SU1672934A3 - Centering and levelling device - Google Patents

Centering and levelling device Download PDF

Info

Publication number
SU1672934A3
SU1672934A3 SU874202142A SU4202142A SU1672934A3 SU 1672934 A3 SU1672934 A3 SU 1672934A3 SU 874202142 A SU874202142 A SU 874202142A SU 4202142 A SU4202142 A SU 4202142A SU 1672934 A3 SU1672934 A3 SU 1672934A3
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
support
axis
turntable
center
elements
Prior art date
Application number
SU874202142A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Брюс Барнаби Энтони
Вальтер Миллз Майкл
Original Assignee
Рэнк Тейлор Хобсон Лимитед (Фирма)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Рэнк Тейлор Хобсон Лимитед (Фирма) filed Critical Рэнк Тейлор Хобсон Лимитед (Фирма)
Application granted granted Critical
Publication of SU1672934A3 publication Critical patent/SU1672934A3/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0004—Supports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/54—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only
    • B23Q1/545—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only comprising spherical surfaces
    • B23Q1/5462—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only comprising spherical surfaces with one supplementary sliding pair
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B7/282—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures for measuring roundness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

Metrological apparatus is provided with a turntable (4) which is movable horizontally and pivotally for centring and levelling a workpiece mounted on the turntable. The turntable is supported at three points (A,B,P), one of which is fixed and the other two of which are vertically movable by motorized jacks to provide the pivotal adjustment. Centring and levelling is achieved automatically by means of a computer which calculates the required horizontal and pivotal movements of the turntable from data obtained by sensing the workpiece surface with a transducer. <IMAGE>

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к устройствам дл  центрировани  и нивелировани  детали на поворотном столе, преимущественно в метрологической аппаратуре.The invention relates to a measurement technique, namely, devices for centering and leveling a part on a rotary table, mainly in metrological equipment.

Целью изобретени   вл етс  повышение удобства эксплуатации.The aim of the invention is to improve the usability.

На фиг. 1 представлено устройство, общий вид; на фиг. 2 - поворотный стол; на фиг. 3 - то же, часть опорной конструкции, сечение; на фиг.4 - упрощенна  блок-схема системы управлени  устройства; на фиг. 5 - схема перемещени  стола.FIG. 1 shows the device, a general view; in fig. 2 - rotary table; in fig. 3 - the same, part of the support structure, section; 4 is a simplified block diagram of a control system of the device; in fig. 5 is a flow chart of the table.

Устройство дл  центрировани  и нивелировани  объекта содержит опору 1, сто щую на раме 2 (на фиг. 1 видны ее ножки). На раме 2 установлен поворотный стол 3, на котором может устанавливатьс  деталь. На вертикальной стойке 4 установлена вертикально перемещаема  каретка 5, приводима  в движение посредством двигател . Щуп 6 установлен на конце шарнирногоThe device for centering and leveling an object contains a support 1, which stands on frame 2 (its legs are visible in Fig. 1). Frame 2 has a rotary table 3 on which the part can be mounted. On the vertical rack 4 mounted vertically movable carriage 5, driven by the engine. Probe 6 is installed at the end of the hinge.

рычага /, который позвол ет измен ть положение щупа и который, в свою очередь , крепитс  на конце горизонтально (радиально) подвижного рычага 8, укрепленного на каретке 5. Измерительные операции над деталью производ тс  за счет прохождени  щупом 6 поверхности детали при вращении поворотного стола 3 и/или при перемещении щупа 6 радиально и/или при перемещении щупа вертикально.a lever / which allows the stylus to change position and which, in turn, is fixed at the end horizontally (radially) of the movable lever 8 fixed on the carriage 5. The measuring operations on the part are made by the probe 6 passing the surface of the part while the turntable rotates 3 and / or when moving the probe 6 radially and / or when moving the probe vertically.

