KR20140039921A - Method of manufacturing printed circuit board - Google Patents

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Abstract

A method for manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes the steps of providing a base substrate with a metal layer stacked on at least one side of an insulation layer; forming a via hole on the base substrate by etching the base substrate; forming a seed layer on the upper side of the base substrate and the inner wall of the via hole; forming a plating layer on the formed seed layer; and forming a circuit pattern by patterning the metal layer, the seed layer, and the plating layer.

Description

인쇄회로기판의 제조 방법{Method of manufacturing printed circuit board}Method of manufacturing printed circuit board {Method of manufacturing printed circuit board}

실시 예는, 인쇄회로기판의 제조 방법에 관한 것이다.The embodiment relates to a method of manufacturing a printed circuit board.

최근 전자산업 기술분야에서 반도체 직접회로의 집적도 발전, 소형 칩 부품을 직접 탑재하는 표면 실장기술의 발전 및 전자 장비들의 소형화 추세에 따라, 보다 복잡하고 협소한 공간에서도 내장이 용이한 인쇄회로기판의 필요성이 증대되었으며, 이러한 요구에 부응하여 연성인쇄회로기판(Flexible Printed Circuit Board)이 개발되었다.In recent years, with the development of integrated semiconductor integrated circuits, the development of surface mount technology for directly mounting small chip components, and the miniaturization of electronic equipment, there is a need for printed circuit boards that can be easily embedded in more complex and narrow spaces. In response to these demands, flexible printed circuit boards have been developed.

이러한 연성인쇄회로기판은 휴대단말기, LCD, PDP, 카메라, 프린터 헤드 등 전자장비들의 발전으로 인하여 사용이 급격히 증가하면서 그 요구는 더욱 늘어가고 있는 추세이다.Such flexible printed circuit boards are rapidly increasing in demand due to the development of electronic devices such as portable terminals, LCDs, PDPs, cameras, printer heads, and the demands thereof are increasing.

이와 같은 연성인쇄회로기판의 종류로는 회로패턴이 형성된 위치와 그 수에 따라 단면, 양면 및 다층 연성인쇄회로기판이 있다. 이들 중 단면 연성인쇄회로기판은 회로패턴이 한쪽 면에만 형성된 것으로서, 부품의 실장 밀도가 낮고 제조방법이 간단하다. 그리고, 양면 연성인쇄회로기판은 회로패턴이 상하 양면에 형성된 것으로서, 상면에 형성된 회로와 하면에 형성된 회로는 관통 홀을 통하여 연결된다. 또한, 다층 연성인쇄회로기판은 내층 회로와 외층 회로를 갖는 입체구조의 회로기판으로서, 입체배선에 의한 고밀도 부품실장과 배선거리의 단축이 가능하다는 장점을 갖는다.Such types of flexible printed circuit boards include single-sided, double-sided and multi-layer flexible printed circuit boards depending on the position and number of circuit patterns formed thereon. Among them, the cross-sectional flexible printed circuit board is one in which a circuit pattern is formed, and the mounting density of the component is low and the manufacturing method is simple. In the double-sided flexible printed circuit board, circuit patterns are formed on both upper and lower surfaces, and the circuit formed on the upper surface and the circuit formed on the lower surface are connected through the through holes. In addition, the multi-layer flexible printed circuit board is a three-dimensional circuit board having an inner layer circuit and an outer layer circuit, and has the advantage that high-density component mounting and wiring distance can be shortened by three-dimensional wiring.

상기와 같은 연성인쇄회로기판은 FCCL(Flexible Copper Clad Laminate)을 기판소재로 사용하여 제조한다. 특히 양면 FCCL은 폴리이미드 필름의 표면에 양면에 동박층을 접착한 것을 사용한다.Such a flexible printed circuit board is manufactured using FCCL (Flexible Copper Clad Laminate) as a substrate material. Especially double-sided FCCL uses what adhere | attached the copper foil layer on both surfaces on the surface of a polyimide film.

도 1은 종래 기술에 따른 연성 인쇄회로기판의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a method of manufacturing a flexible printed circuit board according to the prior art.

먼저, 도 1a를 참조하면, 절연층(10) 및 상기 절연층(10)의 양면에 금속층(20)이 적층된 베이스 기판(30)을 준비한다.First, referring to FIG. 1A, a base substrate 30 having a metal layer 20 stacked on both surfaces of the insulating layer 10 and the insulating layer 10 is prepared.

