KR100979263B1 - Driving Thin Film Transistor for Active Matrix type Organic Light Emitting Diode Device and Active Matrix type Organic Light Emitting Diode Device having the Driving Thin Film Transistor - Google Patents

Driving Thin Film Transistor for Active Matrix type Organic Light Emitting Diode Device and Active Matrix type Organic Light Emitting Diode Device having the Driving Thin Film Transistor Download PDF

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Abstract

본 발명에서는 소자 신뢰성이 향상된 버텀게이트 구조 AMOLED용 박막트랜지스터 및 상기 박막트랜지스터를 포함하는 AMOLED를 제공하기 위하여, 소스 전극과 드레인 전극 간의 이격 구간을 환(環)형상 또는 환형상에서 응용된 구조로 형성하여, 채널 폭이 채널 둘레 길이에 대응되는 값을 가지고, 채널 길이가 소스 전극과 드레인 전극 간 이격 구간에 해당되므로, 종래와 다른 게이트, 소스, 드레인 구조를 취하여 소자 신뢰성을 높임으로써, 비정질 실리콘 물질을 반도체층으로 이용하는 버텀게이트형 박막트랜지스터의 신뢰성을 획기적으로 개선함으로써, AMOLED용 구동용 박막트랜지스터로 용이하게 적용할 수 있으며, 기존 비정질 실리콘 박막트랜지스터를 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터로 적용함으로써 관련분야에의 파급효과를 크게 할 수 있는 장점을 가진다.
In the present invention, in order to provide a bottom gate structure AMOLED thin film transistor with improved device reliability and an AMOLED including the thin film transistor, a spaced interval between the source electrode and the drain electrode is formed in a ring or annular structure. Since the channel width has a value corresponding to the channel circumferential length, and the channel length corresponds to the separation interval between the source electrode and the drain electrode, the gate, source, and drain structures different from those of the related art are taken to increase the device reliability, thereby improving the amorphous silicon material. By dramatically improving the reliability of the bottom gate type thin film transistor used as a semiconductor layer, it can be easily applied as a driving thin film transistor for AMOLED, and by applying the existing amorphous silicon thin film transistor as a driving thin film transistor for AMOLED, The benefits that can increase the ripple effect Have

Description

액티브 매트릭스형 유기전계발광 소자용 구동용 박막트랜지스터 및 상기 구동용 박막트랜지스터를 포함하는 액티브 매트릭스형 유기전계발광 소자 {Driving Thin Film Transistor for Active Matrix type Organic Light Emitting Diode Device and Active Matrix type Organic Light Emitting Diode Device having the Driving Thin Film Transistor} (Driving Thin Film Transistor for Active Matrix Type Organic Light Emitting Diode Device and Active Matrix Type Organic Light Emitting Diode including the driving thin film transistor for active matrix type organic light emitting diode and the driving thin film transistor) Device having the Driving Thin Film Transistor}             

도 1은 종래의 유기전계발광 소자 패널에 대한 단면도. 1 is a cross-sectional view of a conventional organic light emitting device panel.

도 2는 일반적인 AMOLED의 한 화소부에 대한 등가회로도. 2 is an equivalent circuit diagram of one pixel portion of a general AMOLED.

도 3a, 3b는 종래의 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터에 대한 도면으로서, 도 3a는 평면도이고, 도 3b는 상기 도 3a의 절단선 IIIb-IIIb에 따라 절단된 단면을 도시한 단면도. 3A and 3B are views of a conventional thin film transistor for driving AMOLED, FIG. 3A is a plan view, and FIG. 3B is a cross-sectional view showing a section cut along the cutting line IIIb-IIIb of FIG. 3A.

도 4a, 4b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터에 대한 도면으로서, 도 4a는 평면도이고, 도 4b는 상기 도 4a의 절단선 IVb-IVb에 따라 절단된 단면을 도시한 단면도. 4A and 4B are views illustrating a driving thin film transistor for AMOLED according to a first embodiment of the present invention. FIG. 4A is a plan view, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the cutting line IVb-IVb of FIG. 4A. One section.

도 5a, 5b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터에 대한 도면으로서, 도 5a는 평면도이고, 도 5b는 상기 도 5a의 절단선 Vb-Vb에 따라 절단된 단면을 도시한 단면도. 5A and 5B are views illustrating a driving thin film transistor for AMOLED according to a second embodiment of the present invention. FIG. 5A is a plan view, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along the cutting line Vb-Vb of FIG. 5A. One section.                 

도 6 내지 8은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터에 대한 도면. 6 to 8 are drawings of a driving thin film transistor for AMOLED according to a third embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 AMOLED에 대한 평면도. 9 is a plan view of an AMOLED according to a fourth embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 AMOLED에 대한 평면도.
10 is a plan view of an AMOLED according to a fifth embodiment of the present invention;

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >Description of the Related Art

110 : 기판 112 : 게이트 전극 110 substrate 112 gate electrode

116 : 반도체층 118 : 소스 전극116: semiconductor layer 118: source electrode

120 : 드레인 전극 120: drain electrode

ch : 채널 ch: channel

W : 채널폭 W: channel width

L : 채널길이
L: Channel Length

본 발명은 유기전계발광 소자(Organic Light Emitting Diode Device ; 이하, AMOLED로 약칭함)에 관한 것이며, 액티브 매트릭스형 유기전계발광 소자의 구동용 박막트랜지스터에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting diode device (hereinafter abbreviated as AMOLED), and to a thin film transistor for driving an active matrix organic light emitting diode.

