KR101513937B1 - Fabrication method of test sheet - Google Patents

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KR101513937B1
KR101513937B1 KR1020130137891A KR20130137891A KR101513937B1 KR 101513937 B1 KR101513937 B1 KR 101513937B1 KR 1020130137891 A KR1020130137891 A KR 1020130137891A KR 20130137891 A KR20130137891 A KR 20130137891A KR 101513937 B1 KR101513937 B1 KR 101513937B1
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황규식
이병주
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주식회사 아이에스시
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Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing a test sheet and a test sheet, and more specifically, to a test sheet disposed between a test target device and a test device to electrically connect a terminal of the test target device and a pad of the test device to each other. The test sheet comprises: a plurality of conductive portions in which conductive particles are distributed in the second polymer material in a thickness direction at positions corresponding to terminals of the test target device; and an insulating portion which is formed of a first polymer material, disposed around the conductive portions and configured to support the conductive portions while insulating the conductive portions from each other. The method for manufacturing the test sheet comprises: a filling step of preparing a first container connected to a first nozzle and a second container connected to a second nozzle and filling the first container with the first polymer material while filling the second container with a compound including the second polymer material and conductive particles; a printing step of preparing a plate on which the first polymer material and the compound are to be coated, coating the compound in the second container in the state of liquid at positions corresponding to the conductive parts on the plate through the second nozzle and coating the first polymer material in the first container in the state of liquid at a position corresponding to the insulating portion on the plate through the first nozzle; and a curing step of curing the compound and the first polymer material which are coated on the plate.

Description

검사용 시트의 제조방법{Fabrication method of test sheet}[0001] Fabrication method of test sheet [0002]

본 발명은 검사용 시트의 제조방법 및 검사용 시트에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 제조가 간편하고 제조비용이 절감되며 다양한 형상의 도전부를 구현할 수 있는 검사용 시트의 제조방법 및 검사용 시트에 대한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing an inspection sheet and an inspection sheet, and more particularly, to a method of manufacturing an inspection sheet which can be easily manufactured, will be.

복잡한 공정을 거쳐 제조된 반도체 디바이스는 각종 전기적인 시험을 통하여 특성 및 불량 상태를 검사하게 된다. 구체적으로는 패키지 IC, MCM 등의 반도체 집적 회로 장치, 집적 회로가 형성된 웨이퍼 등의 반도체 디바이스의 전기적 검사에 서, 검사대상인 반도체 디바이스의 한쪽면에 형성된 단자와 테스트 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속하기 위하여, 반도체 디바이스와 검사장치 사이에는 전기적 검사용 소켓이 배치된다. Semiconductor devices manufactured through complicated processes are inspected for characteristics and defects through various electrical tests. More specifically, in the electrical inspection of semiconductor devices such as a semiconductor integrated circuit device such as a package IC and an MCM, and a wafer on which an integrated circuit is formed, the terminals formed on one surface of the semiconductor device to be inspected and the pads of the test device are electrically connected An electrical inspection socket is disposed between the semiconductor device and the inspection apparatus.

이러한 검사용 소켓으로는, 절연성 고무 내에 다수의 도전입자를 두께방향으로 분포시키는 탄성 이방 도전막의 타입과, 한 쌍의 금속 탐침 사이에 스프링을 배치시키는 포고핀 타입으로 크게 구분될 수 있다.Such a test socket can be broadly classified into a type of an elastic anisotropically conductive film in which a plurality of conductive particles are distributed in the thickness direction in the insulating rubber and a pogo pin type in which a spring is arranged between the pair of metal probes.

여기서 탄성 이방 도전막의 타입으로서는, 대한민국 공개특허 10-2009-0127156호에 개시되어 있으며, 이에 대하여 도 1을 통하여 간략하게 설명하면 다음과 같다.Here, the type of the elastic anisotropic conductive film is disclosed in Korean Patent Laid-open Publication No. 10-2009-0127156, which will be briefly described with reference to Fig. 1 as follows.

도 1에 개시된 탄성 이방 도전막 (20)은 고분자 물질에 의해서 형성되어 있고, 두께 방향으로 연장되는 복수의 접속용 도전부 (22)와, 이 접속용 도전부 (22) 각각의 주위에 형성되고, 상기 접속용 도전부 (22)의 각각을 서로 절연시키는 절연부 (23)으로 이루어지는 기능부 (21)을 가지고, 상기 기능부 (21)는 프레임판 (10)의 이방 도전막 배치용 구멍 (11)에 위치하도록 배치되어 있다. 이 기능부 (21)에 있어서의 접속용 도전부 (22)는, 검사 대상인 웨이퍼에 형성된 집적 회로에 있어서 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴에 따라서 배치되고, 상기 웨이퍼의 검사에 있어서 그 피검사 전극에 전기적으로 접속되는 것이다.The elastic anisotropically conductive film 20 shown in Fig. 1 is formed of a polymer material and has a plurality of conductive parts 22 for connection extending in the thickness direction and a plurality of conductive parts 22 for connection And an insulating portion 23 for insulating each of the conductive portions 22 for connection from each other. The functional portion 21 is provided with an anisotropic conductive film arrangement hole 11). The conductive parts 22 for connection in the functional part 21 are arranged in accordance with a pattern corresponding to the pattern of the electrodes to be inspected in the integrated circuit formed on the wafer to be inspected, And is electrically connected to the electrode.

