KR20000015548A - Sub wordline driving circuit - Google Patents

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KR20000015548A
KR20000015548A KR1019980035565A KR19980035565A KR20000015548A KR 20000015548 A KR20000015548 A KR 20000015548A KR 1019980035565 A KR1019980035565 A KR 1019980035565A KR 19980035565 A KR19980035565 A KR 19980035565A KR 20000015548 A KR20000015548 A KR 20000015548A
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최소영
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김영환
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Abstract

PURPOSE: A sub wordline driving circuit is provided to reduce the number of transistor forming the sub wordline circuit. CONSTITUTION: The sub word line driving circuit comprises: the 1st sub wordline driving part that the 1st output terminal, formed by the connection of a terminal of the 1st switch and a terminal of the 2nd switch, outputs the first sub wordline driving signal(SWL), that main wordline driving signal(MWL) is inputted to other terminal of the 1st switch, that other terminal of the 2nd switch is grounded and that the 1st and 2nd switches are switched by the 1st selection signal; the 2nd sub wordline driving part that the 2nd output terminal, formed by the connection of a terminal of the 3rd switch and a terminal of the 4th switch, outputs the 2nd sub wordline driving signal(SWL), that main wordline driving signal(MWL) is inputted to other terminal of the 3rd switch, that other terminal of the 4th switch is grounded and that the 3rd and 4th switches are switched by the 2nd selection signal; and the 5th switch, of which both terminals are connected between the 1st and 2nd output terminals, that is switched by main wordline driving bar signal(MWLB).

Description

서브 워드라인 구동회로Sub word line driver circuit

본 발명은 반도체 메모리의 서브 워드라인 구동회로에 관한 것으로, 하나의 메인 워드라인에 의해 구동되어 다수 개의 서브 워드라인을 구동하도록 이루어진 서브 워드라인 구동회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sub word line driving circuit of a semiconductor memory and relates to a sub word line driving circuit configured to be driven by one main word line to drive a plurality of sub word lines.

반도체 메모리에서는 워드라인을 구동하여 셀 트랜지스터의 게이트를 제어하기 때문에, 워드라인은 곧 셀 트랜지스터의 게이트인 것이다. 따라서 워드라인은 큰 캐패시턴스를 갖게되고, 또 비교적 고저항인 폴리실리콘으로 만들어지기 때문에 워드라인 구동신호의 지연이 크다.In the semiconductor memory, the word line is driven to control the gate of the cell transistor, so the word line is the gate of the cell transistor. Therefore, since the word line has a large capacitance and is made of relatively high resistance polysilicon, the word line driving signal has a large delay.

이를 해결하기 위하여 계층적 워드라인 구조를 사용한다. 계층적 워드라인 구조는 메인 워드라인에 여러 개의 서브 워드라인을 연결하고, 하나의 메인 워드라인을 통하여 여러 개의 서브 워드라인을 구동할 수 있도록 한 것이다.To solve this problem, hierarchical word line structure is used. The hierarchical word line structure connects a plurality of sub word lines to a main word line and drives a plurality of sub word lines through a single main word line.

계층적 워드라인 구조에서는 서브 워드라인만을 폴리 실리콘을 만들고, 메인 워드라인과 서브 워드라인 선택신호선은 메탈(알루미늄 같은)로 만들어서 신호 지연을 극소화하였다.In the hierarchical word line structure, only sub word lines are made of polysilicon, and main word lines and sub word line selection signal lines are made of metal (such as aluminum) to minimize signal delay.

메인 워드라인에 연결되는 각각의 서브 워드라인을 구동하기 위해서는 각 서브 워드라인마다 서브 워드라인 구동회로가 필요하며, 이를 도 1에 나타내었다.In order to drive each sub word line connected to the main word line, a sub word line driving circuit is required for each sub word line, which is shown in FIG. 1.

피모스 트랜지스터(102)와 엔모스 트랜지스터(104)가 직렬 연결되어 하나의 서브 워드라인 구동부를 형성한다. 제 1 서브 워드라인 구동신호(SWL1)를 발생시키는 서브 워드라인 구동부에서, 피모스 트랜지스터(102)의 소스에는 제 1 서브 워드라인 선택신호(FX1)가 입력되며, 엔모스 트랜지스터(104)의 소스는 접지된다. 피모스 트랜지스터(102)와 엔모스 트랜지스터(104)의 각각의 게이트는 모두 메인 워드라인 구동바신호(MWLB)에 의해 제어된다.The PMOS transistor 102 and the NMOS transistor 104 are connected in series to form one sub word line driver. In the sub word line driver generating the first sub word line driving signal SWL1, the first sub word line selection signal FX1 is input to the source of the PMOS transistor 102, and the source of the NMOS transistor 104 is provided. Is grounded. Each gate of the PMOS transistor 102 and the NMOS transistor 104 is controlled by the main word line driver bar signal MWLB.