이후, 도 1b를 참조하면, 상기 준비한 베이스 기판(30)을 가공하여 비아 홀(40)을 형성한다. 이때, 상기 비아 홀(40)은 CO2 레이저 또는 YAG 레이저 드릴을 이용하여 형성될 수 있다.Subsequently, referring to FIG. 1B, the prepared base substrate 30 is processed to form a via hole 40. In this case, the via hole 40 may be formed using a CO 2 laser or a YAG laser drill.

다음으로, 도 1c를 참조하면, 상기 형성된 비아 홀(40)의 내벽 및 상기 절연층(10)의 상면에 형성된 금속층(20) 위에 화학 동도금층(50)을 형성한다. 상기 화학 동도금층(50)은 전기 동도금층을 도금하기 위한 도금 시드층이다.Next, referring to FIG. 1C, a chemical copper plating layer 50 is formed on the inner wall of the formed via hole 40 and the metal layer 20 formed on the upper surface of the insulating layer 10. The chemical copper plating layer 50 is a plating seed layer for plating the electrocopper plating layer.

이후, 도 1d를 참조하면, 상기 화학 동도금층(50)을 시드층으로 하여, 상기 상기 비아 홀(40)을 매립하는 전기 동도금층(60)을 형성한다.Subsequently, referring to FIG. 1D, an electrocopper plating layer 60 filling the via hole 40 is formed using the chemical copper plating layer 50 as a seed layer.

이후, 도 1e를 참조하면, 상기 절연층(10)의 양면에 형성된 금속층(20), 화학 동도금층(50) 및 전기 동도금층(60)을 패턴화하여 회로패턴(70)을 형성한다.1E, the circuit pattern 70 is formed by patterning the metal layer 20, the chemical copper plating layer 50, and the electrocopper plating layer 60 formed on both surfaces of the insulating layer 10.

상기와 같이, 종래 기술에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법은 레이저 드릴을 이용하여 비아 홀을 형성함으로써, 상기 절연층(10)의 양면에 형성된 금속층(20)을 전기적으로 접속하였다.As described above, in the method of manufacturing a printed circuit board according to the related art, a via hole is formed using a laser drill, thereby electrically connecting the metal layers 20 formed on both surfaces of the insulating layer 10.

그러나, 상기와 같은 종래 기술에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법은 PNL 단위로 상기와 같은 레이저 드릴을 이용하여 개개의 홀을 형성해야 함으로써, 생산성이 저하되는 문제점이 있다.However, the method of manufacturing a printed circuit board according to the prior art as described above has a problem in that productivity is reduced by forming individual holes using the laser drill as described above in units of PNL.

또한, 상기와 같은 종래 기술에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법은, 상기 레이저 드릴을 이용한 홀 형성 후에 별도의 공정(디스미어 또는 플라즈마)을 진행해야함으로써, 생산비용이 상승하는 문제점이 있다.In addition, the method of manufacturing a printed circuit board according to the related art as described above has a problem in that the production cost increases by performing a separate process (desmear or plasma) after hole formation using the laser drill.

실시 예에서는, 인쇄회로기판의 생산성을 향상시키면서 생산 비용을 감소시킬 수 있는 제조 방법을 제공하도록 한다.In an embodiment, to provide a manufacturing method that can reduce the production cost while improving the productivity of the printed circuit board.

또한, 본 실시 예에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 제안되는 실시 예가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Further, the technical problems to be solved by this embodiment are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems which are not mentioned can be attained by those having ordinary knowledge in the technical field to which the embodiments proposed from the following description belong It will be understood clearly.

실시 예에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법은 절연층의 적어도 일면에 금속층이 적층된 베이스 기판을 제공하는 단계; 상기 베이스 기판을 에칭하여 상기 베이스 기판에 비아 홀을 형성하는 단계; 상기 베이스 기판의 상면 및 상기 비아 홀의 내벽에 시드층을 형성하는 단계; 상기 형성된 시드층 위에 도금층을 형성하는 단계; 및 상기 금속층, 시드층 및 도금층을 패터닝하여 회로 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment may include providing a base substrate having a metal layer laminated on at least one surface of an insulating layer; Etching the base substrate to form via holes in the base substrate; Forming a seed layer on an upper surface of the base substrate and an inner wall of the via hole; Forming a plating layer on the formed seed layer; And patterning the metal layer, the seed layer, and the plating layer to form a circuit pattern.

또한, 상기 절연층은, 폴리이미드 수지를 포함한다.Moreover, the said insulating layer contains polyimide resin.

