KR20120031362A - Embedded pcb and manufacturing method for the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 인쇄회로기판(PCB) 기술에 관한 것으로, 특히, 실장 밀집도를 향상시키는 임베디드(embedded) 인쇄회로기판 및 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to printed circuit board (PCB) technology, and more particularly, to an embedded printed circuit board and a manufacturing method for improving mounting density.
전자 기기의 소형화에 따라, 전자 부품이 보다 고기능화되고 보다 더 소형화되고 있다. 디지털 네트워크의 고도화에 의해, 휴대폰이나 휴대 컴퓨터 등과 같은 휴대 정보 단말 기기가 고성능 및 고기능화되고 있으며, 다양한 기능이 하나의 기기에 융합되어 복합화되고 있다. 정보량의 급속한 증대에 따라 휴대 단말 기기의 정보 처리 속도 또한 급속히 향상되는 것이 요구되고 있다. 또한, 디지털 기기의 고성능을 위해 로직 소자(LSI)와 유기적인 접속을 위한 기판 실장 기술의 중요성이 높아지고 있다. With the miniaturization of electronic devices, electronic components are becoming more functional and more compact. BACKGROUND ART With the advancement of digital networks, portable information terminal devices such as mobile phones and portable computers have become high performance and high functionality, and various functions have been fused and combined into one device. With the rapid increase in the amount of information, the information processing speed of the portable terminal device is also required to be rapidly improved. In addition, the substrate mounting technology for the organic connection with the logic element (LSI) for the high performance of digital devices is increasing.
전자 기기가 소형화되고 고기능화됨에 따라, 인쇄회로기판에 실장되어야 하는 부품 소자 수가 크게 증가되고 있고, 이에 반해 기판의 면적은 크게 감소시키는 것이 요구되고 있다. 휴대폰에 소요되는 기판의 경우 제한된 기판 면적에 보다 많은 부품 소자의 실장이 요구되고 있다. 특히, 기판 표면적이 제한되고 있어, 기판 표면에 다기능 및 고기능 동작을 위한 부품 소자들의 실장을 위해서, 기판 표면에 실장되는 수동 소자의 수를 줄이는 방안이 요구되고 있다. 기판 표면적의 제한에 의해 표면에 실장될 부품 수의 감소가 요구되는 데 비해, 실질적으로 기판에 실장되어야 할 수동 소자의 부품 수는 휴대폰과 같은 휴대 단말 기기의 고성능 동작을 위해 보다 증대되고 있다. 따라서, 제한된 기판 크기 및 표면적에도 불구하고 보다 많은 부품들을 실장할 수 있는 방법의 개발이 요구되고 있다. As electronic devices become smaller and more functional, the number of component elements to be mounted on a printed circuit board is greatly increased, while the area of the substrate is required to be greatly reduced. In the case of a board used in a mobile phone, mounting of more component elements is required in a limited board area. In particular, since the substrate surface area is limited, a method of reducing the number of passive elements mounted on the substrate surface is required for mounting component elements for multi-function and high-performance operation on the substrate surface. While the reduction in the number of components to be mounted on the surface is required due to the limitation of the surface area of the substrate, the number of passive components to be mounted on the substrate is substantially increased for high performance operation of a portable terminal device such as a mobile phone. Thus, there is a need for development of a method that can mount more components despite limited substrate size and surface area.
본 발명은 부품 소자들의 실장 밀집도를 향상시킬 수 있는 임베디드 인쇄회로기판 및 제조 방법을 제시하고자 한다. The present invention intends to provide an embedded printed circuit board and a manufacturing method capable of improving the mounting density of component devices.
본 발명의 일 관점은, 인쇄회로기판; 상기 기판 내에 매몰된 제1회로 소자; 상기 제1회로 소자에 중첩되게 매몰 적층된 제2회로 소자; 및 상기 제1 및 제2회로 소자를 전기적으로 연결하는 수직한 범프(bump)들을 포함하는 임베디드 인쇄회로기판을 제시한다. One aspect of the invention, a printed circuit board; A first circuit element embedded in the substrate; A second circuit element buried and superimposed on the first circuit element; And vertical bumps electrically connecting the first and second circuit elements.
상기 제1 및 제2회로 소자들은 능동 소자, 커패시터 또는 레지스터일 수 있다. The first and second circuit elements may be active elements, capacitors or resistors.
본 발명의 다른 일 관점은, 인쇄회로기판; 상기 기판 내에 매몰된 제1커패시터; 상기 제1커패시터에 중첩되게 매몰 적층된 제2커패시터; 및 상기 제1 및 제2커패시터를 전기적으로 연결하는 수직한 범프(bump)들을 포함하는 임베디드 인쇄회로기판을 제시한다. Another aspect of the invention, a printed circuit board; A first capacitor embedded in the substrate; A second capacitor buried in an overlapping manner with the first capacitor; And vertical bumps electrically connecting the first and second capacitors.
상기 범프들은 상기 제1 및 제2커패시터를 병렬 연결하게 대향되는 상기 제1 및 제2커패시터의 전극들을 연결하는 것일 수 있다. The bumps may connect the electrodes of the first and second capacitors facing each other to connect the first and second capacitors in parallel.
상기 기판 표면 상에 형성된 외층 회로 배선층; 및 상기 외층 회로 배선층과 상기 제1커패시터를 연결하는 연결 비아(via)들을 더 포함할 수 있다. An outer circuit wiring layer formed on the substrate surface; And connection vias connecting the outer circuit wiring layer and the first capacitor.
상기 기판 내에 매몰된 제1레지스터; 상기 제1레지스터에 부분적으로 중첩되게 매몰 적층된 제2레지스터; 및 상기 제1 및 제2레지스터가 부분적으로 중첩되는 부분에 위치하여 상호 직렬 연결시키는 제2의 범프를 더 포함할 수 있다. A first register embedded in the substrate; A second register buried and partially overlapped with the first register; And a second bump positioned at a portion where the first and second registers partially overlap each other and connected in series with each other.
