KR20190067389A - Rubber socket for test having projecting conductive part and manufacturing method thereof - Google Patents

Rubber socket for test having projecting conductive part and manufacturing method thereof Download PDF

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KR20190067389A
KR20190067389A KR1020170167281A KR20170167281A KR20190067389A KR 20190067389 A KR20190067389 A KR 20190067389A KR 1020170167281 A KR1020170167281 A KR 1020170167281A KR 20170167281 A KR20170167281 A KR 20170167281A KR 20190067389 A KR20190067389 A KR 20190067389A
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김보현
이윤형
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(주)티에스이
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Abstract

The present invention relates to a rubber socket for test having a protruding conductive part and a method of manufacturing the same. The rubber socket for test having a protruding conductive part is capable of improving electrical contact characteristics with a device terminal to be tested and a pad of a device of a test device by having a protruding conductive part on a conductive part, improving durability of the protruding conductive part by allowing a conductive support layer to support the protruding conductive part, and further improving electrical contact characteristics by charging much more conductive particles. According to the present invention, the rubber socket for test electrically connects a device to be tested on an upper side with a pad of a test device on a lower side to perform electrical test of the device to be tested, and comprises: an elastic conductive sheet including a plurality of conductive parts having first conductive particles arranged in a vertical direction in an insulating elastic material, and an insulating support part for insulating between adjacent conductive parts while supporting the conductive parts; and a support frame for supporting the elastic conductive sheet, wherein at least one among an upper side or a lower side of the conductive part has a protruding conductive part protruding more than the insulating support part, and second conductive particles are arranged in the insulating elastic material on the protruding conductive part. In addition, a conductive support layer made of the insulating elastic material and integrally attached to the protruding conductive part in a ring shape surrounding an outer surface of the protruding conductive part is provided on the outer surface of the protruding conductive part.

Description

돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓 및 그의 제조 방법{RUBBER SOCKET FOR TEST HAVING PROJECTING CONDUCTIVE PART AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rubber socket for testing having all protrusions and a method of manufacturing the rubber socket.

본 발명은 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 도전부에 돌출도전부를 구비하여 피검사 디바이스 단자 또는 테스트 장치의 패드와 전기적 접촉 특성을 향상하고, 도전지지층이 돌출도전부를 지지하도록 하여 돌출도전부의 내구성을 증진하고, 도전성 입자를 더 많이 충전할 수 있어 전기적 접촉 특성을 보다 더 향상시킬 수 있는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a test rubber socket having all protrusions and a method of manufacturing the same. More particularly, the present invention relates to a test rubber socket having all protrusions on a conductive portion to improve electrical contact characteristics with a pad of a device under test or a pad of a test device A test rubber socket having all the protruding surfaces capable of supporting the entire protruding portion of the conductive supporting layer to improve the durability of all the protruding portions and capable of further charging the conductive particles to further improve the electrical contact property, And a method for producing the same.

일반적으로 제조가 완료된 반도체 디바이스(또는 피검사 디바이스)의 불량 여부를 판단하기 위하여 전기적 테스트를 실시한다. 구체적으로는 테스트장치로부터 소정의 테스트신호를 반도체 디바이스로 흘려보내 그 반도체 디바이스의 단락 여부를 판정하게 된다. 이러한 테스트장치와 반도체 디바이스는 서로 직접 접속되는 것이 아니라, 소위 테스트 소켓이라는 매개장치를 이용하여 간접적으로 접속되게 된다. 이러한 테스트 소켓으로는 포고핀 등 다양한 것이 사용될 수 있으나, 최근에는 탄성 도전시트를 가진 테스트용 러버 소켓이 주로 사용되어 오고 있다.Generally, an electrical test is performed to determine whether a semiconductor device (or a device to be inspected) has been manufactured or not. Specifically, a predetermined test signal is supplied to the semiconductor device from the test device to determine whether the semiconductor device is short-circuited. The test device and the semiconductor device are not directly connected to each other but are indirectly connected using an intermediate device called a so-called test socket. A variety of test sockets such as pogo pins can be used, but in recent years, test rubber sockets having elastic conductive sheets have been mainly used.

이러한 테스트용 러버 소켓의 일 예를 도 1에 도시하고 있다.An example of such a rubber socket for testing is shown in Fig.

종래 테스트용 러버 소켓은 절연성 지지부(11)와 도전부(12)로 구성되어 피검사 디바이스(14)의 단자(14A)와 테스트장치(15)의 패드(15A) 간에 전기적 접속을 실행하는 탄성 도전시트(10), 상기 탄성 도전시트(10)를 지지하고 테스트 장치의 가이드 핀과 결합하여 위치 정렬하는 지지 프레임(13)을 포함하여 구성된다.The conventional rubber socket for testing is constituted by the insulative support portion 11 and the conductive portion 12 so that the rubber socket is made of an elastic conductive material for electrically connecting between the terminal 14A of the device 14 to be inspected and the pad 15A of the testing device 15. [ A sheet 10, and a support frame 13 supporting the elastic conductive sheet 10 and aligning with the guide pins of the test apparatus.

탄성 도전시트(10)는 절연성 탄성 물질에 함유된 다수의 도전성 입자가 자장에 의해 두께 방향으로 배향된 후 경화되어 도전부(12)를 이루고 각 도전부들은 절연성 탄성물질로 이루어진 절연성 지지부(11)에 의해 서로 절연되는 형태로 이루어진다.The elastic conductive sheet 10 is formed by arranging a plurality of conductive particles contained in an insulating elastic material in a thickness direction by a magnetic field and then curing to form a conductive part 12. Each conductive part includes an insulating supporting part 11 made of an insulating elastic material, As shown in Fig.

여기에서 도전성 입자들은 울퉁불퉁한 무정형의 입자(121)가 주로 사용되고 있다(도 2(b) 참조). 이 도전성 입자는 주변의 절연성 탄성물질(예를 들면, 실리콘 고무)에 의해 고정되어 있는 구조로 이루어져 있다.Here, as the conductive particles, rugged amorphous particles 121 are mainly used (see Fig. 2 (b)). And these conductive particles are fixed by a surrounding insulating elastic material (for example, silicone rubber).

이러한 테스트용 러버 소켓은 테스트장치에 탑재된 상태에서 그 각각의 도전부(12)가 테스트장치의 패드와 접촉되도록 배치되어 있다.These test rubber sockets are arranged so that their respective conductive parts 12 are brought into contact with the pads of the test apparatus in a state where they are mounted on the test apparatus.

이와 같이 이루어지는 테스트용 러버 소켓은 이후 반도체 디바이스(피검사 디바이스)가 하강하여 단자들(14A)이 대응되는 위치에 각각 형성된 도전부(12)들을 접촉하면서 그 도전부(12)를 가압하게 되며, 이에 따라 도전부(12) 내의 도전성 입자들은 서로 밀착되면서 통전이 가능한 상태를 형성한다. 이후, 테스트장치로부터 소정의 테스트신호가 인가되면 그 테스트 신호가 테스트용 소켓을 거쳐 패키지로 전달되고, 그 반사 신호는 반대로 테스트용 소켓을 거쳐 테스트장치로 들어오게 된다.The test rubber socket thus obtained is lowered by the semiconductor device (inspected device) to press the conductive part 12 while contacting the conductive parts 12 formed at the corresponding positions of the terminals 14A, As a result, the conductive particles in the conductive portion 12 are in close contact with each other to form a state in which the conductive particles can be energized. Then, when a predetermined test signal is applied from the test apparatus, the test signal is transmitted to the package through the test socket, and the reflected signal is transmitted to the test apparatus through the test socket.

이러한 테스트용 러버 소켓은 두께방향으로만 도전성을 나타내는 특성을 가지며, 납땜 또는 스프링과 같은 기계적 수단이 사용되지 않으므로 내구성이 우수하며 간단한 전기적 접속을 달성할 수 있는 장점이 있다. 또한, 기계적인 충격이나 변형을 흡수할 수 있기 때문에, 부드러운 접속이 가능한 장점이 있어 각종 전기적 회로장치 등과 테스트장치와의 전기적 접속을 위하여 널리 사용된다.Such a rubber socket for testing has a characteristic of exhibiting conductivity only in the thickness direction, and has no durable mechanical means such as soldering or a spring, so that it is excellent in durability and can achieve simple electrical connection. In addition, since it can absorb mechanical impact or deformation, it has a merit that a soft connection can be performed and is widely used for electrical connection between various electric circuit devices and test devices.