피모스 트랜지스터(102)와 엔모스 트랜지스터(104)의 각각의 드레인이 상호 연결되어 제 1 서브 워드라인 구동신호(SWL1)를 출력하는 출력단이 형성된다. 이 출력단과 접지(VSS) 사이에는 엔모스 트랜지스터(106)가 연결되는데, 이 엔모스 트랜지스터(106)의 게이트는 제 1 서브 워드라인 선택바신호(FXB1)(제 1 서브 워드라인 선택신호의 상보 신호)에 의해 제어된다.The drains of the PMOS transistor 102 and the NMOS transistor 104 are connected to each other to form an output terminal for outputting the first sub word line driving signal SWL1. An NMOS transistor 106 is connected between the output terminal and ground VSS, and the gate of the NMOS transistor 106 is complementary to the first sub word line select bar signal FXB1 (the first sub word line select signal). Signal).

상술한 첫 번째 서브 워드라인 구동부와 대칭적으로 제 2 서브 워드라인을 구동하기 위한 또 하나의 서브 워드라인 구동부가 형성된다. 이 두 번째 서브 워드라인 구동부는 피모스 트랜지스터(108)와 엔모스 트랜지스터(110)가 직렬 연결되어 이루어진다. 피모스 트랜지스터(108)의 소스에는 제 2 서브 워드라인 선택신호(FX2)가 입력되며, 엔모스 트랜지스터(110)의 소스는 접지된다. 피모스 트랜지스터(108)와 엔모스 트랜지스터(110)의 각각의 게이트는 모두 메인 워드라인 구동바신호(MWLB)에 의해 제어된다.Another sub word line driver is formed to drive the second sub word line symmetrically with the first sub word line driver. The second sub word line driver is formed by connecting the PMOS transistor 108 and the NMOS transistor 110 in series. The second sub word line selection signal FX2 is input to the source of the PMOS transistor 108, and the source of the NMOS transistor 110 is grounded. Each gate of the PMOS transistor 108 and the NMOS transistor 110 is controlled by the main word line driver bar signal MWLB.

피모스 트랜지스터(108)와 엔모스 트랜지스터(110)의 각각의 드레인이 상호 연결되어 제 2 서브 워드라인 구동신호(SWL2)를 출력하는 출력단이 형성된다. 이 출력단과 접지(VSS) 사이에는 엔모스 트랜지스터(112)가 연결되는데, 이 엔모스 트랜지스터(112)의 게이트는 제 2 서브 워드라인 선택바신호(FXB2)(제 2 서브 워드라인 선택신호의 상보 신호)에 의해 제어된다.The drains of the PMOS transistor 108 and the NMOS transistor 110 are connected to each other to form an output terminal for outputting the second sub word line driving signal SWL2. An NMOS transistor 112 is connected between the output terminal and the ground VSS, and the gate of the NMOS transistor 112 is the complement of the second sub word line select bar signal FXB2 (the second sub word line select signal). Signal).

메인 워드라인 구동신호(MWL)가 하이레벨로 활성화되면, 상보신호인 메인 워드라인 선택바신호(MWLB)는 로우레벨로 되어 각 서브 워드라인 구동부의 피모스 트랜지스터(102)(108)를 턴 온시킨다. 따라서 각 서브 워드라인 구동부의 출력단에서는 하이레벨로 활성화된 제 1 및 제 2 서브 워드라인 구동신호(SWL1)(SWL2)가 출력된다.When the main word line driving signal MWL is activated at a high level, the main word line selection bar signal MWLB, which is a complementary signal, is turned low to turn on the PMOS transistors 102 and 108 of each sub word line driver. Let's do it. Accordingly, the first and second sub word line driving signals SWL1 and SWL2 activated at high levels are output from the output terminal of each sub word line driver.

그러나 실제로는, 각 서브 워드라인 구동부의 출력단에 연결된 엔모스 트랜지스터(106)(112)의 온/오프 상태에 따라 각 서브 워드라인 선택신호(SWL1)(SWL2)의 활성화 여부가 결정된다.In practice, however, whether to activate each sub word line selection signal SWL1 or SWL2 is determined according to the on / off state of the NMOS transistors 106 and 112 connected to the output terminal of each sub word line driver.