본 발명의 다른 일 관점은, 제1회로 소자가 표면에 매몰된 제1기판을 형성하는 단계; 상기 제1회로 소자에 대향되는 제2회로 소자가 표면에 매몰된 제2기판을 형성하는 단계; 상기 제2회로 소자 상에 범프를 형성하는 단계; 상기 범프에 상기 제1회로 소자가 대향되게 상기 제1기판을 사이에 절연층을 개재하여 상기 제2기판 상에 정렬하는 단계; 및 상기 제2기판, 절연층 및 제1기판을 압착하여 상호 접착시키며 상기 범프가 상기 절연층을 관통하여 상기 제1회로 소자에 연결되게 하는 단계를 포함하는 임베디드 인쇄회로기판 제조방법을 제시한다. Another aspect of the invention, forming a first substrate buried in the surface of the first circuit element; Forming a second substrate in which a second circuit element opposed to the first circuit element is buried in a surface; Forming bumps on the second circuit element; Aligning the first substrate on the second substrate with an insulating layer interposed therebetween such that the first circuit element faces the bumps; And bonding the second substrate, the insulating layer, and the first substrate to each other by pressing each other, and allowing the bumps to be connected to the first circuit element through the insulating layer.
본 발명의 다른 일 관점은, 제1커패시터가 표면에 매몰된 제1기판을 형성하는 단계; 상기 제1커패시터에 대향되는 제2커패시터가 표면에 매몰된 제2기판을 형성하는 단계; 상기 제2커패시터의 양 전극들 상에 범프들을 형성하는 단계; 상기 범프들에 상기 제1커패시터의 양 전극들이 대향되게 상기 제1기판을 사이에 중간 절연층을 개재하여 상기 제2기판 상에 정렬하는 단계; 및 상기 제2기판, 절연층 및 제1기판을 압착하여 상호 접착시키며 상기 범프들이 상기 중간 절연층을 관통하여 상기 제1커패시터의 양 전극들에 연결되게 하여 상기 제1 및 제2커패시터들을 상호 병렬 연결하는 단계를 포함하는 임베디드 인쇄회로기판 제조방법을 제시한다. Another aspect of the invention, forming a first substrate buried in the surface of the first capacitor; Forming a second substrate having a second capacitor opposed to the first capacitor embedded in a surface thereof; Forming bumps on both electrodes of the second capacitor; Arranging the first substrate on the second substrate with an intermediate insulating layer interposed therebetween so that both electrodes of the first capacitor face the bumps; And adhering the second substrate, the insulating layer, and the first substrate to each other and bonding the bumps through the intermediate insulating layer to be connected to both electrodes of the first capacitor, thereby paralleling the first and second capacitors. An embedded printed circuit board manufacturing method including a step of connecting is provided.
상기 제1기판에 상기 제1커패시터와 이격된 제1레지스터를 매몰하는 단계; 및 상기 제1레지스터에 부분적으로 중첩되게 대향되는 상기 제2기판에 제2레지스터를 매몰하는 단계를 더 포함하고, 상기 범프의 형성 시 상기 제1 및 제2레지스터들을 직렬 연결할 제2의 범프를 함께 형성할 수 있다. Embedding a first register spaced apart from the first capacitor in the first substrate; And embedding a second register in the second substrate that is partially overlapped with the first register, wherein a second bump is connected together to connect the first and second registers in series when the bump is formed. Can be formed.
상기 범프는 상기 중간 절연층에 대향되는 끝단이 뾰족한 형상으로 형성될 수 있다. The bump may be formed in a pointed end that is opposite to the intermediate insulating layer.
상기 제1기판을 형성하는 단계는 양면에 각각 제1 및 제2도전층이 형성된 제1절연층을 도입하는 단계; 상기 제1절연층을 관통하여 상기 제1커패시터가 수용될 캐비티(cavity)를 형성하는 단계; 상기 캐비티 내에 상기 제1커패시터를 수용하는 단계; 일면에 제3도전층이 형성된 제2절연층을 상기 제2절연층이 상기 제1커패시터에 대향되게 도입하는 단계; 및 상기 제2절연층과 상기 제1절연층을 상호 접착하여 상기 제2절연층에 상기 제1커패시터가 접착되게 하는 단계를 포함할 수 있다. The forming of the first substrate may include introducing a first insulating layer having first and second conductive layers formed on both surfaces thereof, respectively; Penetrating the first insulating layer to form a cavity in which the first capacitor is to be accommodated; Receiving the first capacitor in the cavity; Introducing a second insulating layer having a third conductive layer formed on one surface thereof so that the second insulating layer faces the first capacitor; And attaching the first capacitor to the second insulating layer by bonding the second insulating layer and the first insulating layer to each other.
상기 캐비티 내에 상기 제1커패시터를 수용하는 단계는 상기 제1도전층 상에 일면이 상기 캐비티 내에 노출되는 접착 필름을 부착하는 단계; 및 상기 제1커패시터를 상기 캐비티 내에 노출된 상기 접착 필름 부분에 접착시키는 단계를 포함할 수 있다. Receiving the first capacitor in the cavity may include attaching an adhesive film having one surface exposed in the cavity on the first conductive layer; And adhering the first capacitor to a portion of the adhesive film exposed in the cavity.
상기 제1 내지 제3도전층 각각을 회로 배선층들으로 각각 패터닝하는 단계들을 더 포함할 수 있다. The method may further include patterning each of the first to third conductive layers into circuit wiring layers, respectively.
본 발명에 따르면 기판 내에 수동 소자(passive device)나 능동 소자(active device)와 같은 회로 소자를 임베드(embed)하여 인쇄회로기판(PCB)을 제조할 때, 회로 소자와 회로 소자를 직적 적층(direct stack)하여 실장 밀집도를 향상시킬 수 있다. 상호 적층되는 회로 소자들은 연결 범프(bump)에 의해 연결되므로, 회로 소자들의 연결을 위한 회로 배선층들이 생략될 수 있어 실장 밀집도를 향상시킬 수 있다. According to the present invention, when a printed circuit board (PCB) is manufactured by embedding a circuit device such as a passive device or an active device in a substrate, the circuit device and the circuit device are directly stacked. stack density to improve mounting density. Since the circuit elements stacked on each other are connected by a connection bump, circuit wiring layers for connection of the circuit elements may be omitted, thereby improving mounting density.