한편, 테스트용 러버소켓에서 탄성 도전시트(10)는 피검사 디바이스의 단자 또는 테스트장치의 패드와의 전기적 접촉 특성을 좋게 하기 위하여 탄성 도전시트(10)의 상측 또는 하측으로 도전부를 돌출시켜 상기 단자 또는 패드와 안정적으로 접속하게 하는 돌출도전부(12A)를 채택하고 있다.On the other hand, in the test rubber socket, the elastic conductive sheet 10 projects the conductive part to the upper side or the lower side of the elastic conductive sheet 10 in order to improve the electrical contact property with the terminal of the device to be inspected or the pad of the test device, Or a protruding portion 12A for stably connecting the pad 12A to the pad.

이러한 돌출도전부를 구비한 탄성 도전시트를 제조하는 일 예를 도 2에 도시하고 있다. 도 2에서는 예시적으로 도전부(12) 하부에만 돌출도전부(12A)를 가진 탄성 도전시트(10)를 제조하는 공정을 도시하고 있다.An example of producing an elastic conductive sheet having all of these protrusions is shown in Fig. Fig. 2 shows a step of manufacturing the elastic conductive sheet 10 having the protruded portion 12A only at the lower portion of the conductive portion 12 by way of example.

이러한 돌출도전부를 구비한 탄성 도전시트는 다음과 같은 공정을 통해 제조되어진다. The elastic conductive sheet having all of these protrusions is manufactured through the following process.

먼저, 시트 형태의 돌출부용 프레임(20)에 피검사 디바이스의 단자(14A)와 대응하는 위치마다 다수의 관통공(201)을 형성한다(도 2(a) 참조). First, a plurality of through holes 201 are formed in the sheet-like projecting frame 20 at positions corresponding to the terminals 14A of the device to be inspected (see Fig. 2 (a)).

다음에 상금형(31)과 하금형(34)으로 구성되고, 내부에 공간이 형성된 금형(30) 내에 상기 다수의 관통공(201)이 형성된 돌출부용 프레임(20)을 배치한다.Next, the protruding frame 20, which is composed of the upper mold 31 and the lower mold 34 and in which the plurality of through holes 201 are formed, is disposed in the mold 30 having a space formed therein.

상기 상금형(31)에는 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 강자성체층(32)이 형성되고 그 외 부분은 비자성체층(33)이 기판 하부에 설치되어 있다. 또한 상기 하금형(34)에는 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 강자성체층(35)이 형성되고 그 외 부분은 비자성체층(36)이 기판 상부에 설치되어 있다. 그리고 비자성체층(33)의 가장자리 부분에는 스페이서(37)가 배치되어 있다.The upper mold 31 has a ferromagnetic material layer 32 formed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected and the nonmagnetic material layer 33 is provided below the substrate. The lower metal mold 34 is provided with a ferromagnetic material layer 35 at positions corresponding to the terminals of the device to be inspected, and the nonmagnetic material layer 36 is provided on the upper portion of the substrate. A spacer 37 is disposed at the edge of the non-magnetic layer 33.

이러한 금형(30) 내부 공간에 상기 돌출부용 프레임(20)을 배치하는데 상기 프레임에 형성된 다수의 관통공(201)은 상기 하금형(34)의 강자성체(35) 상에 위치하도록 배치한다.The plurality of through holes 201 formed in the frame are arranged to be positioned on the ferromagnetic body 35 of the lower metal mold 34. The protruding frame 20 is disposed in the inner space of the metal mold 30.

그 후 상기 금형(30)의 내부 공간에 도전성 입자(121) 들이 분포되어 있는 절연성 탄성물질을 충전한다(도 2(b) 참조).Thereafter, the insulating elastic material having the conductive particles 121 distributed in the inner space of the metal mold 30 is filled (see FIG. 2 (b)).

다음에 미도시된 전자석 등을 통해 자장을 가하면 상금형과 하금형의 강자성체층(32, 35) 사이에 자장이 형성되고, 상기 도전성 입자(121)들은 자화되어 강자성체층 사이로 끌려오면서 도전성 입자들이 두께 방향으로 배열되어진다.When a magnetic field is applied through an electromagnet or the like not shown in the figure, a magnetic field is formed between the upper and lower ferromagnetic layers 32 and 35. As the conductive particles 121 are magnetized and drawn into the ferromagnetic layers, Lt; / RTI >

이후 가열에 의해 절연성 탄성물질을 경화시키면 도전성 입자들이 두께 방향으로 정렬된 도전부가 형성된 탄성 도전시트가 제조된다. 이후 금형을 제거하고, 마지막으로 상기 돌출부용 프레임(20)을 제거하면 돌출도전부를 구비한 탄성 도전시트(10)가 완성된다(도 2(c) 참조).Thereafter, when the insulating elastic material is cured by heating, the elastic conductive sheet having the conductive parts in which the conductive particles are aligned in the thickness direction is produced. Thereafter, the mold is removed, and finally the protruding frame 20 is removed, thereby completing the elastic conductive sheet 10 having all protruding portions (see Fig. 2 (c)).

한편, 도전부 하부와 함께 도전부 상부에도 돌출도전부를 형성할 수도 있다. 이 경우에는 상기 도 2(a)와 같은 돌출부 형성용 프레임(20)을 하나 더 제작한 다음, 금형의 상부 및 하부에 각각 배치한 후 상기 공정을 수행하면 상부와 하부에 돌출도전부를 가진 탄성 도전시트를 제작할 수 있다. 이와 같은 공정을 통하면 탄성 도전시트의 상부 또는 하부의 적어도 어느 한곳에 돌출도전부가 구비된 탄성 도전시트를 형성할 수 있다.On the other hand, it is also possible to form all of the projections on the upper portion of the conductive portion together with the lower portion of the conductive portion. In this case, another projection-forming frame 20 as shown in FIG. 2 (a) is prepared and then disposed on the upper and lower sides of the mold, respectively. After the above steps are performed, A conductive sheet can be produced. Through such a process, an elastic conductive sheet having a protruding conductive portion can be formed on at least one of the upper and lower portions of the elastic conductive sheet.

그러나 이러한 종래 기술은 다음과 같은 문제가 있다.However, such conventional techniques have the following problems.

테스트용 러버소켓에서 도전성 입자들은 주변의 절연성 탄성물질에 의해 고정되는 구조를 가지고 있는데, 탄성 도전시트 내에는 충분한 양의 절연성 탄성물질이 구비되어 있기 때문에 도전성 입자들을 단단하게 고정할 수 있지만, 돌출도전부가 형성되는 부분(즉, 돌출부용 프레임의 관통공 부분)에는 절연성의 탄성물질이 충분히 존재하기 어려워 그 부분에 배열되는 도전성 입자들은 절연성 탄성물질이 충분히 고정해 주지 못하는 문제가 발생한다.In the test rubber socket, the conductive particles are fixed by the surrounding insulating elastic material. Since the elastic conductive sheet is provided with a sufficient amount of the insulating elastic material, the conductive particles can be firmly fixed. However, There is a problem that insulative elastic material is difficult to sufficiently exist in the portion where the portions are formed (that is, the through-hole portion of the frame for projecting portions), so that the conductive particles arranged in that portion are not sufficiently fixed.

이러한 사정으로 인하여, 탄성 도전시트이 제작을 마무리하기 위하여 돌출도전부를 형성하기 위하여 사용된 돌출부용 프레임을 제거하면 돌출도전부의 측면 일부가 돌출부용 프레임에 붙어 뜯기는 현상이 발생한다. 이는 자장에 의해 도전성 입자들이 상기 돌출부용 프레임의 관통공 내에 배열되는데 그 부분에는 절연성 탄성물질이 충분하지 못하기 때문에 특히 돌출도전부의 외곽에 배열되는 도전성 입자들이 절연성 탄성물질에 의해 충분히 고정되지 못해서 발생하는 것이다.Due to such circumstances, when the protruding frame used to form the entire protruding portion is removed in order to finish the production of the elastic conductive sheet, a part of the side surface of the protruding portion all sticks to the protruding frame. This is because the conductive particles are arranged in the through-holes of the protruding frame by the magnetic field, and the conductive particles arranged on the outer periphery of all of the protruding portions are not sufficiently fixed by the insulating elastic material, It happens.

도 2(c)에는 탄성 도전시트의 돌출도전부(12A)의 저면의 형상을 예시적으로 보인 도면이 제시되어 있다. 상기 도면을 보면 외곽선 부분(돌출도전부의 측면 부분) 근처에 있는 도전성 입자의 일부가 절연성 탄성물질에 충분히 고정되지 못하여 돌출부용 프레임을 제거하는 과정에서 돌출도전부에서 이탈하거나 돌출되어 있음을 알 수 있다.Fig. 2 (c) shows an example of the shape of the bottom surface of the protruding portion 12A of the elastic conductive sheet. Referring to the figure, it can be seen that a part of the conductive particles in the vicinity of the outline portion (the side portion of the entire protruding portion) is not sufficiently fixed to the insulating elastic material and thus the protruding portion is detached or protruded from the protruding portion in the process of removing the protruding portion frame have.