또한, 상기 비아 홀을 가공하는 단계는, 상기 금속층 위에 감광성 필름을 형성하는 단계와, 상기 형성된 감광성 필름의 일부를 노광 및 현상하여 상기 비아 홀이 형성될 영역을 제거하는 단계와, 상기 일부가 제거된 감광성 필름을 이용하여 상기 비아 홀이 형성될 영역의 금속층을 1차 에칭하는 단계와, 상기 1차 에칭에 의해 노출된 절연층을 2차 에칭하는 단계를 포함한다.The processing of the via hole may include forming a photosensitive film on the metal layer, exposing and developing a portion of the formed photosensitive film to remove a region where the via hole is to be formed, and removing the portion. First etching the metal layer in the region where the via hole is to be formed using the photosensitive film, and second etching the insulating layer exposed by the first etching.

또한, 상기 2차 에칭하는 단계는, 상기 절연층을 구성하는 물질을 제거할 수 있는 약품을 분사하는 단계를 포함한다.In addition, the secondary etching may include spraying a chemical capable of removing the material constituting the insulating layer.

또한, 상기 도금층은, 상기 비아 홀의 내벽에만 선택적으로 형성된다.In addition, the plating layer is selectively formed only on an inner wall of the via hole.

본 발명의 실시 예에 따르면, 층간의 회로 패턴을 전기적으로 연결하기 위한 비아 홀을 레이저 드릴 공정이 아닌 에칭 공정으로 형성시킴으로써, 인쇄회로기판의 생산성을 향상시킬 수 있으며, 추가적인 공정(디스미어 공정 및 플라즈마 공정)을 삭제함에 따른 생산 비용을 감소시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, by forming a via hole for electrically connecting the circuit pattern between layers by an etching process rather than a laser drill process, the productivity of the printed circuit board may be improved, and additional processes (such as a desmear process and Production cost by eliminating the plasma process) can be reduced.

도 1은 종래 기술에 따른 연성 인쇄회로기판의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 실시 예에 따른 인쇄회로기판을 나타낸 도면이다.
도 3 내지 12는 본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법을 공정 순으로 설명하기 위한 단면도이다.
1 is a view for explaining a method of manufacturing a flexible printed circuit board according to the prior art.
2 is a diagram illustrating a printed circuit board according to an exemplary embodiment.
3 to 12 are cross-sectional views for explaining a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention in order of process.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. Throughout the specification, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements as well, without excluding other elements unless specifically stated otherwise.

그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하고, 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.In order to clearly illustrate the present invention in the drawings, thicknesses are enlarged in order to clearly illustrate various layers and regions, and parts not related to the description are omitted, and like parts are denoted by similar reference numerals throughout the specification .

층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.Whenever a portion of a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" another portion, it includes not only the case where it is "directly on" another portion, but also the case where there is another portion in between. Conversely, when a part is "directly over" another part, it means that there is no other part in the middle.

본 발명에서는 인쇄회로기판의 제조 방법으로, 레이저 드릴을 사용하지 않고 폴리이미드 에칭 공정을 통해 홀을 형성함으로써, 생산성 향상 및 생산 비용 감소를 달성할 수 있는 인쇄회로기판의 제조 방법을 제공하도록 한다.In the present invention, a method for manufacturing a printed circuit board, by forming a hole through a polyimide etching process without using a laser drill, to provide a method for manufacturing a printed circuit board that can achieve improved productivity and reduced production cost.

도 2는 실시 예에 따른 인쇄회로기판을 나타낸 도면이다.2 is a diagram illustrating a printed circuit board according to an exemplary embodiment.

도 2를 참조하면, 인쇄회로기판(100)은 절연층(112) 및 금속층(114)으로 이루어진 베이스 기판(110)과, 상기 베이스 기판(110)의 상면 및 하면에 각각 형성된 회로 패턴(180)과, 상기 상면 및 하면에 각각 형성된 회로 패턴(180)을 전기적으로 연결하는 도전 비아(도면 부호 미부여)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the printed circuit board 100 includes a base substrate 110 formed of an insulating layer 112 and a metal layer 114, and circuit patterns 180 formed on upper and lower surfaces of the base substrate 110, respectively. And conductive vias (not shown) to electrically connect the circuit patterns 180 formed on the upper and lower surfaces, respectively.

