明 細 書 Specification
褐色化表面処理銅箔及びその製造方法並びにその褐色化表面処理銅 箔を用いたプラズマディスプレイの前面パネル用の電磁波遮蔽導電性メッシュ 技術分野 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a browned surface-treated copper foil, a method for producing the same, and an electromagnetic wave shielding conductive mesh for a front panel of a plasma display using the browned surface-treated copper foil.
[0001] 茶褐色化処理面を備える表面処理銅箔、その表面処理銅箔の製造方法及びその 表面処理銅箔を用いたプラズマディスプレイの前面パネル用の電磁波遮蔽導電性メ ッシュに関する。 The present invention relates to a surface-treated copper foil having a browned surface, a method for producing the surface-treated copper foil, and an electromagnetic shielding conductive mesh for a front panel of a plasma display using the surface-treated copper foil.
背景技術 Background art
[0002] プラズマディスプレイパネルのシールド用導電性メッシュは、金属化繊維織物から 導電性メッシュへと変遷してきた。この導電性メッシュの製造には、いくつかの方法が 確立されている。その一つは、表面処理銅箔を PETフィルムにラミネートして張り合 わせ、フォトリソグラフエッチング法を用いて製造するものである。そして、もう一つは、 表面処理銅箔を支持基材と共にフォトリソグラフエッチング法でエッチングして、その 後、支持基材を剥がした表面処理銅箔単体の導電性メッシュである。 [0002] The conductive mesh for shielding of a plasma display panel has changed from a metallized fiber fabric to a conductive mesh. Several methods have been established for the production of this conductive mesh. One method is to laminate the surface-treated copper foil on a PET film and attach them together, and then to manufacture them using photolithographic etching. The other is a conductive mesh of the surface-treated copper foil alone, in which the surface-treated copper foil is etched together with the supporting substrate by photolithographic etching, and then the supporting substrate is peeled off.
[0003] 更に、近年の省電力化の要求から、プラズマ発生信号電圧を 200Vから 50Vレべ ルを目標として開発が行われており、当該電圧の低下に伴う輝度の減少を補うため、 導電性メッシュの回路幅を細線ィ匕し、導電性メッシュによる前面ガラスパネルの被覆 率を減少させる試みがなされてきた。そのため、導電性メッシュの厚さを薄くして、ェ ツチングカ卩ェを容易にすることが行われてきた。その一つが、 PETフィルム上にスパ ッタリング蒸着法により、電気メツキの種となるシード層を形成し、その後電解銅メツキ 等で薄い銅層を形成し、フォトリソグラフエッチング法で、メッシュ線幅を微細化した導 電性メッシュの製造が行われてきた。 [0003] Further, in response to recent demands for power saving, development has been carried out with a target of a plasma generation signal voltage of 200 V to 50 V, and in order to compensate for a decrease in luminance due to the decrease in the voltage, a conductive property is required. Attempts have been made to reduce the circuit width of the mesh to reduce the coverage of the front glass panel with the conductive mesh. Therefore, the thickness of the conductive mesh has been reduced to facilitate the etching. One of them is to form a seed layer as a seed for electric plating on a PET film by sputtering vapor deposition, and then to form a thin copper layer with electrolytic copper plating, etc., and to reduce the mesh line width by photolithographic etching. The production of conductive mesh has been carried out.
[0004] V、ずれの方法で導電性メッシュが製造されるにせよ、導電性メッシュ自体は前面パ ネルの中に組み込まれ、前面ガラスを通して表面力 視認できるものであるため、そ の導電性メッシュに加工される表面処理銅箔の片面は、茶褐色から黒色の暗色状態 に処理され透過光の輝度を引き立たせるようにする。従来から、この処理には多層プ リント配線板の技術である、内層回路と榭脂層との接着性向上のために行う黒ィ匕処
理、ニッケル若しくはコバルト等の異種金属を用いた表面処理に転用されてきた。 [0004] Although the conductive mesh is manufactured by the method of V, the conductive mesh itself is incorporated in the front panel and the surface force can be visually recognized through the front glass. One side of the surface-treated copper foil is processed from dark brown to black to enhance the brightness of transmitted light. Conventionally, this processing is a technique of a multilayer printed wiring board, and is a technique for improving adhesion between an inner layer circuit and a resin layer. It has been diverted to surface treatment using different metals such as nickel or cobalt.
[0005] 非特許文献 1 : PDP材料の技術動向 日立化成テク-カルレポート 第 33号(1999 [0005] Non-Patent Document 1: Technical Trends of PDP Materials Hitachi Chemical Technical Report No. 33 (1999
7) 7)
特許文献 1:特開平 11—186785号公報 Patent Document 1: JP-A-11-186785
特許文献 2:特開 2000-31588公報 Patent Document 2: JP-A-2000-31588
発明の開示 Disclosure of the invention
発明が解決しょうとする課題 Problems to be solved by the invention
[0006] し力しながら、上述の黒ィ匕処理には、重大な問題があった。即ち、銅箔表面に銅の 黒色酸化物を多く付けると、確かに良好な黒色化面が得られる。ところが、銅箔の表 面に形成した銅の黒色酸ィ匕物は、付着量が多くなるほど、黒色化面から脱落しやす くなり、いわゆる粉落ち現象が起き、黒化処理面が損傷を受けやすぐハンドリングが 困難となるのである。 [0006] However, there is a serious problem with the above-mentioned black-and-white processing. That is, when a large amount of black oxide of copper is applied to the surface of the copper foil, a good blackened surface is certainly obtained. However, as the amount of copper black oxide formed on the surface of the copper foil increases, it tends to fall off from the blackened surface, causing a so-called powder dropping phenomenon, which damages the blackened surface. Soon handling becomes difficult.
[0007] 粉落ち現象が発生すると、脱落した黒色酸化物が無用な箇所に混入したり、前面 パネルのガラスと一体ィ匕させるための透明化処理の時に、透明接着剤層に分散して 透明度を劣化させる要因ともなり得るのである。 [0007] When the powder dropping phenomenon occurs, the dropped black oxide is mixed into an unnecessary portion, or is dispersed in the transparent adhesive layer during the transparency treatment for integrating with the glass of the front panel, and the transparency is reduced. Can also be a factor of deteriorating.
[0008] 一方で、良好な黒色化面を形成することの出来る黒色化処理として、一般的な黒 色ニッケルメツキ、硫ィ匕ニッケルメツキ、コバルトメツキ等が検討されてきた力 通常の 銅のエッチングプロセスで黒色化処理面側からのエッチングカ卩ェができな 、と 、う問 題が生じていた。特に、コバルトやニッケルをリッチに析出させた黒色化処理面を持 つ表面処理銅箔は、粉落ちの問題も解決できず、高価なニッケル等を多量に使用す るため高価な製品となっていた。 [0008] On the other hand, as a blackening treatment capable of forming a good blackened surface, general black nickel plating, sulfur plating nickel plating, cobalt plating, and the like have been studied. The problem has arisen that the etching process cannot be performed from the blackened surface side in the process. In particular, surface-treated copper foil, which has a blackened surface on which cobalt and nickel are deposited in a rich manner, cannot solve the problem of powder dropping and is an expensive product because it uses a large amount of expensive nickel and the like. Was.
[0009] 一方で、プラズマディスプレイパネルの製造技術が成熟し、従来は単に良好な黒色 化面を持つ表面処理銅箔が要求されてきたが、製造技術及び管理の高度化に伴い 、電磁波遮蔽メッシュの黒色度に高いレベルは必要ではなぐむしろ低価格で、しか もエッチング力卩ェが容易で光の透過度の安定した開口率の高 、メッシュパターンを 持つ電磁波遮蔽メッシュが望まれるようになつてきた。 [0009] On the other hand, the technology for manufacturing plasma display panels has matured, and conventionally, a surface-treated copper foil having only a good blackened surface has been demanded. A high level of blackness is not necessary, but rather a low price, but an electromagnetic wave shielding mesh having a mesh pattern with a high aperture ratio that is easy to etch and has a stable light transmittance has been desired. Was.
[0010] 従って、現在市場に流通しているコバルトの黒色系メツキ被膜を備えた銅箔には、 銅のエツチャントを用いてのコバルト層のエッチング力卩ェが困難であるという問題が生
じ、異種金属を減量して茶褐色の色調のものとすることを試みてきた。 [0010] Therefore, there is a problem in that the copper foil having a black-colored black coating film currently distributed on the market has difficulty in etching the cobalt layer using a copper etchant. Attempts have been made to reduce the amount of dissimilar metals to brownish tones.
[0011] 確かに、低価格という条件を満たし、且つ、エッチングが容易と言うことを考えれば、 表面処理銅箔の表面を黒色化しな!/、で、コバルト等の付着量を減らして茶褐色の状 態で市場供給する事が今後予測されることとなる。ところが、やはりコバルトや-ッケ ル等の異種金属を用いることに何ら代わりはなぐエッチング廃液処理の負荷も大き ぐエッチング阻害要因となる異種金属を含まない銅箔とのエッチング性能の差を完 全に無くすことは不可能である。 [0011] Certainly, considering that the condition of low cost is satisfied and that etching is easy, do not blacken the surface of the surface-treated copper foil! / It is expected that the market will be supplied in this state. However, the use of dissimilar metals such as cobalt and nickel also makes no difference in the load of etching waste liquid treatment, and completely eliminates the difference in etching performance with copper foil that does not contain dissimilar metals, which is a factor inhibiting etching. It is impossible to eliminate it.