Опорна  конструкци  дл  поворотного стола 3 содержит основание 9, поко щеес  на диске 10, который прикреплен к шпинделю 11, приводимому в движение двигателем (фиг. 2 и 3). На подшипниковом устройстве 12 (на фиг. 3 показан пунктирными лини ми) уложен шпиндель 11 дл  вращени  вокруг своей вертикальной оси 13. Подшипниковое устройство 12 установлено в раме 2. Набор шариковых подшипни- кои 14 в дисковой обойме 15 помещен между основанием 9 и диском 10, обес печива  горизонтальное перемещение основани  9 относительно диска 10. Это перемещение производитс  вдоль отогональных осей X и У посредством двигателей 16 и 17, которые закреплены на основании 9, и соответствующих приводных поступательно-возвратных штоков 18 и 19 с помощью редукторов 20 и 21, которые могут, например, включать в себ  черв чные пары. Приводные штоки 18 и 19 привод тс  в двжение соответственно по ос м X и У, когда включаютс  соответствующие двигатели .The supporting structure for the turntable 3 comprises a base 9, resting on a disk 10, which is attached to a spindle 11 driven by a motor (FIGS. 2 and 3). The bearing device 12 (in Fig. 3 is shown by dashed lines) contains a spindle 11 for rotation around its vertical axis 13. The bearing device 12 is installed in frame 2. A set of ball bearings 14 in a disk case 15 is placed between the base 9 and the disk 10 , ensuring horizontal movement of the base 9 relative to the disk 10. This movement is carried out along the x and y axes by means of the motors 16 and 17, which are fixed on the base 9, and the corresponding drive translation-return rods 18 and 19 using gears 20 and 21, which may for example comprise a pair of screw Meth. The drive rods 18 and 19 are driven in respectively, on axes X and Y, when the respective engines are turned on.

Бобышка 22 прикреплена к верхнему концу шпиндел  11. Шпиндель, выступающий через центральное отверстие 23 в основании 9, имеет грани 24 и 2 которые сцепл ютс  соответственно с концами приводных штоков 18 и 19 и располагаютс  соответственно в плоскост х , перпендикул рных ос м X и У. Пружина 26 раст жени , одним концом прикрепленна  к бобышке 22, а другим концом прикрепленна  к штырю 27, зафиксированному на основании 9, удеживает грани 24 и 25 в зацеплении с концами соответствующих приводных штоков 18 и 19.The lug 22 is attached to the upper end of the spindle 11. The spindle protruding through the central hole 23 in the base 9 has faces 24 and 2 which interlock respectively with the ends of the driving rods 18 and 19 and are located respectively in planes perpendicular to the axes X and Y The tension spring 26, at one end attached to the boss 22, and at the other end attached to the pin 27 fixed on the base 9, holds the edges 24 and 25 in engagement with the ends of the respective drive rods 18 and 19.

Таким образом, с помощью двигателей 16 и 17 и усили  пружины 26 основание 9 может перемещатьс  на точные заданные рассто ни  в любом направлении вдоль осей X и У. В наThus, with the help of engines 16 and 17 and the force of the spring 26, the base 9 can be moved to exact specified distances in any direction along the X and Y axes. In

00

5five

00

5 five

00

5five

00

5five

00

5five

правл ющих пластинках 28 и 29, через которые соответственно проход т приводные штоки 18 и 19, имеютс  прорези 30, в которые вход т направл ющие штифты 31, наход щиес  на редукторах 20 и 21.The control plates 28 and 29, through which the driving rods 18 and 19 respectively pass, have slots 30 in which the guide pins 31 are located on the gearboxes 20 and 21.

Шарик 32, установленный в выемке на верхнем конце штыр  27, обеспечивает универсальное шарнирное движение поворотного стола 3 относительно точки Р.The ball 32, mounted in the recess at the upper end of the pin 27, provides a universal articulated movement of the turntable 3 relative to the point P.

В точках А и В поворотный стол 3 опираетс  соответственно на шарики 33 посредством распорок 34 (фиг.З), которые закреплены с нижней стороны поворотного стола и поко тс  на шариках 33. Балансирные пластины 35 и 36, установленные на уголках 37 дл  осуществлени  шарнирного перемещени  относительно горизонтальных осей 38, перпендикул рных плоскости листа (фиг. 3), содержат углублени  39 и 40, в которых лежат шарики 33. Двигатели 41 и 42 привод т в движение зажимы 43 (фиг. 3) посредством редукторов 44 и 45, задава  шарнирное движение балансирных пластин 35 и 36 вверх и вниз относительно оси 38. Таким образом, включение двигател At points A and B, the turntable 3 rests on the balls 33, respectively, by means of spacers 34 (FIG. 3), which are fixed on the underside of the turntable and rest on the balls 33. Balancing plates 35 and 36 mounted on corners 37 for performing hinge movement with respect to horizontal axes 38, perpendicular to the plane of the sheet (FIG. 3), there are depressions 39 and 40 in which balls 33 lie. Motors 41 and 42 drive the clips 43 (FIG. 3) by means of gears 44 and 45, setting a hinge movement of the balancing plates 35 and 36 and down relative to the axis 38. Thus, the inclusion of the engine

41приводит к наклону поворотного стола 3 относительно оси, соедин ющей точки Р и В, а включение двигател 41 leads to the tilt of the rotary table 3 about the axis connecting the points P and B, and turning on the engine

42наклон ет поворотный стол 3 относительно оси, соедин ющей точки Р и А. Эти оси проход т через центры 46 шариков 32 и 33.42 tilts the turntable 3 about the axis connecting the points P and A. These axes pass through the centers 46 of the balls 32 and 33.

