KR101026659B1 - 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙스트라이프의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
플라즈마 디스플레이 패널의 표시 전극, 버스 전극, 및 경우에 따라 블랙 스트라이프를 동일 재료로, 동일한 드라이 공정으로 형성함으로써, 환경 저부하이고, 저가이고, 저저항이며, 유전체에 의한 침식이 없으며, 또한 PDP 표시 장치 상에 반사 방지를 한 선명한 화상을 표시할 수 있는 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법을 제공한다.
투명 기판 상에 형성한 마스크층에, 레이저광을 조사하여, 표시 전극, 버스 전극, 및, 경우에 따라 블랙 스트라이프의 각 패턴에 상당하는 영역에 개구부를 형성한 후, 전체면에 반사 방지의 효과를 가져오는 반사 방지층과, 전극층을 연속 형성하고, 다시 레이저광을 조사하여 상기 마스크층을 박리하여, 불필요한 박막층을 동시에 제거하는 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법.
플라즈마 디스플레이 기판용 전극, 플라즈마 디스플레이 기판용 블랙 스트라이프, 플라즈마 디스플레이 패널, 플라즈마 디스플레이 기판
Description
본 발명은 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법, 및 이에 의해 제조되는, 전극 및/또는 블랙 스트라이프가 부착된 플라즈마 디스플레이 기판, 그리고 이것을 이용한 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것이다.
플라즈마 디스플레이 패널 (이하, 「PDP」 라고도 한다) 은 박형화가 가능하고, 또한 대형화가 용이하며, 또한 경량, 고해상도 등의 특징을 갖기 때문에, 표시 장치로서 CRT 에 대체되는 유력 후보로서 주목받고 있다.
PDP 는 DC 형과 AC 형으로 크게 나뉘지만, 그 동작 원리는 가스 방전에 수반되는 발광 현상을 이용한 것이다. 예를 들어 AC 형에서는 도 11 에 나타내는 바와 같이 대향되는 투명한 전면 (前面) 기판 (1) 및 배면 기판 (2) 사이에 형성된 격벽 (3) 에 의해 셀 (공간) 을 구획하고, 셀 내에는 가시광 발광이 적고 자외선 발광 효율이 높은 He + Xe, Ne + Xe 등의 페닝 혼합 가스를 봉입한다. 그리고 셀 내에서 플라즈마 방전을 발생시키고, 셀 내벽의 형광체층 (11) 을 발광시켜 표 시 화면 상에 화상을 형성시킨다.
이러한 PDP 표시 장치에 있어서는, 화상을 형성하는 화소에 플라즈마 방전을 발생시키기 위한 전극으로서, 투명한 전면 기판 (1) 상에 투명 도전막으로 이루어지는 표시 전극 (5) 및 그 전극의 일부에 버스 전극 (6) 을 패터닝하고, 필요에 따라 화소 분리용의 블랙 스트라이프 (4) 를 패터닝하여 형성한다. 또, 배면 기판 (2) 에 어드레스 전극 (7) 을 패터닝하여 형성한다. 그리고, 표시 전극 (5) 과 어드레스 전극 (7) 사이의 절연을 확보하여 플라즈마를 안정적으로 발생시키기 위해서, 또, 전극이 플라즈마에 침식되는 것을 막기 위해서, 유전체층 (8) 및 MgO 보호층 (9) 으로 표시 전극 (5), 버스 전극 (6) 및 블랙 스트라이프 (4) 를 피복 한다 (특허 문헌 1, 비특허 문헌 1, 비특허 문헌 2 참조).
또한, DC 형의 PDP 에서는 표시 전극을 유전체층 및 보호층으로 피복하지 않는 점에서 AC 형과 상이하다.
여기서, 상기 표시 전극 (5) 은 저저항인 것이 요망된다. 그래서, 종래부터 산화 주석을 함유하는 산화 인듐 (이하, 「ITO」 라고도 한다) 이 일반적으로 사용되고 있다. 이것은, 비교적 전기 저항이 낮고, 투명성, 도전성과 패터닝성이 우수하기 때문에 다용 (多用) 되고 있다.
그러나, ITO 는 고가이다. 또, AC 형의 PDP 에 있어서 ITO 를 유전체로 피복하면 유전체가 ITO 를 침식시켜, ITO 의 비저항을 증대시킬 가능성도 있다.
이 유전체의 침식에 대한 ITO 의 내성을 향상시키기 위해서, 유전체의 성분을 조정함으로써 대응할 수도 있다. 그러나, 이 경우, 동시에 유전체의 본래의 목적인 절연능, 플라즈마로부터의 침식 방지능이 저하될 가능성이 있다. 따라서, 이 ITO 를 대신하는 재료나 방법이 강하게 요망되고 있다.
한편, 도 11 에 나타내는 표시 전극 (5), 버스 전극 (6), 블랙 스트라이프 (4) 의 각 패턴은 통상 포토리소그래피·에칭 프로세스에 의해, 차례로 각각 패터닝하여 형성되어 있기 때문에, 제조 공정이 길고, 고가이며, 또한 강산이나 강 알칼리액을 이용하기 때문에, 환경 부하가 크므로, 이들을 대신할 방법이 요망되고 있다.
또, 콘트라스트를 더욱 향상시켜, 화상을 선명하게 하기 위해서 블랙 스트라이프 (4) 를 부착하는 것이 제안되어 있지만, 표시 전극 (5), 버스 전극 (6) 등과는 다른 공정에서의 제조가 되기 때문에, 그 만큼 공정 수가 많아져 버린다.
특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 평7-65727호
비특허 문헌 1 : 우치다 타츠오, 우치이케 헤이쥬 저, 「플랫 패널 디스플레이 대사전」, 공업 조사회, 2001년 12월 25일, p.583-585
비특허 문헌 2 : 오쿠무라 타케시 저, 「플랫 패널·디스플레이 2004 실무편」, 닛케이 BP 사, p.176-183
발명의 개시
발명이 해결하고자 하는 과제
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 플라즈마 디스플레이 패널의 ITO 를 이용한 표시 전극, Ag 나 Cr/Cu/Cr 을 이용한 버스 전극, 및 경우에 따라 흑색 유전체를 이용한 블랙 스트라이프를, 동일 재료로, 동일한 드라이 공정에 의해 형성함으로써, 환경 저부하이고, 저가이고, 저저항이며, 유전체에 의한 침식이 없으며, 또한 PDP 표시 장치 상에 반사 방지를 한 선명한 화상을 표시할 수 있는 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법을 제공하는 것에 있다. 또, 이 제조 방법으로 제조되는 전극 및/또는 블랙 스트라이프가 부착된 플라즈마 디스플레이 기판을 제공하는 점에 있다. 또한, 이것을 이용한 PDP 를 제공하는 점에 있다.
과제를 해결하기 위한 수단
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서, 이하의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법, 및 이로써 제조되는, 전극 및/또는 블랙 스트라이프가 부착된 플라즈마 디스플레이 기판, 그리고 이것을 이용한 PDP 를 제공하는 것이다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서, 투명 기판 상에 형성된 마스크층에 (마스크층 형성 공정), 제 1 레이저광을 조사하여, 표시 전극, 버스 전극, 및, 경우에 따라 블랙 스트라이프의 각 패턴에 상당하는 영역에 개구부를 형성 (개구부 형성 공정) 한 후, 전체면에 반사 방지의 효과를 가져오는 반사 방지층과, 전극층을 연속 형성하고 (반사 방지층 형성 공정 및 전극층 형성 공정), 다시 레이저광을 조사하여 상기 마스크층을 박리하고, 불필요한 층을 동시에 제거하는 (박리 공정), 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법이다.
이러한 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법에 있어서, 상기 박리 공정에서는 제 2 레이저광을 조사하여 상기 마스크층을 상기 투명 기판 상으로부터 박리하는 것이 바람직하다.
또, 상기 반사 방지층이 크롬 산화물 및/또는 티탄 산화물로 이루어지는 제 1 반사 방지층과, Cr 및/또는 Ti 로 이루어지는 제 2 반사 방지층을 포함하는 것이 바람직하다.
또, 상기 마스크층이 유기 재료로 구성되어 있는 것이 바람직하다.
또, 상기 마스크층이 흑색 안료 또는 흑색 염료를 10 ∼ 99질량% 함유하는 재료로 구성되어 있는 것이 바람직하다.
또, 상기 제 1 레이저광 또는 상기 제 2 레이저광이, 파장이 500 ∼ 1500㎚, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 5J/㎠ 의 레이저광인 것이 바람직하다.
또, 상기 마스크층의 상기 제 2 레이저광에 대한 흡수율이, 상기 반사 방지층의 상기 제 2 레이저광에 대한 흡수율의 2 배 이상인 것이 바람직하다.