[0012] し力も、従来の茶褐色の表面を持つ表面処理銅箔の欠点は、その茶褐色面の色が 均一ではなぐ全面にムラが生じたものであった。即ち、同一面内における茶褐色処 理の均一化が出来ていないのであり、厳密に言えば、その茶褐色面からエッチング 加工をしょうとしたときには、エッチングして得られるメッシュの断面形状のバラツキを 生じる原因となっていたのである。しかも、その茶褐色面は、艷消し状態であり、その 表面を軽く摩擦するだけで、損傷を受けやす!、ものであった。 The drawback of the conventional surface-treated copper foil having a brownish surface is that the brownish surface is not uniform in color but has unevenness on the entire surface. In other words, it is not possible to uniformize the brown treatment in the same plane. Strictly speaking, when trying to etch from the brown surface, the cross-sectional shape of the mesh obtained by etching may vary. It had become. Moreover, the brown surface is in a matte state, and is easily damaged by rubbing the surface lightly! Was the thing.
[0013] そのため、巿場では、均一な茶褐色を持つ茶褐色化処理層を備え、且つ、エッチ ングカ卩ェ可能が更に容易となるようにエッチング阻害要因となる異種金属を含まない プラズマディスプレイパネルの電磁波遮蔽メッシュ用の表面処理銅箔が望まれてきた のである。 [0013] Therefore, in the field, the electromagnetic wave of the plasma display panel is provided with a browning treatment layer having a uniform brownish color, and not containing a dissimilar metal which becomes an etching hindrance so that etching can be performed more easily. Surface-treated copper foil for shielding mesh has been desired.
課題を解決するための手段 Means for solving the problem
[0014] そこで、本件発明者等は、鋭意研究の結果、以下に示すような製造方法で表面処 理銅箔を製造すると、従来に無い、エッチング阻害要因となる異種金属を含まない表 面処理銅箔を得ることが出来ることに想到したのである。 [0014] The inventors of the present invention have conducted intensive studies and found that when a surface-treated copper foil is manufactured by the following manufacturing method, a surface treatment that does not include a dissimilar metal, which is a conventional etching inhibiting factor, does not exist. I came up with the idea that copper foil could be obtained.
[0015] <褐色化表面処理銅箔 > [0015] <Brown surface-treated copper foil>
以下に述べる褐色化表面処理銅箔は、後述する製造方法のように、多段階に行う 銅メツキにより形成された褐色化処理面を備える銅箔である。本件発明において、「 多段階に行う銅メツキ」とは、一回のメツキ処理操作により形成するのではなぐ 2回以 上の複数回のメツキ処理操作を採用した銅メツキ処理のことである。ここで、下地の銅 箔には、電解銅箔若しくは圧延銅箔のいずれをも用いることが可能である。そして、 電解銅箔を用いた場合には、その光沢面又は粗面のいずれをも選択的に使用する
ことが可能となる。 The browned surface-treated copper foil described below is a copper foil provided with a browned surface formed by copper plating performed in multiple stages, as in a manufacturing method described later. In the present invention, the “multi-stage copper plating” refers to a copper plating process that employs two or more plating processes instead of being formed by a single plating process. Here, as the base copper foil, either an electrolytic copper foil or a rolled copper foil can be used. When using electrolytic copper foil, either its glossy surface or rough surface is selectively used. It becomes possible.
[0016] 本件発明に係る表面処理銅箔の持つ第 1の特色は、その褐色化処理面の表面形 状が極めて粗いものではなぐ当該褐色化処理面の持つ断面高さが 150nm以下で あることが第 1の特徴である。即ち、極めて滑らかで光沢を持つ褐色化処理面というこ とができる。但し、誤解を招かないために明記しておくが、通常の製造工程の範囲内 におけるバラツキが存在するのは当然であり、必ずしも全ての位置での断面高さが 1 50nm以下である必要はなぐ製造工程のバラツキを反映した程度で 150nmを超え る断面高さが存在する場合があるのは当然である。本件発明に係る表面処理銅箔 1 の褐色化処理面 2の断面高さを測定するために、 FIB分析装置を用いて断面観察し た FIB観察像を図 1に示す。この図 1には、電解銅箔の光沢面に褐色化処理面を形 成したものを示している。なお、この FIB観察像は、被観察面に対して 60° の角度を 持った方向から観察したものである。 [0016] The first characteristic of the surface-treated copper foil according to the present invention is that the browned surface has a cross-sectional height of 150 nm or less, which is not extremely rough. Is the first feature. That is, it can be said that the surface is extremely smooth and has a glossy browning. However, to avoid misunderstanding, it should be specified, but it is natural that there is variation within the normal manufacturing process, and it is not necessary that the cross-sectional height at all positions be 150 nm or less. It is natural that there may be cross-sectional heights exceeding 150 nm that reflect variations in the manufacturing process. FIG. 1 shows a FIB observation image obtained by observing a cross section using a FIB analyzer in order to measure the cross-sectional height of the browned surface 2 of the surface-treated copper foil 1 according to the present invention. FIG. 1 shows an electro-deposited copper foil formed with a browned surface on a glossy surface. This FIB observation image was observed from a direction having an angle of 60 ° with respect to the surface to be observed.
[0017] この図 1から分力るように、褐色化処理面の断面は一定の凹凸が存在することが明 らかであり、このような凹凸をモニターする場合、触針式の表面粗さ計を用いるのが 一般的である。ところ力 図 1のスケール力 分力るように、表面粗さ計では正確な粗 さ測定が不可能なレベルの凹凸であると考えられる。そこで、本件発明では、表面粗 さ計で測ったときの Rmaxに対応する値として、 FIB観察像の視野の中の山部と谷部 との最大差を「断面高さ」としているのである。この図 1の中に「d」で示す箇所力 図 1 の断面高さとなり、約 80nmと判断できるのである。し力も、図 1において、褐色化処 理面 2は、極めて均一な厚さで銅箔表面の形状に沿って形成されており、下地の銅 箔表面と完全に密着した状態を維持しており、褐色化処理面 2が浮き上がる等の不 具合箇所は見あたらず、粉落ちを予感させる箇所は見られな 、のである。 As can be seen from FIG. 1, it is clear that the cross section of the browned surface has certain irregularities. When such irregularities are monitored, a stylus-type surface roughness is used. It is common to use a meter. However, as shown in Fig. 1, it is considered that the surface roughness is at a level that makes it impossible to accurately measure the roughness. Therefore, in the present invention, the maximum difference between the peak and the valley in the field of view of the FIB observation image is defined as the “cross-sectional height” as a value corresponding to Rmax measured by a surface roughness meter. The local force indicated by "d" in Fig. 1 is the cross-sectional height of Fig. 1, which can be determined to be about 80nm. In Fig. 1, the browning surface 2 in Fig. 1 is formed with an extremely uniform thickness along the shape of the copper foil surface, and maintains a state of perfect adhesion to the underlying copper foil surface. No trouble spots such as the raised browning surface 2 were found, and no spots that would give a sense of powder falling were found.
[0018] これに対し、従来の褐色化処理面を備える銅箔の褐色化処理面を、上述したと同 様に断面力 FIB分析すると、図 2に示すような結果となる。即ち、褐色化処理面を構 成する形状が樹枝状に成長し、下地の銅箔からかなり突出した状態となっていること が分力るのである。従って、このときの断面高さ(d)を測定すると約 180nmとなり、か なり荒れた表面になっていることが理解できるのである。し力も、このような、榭枝形状 を持つ褐色化処理面は、その樹枝状部が折れ易く損傷を受けやすい表面であると
言え、しかも、折れた断片が脱落すれば粉落ちが発生するのも当然であり、褐色化 処理表面から目視で見たとき色ムラを引き起こす原因となっていると考えられるので ある。 On the other hand, when the cross-sectional force FIB analysis is performed on the browned surface of the conventional copper foil having the browned surface in the same manner as described above, the result shown in FIG. 2 is obtained. In other words, it is a force that the shape constituting the browned surface grows like a dendrite and is considerably protruded from the underlying copper foil. Therefore, when the cross-section height (d) at this time is measured, it is about 180 nm, and it can be understood that the surface is considerably rough. Also, such a browned surface having a branch shape is a surface whose dendrites are easily broken and easily damaged. Of course, if the broken pieces fall off, it is natural that powder will fall off, which is considered to be the cause of color unevenness when visually observed from the browned surface.
[0019] 以上に述べてきた本件発明に係る表面処理銅箔は、図 1の FIB断面観察像から見 ても極めて滑らかな表面を持っていることが理解できる。ところが、光沢のある褐色化 処理ではあるが、褐色化処理表面が受けた光を乱反射する程の光沢を有するわけ ではなぐ電解銅箔の光沢面及び圧延銅箔の表面に褐色化処理を施した場合でも、 Lab表色系における a値が 4. 0以下となるのである。ここで、 4. 0以下と記載している ように、光沢として負の値を示す艷消し状態をも含むものである。このような艷消し状 態の褐色化処理面は、電解銅箔の粗面に褐色化処理を施した場合に形成されやす いものである。 It can be understood that the surface-treated copper foil according to the present invention described above has an extremely smooth surface even from the FIB cross-sectional observation image in FIG. However, although it is a glossy browning treatment, it does not have a gloss enough to diffusely reflect the light received by the browning treated surface, and the browning treatment was applied to the glossy surface of the electrolytic copper foil and the surface of the rolled copper foil. Even in this case, the a value in the Lab color system is less than 4.0. Here, as described as 4.0 or less, it includes a matte state showing a negative value as gloss. Such a browned surface in the matte state is easily formed when the roughened surface of the electrolytic copper foil is subjected to the browning process.