이때, 회로 패턴(180)은 실질적으로 상기 베이스 기판(110)에 포함된 금속층과, 상기 금속층 위에 형성되는 화학 동도금층과, 상기 화학 동도금층 위에 형성된 전기 동도금층을 포함한다.In this case, the circuit pattern 180 substantially includes a metal layer included in the base substrate 110, a chemical copper plating layer formed on the metal layer, and an electrocopper plating layer formed on the chemical copper plating layer.

베이스 기판(110)은 절연층(112) 및 상기 절연층(112)의 상면과 하면에 각각 형성된 금속층(114)으로 이루어진다.The base substrate 110 is formed of an insulating layer 112 and metal layers 114 formed on upper and lower surfaces of the insulating layer 112, respectively.

상기 절연층(112)은 단일 회로 패턴이 형성되는 인쇄회로기판의 지지기판일 수 있으나, 복수의 적층 구조를 가지는 인쇄회로기판 중 어느 하나의 회로 패턴이 형성되어 있는 절연층 영역을 의미할 수도 있다.The insulating layer 112 may be a supporting substrate of a printed circuit board on which a single circuit pattern is formed, but may also mean an insulating layer region in which any circuit pattern of a printed circuit board having a plurality of stacked structures is formed. .

상기 절연층(112)이 복수의 적층 구조 중 어느 하나의 절연층을 의미하는 경우, 상기 절연층의 상부 및 하부에 복수의 회로 패턴이 연속적으로 형성될 수 있다.When the insulating layer 112 refers to any one of a plurality of stacked structures, a plurality of circuit patterns may be continuously formed on the upper and lower portions of the insulating layer.

상기 절연층(112)은 폴리이미드계 수지를 포함할 수 있다.The insulating layer 112 may include a polyimide resin.

상기 절연층(112) 위에와 아래에는 각각 회로 패턴(180)이 형성된다.Circuit patterns 180 are formed on and under the insulating layer 112, respectively.

상기 회로 패턴(180)은 통상적인 인쇄회로기판의 제조 공정인 어디티브 공법(Additive process), 서브트렉티브 공법(Subtractive Process), MSAP(Modified Semi Additive Process) 및 SAP(Semi Additive Process) 공법 등으로 가능하며 여기에서는 상세한 설명은 생략한다.The circuit pattern 180 may be formed by an additive process, a subtractive process, a modified semi additive process (MSAP), a semi additive process (SAP) process, and the like, which are conventional manufacturing processes of a printed circuit board. Possible details are omitted here.

상기 절연층(112) 위에 형성된 회로 패턴과, 아래에 형성된 회로 패턴은 상기 절연층(112) 내부를 관통하며 형성되는 비아 홀에 금속물질을 도금하여 형성한 도전 비아에 의해 상호 전기적으로 연결된다.The circuit pattern formed on the insulating layer 112 and the circuit pattern formed below are electrically connected to each other by conductive vias formed by plating a metal material in a via hole formed through the insulating layer 112.

실질적으로, 상기 회로 패턴(180)은 상기 절연층(112)의 표면에 형성된 금속층과, 상기 금속층 위에 형성되어 도금 시드층으로 사용되는 화학 동도금층과, 사기 화학 동도금층을 시드층으로 전해도금하여 형성한 전기 동도금층으로 이루어진다.Substantially, the circuit pattern 180 may be formed by electroplating a metal layer formed on the surface of the insulating layer 112, a chemical copper plating layer formed on the metal layer and used as a plating seed layer, and a fraud chemical copper plating layer as a seed layer. It consists of the electroplated copper layer formed.

한편, 상기 비아 홀은 상기 절연층(112)을 개방할 수 있는 약품을 이용하여 형성될 수 있다.Meanwhile, the via hole may be formed using a chemical that can open the insulating layer 112.

이를 위해, 상기 비아 홀은 상기 절연층 물질로 사용되는 폴리이미드 계열의 에칭 약품을 상기 절연층 위에 분사하여 형성할 수 있다.To this end, the via hole may be formed by spraying a polyimide-based etching chemical used as the insulating layer material on the insulating layer.

즉, 기존에는 레이저 드릴을 이용하여 상기 절연층을 개방함으로써, 상기 비아 홀을 형성하였다.That is, conventionally, the via hole is formed by opening the insulating layer using a laser drill.

그러나, 상기와 같이 레이저 드릴을 이용한 비아 홀 형성 방법은, 생산성 저하 및 생산 단가 상승이라는 문제점이 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에서는 상기와 같은 폴리이미드 계열의 에칭 약품을 이용하여 상기 비아 홀을 형성하도록 한다.However, as described above, the method of forming a via hole using a laser drill has a problem of lowering productivity and increasing production cost. Accordingly, in the embodiment of the present invention, the via hole is formed by using the polyimide-based etching chemical.