따라서 이러한 현상이 발생하지 않도록 종래에는 돌출도전부 부분의 도전성 입자들이 절연성 탄성물질에 충분히 고정될 수 있도록 도전성 입자들을 탄성 도전시트 내의 도전성 입자보다 작은 비율로 충전하여 왔는데, 이와 같이 도전성 입자의 비율을 줄일 경우 돌출도전부의 전기적 특성이 약해지는 문제가 발생한다.In order to avoid such a phenomenon, conventionally, the conductive particles have been charged at a smaller ratio than the conductive particles in the elastic conductive sheet so that the entire conductive particles can be sufficiently fixed to the insulating elastic material. However, There is a problem that the electrical characteristics of all the projections are weakened.

또한 돌출도전부가 탄성 도전시트로부터 돌출되는 형태여서 내구성이 약하므로 피검사 디바이스의 단자 또는 테스트장치의 패드와의 접촉과정에서 쉽게 변형 또는 손상되는 문제가 발생하므로 테스트용 러버 소켓의 수명이 저하되는 문제가 발생한다.In addition, since the protruding conductive part protrudes from the elastic conductive sheet, the durability of the protruding conductive part is weak. Therefore, the terminal of the device under test or the pad of the test device may be easily deformed or damaged during the contact process. Lt; / RTI >

(문헌 1) 대한민국 등록특허공보 10-1525520(2015.06.03. 공고)(Document 1) Korean Registered Patent No. 10-1525520 (published on June 03, 2013) (문헌 2) 대한민국 등록특허공보 10-1266124(2013.05.27. 공고)(Document 2) Korean Registered Patent No. 10-1266124 (published on Feb. 27, 2013)

따라서, 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은, 탄성 도전시트의 도전부에 돌출도전부를 구비하여 피검사 디바이스의 단자 또는 테스트 장치의 패드와의 전기적 접촉 특성을 향상시키고, 돌출도전부 외곽에 도전지지층을 구비하여 도전성 입자의 밀도에 상관없이 돌출도전부의 손상 및 변형을 방지하여 돌출도전부의 내구성을 향상시키고, 또한 돌출도전부에 충전되는 도전성 입자의 밀도를 높여 피검사 디바이스의 단자 또는 테스트 장치의 패드와의 전기적 접촉 특성을 더욱 향상시킨 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide an elastic conductive sheet which has all the protrusions on the conductive portion of the elastic conductive sheet to improve the electrical contact property with the terminals of the device to be inspected, A conductive support layer is provided on the outer periphery to prevent damage or deformation of the entire protrusion irrespective of the density of the conductive particles to improve the durability of all the protrusions and to increase the density of the conductive particles filled in all protrusions, Terminal or a pad of the test apparatus, and a method of manufacturing the rubber socket.

또한 본 발명은 돌출부용 프레임을 제거하는 과정에서도 돌출도전부가 돌출부용 프레임에 의해 훼손 또는 변형되는 것을 방지하여 반도체 테스트용 러버 소켓의 사용 수명을 연장시킨 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓 및 그의 제조방법을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.The present invention also provides a test rubber socket having all protrusions that prevent the protruding conductive parts from being damaged or deformed by the protruding frame during the process of removing the protruding frame and extending the service life of the semiconductor test rubber socket, There is another purpose in providing a manufacturing method.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and method for controlling the same.

상기 본 발명의 목적들 및 다른 특징들을 달성하기 위한 본 발명의 제1 실시예에 따르면, 상측의 피검사 디바이스의 단자와 하측의 테스트 장치의 패드를 전기적으로 연결하여 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하는 테스트용 러버 소켓으로서, 절연성 탄성물질 내에 제1 도전성 입자들이 상하 방향으로 배열되는 다수의 도전부와, 상기 다수의 도전부를 지지하면서 서로 인접한 도전부 사이를 절연시키는 절연성 지지부를 포함하는 탄성 도전시트; 및 상기 탄성 도전시트를 지지하는 지지프레임;을 포함하여 이루어지되, 상기 도전부의 상측 또는 하측 중 적어도 어느 한 곳에는 상기 절연성 지지부보다 돌출된 돌출도전부를 가지며, 상기 돌출도전부에는 상기 절연성 탄성물질 내에 제2 도전성 입자들이 배치되어 있고, 상기 돌출도전부의 외측면에는 상기 절연성 탄성물질로 이루어지고, 상기 돌출도전부의 외측면을 둘러싸는 고리 형태로 상기 돌출도전부에 일체로 부착된 도전지지층을 구비한 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓이 제공된다.According to the first embodiment of the present invention for achieving the objects and other features of the present invention, the terminals of the upper-side inspected device and the lower-side testing device are electrically connected to perform an electrical inspection of the inspected device And an insulating supporting portion for insulating the conductive portions adjacent to each other while supporting the plurality of conductive portions, wherein the first conductive particles are arranged in a vertical direction in the insulating elastic material, ; And a supporting frame for supporting the elastic conductive sheet, wherein at least one of the upper side and the lower side of the conductive part has a protruding part protruding from the insulating supporting part, and all of the protruding parts are provided with the insulating elastic material And the second conductive particles are arranged on the outer surface of the protruding portion, and a conductive supporting layer, which is integrally attached to all of the protruding portions in the form of an annulus surrounding the outer surface of the entire protruding portion, And a protruding portion formed on the protruding portion.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 도전지지층에는 상기 돌출도전부의 제2 도전성 입자의 일부가 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓이 제공된다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a test rubber socket provided with all of the protruding surfaces, wherein the conductive support layer has a part of the second conductive particles on all of the protruding surfaces.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 절연성 탄성물질은 액상 실리콘 고무가 경화되어 형성된 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓이 제공된다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a test rubber socket having all of the protrusions, wherein the insulating elastic material is formed by curing the liquid silicone rubber.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 제2 도전성 입자들은 상기 제1 도전성 입자들보다 상기 절연성 탄성물질 내에 높은 밀도로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓이 제공된다.According to another embodiment of the present invention, the second conductive particles are disposed in the insulating elastic material at a higher density than the first conductive particles, and the testing rubber socket is provided with all of the protrusions. do.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 제2 도전성 입자의 크기는 상기 제1 도전성 입자의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓이 제공된다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a testing rubber socket having all of the protrusions, wherein the size of the second conductive particles is smaller than the size of the first conductive particles.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상측의 피검사 디바이스의 단자와 하측의 테스트 장치의 패드를 전기적으로 연결하여 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하는 테스트용 러버 소켓의 제조방법으로서, 돌출부용 프레임에 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제1 관통공을 형성하는 단계; 상기 제1 관통공에 절연성 탄성물질을 충전한 후 경화시키는 단계; 상기 절연성 탄성물질이 충전된 상기 제1 관통공 내에 상기 제1 관통공보다 작은 크기의 제2 관통공을 형성하여 도전지지층이 부착된 돌출부용 프레임을 형성하는 단계; 내부에 공간이 마련된 금형을 준비하고, 상기 공간의 상부 또는 하부의 적어도 어느 한 곳에 상기 도전지지층이 부착된 돌출부용 프레임을 배치하는 단계; 상기 제2 관통공에 제2 도전성 입자들이 분포되어 있는 절연성 탄성물질을 충전하고, 상기 공간에 제1 도전성 입자들이 분포되어 있는 절연성 탄성물질을 충전하는 단계; 상기 금형에 자장을 가하여 상기 제1 및 제2의 도전성 입자들을 상기 제2 관통공이 형성된 위치마다 배열한 후, 가열하여 경화시키는 단계; 상기 돌출부용 프레임을 제거하여 돌출도전부를 상기 도전지지층이 지지하는 탄성 도전시트를 제조하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조 방법을 제공한다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a test rubber socket for electrically inspecting a device to be inspected by electrically connecting a terminal of an inspected device on the upper side and a pad of a lower test device, Forming a first through hole in a position corresponding to a terminal of the device to be inspected; Filling the first through hole with an insulating elastic material and curing the first through hole; Forming a second through hole having a size smaller than that of the first through hole in the first through hole filled with the insulating elastic material to form a protrusion frame having the conductive support layer attached thereto; Preparing a mold having a space therein and disposing a protruding frame having the conductive support layer on at least one of an upper portion and a lower portion of the space; Filling the insulative elastic material with the second conductive particles distributed in the second through hole and filling the insulative elastic material with the first conductive particles distributed in the space; Applying a magnetic field to the metal mold to arrange the first and second conductive particles at positions where the second through holes are formed, and then heating and curing the first and second conductive particles; And a step of removing the protruding frame to manufacture an elastic conductive sheet in which all of the protruding portions are supported by the conductive supporting layer. The present invention also provides a method of manufacturing a testing rubber socket.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 제1 관통공에 절연성 탄성물질을 충전한 후 경화시키는 단계에서 경화된 상기 절연성 탄성물질은 반 경화 상태인 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조 방법이 제공된다.According to another embodiment of the present invention, the insulating elastic material cured in the step of filling the first through hole with the insulating elastic material and then curing may be in a semi-cured state. A method of manufacturing a rubber socket is provided.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 도전지지층에는 상기 돌출도전부의 제2 도전성 입자의 일부가 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조방법이 제공된다.According to still another embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a test rubber socket having all of the projections, characterized in that a portion of the second conductive particles of all of the protrusions is coupled to the conductive support layer.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 절연성 탄성물질은 액상 실리콘 고무인 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조 방법이 제공된다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a test rubber socket having all of the protrusions, wherein the insulative elastic material is a liquid silicone rubber.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 제2 도전성 입자들은 상기 제1 도전성 입자들보다 상기 절연성 탄성물질 내에 높은 밀도로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조 방법이 제공된다.According to still another embodiment of the present invention, the second conductive particles are disposed in the insulating elastic material at a higher density than the first conductive particles. Method is provided.