범프에 의해 회로 소자들, 특히, 커패시터와 같은 수동 소자가 상호 간에 직접적으로 연결될 수 있으므로, 상 하 적층된 커패시터들이 병렬로 직접적으로 연결되어 커패시턴스(capacitance)의 증대를 구현할 수 있다. 상하 적층된 커패시터들이 병렬로 연결될 수 있으므로, 커패시터들이 차지하는 면적이 단일 커패시터의 크기로 제한되면서도, 다수의 커패시터들이 병렬 연결될 수 있어 기판 표면적 당 커패시터의 실장 밀도를 증대시킬 수 있으며 기판 표면적 당 커패시턴스의 증대를 구현할 수 있다. 또한, 커패시터와 커패시터를 연결할 때 별도의 복잡한 회로 배선층이 개재되지 않고, 상하 적층된 커패시터들이 수직한 범프를 통해 직접 연결되므로, 복잡한 회로 배선층에 의해 노이즈(noise)의 발생을 억제할 수 있다. Since bumps can directly connect circuit elements, in particular passive elements such as capacitors, to each other, capacitors stacked up and down can be directly connected in parallel to implement an increase in capacitance. Capacitors stacked up and down can be connected in parallel, so that while the area occupied by capacitors is limited to the size of a single capacitor, multiple capacitors can be connected in parallel to increase the mounting density of capacitors per substrate surface area and increase capacitance per substrate surface area. Can be implemented. In addition, when the capacitor and the capacitor are connected, a separate complicated circuit wiring layer is not interposed, and since the capacitors stacked up and down are directly connected through vertical bumps, the occurrence of noise can be suppressed by the complicated circuit wiring layer.
임베디드된 회로 소자들 사이를 연결하는 별도의 회로 배선층을 생략하여 노이즈를 줄일 수 있으므로, 회로 소자들의 동작 성능을 향상시킬 수 있다. 또한, 회로 소자들이 상하 직접 적층에 의해 범프를 통해 직렬 또는 병렬 연결될 수 있으므로, 기판 표면적의 제한에 따른 실장 밀집도의 한계를 극복할 수 있고, 이에 따라, 기판의 디자인(design) 설계에서의 기판 표면적의 제한 한계를 극복할 수 있다. 회로 소자들 간의 연결 경로가 수직한 범프의 높이로 단축되므로, 복잡하게 긴 회로 배선층에 의한 연결 경로의 증가에 따른 회로 노이즈 증가를 억제하고, 회로 노이즈의 감소를 구현할 수 있어 기판의 성능 향상을 구현할 수 있다. Since a separate circuit wiring layer connecting the embedded circuit elements may be omitted, noise may be reduced, thereby improving operation performance of the circuit elements. In addition, since the circuit elements can be connected in series or in parallel via bumps by vertical stacking directly, it is possible to overcome the limitation of the mounting density due to the limitation of the substrate surface area, and thus, the substrate surface area in the design design of the substrate. Can overcome the limitations of Since the connection path between circuit elements is shortened to the height of the vertical bump, it is possible to suppress the increase of the circuit noise caused by the increase of the connection path by the complicated long circuit wiring layer and to reduce the circuit noise, thereby improving the performance of the board. Can be.
도 1 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 임베디드 인쇄회로기판 및 제조방법을 보여주는 도면들이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 임베디드 인쇄회로기판 및 제조방법의 효과를 설명하기 위해 제시한 도면들이다. 1 to 8 are views illustrating an embedded printed circuit board and a manufacturing method according to an embodiment of the present invention.
9 and 10 illustrate the effects of an embedded printed circuit board and a manufacturing method according to an exemplary embodiment of the present invention.
본 발명의 실시예들은 기판 내에 임베드되는 임베디드 소자(embedded device) 또는 회로 소자들이 상호 간에 직접 적층(direct stack)된 인쇄회로기판 구조 및 이를 위한 제조방법을 제시한다. 임베드되는 회로 소자는 수동 소자(passive device)나 능동 소자(active device)일 수 있으며, 수동 소자의 경우 커패시터나 레지스터(resistor)일 수 있다. Embodiments of the present invention propose a printed circuit board structure in which an embedded device or circuit elements embedded in a substrate are directly stacked on each other, and a manufacturing method therefor. The embedded circuit device may be a passive device or an active device, and in the case of a passive device, it may be a capacitor or a resistor.
인쇄회로기판이 휴대폰 단말 기기나 디지털 기기에 채용될 때, 고주파에서의 저 임피던스(low impedance)로 인한 로직 소자(LSI)의 파워 노이즈(power noise)나, 반사 노이즈(reflection noise) 또는 상호 교란(cross talk) 등의 특성을 개선하기 위해서, 보다 높은 커패시턴스를 요구하고 있다. 휴대폰 기판에서 커패시터는 실장되는 전체 수동 소자 부품들 중 60% 정도를 차지하고 있으며, 커패시턴스의 확보를 위해 실장되는 커패시터 수는 증대되고 있다. 그럼에도 불구하고, 기판의 크기는 감소되거나 제한되고 있으므로, 보다 높은 커패시턴스를 확보하기 위해서, 본 발명의 실시예에서는 적층형 세라믹 커패시터(MLCC)와 같은 커패시터 소자들을 기판 내에 임베드(embed)하고, 커패시터들 상호 간에 직접 상하로 적층된 구조를 제시한다. When a printed circuit board is employed in a mobile terminal device or a digital device, power noise, reflection noise, or mutual disturbance of a logic element (LSI) due to low impedance at high frequency, In order to improve characteristics such as cross talk, higher capacitance is required. Capacitors account for about 60% of the total passive component parts mounted on mobile phone boards, and the number of capacitors mounted to secure capacitance is increasing. Nevertheless, since the size of the substrate is being reduced or limited, in order to ensure higher capacitance, embodiments of the present invention embed capacitor elements such as a multilayer ceramic capacitor (MLCC) in the substrate, A structure laminated directly up and down is shown.