또한, 포고핀의 타입으로는, 대한민국 공개특허 제10-2008-0018520호에 개시되어 있다. 여기서 도 2은 종래의 반도체 패키지 검사용 소켓의 일 예를 보인 종단면도로서, 반도체 패키지의 외부단자와 PCB상의 금속배선 사이를 연결하는 수단으로 포고핀을 사용한 예를 보여주고 있다. 도면을 참조하면, 종래의 반도체 패키지 검사용 소켓(20)은, 피테스트 소자(반도체 패키지)(3)의 외부단자(3a)와 테스트 보드(5)의 컨택트 패드(5a)를 전기적으로 연결하는 역할을 하는 포고핀(6)들과, 이 포고핀들이 일정한 간격으로 고정적으로 배열되도록 하며 포고핀들을 변형이나 외부의 물리적인 충격으로부터 보호하기 위하여 포고핀들을 지지하는 절연성의 본체(1)로 구성된다. 포고핀(6)은 관체상의 핀 몸체(11)와; 그 핀 몸체(11)의 상측에 결합되어 패키지(3)의 외부단자(3a)에 접촉되는 금속체로 된 상부 컨택터(12)와; 상기 핀 몸체(11)의 하측에 결합되어 테스트 보드(5)의 컨택트 패드(5a)에 접촉되는 금속체로된 하부 컨택터(13)와; 상기 상부 컨택터(12)에 상단부가 접촉되고 하부 컨택터(13)에 하단부가 접촉되도록 상기 핀 몸체(11)의 내부에 배치되어, 검사시 상부 컨택터(12)가 패키지(3)의 외부단자(3a)에 접촉되고 하부 컨택터(13)가 테스트 보드(5)의 컨택트 패드(5a)에 접촉될 때 탄력적으로 접촉될 수 있도록 하기 위한 코일 스프링(14);으로 구성되어 있다.Also, the type of pogo pin is disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2008-0018520. 2 is a vertical cross-sectional view illustrating an example of a conventional semiconductor package inspecting socket, in which a pogo pin is used as a means for connecting an external terminal of a semiconductor package and a metal wiring on a PCB. Referring to the drawings, a conventional semiconductor package inspecting socket 20 electrically connects an external terminal 3a of a test device (semiconductor package) 3 to a contact pad 5a of a test board 5 And an insulative body 1 for supporting the pogo pins so that the pogo pins 6 are fixedly arranged at regular intervals and the pogo pins are protected from deformation or external physical impact do. The pogo pin (6) comprises a pin body (11) on the tubular body; An upper contactor 12 connected to an upper side of the pin body 11 and made of a metal to be in contact with an external terminal 3a of the package 3; A lower contactor 13 coupled to a lower side of the pin body 11 to be in contact with the contact pad 5a of the test board 5; The upper contactor 12 is disposed inside the pin body 11 such that the upper end of the upper contactor 12 contacts the lower contactor 13 and the lower end thereof contacts the lower end of the lower contactor 13, And a coil spring 14 for contacting the terminal 3a and allowing the lower contactor 13 to be elastically contacted when the lower contactor 13 contacts the contact pad 5a of the test board 5. [

도 1에 의한 탄성 이방 도전막 타입의 검사용 시트는, 그 탄성 이방 도전막을 제작하기 위하여, 각 제품별로 필요한 금형을 제작하여야 하여 전체적인 제조비용이 증가한다는 문제점이 있다. 또한, 탄성 이방 도전막은 전체적으로 연질의 소재로 이루어져 있어 전체적인 두께를 증가시키기 어렵다는 문제점도 있다.The test sheet of the elastic anisotropic conductive film type according to FIG. 1 has a problem that the overall manufacturing cost is increased because a mold necessary for each product is manufactured in order to produce the elastic anisotropic conductive film. In addition, the elastic anisotropic conductive film is made of a soft material as a whole, which makes it difficult to increase the overall thickness.

도 2에 의한 포고핀 타입의 검사용 소켓은, 별도의 금형을 제조하지 않아도 되며 전체적으로 기계적 가공에 의하여 제조할 수 있으며, 비교적 견고한 하우징(1)이 구조물을 안정적으로 지지하고 있어 두께가 증가하는 경우에도 용이한 검사를 수행할 수 있다는 장점이 있다. 그러나, 도 2에 의한 포고핀 타입의 검사용 소켓도, 포고핀(6)을 구성하는 각 구성품들을 기계가공에 의하여 제작하여야 하며 하우징(1)에도 관통공을 형성해야 하는 등 제조기간이 비교적 길어지고 제작시 가공 불량, 조립불량 및 생산량이 현저하게 낮아지게 된다는 문제점이 있게 된다. The test socket for pogo pin type according to FIG. 2 can be manufactured by a mechanical process as a whole without the need to manufacture a separate mold. When the relatively stable housing 1 stably supports the structure, It is possible to perform an easy inspection. However, the test socket for pogo pin type according to Fig. 2 is also required to be manufactured by machining each component constituting the pogo pin 6, and the through hole must be formed in the housing 1, There arises a problem that defective processing, poor assembling and production amount are remarkably lowered in the case of high-quality production.

1. 대한민국 공개특허 10-2009-0127156호1. Korean Patent Publication No. 10-2009-0127156 2. 대한민국 공개특허 제10-2008-0018520호2. Korean Patent Publication No. 10-2008-0018520

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 제조비용이 절감되면서 제조에 드는 시간이 감소되며, 가공불량, 조립불량 등이 발생하지 않는 검사용 시트의 제조방법 및 검사용 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and more particularly, it relates to a method of manufacturing an inspection sheet and a method of manufacturing the same, which can reduce the manufacturing cost and reduce the manufacturing time, And to provide a sheet.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 시트의 제조방법은, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 시트로서, 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제2 고분자 물질 내에 도전입자가 두께방향으로 분포된 복수의 도전부와, 상기 도전부의 주위에 배치되어 도전부를 서로 절연시키면서 지지하되 제1 고분자 물질로 이루어지는 절연부를 포함하는 검사용 시트의 제조방법으로서, In order to accomplish the above object, the present invention provides a method of manufacturing an inspection sheet, which is disposed between a device to be inspected and an inspection apparatus and is used as an inspection sheet for electrically connecting terminals of an inspection subject device with pads of the inspection apparatus A plurality of conductive parts in which conductive particles are distributed in a thickness direction in the second polymeric material at positions corresponding to the terminals of the device to be inspected, and a plurality of conductive parts arranged around the conductive parts, A method of producing an inspection sheet comprising an insulating portion,

제1노즐과 연결되는 제1용기와, 제2노즐과 연결되는 제2용기를 마련하고, 상기 제1용기에는 제1 고분자 물질을 채워넣고, 상기 제2용기에는 제2 고분자 물질과 도전입자로 이루어진 혼합물을 채워넣는 충전단계;A first container connected to the first nozzle and a second container connected to the second nozzle, wherein the first container is filled with the first polymer material, and the second container is filled with the second polymer material and the conductive particles A filling step of filling the resulting mixture;

상기 제1 고분자 물질 및 혼합물이 도포될 플레이트를 준비하고,Preparing a plate to which the first polymer material and the mixture are to be applied,

상기 제2용기 내의 혼합물을 제2노즐을 통하여 상기 도전부와 대응되는 상기 플레이트 상의 위치에 액상으로 도포하고, 제1용기 내의 제1 고분자 물질을 제1노즐을 통하여 상기 절연부와 대응되는 상기 플레이트 상의 위치에 액상으로 도포시키는 인쇄단계; 및The mixture in the second container is applied in liquid form to a position on the plate corresponding to the conductive portion through the second nozzle, and the first polymer material in the first container is supplied to the plate In a liquid phase at a position on the surface of the substrate; And