Точки А, В и Р располагаютс  в вершинах равностороннего треугольника , центр которого С совпадает с центром поворотного стола 3, т.е. точки А, В и Р располагаютс  симметрично относительно точки С. За счет этого обеспечиваетс  максимальна  площадь поворотного стола 3, в пределах которой может располагатьс  деталь, не привод  к нестабильности поворотного стола. Однако, в результате этого оси РА и РВ, относительно которых наклон етс  поворотный стол, оказываютс  под углом 60° один к другому.Points A, B and P are located at the vertices of an equilateral triangle whose center C coincides with the center of the turntable 3, i.e. points A, B and P are located symmetrically with respect to point C. As a result, the maximum area of the turntable 3 is provided, within which the part can be located without causing the turntable to become unstable. However, as a result, the axes PA and PB, with respect to which the turntable is inclined, are at an angle of 60 ° to one another.

Нат жные пружины 4 подт гивают поворотный стол 3 вниз, поддержива  зацепление распорок 34 с шариками 33, а нат жные пружины 48 подт гивают балансирные пластины 35 и 36 вниз, поддержива  их в зацеплении с зажимами 43. Цилиндрическа  стенка, при10 ,Tension springs 4 push the rotary table 3 down, supporting the engagement of the struts 34 with the balls 33, and tension springs 48 push the balancing plates 35 and 36 down, supporting them in engagement with the clamps 43. The cylindrical wall, at 10,

1 закрывает опокрегшенна  к диску ную конструкцию.1 closes the encapsulated to the disk structure.

Двигатели 16 и 17, предназначенны дл  центровки, и двигатели 41 и 42, предназначенные дл  выравнивани , управл ютс  вычислительной системой 49, на которую поступают входные сигналы с преобразовател  50, который реагирует на щуп 6 (фиг. 4). Операторский пульт 51 предназначен дл  выдачи команд на вычислительную систему 49. Вычислительна  система 49 управл ет также двигателем 52, который приводит в движение шпиндель 11 дл  вращени  поворотного стола 3 (ось 0), двигателем 53 дл  поднимани  и опускани  каретки 5 на стойке 4 (ось Z) и двигателем 54, который приводит в движение рычаг 8 в радиальном направлении (ось У) дл  приведени  щупа 6 в контакт и вывода из контакта с поверхностью детали. Преобразователи 55, 56 и 57 обеспечиваю вычислительную систему 49 данными, представл ющими угловое положение поворотного стола 3, вертикальное положение каретки 5 и радиальное положение рычага 8. Дисплей 58 и устройство 59 запоминани  также соединены с вычислительной системой 49, причем устройство 59 запоминани  хранит прин тые данные и запоминает программы, в соответствии с которыми работает вычислительна  система 49. Вычислительна  система 49 может содержать один или. более компьютеров.The motors 16 and 17 are designed for centering, and the motors 41 and 42 intended for alignment are controlled by the computing system 49, to which the input signals from the converter 50, which reacts to the probe 6 (Fig. 4). The operator console 51 is designed to issue commands to the computing system 49. The computing system 49 also controls the motor 52, which drives the spindle 11 to rotate the turntable 3 (axis 0), the motor 53 to raise and lower the carriage 5 on the rack 4 (axis Z) and a motor 54, which drives the lever 8 in the radial direction (axis Y) to bring the probe 6 into contact and out of contact with the surface of the part. Transducers 55, 56 and 57 provide the computing system 49 with data representing the angular position of the turntable 3, the vertical position of the carriage 5 and the radial position of the lever 8. The display 58 and the memory device 59 are also connected to the computer system 49, the memory device 59 stores the received data and remembers the programs in accordance with which the computing system 49 operates. The computing system 49 may contain one or. more computers.