[0020] 褐色化処理面の表面が艷消し状態であるか否かは、 Lab表色系よりも光沢度を用 いて表すことの方が好ましい。し力しながら、本件発明に係る褐色化処理面の光沢度 は、褐色化処理面を形成する下地の種類に応じて分類すべきである。一つは、前記 褐色化処理面は、電解銅箔の光沢面若しくは圧延銅箔の表面に当該褐色化処理面 を形成したものである場合には、光沢度 [Gs (60° ;) ]が 10以下であることが好ましい のである。光沢度が 10以上となると、所謂黒光りする状態となり金属光沢が目立つよ うになるのである。 [0020] Whether or not the surface of the browned surface is in a matte state is more preferably expressed using glossiness than in the Lab color system. However, the glossiness of the browned surface according to the present invention should be classified according to the type of the substrate forming the browned surface. One is that when the browned surface is a glossy surface of an electrolytic copper foil or a surface of a rolled copper foil with the browned surface, the glossiness [Gs (60 °;)] is obtained. It is preferable that it is 10 or less. When the degree of gloss is 10 or more, a so-called black glow is created, and the metallic luster becomes conspicuous.
[0021] そして、電解銅箔の粗面のように凹凸のある下地を選択した場合の当該褐色化処 理面は、光沢度 [Gs (60° ) ]が 3以下である事が望ま 、のである。光沢度が 3以上 となると、褐色化処理面を構成するャケメツキとの関係で、粉落ちしやすい表面となつ ている可能性が高くなるのである。 [0021] Then, in the case where an uneven base such as a rough surface of an electrolytic copper foil is selected, it is desirable that the browning-treated surface has a gloss [Gs (60 °)] of 3 or less. is there. When the glossiness is 3 or more, it is more likely that the surface has a surface that is easy to fall off due to the relationship between the browning surface and the shrinkage.
[0022] また、前記褐色化処理面に防鲭処理層を備えるものとすることも好ま ヽ。本件発 明に係る表面処理銅箔の長期保存性を確保できるカゝらである。この防鲭処理層には 、褐色化処理層の変色を引き起こすことなぐしかも、銅エッチング液により容易に溶 解可能なものであれば、亜鉛、真鍮等の無機防鲭、ベンゾトリァゾール、イミダゾール 等の有機防鲭等の 、ずれをも用いることが可能である。 [0022] It is also preferable that the browning surface is provided with a water-proof treatment layer. This is a glass that can ensure long-term storage properties of the surface-treated copper foil according to the present invention. The protective layer does not cause discoloration of the browning layer, and if it can be easily dissolved by a copper etchant, it can be an inorganic protective layer such as zinc or brass, benzotriazole, imidazole, or the like. It is also possible to use deviations such as organic protection.
[0023] <褐色化処理面を備える表面処理銅箔の製造方法 >
(褐色化処理面を備える表面処理銅箔の製造方法 1) <Method for Producing Surface-treated Copper Foil with Browning Surface> (Production method 1 of surface-treated copper foil with browning treated surface)
本件発明における黒色化処理面を備える表面処理銅箔の基本的製造方法は、以 下の工程 a—工程 eの各工程を備えるのである。そして、褐色化処理面を形成する銅 メツキを 1回のメツキ操作で形成するのではなぐ複数回のメツキ工程に分け、多段的 に銅メツキを行う点に特徴を持つのである。以下、工程ごとに説明する。 The basic method for producing a surface-treated copper foil having a blackened surface according to the present invention includes the following steps a to e. The feature is that the copper plating that forms the browned surface is divided into multiple plating processes instead of being formed by a single plating operation, and copper plating is performed in multiple stages. Hereinafter, each step will be described.
[0024] 工程 a : 硫酸銅系メツキ溶液をャケメツキ条件で用いて、銅箔の表面を褐色にする ための最初のメツキ処理 (以下、「基礎メツキ処理」と称する。)であり、本件発明にお Vヽて基礎メツキ処理工程と称する。 Step a: This is the first plating treatment for browning the surface of the copper foil using the copper sulfate plating solution under the plating condition (hereinafter referred to as “basic plating treatment”). This is called the basic plating process.
[0025] ここで、基礎メツキ工程で被メツキ対象となる銅箔は、粗ィ匕処理を行って 、ても、粗 化処理のな!、ものでも構わな 、のである。この粗化処理とは張り合わせる基材等との 良好な密着性を得るために施されるものであり、微細な銅粒を付着させるか、黒色に 見える銅酸ィ匕物を付着させられる等の方法により意図的に粗化させたものである。 [0025] Here, the copper foil to be plated in the basic plating step may be subjected to a roughening treatment or a roughening treatment, or may be roughened. This roughening treatment is performed in order to obtain good adhesion to a base material to be laminated, for example, by attaching fine copper particles or by attaching a copper-colored oxidized product that looks black. It was intentionally roughened by the method described above.
[0026] この基礎メツキ工程では、いわゆる銅のャケメツキ条件でメツキ処理を行うのである。 In this basic plating step, plating processing is performed under so-called copper plating conditions.
但し、この基礎メツキ工程で行うャケメツキは、ある程度の凹凸を銅箔表面に形成する ための核を形成する為のものであり、走査型電子顕微鏡で基礎メツキ工程後の銅箔 表面を観察しても、明確に粗ィ匕されたような状態には見えないのである。 However, the plating performed in the basic plating process is for forming a nucleus for forming a certain degree of unevenness on the copper foil surface, and the surface of the copper foil after the basic plating process is observed with a scanning electron microscope. Does not appear to be clearly roughened.
[0027] 従って、この基礎メツキ工程で電着するャケメツキ量は、完全に平滑且つ平坦な平 面ヘメツキ処理したとしたときの換算厚さ(以下、単に「換算厚さ」と称する。)として、 3 OOmgZm2— 600mgZm2程度の電着量とすべきである。 300mgZm2未満の場合 には、十分な粗化するための核が形成されたとは言えず、後述する追加メツキ処理を 行っても良好な褐色化処理面を形成し得ないのである。一方、 600mgZm2を超え た場合には、後述する追加メツキ処理を施すと粗化処理が進行しすぎて、粉落ちし やす 、褐色化処理表面が形成されるのである。 [0027] Accordingly, the amount of plating to be electrodeposited in the basic plating step is a converted thickness (hereinafter simply referred to as a "converted thickness") assuming that a completely smooth and flat flat surface is plated. 3 OOmgZm 2 - should be 600MgZm 2 about electrodeposition amount. If it is less than 300 mgZm 2 , it cannot be said that nuclei for sufficient roughening have been formed, and even if the additional plating treatment described later is performed, a good browned surface cannot be formed. On the other hand, when it exceeds 600 mgZm 2 , if an additional plating treatment described later is performed, the roughening treatment proceeds excessively, so that the powder easily falls off and a browned surface is formed.
[0028] ここでのャケメツキの条件は、特に限定されるものではなぐ生産ラインの特質を考 慮して定められるものである。例えば、硫酸銅系溶液を用いるのであれば、濃度が銅 5— 20gZl、硫酸 50— 200gZl、その他必要に応じた添加剤( α—ナフトキノリン、デ キストリン、二カヮ、チォ尿素等)、液温 15— 40°C、電流密度 10— 50AZdm2の条件 とする等である。
[0029] 工程 b : この工程は、基礎メツキ処理された銅箔の表面に、硫酸銅系メツキ溶液を ャケメツキ条件で用いて 1回以上の追加のメツキ処理を施す追加メツキ処理工程であ る。この追加メツキ処理工程におけるャケメツキ条件は、工程 a.と同様の条件を採用 しても差し支えないが、工程 a.で銅箔の表面に凹凸を形成することとなる核が存在し ているため、電流密度を工程 a.の場合の半分以下にすることで、下地の核に対する 電流集中を防止して無用な異常析出を防止することが好ましいのである。即ち、工程 aにおいてャケメツキを行う際に採用する電流密度 (la)に対し、工程 bでャケメツキを 行う際に採用する電流密度 (lb)は、 laの 50%以下の電流密度とするのである。 [0028] The conditions of the damage here are not particularly limited, but are determined in consideration of the characteristics of the production line. For example, if a copper sulfate solution is used, the concentration of copper is 5-20 gZl, sulfuric acid is 50-200 gZl, other additives (α-naphthoquinoline, dextrin, dika, thiourea, etc.), and the liquid temperature 15- 40 ° C, and the like to a current density of 10- 50AZdm 2. Step b : This step is an additional plating treatment step of subjecting the surface of the copper foil that has been subjected to the basic plating treatment to one or more additional plating treatments using a copper sulfate plating solution under a plating condition. The same conditions as in step a. Can be used for the scoring conditions in this additional plating treatment step, but since there are nuclei that will form irregularities on the copper foil surface in step a. It is preferable that the current density be less than half of that in step a. To prevent the current from concentrating on the underlying nucleus and prevent unnecessary abnormal deposition. That is, the current density (la) used when performing the scuffing in the step b is set to be 50% or less of the la, while the current density (la) used when performing the scuffing in the step a.
[0030] ここで、「1回以上の追加のメツキ処理」としているように、 2回以上の複数回のメツキ 処理を行うことも可能である。但し、このときの基礎メツキ処理と追加メツキ処理とにより 形成されるメツキ処理面は、目に見えて粗ィ匕した凹凸状態を形成するのではなぐ被 メツキ処理表面を均一に被覆し、ある程度軽度の粗化状態を作り出すことが出来れ ばよいのである。従って、軽度の粗ィ匕状態を作り出すために、基礎メツキ工程と追カロ メッキエ程とのトータル電流及びトータル電解時間を制御することが必要となる点に 留意すべきである。 Here, it is also possible to perform two or more times of plating processes, as described as “one or more additional plating processes”. However, the plating surface formed by the basic plating process and the additional plating process at this time uniformly coats the plating surface to be treated, which does not form a visually roughened unevenness, and is somewhat mild. It is only necessary to be able to create a roughened state. Therefore, it should be noted that it is necessary to control the total current and the total electrolysis time between the basic plating process and the additional plating process in order to create a mild rough state.