커패시턴스를 확보하기 위해서는 커패시터들이 병렬 연결되어야 하는 데, 커패시터들을 기판 표면에 실장할 경우, 표면 실장된 커패시터 옆에 다른 커패시터가 표면 실장되어야 하므로, 커패시터들이 차지하는 기판 표면적은 그 수에 비례하여 급격히 증가하게 된다. 기판의 표면적은 제한되므로 기판 표면에 실장될 커패시터의 수는 제한되게 된다. 이를 극복하기 위해서, 본 발명의 실시예에는 커패시터를 기판 내에 임베드하고, 임베드된 커패시터 상에 중첩되는 위치에 다른 커패시터를 다시 임베드하고, 이를 반복 적층하여 다수 개의 커패시터들을 적층한 임베디드 기판 구조를 제시한다. Capacitors must be connected in parallel to ensure capacitance. When capacitors are mounted on the substrate surface, another capacitor must be surface mounted next to the surface mounted capacitor, so that the substrate surface area occupied by the capacitors increases rapidly in proportion to the number thereof. do. Since the surface area of the substrate is limited, the number of capacitors to be mounted on the substrate surface is limited. In order to overcome this, an embodiment of the present invention provides an embedded substrate structure in which a capacitor is embedded in a substrate, another capacitor is re-embedded at a position overlapped on the embedded capacitor, and repeatedly stacked to stack a plurality of capacitors. .
이때, 커패시터들을 병렬 연결하여 보다 큰 커패시턴스를 확보하기 위해서, 상호 적층된 커패시터의 전극들을 연결 범프(bump)를 이용하여 수직 연결한다. 이와 같이 커패시터들이 상호 간에 상하로 직접 적층(direct stack)되므로, 기판에 실질적으로 실장된 커패시터의 수가 증가됨에도 이에 요구되는 기판 표면적의 증가를 유효하게 억제할 수 있다. 이에 따라, 기판에 실장되는 밀집도를 증가시킬 수 있으며, 실질적으로 40% 정도의 기판 크기 감소 효과를 구현할 수 있다. At this time, in order to secure a larger capacitance by connecting the capacitors in parallel, the electrodes of the stacked capacitors are vertically connected using a connection bump. Since the capacitors are directly stacked on top of each other, the increase in the substrate surface area required for the capacitor can be effectively suppressed even though the number of capacitors mounted on the substrate is increased. Accordingly, it is possible to increase the density mounted on the substrate, it is possible to realize a substrate size reduction effect of about 40% substantially.
커패시터와 커패시터가 수직 범프에 의해 직접 연결되므로, 이들 커패시터들을 연결하기 위해 별도의 회로 배선층을 배제할 수 있다. 적층된 커패시터들을 회로 배선층을 통해 연결하기 위해서는 관통 비아(via)와 비아까지의 연장되는 트레이서(tracer) 배선층이 요구되지만, 수직한 범프를 통해 상측에 적층된 커패시터의 전극과 하측에 적층된 커패시터의 전극이 직접 연결되므로, 즉, 직접 적층 방식으로 커패시터들이 적층되므로, 복잡한 회로 배선층이 생략될 수 있다. 복잡한 회로 배선층은 연장되는 배선층의 길이가 길어 연결 경로가 길고 복잡하기 때문에, 긴 연결 경로에 기인하는 기생 커패시턴스 성분과 노이즈가 유발될 수 있다. 이에 비해 연결 범프를 통한 직접 적층 시에는 연결 경로가 범프 높이에 제한되고, 경로가 단순화되므로, 이러한 기생 커패시턴스 성분과 노이즈를 유효하게 크게 억제시킬 수 있다. 이에 따라, 기판을 포함하는 모듈(module)의 전기적 특성 및 신뢰성 향상을 구현할 수 있다. Since the capacitor and the capacitor are directly connected by vertical bumps, a separate circuit wiring layer can be excluded to connect these capacitors. In order to connect the stacked capacitors through the circuit wiring layer, a through via and a tracer wiring layer extending to the via are required, but the electrodes of the capacitor stacked on the upper side and the capacitor stacked on the lower side through the vertical bumps are required. Since the electrodes are directly connected, i.e., capacitors are stacked in a direct lamination manner, a complicated circuit wiring layer can be omitted. Since the complicated circuit wiring layer has a long connection path due to the length of the wiring layer extending, the parasitic capacitance component and noise caused by the long connection path may be caused. In contrast, when the direct stacking through the connection bumps is limited, the connection path is limited to the bump height, and the path is simplified, so that parasitic capacitance components and noise can be effectively largely suppressed. Accordingly, the electrical characteristics and the reliability of the module including the substrate may be improved.
본 발명의 실시예에서 제시하는 커패시터의 직접 적층에 의한 임베디드 기판 구조는, 레지스터를 다층으로 적층하여 임베드하는 구조에도 적용될 수 있다. 이에 따라, 모듈의 소형화를 유효하게 구현할 수 있다. The embedded substrate structure by direct stacking of capacitors according to an embodiment of the present invention may be applied to a structure in which a resistor is stacked in a multilayer. Accordingly, miniaturization of the module can be effectively implemented.
도 1 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 임베디드 인쇄회로기판 및 제조방법을 보여준다. 도 1 내지 도 8은 6층의 회로 배선층을 구비하는 인쇄회로기판을 구현하는 과정을 예시하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 구조 및 제조 방법을 보여주지만, 본 6층 이상의 회로 배선층을 구비하게 구성하는 데 적용될 수 있다. 1 to 8 show an embedded printed circuit board and a manufacturing method according to an embodiment of the present invention. 1 to 8 illustrate a process of implementing a printed circuit board having six circuit wiring layers, showing a substrate structure and a manufacturing method according to an exemplary embodiment of the present invention, but including the circuit wiring layers of six or more layers. Can be applied.