본 발명의 또 다른 실시예에 의하면, 상기 제2 도전성 입자의 크기는 상기 제1 도전성 입자의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조 방법이 제공된다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a test rubber socket having all of the protrusions, wherein the size of the second conductive particles is smaller than the size of the first conductive particles.

상기한 본 발명에 따른 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓 및 그의 제조 방법에 의하면, 탄성 도전시트의 도전부에 돌출도전부를 구비하여 피검사 디바이스의 단자 또는 테스트 장치의 패드와의 전기적 접촉 특성을 향상시키는 효과가 있다.According to the test rubber socket having all of the protrusions according to the present invention and the method of manufacturing the same, the conductive portion of the elastic conductive sheet is provided with all of the protruding portions so that the electrical contact with the terminal of the device to be inspected, There is an effect of improving the characteristics.

또한 본 발명에 의하면, 탄성 도전시트의 돌출도전부 외곽에 도전지지층을 구비하여 도전성 입자의 밀도에 상관없이 돌출도전부의 손상 및 변형을 방지하여 돌출도전부의 내구성을 향상시킴으로써 테스트용 러버소켓의 수명을 연장시키는 효과를 발휘할 수 있다.Further, according to the present invention, a conductive support layer is provided on the outer periphery of the protruding portion of the elastic conductive sheet to prevent damage or deformation of the entire protruding portion regardless of the density of the conductive particles, thereby improving the durability of all protruding portions. The effect of prolonging the life can be exhibited.

또한 본 발명에 의하면, 탄성 도전시트의 돌출도전부 외곽에 도전지지층을 구비하여 돌출도전부에 충전되는 도전성 입자의 밀도를 높여 피검사 디바이스의 단자 또는 테스트 장치의 패드와의 전기적 접촉 특성을 더욱 향상시키는 효과를 가진다.Further, according to the present invention, the conductive support layer is provided on the outer periphery of the protruding portion of the elastic conductive sheet to increase the density of the conductive particles filled in all of the projections, thereby further improving the electrical contact property with the terminals of the device under test or the pad .

또한 본 발명에 의하면, 돌출부용 프레임을 제거하는 과정에서도 돌출도전부가 돌출부용 프레임에 의해 훼손 또는 변형되는 것을 방지하여 반도체 테스트용 러버 소켓의 사용 수명을 연장시키는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to prevent the protruding conductive portion from being damaged or deformed by the protruding frame during the process of removing the protruding frame, thereby extending the useful life of the semiconductor testing rubber socket.

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other solutions not mentioned may be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 종래 기술에 따른 테스트용 러버 소켓의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 종래 기술에 따른 테스트용 러버 소켓의 탄성 도전시트를 제조하는 공정을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 돌출도전부와 도전지지층의 저면에서 도전성 입자의 결합 상태를 개략적으로 보여 주는 예시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 돌출도전부를 가지는 테스트용 러버 소켓의 탄성 도전시트를 제조 과정을 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a view showing an example of a rubber socket for testing according to the prior art.
2 is a view schematically showing a process for producing an elastic conductive sheet of a rubber socket for testing according to the prior art.
Fig. 3 is a view showing a configuration of a rubber socket for testing provided with all protrusions according to the present invention. Fig.
FIG. 4 is an exemplary view schematically showing the bonding state of the conductive particles on the entire surface of the protrusion according to the present invention and the bottom surface of the conductive support layer.
5 is a view schematically showing a process of manufacturing an elastic conductive sheet of a test rubber socket having all protrusions according to the present invention.

본 발명의 추가적인 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 상세한 설명 및 첨부도면으로부터 보다 명료하게 이해될 수 있다. Further objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the accompanying drawings.

본 발명의 상세한 설명에 앞서, 본 발명은 다양한 변경을 도모할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 아래에서 설명되고 도면에 도시된 예시들은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Before describing the present invention in detail, it is to be understood that the present invention is capable of various modifications and various embodiments, and the examples described below and illustrated in the drawings are intended to limit the invention to specific embodiments It is to be understood that the invention includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않은 것으로 이해되어야 할 것이다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

또한, 명세서에 기재된 "...부", "...유닛", "...모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.Also, the terms " part, "" unit," " module, "and the like, which are described in the specification, refer to a unit for processing at least one function or operation, Software. ≪ / RTI >

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대해 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In the following description with reference to the accompanying drawings, the same components are denoted by the same reference numerals regardless of the reference numerals, and redundant explanations thereof will be omitted. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓 및 그의 제조 방법을 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 하기 본 발명의 설명에서 해당 기술분야의 당업자라면 충분히 파악할 수 있는 공지의 기술 내용은 발명의 명확화 및 간략화를 위하여 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a test rubber socket having all protrusions according to a preferred embodiment of the present invention and a method of manufacturing the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, those skilled in the art will readily obscure and obscure the present invention.

먼저, 본 발명에 따른 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓을 도 3 및 도 4를 참조하여 상세히 설명한다. 도 3은 본 발명에 따른 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 구성을 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 돌출도전부와 도전지지층의 저면 예시도이다.First, a test rubber socket having all the protrusions according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. FIG. 3 is a view showing a configuration of a test rubber socket provided with all protrusions according to the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view of a test rubber socket having all protrusions according to the present invention, Fig.

먼저, 본 발명에 따른 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상측의 피검사 디바이스(14)의 단자(14A)와 하측의 테스트 장치(15)의 패드(15A)를 전기적으로 연결하여 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하는 테스트용 러버 소켓으로서, 절연성 탄성물질 내에 제1 도전성 입자(122)들이 상하 방향으로 배열되는 다수의 도전부(12)와, 상기 다수의 도전부를 지지하면서 서로 인접한 도전부 사이를 절연시키는 절연성 지지부(11)를 포함하는 탄성 도전시트(100); 및 상기 탄성 도전시트를 지지하는 지지프레임(13);을 포함하여 이루어지되, 상기 도전부의 상측 또는 하측 중 적어도 어느 한 곳에는 상기 절연성 지지부(11)보다 돌출된 돌출도전부(12A)를 가지며, 상기 돌출도전부(12A)에는 상기 절연성 탄성물질 내에 제2 도전성 입자(123)들이 배치되어 있고, 상기 돌출도전부(12A)의 외측면에는 상기 절연성 탄성물질로 이루어지고, 상기 돌출도전부의 외측면을 둘러싸는 고리 형태로 상기 돌출도전부에 일체로 부착된 도전지지층(50)을 구비하고 있다.3 and 4, the rubber socket for testing having all of the protrusions according to the present invention has the terminal 14A of the upper side inspected device 14 and the lower end side of the lower testing device 15 A test rubber socket for electrically inspecting a device to be inspected by electrically connecting pads (15A), comprising: a plurality of conductive parts (12) in which first conductive particles (122) are arranged in a vertical direction in an insulating elastic material; An elastic conductive sheet (100) comprising an insulating supporting portion (11) for supporting the plurality of conductive portions and insulating adjacent conductive portions from each other; And a support frame (13) for supporting the elastic conductive sheet, wherein at least one of the upper side and the lower side of the conductive part has a protruding part (12A) protruding from the insulating supporting part (11) The second conductive particles 123 are arranged in the insulating elastic material in the protruding conductive part 12A and the outer surface of the protruding conductive part 12A is made of the insulating elastic material, And a conductive support layer (50) integrally attached to the entirety of the protrusion in the form of a ring surrounding the side surface.

이러한 테스트용 러버 소켓은, 탄성 도전시트(100) 및 지지프레임(13)을 포함하여 구성되며, 탄성 도전시트(100)는 다수의 도전부(12)와 이들을 절연하는 절연성 지지부(11)를 포함하여 이루어진다.The rubber seal for testing includes the elastic conductive sheet 100 and the support frame 13. The elastic conductive sheet 100 includes a plurality of conductive parts 12 and an insulating supporting part 11 for insulating them from each other .