[0031] 上述した基礎メッキエ程でのメツキ量を基準に、追加メッキエ程での適正な電着量 は、換算厚さとして、 50mgZm2— 300mgZm2程度の電着量とすべきである。 50m g/m2未満の場合には、工程 aで核形成した表面に適正な凹凸形状を付与し得ず、 良好な褐色化処理面が得られないのである。一方、 300mgZm2を超えた場合には 工程 aで形成した核成長が過剰になりすぎて粉落ちしやすい褐色化処理面が形成さ れるのである。 Based on the plating amount in the basic plating step described above, the appropriate electrodeposition amount in the additional plating step should be about 50 mgZm 2 to 300 mgZm 2 in terms of reduced thickness. If it is less than 50 mg / m 2 , it is not possible to impart an appropriate uneven shape to the surface formed with nuclei in step a, and a favorable browned surface cannot be obtained. On the other hand, if it exceeds 300 mgZm 2 , the nucleus formed in step a becomes excessive, and a browned surface that is easy to fall off is formed.
[0032] 工程 c : この工程は、工程 a及び工程 bによりャケメツキを施した銅箔面に、銅メツキ 溶液を用いて平滑メツキ条件でメツキ処理を行う被覆メツキ処理工程である。被覆メッ キエ程は、工程 a及び工程 bで粗ィ匕処理した表面を滑らかにするためのメツキ処理で あり、ャケメツキした表面を被覆するように銅を均一析出させるための工程である。従 つて、ここでは、銅の平滑メツキ可能な銅電解液の全てを使用することが可能である。 この平滑メツキ条件は、特に限定されるものではなぐ生産ラインの特質を考慮して定 められるものである。例えば、硫酸銅系溶液を用いるのであれば、濃度が銅 50— 80
gZl、硫酸 50— 150gZl、液温 40— 50°C、電流密度 10— 50AZdm2の条件とする 等である。 Step c: This step is a coating plating treatment step of performing plating treatment on the copper foil surface subjected to plating in Steps a and b under a smooth plating condition using a copper plating solution. The coating process is a plating process for smoothing the surface roughened in the steps a and b, and is a process for uniformly depositing copper so as to cover the roughened surface. Therefore, here, it is possible to use all of the copper electrolytes that can smooth copper. The conditions of the smooth plating are determined in consideration of the characteristics of the production line, which is not particularly limited. For example, if a copper sulfate solution is used, the concentration of copper should be 50-80. GZL, and the like to sulfuric 50- 150gZl, liquid temperature 40- 50 ° C, a current density of 10- 50AZdm 2.
[0033] 但し、電解時間は、ャケメツキにより粗ィ匕した形状が平滑になり過ぎないよう、完全 に平滑且つ平坦な平面ヘメツキ処理したとしたときの換算厚さとして、 5g/m2- 10g Zm2程度の電着量とすべきである。 5g/m2未満の場合には、工程 a及び工程 bで 粗ィ匕処理した表面を滑らかにする効果が得られないのである。一方、 lOgZm2を超 えた場合には工程 a及び工程 bで粗ィ匕処理した表面が滑らかになり過ぎて褐色化処 理表面の色が金属光沢を増すのである。 [0033] However, electrolysis time, so that is not too smooth Soi匕shape by Yakemetsuki, as the conversion thickness when formed into a complete and smooth and flat surface Hemetsuki process, 5g / m 2 - 10g Zm The electrodeposition should be about 2 . If it is less than 5 g / m 2 , the effect of smoothing the surface roughened in the steps a and b cannot be obtained. On the other hand, when lOgZm 2 is exceeded, the surface roughened in steps a and b becomes too smooth, and the color of the browned surface increases the metallic luster.
[0034] 工程 d : この工程は、工程 cが終了し平滑メツキ処理のなされた表面に、銅メツキ溶 液をャケメツキ条件で用いて、銅箔表面を褐色に仕上げるためのメツキ処理 (以下、「 仕上げメツキ処理」と称する。)を施す仕上げメツキ処理工程である。この工程におけ る、ャケメツキと、前述の基礎メツキ工程及び追加メッキエ程との違いは、この工程で は粗化処理を極めて微細な銅粒 (以下、「極微細銅粒」と称する。)を用いて行うので ある。 Step d: This step is a plating treatment for finishing the copper foil surface to a brown color by using a copper plating solution under the plating condition on the surface subjected to the smooth plating treatment after the completion of the step c (hereinafter referred to as “the plating treatment”). This is referred to as “finish plating processing”). In this step, the difference between the plating process and the above-mentioned basic plating process and additional plating process is that in this process, the roughening treatment is performed using extremely fine copper particles (hereinafter, referred to as “ultra-fine copper particles”). It is done using it.
[0035] この極微細銅粒の形成には、一般に砒素を含んだ銅電解液が用いられる。係る場 合の電解条件の一例を挙げれば、硫酸銅系溶液であって、濃度が銅 10gZl、硫酸 1 OOg/U砒素 1. 5gZl、液温 38°C、電流密度 30AZdm2とする等であった。しかし ながら、本件発明では、近年の環境問題の盛り上がりより、人体に影響を与える可能 性がより低い添加剤として、砒素に代え、 9 フエ二ルァクリジンを添加した銅電解液 を用いることとした。 9 フエ-ルァクリジンは、銅電解の場において、砒素の果たす役 割と同様の役割を果たし、析出する微細銅粒の整粒効果と、均一電着を可能とする ものである。即ち、 9 フエ-ルァクリジンを添カ卩した極微細銅粒を形成するための銅 電解液としては、濃度が銅 5— 15gZl、フリー硫酸 40— 100gZl、 9ーフエ-ルアタリ ジン 50— 300mg/l、塩素濃度 20ppm— 32ppm、液温 30— 40°C、電流密度 20— 40A/dm2 が極めて安定した電解操業を可能とすることの出来る範囲となる。より 好ましくは、銅 10— 15gZl、フリー硫酸 40— 70gZl、 9 フエ-ルァクリジン 100— 2 00mg/U塩素濃度 25ppm— 30ppm、液温 30— 40。C、電流密度 20— 40AZdm 2の範囲である。この範囲が最も操業安定性及びメツキ液として溶液安定性に優れ、
本件発明に係る表面処理銅箔の生産歩留まりが高くなるのである。 [0035] In forming the ultrafine copper particles, a copper electrolyte containing arsenic is generally used. One example of electrolysis conditions cases according, a a copper sulfate solution, the concentration of copper 10gZl, 1 OOg / U arsenic 1. 5GZl sulfate, liquid temperature 38 ° C, equal to the current density 30AZdm 2 Was. However, according to the present invention, a copper electrolyte to which 9-phenylacrylidine is added instead of arsenic is used as an additive having a lower possibility of affecting the human body due to the rise of environmental problems in recent years. 9 Ferracridine plays a role similar to that of arsenic in the field of copper electrolysis, enabling the sizing effect of fine copper particles deposited and uniform electrodeposition. That is, as a copper electrolyte for forming ultra-fine copper particles added with 9-phenylacridine, the concentration of copper is 5 to 15 gZl, free sulfuric acid is 40 to 100 gZl, 9-phenylatalidine is 50 to 300 mg / l, A chlorine concentration of 20 ppm to 32 ppm, a liquid temperature of 30 to 40 ° C, and a current density of 20 to 40 A / dm 2 are within the range where extremely stable electrolytic operation can be performed. More preferably, copper is 10 to 15 gZl, free sulfuric acid is 40 to 70 gZl, 9 phenylacridine is 100 to 200 mg / U, chlorine concentration is 25 ppm to 30 ppm, and liquid temperature is 30 to 40. C, current density is in the range of 20-40 AZdm2. This range is most excellent in operation stability and solution stability as a plating solution, The production yield of the surface-treated copper foil according to the present invention is increased.
[0036] 工程 e : この工程は、上述の各工程の終了後、水洗、乾燥し、褐色化表面処理銅 箔とする洗浄,乾燥工程である。水洗及び乾燥は、定法に従って行えば良ぐ特殊な 条件はない。但し、ここで言う水洗は、単に最終水洗を意味するものであり、各工程 間では前工程の溶液を後工程に持ち込まないように、常識的な範囲で考えられる水 洗は適宜設けて 、ることを明記しておく。 Step e: This step is a washing and drying step after completion of each of the above steps, washing with water and drying to obtain a browned surface-treated copper foil. There are no special conditions for washing and drying that can be performed in accordance with the usual methods. However, the rinsing referred to here simply means the final rinsing, and rinsing that can be considered within a common sense is appropriately provided between each process so as not to bring the solution of the previous process into the subsequent process. Please note that.
[0037] (褐色化処理面を備える表面処理銅箔の製造方法 2) (Method 2 for producing surface-treated copper foil having browning-treated surface)
この製造方法は、以下に示す工程 a—工程 fの各工程を備えた褐色化表面処理銅 箔の製造方法である。 This production method is a method for producing a browned surface-treated copper foil including the following steps a to f.
[0038] 工程 a : 硫酸銅系メツキ溶液をャケメツキ条件で用いて、銅箔の表面を褐色にするた めの最初のメツキ処理 (以下、「基礎メツキ処理」と称する。)を施す基礎メツキ処理工 程。 [0038] Step a: Basic plating treatment in which the first plating treatment for browning the surface of the copper foil (hereinafter referred to as "basic plating treatment") is performed using a copper sulfate plating solution under the covering condition. Process.
工程 b : 基礎メツキ処理された銅箔の表面に、硫酸銅系メツキ溶液をャケメツキ条件 で用いて 1回以上の追加のメツキ処理を施す追加メツキ処理工程。 Process b: An additional plating process in which a copper sulfate-based plating solution is subjected to one or more additional plating processes on the surface of the copper foil that has been subjected to the basic plating process, under a plating condition.