상기와 같은 본 발명의 실시 예에 따르면, 층간의 회로 패턴을 전기적으로 연결하기 위한 비아 홀을 레이저 드릴 공정이 아닌 에칭 공정으로 형성시킴으로써, 인쇄회로기판의 생산성을 향상시킬 수 있으며, 추가적인 공정(디스미어 공정 및 플라즈마 공정)을 삭제함에 따른 생산 비용을 감소시킬 수 있다.According to the embodiment of the present invention as described above, by forming a via hole for electrically connecting the circuit pattern between the layers by an etching process rather than a laser drill process, it is possible to improve the productivity of the printed circuit board, the additional process (dis Production costs by eliminating the meander process and the plasma process) can be reduced.

도 3 내지 12는 본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법을 공정 순으로 설명하기 위한 단면도이다.3 to 12 are cross-sectional views for explaining a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention in order of process.

먼저, 도 3을 참조하면, 인쇄회로기판의 제조에 기초가 되는 베이스 기판(110)을 준비한다.First, referring to FIG. 3, a base substrate 110, which is a basis for manufacturing a printed circuit board, is prepared.

이때, 상기 베이스 기판(110)은 절연층(112) 및 상기 절연층(112)의 양면에 적층된 금속층(114)을 포함한다.In this case, the base substrate 110 includes an insulating layer 112 and metal layers 114 stacked on both surfaces of the insulating layer 112.

상기 절연층(112)은 연성 절연층으로써, 이는 폴리이미드층일 수 있다.The insulating layer 112 is a flexible insulating layer, which may be a polyimide layer.

또한, 상기 금속층(114)은 전기 전도성 금속으로 이루어지는데, 이는 금, 은 및 구리 등을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 구리로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the metal layer 114 is made of an electrically conductive metal, which may include gold, silver, copper, and the like, and preferably, copper.

상기 베이스 기판(110)은 상기와 같은 금, 은 및 구리 등의 전기 전도성 금속으로 이루어진 금속층(114)에 바니시(Varnish)를 도포하고, 그 위에 상기 절연층(112)을 적층한 후 열처리 공정을 진행함으로써 제조될 수 있다.The base substrate 110 is coated with a varnish (Varnish) on a metal layer 114 made of an electrically conductive metal such as gold, silver and copper, and the heat treatment process after laminating the insulating layer 112 thereon It can be manufactured by going.

다음으로, 도 4를 참조하면 상기 절연층(112)의 제 1면에 형성된 금속층(114) 위에 감광성 필름(120)을 부착한다.Next, referring to FIG. 4, the photosensitive film 120 is attached onto the metal layer 114 formed on the first surface of the insulating layer 112.

이때, 상기 감광성 필름(120)은 드라이 필름일 수 있다. 또한, 상기 감광성 필름(120)은 롤 투 롤 및 시트 둘 다 가능할 수 있다.In this case, the photosensitive film 120 may be a dry film. In addition, the photosensitive film 120 may be both a roll to roll and a sheet.

이때, 상기 감광성 필름(120)은 UV 노광 타입 또는 LDI 노광 타입의 필름이 사용될 수 있다.In this case, the photosensitive film 120 may be a film of the UV exposure type or LDI exposure type.

또 다른 실시 예에서, 상기 금속층(114) 위에는 감광성 필름(120) 대신에 감광성 도포액이 도포될 수도 있다.In another embodiment, a photosensitive coating liquid may be applied onto the metal layer 114 instead of the photosensitive film 120.

이후, 도 5 및 6을 참조하면, 홀이 형성될 부분이 노출된 아트워크 필름(artwork film)(130)을 이용하여 노광을 실시한다.Subsequently, referring to FIGS. 5 and 6, exposure is performed using an artwork film 130 exposing a portion where a hole is to be formed.

이때, 상기 노광은 홀이 형성될 부위를 제외한 나머지 영역에 대해 실시될 수 있다.In this case, the exposure may be performed on the remaining area except for the portion where the hole is to be formed.

상기 노광은 상기 홀이 형성될 부분과 형성되지 않을 부분을 구분하여 감광성 필름(120)에 빛을 조사하는 것을 의미한다. 즉, 노광은 상기 홀이 형성될 부위를 제외한 나머지 부분에 빛을 조사하는 공정이다. The exposure means irradiating light to the photosensitive film 120 by dividing the portion where the hole is to be formed and the portion where the hole is not to be formed. That is, exposure is a process of irradiating light to the remaining portions except for the portion where the holes are to be formed.