상기 유기전계발광 소자를 포함한 평판디스플레이(FPD ; Flat Panel Display) 분야에서, 지금까지는 가볍고 전력소모가 적은 액정표시장치(LCD ; Liquid Crystal Display Device)가 가장 주목받는 디스플레이 소자였지만, 상기 액정표시장치는 발광소자가 아니라 수광소자이며 밝기, 콘트라스트(contrast), 시야각, 그리고 대면적화 등에 기술적 한계가 있기 때문에 이러한 단점을 극복할 수 있는 새로운 평판디스플레이 소자에 대한 개발이 활발하게 전개되고 있다. In the field of flat panel display (FPD) including the organic light emitting device, a liquid crystal display device (LCD) has been the most noticeable display device until now, but the liquid crystal display device Since the light-receiving device, not the light-emitting device, has technical limitations such as brightness, contrast, viewing angle, and large area, development of a new flat panel display device capable of overcoming these disadvantages is being actively developed.

새로운 평판디스플레이 중 하나인 상기 유기전계발광 소자는 자체발광형이기 때문에 액정표시장치에 비해 시야각, 콘트라스트 등이 우수하며 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량박형이 가능하고, 소비전력 측면에서도 유리하다. 그리고, 직류저전압 구동이 가능하고 응답속도가 빠르며 전부 고체이기 때문에 외부충격에 강하고 사용온도범위도 넓으며 특히 제조비용 측면에서도 저렴한 장점을 가지고 있다. The organic light emitting display device, which is one of the new flat panel displays, has a better viewing angle, contrast, and the like than a liquid crystal display because it is self-luminous, and is lightweight and thinner because it does not require a backlight. In addition, since it is possible to drive DC low voltage, fast response speed, and all solid, it is strong against external shock, wide use temperature range, and especially inexpensive in terms of manufacturing cost.

특히, 상기 유기전계발광 소자의 제조공정에는, 액정표시장치나 PDP(Plasma Display Panel)와 달리 증착 및 봉지(encapsulation) 장비가 전부라고 할 수 있기 때문에, 공정이 매우 단순하다. In particular, unlike the liquid crystal display device or the plasma display panel (PDP), all of the deposition and encapsulation equipments are manufactured in the organic electroluminescent device manufacturing process. Therefore, the process is very simple.

특히, 각 화소마다 스위칭 소자인 박막트랜지스터를 가지는 액티브 매트릭스방식으로 유기전계발광 소자를 구동하게 되면, 낮은 전류를 인가하더라도 동일한 휘도를 나타내므로 저소비전력, 고정세, 대형화가 가능한 장점을 가진다. In particular, when the organic light emitting display device is driven by an active matrix method having a thin film transistor as a switching device for each pixel, the same luminance is displayed even when a low current is applied, and thus, low power consumption, high definition, and large size can be obtained.

이하, 이러한 액티브 매트릭스형 유기전계발광 소자(이하, AMOLED로 약칭함)의 기본적인 구조 및 동작특성에 대해서 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, the basic structure and operation characteristics of the active matrix organic electroluminescent device (hereinafter abbreviated as AMOLED) will be described in detail with reference to the drawings.

이하, 도 1은 종래의 AMOLED에 대한 전체 단면도이다. 1 is an overall cross-sectional view of a conventional AMOLED.                         

도시한 바와 같이, 제 1, 2 기판(10, 60)이 서로 대향되게 배치되어 있고, 제 1 기판(10) 상에는 화면을 구현하는 최소 단위인 화소 영역(P)별로 박막트랜지스터(T)를 포함하는 어레이 소자층(AL)이 형성되어 있으며, 상기 어레이 소자층(AL) 상부에는 제 1 전극(48), 유기발광층(54), 제 2 전극(56)이 차례대로 적층된 구조의 유기전계발광 다이오드 소자(E)가 형성되어 있다. 유기발광층(54)으로부터 발광된 빛은 제 1, 2 전극(48, 56) 중 투광성을 가지는 전극 쪽으로 발광되어, 상부발광 또는 하부발광 방식으로 분류할 수 있으며, 한 예로 제 1 전극(48)이 투광성 물질에서 선택되어 유기발광층(54)에서 발광된 빛이 제 1 전극(48)쪽으로 발광되는 하부발광 방식 구조를 제시하였다. As illustrated, the first and second substrates 10 and 60 are disposed to face each other, and the thin film transistor T is included on the first substrate 10 for each pixel region P, which is a minimum unit for implementing a screen. An array element layer AL is formed, and an organic light emitting diode having a structure in which a first electrode 48, an organic light emitting layer 54, and a second electrode 56 are sequentially stacked on the array element layer AL. The diode element E is formed. The light emitted from the organic light emitting layer 54 is emitted toward the transmissive electrode of the first and second electrodes 48 and 56, and may be classified into an upper light emitting method or a lower light emitting method. The bottom emission type structure in which the light emitted from the organic light emitting layer 54 selected from the light-transmitting material is emitted toward the first electrode 48 is provided.