工程 c : 工程 a及び工程 bによりャケメツキを施した銅箔面に、硫酸銅系メツキ溶液を 用いて平滑メツキ条件でメツキ処理を行う被覆メツキ処理工程。 Step c: A coating plating treatment step in which the copper foil surface subjected to plating in Steps a and b is plated with a copper sulfate plating solution under smooth plating conditions.
工程 d : 工程 cが終了し平滑メツキ処理のなされた表面に、硫酸銅系メツキ溶液をャ ケメツキ条件で用いて、銅箔表面を褐色に仕上げるためのメツキ処理 (以下、「仕上げ メツキ処理」と称する。)を施す仕上げメツキ処理工程。 Step d: On the surface that has been subjected to the step c and has been subjected to the smooth plating treatment, a plating treatment for finishing the copper foil surface to brown using a copper sulfate plating solution under the plating condition (hereinafter referred to as `` finish plating treatment ''). Finishing process for applying a finish.
工程 e : 以上の工程により褐色化処理の終了した銅箔の表面に防鲭処理を施す防 鲭処理工程。 Step e: a water-proofing treatment step of performing a water-proofing treatment on the surface of the copper foil which has been subjected to the browning treatment by the above steps.
工程 f : 上述の各工程の終了後、水洗、乾燥し、褐色化表面処理銅箔とする洗浄 · 乾燥工程。 Step f: After each of the above steps, a washing and drying step of washing and drying to obtain a browned surface-treated copper foil.
[0039] 以上の工程から明らかなように、製造方法 1に防鲭処理工程が加わった工程である 。従って、重複した説明を避けるため、防鲭処理工程に関してのみ説明する。 As is apparent from the above steps, this is a step in which a protection process is added to the manufacturing method 1. Therefore, in order to avoid redundant description, only the protection process will be described.
[0040] 防鲭処理工程では、褐色化処理面の変色きたさず、銅エッチング液でのエッチング 除去が容易で、同時に表面処理銅箔の表面が酸化腐食することを防止する処理を 行うのである。この防鲭処理に用いる方法は、ベンゾトリァゾール、イミダゾール等を
用いる有機防鲭、若しくは亜鉛、クロメート、亜鉛合金等を用いる無機防鲭のいずれ を採用しても問題はない。表面処理銅箔の使用目的に合わせた防鲭を選択すれば よい。有機防鲭の場合は、有機防鲭剤を浸漬塗布、シャワーリング塗布、電着法等 の手法を採用することが可能となる。無機防鲭の場合は、電解で防鲭元素を表面処 理銅箔の表面上に析出させる方法、その他いわゆる置換析出法等を用いることが可 能である。例えば、亜鉛防鲭処理を行うとして、ピロ燐酸亜鉛メツキ浴、シアンィ匕亜鉛 メツキ浴、硫酸亜鉛メツキ浴等を用いることが可能である。例えば、ピロ燐酸亜鉛メッ キ浴であれば、濃度が亜鉛 5— 30gZl、ピロ燐酸カリウム 50— 500gZl、液温 20— 5 0°C、 pH9— 12、電流密度 0. 3— lOAZdm2の条件とする等である。 [0040] In the anti-shearing treatment step, the surface of the surface-treated copper foil is prevented from being oxidized and corroded without causing discoloration of the browned surface and being easily removed by etching with a copper etching solution. Benzotriazole, imidazole, etc. are used for this protection treatment. It does not matter whether the organic barrier used or the inorganic barrier using zinc, chromate, zinc alloy or the like is adopted. What is necessary is just to select the protection in accordance with the intended use of the surface-treated copper foil. In the case of organic protection, it is possible to adopt a method such as dip coating, showering coating, and electrodeposition of an organic protection agent. In the case of inorganic protection, it is possible to use a method in which a protection element is deposited on the surface of the surface-treated copper foil by electrolysis, or a so-called displacement deposition method. For example, a zinc pyrophosphate plating bath, a cyanide zinc plating bath, a zinc sulfate plating bath, or the like can be used as the zinc prevention treatment. For example, if the pyrophosphate galvanizing bath, concentration of zinc 5-30GZl, potassium pyrophosphate 50- 500GZl, liquid temperature 20- 5 0 ° C, pH9- 12 , and a current density of 0. 3- lOAZdm 2 And so on.
[0041] また、本件発明に係る表面処理銅箔の褐色化処理面の色調に影響を与えな!/、無 機防鲭として亜鉛 ニッケル合金メッキ液又は亜鉛 コバルト合金メッキ液を用いてメ ツキ処理するものが好ましい。最初に、亜鉛 ニッケル合金メッキに関して説明する。 ここで用いる亜鉛 ニッケル合金メッキ液に特に限定はないが、一例を挙げれば、硫 酸ニッケルを用いニッケル濃度が 1一 2. 5gZl、ピロリン酸亜鉛を用いて亜鉛濃度が 0. 1一 lgZl、ピロリン酸カリウム 50— 500gZl、液温 20— 50。C、 pH8— 11、電流 密度 0. 3— lOAZdm2の条件等を採用するのである。 [0041] Further, it does not affect the color tone of the browned surface of the surface-treated copper foil according to the present invention! / The plating treatment is performed using a zinc-nickel alloy plating solution or a zinc-cobalt alloy plating solution as an inorganic protection. Are preferred. First, zinc-nickel alloy plating will be described. The zinc-nickel alloy plating solution used here is not particularly limited.Examples include, for example, nickel sulfate having a nickel concentration of 12.5 gZl, zinc pyrophosphate having a zinc concentration of 0.1 lgZl, and pyrophosphoric acid. Potassium acid salt 50-500gZl, liquid temperature 20-50. C, pH 8-11, current density 0.3-IOAZdm 2 etc. are adopted.
[0042] 次に、亜鉛-コバルト合金メッキに関して説明する。ここで用いる亜鉛-コノ レト合金 メツキ液に特に限定はないが、一例を挙げれば、硫酸コバルトを用いコバルト濃度が 1-2. 5g/l、ピロリン酸亜鉛を用いて亜鉛濃度が 0. 1— lg/l、ピロリン酸カリウム 5 0— 500gZl、液温 20— 50。C、 pH8— 11、電流密度。. 3— lOAZdm2の条件等を 採用するのである。この亜鉛 コバルト合金メッキと後述するクロメート処理とを組み合 わせた防鲭処理層は、特に優れた耐蝕性能を示すのである。 Next, zinc-cobalt alloy plating will be described. The zinc-conoleto alloy plating solution used here is not particularly limited, but, for example, for example, the cobalt concentration is 1-2.5 g / l using cobalt sulfate, and the zinc concentration is 0.1-2.5 g using zinc pyrophosphate. lg / l, potassium pyrophosphate 50-500 gZl, liquid temperature 20-50. C, pH8-11, current density. 3—Use the conditions of lOAZdm 2 . The anti-corrosion treatment layer obtained by combining this zinc-cobalt alloy plating with the chromate treatment described later exhibits particularly excellent corrosion resistance.
[0043] 更に、防鲭効果を高めるためには、表面処理銅箔の表面に亜鉛-ニッケル合金層 又は亜鉛 コバルト合金層等を形成した後に、クロメート層を形成すれば、より優れた 耐蝕性を得ることが可能となるのである。即ち、上述の防鲭処理層の形成後に、クロメ ート処理を行えばよいのである。このクロメート処理工程では、クロメート溶液を接触さ せての置換処理でも、クロメート溶液中で電解してクロメート被膜を形成する電解クロ メート処理のいずれの方法を採用しても構わないのである。また、ここで用いるクロメ
ート溶液に関しても、常法で用いられる範囲のものを使用することが可能である。そし て、その後、水洗し、乾燥することで褐色化処理面を備える表面処理銅箔を得るので ある。 Further, in order to enhance the anti-corrosion effect, if a chromate layer is formed after forming a zinc-nickel alloy layer or a zinc-cobalt alloy layer on the surface of the surface-treated copper foil, more excellent corrosion resistance can be obtained. You can get it. That is, the chromate treatment may be performed after the formation of the above-described heat-resistant treatment layer. In the chromate treatment step, any of a substitution treatment in which a chromate solution is brought into contact and an electrolytic chromate treatment in which a chromate film is formed by electrolysis in a chromate solution may be employed. Also, the chrome used here Regarding the salt solution, it is possible to use those in the range used in a usual manner. After that, it is washed with water and dried to obtain a surface-treated copper foil having a browned surface.
発明の効果 The invention's effect
[0044] 以上に述べてきた本件発明に係る褐色化処理面を備えた表面処理銅箔は、褐色 化処理面からの粉落ちがなぐしかも、極めて均一で色ムラの無い良好な褐色してお り、その褐色化処理層は通常の銅エッチングプロセスでエッチング除去が可能である 。よって、プリント配線板を製造するプロセスを使用して、容易に任意の形状に加工 することが可能である。これらのことを考えると、プラズマディスプレイパネルの前面パ ネルに組み込まれる電磁波遮蔽導電性メッシュの用途に最適なものと言えるのであ る。 [0044] The surface-treated copper foil provided with the browned surface according to the present invention described above does not fall off from the browned surface, and has a very uniform brown color without unevenness. The browning layer can be removed by etching using a normal copper etching process. Therefore, it is possible to easily process the printed wiring board into an arbitrary shape by using a process for manufacturing the printed wiring board. Considering these facts, it can be said that it is the most suitable for the application of the electromagnetic wave shielding conductive mesh incorporated in the front panel of the plasma display panel.
[0045] また、本件発明に係る表面処理銅箔の製造方法は、従来にな!、多段の銅ャケメッ キ方法を採用することで、銅箔の表面に効率よく褐色化処理面を形成することが可 能となり、褐色化処理面を備えた表面処理銅箔の色調のバラツキを極めて小さなも のとすることが出来たのである。 [0045] Further, the method for producing a surface-treated copper foil according to the present invention is a conventional method in which a browned surface is efficiently formed on the surface of a copper foil by employing a multi-stage copper plating method. This made it possible to minimize the variation in the color tone of the surface-treated copper foil having the browned surface.