Claims (5)

1. Устройство дл  центрировани  и нивелировани  объекта, содержащее опору, установленную с возможностью вращени  вокруг своей оси, установленый на опоре с возможностью вращени  вокруг той же оси стол дл  размещени  на нем объекта, первое средство дл  поддержани  стола в наклонном положении относительно опоры, второе1. A device for centering and leveling an object, comprising a support mounted rotatably around its axis, mounted on a support rotatably around the same axis a table for placing an object thereon, first means for maintaining the table in an inclined position relative to the support, the second 4 four средство дл  размещени  стола при перемещении его вдоль опоры, приводы соответственно дл  наклона стола, его перемещени  вдоль опоры и вращени  опоры со столом, датчик дл  ощупывани  поверхности объекта, установленный с возможностью перемещени  параллельно оси вращени  опоры, а такжеmeans for placing the table when moving it along the support, actuators, respectively, for tilting the table, moving it along the support and rotating the support with the table, a sensor for feeling the surface of an object mounted to move parallel to the axis of rotation of the support, and II сторону этой оси и от нее с соответствующими приводами, св занное с датчиком вычислительное средство, включающее программное средство, св занное с приводами наклона стола и егоII side of this axis and from it with the corresponding drives, associated with the sensor computing means, including software associated with the drives of the inclination of the table and its перемещени  вдоль опоры, отличающеес  тем, что, с целью повышени  удобства эксплуатации, первое средство выполнено из трех опорных элементов, установленных в вершинахmovement along the support, characterized in that, in order to increase the convenience of operation, the first tool is made of three supporting elements installed at the vertices треугольника, в пределах которого расположен центр стола, а привод дл  наклона стола св зан по крайней мере с двум  опорными элементами с возможностью , при регулировании одного изthe center of the table, and the drive for tilting the table is associated with at least two supporting elements with the possibility, when adjusting one of the этих опорных элементов, наклона стола относительно соответствующей оси, проход щей между двум  другими элементами .these support elements, the inclination of the table relative to the corresponding axis passing between the two other elements. 2. Устройство по п. 1, о т л и ч аю щ е е с   тем, что опорные элемен- . ты расположены в вершинах равностороннего треугольника.2. The device according to claim 1, of which is the support element. You are located at the vertices of an equilateral triangle. 3. Устройство по пл. 1 и 2, о т - личающеес  тем, что центр стола совпадает с центром равносто 3. The device on pl. 1 and 2, o t - is that the center of the table coincides with the center of роннего треугольника.triangle. 4.Устройство по пп. 1-3, отличающеес  тем, что стол установлен с возможностью перемещени 4. Device on PP. 1-3, characterized in that the table is movable во взаимно перпендикул рных направлени х , а биссектриса пр мого угла пересекает третий элемент и равноудалена от первого и второго опорных элементов .in mutually perpendicular directions, and the right angle bisector intersects the third element and is equidistant from the first and second supporting elements. 5.Устройство по пп. 1-4, отличающеес  тем, что третий опорный элемент жестко закреплен на основании .5. Device on PP. 1-4, characterized in that the third support element is rigidly fixed to the base. пP 2121 19nineteen 3333 Zl РZl P VV 3737 3939 Фиг. 4FIG. four фиг.зfig.z фиг. 5FIG. five
SU874202142A 1986-03-04 1987-03-03 Centering and levelling device SU1672934A3 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB868605325A GB8605325D0 (en) 1986-03-04 1986-03-04 Workpiece position control

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1672934A3 true SU1672934A3 (en) 1991-08-23

Family

ID=10594022

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874202369A SU1718735A3 (en) 1986-03-04 1987-03-03 Tester
SU874202142A SU1672934A3 (en) 1986-03-04 1987-03-03 Centering and levelling device

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874202369A SU1718735A3 (en) 1986-03-04 1987-03-03 Tester

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPS62272186A (en)
DD (2) DD254771A5 (en)
GB (2) GB8605325D0 (en)
IN (1) IN169361B (en)
SU (2) SU1718735A3 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102607482A (en) * 2012-03-26 2012-07-25 西安交通大学 Aligning and levelling device for rotating platform of ultra-precise measuring machine