그리고, 상기 제 2 기판(60)은 일종의 인캡슐레이션 기판으로서, 그 내부에는 오목부(62)가 형성되어 있고, 오목부(62) 내에는 외부로부터의 수분흡수를 차단하여 유기전계발광 다이오드 소자(E)를 보호하기 위한 흡습제(64)가 봉입되어 있다. In addition, the second substrate 60 is a kind of encapsulation substrate, and a recess 62 is formed therein, and an organic light emitting diode device is blocked in the recess 62 to absorb moisture from the outside. The moisture absorbent 64 for protecting (E) is enclosed.

상기 제 1, 2 기판(10, 60)의 가장자리부는 씰패턴(70)에 의해 봉지되어 있다. Edge portions of the first and second substrates 10 and 60 are sealed by a seal pattern 70.

이하, 도 2는 일반적인 AMOLED의 한 화소부에 대한 등가회로도이다. 2 is an equivalent circuit diagram of one pixel portion of a general AMOLED.

도시한 바와 같이, 제 1 방향으로 주사신호가 인가되는 게이트 라인(GL ; gate line)이 형성되어 있고, 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 서로 이격되게 화상신호가 인가되는 데이터 라인(DL ; data line)과 전력신호가 인가되는 전력공급 라인(PL ; power supply line)이 형성되어 있고, 상기 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), 전력공급 라인(PL)이 교차되는 영역은 화소 영역(P)으로 정의된다. As shown, a gate line (GL) is formed in which a scan signal is applied in a first direction, and a data line (DL) in which image signals are applied to be spaced apart from each other in a second direction crossing the first direction; A power supply line PL to which a data line and a power signal are applied is formed, and an area where the gate line GL, the data line DL, and the power supply line PL intersect is a pixel area. It is defined as (P).

상기 화소 영역(P)에는, 상기 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL)에서 인가되는 전압을 제어하는 스위칭용 박막트랜지스터(Ts ; switching thin film transistor)와, 상기 스위칭용 박막트랜지스터(Ts)의 어느 한 구동 전극과 전력공급 라인(PL)에서 인가되는 전압을 이용하여 발광휘도를 조절하는 구동용 박막트랜지스터(Td)가 형성되어 있다. In the pixel region P, a switching thin film transistor (Ts) for controlling a voltage applied from the gate line GL and the data line DL, and a switching thin film transistor Ts of the switching thin film transistor Ts. A driving thin film transistor Td for controlling light emission luminance is formed by using one of the driving electrodes and the voltage applied from the power supply line PL.

그리고, 상기 스위치용 박막트랜지스터(Ts)용 어느 한 구동 전극은, 상기 전력공급 라인(PL)과 스토리지 커패시터(storage capacitor ; 이하, Cst라 칭함)를 이룬다. The driving electrode for the switch thin film transistor Ts forms a storage capacitor (hereinafter referred to as Cst) with the power supply line PL.

상기 구동용 박막트랜지스터(Td)와 연결되어 유기전계발광 다이오드(E ; Electroluminescent Diode) 소자가 형성되어 있다. An organic light emitting diode (E) element is formed in connection with the driving thin film transistor Td.

종래의 AMOLED용 박막트랜지스터 구조는, 상기 도 1에서 제시한 바와 같이 폴리 실리콘 물질을 반도체 소자로 이용하는 탑게이트(top gate) 구조가 주로 이용되었으나, 최근에는 공정 단순화 및 비용 절감을 목적으로 비정질 실리콘 물질을 반도체 소자로 이용하는 버텀게이트(bottom gate) 구조가 제안되고 있다.
In the conventional AMOLED thin film transistor structure, as shown in FIG. 1, a top gate structure using a polysilicon material as a semiconductor device is mainly used, but recently, an amorphous silicon material is used for the purpose of process simplification and cost reduction. A bottom gate structure using a semiconductor device as a semiconductor device has been proposed.

도 3a, 3b는 종래의 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터에 대한 도면으로서, 도 3a는 평면도이고, 도 3b는 상기 도 3a의 절단선 IIIb-IIIb에 따라 절단된 단면을 도시한 단면도이다. 3A and 3B are views of a conventional thin film transistor for driving AMOLED. FIG. 3A is a plan view, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the cut line IIIb-IIIb of FIG. 3A.

도시한 바와 같이, 기판(80) 상에, 게이트 전극(82)이 형성되어 있고, 게이 트 전극(82)을 덮는 영역에 게이트 절연막(84)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(84) 상부의 게이트 전극(82)을 덮는 영역에는 반도체층(86)이 형성되어 있고, 반도체층(86) 상부에는 서로 이격되게 소스 전극(88) 및 드레인 전극(90)이 형성되어 있다. As shown, a gate electrode 82 is formed on the substrate 80, a gate insulating film 84 is formed in a region covering the gate electrode 82, and a gate over the gate insulating film 84. The semiconductor layer 86 is formed in an area covering the electrode 82, and the source electrode 88 and the drain electrode 90 are formed on the semiconductor layer 86 so as to be spaced apart from each other.