상기 탄성 도전시트(100)의 도전부(12)는 피검사 디바이스의 단자(14A)에 대응되는 위치에 배치되어 절연성 탄성물질 내에 다수의 제1 도전성 입자(122)가 두께 방향으로 배열되어 러버소켓의 도전로를 형성한다.The conductive part 12 of the elastic conductive sheet 100 is disposed at a position corresponding to the terminal 14A of the device under test so that a plurality of first conductive particles 122 are arranged in the thickness direction in the insulating elastic material, Of the conductive path.

상기 도전부(12)의 도전성 입자(122)로는 자성을 나타내는 코어 입자(예를 들면, 철, 니켈, 코발트, 이들 금속을 구리, 수지에 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등을 코팅한 것 등)로 이루어지는 것을 이용하는 것이 바람직하다.As the conductive particles 122 of the conductive part 12, core particles (for example, iron, nickel, cobalt, those obtained by coating these metals with copper, gold, silver, rhodium, platinum, Or the like) is preferably used.

상기 탄성 도전시트(100)의 절연성 지지부(11)는 상기 도전부(12)를 지지하면서 도전부(12) 간에 절연성을 유지시키는 기능을 수행하는 것으로, 바람직하게는 상기 도전부(12) 내의 탄성 물질과 동일한 소재가 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 탄성력이 좋으면서 절연성이 우수한 소재라면 무엇이나 사용될 수 있다.The insulating supporting portion 11 of the elastic conductive sheet 100 functions to maintain the insulating property between the conductive portions 12 while supporting the conductive portion 12, The same material as the material may be used, but the present invention is not limited thereto, and any material having good elasticity and excellent insulation property can be used.

상기 절연성 지지부(11)를 형성하는 탄성 물질로서는 가교 구조를 갖는 내열성의 고분자 물질, 예를 들면 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서 다양한 것을 이용할 수 있지만, 액상 실리콘 고무가 바람직하다.As the elastic material for forming the insulating support portion 11, various materials can be used as a heat-resistant polymer material having a crosslinked structure, for example, a curable polymer material, but liquid silicone rubber is preferable.

본 실시예에서는 상기 절연성 지지부(11)를 형성하는 탄성 물질로 액상 실리콘 고무를 사용하고 있으며, 액상 실리콘 고무가 경화되어 절연성 지지부(11)를 형성한다.In this embodiment, the liquid silicone rubber is used as the elastic material for forming the insulative support portion 11, and the liquid silicone rubber is cured to form the insulative support portion 11.

그리고 지지 프레임(13)은 탄성 도전시트(100)를 지지하고 테스트 장치의 가이드 핀과 결합하여 위치 정렬하는 기능을 수행한다. The support frame 13 supports the elastic conductive sheet 100 and performs a function of aligning with the guide pins of the test apparatus.

도 3에서는 본 발명의 특징이 명확히 나타나도록 테스트용 러버 소켓이 탄성 도전시트(100)와 지지프레임(13)으로 구성된 예를 도시하고 있지만, 상기 탄성 도전시트(100)의 상부 또는 하부 중 적어도 어느 한 곳에 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치에 관통공이 형성되고, 상기 관통공에 도전성 입자가 충전된 지지시트가 추가로 배치될 수도 있다. 3 shows an example in which the test rubber socket is composed of the elastic conductive sheet 100 and the support frame 13 so that the features of the present invention can be clearly shown, A through hole may be formed at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected at one location, and a supporting sheet filled with conductive particles may further be disposed in the through hole.

본 발명에서는 이와 같이 탄성 도전시트에 지지시트가 부착되는 경우, 탄성 도전시트와 지지시트를 합한 것을 탄성 도전시트라 하고, 탄성 도전시트에 형성된 도전부와 지지시트에 형성된 도전부를 합하여 도전부라 하며, 절연성 지지부와 지지시트를 합한 것을 절연성 지지부로 정의한다.In the present invention, when the support sheet is attached to the elastic conductive sheet in this manner, the elastic conductive sheet and the support sheet together are referred to as an elastic conductive sheet. The conductive portion formed on the elastic conductive sheet and the conductive portion formed on the support sheet, The insulating supporting portion and the supporting sheet are defined as an insulating supporting portion.

한편, 본 발명의 탄성 도전시트(100)의 도전부(12)의 상측 또는 하측 중 적어도 어느 한 곳에는 절연성 지지부(11)보다 돌출된 돌출도전부(12A)가 형성되어 있다. 돌출도전부가 구성됨으로써 테스트용 러버 소켓과 피검사 디바이스의 단자 또는 테스트 장치의 패드와의 전기적 접촉 특성이 향상된다.On the other hand, at least one of the upper side and the lower side of the conductive part 12 of the elastic conductive sheet 100 of the present invention is provided with a protruding front part 12A protruding from the insulating supporting part 11. [ The protruding conductive portion is constructed so that the electrical contact property between the testing rubber socket and the terminal of the device to be inspected or the pad of the testing device is improved.

상기 돌출도전부(12A)에는 절연성 탄성물질 내에 제2 도전성 입자(123)들이 배치되어 있다. 상기 제2 도전성 입자(123)는 제1 도전성 입자(122)와 동일한 입자가 사용될 수 있으나, 테스트용 러버 소켓과 피검사 디바이스의 단자 또는 테스트 장치의 패드와의 전기적 접촉 특성을 더욱 향상시키기 위하여 기둥형 입자, ‘’자형 입자 등 금속입자를 높은 밀도로 배치하여 사용할 수도 있다. 또한 제2 도전성 입자들은 제1 도전성 입자들보다 절연성 탄성물질 내에 높은 밀도로 배치할 수 있으며, 제2 도전성 입자의 크기를 제1 도전성 입자의 크기보다 작은 것을 사용하여 더 많은 도전성 입자가 돌출도전부에 충전되도록 할 수 있다.The protruding conductive part 12A is provided with second conductive particles 123 in an insulating elastic material. The second conductive particles 123 may be the same particles as the first conductive particles 122. In order to further improve the electrical contact characteristics between the test rubber socket and the terminals of the device under test or the pads of the test device, Metal particles such as metal particles, and metal particles may be arranged at a high density. The second conductive particles can be arranged in a higher density in the insulating elastic material than the first conductive particles. By using the second conductive particles smaller in size than the first conductive particles, As shown in FIG.

특히, 본 발명에서는 상기 돌출도전부의 외측면에는 절연성 탄성물질로 이루어지고, 돌출도전부의 외측면을 둘러싸는 고리 형태를 가지며, 상기 돌출도전부에 일체로 부착되는 도전지지층(50)이 구비되어 있다.Particularly, in the present invention, the entire outer surface of the protruding portion is formed of an insulating elastic material, and has a ring shape surrounding the outer surface of the protruding portion, and a conductive support layer 50 integrally attached to all of the protruding portions is provided .

상기 도전지지층(50)의 절연성 탄성물질은 상기 절연성 지지부(11)를 구성하는 절연성 탄성물질과 같은 물질을 사용하는 것이 바람직하며, 액화 실리콘 고무로 이루어지는 것이 더욱 바람직하다.The insulating elastic material of the conductive support layer 50 is preferably made of the same material as the insulating elastic material constituting the insulating supporting portion 11, and more preferably made of liquefied silicon rubber.

또한 상기 도전지지층(50)은 도전부(12)의 외관 형상과 같은 형태의 고리 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다. 즉, 도전부가 원기둥 형태라면 도전지지층은 링 형태로 형성된다.It is preferable that the conductive support layer 50 is formed in the shape of an annulus in the same shape as the outer shape of the conductive portion 12. That is, if the conductive portion is a cylindrical shape, the conductive support layer is formed in a ring shape.

상기 도전지지층(50)은 절연성 탄성물질이 경화되어 형성되고, 돌출도전부(12A)를 형성하는 절연성 탄성물질과 동일한 절연성 탄성물질로 형성되므로, 하기에서 설명할 금형 내에서 돌출도전부(12A)와 함께 다시 한 번 가열에 의해 경화될 때 돌출도전부(12A)의 외측면에 도전지지층(50)이 일체적으로 단단히 결합되어 형성된다.The conductive support layer 50 is formed by curing the insulating elastic material and is formed of the same insulating elastic material as the insulating elastic material forming the protruding conductor 12A so that the protruding conductor 12A is formed in the mold, And the conductive supporting layer 50 is integrally and tightly bonded to the outer surface of the protruding conductive part 12A when the conductive supporting layer 50 is cured again by heating.