発明を実施するための最良の形態 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
[0046] 以下に、上述してきた褐色化処理面を備えた表面処理銅箔を製造し、銅エツチン グ液を用いて電磁波遮蔽導電性メッシュを製造した結果を示すこととする。 Hereinafter, results of producing the above-described surface-treated copper foil having the browned surface and producing an electromagnetic wave shielding conductive mesh using a copper etching solution will be shown.
実施例 1 Example 1
[0047] 本実施形態では、粗化処理を施して!/ヽな ヽ電解銅箔を用い、その光沢面に褐色化 処理を行!ヽ表面処理銅箔を製造し、電磁波遮蔽導電性メッシュ形状をエッチング法 で試験的に製造しエッチング性能を確認した。 [0047] In the present embodiment, the surface is subjected to a roughening treatment! / ヽ A browning treatment is performed on the glossy surface using an electrolytic copper foil! Was experimentally manufactured by the etching method, and the etching performance was confirmed.
[0048] 本実施形態では、硫酸銅溶液を電解することにより得られた公称厚さ 10 μ mのベリ 一ロープ口ファイル銅箔を用いた。そして、その電解銅箔を、硫酸濃度 150gZl、液 温 30°Cの希硫酸溶液を用いて、この溶液に 30秒浸漬して、表面の清浄化を行った 。以下、工程ごとに説明することとする。 [0048] In the present embodiment, a copper foil with a nominal thickness of 10 Pm obtained by electrolyzing a copper sulfate solution was used. Then, the electrolytic copper foil was immersed in a dilute sulfuric acid solution having a sulfuric acid concentration of 150 gZl and a liquid temperature of 30 ° C. for 30 seconds to clean the surface. Hereinafter, each process will be described.
[0049] <表面処理銅箔の製造 > <Production of surface-treated copper foil>
工程 a: ここでは、粗ィ匕処理を行って 、な 、上記べリーロープ口ファイル銅箔の光
沢面 (Ra=0. m、 Rz= l . 54 ^ m)に対して、硫酸銅系メツキ溶液をャケメツキ 条件で用いて、銅箔の表面を褐色にするための基礎メツキ処理を行った。 Step a: Here, the roughing treatment is performed, and the light of the copper foil of the belly rope mouth file is used. Sawamen (Ra = 0.m, Rz = l.54 ^ m) was subjected to basic plating treatment to make the surface of the copper foil brown using a copper sulfate plating solution under the condition of undercoating.
[0050] このときに用いた基礎メツキ処理条件は、硫酸銅溶液であって、銅濃度 18gZl、フ リー硫酸濃度 100gZl、液温 25°C、電流密度 (la) lOAZdm2のャケメツキ条件で電 解することにより行った。その結果、この基礎メツキ工程で行ったャケメツキは、ある程 度の凹凸を銅箔表面に形成するための核を形成したのみであり、換算厚さ 300mg Zm2の電着量であった。 [0050] The basic plating treatment condition used at this time was a copper sulfate solution, which was electrolyzed under the following conditions: copper concentration 18gZl, free sulfuric acid concentration 100gZl, solution temperature 25 ° C, current density (la) lOAZdm 2. It was done by doing. As a result, in the plating performed in the basic plating process, only a nucleus for forming a certain degree of unevenness on the copper foil surface was formed, and the electrodeposition amount was 300 mg Zm 2 in terms of reduced thickness.
[0051] 工程 b : この追加メツキ処理工程では、基礎メツキ処理された銅箔の表面に、硫酸 銅系メツキ溶液をャケメツキ条件で用いて 1回のメツキ処理を施した。このときの追加メ ツキ処理条件は、工程 a.と同様の濃度及び液温の硫酸銅溶液を用いたが、ャケメッ キを行う際に採用する電流密度 (lb)を laの 15%の電流密度となる 1. 5AZdm2とし て、工程 a.で銅箔の表面に形成した核に対する電流集中を防止して無用な異常析 出を防止した。この追加メッキエ程での電着量は、換算厚さとして 50mgZm2の電着 量とした。 Step b : In this additional plating treatment step, one plating treatment was performed on the surface of the copper foil that had been subjected to the basic plating treatment, using a copper sulfate-based plating solution under scorching conditions. The additional plating treatment conditions at this time were the same concentration and liquid temperature of copper sulfate solution as in step a., But the current density (lb) used when performing plating was changed to 15% of la As 1.5AZdm 2 , current concentration on the nuclei formed on the surface of the copper foil in step a. Was prevented to prevent unnecessary abnormal precipitation. The electrodeposition amount during this additional plating step was an electrodeposition amount of 50 mgZm 2 as a converted thickness.
[0052] 工程 c : この被覆メツキ処理工程では、工程 a及び工程 bによりャケメツキを施した 銅箔面に、銅メツキ溶液を用いて平滑メツキ条件でメツキ処理を行った。この被覆メッ キエ程では、硫酸銅溶液であって、銅濃度 65gZl、フリー硫酸濃度 150gZl、液温 4 5°C、電流密度 15AZdm2の平滑メツキ条件で電解した。このようにして、工程 a及び 工程 bで粗ィ匕処理した表面を滑らかにした。このときの平滑メツキの換算厚さは 4gZ m (?めった。 Step c: In this coating plating treatment step, the copper foil surface subjected to plating in steps a and b was subjected to plating treatment under a smooth plating condition using a copper plating solution. As in this coating message Kie, a copper sulfate solution, the copper concentration 65GZl, free sulfuric acid concentration 150GZl, liquid temperature 4 5 ° C, and electrolysis was performed with smooth plated a current density 15AZdm 2. Thus, the surface subjected to the roughening treatment in the steps a and b was smoothed. At this time, the converted thickness of the smooth plating was 4 gZ m (?
[0053] 工程 d : この仕上げメツキ処理工程では、工程 cが終了し平滑メツキ処理のなされ た表面に、銅メツキ溶液をャケメツキ条件で用いて、銅箔表面を褐色に仕上げるため のメツキ処理を施し、極微細銅粒を付着形成したのである。 Step d: In this finish plating treatment step, the surface subjected to the step c and subjected to the smooth plating treatment is subjected to a plating treatment for finishing the surface of the copper foil to brown using a copper plating solution under the plating condition. Thus, extremely fine copper particles were adhered and formed.
[0054] この極微細銅粒の形成には、 9 フエ-ルァクリジンを添カ卩した以下の硫酸銅溶液 を用いたのである。この銅電解液及び電解条件としては、銅濃度が 13gZl、フリー硫 酸 50gZl、 9—フエ-ルァクリジン 150mgZl、塩素濃度 28ppm、液温 35°Cとし、電 流密度 24AZdm2を用いた。そして、この仕上げメツキ処理工程での電着量は、換 算厚さとして 300mgZm2の電着量とした。
[0055] 工程 e : この洗浄.乾燥工程では、上述の工程 d.の終了後、十分に純水をシャヮ 一リングして洗浄し、電熱器より雰囲気温度を 150°Cとした乾燥炉内に 4秒間滞留さ せ、水分をとばし、非常に良好な色調の褐色化処理面を備えた表面処理銅箔を得た のである。なお、ここで言う水洗に限らず、各工程間では前工程の溶液を後工程に持 ち込まないように、工程間の水洗は適宜設けた。 For the formation of the ultrafine copper particles, the following copper sulfate solution prepared by adding 9-phenylacrylidine was used. As the copper electrolyte and the electrolysis conditions, a copper concentration of 13 gZl, free sulfuric acid of 50 gZl, 9-phenylacridine of 150 mgZl, a chlorine concentration of 28 ppm, a liquid temperature of 35 ° C., and a current density of 24 AZdm 2 were used. The electrodeposition amount in the finish plating process was an electrodeposition amount of 300 mgZm 2 as a converted thickness. Step e: In this washing / drying step, after the above-mentioned step d. Is completed, the deionized water is sufficiently washed by washing, and placed in a drying furnace with an atmosphere temperature of 150 ° C. from an electric heater. The sample was allowed to stay for 4 seconds to remove moisture, and a surface-treated copper foil having a browned surface with a very good color tone was obtained. In addition, not only the water washing here, but also water washing between the steps was appropriately provided between the steps so that the solution of the previous step was not carried into the subsequent step.
[0056] <表面処理銅箔の物性 > <Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>
以上の工程を経て得られた褐色化処理面を備える表面処理銅箔の断面を FIB装 置で観察した結果、図 1に示す断面が得られており、当該褐色化処理面の断面高さ (d)が 80nmであり、当該褐色化処理面の Lab表色系における a値が 3. 5、光沢度 [ Gs (60° ;) ]が 2. 8であった。また、褐色化処理面に粘着性テープを貼り、引き剥が すことによるテープテストでの粉落ちも確認できな力つた。 As a result of observing the cross section of the surface-treated copper foil having the browned surface obtained through the above steps with a FIB apparatus, the cross section shown in FIG. 1 was obtained, and the cross-sectional height of the browned surface ( d) was 80 nm, the a value of the browned surface in the Lab color system was 3.5, and the gloss [Gs (60 °;)] was 2.8. In addition, a sticky tape was applied to the browned surface, and a powder test in peeling off the adhesive tape was confirmed.