또, 상기 마스크층의 상기 제 1 레이저광에 대한 흡수율이 70% 이상인 것이 바람직하다.
또, 상기 개구부가 오버행 형상 또는 역 (逆) 테이퍼 형상인 것이 바람직하다.
또, 상기 전극층이 구리, 은, 알루미늄 또는 금으로 이루어지고, 그 전극층에 Cr 및/또는 Ti 를 함유시키는 것이 바람직하다.
또, 상기 전극층 형성 공정 후에, Cr 및/또는 Ti 로 이루어지는 층을 형성하는 Cr·Ti 층 형성 공정을 구비하는 것이 바람직하다.
또, 상기 마스크층 형성 공정 전 또는 상기 박리 공정 후에, 박막층을 형성하여, 그 박막층에 제 3 레이저광을 조사함으로써 그 박막층의 일부를 제거하는 공정을 구비하는 것이 바람직하다.
또, 본 발명은 상기 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법으로 제조되는, 전극 및/또는 블랙 스트라이프가 부착된 플라즈마 디스플레이 기판이며, 또 크롬 산화물 및/또는 티탄 산화물로 이루어지는 제 1 반사 방지층과, Cr 및/또는 Ti 로 이루어지는 제 2 반사 방지층과, Cu 로 이루어지는 전극층을 투명 기판 상에 이 순서로 갖는 플라즈마 디스플레이 기판이다.
또, 본 발명은 상기 플라즈마 디스플레이 기판이 플라즈마 디스플레이 전면 기판이며, 상기 전극 및/또는 상기 블랙 스트라이프의 기판측으로부터의 가시광 반사율이 50% 이하인 것이 바람직하다. 여기서 가시광 반사율이란, JIS R3106 (1998년) 에 규정되어 있는 것이며, 「기판측」 이란, 투명 기판의 마스크층을 형성하고 있지 않은 면의 측이다.
또, 본 발명은 상기 플라즈마 디스플레이 기판을 이용하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널이다.
발명의 효과
본 발명에 의하면, 종래에는 각각 다른 재료를 이용하여 제조한 플라즈마 디스플레이 기판용의 ITO 의 표시 전극과, Ag 나 Cr/Cu/Cr 을 이용한 버스 전극과, 경우에 따라서는 흑색 유전체를 이용한 블랙 스트라이프를, 동일 재료로, 또한 저가이고, 저저항이며, 유전체에 의한 침식 등이 낮은 재료로 제조할 수 있고, 또한 PDP 표시 장치 상에 선명한 화상을 표시할 수 있는, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 종래부터 이용되고 있는 포토리소그래피·에칭 프로세스나 웨트·리프트 오프법 등의 습식법과 비교하여, 보다 적은 제조 공정 수로, 보다 저가로 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프를 제조할 수 있다. 또한, 레이저광을 이용한 건식법이기 때문에, 습식법과 같이 다량의 현상액이나 에칭제 등의 약액을 사용하지 않고, 현재, 중대한 관심사가 되어 온 폐액 처리 등의 환경 부하에 대한 염려도 적다.
도 1(a) ∼ (d) 는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예의 공정을 나타내기 위한 플라즈마 디스플레이 기판의 개략 단면도이다.
도 2(e) ∼ (h) 는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예의 공정을 나타내기 위한 플라즈마 디스플레이 기판의 개략 단면도이다.
도 3(a) ∼ (g) 는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법에 있어서의 개구부 형성 공정을 나타내기 위한 플라즈마 디스플레이 기판의 개략 단면도이다.
도 4(a) ∼ (f) 는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법에 있어서의 개구부 형성 공정을 나타내기 위한 플라 즈마 디스플레이 기판의 개략 단면도이다.
도 5(a) ∼ (d) 는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법에 있어서의 개구부 형성 공정을 나타내기 위한 플라즈마 디스플레이 기판의 개략 단면도이다.
도 6 은 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예에 의해 제조된 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프가 부착된 기판의 개략 평면도이다.
도 7 은 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예에 의해 제조된 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프가 부착된 기판의 개략 평면도의 A-A' 선 단면 개략도이다.
도 8(a) ∼ (c) 는 실시예에 있어서의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 공정을 나타내기 위한 플라즈마 디스플레이 기판 및 제조 장치의 개략 구성을 나타내는 단면도이다.
도 9(d) ∼ (e) 는 실시예에 있어서의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 공정을 나타내기 위한 플라즈마 디스플레이 기판 및 제조 장치의 개략 구성을 나타내는 단면도이다.
도 10(f) ∼ (h) 는 실시예에 있어서의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 공정을 나타내기 위한 플라즈마 디스플레이 기판 및 제조 장치의 개략 구성을 나타내는 단면도이다.
도 11 은 종래의 PDP 의 개략 구성을 나타내는 개략도이다.
부호의 설명
1 전면 기판
2 배면 기판
3 격벽
4 블랙 스트라이프
5 표시 전극
6 버스 전극
7 어드레스 전극
8 유전체층
9 MgO 보호층
11 형광체층
10 투명 기판
12 포토마스크
14 제 1 레이저광
15 제 2 레이저광
20, 20a, 20b 마스크층
30 제 1 반사 방지층
32 제 2 반사 방지층
40 전극층
60 투명 기판
61 블랙 스트라이프
62 플라즈마 디스플레이 기판용 전극
63 제 1 반사 방지층
64 제 2 반사 방지층
66 전극층
68 보호층
70 유리 기판
72 마스크 필름
74 필름 라미네이터
78 포토마스크
80 스퍼터 막 형성 장치
82 제 1 반사 방지층
84 제 2 반사 방지층
86 전극층
88 보호층
발명을 실시하기
위한 최선의 형태
본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예를 도 1 및 도 2 에 기초하여 상세하게 설명한다. 이 바람직한 실시예는 일례이며 본 발명은 이것에 한정되지 않는다.
본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예에 있어서는, 먼저, 투명 기판 (10) 상에 마스크층 (20) 을 형성한다 (도 1(a), (b), 마스크층 형성 공정). 이후, 투명 기판 (10) 의 마스크층 (20) 을 형성한 면을 「상면」, 반대의 면을 「하면」이라고 한다.
다음으로, 포토마스크 (12) 를 사이에 두고 마스크층 (20) 에 하면측으로부터 제 1 레이저광 (14) 을 조사하여 개구부를 형성 (도 1(c), (d), 개구부 형성 공정) 한다.
그리고, 투명 기판 (10) 의 상면 및 마스크층 (20) 의 상면에 반사 방지층, 즉, 제 1 반사 방지층 (30) 및 제 2 반사 방지층 (32) 을 형성하고 (도 2(e), 반사 방지층 형성 공정), 제 2 반사 방지층 (32) 의 상면측에 전극층 (40) 을 형성 (도 2(f), 전극층 형성 공정) 한 후, 마스크층 (20) 에 하면측으로부터 제 2 레이저광 (15) 을 조사하여, 마스크층 (20) 을 투명 기판 (10) 으로부터 박리한다 (도 2(g), (h), 박리 공정).
이러한 제조 공정에 의해, 투명 기판 (10) 의 상면에, 반사 방지층 (30), 그 상면에 반사 방지층 (32), 또한 그 상면에 전극층 (40) 을 형성할 수 있다. 이들 층은 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 역할을 한다.
<투명 기판>
상기 투명 기판 (10) 은 후술하는 제 2 레이저광을 투과하는 재료 (본 발명에 있어서는 투과율 80% 이상의 재료) 로 구성되어 있으면 특별히 한정되지 않고, 상기 박리 공정에 있어서, 마스크층 (20), 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지 층 (32), 및 전극층 (40) 이 형성되어 있지 않은 투명 기판 (10) 측 (하면측) 으로부터의 레이저광 조사에 의해 불필요한 마스크층 (20) 을 박리할 수 있다. 그 구체예로는, 유리 기판을 바람직하게 들 수 있다. 특히, PDP 용의 유리 기판으로서 종래부터 이용되고 있는, 두께 0.7 ∼ 3㎜ 정도의 유리제 기판이 바람직하다.
<마스크층 형성 공정>
본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예에 있어서, 마스크층 형성 공정에서는, 상기 투명 기판 (10) 의 표면에 마스크층 (20) 을 형성한다.
마스크층 (20) 은 후술하는 제 1 레이저광의 조사에 의해 제거 가능한, 이른바 어블레이션을 일으키는 재료 (이하, 간단하게 「마스크층 형성 재료」 라고도 한다.) 로 구성되어 있으면 특별히 한정되지 않는다.