상기 소스 전극(88) 및 드레인 전극(90)은 게이트 전극(82)의 양측부와 일정간격 중첩되게 위치한다. The source electrode 88 and the drain electrode 90 are positioned to overlap both sides of the gate electrode 82 at a predetermined interval.

상기 반도체층(86)은 순수 비정질 실리콘 물질로 이루어진 액티브층(86a)과, 불순물 비정질 실리콘 물질로 이루어진 오믹콘택층(86b)으로 이루어지고, 상기 소스 전극(88)과 드레인 전극(90) 사이 구간에는 불순물 비정질 실리콘 물질이 제거되고, 그 하부층을 이루는 액티브층 물질이 노출된 채널(ch)이 형성되어 있다. The semiconductor layer 86 includes an active layer 86a made of pure amorphous silicon material and an ohmic contact layer 86b made of impurity amorphous silicon material, and a section between the source electrode 88 and the drain electrode 90. An impurity amorphous silicon material is removed and a channel ch is formed in which the active layer material constituting the lower layer is exposed.

상기 채널폭(W)은 캐리어 이동 방향과 직교되는 방향, 채널 길이(L)는 소스 전극(88)과 드레인 전극(90) 간의 이격 거리와 대응되는 값을 가진다. The channel width W is a direction orthogonal to the carrier movement direction, and the channel length L has a value corresponding to the separation distance between the source electrode 88 and the drain electrode 90.

이러한 기존의 버텀게이트 구조 박막트랜지스터는 소스 전극 및 드레인 전극이 구획화되어 있는 형태이고, 이러한 구조의 박막트랜지스터를 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터로 적용할 경우, 비정질 실리콘 물질 자체의 불안정성과 채널 에지부에서의 필드집중 현상 등에 의한 박막트랜지스터 자체의 구조적인 요인에 의하여 박막트랜지스터 소자의 특성이 시간에 따라 퇴화함으로써, 소자 신뢰성에 문제점이 있었다.
The conventional bottom gate structure thin film transistor has a source electrode and a drain electrode partitioned, and when the thin film transistor having such a structure is used as a driving thin film transistor for AMOLED, the instability of the amorphous silicon material itself and Due to the structural factors of the thin film transistor itself due to the field concentration phenomenon, the characteristics of the thin film transistor element deteriorate with time, thereby causing a problem in device reliability.

상기 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에서는 소자 신뢰성이 향상된 비정질 실리콘 물질을 이용하는 버텀게이트 구조 AMOLED용 박막트랜지스터를 제공하는 것을 목적으로 한다.  In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a thin film transistor for the bottom gate structure AMOLED using an amorphous silicon material with improved device reliability.

이를 위하여, 본 발명에서는 채널폭은 캐리어 이동 방향과 교차되는 방향에 해당되므로, 소스 전극과 드레인 전극 간의 이격 구간을 환(環)형상 또는 여기에서 응용된 구조로 형성하여, 채널 폭이 채널 영역의 둘레 길이에 대응되는 값을 가지고, 채널 길이가 소스 전극과 드레인 전극 간의 이격 거리에 해당되므로, 종래와 다른 게이트, 소스, 드레인 구조를 취하여 소자 신뢰성을 높이고자 한다. To this end, in the present invention, since the channel width corresponds to the direction crossing the carrier movement direction, the separation section between the source electrode and the drain electrode is formed in an annular shape or a structure applied here, so that the channel width is Since the channel length corresponds to the separation distance between the source electrode and the drain electrode with a value corresponding to the circumferential length, the device reliability is improved by taking a gate, source, and drain structure different from the conventional method.

또한, 본 발명의 또 하나의 목적에서는, 소자 신뢰성 향상과 동시에 컴팩(compact)한 구조를 가지는 AMOLED용 박막트랜지스터를 제공하는 것이다. In addition, another object of the present invention is to provide a thin film transistor for AMOLED having a compact structure while improving device reliability.

이를 위하여, 본 발명에서는 소스 전극 및 드레인 전극을 동심 다각형 구조로 형성하고자 한다.
To this end, the present invention is to form the source electrode and the drain electrode in a concentric polygonal structure.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제 1 특징에서는, 구동용 박막트랜지스터를 포함하는 어레이 소자층과, 상기 구동용 박막트랜지스터와 연결되는 유기전계발광 다이오드 소자를 포함하는 유기전계발광 소자의 구동용 박막트랜지스터에 있어서, 기판 상에 형성된 게이트 전극과; 상기 게이트 전극을 덮는 영역에 형성되며, 순수 비정질 실리콘 물질층과 불순물 비정질 실리콘 물질층이 차례대로 적층된 구조로 이루어진 반도체층과; 상기 반도체층 상의 중앙부에 위치하는 원형 패턴 구조의 제 1 구동 전극과; 상기 제 1 구동 전극을 포위하는 구조로, 상기 제 1 구동 전극과 일정간격 이격되게 환형상으로 이루어진 제 2 구동 전극을 포함하며, 상기 제 1 구동 전극은 소스 전극 또는 드레인 전극 중 어느 한 전극이고, 상기 제 2 구동 전극은 소스 전극 또는 드레인 전극 중 나머지 한 전극이며, 상기 제 1, 제 2 구동 전극의 이격 구간에 순수 반도체 물질 영역으로 이루어진 채널이 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 다이오드 소자의 구동용 박막트랜지스터를 제공한다. In order to achieve the above object, in a first aspect of the present invention, an organic electroluminescent device for driving an organic light emitting diode device comprising an array element layer including a driving thin film transistor and an organic light emitting diode element connected to the driving thin film transistor. A thin film transistor, comprising: a gate electrode formed on a substrate; A semiconductor layer formed in a region covering the gate electrode and having a structure in which a pure amorphous silicon material layer and an impurity amorphous silicon material layer are sequentially stacked; A first driving electrode having a circular pattern structure positioned at a central portion on the semiconductor layer; A structure surrounding the first driving electrode, the second driving electrode having an annular shape spaced apart from the first driving electrode by a predetermined distance, wherein the first driving electrode is any one of a source electrode and a drain electrode, The second driving electrode is the other of the source electrode and the drain electrode, and the organic light emitting diode device is characterized in that a channel consisting of a pure semiconductor material region is formed in the interval between the first and second driving electrodes. Provides a thin film transistor for.