상기 플레이트에 도포된 혼합물 및 제1 고분자 물질을 경화시키는 경화단계;를 포함한다.And a curing step of curing the mixture and the first polymer material applied to the plate.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,In the method for producing an inspection sheet,

상기 제1노즐과, 제2노즐을 통하여 도포되는 액상의 제1 고분자 물질 및 혼합물은, 상기 플레이트 상에 소정의 두께를 가지는 시트층을 형성하되, 상기 시트층이 순차적으로 적층되면서 상기 검사용 시트를 제조할 수 있다.Wherein the first polymeric material and the mixture of the first polymeric material and the first polymeric material applied through the first nozzle and the second nozzle are formed by forming a sheet layer having a predetermined thickness on the plate while sequentially stacking the sheet layers, Can be produced.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,In the method for producing an inspection sheet,

상기 제1노즐은 그 내부를 통과하는 제1 고분자 물질을 가열하여 고체상태에서 액체상태로 변화시키고,Wherein the first nozzle changes a solid state to a liquid state by heating a first polymer material passing through the first nozzle,

상기 제2노즐은 그 내부를 통과하는 혼합물을 가열하여 고체상태에서 액체상태로 변화시킬 수 있다.The second nozzle may heat the mixture passing through the second nozzle to change from a solid state to a liquid state.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,In the method for producing an inspection sheet,

상기 제1 고분자 물질과, 상기 제2 고분자물질은 열경화성 수지로서, 상기 경화단계에서 상기 혼합물과 제1 고분자 물질은 열을 방출하는 플레이트에 의하여 경화될 수 있다.The first polymer material and the second polymer material are thermosetting resins. In the curing step, the mixture and the first polymer material may be cured by heat releasing plates.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,In the method for producing an inspection sheet,

제1고분자 물질과, 상기 제2고분자물질은 열경화성 수지로서,The first polymer material and the second polymer material are thermosetting resins,

상기 경화단계에서 상기 제1고분자 물질과, 상기 제2고분자 물질은 고온의 공기에 의하여 경화될 수 있다.In the curing step, the first polymer material and the second polymer material may be cured by high temperature air.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,In the method for producing an inspection sheet,

상기 제1고분자 물질과, 상기 제2고분자 물질은 광경화성 수지로서,Wherein the first polymer material and the second polymer material are photo-

상기 제1고분자 물질과, 상기 제2고분자 물질은 자외선 램프에 의하여 방출되는 자외선에 의하여 경화될 수 있다.The first polymer material and the second polymer material may be cured by ultraviolet rays emitted by an ultraviolet lamp.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 시트는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 시트로서, 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제2 고분자 물질 내에 도전입자가 두께방향으로 분포된 도전부와, 상기 도전부의 주위에 배치되며 제1 고분자 물질로 이루어지는 절연부로 구성되는 탄성 시트와, 상기 탄성 시트의 가장자리를 지지하며 제3 고분자 물질로 이루어지는 지지프레임을 포함하는 검사용 시트의 제조방법으로서, In order to achieve the above object, the inspection sheet of the present invention is an inspection sheet arranged between a device to be inspected and an inspection device for electrically connecting terminals of the device to be inspected and pads of the inspection device, An elastic sheet composed of a conductive part in which conductive particles are distributed in a thickness direction in a second polymeric material at positions corresponding to terminals of a device and an insulating part made of a first polymeric substance disposed around the conductive part; A method for producing an inspection sheet comprising a support frame which supports an edge and is made of a third polymer material,

제1노즐과 연결되는 제1용기와, 제2노즐과 연결되는 제2용기 및, 제3노즐과 연결되는 제3용기를 마련하고, 상기 제1용기에는 제1 고분자 물질을 채워넣고, 상기 제2용기에는 제2 고분자 물질과 도전입자로 이루어진 혼합물을 채워넣으며, 상기 제3용기에는 제3 고분자 물질을 채워넣는 충전단계;A first container connected to the first nozzle, a second container connected to the second nozzle, and a third container connected to the third nozzle, wherein the first container is filled with the first polymer material, Filling the second container with a mixture of the second polymer material and the conductive particles, filling the third container with the third polymer material;

상기 제1 고분자 물질, 혼합물 및 제3 고분자 물질이 인쇄될 플레이트를 준비하고,Preparing a plate on which the first polymer material, the mixture, and the third polymer material are to be printed,

상기 제2용기 내의 혼합물을 제2노즐을 통하여 상기 도전부와 대응되는 상기 플레이트 상의 위치에 분사하고, 제1용기 내의 제1 고분자 물질을 제1노즐을 통하여 상기 절연부와 대응되는 상기 플레이트 상의 위치에 분사시키며, 제3용기 내의 제3고분자 물질을 제3 노즐을 통하여 상기 지지프레임과 대응되는 상기 플레이트 상의 위치에 분사시키는 인쇄단계;Injecting a mixture in the second container through a second nozzle to a position on the plate corresponding to the conductive portion and injecting the first polymer material in the first container through a first nozzle to a position on the plate corresponding to the insulating portion Injecting a third polymeric material in the third vessel through a third nozzle into a position on the plate corresponding to the support frame;

분사된 액상의 제1 고분자 물질, 혼합물 및 제3 고분자 물질을 경화시키는 경화단계;를 포함한다.And curing the first polymer material, the mixture, and the third polymer material in the injected liquid phase.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,In the method for producing an inspection sheet,

상기 제3고분자 물질은, 상기 제1 고분자 물질보다 경질의 소재로 이루어질 수 있다.The third polymeric material may be made of a harder material than the first polymeric material.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,In the method for producing an inspection sheet,

상기 도전부는, 상기 검사용 시트의 두께방향을 따라서 나선형태로 감기면서 연장될 수 있다.The conductive portion may be extended while being wound in a spiral shape along the thickness direction of the inspection sheet.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,In the method for producing an inspection sheet,

상기 도전부는, 상기 검사용 시트의 두께방향을 따라서 지그재그의 형태로 연장될 수 있다.The conductive portion may extend in a zigzag shape along the thickness direction of the inspection sheet.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 시트는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 시트로서, In order to achieve the above object, the inspection sheet of the present invention is an inspection sheet arranged between a device to be inspected and an inspection device for electrically connecting terminals of the device to be inspected and pads of the inspection device to each other,

피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제2 고분자 물질 내에 도전입자가 두께방향으로 분포된 도전부와, 상기 도전부의 주위에 배치되며 제1 고분자 물질로 이루어지는 절연부를 포함하되,A conductive part having conductive particles distributed in a thickness direction in a second polymeric material at positions corresponding to terminals of the device to be inspected; and an insulating part disposed around the conductive part and made of a first polymeric material,

상기 도전부는, 상기 검사용 시트의 두께방향을 따라서 나선형태로 감기는 스프링형상 및 두께방향을 따라서 지그재그의 형태로 연장되는 형상 중 어느 하나의 형상을 가진다.The conductive portion has any one of a spring shape wound in a helical shape along the thickness direction of the inspection sheet and a shape extending in a zigzag shape along the thickness direction.