[0057] <プラズマディスプレイ用の電磁波遮蔽メッシュの製造 > <Manufacture of Electromagnetic Wave Shielding Mesh for Plasma Display>
以上のようにして得られた表面処理銅箔の両面にエッチングレジストとなるドライフィ ルムを張り合わせた。そして、褐色化処理面側のドライフィルムにのみ、電磁波遮蔽 導電性メッシュを試作するための試験用のマスクフィルムを重ねて、メッシュピッチ 20 0 m、メッシュ線幅 10 μ m、メッシュバイアス角度 45° であり、周囲にメッシュ電極 部を備える導電性メッシュパターンを紫外線露光した。このとき、同時に反対面のエツ チングレジスト層の全面にも、紫外線露光することにより、後の現像により除去できな いものとした。その後、アルカリ溶液を用いて現像し、エッチングパターンを形成した A dry film serving as an etching resist was bonded to both surfaces of the surface-treated copper foil obtained as described above. Then, only the dry film on the browned surface side is overlaid with a mask film for testing to produce an electromagnetic shielding conductive mesh, and the mesh pitch is 200 m, the mesh line width is 10 μm, and the mesh bias angle is 45 °. Then, a conductive mesh pattern having a mesh electrode portion on the periphery was exposed to ultraviolet light. At this time, the entire surface of the etching resist layer on the opposite side was also exposed to ultraviolet light so that it could not be removed by subsequent development. Thereafter, development was performed using an alkaline solution to form an etching pattern.
[0058] そして、銅エッチング液である塩ィ匕鉄エッチング液を用いて、褐色化処理面側から 銅エッチングして、その後、エッチングレジスト層を剥離することにより、電磁波遮蔽導 電性メッシュを製造した。その結果、エッチング残りもなぐ非常に良好なエッチング が行われた。 [0058] Then, copper etching is performed from the browning-treated surface side using a copper salt etching solution, which is a salt etching solution, and then the etching resist layer is peeled off to produce an electromagnetic wave shielding conductive mesh. did. As a result, very good etching was performed with no etching residue.
実施例 2 Example 2
[0059] この実施例では、実施例 1の工程 d.と工程 e.との間に防鲭処理工程を設けた点が 、実施例 1と異なるのみである。従って、工程 a、工程 b、工程 工程 dまでは、実施例 1と同様であり、重複した説明は避け、ここでの工程 e.の防鲭処理工程のみ詳細に
説明する事とする。 [0059] This embodiment is different from the first embodiment only in that a protection process is provided between step d and step e of the first embodiment. Therefore, the steps a, b, and d are the same as those in the first embodiment, and a duplicate description is avoided, and only the step e. I will explain it.
[0060] 工程 e. : この防鲭処理工程では、亜鉛 ニッケル合金メッキ液を用いてメツキ処理し て、両面に亜鉛 ニッケル合金層を形成したのである。亜鉛 ニッケル合金層は、硫 酸ニッケルを用いニッケル濃度が 2. OgZl、ピロリン酸亜鉛を用いて亜鉛濃度が 0. 5 gZl、ピロリン酸カリウム 250gZl、液温 35°C、 pH10、電流密度 5AZdm2の条件で 5秒間電解して、両面に均一且つ平滑に電析させた。 Step e .: In this protection treatment step, a plating treatment was performed using a zinc-nickel alloy plating solution to form a zinc-nickel alloy layer on both surfaces. Zinc-nickel alloy layer, the nickel concentration with sulfate nickel 2. OgZl, zinc concentration using pyrophosphate zinc 0. 5 GZL, potassium pyrophosphate 250GZl, liquid temperature 35 ° C, pH 10, the current density 5AZdm 2 Electrolysis was performed for 5 seconds under the same conditions to uniformly and uniformly deposit on both surfaces.
[0061] 工程 f : この洗浄'乾燥工程は実施例 1の工程 e.に対応するものであり、上述のェ 程 e.の終了後、十分に水洗し、加熱乾燥し褐色化処理面を備えた表面処理銅箔と したのであり、詳細は実施例 1と同様である。 Step f: This washing / drying step corresponds to step e. Of Example 1. After the above-mentioned step e. Is completed, it is sufficiently washed with water, dried by heating, and provided with a browned surface. The surface-treated copper foil was used, and the details are the same as in Example 1.
[0062] <表面処理銅箔の物性 > [0062] <Physical properties of surface-treated copper foil>
以上の工程を経て得られた褐色化処理面を備える表面処理銅箔の断面を FIB装 置で観察した結果、図 1に示したと同様の断面が得られ、当該褐色化処理面の断面 高さが 85nmであり、当該褐色化処理面の Lab表色系における a値が 3. 6、光沢度 [ Gs (60° ;) ]が 2. 6であった。また、褐色化処理面に粘着性テープを貼り、引き剥が すことによるテープテストでの粉落ちも確認できな力つた。 As a result of observing the cross section of the surface-treated copper foil provided with the browned surface obtained through the above steps with a FIB device, a cross section similar to that shown in Fig. 1 was obtained. Was 85 nm, the a value of the browned surface in the Lab color system was 3.6, and the gloss [Gs (60 °;)] was 2.6. In addition, a sticky tape was applied to the browned surface, and a powder test in peeling off the adhesive tape was confirmed.
[0063] <プラズマディスプレイ用の電磁波遮蔽メッシュの製造 > <Manufacture of Electromagnetic Wave Shielding Mesh for Plasma Display>
実施例 1と同様に、得られた表面処理銅箔を用いて電磁波遮蔽導電性メッシュを試 作した。その結果、防鲭処理層が存在していてもエッチング操作に支障なぐエッチ ング残りもなぐ非常に良好なエッチングが行われた。 In the same manner as in Example 1, an electromagnetic wave shielding conductive mesh was prototyped using the obtained surface-treated copper foil. As a result, very good etching was performed with no residual etching that hindered the etching operation even when the anti-reflection treatment layer was present.
実施例 3 Example 3
[0064] 実施例 1が電解銅箔である公称厚さ 10 μ mのべリーロープ口ファイル銅箔の光沢 面に黒色化処理面を形成したのに対し、本実施形態では粗面側に黒色化処理面を 形成した表面処理銅箔を製造したのである。まず、実施例 1と同様に、その電解銅箔 を、硫酸濃度 150gZl、液温 30°Cの希硫酸溶液を用いて、この溶液に 30秒浸漬し て、表面の清浄ィ匕を行った。以下、工程ごとに説明することとする。 [0064] In Example 1, a blackened surface was formed on the glossy surface of the copper foil with a nominal thickness of 10 µm, which is an electrolytic copper foil. They produced surface-treated copper foil with a treated surface. First, in the same manner as in Example 1, the electrolytic copper foil was immersed in a dilute sulfuric acid solution having a sulfuric acid concentration of 150 gZl and a liquid temperature of 30 ° C. for 30 seconds to clean the surface. Hereinafter, each process will be described.
[0065] <表面処理銅箔の製造 > <Production of surface-treated copper foil>
工程 a: ここでは、粗ィ匕処理を行って 、な 、上記べリーロープ口ファイル銅箔の粗 面 (Ra=0. m、 Rz = 2. m)に対して、硫酸銅系メツキ溶液をャケメツキ条
件で用いて、銅箔の表面を褐色にするための基礎メツキ処理を行った。このべリー口 一プロファイル銅箔の粗面の表面粗さは、光沢面と言っても支障のない程、低プロフ アイルの表面となっていた。以下、実施例 1と同様の工程 a (基礎メツキ処理工程)、ェ 程 b (追加メツキ処理工程)、工程 c. (被覆メツキ処理工程)、工程 d (仕上げメツキ処 理工程)、工程 e (洗浄 ·乾燥工程)を経て、褐色化処理面を備えた表面処理銅箔を 得たのである。 Step a: Here, roughing treatment is performed, and a copper sulfate-based plating solution is applied to the rough surface (Ra = 0.m, Rz = 2.m) of the copper foil of the belly rope opening file. Article In this case, a basic plating treatment for browning the surface of the copper foil was performed. The surface roughness of the rough surface of the single-profile copper foil with a belly opening was such a low profile that it did not hinder the glossy surface. Hereinafter, steps a (basic plating processing step), step b (additional plating processing step), step c. (Coating plating processing step), step d (finishing plating processing step), and step e (same as in Example 1) After washing and drying steps), a surface-treated copper foil having a browned surface was obtained.
[0066] <表面処理銅箔の物性 > [0066] <Physical properties of surface-treated copper foil>
以上の工程を経て得られた褐色化処理面を備える表面処理銅箔の断面を FIB装 置で観察した結果、図 1に示したと同様の断面が得られ、当該褐色化処理面の断面 高さが 75nmであり、当該褐色化処理面の Lab表色系における a値が 3. 6、光沢度 [ Gs (60° ;) ]が 1. 2であった。また、褐色化処理面に粘着性テープを貼り、引き剥が すことによるテープテストでの粉落ちも確認できな力つた。 As a result of observing the cross section of the surface-treated copper foil provided with the browned surface obtained through the above steps with a FIB device, a cross section similar to that shown in Fig. 1 was obtained. Was 75 nm, the a-value of the browned surface in the Lab color system was 3.6, and the gloss [Gs (60 °;)] was 1.2. In addition, a sticky tape was applied to the browned surface, and a powder test in peeling off the adhesive tape was confirmed.
[0067] <プラズマディスプレイ用の電磁波遮蔽メッシュの製造 > <Manufacture of Electromagnetic Wave Shielding Mesh for Plasma Display>
実施例 1と同様に、得られた表面処理銅箔を用いて電磁波遮蔽導電性メッシュを試 作した。その結果、防鲭処理層が存在していてもエッチング操作に支障なぐエッチ ング残りもなぐ非常に良好なエッチングが行われた。 In the same manner as in Example 1, an electromagnetic wave shielding conductive mesh was prototyped using the obtained surface-treated copper foil. As a result, very good etching was performed with no residual etching that hindered the etching operation even when the anti-reflection treatment layer was present.