본 발명의 제 2 특징에서는, 구동용 박막트랜지스터를 포함하는 어레이 소자층과, 상기 구동용 박막트랜지스터와 연결되는 유기전계발광 다이오드 소자를 포함하는 유기전계발광 소자의 구동용 박막트랜지스터에 있어서, 기판 상에 형성된 게이트 전극과; 상기 게이트 전극을 덮는 영역에 형성되며, 순수 비정질 실리콘 물질층과 불순물 비정질 실리콘 물질층이 차례대로 적층된 구조로 이루어진 반도체층과; 상기 반도체층 상의 중앙부에 위치하는 다각형 패턴 구조의 제 1 구동 전극과; 상기 제 1 구동 전극을 포위하는 구조로, 상기 제 1 구동 전극과 일정간격 이격되게 위치하며 다각형 틀형상을 가지는 제 2 구동 전극을 포함하며, 상기 제 1 구동 전극은 소스 전극 또는 드레인 전극 중 어느 한 전극이고, 상기 제 2 구동 전극은 소스 전극 또는 드레인 전극 중 나머지 한 전극이며, 상기 제 1, 제 2 구동 전극의 이격 구간에 순수 비정질 실리콘 물질 영역으로 이루어진 채널이 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 다이오드 소자의 구동용 박막트랜지스터를 제공한다. According to a second aspect of the present invention, there is provided a thin film transistor for driving an organic electroluminescent element comprising an array element layer including a driving thin film transistor and an organic light emitting diode element connected to the driving thin film transistor. A gate electrode formed on the; A semiconductor layer formed in a region covering the gate electrode and having a structure in which a pure amorphous silicon material layer and an impurity amorphous silicon material layer are sequentially stacked; A first driving electrode having a polygonal pattern structure positioned at a central portion on the semiconductor layer; A structure surrounding the first driving electrode, the second driving electrode being spaced apart from the first driving electrode at a predetermined interval and having a polygonal frame shape, wherein the first driving electrode is any one of a source electrode and a drain electrode. And the second driving electrode is the other of the source electrode and the drain electrode, and an organic electroluminescent light emitting device, characterized in that a channel composed of a pure amorphous silicon material region is formed in the interval between the first and second driving electrodes. Provided is a thin film transistor for driving a diode element.

상기 제 1, 2 특징에 따른 상기 채널의 폭은 제 1 패턴의 내측과, 제 2 패턴의 외측의 중간지점에서의 둘레 길이에 해당되고, 상기 채널의 길이는 상기 소스 전극 및 드레인 전극 간의 이격거리와 대응되는 값을 가지는 것을 특징으로 한다. The width of the channel according to the first and second features corresponds to a circumferential length at an intermediate point of an inner side of the first pattern and an outer side of the second pattern, and the length of the channel is a separation distance between the source electrode and the drain electrode. And having a value corresponding to.

상기 제 2 특징에 따른, 상기 제 1, 제 2 구동 전극은, 사각형, 삼각형, 십자형 패턴 구조 중 어느 하나를 가지는 것을 특징으로 한다. According to the second aspect, the first and second driving electrodes may have any one of a square, a triangle, and a cross pattern structure.

상기 제 1, 2 특징에 따른 상기 구동용 반도체층은, 방사상 구조를 이루는 다수 개로 분할된 패턴으로 이루어지고, 상기 다수 개의 반도체층과 대응된 위치에서, 상기 채널은 다수 개로 이루어져, 상기 채널과 대응되게 다수 개의 박막트랜지스터가 병렬 구조로 연결되어 하나의 구동용 박막트랜지스터를 이루는 것을 특징으로 한다. The driving semiconductor layer according to the first and second features may include a plurality of divided patterns forming a radial structure, and the plurality of channels may correspond to the channels at positions corresponding to the plurality of semiconductor layers. A plurality of thin film transistors are connected in a parallel structure to form one driving thin film transistor.