도 1을 참조하면, 2층 및 3층(L2/ L3)의 회로 배선층을 위한 제1동박적층기판(CCL: Copper Clad Laminate: 110) 및 제2동박적층기판(120)을 형성한다. 제1 및 제2동박적층기판(110, 120)은 각각은 절연 수지의 제1절연층(210) 및 제2절연층(220)을 구비하고, 각각의 양면에 도전층들을 형성하여 구빈된다. 제1절연층(210)의 양면에는 예컨대, 구리층의 제1도전층(310) 및 제2도전층(320)이 형성되고, 제2절연층(220)의 양면에는 제3도전층(330) 및 제4도전층(340)이 구비된다. 제1 내지 제4도전층(310, 320, 330, 340)들은 기판의 2층(L2), 3층(L3), 4층(L4) 및 5층(L5)의 회로 배선층들로 패터닝되기 위해 구비된다. Referring to FIG. 1, a first copper clad laminate (CCL) 110 and a second
도 2를 참조하면, 제1 및 제2동박적층기판(110, 120)에 내층 이미지(image) 전사 과정을 사진 노광 및 현상, 식각 과정을 포함하여 수행한다. 이러한 이미지 전사 과정은 도전층을 패터닝하여 구현하고자하는 회로도에 따라 회로 배선층을 패터닝하는 과정이다. 제1동박적층기판(110)의 제1도전층(310)에 이러한 제1내층 이미지 전사 과정을 수행하여, 제1절연층(210) 상의 제1도전층(310)을 회로 배선층인 제1도전층 패턴(311)으로 패터닝한다. 또한, 제2동박적층기판(120)의 제4도전층(340)에 제2내층 이미지 전사 과정을 수행하여, 제2절연층(220) 상의 제4도전층(340)을 역시 회로 배선층인 제4도전층 패턴(341)으로 패터닝한다. 제1도전층 패턴(311)과 제4도전층 패턴(341)은 기판의 내부에 위치하는 내층 회로 배선층 패턴으로 구비된다. Referring to FIG. 2, an inner layer image transfer process on the first and second copper clad
이후에, 기계적 드릴링(drilling) 또는 레이저(laser) 드릴링과 같은 가공 방법을 이용하여 제1절연층(210) 및 제2도전층(320)을 관통하는 제1캐비티(cavity: 111)를 가공한다. 또한, 제2절연층(220) 및 제3도전층(330)을 관통하는 제2캐비티(121)를 가공한다. 이러한 제1 및 제2캐비티(111, 121)들을 기판 내에 임베드될 회로 소자, 예컨대, 커패시터와 같은 수동 소자가 위치할 공간을 제공하기 위해서 형성된다. Subsequently, a
도 3을 참조하면, 이미지 전사에 의한 패터닝이 수행되지 않은 제2도전층층(320) 상에 제1접착 필름(410)을 접착하고, 제1접착 필름(410)에 접착되게 제1캐비티(111)에 제1커패시터(510)를 임베드될 회로 소자로 수용한다. 마찬가지로, 이미지 전사에 의한 패터닝이 수행되지 않은 제3도전층층(330) 상에 제2접착 필름(420)을 접착하고, 제2접착 필름(420)에 접착되게 제2캐비티(121)에 제2커패시터(520)를 임베드될 회로 소자로 수용한다. 이러한 과정은 커패시터(510, 520) 외에 다른 레지스터(530, 540)와 같은 수동 소자나 또는 능동 소자를 임베드시키는 과정에 적용될 수 있다. 제1레지스터(530)는 제1커패시터(510)에 이격된 다른 제1캐비티(111) 내에 수용되고, 제2레지스터(540)는 제2커패시터(520)에 이격된 다른 제2캐비티(121) 내에 수용될 수 있다. 이때, 제1커패시터(510)와 제2커패시터(520)는 상호 간에 중첩되는 위치에 수용되고, 제1레지스터(530)는 제2레지스터(540)와 연결 부분만이 부분적으로 중첩되는 위치에 수용될 수 있다. Referring to FIG. 3, the first
도 4를 참조하면, 1층(L1)의 회로 배선층을 위한 제5도전층(350)이 구리층과 같은 도전 물질의 층이 표면에 형성된 제3절연층(230)의 제3동박적층기판(130)을 준비하고, 6층(L6)의 회로 배선층을 위한 제6도전층(360)이 구리층과 같은 도전 물질의 층이 표면에 형성된 제4절연층(240)의 제4동박적층기판(140)을 준비한다. 이때, 제3절연층(230) 및 제4절연층(240)은 프레스(press)에 의해 다른 기판과 접착될 수 있는 프리프레그(prepreg) 기판을 이루는 절연 수지로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 4, the third copper-clad laminate substrate of the third insulating
제3동박적층기판(130)의 제3절연층(230)에 제1도전층 패턴(311)이 매몰되게 제3동박적층기판(130)과 제1동박적층기판(110)을 프레스(press)하여 상호 접착시킨다. 이때, 프레스 압착 시 열을 인가하여 접착이 이루어지게 할 수 있다. 마찬가지로, 제4동박적층기판(140)의 제4절연층(240)에 제4도전층 패턴(341)이 매몰되게 제4동박적층기판(140)과 제2동박적층기판(120)을 프레스(press)하여 상호 접착시킨다. The third copper laminated
도 5를 참조하면, 제1 및 제2접착 필름(410, 420)을 벗겨내어 제거하고, 노출되는 제2도전층(320) 및 제3도전층(330) 각각에 내층 이미지(image) 전사 과정을 사진 노광 및 현상, 식각 과정을 포함하여 수행한다. 이러한 이미지 전사 과정은 도전층을 패터닝하여 구현하고자하는 회로도에 따라 회로 배선층을 패터닝하는 과정이다. 제2도전층(320)에 이러한 제3내층 이미지 전사 과정을 수행하여, 제1절연층(210) 상의 제2도전층(320)을 내층 회로 배선층인 제2도전층 패턴(321)으로 패터닝한다. 또한, 제2동박적층기판(120)의 제3도전층(330)에 제4내층 이미지 전사 과정을 수행하여, 제2절연층(230) 상의 제3도전층(330)을 역시 내층 회로 배선층인 제3도전층 패턴(331)으로 패터닝한다. Referring to FIG. 5, the first and second