実施例 4 Example 4
[0068] 実施例 2が電解銅箔である公称厚さ 10 μ mのべリーロープ口ファイル銅箔の光沢 面に黒色化処理面を形成したのに対し、本実施形態では粗面側に黒色化処理面を 形成した表面処理銅箔を製造したのである。まず、実施例 2と同様に実施例 1の手順 を用いて、その電解銅箔の表面の清浄ィ匕を行った。以下、工程ごとに説明することと する。 [0068] In Example 2, a blackened surface was formed on the glossy surface of a copper foil with a nominal thickness of 10 µm, which is an electrolytic copper foil, and the blackened surface was formed on the rough side in the present embodiment. They produced surface-treated copper foil with a treated surface. First, the surface of the electrolytic copper foil was cleaned using the procedure of Example 1 as in Example 2. Hereinafter, each step will be described.
[0069] <表面処理銅箔の製造 > <Production of surface-treated copper foil>
ここでは、実施例 3と同様に粗ィ匕処理を行っていない上記べリーロープ口ファイル銅 箱の粗面(Ra = 0. 35 ^ πι, Rz = 2. 32 /z m)に対して、実施 f列 1と同様の方法で工 程 a (基礎メツキ処理工程)、工程 b (追加メツキ処理工程)、工程 c. (被覆メツキ処理 工程)、工程 d (仕上げメツキ処理工程)までを行った。そして、実施例 3とは異なりェ 程 e. (防鲭処理工程)を付加して、工程 f. (洗浄'乾燥工程)を経て、褐色化処理面
を備えた表面処理銅箔を得たのである。このときの工程 e. (防鲭処理工程)では、実 施例 2と同様の手順で亜鉛 ニッケル合金層を形成したのである。従って、以上のェ 程は、上記実施例中に説明しているため、重複した説明は省略するものとするのであ る。 Here, the same procedure as in Example 3 was performed on the rough surface (Ra = 0.35 ^ ππ, Rz = 2.32 / zm) of the copper box with the above-mentioned belly rope mouth file, which was not subjected to the roughing treatment. Steps a (basic plating processing step), step b (additional plating processing step), step c. (Coating plating processing step), and step d (finish plating processing step) were performed in the same manner as in row 1. Then, unlike in Example 3, step e. (A protection step) is added, and after step f. Thus, a surface-treated copper foil provided with was obtained. In the process e. (The heat-proofing process) at this time, the zinc-nickel alloy layer was formed in the same procedure as in the second embodiment. Therefore, the above steps have been described in the above embodiment, and the duplicate description will be omitted.
[0070] <表面処理銅箔の物性 > [0070] <Physical properties of surface-treated copper foil>
以上の工程を経て得られた褐色化処理面を備える表面処理銅箔の断面を FIB装 置で観察した結果、図 1に示したと同様の断面が得られ、当該褐色化処理面の断面 高さが 74nmであり、当該褐色化処理面の Lab表色系における a値が 3. 8、光沢度 [ As a result of observing the cross section of the surface-treated copper foil provided with the browned surface obtained through the above steps with a FIB device, a cross section similar to that shown in Fig. 1 was obtained. Is 74 nm, the a value of the browned surface in the Lab color system is 3.8, and the gloss [
Gs (60° ;) ]が 1. 5であった。また、褐色化処理面に粘着性テープを貼り、引き剥が すことによるテープテストでの粉落ちも確認できな力つた。 Gs (60 °;)] was 1.5. In addition, a sticky tape was applied to the browned surface, and a powder test in peeling off the adhesive tape was confirmed.
[0071] <プラズマディスプレイ用の電磁波遮蔽メッシュの製造 > <Manufacture of Electromagnetic Wave Shielding Mesh for Plasma Display>
実施例 1と同様に、得られた表面処理銅箔を用いて電磁波遮蔽導電性メッシュを試 作した。その結果、防鲭処理層が存在していてもエッチング操作に支障なぐエッチ ング残りもなぐ非常に良好なエッチングが行われた。 In the same manner as in Example 1, an electromagnetic wave shielding conductive mesh was prototyped using the obtained surface-treated copper foil. As a result, very good etching was performed with no residual etching that hindered the etching operation even when the anti-reflection treatment layer was present.
比較例 1 Comparative Example 1
[0072] この比較例では、実施例 1の工程 d.で用いた硫酸銅溶液の銅濃度を低くして、最 適条件カゝら外して極微細銅粒の付着形成を行った。従って、工程 d.に関してのみ説 明する事とする。 [0072] In this comparative example, the copper concentration of the copper sulfate solution used in step d. Of Example 1 was lowered, and the copper concentration was removed under the optimum conditions to form the adhesion of ultrafine copper particles. Therefore, only step d. Will be explained.
[0073] 工程 d: この仕上げメツキ処理工程では、実施例 1で用いた 9 フエ-ルァクリジン を添加した以下の硫酸銅溶液の銅濃度を 8gZlとしたのである。そして、この仕上げ メツキ処理工程での電着量は、実施例 1と同様に換算厚さとして 300mgZm2の電着 量とした。 Step d: In this finishing step, the copper concentration of the following copper sulfate solution to which 9-fluoroacrylidine used in Example 1 was added was set to 8 gZl. Then, the electrodeposition amount in the finish plating process was 300 mgZm 2 as the converted thickness in the same manner as in Example 1.
[0074] <表面処理銅箔の物性 > <Physical Properties of Surface-treated Copper Foil>
以上の工程を経て得られた褐色化処理面を備える表面処理銅箔の断面を FIB装 置で観察した結果、図 2に示した断面が得られ、当該褐色化処理面の断面高さ (d) 力 Sl80nmであり、当該褐色化処理面の Lab表色系における a値が 3. 6、光沢度 [Gs (60° ;) ]が 2. 6であった。上記実施例と比較したときに、図 1と図 2との比較力も分か るように仕上げメツキ処理による処理コブが異常成長しており、粉落ちを起こす表面
であることが分かる。し力も、褐色化処理面の同一面内での色ムラが見受けられた。 また、褐色化処理面に粘着性テープを貼り、引き剥がすことによるテープテストで、粉 落ちが確認された。 As a result of observing the cross-section of the surface-treated copper foil provided with the browned surface obtained through the above steps with a FIB apparatus, the cross-section shown in FIG. 2 was obtained, and the cross-sectional height (d ) Force Sl80 nm, a value in the Lab color system of the browned surface was 3.6, and gloss [Gs (60 °;)] was 2.6. When compared with the above example, the surface roughness that caused abnormal growth of the bumps due to the finish plating process and that caused powder drop-off showed that the comparative power of FIGS. 1 and 2 was also evident. It turns out that it is. As for the pressing force, color unevenness was observed in the same surface of the browned surface. In addition, a powder test was carried out by applying an adhesive tape to the browned surface and peeling it off.
[0075] <プラズマディスプレイ用の電磁波遮蔽メッシュの製造 > <Manufacture of Electromagnetic Wave Shielding Mesh for Plasma Display>
実施例 1と同様に、得られた表面処理銅箔を用いて電磁波遮蔽導電性メッシュを試 作した。その結果、防鲭処理層が存在していてもエッチング操作に支障はなカゝつたも のの、この比較例で得られた表面処理銅箔の褐色化処理面は、ハンドリング時に擦 れた状態の傷が生じやすぐ当所の褐色化処理面をエッチング加工終了まで維持す ることが困難であった。 In the same manner as in Example 1, an electromagnetic wave shielding conductive mesh was prototyped using the obtained surface-treated copper foil. As a result, the browning-treated surface of the surface-treated copper foil obtained in this comparative example was rubbed at the time of handling, although the etching operation was not hindered even when the heat-resistant treatment layer was present. It was difficult to maintain the browned surface of the area immediately after the completion of the etching process.
産業上の利用可能性 Industrial applicability
[0076] 本件発明に係る褐色化処理面を備えた表面処理銅箔は、色ムラのな!ヽ耐傷性に 優れた褐色化処理面を備え、黒色化処理面からの粉落ちが無ぐし力も、通常の銅 エッチング液を用いてのエッチング力卩ェが可能であり、プラズマディスプレイパネルの 前面パネルの電磁波遮蔽導電性メッシュに用いることで、高品質のブラックマスクの 形成が可能となる。また、褐色化処理面を備えた表面処理銅箔として供給することで 、前面パネルの製造プロセスでの黒色化処理工程の省略が可能となる。 [0076] The surface-treated copper foil provided with the browned surface according to the present invention has no unevenness in color. The browned surface having excellent scratch resistance is provided, and the power to remove powder from the blackened surface is also high. In addition, the etching force can be reduced using a normal copper etching solution, and a high-quality black mask can be formed by using a conductive mesh for shielding electromagnetic waves on a front panel of a plasma display panel. Further, by supplying as a surface-treated copper foil having a browning-treated surface, it is possible to omit the blackening process in the front panel manufacturing process.
[0077] また、褐色化処理面の形成に当たって、多段階の銅ャケメツキ方法を採用し、平滑 メツキと、仕上げャケメツキを行うという製造方法を採用することで、本件発明に係る表 面処理銅箔を歩留まり良く製造できるため、生産コストの削減が可能となる。 [0077] In addition, in forming the browned surface, a multi-step copper plating method is employed, and a production method of performing smooth plating and finishing plating is employed, whereby the surface-treated copper foil according to the present invention is obtained. Since production can be performed with a high yield, production costs can be reduced.
図面の簡単な説明 Brief Description of Drawings
[0078] [図 1]褐色化処理面を備える表面処理銅箔の断面層構成を模式的に示した図。 FIG. 1 is a diagram schematically showing a cross-sectional layer configuration of a surface-treated copper foil having a browned surface.
[図 2]褐色化処理面を備える表面処理銅箔の断面層構成を模式的に示した図。 符号の説明 FIG. 2 is a diagram schematically showing a cross-sectional layer configuration of a surface-treated copper foil having a browned surface. Explanation of symbols
[0079] 1 表面処理銅箔 [0079] 1 Surface-treated copper foil
2 褐色化処理面
2 Browned surface