이후, 상기 감광성 필름(120)에 대한 현상 과정을 거쳐 홀이 형성될 영역을 노출시킨다.Thereafter, a region in which a hole is to be formed is exposed through a developing process for the photosensitive film 120.

상기 현상은, 상기 노광에 의해 빛이 조사된 부분을 제거하는 공정을 의미한다.The said development means the process of removing the part irradiated with the light by the said exposure.

이에 따라, 상기 홀이 형성될 부분에 대한 감광성 필름(120)은 제거될 수 있다.Accordingly, the photosensitive film 120 for the portion where the hole is to be formed may be removed.

다음으로, 도 7을 참조하면, 상기 홀이 형성될 영역이 노출된 감광성 필름(120)을 마스크로 하여, 상기 절연층(112)의 제 1면에 형성된 금속층(114)의 일부를 1차 에칭한다.Next, referring to FIG. 7, a portion of the metal layer 114 formed on the first surface of the insulating layer 112 is firstly etched using the photosensitive film 120 having the region where the hole is to be formed exposed as a mask. do.

상기 1차 에칭은, 상기 감광성 필름(120)이 형성되지 않은 부분에 위치한 금속층(114)과 화학 반응하는 물질을 이용하여 상기 감광성 필름(120)이 형성되지 않음에 따라 노출된 금속층(112)을 부식시켜 없애는 공정을 의미한다.The first etching may be performed by exposing the exposed metal layer 112 as the photosensitive film 120 is not formed using a material that chemically reacts with the metal layer 114 positioned on the portion where the photosensitive film 120 is not formed. It means the process of removing by corrosion.

다음으로, 도 8을 참조하면, 상기 금속층(114) 위에 형성한 감광성 필름(120)을 제거한다.Next, referring to FIG. 8, the photosensitive film 120 formed on the metal layer 114 is removed.

다음으로, 도 9를 참조하면 상기 금속층(114)이 형성되지 않은 부분에 위치한 절연층(112)을 제거하여 비아 홀(150)을 형성한다.Next, referring to FIG. 9, the via hole 150 is formed by removing the insulating layer 112 located at a portion where the metal layer 114 is not formed.

즉, 상기 비아 홀(150)이 형성될 부분에 위치한 금속층(114)은 이전 단계에 의해 제거되어 있다.That is, the metal layer 114 located at the portion where the via hole 150 is to be formed is removed by the previous step.

따라서, 상기 비아 홀(150)이 형성될 부분의 절연층 표면은 외부로 노출되어 있다. 이에 따라, 상기 노출되어 있는 절연층 표면 위에 상기 절연층을 제거할 수 있는 약품을 분사하여 상기 비아 홀(150)을 형성한다.Therefore, the surface of the insulating layer of the portion where the via hole 150 is to be formed is exposed to the outside. Accordingly, the via hole 150 is formed by spraying a chemical to remove the insulating layer on the exposed surface of the insulating layer.

이때, 상기 약품은 상기 절연층 물질에 대응하는 폴리이미드 약품인 것이 바람직하다.In this case, the drug is preferably a polyimide drug corresponding to the insulating layer material.

다시 말해서, 본 발명은 종래 기술에서와 같이 상기 절연층(112)을 레이저 드릴로 가공하여 상기와 같은 비아 홀을 형성하는 것이 아니라, 상기 절연층(112)을 제거할 수 있는 폴리이미드 약품을 사용하여 에칭 공정을 수행함으로써, 상기 바아 홀을 형성한다.In other words, the present invention uses a polyimide chemical that can remove the insulating layer 112, rather than forming the via hole as described above by processing the insulating layer 112 with a laser drill as in the prior art. By performing an etching process to form the bar holes.

다음으로, 도 10을 참조하면 상기 절연층(112) 위에 형성된 금속층(114)의 표면 및 상기 형성된 비아 홀(150)의 내벽에 화학 동도금층(160)을 형성한다.Next, referring to FIG. 10, a chemical copper plating layer 160 is formed on a surface of the metal layer 114 formed on the insulating layer 112 and an inner wall of the formed via hole 150.

상기 화학 동도금층(160)은 도전 비아 및 회로 패턴을 형성하기 위한 도금 시드층으로의 기능을 한다.The chemical copper plating layer 160 functions as a plating seed layer for forming conductive vias and circuit patterns.