이러한 마스크층 형성 재료로서는 유기 재료가 바람직하다. 에너지 밀도가 낮은 제 1 레이저광에 의해서도 충분히 개구부 형성 및 박리가 생기기 때문이다.
이러한 유기 재료로서, 예를 들어, 에폭시 수지, 폴리에틸렌 수지, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 4 불화 에틸렌 수지, 아크릴 수지 등을 들 수 있다.
이러한 유기 재료를 이용함으로써, 후술하는 개구부 형성 공정에 있어서 파장이 500 ∼ 1500㎚, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 5J/㎠ 인 제 1 레이저광 (14) 을 1 ∼ 5 펄스 조사하는 것만으로, 개구부의 투명 기판 (10) 의 표면에 마스크층 (20) 이 잔존하지 않고, 확실하게 개구부를 형성할 수 있다.
또, 후술하는 박리 공정에 있어서도, 파장이 500 ∼ 1500㎚, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 5J/㎠ 인 제 2 레이저광 (15) 을 1 ∼ 5 펄스 조사하는 것만으로, 투명 기판 (10) 상에 잔존시키는 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32), 및 전극층 (40) 등에 데미지를 주지 않고, 확실하게 마스크층 (20) 을 투명 기판 (10) 으로부터 박리할 수 있다.
또, 상기 마스크층은 안료 또는 염료를 10 ∼ 99질량%, 바람직하게는 20 ∼ 99질량% 함유하는 마스크층 형성 재료로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 안료 또는 염료로는 흑색 안료 또는 흑색 염료인 것이 바람직하다.
여기서, 흑색 안료 (염료) 는 마스크층의 제 1 레이저광 또는 제 2 레이저광에 대한 흡수율을 상승시키는 화합물이면 특별히 한정되지 않고, 그 구체예로는, 카본 블랙, 티탄 블랙, 황화 비스무트, 산화 철, 아조계 산성 염료 (예를 들어, C.I.Mordant Black17), 분산계 염료, 양이온계 염료 등을 바람직하게 들 수 있다. 이들 중, 카본 블랙, 티탄 블랙인 것이 모든 레이저광에 대하여 높은 흡수율을 갖는다는 이유로 바람직하다.
이러한 흑색 안료 (염료) 를 10 ∼ 99질량% 함유하는 마스크층 형성 재료를 이용함으로써, 후술하는 제 1 레이저광 또는 제 2 레이저광에 대한 흡수율이 증가하는 점에서, 에너지 밀도가 낮은 (예를 들어, 0.1 ∼ 1J/㎠ 정도) 레이저광에 의해서도 충분히 개구부 형성 및 박리시킬 수 있다. 이로써, 기판 상에 잔존시키는 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32), 및 전극층 (40) 에 데미지를 주지 않고 불필요한 마스크층 (20) 만을 용이하고 확실하게, 기판 상에 마스크층 (20) 이 잔존하지 않고 박리할 수 있다.
따라서, 이러한 흑색 안료 (염료) 를 함유하는 재료를 마스크층 형성 재료로서 사용함으로써, 후술하는 개구부 형성 공정에 있어서 파장이 500 ∼ 1500㎚, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 5J/㎠ 인 제 1 레이저광 (14) 을, 1 ∼ 5 펄스 조사하는 것만으로, 개구부의 투명 기판 (10) 의 표면에 마스크층 (20) 이 잔존되지 않고, 확실하게 개구부를 형성할 수 있다. 또, 이러한 흑색 안료 (염료) 를 함유하는 상기 유기 재료를 마스크층 형성 재료로서 사용하면, 파장이 500 ∼ 1500㎚, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 1J/㎠ 인 제 1 레이저광 (14) 이어도, 1 ∼ 5 펄스 조사하는 것만으로, 동일한 효과를 나타낸다.
또한, 이러한 흑색 안료 (염료) 를 함유하는 재료를 마스크층 형성 재료로서 사용함으로써, 후술하는 박리 공정에 있어서도, 파장이 500 ∼ 1500㎚, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 5J/㎠ 인 제 2 레이저광 (15) 을 1 ∼ 5 펄스 조사하는 것만으로, 투명 기판 (10) 상에 잔존시키는 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32), 및 전극층 (40) 등에 데미지를 주지 않고, 확실하게 마스크층 (20) 을 투명 기판 (10) 으로부터 박리할 수 있다. 또, 이러한 흑색 안료 (염료) 를 함유하는 상기 유기 재료를 마스크층 형성 재료로서 사용하면, 파장이 500 ∼ 1500㎚, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 1J/㎠ 인 제 2 레이저광 (15) 이어도, 1 ∼ 5 펄스 조사하는 것만으로, 동일한 효과를 나타낸다.
또, 상기 마스크층은 제 2 레이저광 (15) 에 대한 흡수율이, 후술하는 반사 방지층의 제 2 레이저광 (15) 에 대한 흡수율보다 커지도록, 바람직하게는 2 배 이 상, 보다 바람직하게는 3 배 이상, 더욱 바람직하게는 5 배 이상 커지도록 한다. 이로써, 후술하는 박리 공정에 있어서, 불필요한 마스크층만을, 보다 용이하게, 또한, 보다 확실하게 박리할 수 있다는 효과를 나타낸다.
또, 마스크층의 제 1 레이저광 (14) 에 대한 흡수율이 70% 이상, 보다 바람직하게는 85% 이상인 것이 효율적으로 레이저 가공할 수 있다는 이유에서 바람직하다.
이러한 마스크 (20) 층은 통상 사용되는 방법, 예를 들어, 코터 등을 이용하여 투명 기판 (10) 의 표면에 상기 마스크층 형성 재료를 도포하는 방법이나, 필름 상의 상기 마스크층 형성 재료를 필름 라미네이터 등을 이용하여 투명 기판 (10) 의 표면에 형성하는 방법이 예시된다.
이 마스크층 (20) 의 두께는 5 ∼ 20㎛ 정도로 하는 것이 바람직하고, 10 ∼ 20㎛ 정도이면 보다 바람직하다. 종래의 습식법에 있어서는, 마스크층 (20) 의 두께는 25 ∼ 50㎛ 정도가 통상이지만, 레이저광을 이용한 본 발명의 경우에는 상기 두께가 적합하다. 이유는, 보다 미세한 전극을 보다 확실하게, 보다 고정밀도로 제조하는데 적합한 것과, 보다 적은 레이저 에너지로 가공할 수 있기 때문에, 양산성을 대폭 향상시킬 수 있기 때문이다.
<개구부 형성 공정>
본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예에 있어서, 개구부 형성 공정에서는, 예를 들어 제 1 레이저광 (14) 으로서 엑시머 레이저광이나 YAG 레이저 등을 이용하여, 어블레이션과 열 에너지의 병용에 의해, 상기 마스크층 형성 공정에 의해 투명 기판 (10) 의 표면에 형성된 마스크층 (20) 을 증발 제거하여 개구부를 형성한다.
본 발명에서는 개구부가 오버행 형상 또는 역 테이퍼 형상인 것이 바람직하다.
이러한 형상이면, 보다 정밀하게 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32), 및 전극층 (40) 등을 용이하게 형성할 수 있기 때문이다.
이러한 제 1 레이저광 (14) 을 마스크층 (20) 에 하면측으로부터 조사하여 마스크층 (20) 에 개구를 형성하는 경우에는, 일반적으로 마스크층에 입사한 제 1 레이저광 (14) 은 마스크층 (20) 의 내부로 침입함에 따라, 그 에너지가 감쇠하기 때문에, 개구부의 단면 형상은 역 테이퍼 형상이 되도록 형성된다. 역 테이퍼 형상이란, 마스크층 (20) 의 개구부의 크기가 투명 기판 (10) 을 향함에 따라 커지는 형상이다.
또, 제 1 레이저광 (14) 을 마스크층 (20) 에 상면측으로부터 조사하여 오버행 형상의 개구를 형성할 수 있다. 오버행 형상이란, 예를 들어 마스크층 (20) 을 2 층 형성하여 개구부를 형성할 때에, 상층의 개구부의 크기가 하층의 개구부의 크기보다 작은 상태를 가리킨다. 즉, 상층의 개구부의 단부가 하층의 개구부의 단부보다 돌출되어 있는 형상인 것이다.
이하에, 제 1 레이저광 (14) 을 이용하여 마스크층 (20) 을 가공하고, 개구부를 형성하는 방법에 대하여 구체적으로 설명한다. 도 3 ∼ 도 5 에, 투명 기판 (10) 상에 형성된 마스크층 (20) 의 개구부를, 그 단면 형상을 역 테이퍼 형상 또는 오버행 형상으로 가공하는 공정을 나타낸다.