도 6을 참조하면, 제3도전층 패턴(331)에 인근하게 노출되는 제2커패시터(520)의 제1전극(521) 및 제2전극(523) 상에 전기적 연결을 위한 도전성의 범프(bump: 600)를 형성한다. 이때, 범프(600)는 원뿔이나 다각뿔과 같이 뾰족한 끝단을 가지는 형상으로 형성될 수 있다. 범프(600)는 제1전극(521) 및 제2전극(523) 상에 인쇄 방식, 예컨대, 스크린 프린트(screen print) 방식으로 형성될 수 있다. 이때, 층간 연결이 요구되는 제2레지스터(540)의 전극(541) 상에도 또한 범프(600)가 형성될 수 있다. 범프(600)가 제2커패시터(520)의 제1전극(521) 및 제2전극(523), 제2레지스터(540)의 전극(541) 상에 형성되는 경우를 예시했지만, 반대로, 제1커패시터(510)의 제1전극(511) 및 제2전극(513), 제1레지스터(530)의 전극(531) 상에 형성될 수도 있다. Referring to FIG. 6, a conductive bump for electrical connection on the
범프(600)를 형성한 후, 제3도전층 패턴(331)과 제2도전층 패턴(321)이 마주보게, 즉, 제1커패시터(510)와 제2커패시터(520)가 마주 대향되게 하고, 그 사이에 제5절연층(250)의 기판, 예컨대 프리프레그 기판을 도입한다. 연후에, 범프(600)가 제5절연층(250)을 관통하게 프레스 압착하여 제5절연층(250)에 제3도전층 패턴(331)과 제2도전층 패턴(321)이 수용되게 접착시킨다. 이에 따라, 전체적인 임베디드 인쇄회로기판(100)이 구성된다. After the
도 7을 참조하면, 범프(600)가 제5절연층(250)을 관통하게 프레스 압착 과정이 수행됨에 따라, 제1커패시터(510)의 제1전극(511)과 제2커패시터(520)의 제1전극(521)을 상호 연결하는 제1범프(610)가 구비되고, 제1커패시터(510)의 제2전극(513)과 제2커패시터(520)의 제2전극(523)을 상호 연결하는 제2범프(630)가 구비된다. 수직한 형상의 제1범프(610)와 제2범프(630)에 의해서 제5절연층(250)에 의해 격리된 제1 및 제2커패시터(510, 520)는 상호 간에 병렬 연결되게 된다. Referring to FIG. 7, as the
따라서, 제1 및 제2커패시터(510, 520)를 상호 병렬 연결시키기 위한 별도의 회로 배선층을 구현하기 위해서, 별도의 도전층의 개재가 요구되지 않는다. 제1범프(610)와 제2범프(630)만으로 제1 및 제2커패시터(510, 520)가 상호 병렬 연결될 수 있으므로, 연결 경로가 매우 짧게 단축되고, 이에 따라, 기생 커패시턴스나 노이즈의 발생을 유효하게 억제할 수 있다. 따라서, 커패시터들에 의해서 구현될 수 있는 전체 커패시턴스의 용량을 유효하게 증가시킬 수 있다. 이와 같이 커패시터(510, 520)들이 직접 적층에 의해 기판(100) 내에 임베드될 수 있으므로, 커패시터가 차지하는 기판(100) 표면적의 증가없이 다수 개의 커패시터들을 기판(100)에 실장하는 것이 가능하다. Therefore, in order to implement separate circuit wiring layers for connecting the first and
한편, 제5절연층(250)을 관통하는 제3범프(640)는 제1레지스터(530)의 전극(531)과 제2레지스터(540)의 전극(541)을 연결시킨다. 이에 따라, 제1레지스터(530)와 제2레지스터(540)는 직렬 연결되어 보다 증대된 저항 용량을 구현할 수 있다. The
도 8을 참조하면, 제3절연층(230)을 관통하여 제1커패시터(510)의 제1전극(511) 및 제2전극(513) 각각을 노출하는 비아홀(via hole)을 레이저 드릴(laser drill) 등으로 형성하고, 노출된 제1전극(511) 및 제2전극(513) 각각에 연결되는 제1연결 비아(352) 및 제2연결 비아(353)를 형성한다. 이때, 제1레지스터(530)의 다른 전극(532, 542)을 노출하는 비아홀을 역시 형성하고, 이에 연결되는 제3연결 비아(354, 362)를 형성할 수 있다. 이러한 연결 비아들은 임베디드된 커패시터나 레지스터를 외층의 회로 배선층에 전기적으로 연결한다. 한편, 기판(100)의 양면으로 노출되어 상호 대향되는 제5도전층(350) 및 제6도전층(360)을 상호 전기적으로 연결시키기 위해서, 기판(100) 전체를 관통하는 관통홀(도시되지 않음)을 형성하고, 이러한 관통홀을 통해 제5도전층(350) 및 제6도전층(360)을 연결하는 관통 비아(도시되지 않음) 또한 형성될 수 있다. 이러한 연결 비아나 관통 비아의 형성은 구리 도금과 같은 도전층 형성 방법을 이용하여 비아홀이나 관통홀 내로 도전층이 연장시켜 형성될 수 있다. Referring to FIG. 8, a laser drilled through a via hole exposing each of the
기판(100)의 외부로 노출된 제5도전층(350) 및 제6도전층(360) 각각에 외층 이미지 전사 과정을 수행하여 제5도전층 패턴(351) 및 제6도전층 패턴(361)을 형성한다. 이러한 이미지 전사 과정은 도전층을 패터닝하여 구현하고자하는 회로도에 따라 회로 배선층을 패터닝하는 과정이다. 제5도전층(350)에 이러한 제1외층 이미지 전사 과정을 수행하여, 제5도전층(350)을 회로 배선층인 제5도전층 패턴(351)으로 패터닝한다. 또한, 제6도전층(360)에 제2외층 이미지 전사 과정을 수행하여, 제6도전층(360)을 역시 회로 배선층인 제6도전층 패턴(361)으로 패터닝한다. 이후에, 제5 및 제6도전층 패턴(351, 361)을 덮는 솔더 마스크(solder mask: 170)를 형성하여, 외부 기기와의 연결을 위한 노출 부분, 예컨대, 연결 패드(pad)나 랜드(land) 부분만을 선택적으로 노출하고 나머지 제5 및 제6도전층 패턴(351, 361)을 덮어 보호한다. The fifth
도 9 및 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 임베디드 인쇄회로기판 및 제조방법의 효과를 보여주는 도면들이다. 9 and 10 are views showing the effect of the embedded printed circuit board and the manufacturing method according to an embodiment of the present invention.
