Mol 1,3-Bis(3-aminophenoxy)benzol wurde in einen mit einem Thermometer, einem Rührer, einem Rückflusskühler und einem Einlass für trockenes Stickstoffgas ausgestatteten Vierhals-Trennkolben gegeben. Dazu wurde ein gemischtes Lösungsmittel, das aus 90 Gew.-% wasserfreiem N-Methyl-2-pyrrolidon und 10 Gew.-% wasserfreiem Toluol bestand, in einer solchen Menge gegeben, dass der Feststoffgehalt in den gesamten zugeführten Materialien 20 Gew.-% betrug, wodurch das zuerst zugeführte Material in dem gemischten Lösungsmittel gelöst wurde. Trockenes Stickstoffgas floss während der gesamten Schritte, von dem Herstellungsschritt der Reaktion bis zur Entnahme des Produkts. Sodann wurde 1 Mol gereinigtes, wasserfreies 3,3',4,4'-Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid in kleinen Portionen unter Rühren hinzugegeben. Da die Reaktion exotherm war, wurde kaltes Wasser von etwa 15ºC in einem externen Wassertank zirkulieren gelassen, um das Reaktionssystem abzukühlen. Nach der Zugabe wurde die interne Temperatur auf 20ºC gesetzt, gefolgt von Rühren für 5 Stunden, um die Reaktion zu vervollständigen, wodurch eine Polyamidsäurelösung (C) erhalten wurde.
  • In die gleiche Vorrichtung und in der gleichen Art und Weise wurde 1 Mol gereinigtes, wasserfreies p-Phenylendiamin gegeben. Dazu wurde ein gemischtes Lösungsmittel, das aus 90 Gew.-% wasserfreiem N-Methyl-2-pyrrolidon und 10 Gew.-% wasserfreiem Toluol bestand, in einer solchen Menge gegeben, dass der Feststoffgehalt in den gesamten zugeführten Materialien 20 Gew.-% betrug, wodurch das zuerst zugeführte Material in dem gemischten Lösungsmittel gelöst wurde. Trockenes Stickstoffgas floss während der gesamten Schritte, von dem Herstellungsschritt der Reaktion bis zur Entnahme des Produktes. Sodann wurde 1 Mol gereinigtes, wasserfreies 3,3',4,4'-Biphenyltetracarbonsäuredianhydrid in kleinen Portionen unter Rühren hinzugegeben. Da die Reaktion exotherm war, wurde kaltes Wasser von etwa 15ºC in einem externen Wassertank zirkulieren gelassen, um das Reaktionssystem abzukühlen. Nach der Zugabe wurde die interne Temperatur auf 20ºC gesetzt, gefolgt von Rühren für 5 Stunden, um die Reaktion zu vervollständigen, wodurch eine Polyamidsäurelösung (D) erhalten wurde.
  • Möglichkeit der industriellen Anwendung
  • Die erfindungsgemäße Folie für TAB kann in einem Verfahren zum Befestigen von Halbleitern bei sehr hoher Dichte bei einer Herstellung von Halbleiter-befestigten flexiblen gedruckten Schaltungen verwendet werden, die in Kameras, Flüssigkristall-Anzeigevorrichtungen, etc. verwendet werden.

Claims (4)

1. Verfahren zur Herstellung einer doppelschichtigen Folie für TAB, dadurch gekennzeichnet, dass gewünschte Löcher (3) in einer Polyamidsäurefolie (2) gebildet werden, die auf einer Trennmittelfolie (1) ausgebildet ist, wobei die Folie (2) einen Imidisierungsgrad von 10 bis 50% aufweist, sodann die Polyamidsäurefolie (2) und die Trennmittelfolie (1) mit einer Leiterfolie (4) laminiert werden, so dass die Polyamidsäurefolie (2) in Kontakt mit der Leiterfolie (4) gebracht wird, die Trennmittelfolie (1) abgezogen wird, die Imidisierung vervollständigt wird und ein gewünschtes Muster in der Leiterfolie (4) gebildet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Polyamidsäurefolie (2) einen Imidisierungsgrad von 20 bis 40% aufweist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, wobei die Polyamidsäurefolie (2) durch die Verwendung eines Lacks gebildet wird, der durch Mischen von A, einer Polyamidsäurelösung, die durch Umsetzen von 3,3',4,4'-Bisphenyltetracarbonsäuredianhydrid mit p-Phenylendiamin erhalten wird, mit B, einer Polyamidsäurelösung, die durch Umsetzen von Pyromellithsäuredianhydrid mit 4,4'-Diaminodiphenylether erhalten wird, bei einem Feststoffverhältnis von A/B = 55/45 bis 75/25 erhalten wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei nach Vervollständigung der Imidisierung die Löcher (3) mit einem gewünschten Füllstoff (8) befüllt werden und nach Bilden des Musters der Füllstoff (8) entfernt wird.
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