또한, 이 구체적 설명에 있어서 이용하는 마스크층 형성 재료, 마스크층 형성 방법 및 마스크층의 두께 등은 상기 마스크층 형성 공정에서 나타낸 것과 동일하다.
먼저, 도 3 에 나타내는 오버행 형상의 개구부를 형성하는 공정에 대하여 설명한다. 투명 기판 (10) 상에 액상의 마스크층 형성 재료를 도포하거나, 또는 필름 상의 마스크층 형성 재료를 적층하여 1 층째의 마스크층 (20a) 을 형성한다 (도 3(a)). 그리고, 마스크층 (20a) 측으로부터 포토마스크 (12) 를 사이에 두고 제 1 레이저광 (14) 을 조사하여 (도 3(b)), 개구부를 형성한다 (도 3(c)). 이 개구부의 단면 형상은 투명 기판 (10) 의 표면을 향함에 따라 좁아지고 있고, 이른바 순 (順) 테이퍼 형상을 갖고 있다. 이어서, 이 1 층째의 마스크층 (20a) 의 상면에, 필름 상의 마스크층 형성 재료를 적층하여 2 층째의 마스크층 (20b) 을 형성한다 (도 3(d)). 그리고, 마스크층 (20b) 측으로부터 포토마스크 (12) 를 사이에 두고 제 1 레이저광 (14) 을 조사하여 (도 3(e)), 개구부를 형성한다 (도 3 (f)). 2 층째의 마스크층 (20b) 의 개구부의 형성은 그 개구부의 크기가 1 층째의 마스크층 (20a) 에 형성한 개구부의 크기보다 작아지도록 실시한다. 이로써, 도 3(f) 에 나타내는 바와 같이, 개구부에 있어서의 2 층째의 마스크층 (20b) 의 단부가 1 층째의 마스크층 (20a) 의 단부보다 돌출된 형상이 되어, 오버행 형상의 개구부를 형성할 수 있다. 그리고, 후술하는 다음의 반사 방지층 형성 공정에서 제 1 반사 방지층 (30) 을 형성하면, 도 3(g) 와 같이 된다.
또, 마스크층 (20) 을 제 1 레이저광 (14) 을 이용하여 오버행 형상으로 가공하는 방법은 상기 마스크층 (20) 을 2 층 형성하는 방법 이외에, 제 1 레이저광 (14) 의 초점을 바꾸어 2 회 조사하는 방법으로 실시할 수도 있다. 이 공정을 도 4 에 나타내어 구체적으로 설명한다. 먼저, 투명 기판 (10) 상에 액상의 마스크층 형성 재료를 도포하거나, 또는 필름 상의 마스크층 형성 재료를 적층하여 마스크층 (20) 을 형성한다 (도 4(a)). 그리고, 마스크층 (20) 의 상면측으로부터 포토마스크 (12) 를 사이에 두고 제 1 레이저광 (14) 을 조사함으로써 (도 4(b)), 마스크층 (20) 은 순 테이퍼 형상으로 가공된다 (도 4(c)). 그 후, 제 1 레이저광 (14) 의 초점을 이동시켜 재차 포토마스크 (12) 를 사이에 두고 제 1 레이저광 (14) 을 조사한다 (도 4(d)).
이로써, 마스크층 (20) 의 개구부의 단면 형상은 순 테이퍼 형상의 도중에서 역 테이퍼 형상으로 가공된 형상이 된다 (도 4(e)). 이것은, 1 회째의 레이저광 조사에 의해 순 테이퍼 형상으로 가공되어 있기 때문에, 2 회째의 레이저광 조사 시에는 제 1 레이저광 (14) 의 에너지를 흡수하는 마스크층 형성 재료가 없어, 투명 기판 (10) 의 상면에 가까운 초점 근방에서 가로 방향의 마스크층 형성 재료에 에너지가 더해지기 때문이다. 그리고, 후술하는 다음의 반사 방지층 형성 공정으로 제 1 반사 방지층 (30) 을 형성하면, 도 4(f) 와 같이 된다.
다음으로, 마스크층 (20) 을 역 테이퍼 형상으로 가공하는 방법을 도 5 에 나타내어 구체적으로 설명한다.
먼저, 투명 기판 (10) 상에 액상의 마스크층 형성 재료를 도포하거나, 또는 필름 상의 마스크층 형성 재료를 적층하여 마스크층 (20) 을 형성한다 (도 5(a)). 그리고, 투명 기판 (10) 의 하면측으로부터 포토마스크 (12) 를 사이에 두고 제 1 레이저광 (14) 을 조사한다 (도 5(b)). 이로써, 투명 기판 (10) 을 투과한 제 1 레이저광 (14) 이 마스크층 (20) 을 가공하여, 마스크층 (20) 에 단면 형상이 역 테이퍼 형상이 되는 개구부를 형성할 수 있다 (도 5(c)). 그리고, 후술하는 다음의 반사 방지층 형성 공정으로 제 1 반사 방지층 (30) 을 형성하면, 도 5(d) 와 같이 된다.
또한, 이 방법은 1 회의 레이저광 조사로 확실하게 역 테이퍼 형상의 개구부를 형성할 수 있기 때문에, 가장 효율적으로 역 테이퍼 형상의 개구부를 형성할 수 있는 방법이다.
이러한 방법 중 어느 하나, 또는 각 방법을 조합하여 이용하면, 단면 형상이 오버행 형상 또는 역 테이퍼 형상인 개구부를 마스크층 (20) 에 형성하는 것이 가능해진다.
본 발명의 개구부 형성 공정에서 개구부를 형성함에 있어서, 이용하는 제 1 레이저광 (14) 은 파장이 500 ∼ 1500㎚, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 5J/㎠, 바람직하게는, 0.5 ∼ 3J/㎠ 의 레이저광이다. 제 1 레이저광은 펄스이어도 되고, CW (연속광) 이어도 된다.
이러한 레이저광으로서, 구체적으로는 YAG 레이저광 (파장:1064㎚), YAG 레이저광 (파장:532㎚) 등을 들 수 있다.
이러한 제 1 레이저광 (14) 을 상기 기술한 바와 같은 재질의 마스크층 (20) 에 조사하면, 매우 짧은 시간의 조사만으로 개구부의 투명 기판 (10) 의 표면에 마스크층 (20) 을 잔존시키지 않고, 확실하게 오버행 형상 또는 역 테이퍼 형상 등의 개구부를 형성할 수 있다.
<반사 방지층 형성 공정>
본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예에 있어서, 반사 방지층 형성 공정에서는 투명 기판 (10) 상에, 소정의 막 두께를 갖는 크롬 산화물로 이루어지는 제 1 반사 방지층 (30) 과, Cr 로 이루어지는 제 2 반사 방지층 (32) 의 2 층 구조로 이루어지는 반사 방지층을 제조한다.
투명 기판 (10) 상에 제 1 반사 방지층 (30) 을 형성하고, 그 상면에 제 2 반사 방지층 (32) 을 형성하여 2 층 구조로 함으로써, 각 층으로부터의 반사광이 간섭하여, 반사율이 저하되어, 선명한 화상을 표시할 수 있다.
<제 1 반사 방지층>
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 제 1 반사 방지층 (30) 의 재료는 크롬 산화물 및/또는 티탄 산화물로 이루어지는 것이 바람직하다. 제 1 반사 방지층 (30) 을 형성하는 재료의 전체에 대하여, 크롬 산화물 및/또는 티탄 산화물 (크롬 산화물 및 티탄 산화물의 함유량의 합계) 이 95질량% 이상 함유되면, 본 발명의 반사 방지층으로서 바람직하다.
여기서, 크롬 산화물이란 산소 결손형의 CrOx (1.0
X<1.5), Cr2O3 등을 의미 한다. 크롬 산화물이 산소 결손형의 CrOx (1
X<1.5) 이면, 반사 특성이 양호해져 특히 바람직하다.
또, 티탄 산화물이란, 산소 결손형의 TiOx (1.0
X<2.0), TiO2 등을 의미한다. 티탄 산화물이 산소 결손형의 TiOx (1.0
X<2.0) 이면, 반사 특성이 양호해져 특히 바람직하다.
또, 크롬 산화물 및/또는 티탄 산화물은 추가로 탄소, 질소 등을 함유하고 있어도 된다. 특히 탄소 및/또는 질소를 제 1 반사 방지층 (30) 을 형성하는 재료에 함유시킴으로써, 소쇠 (消衰) 계수, 막의 굴절률을 미조정 (微調整) 할 수 있기 때문에, 제 2 반사 방지층 (32) 의 광학 특성과 정합시킴으로써 가시역으로부터 본 발명에서 사용되는 레이저 파장 범위에 있어서 반사 방지 특성을 양호하게 할 수 있는 점에서 바람직하다. 크롬 산화물에 질소를 함유하고 있는 경우, 이러한 산질화 크롬막의 조성은 Cr1-Y-ZOYNZ 로 나타내는 경우에 0.3
Y
0.55, 0.03
Z
0.2 인 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서 제 1 반사 방지층 (30) 의 두께는 30㎚ ∼ 100㎚ 로 하는 것이 바람직하다. 이 범위에서 벗어나면, 반사광의 간섭을 이용하여 반사율을 저하시키는 것이 곤란해진다. 두께는 그 범위에서 막의 굴절률, 소쇠 계수 등으로부터 적절하게 조정되면 된다.