본 발명의 제 3 특징에서는, 제 1 방향으로 형성된 게이트 배선과; 상기 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 형성되며 서로 이격되게 위치하는 데이터 배선 및 파워 배선과; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 교차지점에 위치하며, 스위칭용 게이트 전극, 스위칭용 반도체층, 스위칭용 소스 전극, 스위칭용 드레인 전극으로 이루어진 스위칭용 박막트랜지스터와; 상기 스위칭용 드레인 전극과 연결되는 구동용 게이트 전극과; 상기 구동용 게이트 전극을 덮는 영역에 형성된 구동용 반도체층과; 상기 구동용 반도체층 상의 중앙부에 원형 또는 다각형 구조 중 어느 하나로 이루어지며, 상기 파워 배선에서 분기되는 파워 전극과 연결되는 소스 전극과; 상기 소스 전극의 파워 전극과의 연결부를 제외한 영역을 포위하는 구조를 가지며, 상기 소스 전극과 일정간격 이격되며, 환형상 또는 다각형 틀형상 중 어느 하나를 가지고, 연결되는 드레인 전극과; 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 파워 배선이 교차되는 영역은 화소 영역으로 정의되고, 상기 드레인 전극과 연결되어 화소 영역에 형성되는 유기전계발광 다이오드 소자용 전극을 포함하며, 상기 소스 전극 및 드레인 전극의 이격 구간에 반도체층의 순수 비정질 실리콘 물질이 노출된 영역인 채널이 구성되며, 상기 구동용 게이트 전극, 구동용 반도체층, 구동용 소스 전극, 구동용 드레인 전극은 구동용 박막트랜지스터를 이루는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자를 제공한다. According to a third aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device comprising: a gate wiring formed in a first direction; Data and power lines formed in a second direction crossing the first direction and spaced apart from each other; A switching thin film transistor positioned at an intersection point of the gate wiring and the data wiring, the switching thin film transistor comprising a switching gate electrode, a switching semiconductor layer, a switching source electrode, and a switching drain electrode; A driving gate electrode connected to the switching drain electrode; A driving semiconductor layer formed in a region covering the driving gate electrode; A source electrode formed of any one of a circular or polygonal structure in a central portion of the driving semiconductor layer and connected to a power electrode branched from the power wire; A drain electrode having a structure surrounding a region excluding a connection portion of the source electrode with a power electrode, spaced apart from the source electrode at a predetermined interval, and having any one of an annular shape or a polygonal frame shape; A region where the gate wiring, the data wiring, and the power wiring cross each other is defined as a pixel region, and includes an electrode for an organic light emitting diode device formed in the pixel region by being connected to the drain electrode, and spaced apart from the source electrode and the drain electrode. A channel, which is a region in which pure amorphous silicon material of the semiconductor layer is exposed, is formed in the section, and the driving gate electrode, the driving semiconductor layer, the driving source electrode, and the driving drain electrode form a driving thin film transistor. An organic electroluminescent device is provided.

본 발명의 제 4 특징에서는, 제 1 방향으로 형성된 게이트 배선과; 상기 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 형성되며 서로 이격되게 위치하는 데이터 배선 및 파워 배선과; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 교차지점에 위치하며, 스위칭용 게이트 전극, 스위칭용 반도체층, 스위칭용 소스 전극, 스위칭용 드레인 전극으로 이루어진 스위칭용 박막트랜지스터와; 상기 스위칭용 드레인 전극과 연결되는 구동용 게이트 전극과; 상기 구동용 게이트 전극을 덮는 영역에 형성된 구동용 반도체층과; 상기 구동용 반도체층 상의 중앙부에 원형 또는 다각형 구조 중 어느 하나로 이루어지는 드레인 전극과; 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 파워 배선이 교차되는 영역은 화소 영역으로 정의되고, 상기 드레인 전극과 연결되어 화소 영역에 형성되는 유기전계발광 다이오드 소자용 전극과; 상기 드레인 전극과 유기전계발광 다이오드 소자용 전극 간의 연결부를 제외한 영역을 포위하는 구조를 가지며, 상기 드레인 전극과 일정간격 이격되며, 환형상 또는 다각형 틀형상 중 어느 하나를 가지고, 상기 파워 배선에서 분기되는 파워 전극과 연결되는 소스 전극을 포함하며, 상기 소스 전극 및 드레인 전극 간의 이격 구간에 반도체층의 순수 비정질 실리콘 물질이 노출된 영역인 채널이 구성되고, 상기 구동용 게이트 전극, 구동용 반도체 층, 구동용 소스 전극, 구동용 드레인 전극은 구동용 박막트랜지스터를 이루는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자를 제공한다. According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device comprising: a gate wiring formed in a first direction; Data and power lines formed in a second direction crossing the first direction and spaced apart from each other; A switching thin film transistor positioned at an intersection point of the gate wiring and the data wiring, the switching thin film transistor comprising a switching gate electrode, a switching semiconductor layer, a switching source electrode, and a switching drain electrode; A driving gate electrode connected to the switching drain electrode; A driving semiconductor layer formed in a region covering the driving gate electrode; A drain electrode formed of any one of a circular or polygonal structure in a central portion of the driving semiconductor layer; An area where the gate line, the data line, and the power line cross each other is defined as a pixel area, and is connected to the drain electrode and formed in the pixel area; It has a structure surrounding the region except for the connection between the drain electrode and the electrode for the organic light emitting diode device, spaced apart from the drain electrode at regular intervals, and has any one of an annular or polygonal frame shape, branched from the power wiring And a source electrode connected to a power electrode, wherein a channel, which is a region in which pure amorphous silicon material of the semiconductor layer is exposed, is formed in a spaced interval between the source electrode and the drain electrode, and includes the driving gate electrode, the driving semiconductor layer, and the driving electrode. The source electrode and the driving drain electrode provide an organic light emitting display device, which comprises a driving thin film transistor.