즉, 도 4에 도시한 바와 같이, 돌출도전부의 외곽에 위치하는 도전성 입자(123)들이 경화하는 과정에서 도전지지층(50)에 일부 침투하여 위치할 수 있게 된다.That is, as shown in FIG. 4, the conductive particles 123 positioned on the outer periphery of the entire protrusion can be partially penetrated into the conductive support layer 50 during curing.

또한 도전지지층(50)을 형성하는 과정에서 절연성 탄성물질을 반경화 상태로 경화한 후 금형 내에서 돌출도전부(12A)를 가열에 의하여 경화할 때 함께 경화되도록 하면 돌출도전부의 외곽에 존재하는 도전성 입자들을 도전지지층에 더 많이 침투하게 할 수 있으므로, 도전지지층과 돌출도전부를 더 견고히 고정할 수 있고, 돌출도전부에 더 많은 도전성 입자가 배치될 수 있다.Further, in the process of forming the conductive support layer 50, the insulating elastic material is hardened in a semi-cured state, and then the protruded conductive parts 12A are hardened together by heating in the mold, The conductive particles can be more strongly penetrated into the conductive support layer, so that the conductive support layer and all of the protrusions can be more firmly fixed, and more conductive particles can be disposed in all of the protrusions.

따라서 본 발명에 따르면, 종래 기술에 비해 돌출부용 프레임을 제거할 때 돌출도전부가 뜯기는 일이 발생하지 않고, 돌출도전부에 더 많은 도전성 입자들을 충전할 수 있으며, 또한 돌출도전부가 도전지지층에 의해 지지된 구조를 가지고 있으므로, 돌출도전부의 내구성이 증진되고 전기적 특성이 향상되며, 테스트용 소켓의 사용 수명이 연장되는 효과를 발휘할 수 있다.Therefore, according to the present invention, it is possible to fill more protruding portions with more conductive particles without causing the protruding conductive portions to be torn when the frame for protruding portions is removed as compared with the prior art, It is possible to improve the durability of all protrusions, improve the electrical characteristics, and extend the useful life of the test socket.

다음으로, 본 발명에 따른 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓을 제조하는 방법을 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5는 본 발명에 따른 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓을 제조하는 방법을 설명하기 위하여 개략적으로 나타내는 도면이다.Next, a method of manufacturing a test rubber socket having all of the protrusions according to the present invention will be described with reference to FIG. 5 is a schematic view for explaining a method of manufacturing a test rubber socket provided with all protrusions according to the present invention.

본 발명에 따른 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조방법은 도 5에 도시된 바와 같이, 상측의 피검사 디바이스의 단자와 하측의 테스트 장치의 패드를 전기적으로 연결하여 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하는 테스트용 러버 소켓의 제조방법으로서, 돌출부용 프레임(60)에 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제1 관통공(601)을 형성하는 단계(도 5(a) 참조); 상기 제1 관통공(601)에 절연성 탄성물질을 충전한 후 경화시키는 단계(도 5(b) 참조); 상기 절연성 탄성물질이 충전된 상기 제1 관통공(601) 내에 상기 제1 관통공보다 작은 크기의 제2 관통공(602)을 형성하여 도전지지층(50)이 부착된 돌출부용 프레임(60)을 형성하는 단계(도 5(c) 참조); 내부에 공간이 마련된 금형(30)을 준비하고, 상기 공간의 상부 또는 하부의 적어도 어느 한 곳에 상기 도전지지층(50)이 부착된 돌출부용 프레임(60)을 배치하는 단계; 상기 제2 관통공(602)에 제2 도전성 입자(123)들이 분포되어 있는 절연성 탄성물질을 충전하고, 상기 공간에 제1 도전성 입자(122)들이 분포되어 있는 절연성 탄성물질을 충전하는 단계(도 5(d) 참조); 상기 금형(30)에 자장을 가하여 상기 제1 및 제2의 도전성 입자들을 상기 제2 관통공이 형성된 위치마다 배열한 후, 가열하여 경화시키는 단계; 상기 돌출부용 프레임을 제거하여 돌출도전부를 상기 도전지지층이 지지하는 탄성 도전시트(100)를 제조하는 단계(도 5(e) 참조);를 포함하는 공정으로 이루어진다.As shown in FIG. 5, in the method of manufacturing a test rubber socket provided with all protrusions according to the present invention, the terminal of the device to be inspected on the upper side and the pad of the lower test device are electrically connected to each other, A step of forming a first through hole 601 at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected in the protruding frame 60 (see Fig. 5 (a)), ; A step of filling the first through hole 601 with an insulating elastic material and curing (see Fig. 5 (b)); A second through hole 602 having a size smaller than that of the first through hole is formed in the first through hole 601 filled with the insulating elastic material to form a protruding frame 60 having the conductive supporting layer 50 attached thereto (See Fig. 5 (c)); Preparing a mold (30) having a space therein and disposing a protruding frame (60) having the conductive support layer (50) on at least one of the upper portion and the lower portion of the space; Filling the insulating elastic material in which the second conductive particles 123 are distributed in the second through hole 602 and filling the insulating elastic material in which the first conductive particles 122 are distributed 5 (d)); Applying a magnetic field to the metal mold (30) to arrange the first and second conductive particles at positions where the second through holes are formed, and then heating and curing the conductive particles; (See Fig. 5 (e)) of removing the protruding frame to manufacture the elastic conductive sheet 100 in which the conductive supporting layer supports all protruding portions.

여기에서, 상기 제1 관통공을 형성하는 단계는 도 5(a)에 도시된 바와 같이, 시트 형상의 돌출부용 프레임(60)을 준비하고, 피검사 디바이스 단자와 대응하는 위치에 각각 레이저, 식각, 기타 기계적 가공에 의하여 제1 관통공(601)을 형성하는 단계이다. 여기에서 돌출부용 프레임(60)은 비전도성 소재를 사용할 수 있으며, 비전도성 소재 중 폴리이미드 같은 합성수지소재가 사용되는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 5A, the step of forming the first through-hole may be performed by preparing a sheet-like projecting frame 60, , And other mechanical processing to form the first through hole 601. [ Here, the protruding frame 60 may be made of a non-conductive material, and a non-conductive material such as polyimide is preferably used.

다음에 도 5(b)에 도시된 바와 같이, 제1 관통공(601)에 절연성 탄성물질을 충전하고 상기 절연성 탄성물질을 경화시킨다. 이때 상기 절연성 탄성물질을 완전히 경화시키지 않고 하기의 제2 관통공이 형성될 정도의 경도를 가지도록 반경화 상태로 경화시키는 것이 바람직하다. 이와 같이 반경화 상태로 경화시키는 것은 최종적으로 제조된 탄성 도전시트에서 돌출도전부와 도전지지층의 결합력을 더욱 향상시키고, 돌출도전부에 더 높은 밀도로 도전성 입자를 충전할 수 있도록 하기 위해서다. 이에 대해서는 다음에 자세히 설명하기로 한다.Next, as shown in Fig. 5 (b), the first through hole 601 is filled with an insulating elastic material, and the insulating elastic material is cured. At this time, it is preferable that the insulating elastic material is hardened in a semi-cured state so as to have a hardness enough to form the second through-hole without completely curing the insulating elastic material. The curing in the semi-cured state as described above is intended to further improve the bonding force between the protruding portion and the conductive support layer in the finally produced elastic conductive sheet, and to allow the conductive particles to be filled with all the protruding portions at a higher density. This will be described in detail below.

다음으로 도 5(c)에 도시된 바와 같이, 경화되거나 반경화된 절연성 탄성물질이 충전된 제1 관통공(601) 내에 제1 관통공(601)보다 작은 크기의 제2 관통공(602)을 형성하여 도전지지층(50)이 부착된 돌출부용 프레임(60)을 형성한다. 여기에서 제2 관통공(602)이 형성된 영역은 추후 돌출도전부(50)가 형성될 영역으로 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치에 형성되어 있다. 그리고 제2 관통공(602)은 레이저에 의하여 형성될 수 있으며, 기타 기계적 가공에 의해 형성될 수도 있다.Next, as shown in FIG. 5 (c), a second through hole 602 having a smaller size than the first through hole 601 is formed in the first through hole 601 filled with the hardened or semi-hardened insulating elastic material, To form the frame 60 for the projecting portion to which the conductive support layer 50 is attached. Here, the region where the second through hole 602 is formed is formed at a position corresponding to the terminal of the device to be inspected in a region where the protruding conductor 50 is to be formed later. The second through hole 602 may be formed by a laser, or may be formed by other mechanical processing.

다음에는 내부에 공간이 마련된 금형(30)을 준비하고, 상기 공간의 상부 또는 하부의 적어도 어느 한 곳에 도전지지층(50)이 부착된 돌출부용 프레임(60)을 배치한다. 이때 돌출부용 프레임(60)에 형성된 다수의 제2 관통공(602)는 상기 하금형(34)의 강자성체(35) 상에 위치하도록 배치한다. Next, a mold 30 having a space therein is prepared, and a protruding frame 60 having a conductive support layer 50 attached to at least one of the upper portion and the lower portion of the space is disposed. At this time, a plurality of second through holes 602 formed in the protruding frame 60 are disposed on the ferromagnetic body 35 of the lower die 34.