또, 제 1 반사 방지막 (30) 은 실질적으로 투명하고, 파장 550㎚ 에서의 굴 절률이 1.9 ∼ 2.8 인 것이 바람직하고, 1.9 ∼ 2.4 인 것이 보다 바람직하다. 이 범위를 벗어나면, 제 1 반사 방지층 (30) 으로부터와 제 2 반사 방지층 (32) 으로부터의 반사광을 간섭시켜, 반사광을 저감시키는 것이 곤란해진다. 실질적으로 투명하다는 것은 소쇠 계수가 1.5 이하, 보다 바람직하게는 0.7 이하인 것을 말하며, 이로 인해, 충분한 광의 간섭을 일으킬 수 있게 된다.
또, 제 1 반사 방지막 (30) 은 복수의 막이어도 된다. 구체적으로는, 기판으로부터 산화 크롬, 질화 크롬을 순서대로 적층한 것이 예시된다.
<제 2 반사 방지층>
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 제 2 반사 방지층 (32) 은 Cr 및/또는 Ti 로 이루어진다. 제 2 반사 방지층 (32) 을 형성하는 재료의 전체에 대하여, Cr 및/또는 Ti 가 95질량% 이상 함유되면, 본 발명의 반사 방지층으로서의 기능을 한다. 또, 제 2 반사 방지층 (32) 을 Cr 및/또는 Ti 로 함으로써, 후술하는 바와 같은 박막층을 보호할 수 있는 점에서 바람직하다.
또, Cr 및/또는 Ti 는 추가로 탄소, 질소 등을 함유하고 있어도 된다. 특히 탄소 및/또는 질소를 제 2 반사 방지층 (32) 을 형성하는 재료에 함유시킴으로써, 소쇠 계수, 막의 굴절률을 미조정할 수 있기 때문에, 제 1 반사 방지층 (30) 의 광학 특성과 정합시킴으로써 가시광 영역으로부터 본 발명에서 사용되는 레이저 파장 범위에 있어서 반사 방지 특성을 양호하게 할 수 있는 점에서 바람직하다.
본 발명의 제 2 반사 방지층 (32) 은 광 투과율을 낮게 하여, 가시광 영역에서 실질적으로 불투명하게 한다. 실질적으로 불투명하게 하기 위해서는, 통상, 가시광 투과율에서 0.0001 ∼ 0.1% 로 하면 된다. 구체적으로는 두께를 10 ∼ 200㎚, 바람직하게는 20 ∼ 100㎚ 로 한다.
본 발명의 제 1 반사 방지층 (30) 및 제 2 반사 방지층 (32) 을 형성하기 위해서는, 통상적인 스퍼터링이나 증착법으로 실시할 수 있다. 스퍼터링에 의해, 제 2 반사 방지층 (32) 의 Cr 층을 형성하기 위해서는, 크롬 타겟을 이용하여, 아르곤 등의 불활성 분위기 하에서 스퍼터링을 실시하면 된다. Ti 층을 형성하는 경우에도 마찬가지이다. 여기서 아르곤 등에 N2 나 CH4 등을 혼합시켜 스퍼터링을 실시해도 된다. 또, 제 1 반사 방지층 (30) 의 크롬 산화물층을 형성하기 위해서는, 크롬 타겟을 이용하여 산소를 함유하는 분위기 하에서 스퍼터링을 실시하는 방법 이외에, 산화 크롬 타겟을 이용하는 것도 가능하다. 티탄 산화물층을 형성하는 경우에도 마찬가지이다. 여기서 N2, CO2, CH4 등을 혼합시켜 스퍼터링을 실시해도 된다.
투명 기판 (10) 상에 형성되는 제 1 반사 방지층 (30) 및 제 2 반사 방지층 (32) 이, 상기 두께가 되도록 하려면, 스퍼터링이나 증착법 등에 의한 반응 시간 등을 제어함으로써 조정할 수 있다.
이러한 방법으로 마스크층 (20) 이 형성된 투명 기판 (10) 의 상면측에, 제 1 반사 방지층 (30) 및 제 2 반사 방지층 (32) 을 형성하는 경우, 마스크층 (20) 에는 상기 개구부 형성 공정으로 형성한 개구부 부분의 투명 기판 (10) 이 노출되어 있기 때문에, 이 개구부에서는 투명 기판 (10) 의 표면 (상면) 에 제 1 반사 방 지층 (30) 및 제 2 반사 방지층 (32) 이 형성된다. 그 밖의 개구부 이외의 부분에서는, 마스크층 (20) 의 상면에 제 1 반사 방지층 (30) 및 제 2 반사 방지층 (32) 이 형성된다.
투명 기판 (10) 상에 형성되는 제 1 반사 방지층 (30) 및 제 2 반사 방지층 (32) 의 화소 표시 영역의 패턴폭은, 목적으로 하는 콘트라스트와 휘도의 밸런스를 고려하여 결정하는 것이 바람직하고, 예를 들면 30㎛ 이하이다. 지나치게 넓으면 PDP 표시 장치로부터 발하는 광 그 자체가 차광되어, 충분한 휘도를 확보할 수 없게 된다.
본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예의 반사 방지층 형성 공정에 있어서는, 상기 바람직한 실시예에 예시한 제 1 반사 방지층 (30) 및 제 2 반사 방지층 (32) 의 2 층을 형성하는 것에 한정되지 않는다. 이 2 층 이외에, 추가로 복수의 층을 가져도 된다.
<전극층 형성 공정>
본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예에 있어서, 전극층 형성 공정에서는 제 2 반사 방지층 (32) 의 상면측에 전극층 (40) 을 형성한다.
이 전극층 (40) 을 형성하는 전극층 형성 재료의 재질은 전극으로서의 기능을 하는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 구리, 은, 알루미늄, 금 등을 이용할 수 있다.
이들 중에서도 구리가 바람직하다. 이유는 도전성이 높고, 재료로서 저가이기 때문이다.
이러한 재질의 전극층 형성 재료를 이용하여 전극층 (40) 을 형성하는 방법은 상기 반사 방지층 형성 공정에서 나타낸 방법과 동일하다. 이들 방법으로 전극층 (40) 을 형성할 수 있다. 전극층 (40) 의 두께는 통상 1 ∼ 4㎛ 정도로 한다. 이 두께를 조제하는 방법도, 상기 반사 방지층 형성 공정에서 나타낸 방법과 동일하다.
이러한 전극층 (40) 을 상기 반사 방지층과 함께, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프로서 사용함에 있어서, 전극 및/또는 블랙 스트라이프를 유전체에 의해 피복하는 경우가 있다. 본 발명의 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 유전체에 대한 내성은 ITO 와 비교하여 현격히 높게 침식되는 정도도 매우 낮지만, 이하에 예시하는 2 개의 방법으로, 전극은 보다 침식되기 어려워져 바람직하다.
제 1 의 방법은 전극층 형성 공정 후에 Cr 및/또는 Ti 로 이루어지는 층을 형성하는 Cr·Ti 층 형성 공정을 구비하는 것으로, 상기 전극층 (40) 의 상면에, 추가로 보호층으로서 Cr 및/또는 Ti 로 이루어지는 층을 형성하는 방법이다. 이로써 유전체가 전극층 (40) 에 직접 접하는 경우가 없어지기 때문에, 전극층 (40) 은 잘 침식되지 않는다.
그 Cr 및/또는 Ti 로 이루어지는 층을 형성하는 방법은 상기 제 1 반사 방지층 및 제 2 반사 방지층을 형성하는 방법과 동일하다.
그 Cr 및/또는 Ti 로 이루어지는 층의 두께는 0.05 ∼ 0.2㎛ 이면 된다. 이 두께이면, 전극층 (40) 이 유전체에 의해 침식되는 것을 방지, 또는 억제할 수 있다. 이 두께로 조정하는 방법도, 상기 제 1 반사 방지층 및 제 2 반사 방지층을 형성하는 방법과 동일하다.