본 발명에 따른 검사용 시트의 제조방법은, 인쇄방식으로 검사용 시트를 제조하기 때문에 별도의 금형이 필요없음은 물론 별도의 기계적 가공이 없이도 제조할 수 있어 전체적인 제조비용 및 제조시간을 단축시킬 수 있는 장점이 있다.The method for producing an inspection sheet according to the present invention can produce an inspection sheet by a printing method, so that a separate mold is not required, and it is possible to manufacture without requiring any additional mechanical processing, thereby shortening the overall manufacturing cost and manufacturing time There is an advantage.

또한, 본 발명에 따른 검사용 시트의 제조방법은, 다양한 형태의 도전부를 제작할 수 있기 때문에 전기적 특성면에서 기존보다 유리한 다양한 형상을 구현할 수 있다는 장점이 있다.In addition, since the method for manufacturing an inspection sheet according to the present invention can produce various types of conductive parts, it is possible to realize various shapes more advantageous from the viewpoint of electrical characteristics.

도 1은, 종래기술에 따른 탄성 이방 도전막을 도시한 도면.
도 2는, 종래기술에 따른 포고핀을 도시한 도면.
도 3은, 본 발명에 따른 검사용 시트를 제조하기 위한 장치를 나타내는 도면.
도 4는 도 3의 일 구성의 확대도.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 시트를 제조하는 과정을 나타내는 도면.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 시트는 나타내는 도면.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 시트를 제조하는 과정을 나타내는 도면.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사용 시트를 제조하는 과정을 나타내는 도면.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 시트.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing a conventional anisotropic conductive film. Fig.
2 is a view showing a pogo pin according to the prior art;
3 is a view showing an apparatus for producing an inspection sheet according to the present invention;
4 is an enlarged view of one configuration of Fig. 3;
5 to 7 are views showing a process of manufacturing an inspection sheet according to an embodiment of the present invention.
8 is a view showing a sheet for inspection according to an embodiment of the present invention.
9 is a view showing a process of manufacturing an inspection sheet according to another embodiment of the present invention.
10 is a view showing a process of manufacturing an inspection sheet according to still another embodiment of the present invention.
11 is a sheet for inspection according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 시트의 제조방법 및 검사용 시트를 첨부된 도면을 참조하여 설명하겠다.Hereinafter, a method of manufacturing an inspection sheet and an inspection sheet according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 검사용 시트(100)는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 시트(100)로서, 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제2 고분자 물질 내에 도전입자(111a)가 두께방향으로 분포된 복수의 도전부(111)와, 상기 도전부(111)의 주위에 배치되어 도전부(111)를 서로 절연시키면서 지지하며 제1 고분자 물질로 이루어지는 절연부(112)로 구성되는 탄성 시트(110)와, 상기 탄성 시트(110)의 가장자리를 지지하며 제3 고분자 물질로 이루어지는 지지프레임(120)을 포함하여 구성된다.The inspection sheet (100) according to the present invention is an inspection sheet (100) arranged between a device to be inspected and an inspection device for electrically connecting terminals of the device to be inspected and pads of the inspection device, A plurality of conductive parts 111 in which conductive particles 111a are distributed in the thickness direction in the second polymeric material at positions corresponding to the terminals of the device and conductive parts 111 arranged around the conductive parts 111, An elastic sheet 110 composed of an insulating part 112 formed of a first polymer material and supporting the same while being insulated from each other and a supporting frame 120 made of a third polymer material supporting the edge of the elastic sheet 110 .

이때 탄성 시트(110)를 형성하는 제2 고분자 물질로서는, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 고분자 물질을 얻기 위해서 이용할 수 있는 경화성 고분자 물질 형성 재료로서는, 다양한 것을 사용할 수 있고, 그의 구체예로서는, 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물; 스티렌-부타디엔-디엔 블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블록 공중합체 고무 등의 블록 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물; 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다. At this time, as the second polymer material forming the elastic sheet 110, a polymer material having a crosslinked structure is preferable. As the curable polymer material forming material usable for obtaining such a polymer material, various materials can be used. Specific examples thereof include polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile-butadiene copolymer Conjugated diene rubbers such as rubbers and hydrogenated rubbers thereof; Block copolymer rubbers such as styrene-butadiene-diene block copolymer rubber, styrene-isoprene block copolymer rubber, and hydrogenated products thereof; Chloroprene rubber, urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, ethylene-propylene-diene copolymer rubber and the like.

이상에서, 얻어지는 검사 시트에 내후성이 요구되는 경우에는, 공액 디엔계 고무 이외의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 특히 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다. As described above, when weather resistance is required for the obtained test sheet, it is preferable to use a material other than the conjugated diene rubber, and in particular, from the viewpoints of moldability and electrical characteristics, it is preferable to use silicone rubber.

탄성 시트(110)에서의 도전부(111)에는 도전입자(111a)가 두께방향으로 배열되어 있되, 각각의 도전부(111)는 대략 원기둥 형상을 가질 수 있다. 이때 고분자 물질 중에 함유되는 도전입자(111a)로서는, 후술하는 방법에 의해 상기 입자를 쉽게 배향시킬 수 있기 때문에, 자성을 나타내는 도전입자(111a)가 이용된다. 이러한 도전입자(111a)의 구체예로서는, 철, 코발트, 니켈 등의 자성을 갖는 금속 입자 또는 이들의 합금 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들의 입자를 코어 입자로 하고, 상기 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 실시한 것, 또는 비자성 금속 입자 또는 유리 비드 등의 무기 물질 입자, 또는 중합체 입자를 코어 입자로 하고, 상기 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성 금속의 도금을 실시한 것 등을 들 수 있다. Conductive particles 111a are arranged in the thickness direction in the conductive portion 111 of the elastic sheet 110, and each conductive portion 111 may have a substantially columnar shape. At this time, as the conductive particles 111a contained in the polymer material, the conductive particles 111a exhibiting magnetism are used because the particles can be easily oriented by the method described later. As specific examples of such conductive particles 111a, metal particles having magnetic properties such as iron, cobalt, and nickel, or alloy particles thereof, or particles containing these metals, or particles thereof as core particles, Or metal particles of non-magnetic metal or glass beads or polymer particles as the core particles, and the surface of the core particles is coated with nickel , Plated with a conductive magnetic metal such as cobalt, and the like.