도 9를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 임베디드 인쇄회로기판은 커패시터와 같은 회로 소자를 수용하는 과정과 범프를 형성하는 과정을 반복하여, 기판(100) 내부에 다수 개의 커패시터(501, 502, 503, 504, 505)들을 상호 중첩되게 적층하고, 이들을 범프(601)를 통해 직접 연결시킬 수 있다. 다수 개의 커패시터(501, 502, 503, 504, 505)가 직접 적층됨에도 불구하고, 각각의 커패시터들은 범프(601)들로만 전기적으로 연결되고, 이들의 연결을 위한 별도의 배선 회로들이 요구되지 않는다. Referring to FIG. 9, an embedded printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention repeats a process of accommodating a circuit element such as a capacitor and forming a bump, thereby forming a plurality of
따라서, 내층 회로 배선층(301)의 설계 디자인이 단순화될 수 있어, 기판 설계 시 제약 요소들이 유효하게 감소하여 다양한 설계가 가능하다. 범프(601)에 의한 직접 연결이 가능하므로, 별도의 복잡한 배선 회로들을 내층 도전층 패턴으로 구비할 필요가 없어, 도전층 패턴들에 의한 노이즈나 기생 커패시턴스의 유발에 의해, 소자의 동작 성능의 저하가 유효하게 억제될 수 있다. 커패시터(501, 502, 503, 504, 505)를 외부의 다른 회로 배선층, 즉, 외층 회로 배선층(303, 304)에 연결하기 위해서, 하나의 커패시터(501)의 두 전극들에 각각 연결되는 연결 비아(305)만이 요구되므로, 커패시터(501)의 전기적 연결을 위해 복잡한 연결 배선 구조가 요구되지 않는다. Accordingly, the design design of the inner
도 10을 참조하면, 이러한 본 발명의 실시예에 따른 효과에 대비되는 비교예로서, 범프가 아닌 회로 배선층(31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39)으로 기판(10)에 임베디드된 커패시터들(50)을 연결시키는 경우를 고려하면, 보다 큰 전체 커패시턴스를 확보하기 위해서 커패시터들(50)을 병렬 연결시키기 위해서는 매우 복잡한 회로 배선층(31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39) 구조의 설계 및 구현이 요구된다. Referring to FIG. 10, as a comparative example in contrast to the effect according to the exemplary embodiment of the present invention, the
커패시터(50)의 전극(51, 53)들 간을 병렬 연결하기 위해서, 제1전극(51)들을 연결시키는 회로 배선층의 구조와 제2전극들(53)을 연결시키는 회로 배선층의 구조가 상호 간에 솔더 마스크(17)에 의해 전기적으로 격리되어야 한다. 따라서, 제1전극들(51)을 연결시키기 위해서 제1연결 비아(31), 제1외층 회로 배선(32), 제1관통홀(11)에 형성되는 제1관통 비아(33), 이에 연결되는 다수의 제1내층 회로 배선들(34)이 요구된다. 또한, 제1전극들(51)을 상호 연결시키기 위해서 제2연결 비아(35), 제2외층 회로 배선(36), 제2관통홀(12)에 형성되는 제2관통 비아(37), 이에 연결되는 다수의 제2내층 회로 배선들(38)이 요구된다. 또한, 기판(100) 내부에 임베드된 커패시터(50)의 전극에 내층 회로 배선들(34, 38)을 연결하기 위한 내부 연결 비아(39)들 또한 요구된다. 커패시터들(50)을 병렬 연결시키기 위해서는 매우 복잡한 회로 배선층(31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39) 구조의 설계 및 구현이 요구된다. In order to connect the
커패시터들(50)을 병렬 연결시키기 위해서는 매우 복잡한 회로 배선층(31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39) 구조가 요구되므로, 이를 설계하는 데 매우 다양한 제약들이 발생될 수 있어 설계 디자인이 매우 어려워질 수 있으며, 이를 구현하는 공정 또한 매우 복잡해지게 된다. 이에 비해 도 9에 제시된 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 임베디드 인쇄회로기판은 상대적으로 매우 단순한 구조로 구현될 수 있어, 그 설계 상 상대적으로 용이하고 이를 구현하는 공정 또한 상대적으로 단순화될 수 있다. 더욱이, 기판의 표면에 나란히 커패시터들을 실장하는 경우에 비해 실장되는 커패시터당 커패시터의 실장에 요구되는 기판의 표면적이 매우 감소될 수 있으므로, 다양한 휴대 기기에 본 발명의 실시예에 따른 임베디드 인쇄회로기판은 유효하게 적용될 수 있다. In order to connect the
100: 인쇄회로기판, 510, 520: 커패시터,
610, 630: 범프. 100: printed circuit board, 510, 520: capacitor,
610, 630: bump.
Claims (14)
상기 기판 내에 매몰된 제1회로 소자;
상기 제1회로 소자에 중첩되게 매몰 적층된 제2회로 소자; 및
상기 제1 및 제2회로 소자를 전기적으로 연결하는 수직한 범프(bump)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판.
Printed circuit board;
A first circuit element embedded in the substrate;
A second circuit element buried and superimposed on the first circuit element; And
And vertical bumps electrically connecting the first and second circuit elements.
상기 제1 및 제2회로 소자들은 능동 소자, 커패시터 또는 레지스터인 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
And the first and second circuit elements are active elements, capacitors or resistors.
상기 기판 내에 매몰된 제1커패시터;
상기 제1커패시터에 중첩되게 매몰 적층된 제2커패시터; 및
상기 제1 및 제2커패시터를 전기적으로 연결하는 수직한 범프(bump)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판.
Printed circuit board;
A first capacitor embedded in the substrate;
A second capacitor buried in an overlapping manner with the first capacitor; And
An embedded printed circuit board comprising vertical bumps electrically connecting the first and second capacitors.
상기 범프들은 상기 제1 및 제2커패시터를 병렬 연결하게 대향되는 상기 제1 및 제2커패시터의 전극들을 연결하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판.
The method of claim 3,
And the bumps connect electrodes of the first and second capacitors facing each other to connect the first and second capacitors in parallel.
상기 기판 표면 상에 형성된 외층 회로 배선층; 및
상기 외층 회로 배선층과 상기 제1커패시터를 연결하는 연결 비아(via)들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판.
