уat
О)ABOUT)
ч Изобретение относитс к электронной технике и может быть использова но в технологии изготовлени толстопленочных резистивных элементов, например, термометров сопротивлени Известен способ изготовлени толстопленочных резисторов, включающий приготовление пасты из порошкой диоксида рутени и свинцовоборосиликатного стекла к нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием пасты 1J. Недостатки известного способа изготовлени толстопленочных резисторов состо т в низком температурном коэффициенте сопротивлени (ТКС) и нелинейной зависимости сопротивлени от температуры, что не позвол ет использовать резисторы в качестве термометров сопротивлени . Наиболее близким к изобретению техническим решением вл етс способ изготовлени толстопленочных резисторов , включающий приготовление пасты из порошков диоксида рутени с размером частиц 0,02-0,02 мкм и свинцовоборосиликатного стекла и нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием пасты при 850°С 2. Недостатки известного способа изготовлени заключаютс в низком ТКС (менее 250-10 град) и нелинейной зависимости сопротивлени от (температуры.. Цель изобретени - повьшение температурного коэффициента сопротивлени и обеспечение линейной температурной зависимости сопротивлени в диапазоне рабочих температур (-150) (200). Цель достигаетс тем, что по способу изготовлени толстопленочных резисторов, включающем приготовление пасты из порошков диоксида рутени и свинцовоборосиликатного стекла и нанесение пасты на керамическую подложку с последующим вжиганием ее, порошок диоксида рутени используют с размером частиц 0,06-0,08 мкм, а йжнгание пасты осуществл ют при 890910 С в течение 12-15 мин. Способ осуществл етс следующим образом. Порошки диоксида рутени с размером частиц 0,06-0,08 мкм в количестве 47-53 вес.% и свинцовоторосиликатного стекла в количестве 47-53 вес.% тщательно перемещивают, добавл ют органическое св зующее, повторно перемешивают до-получени однородной пасты необходимой в зкости, пасту нанос т на керамическую подложку методом трафаретной печати, загружают в конвейерную печь и вжигают при 890, 900, 910°С в течение 12-15 мин. Полученные толстопленочные резисторы имеют ТКС (12-15) 10 град- и линейную температурную зависимость сопротивлени в диапазоне рабочих температур (-150) - (200)°С. Изобретение позвол ет повысить ТКС, обеспечить линейную температурную зависимость сопротивлени в широком диапазоне рабочих температур и расширить функциональные возможности толстопленочных резисторов на основе диоксида рутени .The invention relates to electronic technology and can be used in the manufacture of thick-film resistive elements, for example, resistance thermometers. A method of manufacturing thick-film resistors is known, which includes the preparation of a paste from ruthenium dioxide powder and lead borosilicate glass to paste the paste onto a ceramic substrate followed by firing the paste 1J. The disadvantages of the known method of manufacturing thick-film resistors are the low temperature coefficient of resistance (TCR) and the non-linear dependence of resistance on temperature, which prevents the use of resistors as resistance thermometers. The closest technical solution to the invention is a method of making thick-film resistors, including preparing a paste from ruthenium dioxide powders with a particle size of 0.02-0.02 μm and lead borosilicate glass and applying the paste on a ceramic substrate, followed by burning the paste at 850 ° C. The disadvantages of the known method of manufacturing are low TKS (less than 250-10 degrees) and non-linear dependence of resistance on (temperature. The purpose of the invention is to increase the temperature coefficient of resistance and ensure Linear temperature dependence of resistance in the operating temperature range (-150) (200). The goal is achieved by the method of making thick-film resistors, including the preparation of a paste from ruthenium dioxide and lead borosilicate glass powders and applying the paste on a ceramic substrate followed by firing, powder Ruthenium dioxide is used with a particle size of 0.06-0.08 µm, and the grinding of the paste is carried out at 890910 ° C for 12-15 minutes. The method is carried out as follows. Ruthenium dioxide powders with a particle size of 0.06-0.08 µm in an amount of 47-53 wt.% And lead-silica glass in an amount of 47-53 wt.% Carefully transferred, an organic binder added, re-mixed to obtain a homogeneous paste the viscosities, the paste are applied onto the ceramic substrate by screen printing, loaded into a conveyor oven and fired at 890, 900, 910 ° C for 12-15 minutes. The obtained thick-film resistors have a TKS (12-15) 10 degrees and a linear temperature dependence of the resistance in the range of operating temperatures (-150) - (200) ° C. The invention makes it possible to increase TCR, to provide a linear temperature dependence of resistance in a wide range of operating temperatures, and to expand the functionality of thick-film ruthenium dioxide-based resistors.