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3714862A1 (en) * 1987-05-05 1988-11-17 Mauser Werke Oberndorf FLEXIBLE CNC MULTIPLE-POINT MEASURING DEVICE
DE3907656A1 (en) * 1989-03-09 1990-09-13 Bhs Hoefler Maschbau Method and device for stabilising the position of a supporting structure relative to a work table in a precision machine tool
JP2523177B2 (en) * 1989-04-28 1996-08-07 日本写真印刷株式会社 Positioning table
DE4005292A1 (en) * 1990-02-20 1991-08-22 Zeiss Carl Fa COORDINATE MEASURING DEVICE
JPH0830743B2 (en) * 1991-03-07 1996-03-27 株式会社ミツトヨ Leveling device
GB2291193B (en) * 1994-07-07 1997-12-03 Eastman Machine Co Co-ordinate measuring machine
ITBO20000427A1 (en) * 2000-07-14 2002-01-14 Primula Di Perrella Agostino EQUIPMENT FOR DIMENSIONAL AND / OR GEOMETRIC CONTROL OF PIECES OF MACHINES WITH ROTATION SYMMETRY.
JP3738844B2 (en) * 2002-09-04 2006-01-25 株式会社東京精密 Roundness measuring machine
GB2464509C (en) * 2008-10-17 2014-05-21 Taylor Hobson Ltd Surface measurement instrument and method
US8650939B2 (en) 2009-10-13 2014-02-18 Mitutoyo Corporation Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method
JP2011085402A (en) * 2009-10-13 2011-04-28 Mitsutoyo Corp Surface property measuring instrument
GB2474893A (en) 2009-10-30 2011-05-04 Taylor Hobson Ltd Surface measurement instrument and method
GB2478303B (en) 2010-03-02 2018-03-07 Taylor Hobson Ltd Surface measurement instrument and calibration thereof
GB201202456D0 (en) * 2012-02-13 2012-03-28 Taylor Hobson Ltd Measurement apparatus and method
GB2499660B (en) 2012-02-27 2018-10-03 Taylor Hobson Ltd Surface measurement apparatus and method
JP6113998B2 (en) 2012-10-18 2017-04-12 株式会社ミツトヨ Shape measuring machine, method for adjusting shape measuring machine, and shape measuring method
GB2508737B (en) * 2012-12-06 2017-03-22 Canon Kk Contour shape measurement method

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3270423A (en) * 1963-09-30 1966-09-06 Sheffield Corp Positioning device
US3839800A (en) * 1968-08-29 1974-10-08 Ibm Method and apparatus for precisely contouring a work-piece imprecisely positioned on a fixture
GB1350566A (en) * 1972-09-27 1974-04-18 Bjoro Vzaimozameny Aemosti V M Worktable for positioning workpieces in measuring devices for checking linear dimensions
GB1452280A (en) * 1973-03-02 1976-10-13 British United Shoe Machinery Measuring machines
GB1479621A (en) * 1974-08-07 1977-07-13 Rank Organisation Ltd Measuring apparatus
CH595941A5 (en) * 1976-03-02 1978-02-28 Fischer Ag Georg

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
TALYCEHTA фирмы Rank Taylor Hobson Limited England 249-10/885 BO 10 m. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102607482A (en) * 2012-03-26 2012-07-25 西安交通大学 Aligning and levelling device for rotating platform of ultra-precise measuring machine
CN102607482B (en) * 2012-03-26 2013-12-11 西安交通大学 Aligning and levelling device for rotating platform of ultra-precise measuring machine

Also Published As

Publication number Publication date
DD255300A5 (en) 1988-03-30
JPH0370196B2 (en) 1991-11-06
SU1718735A3 (en) 1992-03-07
IN169361B (en) 1991-10-05
GB2189604A (en) 1987-10-28
GB8605325D0 (en) 1986-04-09
DD254771A5 (en) 1988-03-09
GB8624396D0 (en) 1986-11-12
JPS62272186A (en) 1987-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1672934A3 (en) Centering and levelling device
EP0240150B1 (en) Workpiece position control
US4571847A (en) Method and apparatus for use in co-ordinate measuring machines
EP0180610B1 (en) Improvement relating to coordinate positioning apparatus
JPH06207802A (en) Coordinate measurement device
JPH0648186B2 (en) measuring device
US5253429A (en) Levelling method and apparatus
JP6784539B2 (en) Roundness measuring machine
JP3482362B2 (en) Surface texture measuring device, inclination adjusting device for surface texture measuring device, and method of adjusting posture of measurement object in surface texture measuring device
JP2019045312A (en) Stylus and surface shape measurement device
US3704846A (en) Apparatus for micropositioning an operational member and a workpiece platform
JP2933187B2 (en) Three-dimensional measuring devices
EP0620911A1 (en) Metrological apparatus
JPH0623685A (en) Automatic positioning device
JPH05231864A (en) Roundness measuring machine
JP2838170B2 (en) Leveling device
JP3529614B2 (en) Leveling device
JPH09115992A (en) Sample stand
JP2591028Y2 (en) Leveling device
SU1820219A1 (en) Bed for testing gyroscopic devices
JPH06132384A (en) Clinometer
JP3457499B2 (en) Table equipment
US4625426A (en) Dynamic alignment fixture with feedback control
CN117168770A (en) Multi-point illuminometer with electric probe and measuring method thereof
JPH04283049A (en) Leveling device