즉, 제 1 서브 워드라인 선택신호(FX1)가 하이레벨로 활성화된다면 상보신호인 제 1 서브 워드라인 선택바신호(FXB1)는 로우레벨이어서 첫 번째 서브 워드라인 구동부의 엔모스 트랜지스터(106)를 턴 오프시킨다. 따라서 제 1 서브 워드라인 구동신호(SWL1)는 하이레벨로 활성화될 수 있는 것이다.That is, when the first sub word line selection signal FX1 is activated at a high level, the first sub word line selection bar signal FXB1, which is a complementary signal, is at a low level, thereby driving the NMOS transistor 106 of the first sub word line driver. Turn off. Accordingly, the first sub word line driving signal SWL1 may be activated to a high level.

이때 제 2 서브 워드라인 선택신호(FX2)는 로우레벨로 비활성화될 것이므로, 상보신호인 제 2 서브 워드라인 선택바신호(FXB2)는 하이레벨이어서 두 번째 서브 워드라인 구동부의 엔모스 트랜지스터(112)를 턴 온시킨다. 따라서 제 2 서브 워드라인 구동신호(SWL1)는 접지전압(VSS)에 의해 로우레벨로 비활성화되는 것이다.At this time, since the second sub word line selection signal FX2 will be inactivated to a low level, the second sub word line selection bar signal FXB2, which is a complementary signal, is at a high level, so that the NMOS transistor 112 of the second sub word line driver is high. Turn on. Accordingly, the second sub word line driving signal SWL1 is inactivated to a low level by the ground voltage VSS.

도 1에서는 하나의 메인 워드라인 구동바신호(MWLB)에 의해 두 개의 서브 워드라인 구동신호(SWL1)(SWL2)만이 발생하는 것을 보였으나, 실제로는 하나의 메인 워드라인 구동바신호에 의해 여러 개의 서브 워드라인 구동신호가 발생하도록 구성된다.In FIG. 1, only two sub word line driving signals SWL1 and SWL2 are generated by one main word line driving bar signal MWLB, but in reality, several sub word line driving bar signals MWLB are generated by one main word line driving bar signal. The sub word line drive signal is configured to be generated.

도 1에 따르면, 두 개의 서브 워드라인 구동회로가 모두 6개의 모스 트랜지스터로 구성되는 것을 알 수 있다. 그러나 반도체 메모리의 집적도가 크게 향상되어 메모리 셀이 피치(대각 방향의 거리)가 크게 감소하는 추세이다. 따라서 워드라인 구동회로의 크기 역시 감소해야 할 필요가 있다.Referring to FIG. 1, it can be seen that the two sub word line driving circuits are composed of six MOS transistors. However, the degree of integration of semiconductor memories has been greatly improved, and memory cells have a tendency to greatly reduce their pitch (diagonal distance). Therefore, the size of the word line driver circuit also needs to be reduced.

따라서 본 발명은 서브 워드라인 구동회로를 구성하는 트랜지스터의 수를 감소시키는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to reduce the number of transistors constituting the sub word line driver circuit.

이와 같은 목적의 본 발명은 제 1 및 제 2 서브 워드라인 구동부와 제 5 스위치를 포함하여 이루어진다.The present invention for this purpose comprises a first and second sub word line driver and a fifth switch.

제 1 서브 워드라인 구동부는, 제 1 스위치의 일단과 제 2 스위치의 일단이 연결되어 이루어지는 제 1 출력단으로 제 1 서브 워드라인 구동신호가 출력되고, 제 1 스위치의 타단에는 메인 워드라인 구동신호가 입력되며, 제 2 스위치의 타단이 접지되고, 제 1 및 제 2 스위치가 제 1 선택신호에 의해 스위칭된다.The first sub word line driver outputs a first sub word line driving signal to a first output terminal formed by connecting one end of the first switch and one end of the second switch, and a main word line driving signal to the other end of the first switch. Input, the other end of the second switch is grounded, and the first and second switches are switched by the first selection signal.