상기 제 3, 4 특징에 따른 상기 채널의 폭은, 상기 소스 전극 및 드레인 전극 간의 중간지점에서의 둘레길이이고, 상기 채널의 길이는 상기 소스 전극 및 드레인 전극 간 이격거리에 대응되는 값이고, 상기 유기전계발광 다이오드 소자는, 상기 드레인 전극과 연결되는 제 1 전극과, 유기발광층, 제 2 전극으로 이루어지며, 상기 구동용 반도체층은, 방사상 구조를 이루는 다수 개로 분할된 패턴으로 이루어지고, 상기 다수 개의 반도체층과 대응된 위치에서, 상기 채널은 다수 개로 이루어져, 상기 채널과 대응되게 다수 개의 박막트랜지스터가 병렬 구조로 연결되어 하나의 구동용 박막트랜지스터를 이루는 것을 특징으로 한다. The width of the channel according to the third and fourth features is a circumferential length at an intermediate point between the source electrode and the drain electrode, and the length of the channel corresponds to a separation distance between the source electrode and the drain electrode. The organic light emitting diode device includes a first electrode connected to the drain electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode, and the driving semiconductor layer comprises a plurality of divided patterns forming a radial structure. In a position corresponding to the plurality of semiconductor layers, the channel is formed in plural, and a plurality of thin film transistors are connected in parallel to correspond to the channel to form one driving thin film transistor.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예 들에 대해서, 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명의 하나의 실시예에는, 환형상 채널 구조 AMOLED 구동용 박막트랜지스터에 대한 실시예이다.
In one embodiment of the present invention, an embodiment of a thin film transistor for driving an annular channel structure AMOLED.

-- 제 1 실시예 --First Embodiment

도 4a, 4b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터에 대한 도면으로서, 도 4a는 평면도이고, 도 4b는 상기 도 4a의 절단선 IVb-IVb에 따라 절단된 단면을 도시한 단면도이다. 4A and 4B are views illustrating a driving thin film transistor for AMOLED according to a first embodiment of the present invention. FIG. 4A is a plan view, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the cutting line IVb-IVb of FIG. 4A. One cross section.                     

도시한 바와 같이, 기판(110) 상에 게이트 전극(112)이 형성되어 있고, 게이트 전극(112)을 덮는 영역에는 게이트 절연막(114)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(114) 상부의 게이트 전극(112)을 덮는 영역에는 순수 비정질 실리콘 물질층과 불순물 비정질 실리콘 물질층이 차례대로 적층된 구조의 반도체층(116)이 형성되어 있고, 반도체층(116) 상부의 게이트 전극(112)의 중심영역과 대응된 위치에서 원형의 소스 전극(118)과, 상기 소스 전극(118)을 포위하는 구조로 일정간격 이격되게 바깥쪽으로 환형상의 드레인 전극(120)이 형성되어 있다. As illustrated, a gate electrode 112 is formed on the substrate 110, a gate insulating layer 114 is formed in an area covering the gate electrode 112, and a gate electrode (or an upper portion of the gate insulating layer 114). In the region covering 112, a semiconductor layer 116 having a structure in which a pure amorphous silicon material layer and an impurity amorphous silicon material layer are sequentially stacked is formed, and a center region of the gate electrode 112 on the semiconductor layer 116 is formed. At a corresponding position, a circular source electrode 118 and an annular drain electrode 120 are formed to be spaced apart from each other by a structure surrounding the source electrode 118.

상기 소스 전극(118) 및 드레인 전극(120) 간 이격 구간에는, 상기 반도체층(116)의 순수 반도체 물질이 노출된 영역으로, 두 전극 간의 패턴 형상에 따라 환형상을 가지는 채널(ch)이 구성된 것을 특징으로 한다. In the spaced interval between the source electrode 118 and the drain electrode 120, a pure semiconductor material of the semiconductor layer 116 is exposed, the channel (ch) having an annular shape according to the pattern shape between the two electrodes is configured It is characterized by.

채널폭(W)은, 소스 전극(118)과 드레인 전극(120) 간의 채널의 둘레길이에 대응되는 값을 가지고, 채널길이(L)는 소스 전극(118)과 드레인 전극(120) 간의 이격거리에 해당되므로, 종래와 다른 게이트, 소스, 드레인 구조를 취함으로써 W/L 비를 기존 구조보다 향상시킬 수 있다. The channel width W has a value corresponding to the circumferential length of the channel between the source electrode 118 and the drain electrode 120, and the channel length L is a separation distance between the source electrode 118 and the drain electrode 120. In this case, the W / L ratio can be improved over the existing structure by adopting a gate, source, and drain structure different from those of the related art.