The method of claim 3,
An outer circuit wiring layer formed on the substrate surface; And
The printed circuit board of claim 1, further comprising connecting vias connecting the outer circuit wiring layer and the first capacitor.
상기 기판 내에 매몰된 제1레지스터;
상기 제1레지스터에 부분적으로 중첩되게 매몰 적층된 제2레지스터; 및
상기 제1 및 제2레지스터가 부분적으로 중첩되는 부분에 위치하여 상호 직렬 연결시키는 제2의 범프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판.
The method of claim 3,
A first register embedded in the substrate;
A second register buried and partially overlapped with the first register; And
And a second bump positioned at a portion where the first and second registers partially overlap each other and connected in series with each other.
상기 제1회로 소자에 대향되는 제2회로 소자가 표면에 매몰된 제2기판을 형성하는 단계;
상기 제2회로 소자 상에 범프를 형성하는 단계;
상기 범프에 상기 제1회로 소자가 대향되게 상기 제1기판을 사이에 절연층을 개재하여 상기 제2기판 상에 정렬하는 단계; 및
상기 제2기판, 절연층 및 제1기판을 압착하여 상호 접착시키며 상기 범프가 상기 절연층을 관통하여 상기 제1회로 소자에 연결되게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판 제조방법.
Forming a first substrate with the first circuit element embedded in the surface;
Forming a second substrate in which a second circuit element opposed to the first circuit element is buried in a surface;
Forming bumps on the second circuit element;
Aligning the first substrate on the second substrate with an insulating layer interposed therebetween such that the first circuit element faces the bumps; And
And bonding the second substrate, the insulating layer, and the first substrate to each other by pressing each other, and allowing the bumps to be connected to the first circuit element through the insulating layer.
상기 제1 및 제2회로 소자들은 능동 소자, 커패시터 또는 레지스터로 도입되는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판 제조방법.
The method of claim 7, wherein
And the first and second circuit elements are introduced into an active element, a capacitor or a resistor.
상기 제1커패시터에 대향되는 제2커패시터가 표면에 매몰된 제2기판을 형성하는 단계;
상기 제2커패시터의 양 전극들 상에 범프들을 형성하는 단계;
상기 범프들에 상기 제1커패시터의 양 전극들이 대향되게 상기 제1기판을 사이에 중간 절연층을 개재하여 상기 제2기판 상에 정렬하는 단계; 및
상기 제2기판, 절연층 및 제1기판을 압착하여 상호 접착시키며 상기 범프들이 상기 중간 절연층을 관통하여 상기 제1커패시터의 양 전극들에 연결되게 하여 상기 제1 및 제2커패시터들을 상호 병렬 연결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판 제조방법.
Forming a first substrate having the first capacitor embedded in the surface;
Forming a second substrate having a second capacitor opposed to the first capacitor embedded in a surface thereof;
Forming bumps on both electrodes of the second capacitor;
Arranging the first substrate on the second substrate with an intermediate insulating layer interposed therebetween so that both electrodes of the first capacitor face the bumps; And
The second substrate, the insulating layer, and the first substrate are pressed and bonded to each other, and the bumps penetrate the intermediate insulating layer to be connected to both electrodes of the first capacitor, thereby connecting the first and second capacitors in parallel. Embedded printed circuit board manufacturing method comprising the step of.
상기 제1기판에 상기 제1커패시터와 이격된 제1레지스터를 매몰하는 단계; 및
상기 제1레지스터에 부분적으로 중첩되게 대향되는 상기 제2기판에 제2레지스터를 매몰하는 단계를 더 포함하고,
상기 범프의 형성 시 상기 제1 및 제2레지스터들을 직렬 연결할 제2의 범프를 함께 형성하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판 제조방법.
10. The method of claim 9,
Embedding a first register spaced apart from the first capacitor in the first substrate; And
Embedding a second register in the second substrate, the second substrate being partially overlapped with the first register;
And forming a second bump to connect the first and second registers in series when the bump is formed.
상기 범프는 상기 중간 절연층에 대향되는 끝단이 뾰족한 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판 제조방법.
10. The method of claim 9,
The bump is an embedded printed circuit board manufacturing method, characterized in that the end opposite to the intermediate insulating layer is formed in a pointed shape.
상기 제1기판을 형성하는 단계는
양면에 각각 제1 및 제2도전층이 형성된 제1절연층을 도입하는 단계;
상기 제1절연층을 관통하여 상기 제1커패시터가 수용될 캐비티(cavity)를 형성하는 단계;
상기 캐비티 내에 상기 제1커패시터를 수용하는 단계;
일면에 제3도전층이 형성된 제2절연층을 상기 제2절연층이 상기 제1커패시터에 대향되게 도입하는 단계; 및
상기 제2절연층과 상기 제1절연층을 상호 접착하여 상기 제2절연층에 상기 제1커패시터가 접착되게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판 제조방법.
10. The method of claim 9,
Forming the first substrate is
Introducing first insulating layers each having first and second conductive layers formed on both surfaces thereof;
Penetrating the first insulating layer to form a cavity in which the first capacitor is to be accommodated;
Receiving the first capacitor in the cavity;
Introducing a second insulating layer having a third conductive layer formed on one surface thereof so that the second insulating layer faces the first capacitor; And
And bonding the second insulating layer and the first insulating layer to each other so that the first capacitor is adhered to the second insulating layer.
상기 캐비티 내에 상기 제1커패시터를 수용하는 단계는
상기 제1도전층 상에 일면이 상기 캐비티 내에 노출되는 접착 필름을 부착하는 단계; 및
상기 제1커패시터를 상기 캐비티 내에 노출된 상기 접착 필름 부분에 접착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판 제조방법.
The method of claim 12,
Receiving the first capacitor in the cavity
Attaching an adhesive film having one surface exposed in the cavity on the first conductive layer; And
Adhering the first capacitor to a portion of the adhesive film exposed in the cavity.
상기 제1, 제2 및 제3도전층 각각을 회로 배선층들으로 각각 패터닝하는 단계들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임베디드 인쇄회로기판 제조방법.
The method of claim 13,
And patterning each of the first, second, and third conductive layers into circuit wiring layers, respectively.
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