상기 화학 동도금 방식은 탈지 과정, 소프트 부식 과정, 예비 촉매 처리 과정, 촉매처리 과정, 활성화 과정, 무전해 도금 과정 및 산화방지 처리 과정의 순서로 처리하여 진행할 수 있다. The chemical copper plating method may be performed by treating in a degreasing process, a soft corrosion process, a precatalyst process, a catalyst process, an activation process, an electroless plating process, and an anti-oxidation process.

또한, 상기 동도금은 두께에 따라 헤비 동도금(Heavy Copper, 2㎛이상), 미디엄 동도금(Medium Copper, 1~2㎛), 라이트 동도금(Light Copper, 1㎛이하)으로 각각 구분되며, 여기에서는 미디엄 동도금 또는 라이트 동도금으로 0.5~1.5㎛를 만족하는 도금 씨드층을 형성한 이후에 이의 일부를 제거하여 상기 화학 동도금층(160)을 형성할 수도 있다.In addition, the copper plating is divided into heavy copper plating (Heavy Copper, 2㎛ or more), medium copper plating (Medium Copper, 1 ~ 2㎛), light copper plating (Light Copper, 1㎛ or less) according to the thickness, here, medium copper plating Alternatively, after forming a plating seed layer satisfying 0.5 to 1.5 μm with light copper plating, a part of the plating seed layer may be removed to form the chemical copper plating layer 160.

한편, 상기 시드층으로는 스퍼터(sputter), 열증착(thermal evaporation) 또는 이-빔(e-beam)법의 진공층착법에 의해 형성된 도금층으로 대체할 수 있으나, 당업계에 공지된 것이라면 특별히 이에 한정되는 것은 아니다.Meanwhile, the seed layer may be replaced by a plating layer formed by a sputtering, thermal evaporation, or vacuum evaporation method of an e-beam method. It is not limited.

이로부터 형성되는 시드층의 두께는 0.02∼4㎛, 바람직하게는 0.02∼1㎛, 좀 더 바람직하게는 0.02∼0.5㎛인 것이 바람직하다. 특히, 상기와 같은 진공 증착법을 통해서 기존의 습식 무전해 도금 공정에 따라 형성되는 시드층의 두께(통상 2∼3㎛)에 비하여 선택적으로 좀 더 얇게 시드층을 형성할 수 있다. 아울러, 기존의 시드층 형성 공정인 무전해 도금법을 진공증착법으로 대체함으로써 습식 공정을 건식 공정으로 전환하여 폐액 등이 발생되지 않으므로 친환경적이다.It is preferable that the thickness of the seed layer formed therefrom is 0.02-4 micrometers, Preferably it is 0.02-1 micrometer, More preferably, it is 0.02-0.5 micrometer. Particularly, the seed layer may be selectively thinner than the thickness of the seed layer (usually 2 to 3 μm) formed by the conventional wet electroless plating process through the vacuum deposition method as described above. In addition, by replacing the conventional electroless plating method, which is a seed layer forming process, by vacuum deposition, it is eco-friendly since waste liquid is not generated by converting the wet process into a dry process.

다음으로, 도 11을 참조하면 상기 화학 동도금층(160) 상부에 전기 동도금층(170)을 형성한다.Next, referring to FIG. 11, an electrocopper plating layer 170 is formed on the chemical copper plating layer 160.

상기 전기 동도금층(170)의 형성은 상기 화학 동도금층(160) 및 금속층(114)을 인입선으로 하여 일반적인 전해도금방식으로 수행될 수 있다.The electrocopper plating layer 170 may be formed by a general electroplating method using the chemical copper plating layer 160 and the metal layer 114 as a lead wire.

이때, 전기 동도금층(170)은 상기 비아 홀(150)의 내부를 모두 충전하며 형성되는 것이 아니라, 상기 비아 홀(150)의 내벽에만 선택적으로 형성되도록 한다.In this case, the electrical copper plating layer 170 is not formed to fill all the inside of the via hole 150, but is selectively formed only on the inner wall of the via hole 150.

다음으로, 도 12를 참조하면, 상기 금속층(112), 화학 동도금층(160) 및 전기 동도금층(170)을 패터닝하여 상기 절연층(112) 상부 및 하부에 각각 회로 패턴(180)을 형성한다.Next, referring to FIG. 12, the metal layer 112, the chemical copper plating layer 160, and the electrical copper plating layer 170 are patterned to form circuit patterns 180 on the upper and lower portions of the insulating layer 112, respectively. .