이 중에서는, 니켈 입자를 코어 입자로 하고, 그 표면에 도전성이 양호한 금의 도금을 실시한 것을 이용하는 것이 바람직하다. Among them, it is preferable to use the nickel particles as the core particles and the surface of which is plated with gold having good conductivity.

한편, 상기 절연부(112)를 구성하는 제1 고분자 물질로는, 상술한 도전부(111)의 제2 고분자 물질과 동일한 물질로 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 실리콘 고무인 것이 좋다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 다른 물질로 구성되는 것도 가능하다.Meanwhile, the first polymer material constituting the insulation part 112 may be made of the same material as the second polymer material of the conductive part 111 described above, and preferably is silicone rubber. However, the present invention is not limited to this, and it may be made of other materials.

상기 지지프레임(120)을 구성하는 제3 고분자 물질로서는, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리아미드 수지 등의 기계적 강도가 높은 수지 재료 등을 사용할 수 있지만, 열 팽창계수가 작은 점에서 폴리이미드 수지가 바람직하다. As the third polymer material constituting the support frame 120, a resin material having high mechanical strength such as a polyimide resin, a polyester resin, a polyaramid resin, or a polyamide resin can be used. However, A polyimide resin is preferable.

이러한 검사용 시트(100)는 다음과 같은 장치에 의하여 제조될 수 있다.Such an inspection sheet 100 can be manufactured by the following apparatus.

먼저, 검사용 시트(100)를 제조하기 위하여 인쇄장치(140)를 준비한다. 이러한 인쇄장치(140)는, 몸체부(150)와, 이동체(160)와, 용기(170)와, 플레이트(190)를 포함하여 구성된다.First, the printing apparatus 140 is prepared to manufacture the inspection sheet 100. As shown in FIG. The printing apparatus 140 includes a body portion 150, a moving body 160, a container 170, and a plate 190.

상기 몸체부(150)는, 대략 직사각형 판형태의 바닥판(151)과, 상기 바닥판(151)으로부터 세워지되 바닥판(151)의 후면으로부터 위쪽으로 연장되는 측판(152)과, 상기 측판(152)의 양측 가장자리로부터 전방으로 연장되는 한 쌍의 상측빔(153)과, 상기 상측빔(153)을 수평방향으로 연결하는 연결봉(154)으로 이루어진다.The body portion 150 includes a bottom plate 151 in the form of a substantially rectangular plate, a side plate 152 extending upward from the rear surface of the bottom plate 151 to be erected from the bottom plate 151, A pair of upper beams 153 extending forward from both side edges of the upper beam 153 and a connecting rod 154 connecting the upper beam 153 in the horizontal direction.

상기 이동체(160)는 상기 연결봉(154)을 따라서 좌우방향으로 이동하거나 상기 연결봉(154)에 대하여 직교하는 방향으로 상하이동할 수 있는 구성으로서 좌우이동 내지 상하이동을 위한 구동력은 내부에 배치된 모터에 의하여 얻어질 수 있으며, 상세한 설명은 생략한다.The moving body 160 is configured to move in the left-right direction along the connecting rod 154 or vertically move in the direction orthogonal to the connecting rod 154. The driving force for the left-right moving or the up- And detailed description thereof will be omitted.

상기 용기(170)는, 상기 이동체(160)에 배치되어 있으며 수평방향으로 이격되어 3개가 배치되며 각각을 제1용기(171), 제2용기(172) 및 제3용기(173)라고 한다. 이러한 용기(170)에는 용융이 필요한 물질이 채워질 수 있다. 상기 제1용기(171)는, 제1노즐(181)과 연결되어 있으며, 제1용기(171) 내의 물질은 상기 제1노즐(181)을 통과하여 외부로 배출될 수 있다. 상기 제1노즐(181)은 발열되면서 내부를 통과하는 제1 고분자 물질을 고체상태에서 액체상태로 변화시킬 수 있도록 구성된다. 구체적으로, 제1용기(171)에는, 절연부(112)를 구성하는 물질로서 구체적으로는 실리콘 고무를 사용하는 것이 가능하다. 이때, 제1용기(171) 내에는 고체상태의 실리콘 고무가 채워지게 되며, 제1노즐(181)을 통과하면서 실리콘 고무가 용융되면서 액체 상태로 변화하게 된다.The containers 170 are disposed in the moving body 160 and are spaced apart from each other in the horizontal direction and are called a first container 171, a second container 172, and a third container 173, respectively. Such a container 170 may be filled with a material requiring melting. The first container 171 is connected to the first nozzle 181 and the substance in the first container 171 can be discharged to the outside through the first nozzle 181. [ The first nozzle 181 is configured to change the first polymer material passing through the inside from a solid state to a liquid state while generating heat. Concretely, silicone rubber can be specifically used for the material constituting the insulating portion 112 in the first container 171. At this time, the solid state silicone rubber is filled in the first container 171, and the silicone rubber is melted and changed into a liquid state while passing through the first nozzle 181. [

상기 제2용기(172)는, 제2노즐(182)과 연결되어 제2용기(172) 내의 혼합물을 상기 제2노즐(182)을 통과하여 외부로 배출될 수 있다. 상기 제2노즐(182)은 발열되면서 내부를 통과하는 물질을 고체상태에서 액체상태로 변화시킬 수 있도록 구성된다. 구체적으로, 제2용기(172)에는 도전부(111)를 구성하는 물질로서, 구체적으로는 실리콘 고무와 도전성 입자의 혼합물이 배치된다. 상기 혼합물은 상기 제2노즐(182)을 통과하면서 용융상태로 변화되며 이에 따라 액상의 실리콘 고무 내에 도전성 입자가 혼재된 상태를 이루게 된다.The second container 172 may be connected to the second nozzle 182 to discharge the mixture in the second container 172 through the second nozzle 182 to the outside. The second nozzle 182 is configured to change a substance passing through the inside from a solid state to a liquid state while generating heat. Concretely, in the second container 172, a mixture of the silicone rubber and the conductive particles is disposed as the material constituting the conductive portion 111. The mixture passes through the second nozzle 182 and is changed into a molten state, so that the conductive particles are mixed in the liquid silicone rubber.