도 5(d)에서는 금형 내 공간의 하부에 상기 돌출부용 프레임(60)을 배치한 것을 예시적으로 도시하고 있다. 만일 상부와 하부 모두에 돌출도전부(12A)를 형성하려면 금형 내 공간의 상부와 하부 모두에 상기 돌출부용 프레임(60)을 배치하는 단계로 진행하면 된다. 즉, 필요에 따라 상부 또는 하부의 적어도 어느 한 곳에 돌출도전부를 형성할 수 있는 것이다.Fig. 5 (d) shows an example in which the protruding frame 60 is disposed below the space in the mold. In order to form the protruding portion 12A on both the upper portion and the lower portion, it is sufficient to proceed to the step of disposing the protruding frame 60 on both the upper and lower portions of the inner space of the mold. That is, all of the protrusions can be formed on at least one of the upper portion and the lower portion, if necessary.

다음으로, 돌출부용 프레임(60)이 배치된 금형 내의 공간에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 절연성 탄성물질을 충전한다. 여기에서 금형 내의 공간과 돌출부용 프레임의 제2 관통공 내에 동일한 도전성 입자를 동일한 비율로 충전할 수도 있다(도 5(d)의 도면에서는 동일한 입자를 동일한 비율로 충전한 것을 도시하고 있다).Next, the insulating elastic material in which a plurality of conductive particles are distributed is filled in the space in the mold where the protruding frame 60 is disposed. Here, the same conductive particles may be filled in the space in the mold and the second through-hole of the protruding frame at the same ratio (the same particles are filled in the same ratio in the drawing of Fig. 5 (d)).

그러나 먼저 돌출부용 프레임의 제2 관통공(602) 내에 제1도전성 입자들보다 상기 절연성 탄성물질 내에 높은 밀도로 충전될 수 있는 제2 도전성 입자(123)를 충전한 다음, 금형 내 공간에 제1 도전성 입자(122)를 충전하는 방식으로 진행하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하는 이유는 제2 관통공(602)에 형성될 돌출도전부(50) 부분이 피검사 디바이스의 단자 또는 테스트장치의 패드와 접촉하는 부분이므로, 그 부분의 내구성과 전기적 특성을 향상시킬 필요가 있기 때문이다.However, first, the second conductive particles 123, which can be filled in the insulating elastic material at a higher density than the first conductive particles, are filled in the second through hole 602 of the protruding frame, It is preferable to proceed in such a manner that the conductive particles 122 are filled. The reason for doing this is that the portion of the projected conductor 50 to be formed in the second through hole 602 is a portion of the terminal of the device to be inspected or the pad of the testing device and therefore the durability and electrical characteristics of the portion need to be improved There is.

상기 제2 도전성 입자(123)는 제1 도전성 입자(122)와 동일한 입자가 사용될 수 있으나, 테스트용 러버 소켓과 피검사 디바이스의 단자 또는 테스트 장치의 패드와의 전기적 접촉 특성을 더욱 향상시키기 위하여 기둥형 입자, ‘’자형 입자 등 금속입자를 높은 밀도로 배치하여 사용할 수도 있다. 또한 제2 도전성 입자들은 제1 도전성 입자들보다 절연성 탄성물질 내에 높은 밀도록 배치할 수 있으며, 제2 도전성 입자의 크기를 제1 도전성 입자의 크기보다 작은 것을 사용하여 더 많은 도전성 입자가 돌출도전부에 충전되도록 할 수 있다.The second conductive particles 123 may be the same particles as the first conductive particles 122. In order to further improve the electrical contact characteristics between the test rubber socket and the terminals of the device under test or the pads of the test device, Metal particles such as metal particles, and metal particles may be arranged at a high density. The second conductive particles can be arranged in a higher density in the insulating elastic material than the first conductive particles and the size of the second conductive particles is smaller than the size of the first conductive particles, As shown in FIG.

또한 돌출부용 프레임에 충전하는 절연성 탄성물질과 금형 내의 공간에 충전하는 절연성 탄성물질은 동일한 물질을 사용하는 것이 바람직하며, 상기 절연성 탄성물질로는 액상 실리콘 고무를 사용하는 것이 바람직하다.Further, it is preferable to use the same material as the insulating elastic material filling the protruding frame and the insulating elastic material filling the space in the mold, and liquid silicone rubber is preferably used as the insulating elastic material.

다음으로, 미도시된 전자석 등을 통해 금형의 강자성체(32)를 통해 자장을 가하면 상금형과 하금형의 강자성체층(32, 35) 사이에 자장이 형성되고, 상기 도전성 입자(122, 123)들은 자화되어 강자성체층 사이로 끌려오면서 도전성 입자들이 두께 방향으로 배열되어진다. 여기에서 제2 도전성 입자(123)은 돌출부용 프레임(60)의 제2 관통공(602) 내에 배치되고, 제1 도전성 입자(122)들은 상기 제2 도전성 입자(123)들 상부에 두께방향으로 배치되어진다.Next, when a magnetic field is applied through the ferromagnetic body 32 of the mold through the unillustrated electromagnet or the like, a magnetic field is formed between the upper and lower ferromagnetic layers 32 and 35, and the conductive particles 122 and 123 The conductive particles are arranged in the thickness direction while being magnetized and dragged between the ferromagnetic layers. The second conductive particles 123 are disposed in the second through hole 602 of the protruding frame 60 and the first conductive particles 122 are disposed on the second conductive particles 123 in the thickness direction .

이후 가열에 의해 상기 절연성 탄성물질을 경화시키면 도전성 입자들이 두께 방향으로 정렬된 도전부(12), 도전부 상부 또는 하부에 형성된 돌출도전부(12A) 및 돌출도전부를 지지하는 도전지지층(50)이 형성된 탄성 도전시트(100)가 제조된다. Thereafter, when the insulating elastic material is cured by heating, the conductive particles 12 are aligned in the thickness direction, the protruding portion 12A formed on the upper or lower portion of the conductive portion, and the conductive support layer 50 supporting the entire protruding portion, The elastic conductive sheet 100 is formed.

여기에서, 상기 도전지지층(50)은 절연성 탄성물질이 경화되어 형성되고, 돌출도전부(12A)를 형성하는 절연성 탄성물질과 동일한 절연성 탄성물질로 형성되므로, 금형 내에서 돌출도전부(12A)와 함께 다시 한 번 가열에 의해 경화될 때 돌출도전부(12A)의 외측면에 도전지지층(50)이 일체적으로 단단히 결합되어 형성된다. 즉, 도 4에 도시한 바와 같이, 돌출도전부의 외곽에 위치하는 도전성 입자(123)들이 경화하는 과정에서 도전지지층(50)에 일부 침투하여 위치할 수 있게 된다.Here, the conductive support layer 50 is formed by curing the insulating elastic material and is formed of the same insulating elastic material as the insulating elastic material forming the protruding conductor 12A, so that the protruding conductor 12A and the protruding conductor 12A The conductive support layer 50 is integrally and tightly bonded to the outer surface of the protruding conductor 12A when cured by heating again. That is, as shown in FIG. 4, the conductive particles 123 positioned on the outer periphery of the entire protrusion can be partially penetrated into the conductive support layer 50 during curing.

또한 제1 관통공(601)에 절연성 탄성물질을 충전한 후 경화하는 단계에서 절연성 탄성물질을 제2 관통공(602)이 형성될 정도의 경도를 가진 상태로 반경화만 시킨 후 금형 내에서 가열에 의해 경화시키는 단계에서 돌출도전부(12A) 부분과 도전지지층(50) 부분을 함께 완전 경화되도록 하면 돌출도전부의 외곽에 존재하는 도전성 입자들을 도전지지층에 더 많이 침투하게 할 수 있어 도전지지층과 돌출도전부의 결합력이 더욱 증진되고, 돌출도전부에는 상기 도전부보다 더 많은 도전성 입자가 충전될 수 있다.In addition, in the step of filling the first through hole 601 with the insulating elastic material and curing, the insulating elastic material is only semi-hardened so as to have hardness enough to form the second through hole 602, It is possible to cause the conductive particles present in the outer periphery of all of the projections to penetrate more into the conductive support layer, so that the conductive support layer and the protruded portion The bonding force of the conductive part is further enhanced and more conductive particles can be filled in all of the protruded parts than the conductive part.