이를 위해, 먼저 상기 전기 동 도금층(170) 위에 예를 들면, 감광성 드라이 필름으로 이루어진 에칭 레지스트를 적층 및 패터닝하고, 상기 에칭 레지스트에 의해 노출된 상기 금속층(112), 화학 동도금층(160) 및 전기 동도금층(170)을 에칭 제거하여 패터닝함으로써, 상기 회로 패턴(180)을 형성할 수 있다.To this end, first, an etching resist made of, for example, a photosensitive dry film is laminated and patterned on the electroplating layer 170, and the metal layer 112, the chemical copper plating layer 160, and the electroplating exposed by the etching resist are formed. The circuit pattern 180 may be formed by etching and patterning the copper plating layer 170.

본 발명의 실시 예에 따르면, 층간의 회로 패턴을 전기적으로 연결하기 위한 비아 홀을 레이저 드릴 공정이 아닌 에칭 공정으로 형성시킴으로써, 인쇄회로기판의 생산성을 향상시킬 수 있으며, 추가적인 공정(디스미어 공정 및 플라즈마 공정)을 삭제함에 따른 생산 비용을 감소시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, by forming a via hole for electrically connecting the circuit pattern between layers by an etching process rather than a laser drill process, the productivity of the printed circuit board may be improved, and additional processes (such as a desmear process and Production cost by eliminating the plasma process) can be reduced.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.

112: 절연층
114: 금속층
150: 비아 홀
160: 화학 동도금층
170: 전기 동도금층
180: 회로 패턴
112: insulating layer
114: metal layer
150: via hole
160: chemical copper plating layer
170: electric copper plating layer
180: circuit pattern

Claims (5)

절연층의 적어도 일면에 금속층이 적층된 베이스 기판을 제공하는 단계;
상기 베이스 기판을 에칭하여 상기 베이스 기판에 비아 홀을 형성하는 단계;
상기 베이스 기판의 상면 및 상기 비아 홀의 내벽에 시드층을 형성하는 단계;
상기 형성된 시드층 위에 도금층을 형성하는 단계; 및
상기 금속층, 시드층 및 도금층을 패터닝하여 회로 패턴을 형성하는 단계를 포함하는
인쇄회로기판의 제조 방법.
Providing a base substrate having a metal layer laminated on at least one surface of the insulating layer;
Etching the base substrate to form via holes in the base substrate;
Forming a seed layer on an upper surface of the base substrate and an inner wall of the via hole;
Forming a plating layer on the formed seed layer; And
Patterning the metal layer, seed layer, and plating layer to form a circuit pattern;
A method of manufacturing a printed circuit board.
제 1항에 있어서,
상기 절연층은,
폴리이미드 수지를 포함하는
인쇄회로기판의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the insulating layer
Containing polyimide resin
A method of manufacturing a printed circuit board.
제 1항에 있어서,
상기 비아 홀을 가공하는 단계는,
상기 금속층 위에 감광성 필름을 형성하는 단계와,
상기 형성된 감광성 필름의 일부를 노광 및 현상하여 상기 비아 홀이 형성될 영역을 제거하는 단계와,
상기 일부가 제거된 감광성 필름을 이용하여 상기 비아 홀이 형성될 영역의 금속층을 1차 에칭하는 단계와,
상기 1차 에칭에 의해 노출된 절연층을 2차 에칭하는 단계를 포함하는
인쇄회로기판의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The step of processing the via hole,
Forming a photosensitive film on the metal layer;
Exposing and developing a portion of the formed photosensitive film to remove a region where the via hole is to be formed;
First etching the metal layer of the region where the via hole is to be formed using the photosensitive film from which the portion is removed;
Second etching the insulating layer exposed by the first etching;
A method of manufacturing a printed circuit board.
제 3항에 있어서,
상기 2차 에칭하는 단계는,
상기 절연층을 구성하는 물질을 제거할 수 있는 약품을 분사하는 단계를 포함하는,
인쇄회로기판의 제조 방법.
The method of claim 3,
The secondary etching step,
Injecting a chemical that can remove the material constituting the insulating layer,
A method of manufacturing a printed circuit board.
제 1항에 있어서,
상기 도금층은,
상기 비아 홀의 내벽에만 선택적으로 형성되는
인쇄회로기판의 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the plating layer comprises:
Selectively formed only on an inner wall of the via hole
A method of manufacturing a printed circuit board.
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