상기 제3용기(173)는, 상기 제3노즐(183)과 연결되어 있어, 제3용기(173) 내의 제3 고분자 물질을 제3노즐(183)을 통과하여 외부로 배출시킬 수 있다. 상기 제3노즐(183)은 발열되면서 내부를 통과하는 제3고분자 물질을 고체상태에서 액체상태로 변화시킬 수 있도로 구성된다. The third container 173 is connected to the third nozzle 183 so that the third polymer material in the third container 173 can be discharged to the outside through the third nozzle 183. The third nozzle 183 is configured to change the third polymeric material passing through the inside of the third nozzle 183 from a solid state to a liquid state.

상기 플레이트(190)는, 제1용기(171), 제2용기(172) 및 제3용기(173)의 아래에 배치되어 있으며 검사용 시트(100)가 제조될 부분이다. 제1 고분자 물질, 혼합물 및 제3고분자 물질은 모두 플레이트(190) 상에 도포되어 경화됨으로서 검사용 시트(100)가 완성될 수 있다.The plate 190 is disposed under the first container 171, the second container 172 and the third container 173 and is a portion where the inspection sheet 100 is to be manufactured. The first polymer material, the mixture, and the third polymer material are all coated on the plate 190 and cured to complete the inspection sheet 100.

이러한 플레이트(190)의 하부에는 가열을 위한 히팅수단(191)이 배치되어 있어 플레이트(190) 위에 도포된 열경화성 수지등이 경화될 수 있도록 한다. A heating means 191 for heating is disposed below the plate 190 so that the thermosetting resin or the like coated on the plate 190 can be cured.

이러한 인쇄장치(140)를 이용한 검사용 시트(100)의 제조방법은 다음과 같다.A method of manufacturing the inspection sheet 100 using the printing apparatus 140 is as follows.

먼저, 도 3 및 도 4에 도시된 검사용 시트(100)의 제조장치를 준비한 후에, 제1용기(171), 제2용기(172) 및 제3용기(173)에 각각 제1 고분자 물질, 혼합물 및 제3 고분자 물질을 채워넣는다. 3 and 4, a first polymer material is applied to the first container 171, the second container 172, and the third container 173, respectively, The mixture and the third polymeric material are filled.

이후에, 플레이트(190)를 준비한 후에, 도 5에 도시된 바와 같이, 이동체(160)를 이동시켜 분사가 필요한 위치에 각각의 제1노즐(181), 제2노즐(182) 및 제3노즐(183)이 위치될 수 있도록 한다. 5, after the plate 190 is prepared, the moving body 160 is moved so that the first nozzle 181, the second nozzle 182, (183) can be positioned.

이후에, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제2용기(172) 내의 혼합물을 제2노즐(182)을 통하여 상기 도전부(111)와 대응되는 상기 플레이트(190) 상의 위치에 분사하고, 제1용기(171) 내의 제1 고분자 물질을 제1노즐(181)을 통하여 상기 절연부(112)와 대응되는 상기 플레이트(190) 상의 위치에 분사시키며, 제3용기(173) 내의 제3고분자 물질을 제3 노즐(180)을 통하여 상기 지지프레임(120)과 대응되는 상기 플레이트(190) 상의 위치에 분사시킨다. 이와 같이 플레이트(190) 상에 분사된 용융상태의 물질은 대략 소정의 두께를 가지는 시트층을 형성하게 된다. 6, the mixture in the second container 172 is injected through the second nozzle 182 to a position on the plate 190 corresponding to the conductive portion 111, The first polymer material in the first container 171 is injected through the first nozzle 181 to a position on the plate 190 corresponding to the insulation part 112 and the third polymer material in the third container 173, To the position on the plate 190 corresponding to the support frame 120 through the third nozzle 180. Thus, the molten material sprayed on the plate 190 forms a sheet layer having a predetermined thickness.

이후에, 도 6의 과정을 반복하면 도 7에 도시된 바와 같이 시트층 위에 새로운 시트층을 형성하면서 검사용 시트(100)의 제조를 진행하게 된다. 이러한 과정을 반복하게 되면 도 8에 도시된 바와 같이 원하는 두께를 가지는 검사용 시트(100)를 제조할 수 있게 된다. 6, the inspection sheet 100 is formed while forming a new sheet layer on the sheet layer as shown in FIG. By repeating this process, it is possible to manufacture the test sheet 100 having a desired thickness as shown in FIG.

한편, 이동체의 좌우상하이동, 노즐로부터 물질의 분사 등을 도시되지 않은 소정의 제어부에 의하여 제어됨으로서 진행될 수 있으며, 이에 대해서는 구체적인 설명은 생략한다.Meanwhile, movement of the moving body in the left-right direction and up-down movement, spraying of the material from the nozzle, etc. may be controlled by a not-shown control unit, and a detailed description thereof will be omitted.

이러한 본 발명에 따른 검사용 시트의 제조방법에 의하면, 별도의 금형 내지 복잡한 기계가공이 없이도 원하는 형태의 검사용 시트를 용이하게 제작할 수 있다는 장점이 있게 된다. 특히, 제조시간 및 제조방법면에서 종래에는 전혀 개시 내지 암시되지 않은 제조방법을 창출함으로서 제조시간을 효과적으로 감소시킬 수 있는 장점이 있게 된다.According to the method for producing an inspection sheet according to the present invention, it is possible to easily produce an inspection sheet in a desired form without requiring a separate mold or complicated mechanical processing. Particularly, in terms of the manufacturing time and the manufacturing method, there is an advantage that the manufacturing time can be effectively reduced by creating a manufacturing method which is not disclosed or implied at all.