제 2 의 방법은 상기 전극층 (40) 에 Cr 및/또는 Ti 를 함유시키는 방법이다. Cr 은 유전체에 대한 내성이 높기 때문이다. 구체적으로는 전극층 (40) 을, Cr 및/또는 Ti 와 Cu 의 합금으로 이루어지는 층으로 하는 것을 들 수 있다.
Cr 및/또는 Ti 가 전극층 (40) 을 구성하는 재료의 전체에 대하여 5 ∼ 15질량% 함유하고 있으면, 전극층 (40) 은 유전체에 대하여 충분한 내성을 갖고, 또한 도전성이 유지되기 때문에 바람직하다.
그 Cr 및/또는 Ti 를 함유한 전극층을 형성하려면, Cr 및/또는 Ti 를 함유한 상기 전극층 형성 재료를 이용하여, 상기 반사 방지층을 형성하는 방법과 동일한 방법을 적용하면 된다.
<박리 공정>
본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법의 바람직한 실시예에 있어서, 박리 공정에서는, 상기 마스크층 (20) 에 제 2 레이저광 (15) 을 조사하여, 마스크층 (20) 을 투명 기판 (10) 으로부터 박리한다. 마스크층 (20) 에 제 2 레이저광 (15) 을 조사하면, 어블레이션과 열 에너지의 병용에 의해 마스크층 (20) 이 증발한다. 이 결과, 마스크층 (20) 은 투 명 기판 (10) 으로부터 박리된다.
여기서 제 2 레이저광 (15) 의 종류는 상기 기술한 제 1 레이저광 (14) 과 동일하게 엑시머 레이저광이나 YAG 레이저광 등을 이용할 수 있다.
또 제 2 레이저광 (15) 의 강도는 제 1 레이저광 (14) 과 마찬가지로, 파장을 500 ∼ 1500㎚, 에너지 밀도를 0.1 ∼ 5J/㎠ 로 한다. 제 2 레이저광 (15) 의 강도가 이 범위이면, 상기 기술한 바와 같이, 투명 기판 (10) 상에 잔존시키는 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32), 및 전극층 (40) 등에 데미지를 주지 않고, 확실하게 마스크층 (20) 을 투명 기판 (10) 으로부터 박리할 수 있다.
또한, 제 1 레이저광 (14) 과 제 2 레이저광 (15) 의 종류나 강도는 동일해도 되고 상이해도 된다. 장치의 비용 등을 고려하면, 동일한 것이 바람직하다.
또, 도 2(g) 에서는 마스크층 (20) 상에 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32), 및 전극층 (40) 이 형성되어 있지만, 이러한 경우에는, 투명 기판 (10) 의 하면측으로부터 제 2 레이저광 (15) 을 조사하는 것이, 보다 확실하게, 또한, 잔사가 적게 마스크층 (20) 을 투명 기판 (10) 으로부터 박리할 수 있기 때문에 바람직하다.
또, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법에 있어서, 박리 공정에서는 점착제가 붙은 필름을 전극층 (40) 상에 부착하고, 그 후 마스크층 (20) 마다 투명 기판 (10) 으로부터 벗겨도 된다.
<접착력 저하 공정>
또한, 박리 공정의 직전에 마스크층 (20) 과 투명 기판 (10) 의 접착성을 저 하시키거나, 또는 없애기 (이하, 이들을 정리하여 간단하게 「접착성을 저하시킨다」라고 한다) 위해, 광에 의해 이들 접착성을 저하시키는 공정 (이하, 「접착력 저하 공정」이라고 한다) 을 형성해도 된다.
마스크층 (20) 상의 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32) 및 전극층 (40) 을 막 형성한 후, 투명 기판 (10) 측 (하면측) 으로부터 광을 조사한다. 여기서 광은 자외광이 바람직하다. 이로써, 마스크층 형성 재료가 분해·열화된다. 그 결과, 마스크층 (20) 과 투명 기판 (10) 의 접착성이 저하된다. 따라서, 이 경우, 마스크층 형성 재료로는 광의 조사에 의해 분해·열화를 일으키는 성분을 함유하는 재료를 이용하면 된다. 또한, 마스크층 형성 재료의 종류가 상이한 경우에는, 그들 각 마스크층 형성 재료에 대응된 파장의 광을 이용하여 조사하면 된다.
이로써, 마스크층 (20) 을 투명 기판 (10) 으로부터 박리하기 쉽게 함과 함께, 박리한 후의 잔사를 감소시킬 수 있다.
<박막층>
본 발명은 상기 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32), 및 전극층 (40) 이외에, 추가로 복수의 박막층 (복수층) 을 형성할 수 있다. 예를 들어, 추가로 또 1 층의 박막층을 형성하는 경우, 상기 마스크층 형성 공정 전, 또는, 상기 박리 공정 후에, 투명 기판 (10) 의 상면에 추가로 박막층을 형성함과 함께, 그 박막층에 제 3 레이저광을 조사함으로써, 박막층의 일부를 직접 제거 가공 (다이렉트 패터닝) 한다. 이러한 다이렉트 패터닝을 이용함으로써, 박막층을 용이하게 형성할 수 있다.
또, 상기 박리 공정 후에 박막층을 형성한 경우에는, 후술하는 제 3 레이저광의 조사에 의한 그 박막층의 다이렉트 패터닝은, 투명 기판 (10) 상 및 전극층 (40) 상에 형성된 박막층에 대하여, 특히, 그 박막층 중 투명 기판 (10) 상에 직접 형성된 부분에 대하여 실시하면 된다.
한편, 상기 마스크층 형성 공정 전에 박막층을 형성한 경우에는, 후술하는 제 3 레이저광의 조사에 의한 그 박막층의 다이렉트 패터닝은 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32) 및 전극층 (40) 을 형성하기 위한 마스크층의 형성 전에 (즉, 투명 기판 (10) 상에 박막층만이 형성된 상태로) 실시해도 되고, 전극층 (40) 의 형성 후에 (즉, 박막층 상에 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32) 및 전극층 (40) 이 형성된 후에) 실시해도 된다. 또한, 상기 마스크층 형성 공정 전에 박막층을 형성하는 경우에 있어서, 박막층의 다이렉트 패터닝을 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32) 및 전극층 (40) 의 형성 후에 실시하는 경우에는, 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32) 및 전극층 (40) 을 형성하기 위한 마스크층은 투명 기판 (10) 상이 아니라, 가공하기 전의 박막층 상에만 형성하면 되기 때문에, 한층 더 효율적이고 또한 고정밀도인 패턴을 형성하는 것이 가능해진다.
박막층을 다이렉트 패터닝하기 위한 제 3 레이저광은 엑시머 레이저광이나 YAG 레이저광 등으로서, 상기 기술한 마스크층의 개구 및 박리에 이용하는 제 1 레이저광, 제 2 레이저광 (파장이 500 ∼ 1500㎚, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 5J/㎠ 인 레 이저광) 보다 에너지 밀도가 높고, 파장이 500 ∼ 1500㎚, 에너지 밀도가 6 ∼ 40J/㎠ 인 레이저광을 이용하는 것이 바람직하다.
또, 박막층에 이용할 수 있는 재료는 상기 박막층을 다이렉트 패터닝하기 위한 제 3 레이저광의 조사에 의해 직접 제거 가공이 가능한 재료이면 되고, 구체적으로는, In2O3, SnO2 등의 산화물이나 Cr, Ti 등의 금속 및 이들 산화물이 바람직하게 예시된다. 즉, 박막층의 재료 및 이용하는 제 3 레이저광은 이들의 조합에 따라 적절하게 선택하면 된다.
이러한 박막층은 제 1 반사 방지층 (30), 제 2 반사 방지층 (32) 및 전극층 (40) 의 형성과 동일한 방법으로 형성할 수 있다. 박막층의 두께는 통상 0.2㎛ 정도로 하지만, 이 두께를 조정하는 방법도 제 1 반사 방지층, 제 2 반사 방지층 및 전극층 (40) 과 동일하다.
또, 본 발명은 예를 들어, 상기 바람직한 실시예에 있어서의 각 공정의 순서를 적절하게 교체하거나, 또 다른 박막을 형성하는 공정을 더해도 된다.
또, 본 발명은 크롬 산화물 및/또는 티탄 산화물로 이루어지는 제 1 반사 방지층과, Cr 및/또는 Ti 로 이루어지는 제 2 반사 방지층과, Cu 로 이루어지는 전극층을 갖는 전극 및/또는 블랙 스트라이프가 부착된 플라즈마 디스플레이 기판이며, 이상에 나타낸 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법으로 제조할 수 있다.
본 발명의 전극 및/또는 블랙 스트라이프가 부착된 플라즈마 디스플레이 기 판에 있어서, 제 1 반사 방지층과, 제 2 반사 방지층과, 전극층은 이 순서로 기판 상에 적층되어 있지만, 각 층의 사이에 다른 층이 형성되어 있어도 된다.