제 2 서브 워드라인 구동부는, 제 3 스위치의 일단과 제 4 스위치의 일단이 연결되어 이루어지는 제 2 출력단으로 제 2 서브 워드라인 구동신호가 출력되고, 제 3 스위치의 타단에는 메인 워드라인 구동신호가 입력되며, 제 4 스위치의 타단이 접지되고, 제 3 및 제 4 스위치가 제 2 선택신호에 의해 스위칭된다.The second sub word line driver outputs a second sub word line drive signal to a second output terminal formed by connecting one end of the third switch and one end of the fourth switch, and a main word line drive signal to the other end of the third switch. Input, the other end of the fourth switch is grounded, and the third and fourth switches are switched by the second selection signal.

제 5 스위치는 제 1 출력단과 제 2 출력단 사이에 양단이 연결되고, 메인 워드라인 구동바신호에 의해 스위칭된다.The fifth switch has both ends connected between the first output terminal and the second output terminal, and is switched by a main word line driving bar signal.

도 1은 종래의 반도체 메모리의 서브 워드라인 구동회로를 나타낸 도면.1 is a diagram illustrating a sub word line driving circuit of a conventional semiconductor memory.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 메모리의 서브 워드라인 구동회로를 나타낸 도면.2 is a diagram illustrating a sub word line driving circuit of a semiconductor memory according to the present invention;

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

MWL : 메인 워드라인 구동신호 MWLB : 메인 워드라인 구동바신호MWL: Main word line drive signal MWLB: Main word line drive bar signal

SWL : 서브 워드라인 구동신호 SWLB : 서브 워드라인 구동바신호SWL: Sub word line drive signal SWLB: Sub word line drive bar signal

FX : 서브 워드라인 선택신호 FXB : 서브 워드라인 선택바신호FX: Sub word line selection signal FXB: Sub word line selection bar signal

이와 같이 이루어지는 본 발명의 바람직한 실시예를 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도 2는 본 발명에 따른 반도체 메모리의 서브 워드라인 구동회로를 나타낸 도면이다.The preferred embodiment of the present invention thus made will be described with reference to FIG. 2 as follows. 2 is a diagram illustrating a sub word line driving circuit of a semiconductor memory according to the present invention.

피모스 트랜지스터(202)와 엔모스 트랜지스터(204)가 직렬 연결되어 하나의 서브 워드라인 구동부를 형성한다. 제 1 서브 워드라인 구동신호(SWL1)를 발생시키는 서브 워드라인 구동부에서, 피모스 트랜지스터(202)의 소스에는 메인 워드라인 구동신호(MWL)가 입력되며, 엔모스 트랜지스터(204)의 소스는 접지된다. 피모스 트랜지스터(202)와 엔모스 트랜지스터(204)의 각각의 게이트는 모두 제 1 서브 워드라인 선택바신호(FXB1)에 의해 제어된다.The PMOS transistor 202 and the NMOS transistor 204 are connected in series to form one sub word line driver. In the sub word line driver generating the first sub word line driving signal SWL1, the main word line driving signal MWL is input to the source of the PMOS transistor 202, and the source of the NMOS transistor 204 is grounded. do. Each gate of the PMOS transistor 202 and the NMOS transistor 204 is controlled by the first sub word line select bar signal FXB1.

피모스 트랜지스터(202)와 엔모스 트랜지스터(204)의 각각의 드레인이 상호 연결되어 제 1 서브 워드라인 구동신호(SWL1)를 출력하는 제 1 출력단이 형성된다.Drains of the PMOS transistor 202 and the NMOS transistor 204 are connected to each other to form a first output terminal for outputting the first sub word line driving signal SWL1.

상술한 첫 번째 서브 워드라인 구동부와 대칭적으로 제 2 서브 워드라인을 구동하기 위한 또 하나의 서브 워드라인 구동부가 형성된다. 이 두 번째 서브 워드라인 구동부는 피모스 트랜지스터(206)와 엔모스 트랜지스터(208)가 직렬 연결되어 이루어진다. 피모스 트랜지스터(206)의 소스에는 메인 워드라인 구동신호(MWL)가 입력되며, 엔모스 트랜지스터(208)의 소스는 접지된다. 피모스 트랜지스터(206)와 엔모스 트랜지스터(208)의 각각의 게이트는 모두 제 2 서브 워드라인 선택바신호(FXB2)에 의해 제어된다.Another sub word line driver is formed to drive the second sub word line symmetrically with the first sub word line driver. The second sub word line driver is formed by connecting the PMOS transistor 206 and the NMOS transistor 208 in series. The main word line driving signal MWL is input to the source of the PMOS transistor 206, and the source of the NMOS transistor 208 is grounded. Each gate of the PMOS transistor 206 and the NMOS transistor 208 is controlled by the second sub word line select bar signal FXB2.