구체적으로 종래기술에서는 금형의 형상에 따라 검사용 시트를 제조함에 있어 구조 변경, 제품 변경시 추가적인 비용과 시간이 소모되게 된다. 또한 컨택터로서 안정적인 동작을 위해 도전부의 높이가 높을수록 좋으나, 높이를 올리는데 한계가 있어 컨택터 제작시 제조 수율을 크게 떨어뜨리게 되고 이를 개선하기 위하여 고가의 가공, 제작 설비투자(예를 들어 포고핀 등)가 필요하게 되는데, 본 실시예에 의하면 이러한 종래의 문제점을 쉽게 해결할 수 있게 된다. More specifically, in the prior art, additional cost and time are consumed when changing the structure or changing the product in manufacturing the inspection sheet according to the shape of the mold. In addition, the higher the height of the conductive part is, the better the height of the conductive part is for the stable operation of the contactor. However, since the height of the conductive part is limited, Etc.) are required. According to this embodiment, such conventional problems can be solved easily.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 제조방법에 의하면 품목의 복잡함에 따라 수일 내지 수주 걸릴 수 있는 통상적인 기계 가공 및 검사용 시트의 제조방법에 비해 가공 시간 단축과 제조 비용을 줄이면서 보다 정밀한 검사용 시트를 대량 생산할 수 있다는 장점이 있게 된다.Further, according to the manufacturing method according to the embodiment of the present invention, compared with the conventional method of manufacturing a sheet for machining and inspection, which can take several days to several weeks depending on the complexity of the item, There is an advantage in that the sheet can be mass-produced.

본 발명에 따른 검사용 시트는, 열경화성 수지를 이용하여 고온에서 경화시키는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 9에 도시된 바와 같이 자외선 경화용 UV 램프(200)를 설치하고 검사용 시트를 제조하기 위한 물질을 광경화성 수지를 사용하여 경화시키는 것도 가능하다. 또한, 열경화성 수지를 사용하는 경우에도 플레이트를 가열시키는 것 외에 고온의 공기를 이용하여 플레이트에 놓여진 액상의 물질을 경화시키는 것도 가능하다.The test sheet according to the present invention is cured at a high temperature by using a thermosetting resin. However, the present invention is not limited to this, and the UV lamp 200 for ultraviolet curing may be installed as shown in FIG. 9, It is also possible to cure the material for use with a photo-curable resin. Further, in the case of using a thermosetting resin, in addition to heating the plate, it is also possible to cure a liquid substance placed on the plate by using high-temperature air.

한편, 이외에도 도 10에 도시된 바와 같이 열경화를 거치면서 제작된 검사용 시트의 냉각을 위하여 플레이트에 냉각시스템이 설치될 수 있다. 냉각시스템은 소정의 냉각기(미도시)에서 냉매의 순환을 위한 인입과 토출을 위한 냉각 순환 파이프(210)가 루프 구조의 형태로서 설치될 수 있다. 또한, 플레이트(190)에는 도전부 내에 도전입자들이 효과적으로 밀집될 수 있도록 마그네트를 설치하는 것도 가능하다. In addition, as shown in FIG. 10, a cooling system may be installed on the plate for cooling the inspection sheet manufactured through thermal curing. The cooling system can be installed in the form of a loop structure in which a cooling circulation pipe 210 for intake and discharge for circulation of the refrigerant in a predetermined cooler (not shown) is installed. It is also possible to provide a magnet on the plate 190 so that the conductive particles can be effectively densified in the conductive part.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 시트에서 도전부는 통상의 원기둥 형상 이외에 도 11에 도시된 바와 같이 다양한 형상을 이룰 수 있게 된다.In the inspection sheet according to the embodiment of the present invention, the conductive portion can have various shapes as shown in FIG. 11, in addition to the normal cylindrical shape.

구체적으로는, 상기 도전부는, 상기 검사용 시트의 두께방향을 따라서 나선형태로 감기면서 연장될 수 있다. 즉, 도전부(111')는 도 11(a)에 도시된 바와 같이 다수의 도전입자(111a')가 배치되어 있으며 전체적으로 대략 스프링의 형상을 가질 수 있다.Specifically, the conductive portion can be extended while being wound in a spiral shape along the thickness direction of the inspection sheet. That is, as shown in FIG. 11 (a), the conductive part 111 'is provided with a plurality of conductive particles 111a' and may have a substantially spring shape as a whole.

또한, 도전부(111'')는 도 11(b)에 도시된 바와 같이 다수의 도전입자(111a'')가 배치되어 있으며 상기 검사용 시트의 두께방향을 따라서 지그재그의 형태로 연장되는 것도 가능하다. 11 (b), a plurality of conductive particles 111a '' are disposed, and the conductive part 111 '' may extend in a zigzag shape along the thickness direction of the inspection sheet Do.

이상에서 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments.

100...검사용 시트 110...탄성 시트
111...도전부 112...절연부
120...지지프레임 140...인쇄장치
150...몸체부 151...바닥판
152...측판 153...상측빔
154...연결봉 160...이동체
170...용기 171...제1용기
172...제2용기 173...제3용기
180...노즐 181...제1노즐
182...제2노즐 183...제3노즐
190...플레이트 100 ... Inspection sheet 110 ... Elastic sheet
111 ... conductive part 112 ... insulating part
120 ... support frame 140 ... printing device
150 ... body part 151 ... bottom plate
152 ... side plate 153 ... upper beam
154 ... connecting rod 160 ... movable body
170 ... container 171 ... first container
172 ... second container 173 ... third container
180 ... nozzle 181 ... first nozzle
182 ... second nozzle 183 ... third nozzle
190 ... plate

Claims (11)