다음으로, 이상의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법으로 제조된, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및 블랙 스트라이프가 부착된 플라즈마 디스플레이 전면 기판에 대하여, 도 6 및 도 7을 이용하여 설명한다.
도 6 은 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법으로 형성된, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 (62) 및 블랙 스트라이프 (61) 가 부착된 투명 기판 (60) 의 일례를 나타내고 있다. 또, 도 7 은 도 6 의 A-A' 선 단면도를 나타내고 있다.
도 7 에 나타내는 바와 같이, 투명 기판 (60) 의 상면에, 제 1 반사 방지층 (63), 제 2 반사 방지층 (64), 전극층 (66), 보호층 (68) 의 순서로 형성되어 있다. 이러한 층 구조로 함으로써, 블랙 스트라이프뿐만 아니라, 버스 전극, 표시 전극부에도 반사 방지층이 형성되기 때문에, 외광 등의 반사가 보다 억제되고, 이것을 이용하여 이루어지는 PDP 표시 장치 상에 선명한 화상을 형성할 수 있다.
이들 층 전체의 기판측 (투명 기판 (60) 측) 으로부터의 가시광 반사율은 50% 이하, 특히 40% 이하인 것이 바람직하고, 10% 이하인 것이 더욱 바람직하다. 이 범위의 가시광 반사율이 되도록 하면, 이것을 이용하여 이루어지는 PDP 표시 장치 상에 보다 선명한 화상을 형성할 수 있다.
또, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극은, 종래, 버스 전극으로서 이용되고 있는 전극층을 표시 전극으로서 이용하고 있기 때문에, 종래의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극과 같이, 먼저, 투명 전극으로 이루어지는 표시 전극을 형성하고, 그 후, 그 표시 전극의 일부에 버스 전극을 형성할 필요는 없다. 따라서, 보다 단시간, 저비용으로, 보다 확실하게 플라즈마 디스플레이 기판용 전극을 제조할 수 있다.
또, 전극 및 블랙 스트라이프를 동일한 공정으로 제조할 수 있어, 매우 큰 비용 절감을 기대할 수 있다.
따라서, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극이 부착된 플라즈마 디스플레이 기판을 이용하여 이루어지는 PDP 도, 마찬가지로, 보다 저비용으로 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법으로, 어드레스 전극이 부착된 플라즈마 디스플레이 배면 기판을 제조할 수도 있다. 또한, 이 플라즈마 디스플레이 배면 기판을 이용하여, PDP 를 제조할 수도 있다.
이하, 실시예에 기초하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다.
실시예에 관련되는 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법을 도 8 ∼ 도 10 에 기초하여 설명한다.
본 실시예에 있어서는 마스크층으로서 카본 블랙을 40질량% 함유하는 아크릴 수지로 이루어지는 마스크층 형성 재료로 이루어지는 필름 (이하, 간단하게 「마스크 필름」이라고 한다.) 을 이용하고, 제 1 반사 방지층 형성 재료로서 금속 Cr (순도:99.99% 이상), 제 2 반사 방지층 형성 재료로서 금속 Cr (순도:99.99% 이상), 전극층 형성 재료로서 금속 구리 (순도:99.99% 이상), 보호층 형성 재료로서 금속 Cr (순도:99.99% 이상) 을 이용한다.
마스크 필름 그리고 제 1 반사 방지층, 제 2 반사 방지층, 전극층, 보호층은 도 8 ∼ 도 10 에 나타내는 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프를 형성하는 공정에 의해 형성된다.
도 8 ∼ 도 10 에 나타내는 바와 같이, 실시예에 관련되는 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프의 제조 방법은, (1) 마스크 필름의 부착 공정 (도 8(a)·(b)), (2) 레이저광 조사에 의한 개구부 형성 공정 (도 8(c)), (3) 반사 방지층 형성 공정 (도 9(d)·(e)), (4) 전극층 및 보호층 형성 공정 (도 10(f)·(g)), (5) 레이저광 조사에 의한 마스크층의 박리 공정 (도 10(h)) 을 구비한다.
구체적으로는, 먼저, 유리 기판 (70;도 8(a)) 상에, 두께 15㎛ 의 마스크 필름 (72) 을 필름 라미네이터 (74) 로 균일하게 붙인다 (도 8(b)). 다음으로, 유리 기판 (70) 에 제 1 레이저광으로서 파장이 1064㎚, 에너지 밀도가 1J/㎠ 인 YAG 레이저광을, 포토마스크 (78) 를 사이에 두고 조사한다 (도 8(c)). 이로써, 마스크 필름 (72) 의 개구부의 단면 형상이 역 테이퍼 형상이 된다. 그 후, 이 유리 기판 (70) 을 스퍼터 막 형성 장치 (80) 에 넣고, 유리 기판 (70) 및 마스크 필름 (72) 상에, 제 1 반사 방지층 (82) 인 CrO1 .3 층을 스퍼터 막 형성에 의해 형성한다 (도 9(d)). 이 제 1 반사 방지층 (82) 의 두께는 0.05㎛ 이며, 제 1 반사 방지층 (82) 은 마스크 필름 (72) 상과 유리 기판 (70) 상으로 완전하게 분리되어 막 형성된다. 그리고 추가로 동일한 스퍼터 막 형성 장치 (80) 를 이용하여, 제 1 반사 방지층 (82) 상에, 제 2 반사 방지층 (84) 인 Cr 층, 전극층 (86) 인 Cu 층, 보호층 (88) 인 Cr 층의 순서로 각 층을 스퍼터 막 형성한다 (도 9(e) ∼ 도 10(g)). 각각의 층의 두께는 제 2 반사 방지층 (84) 이 약 0.08㎛, 전극층 (86) 이 약 3㎛, 보호층 (88) 이 약 0.1㎛ 이다.
각각의 층은 마스크 필름 (72) 상과 유리 기판 (70) 상으로 완전하게 분리되어 막 형성된다.
그리고 마지막으로, 제 2 레이저광으로서 파장이 1064㎚, 에너지 밀도가 0.25J/㎠ 인 YAG 레이저광을, 유리 기판 (70) 의 측으로부터 마스크 필름 (72) 에 조사하여, 마스크 필름 (72) 을 유리 기판 (70) 으로부터 박리한다 (도 10(h)).
이상의 공정에 의해, 도 6 및 도 7 에 나타낸 바과 같은 플라즈마 디스플레이 기판용 전극 및/또는 블랙 스트라이프를 제조할 수 있다. 또, 이 표시 전극은 ITO 와 동등 이하의 저항을 갖고, 우수한 콘트라스트를 갖고 있다. 또, 유전체에 의한 침식도 확인되지 않는다.
본 발명에 의하면, 전극이나 블랙 스트라이프를 동일 재료로, 저가이고, 저 저항이며, 유전체에 의한 침식 등이 낮은 재료로 투명 기판에 형성하여 플라즈마 디스플레이 기판을 제조할 수 있고, 또한 그 플라즈마 디스플레이 기판을 이용하여 선명한 화상을 표시할 수 있는 플라즈마 디스플레이 장치를 제조할 수 있다.
또한, 2004년 9월 27일에 출원된 일본 특허 출원 2004-279497호의 명세서, 특허 청구의 범위, 도면 및 요약서의 전체 내용을 여기에 인용하여, 본 발명의 명세서의 개시로서 도입한 것이다.