이후 금형을 제거하고, 마지막으로 상기 돌출부용 프레임(60)을 제거하면 본 발명의 돌출도전부를 구비한 탄성 도전시트(100)가 완성된다(도 5(e) 참조).Then, the mold is removed, and finally the protruding frame 60 is removed, thereby completing the elastic conductive sheet 100 having all of the protruding portions of the present invention (see FIG. 5 (e)).

따라서 본 발명에 따르면, 종래 기술에 비해 돌출부용 프레임을 제거할 때 돌출도전부가 뜯기는 일이 발생하지 않고, 돌출도전부에 더 많은 도전성 입자들을 충전할 수 있으며, 또한 돌출도전부가 도전지지층에 의해 지지된 구조를 가지고 있으므로, 돌출도전부의 내구성이 증진되고 전기적 특성이 향상되며, 테스트용 소켓의 사용 수명이 연장되는 효과를 발휘할 수 있다.Therefore, according to the present invention, it is possible to fill more protruding portions with more conductive particles without causing the protruding conductive portions to be torn when the frame for protruding portions is removed as compared with the prior art, It is possible to improve the durability of all protrusions, improve the electrical characteristics, and extend the useful life of the test socket.

한편, 본 명세서에서 설명되는 실시예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments and the accompanying drawings described in the present specification are merely illustrative of some of the technical ideas included in the present invention. Therefore, it is to be understood that the embodiments disclosed herein are not for purposes of limiting the technical idea of the present invention, but rather are not intended to limit the scope of the technical idea of the present invention. It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

10, 100: 탄성 도전시트
11: 절연성 지지부
12: 도전부, 12A: 돌출도전부
121: 무정형의 도전성 입자, 122: 제1 도전성 입자, 123: 제2 도전성 입자
13: 지지프레임
20, 60: 돌출부용 프레임
201: 관통공
30: 금형, 31: 상금형, 34: 하금형, 32, 35: 강자성체층, 33, 36: 비자성체층
50: 도전지지층
601: 제1 관통공, 602: 제2 관통공10, 100: elastic conductive sheet
11: Insulative support
12: conductive portion, 12A: protruding portion
121: Amorphous conductive particles, 122: First conductive particle, 123: Second conductive particle
13: Support frame
20, 60: frame for projecting part
201: Through hole
The present invention relates to a ferromagnetic material layer, and more particularly, to a ferromagnetic material layer,
50: conductive support layer
601: first through hole, 602: second through hole

Claims (11)

상측의 피검사 디바이스의 단자와 하측의 테스트 장치의 패드를 전기적으로 연결하여 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하는 테스트용 러버 소켓으로서,
절연성 탄성물질 내에 제1 도전성 입자들이 상하 방향으로 배열되는 다수의 도전부와, 상기 다수의 도전부를 지지하면서 서로 인접한 도전부 사이를 절연시키는 절연성 지지부를 포함하는 탄성 도전시트; 및
상기 탄성 도전시트를 지지하는 지지프레임;을 포함하여 이루어지되,
상기 도전부의 상측 또는 하측 중 적어도 어느 한 곳에는 상기 절연성 지지부보다 돌출된 돌출도전부를 가지며,
상기 돌출도전부에는 상기 절연성 탄성물질 내에 제2 도전성 입자들이 배치되어 있고,
상기 돌출도전부의 외측면에는 상기 절연성 탄성물질로 이루어지고, 상기 돌출도전부의 외측면을 둘러싸는 고리 형태로 상기 돌출도전부에 일체로 부착된 도전지지층을 구비한 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓.
A test rubber socket for electrically connecting a terminal of an inspected device on the upper side to a pad of a lower test device to conduct an electrical inspection of the device to be inspected,
An elastic conductive sheet comprising a plurality of conductive parts in which first conductive particles are arranged in an insulating elastic material in a vertical direction and an insulating supporting part for insulating the conductive parts adjacent to each other while supporting the plurality of conductive parts; And
And a support frame for supporting the elastic conductive sheet,
Wherein at least any one of an upper side and a lower side of the conductive portion has a protruding portion protruding from the insulating supporting portion,
The second conductive particles are disposed in the insulating elastic material on all of the projections,
And a conductive support layer formed on the outer surface of the protruding portion and integrally attached to the entirety of the protruding portion in the form of an annulus surrounding the outer surface of the entire protruding portion. And a rubber socket for testing.
제1항에 있어서,
상기 도전지지층에는 상기 돌출도전부의 제2 도전성 입자의 일부가 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓.
The method according to claim 1,
And a part of the second conductive particles of all of the protrusions is coupled to the conductive support layer.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 절연성 탄성물질은 액상 실리콘 고무가 경화되어 형성된 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the insulating elastic material is formed by curing a liquid silicone rubber.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 도전성 입자들은 상기 제1 도전성 입자들보다 상기 절연성 탄성물질 내에 높은 밀도로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the second conductive particles are arranged in the insulating elastic material at a higher density than the first conductive particles.
제4항에 있어서,
상기 제2 도전성 입자의 크기는 상기 제1 도전성 입자의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓.
5. The method of claim 4,
And the size of the second conductive particles is smaller than the size of the first conductive particles.
상측의 피검사 디바이스의 단자와 하측의 테스트 장치의 패드를 전기적으로 연결하여 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하는 테스트용 러버 소켓의 제조방법으로서,
돌출부용 프레임에 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 제1 관통공을 형성하는 단계;
상기 제1 관통공에 절연성 탄성물질을 충전한 후 경화시키는 단계;
상기 절연성 탄성물질이 충전된 상기 제1 관통공 내에 상기 제1 관통공보다 작은 크기의 제2 관통공을 형성하여 도전지지층이 부착된 돌출부용 프레임을 형성하는 단계;
내부에 공간이 마련된 금형을 준비하고, 상기 공간의 상부 또는 하부의 적어도 어느 한 곳에 상기 도전지지층이 부착된 돌출부용 프레임을 배치하는 단계;
상기 제2 관통공에 제2 도전성 입자들이 분포되어 있는 절연성 탄성물질을 충전하고, 상기 공간에 제1 도전성 입자들이 분포되어 있는 절연성 탄성물질을 충전하는 단계;
상기 금형에 자장을 가하여 상기 제1 및 제2의 도전성 입자들을 상기 제2 관통공이 형성된 위치마다 배열한 후, 가열하여 경화시키는 단계;
상기 돌출부용 프레임을 제거하여 돌출도전부를 상기 도전지지층이 지지하는 탄성 도전시트를 제조하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조 방법.
There is provided a method of manufacturing a test rubber socket for electrically connecting a terminal of a device to be inspected on the upper side and a pad of a lower test device,
Forming a first through hole in a protruding frame for each position corresponding to a terminal of the device to be inspected;
Filling the first through hole with an insulating elastic material and curing the first through hole;
Forming a second through hole having a size smaller than that of the first through hole in the first through hole filled with the insulating elastic material to form a protrusion frame having the conductive support layer attached thereto;
Preparing a mold having a space therein and disposing a protruding frame having the conductive support layer on at least one of an upper portion and a lower portion of the space;
Filling the insulative elastic material with the second conductive particles distributed in the second through hole and filling the insulative elastic material with the first conductive particles distributed in the space;
Applying a magnetic field to the metal mold to arrange the first and second conductive particles at positions where the second through holes are formed, and then heating and curing the first and second conductive particles;
And removing the protruding frame to manufacture an elastic conductive sheet supporting the entire conductive protrusion by the conductive supporting layer. The method of manufacturing a testing rubber socket according to claim 1,
제6항에 있어서,
상기 제1 관통공에 절연성 탄성물질을 충전한 후 경화시키는 단계에서 경화된 상기 절연성 탄성물질은 반경화 상태인 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조 방법.
The method according to claim 6,
Wherein the insulating elastic material cured in the step of filling the first through hole with the insulating elastic material and curing the insulating material is semi-cured.
제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 도전지지층에는 상기 돌출도전부의 제2 도전성 입자의 일부가 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조방법.
8. The method according to claim 6 or 7,
And a part of the second conductive particles of all of the protrusions is coupled to the conductive support layer.
제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 절연성 탄성물질은 액상 실리콘 고무인 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조 방법.
8. The method according to claim 6 or 7,
Wherein the insulating elastic material is a liquid silicone rubber. ≪ Desc / Clms Page number 19 >
제6항 또는 7항에 있어서,
상기 제2 도전성 입자들은 상기 제1 도전성 입자들보다 상기 절연성 탄성물질 내에 높은 밀도로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조 방법.
7. The method according to claim 6 or 7,
Wherein the second conductive particles are disposed in the insulating elastic material at a higher density than the first conductive particles. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI >
제10항에 있어서,
상기 제2 도전성 입자의 크기는 상기 제1 도전성 입자의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 돌출도전부를 구비한 테스트용 러버 소켓의 제조 방법.11. The method of claim 10,
Wherein the size of the second conductive particles is smaller than the size of the first conductive particles.
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