피모스 트랜지스터(206)와 엔모스 트랜지스터(208)의 각각의 드레인이 상호 연결되어 제 2 서브 워드라인 구동신호(SWL2)를 출력하는 제 2 출력단이 형성된다.Drains of the PMOS transistor 206 and the NMOS transistor 208 are connected to each other to form a second output terminal for outputting the second sub word line driving signal SWL2.

상술한 첫 번째 서브 워드라인 구동부의 제 1 출력단과 두 번째 서브 워드라인 구동부의 제 2 출력단 사이에는 엔모스 트랜지스터(210)의 소스와 드레인이 연결된다. 이 엔모스 트랜지스터(210)의 게이트는 메인 워드라인 구동바신호(MWLB)에 의해 제어된다.The source and the drain of the NMOS transistor 210 are connected between the first output terminal of the first sub word line driver and the second output terminal of the second sub word line driver. The gate of the NMOS transistor 210 is controlled by the main word line driver bar signal MWLB.

메인 워드라인 구동신호(MWL)가 로우레벨(비활성화 상태)인 동안에는 엔모스 트랜지스터(210)가 턴 온되며, 이 동안에 제 1 서브 워드라인 선택바신호(FXB1) 또는 제 2 서브 워드라인 선택바신호(FXB2)가 하이레벨(역시 비활성화 상태)이면 엔모스 트랜지스터(204)(206)가 턴 온되어 제 1 서브 워드라인 구동신호(SWL1)와 제 2 서브 워드라인 구동신호(SWL2)가 모두 로우레벨로 비활성화된다.The NMOS transistor 210 is turned on while the main word line driving signal MWL is at a low level (deactivation state), during which the first sub word line selection bar signal FXB1 or the second sub word line selection bar signal is turned on. When FXB2 is at a high level (also in an inactive state), the NMOS transistors 204 and 206 are turned on so that both the first sub word line driving signal SWL1 and the second sub word line driving signal SWL2 are low level. Is deactivated.

만약 메인 워드라인 구동신호(MWL)가 하이레벨로 활성화된 상태에서(엔모스 트랜지스터 210은 턴 오프) 제 1 서브 워드라인 선택바신호(FXB1)가 로우레벨(활성화 상태)이면 피모스 트랜지스터(202)가 턴 온되어 제 1 출력단에서는 메인 워드라인 구동신호(MWL)에 의한 하이레벨 전압이 제 1 서브 워드라인 구동신호(SWL1)로서 출력된다.If the main word line driving signal MWL is activated at a high level (the NMOS transistor 210 is turned off) and the first sub word line select bar signal FXB1 is at a low level (activated state), the PMOS transistor 202 may be used. ) Is turned on and the high level voltage of the main word line driving signal MWL is output as the first sub word line driving signal SWL1 at the first output terminal.

제 2 서브 워드라인 선택바신호(FXB2)가 로우레벨(활성화 상태)이면 반대쪽 피모스 트랜지스터(206)가 턴 온되어 제 2 출력단에서도 역시 메인 워드라인 구동신호(MWL)에 의한 하이레벨 전압이 제 2 서브 워드라인 구동신호(SWL2)로서 출력된다.When the second sub word line selection bar signal FXB2 is at a low level (activated state), the opposite PMOS transistor 206 is turned on so that the high level voltage of the main word line driving signal MWL is also reduced at the second output terminal. It is output as two sub word line driving signals SWL2.

이와 같이 발생한 제 1 및 제 2 서브 워드라인 구동신호(SWL1)(SWL2)가 해당 서브 워드라인을 구동하게 되는 것이다.The first and second sub word line driving signals SWL1 and SWL2 generated as described above drive the corresponding sub word line.

도 2에 나타낸 본 발명에 따른 서브 워드라인 구동회로는 두 개의 서브 워드라인 구동신호만을 발생시키도록 구성하였으나, 상술한 서브 워드라인 구동회로를 다수개 연결하면 하나의 메인 워드라인 구동신호로부터 다수개의 서브 워드라인 구동신호를 선택적으로 발생시킬 수 있다.The sub word line driving circuit according to the present invention shown in FIG. 2 is configured to generate only two sub word line driving signals. The sub word line driving signal may be selectively generated.