피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 시트로서, 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제2 고분자 물질 내에 도전입자가 두께방향으로 분포된 복수의 도전부와, 상기 도전부의 주위에 배치되어 도전부를 서로 절연시키면서 지지하되 제1 고분자 물질로 이루어지는 절연부를 포함하는 검사용 시트의 제조방법으로서,
제1노즐과 연결되는 제1용기와, 제2노즐과 연결되는 제2용기를 마련하고, 상기 제1용기에는 제1 고분자 물질을 채워넣고, 상기 제2용기에는 제2 고분자 물질과 도전입자로 이루어진 혼합물을 채워넣는 충전단계;
상기 제1 고분자 물질 및 혼합물이 도포될 플레이트를 준비하고,
상기 제2용기 내의 혼합물을 제2노즐을 통하여 상기 도전부와 대응되는 상기 플레이트 상의 위치에 액상으로 도포하고, 제1용기 내의 제1 고분자 물질을 제1노즐을 통하여 상기 절연부와 대응되는 상기 플레이트 상의 위치에 액상으로 도포시키는 인쇄단계; 및
상기 플레이트에 도포된 혼합물 및 제1 고분자 물질을 경화시키는 경화단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.An inspection sheet disposed between a device to be inspected and an inspection device for electrically connecting terminals of the device to be inspected and pads of the inspection device, the inspection sheet comprising conductive particles in the second polymeric material at positions corresponding to the terminals of the device to be inspected And an insulating portion which is disposed around the conductive portion and supports the conductive portion while inserting the insulating portion therebetween, the insulating portion being made of the first polymer material, the method comprising the steps of:
A first container connected to the first nozzle and a second container connected to the second nozzle, wherein the first container is filled with the first polymer material, and the second container is filled with the second polymer material and the conductive particles A filling step of filling the resulting mixture;
Preparing a plate to which the first polymer material and the mixture are to be applied,
The mixture in the second container is applied in liquid form to a position on the plate corresponding to the conductive portion through the second nozzle, and the first polymer material in the first container is supplied to the plate In a liquid phase at a position on the surface of the substrate; And
And a curing step of curing the mixture and the first polymer material applied to the plate. 제1항에 있어서,
상기 제1노즐과, 제2노즐을 통하여 도포되는 액상의 제1 고분자 물질 및 혼합물은, 상기 플레이트 상에 소정의 두께를 가지는 시트층을 형성하되, 상기 시트층이 순차적으로 적층되면서 상기 검사용 시트를 제조하게 되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the first polymeric material and the mixture of the first polymeric material and the first polymeric material applied through the first nozzle and the second nozzle are formed by forming a sheet layer having a predetermined thickness on the plate while sequentially stacking the sheet layers, Wherein the method comprises the steps of: 제1항에 있어서,
상기 제1노즐은 그 내부를 통과하는 제1 고분자 물질을 가열하여 고체상태에서 액체상태로 변화시키고,
상기 제2노즐은 그 내부를 통과하는 혼합물을 가열하여 고체상태에서 액체상태로 변화시키는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the first nozzle changes a solid state to a liquid state by heating a first polymer material passing through the first nozzle,
Wherein the second nozzle changes a solid state to a liquid state by heating the mixture passing through the second nozzle. 제1항에 있어서,
상기 제1 고분자 물질과, 상기 제2 고분자물질은 열경화성 수지로서, 상기 경화단계에서 상기 혼합물과 제1 고분자 물질은 열을 방출하는 플레이트에 의하여 경화되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the first polymer material and the second polymer material are thermosetting resins, and in the curing step, the mixture and the first polymer material are cured by heat releasing plates. 제1항에 있어서,
제1고분자 물질과, 상기 제2고분자물질은 열경화성 수지로서,
상기 경화단계에서 상기 제1고분자 물질과, 상기 제2고분자 물질은 고온의 공기에 의하여 경화되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.The method according to claim 1,
The first polymer material and the second polymer material are thermosetting resins,
Wherein the first polymer material and the second polymer material are cured by high temperature air in the curing step. 제1항에 있어서,
상기 제1고분자 물질과, 상기 제2고분자 물질은 광경화성 수지로서,
상기 제1고분자 물질과, 상기 제2고분자 물질은 자외선 램프에 의하여 방출되는 자외선에 의하여 경화되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the first polymer material and the second polymer material are photo-
Wherein the first polymer material and the second polymer material are cured by ultraviolet rays emitted by an ultraviolet lamp. 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 시트로서, 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제2 고분자 물질 내에 도전입자가 두께방향으로 분포된 도전부와, 상기 도전부의 주위에 배치되며 제1 고분자 물질로 이루어지는 절연부로 구성되는 탄성 시트와, 상기 탄성 시트의 가장자리를 지지하며 제3 고분자 물질로 이루어지는 지지프레임을 포함하는 검사용 시트의 제조방법으로서,
제1노즐과 연결되는 제1용기와, 제2노즐과 연결되는 제2용기 및, 제3노즐과 연결되는 제3용기를 마련하고, 상기 제1용기에는 제1 고분자 물질을 채워넣고, 상기 제2용기에는 제2 고분자 물질과 도전입자로 이루어진 혼합물을 채워넣으며, 상기 제3용기에는 제3 고분자 물질을 채워넣는 충전단계;
상기 제1 고분자 물질, 혼합물 및 제3 고분자 물질이 인쇄될 플레이트를 준비하고,
상기 제2용기 내의 혼합물을 제2노즐을 통하여 상기 도전부와 대응되는 상기 플레이트 상의 위치에 분사하고, 제1용기 내의 제1 고분자 물질을 제1노즐을 통하여 상기 절연부와 대응되는 상기 플레이트 상의 위치에 분사시키며, 제3용기 내의 제3고분자 물질을 제3 노즐을 통하여 상기 지지프레임과 대응되는 상기 플레이트 상의 위치에 분사시키는 인쇄단계;
분사된 액상의 제1 고분자 물질, 혼합물 및 제3 고분자 물질을 경화시키는 경화단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.An inspection sheet disposed between a device to be inspected and an inspection device for electrically connecting terminals of the device to be inspected and pads of the inspection device, the inspection sheet comprising conductive particles in the second polymeric material at positions corresponding to the terminals of the device to be inspected And a supporting frame made of a third polymer material and supporting an edge of the elastic sheet, and a supporting frame made of a third polymer material, wherein the elastic sheet is made of a first polymer material and disposed around the conductive part, A method for producing an inspection sheet,
A first container connected to the first nozzle, a second container connected to the second nozzle, and a third container connected to the third nozzle, wherein the first container is filled with the first polymer material, Filling the second container with a mixture of the second polymer material and the conductive particles, filling the third container with the third polymer material;
Preparing a plate on which the first polymer material, the mixture, and the third polymer material are to be printed,
Injecting a mixture in the second container through a second nozzle to a position on the plate corresponding to the conductive portion and injecting the first polymer material in the first container through a first nozzle to a position on the plate corresponding to the insulating portion Injecting a third polymeric material in the third vessel through a third nozzle into a position on the plate corresponding to the support frame;
And a curing step of curing the injected liquid first polymer material, the mixture, and the third polymer material. 제7항에 있어서,
상기 제3고분자 물질은, 상기 제1 고분자 물질보다 경질의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.8. The method of claim 7,
Wherein the third polymeric material is made of a material harder than the first polymeric material. 제1항 또는 제7항에 있어서,
상기 도전부는, 상기 검사용 시트의 두께방향을 따라서 나선형태로 감기면서 연장되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.8. The method of claim 1 or 7,
Wherein the conductive portion extends while being wound in a spiral shape along the thickness direction of the inspection sheet. 제1항 또는 제7항에 있어서,
상기 도전부는, 상기 검사용 시트의 두께방향을 따라서 지그재그의 형태로 연장되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.8. The method of claim 1 or 7,
Wherein the conductive portion extends in a zigzag shape along the thickness direction of the inspection sheet. 삭제delete
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