Claims (37)
- 투명 기판 상에 마스크층을 형성하는 마스크층 형성 공정과,제 1 레이저광을 조사하여 상기 마스크층에 개구부를 형성하는 개구부 형성 공정과,상기 투명 기판 상 및 상기 마스크층 상에 반사 방지층을 형성하는 반사 방지층 형성 공정으로서, 상기 반사 방지층은 제 1 반사 방지층 및 제 2 반사 방지층을 포함하며 상기 제 1 반사 방지층 및 상기 제 2 반사 방지층 각각으로부터의 반사광을 간섭시킴으로써 반사를 저감시키고, 상기 제 1 반사 방지층은 투명하며 파장 550 nm 에서 1.9 내지 2.8 의 굴절률을 가지고, 상기 제 2 반사 방지층은 Cr, Ti, 또는 Cr 및 Ti 로 형성되는, 상기 반사 방지층 형성 공정과,상기 반사 방지층의 상면측에 전극층을 형성하는 전극층 형성 공정과,상기 마스크층을 상기 투명 기판 상으로부터 박리하는 박리 공정을 구비하는, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 박리 공정에서는, 제 2 레이저광을 조사하여 상기 마스크층을 상기 투명 기판 상으로부터 박리하는 것을 특징으로 하는, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 반사 방지층이 크롬 산화물, 티탄 산화물, 또는 크롬 산화물 및 티탄 산화물로 이루어지는, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 마스크층이 유기 재료로 구성되어 있는, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 마스크층이 흑색 안료 또는 흑색 염료를 10 ∼ 99질량% 함유하는 재료로 구성되어 있는, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 마스크층의 층 두께가 5 ∼ 20㎛ 인, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 레이저광 또는 상기 제 2 레이저광은, 파장이 500 ∼ 1500㎚ 이고, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 5J/㎠ 의 레이저광인, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 제 2 레이저광은, 파장이 500 ∼ 1500㎚ 이고, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 1J/㎝2 의 레이저광인, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 마스크층의 상기 제 2 레이저광에 대한 흡수율이 상기 반사 방지층의 상기 제 2 레이저광에 대한 흡수율의 2 배 이상인, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 1 항, 제 2 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 마스크층의 상기 제 1 레이저광에 대한 흡수율이 70% 이상인, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 1 항, 제 2 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 개구부가 오버행 형상 또는 역 테이퍼 형상인, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 1 항, 제 2 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 전극층이, 구리, 은, 알루미늄 또는 금으로 이루어지고, 그 전극층에 Cr, Ti, 또는 Cr 및 Ti 를 함유시켜 이루어지는, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 1 항, 제 2 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 전극층 형성 공정 후에, Cr, Ti, 또는 Cr 및 Ti 로 이루어지는 층을 형성하는 Cr·Ti 층 형성 공정을 구비하는, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 제 1 항, 제 2 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 마스크층 형성 공정 전 또는 상기 박리 공정 후에, 박막층을 형성하고, 상기 박막층에 제 3 레이저광을 조사함으로써 상기 박막층을 다이렉트 패터닝하는 공정을 구비하는, 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법.
- 삭제
- 제 1 항에 기재된 플라즈마 디스플레이 기판용 전극의 제조 방법으로 제조되는 전극이 부착된, 플라즈마 디스플레이 기판.
- 투명 기판으로부터크롬 산화물, 티탄 산화물, 또는 크롬 산화물 및 티탄 산화물로 이루어지는 제 1 반사 방지층과,Cr, Ti, 또는 Cr 및 Ti 로 이루어지는 제 2 반사 방지층과,Cu 로 이루어지는 전극층의 순서로 상기 투명 기판 상에 상기 제 1 반사 방지층, 상기 제 2 반사 방지층 및 상기 전극층을 갖는 전극이 부착되고,상기 제 1 반사 방지층은 투명하며 파장 550 nm 에서 1.9 내지 2.8 의 굴절률을 가지고, 상기 제 2 반사 방지층은 Cr, Ti, 또는 Cr 및 Ti 로 형성되고, 상기 제 1 반사 방지층 및 상기 제 2 반사 방지층은 상기 제 1 반사 방지층 및 상기 제 2 반사 방지층 각각으로부터의 반사광을 간섭시킴으로써 반사를 저감시키는, 플라즈마 디스플레이 기판.
- 제 16 항에 있어서,상기 플라즈마 디스플레이 기판이 플라즈마 디스플레이 전면 기판이며, 상기 전극의 기판측으로부터의 가시광 반사율이 50% 이하인 것을 특징으로 하는, 플라즈마 디스플레이 기판.
- 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 기재된 플라즈마 디스플레이 기판을 이용하여 이루어지는, 플라즈마 디스플레이 패널.
- 투명 기판 상에 마스크층을 형성하는 마스크층 형성 공정과,제 1 레이저광을 조사하여 상기 마스크층에 개구부를 형성하는 개구부 형성 공정과,상기 투명 기판 상 및 상기 마스크층 상에 반사 방지층을 형성하는 반사 방지층 형성 공정으로서, 상기 반사 방지층은 제 1 반사 방지층 및 제 2 반사 방지층을 포함하며 상기 제 1 반사 방지층 및 상기 제 2 반사 방지층 각각으로부터의 반사광을 간섭시킴으로써 반사를 저감시키고, 상기 제 1 반사 방지층은 투명하며 파장 550 nm 에서 1.9 내지 2.8 의 굴절률을 가지고, 상기 제 2 반사 방지층은 Cr, Ti, 또는 Cr 및 Ti 로 형성되는, 상기 반사 방지층 형성 공정과,상기 반사 방지층의 상면측에 전극층을 형성하는 전극층 형성 공정과,상기 마스크층을 상기 투명 기판 상으로부터 박리하는 박리 공정을 구비하는, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항에 있어서,상기 박리 공정에서는, 제 2 레이저광을 조사하여 상기 마스크층을 상기 투명 기판 상으로부터 박리하는 것을 특징으로 하는, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항 또는 제 21 항에 있어서,상기 제 1 반사 방지층이 크롬 산화물, 티탄 산화물, 또는 크롬 산화물 및 티탄 산화물로 이루어지는, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항 또는 제 21 항에 있어서,상기 마스크층이 유기 재료로 구성되어 있는, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항 또는 제 21 항에 있어서,상기 마스크층이 흑색 안료 또는 흑색 염료를 10 ∼ 99질량% 함유하는 재료로 구성되어 있는, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항 또는 제 21 항에 있어서,상기 마스크층의 층 두께가 5 ∼ 20㎛ 인, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항 또는 제 21 항에 있어서,상기 제 1 레이저광 또는 상기 제 2 레이저광은, 파장이 500 ∼ 1500㎚ 이고, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 5J/㎠ 의 레이저광인, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 24 항에 있어서,상기 제 2 레이저광은, 파장이 500 ∼ 1500㎚ 이고, 에너지 밀도가 0.1 ∼ 1J/㎝2 의 레이저광인, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 21 항에 있어서,상기 마스크층의 상기 제 2 레이저광에 대한 흡수율이 상기 반사 방지층의 상기 제 2 레이저광에 대한 흡수율의 2 배 이상인, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항, 제 21 항 또는 제 28 항에 있어서,상기 마스크층의 상기 제 1 레이저광에 대한 흡수율이 70% 이상인, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항, 제 21 항 또는 제 28 항에 있어서,상기 개구부가 오버행 형상 또는 역 테이퍼 형상인, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항, 제 21 항 또는 제 28 항에 있어서,상기 전극층이, 구리, 은, 알루미늄 또는 금으로 이루어지고, 그 전극층에 Cr, Ti, 또는 Cr 및 Ti 를 함유시켜 이루어지는, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항, 제 21 항 또는 제 28 항에 있어서,상기 전극층 형성 공정 후에, Cr, Ti, 또는 Cr 및 Ti 로 이루어지는 층을 형성하는 Cr·Ti 층 형성 공정을 구비하는, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항, 제 21 항 또는 제 28 항에 있어서,상기 마스크층 형성 공정 전 또는 상기 박리 공정 후에, 박막층을 형성하고, 상기 박막층에 제 3 레이저광을 조사함으로써 상기 박막층을 다이렉트 패터닝하는 공정을 구비하는, 블랙 스트라이프의 제조 방법.
- 제 20 항에 기재된 블랙 스트라이프의 제조 방법으로 제조되는 블랙 스트라이프가 부착된, 플라즈마 디스플레이 기판.
- 투명 기판으로부터크롬 산화물, 티탄 산화물, 또는 크롬 산화물 및 티탄 산화물로 이루어지는 제 1 반사 방지층과,Cr, Ti, 또는 Cr 및 Ti 로 이루어지는 제 2 반사 방지층과,Cu 로 이루어지는 전극층의 순서로 상기 투명 기판 상에 상기 제 1 반사 방지층, 상기 제 2 반사 방지층 및 상기 전극층을 갖는 블랙 스트라이프가 부착되고,상기 제 1 반사 방지층은 투명하며 파장 550 nm 에서 1.9 내지 2.8 의 굴절률을 가지고, 상기 제 2 반사 방지층은 Cr, Ti, 또는 Cr 및 Ti 로 형성되고, 상기 제 1 반사 방지층 및 상기 제 2 반사 방지층은 상기 제 1 반사 방지층 및 상기 제 2 반사 방지층 각각으로부터의 반사광을 간섭시킴으로써 반사를 저감시키는, 플라즈마 디스플레이 기판.
- 제 34 항에 있어서,상기 플라즈마 디스플레이 기판이 플라즈마 디스플레이 전면 기판이며, 상기 블랙 스트라이프의 기판측으로부터의 가시광 반사율이 50% 이하인 것을 특징으로 하는, 플라즈마 디스플레이 기판.
- 제 34 항 내지 제 36 항 중 어느 한 항에 기재된 플라즈마 디스플레이 기판을 이용하여 이루어지는, 플라즈마 디스플레이 패널.
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