이로써 본 발명에 따른 서브 워드라인 구동회로를 구성하는 트랜지스터의 수가 감소하는 것을 알 수 있다. 1Mb(1k×1k)의 저장용량을 갖는 메모리에서는 모두 1024개의 워드라인을 구동해야 하므로, 서브 워드라인 구동회로 역시 1024개가 필요하다. 본 발명에 따른 서브 워드라인 구동회로에서는 두 개의 서브워드라인 구동회로마다 하나의 트랜지스터가 감소하므로, 본 발명에 따른 서브 워드라인 구동회로를 채용하면 모두 512개의 트랜지스터가 감소하는 것이다. 16Mb의 저장용량을 갖는 메모리라면 모두 8192개(512×16)의 트랜지스터 감소 효과를 얻을 수 있다.As a result, it can be seen that the number of transistors constituting the sub word line driving circuit according to the present invention is reduced. In a memory having a storage capacity of 1 Mb (1k × 1k), all 1024 word lines must be driven, and thus 1024 sub word line driving circuits are required. In the sub word line driving circuit according to the present invention, one transistor is reduced for every two sub word line driving circuits. Thus, when the sub word line driving circuit according to the present invention is adopted, all 512 transistors are reduced. If the memory has a storage capacity of 16Mb, 8192 transistors (512 × 16) can be reduced.

Claims (4)

서브 워드라인 구동회로에 있어서,In the sub word line driving circuit, 제 1 스위치의 일단과 제 2 스위치의 일단이 연결되어 이루어지는 제 1 출력단으로 제 1 서브 워드라인 구동신호가 출력되고, 상기 제 1 스위치의 타단에는 메인 워드라인 구동신호가 입력되며, 상기 제 2 스위치의 타단이 접지되고, 상기 제 1 및 제 2 스위치가 제 1 선택신호에 의해 스위칭되는 제 1 서브 워드라인 구동부와;A first sub word line driving signal is output to a first output terminal formed by connecting one end of the first switch to one end of the second switch, and a main word line driving signal is input to the other end of the first switch. A first sub word line driver to which the other end of the ground is grounded and the first and second switches are switched by a first selection signal; 제 3 스위치의 일단과 제 4 스위치의 일단이 연결되어 이루어지는 제 2 출력단으로 제 2 서브 워드라인 구동신호가 출력되고, 상기 제 3 스위치의 타단에는 상기 메인 워드라인 구동신호가 입력되며, 상기 제 4 스위치의 타단이 접지되고, 상기 제 3 및 제 4 스위치가 제 2 선택신호에 의해 스위칭되는 제 2 서브 워드라인 구동부와;A second sub word line driving signal is output to a second output terminal having one end of a third switch and one end of a fourth switch connected thereto, and the main word line driving signal is input to the other end of the third switch. A second sub word line driver to which the other end of the switch is grounded and the third and fourth switches are switched by a second selection signal; 상기 제 1 출력단과 상기 제 2 출력단 사이에 양단이 연결되고, 메인 워드라인 구동바신호에 의해 스위칭되는 제 5 스위치를 포함하는 서브 워드라인 구동회로.And a fifth switch coupled between the first output terminal and the second output terminal and switched by a main word line driving bar signal. 청구항 1에 있어서, 상기 제 1 스위치와 상기 제 2 스위치가 각각 피모스 트랜지스터와 엔모스 트랜지스터로 이루어져서, 상기 제 1 선택신호에 의해 상보적으로 턴 온되도록 이루어지는 것이 특징인 서브 워드라인 구동회로.The sub word line driver circuit of claim 1, wherein the first switch and the second switch are formed of a PMOS transistor and an NMOS transistor, respectively, so that the first switch and the second switch are turned on complementarily by the first selection signal. 청구항 1에 있어서, 상기 제 3 스위치와 상기 제 4 스위치가 각각 피모스 트랜지스터와 엔모스 트랜지스터로 이루어져서, 상기 제 2 선택신호에 의해 상보적으로 턴 온되도록 이루어지는 것이 특징인 서브 워드라인 구동회로.The sub word line driver circuit of claim 1, wherein the third switch and the fourth switch are formed of a PMOS transistor and an NMOS transistor, respectively, so that the third switch and the fourth switch are turned on complementarily by the second selection signal. 청구항 1에 있어서, 상기 제 5 스위치가 엔모스 트랜지스터인 것이 특징인 서브 워드라인 구동회로.The sub word line driver circuit according to claim 1, wherein the fifth switch is an NMOS transistor.
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