본 실시예 구조에 의하면, 채널(ch)이 각진 에지부를 가지지 않기 때문에 기존의 채널 에지부에서 필드가 집중되는 현상을 방지할 수 있어 소자 수명을 향상시킬 수 있다. According to the present embodiment structure, since the channel ch does not have an angular edge portion, it is possible to prevent the field from being concentrated in the existing channel edge portion, thereby improving device life.

본 실시예에서, 상기 게이트 전극(112) 및 반도체층(116)은 소스 전극(118) 및 드레인 전극(120)과 대응되게 원형 패턴 구조로 형성하였으나, 원형 패턴 구조로 한정되는 것은 아니다. In the present exemplary embodiment, the gate electrode 112 and the semiconductor layer 116 are formed in a circular pattern structure to correspond to the source electrode 118 and the drain electrode 120, but are not limited to the circular pattern structure.                     

또한, 상기 원형 패턴은 타원형 구조를 포함한다. In addition, the circular pattern includes an elliptical structure.

본 발명에서는, 상기 소스 전극과 드레인 전극의 위치가 서로 바뀌어 구성되는 경우도 포함한다.
In this invention, the case where the position of the said source electrode and the drain electrode is mutually changed is also included.

이하, 본 발명의 또 하나의 실시예에서는 소스 전극과 드레인 전극의 이격 구간을 환형상으로 구성하되, 반도체층을 다수 개의 패턴으로 형성하여 병렬 구조로 연결되는 다수 개의 박막트랜지스터로 이루어진 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터 구조에 대한 실시예이다.
Hereinafter, in another embodiment of the present invention, the interval between the source electrode and the drain electrode is configured in an annular shape, but the semiconductor layer is formed in a plurality of patterns for driving the AMOLED comprising a plurality of thin film transistors connected in a parallel structure. An embodiment of a thin film transistor structure.

-- 제 2 실시예 --Second Embodiment

도 5a, 5b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터에 대한 도면으로서, 도 5a는 평면도이고, 도 5b는 상기 도 5a의 절단선 Vb-Vb에 따라 절단된 단면을 도시한 단면도이다. 5A and 5B are views illustrating a driving thin film transistor for AMOLED according to a second embodiment of the present invention. FIG. 5A is a plan view, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along the cutting line Vb-Vb of FIG. 5A. One cross section.

도시한 바와 같이, 기판(210) 상에 원형의 오픈부(211)를 가지는 게이트 전극(212)이 형성되어 있고, 게이트 전극(212)을 덮는 기판 전면에는 게이트 절연막(214)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(214) 상부에는 게이트 전극(212)의 폭방향 영역을 덮는 구조로 아일랜드 패턴 구조의 다수 개의 반도체층(216a, 216b, 216c, 216d)이 방사상 구조로 서로 이격되게 형성되어 있고, 반도체층(216a, 216b, 216c, 216d) 상부에는 게이트 전극(212)의 내측부와 일정간격 중첩되는 위치에서 원형의 오픈부(211)를 덮는 영역에 원형 구조를 가지는 소스 전극(218)과, 소스 전 극(218)을 포위하는 구조로 게이트 전극(212)의 외측과 일정간격 중첩되는 환형상의 드레인 전극(220)이 형성되어 있다. As illustrated, a gate electrode 212 having a circular open portion 211 is formed on the substrate 210, and a gate insulating film 214 is formed on the entire surface of the substrate covering the gate electrode 212. A plurality of semiconductor layers 216a, 216b, 216c, and 216d having an island pattern structure are formed to be spaced apart from each other in a radial structure on the gate insulating layer 214 to cover a width direction region of the gate electrode 212. A source electrode 218 having a circular structure in a region covering the circular open portion 211 at a position overlapping an inner portion of the gate electrode 212 at a predetermined interval on the upper portions 216a, 216b, 216c, and 216d, and a source electrode An annular drain electrode 220 overlapping the outer side of the gate electrode 212 by a predetermined structure is formed in a structure surrounding the 218.

이때, 상기 다수 개의 반도체층(216a, 216b, 216c, 216d)은 각각의 끝단부는 소스 전극(218) 및 드레인 전극(220)과 중첩되게 위치한다. In this case, the ends of each of the plurality of semiconductor layers 216a, 216b, 216c, and 216d are positioned to overlap the source electrode 218 and the drain electrode 220.

본 실시예에서는, 소스 전극(218) 및 드레인 전극(220)이 이루는 환형상의 이격 영역(SA ; standoff area)에 4 개의 반도체층(216a, 216b, 216c, 216d)이 위치하므로, 반도체층(216a, 216b, 216c, 216d)을 포함하는 이격 영역(SA)이 각각의 채널(ch1, ch2, ch3, ch4)을 이루며, 동일한 게이트 신호가 인가되는 병렬 구조의 제 1 내지 제 4 박막트랜지스터(T1, T2, T3, T4)가 구성된다. In the present embodiment, since the four semiconductor layers 216a, 216b, 216c, and 216d are located in the annular standoff area SA formed by the source electrode 218 and the drain electrode 220, the semiconductor layer 216a. , The first to fourth thin film transistors T1 having a parallel structure in which the separation areas SA including the second gates 216b, 216c, and 216d form the respective channels ch1, ch2, ch3, and ch4, and to which the same gate signal is applied. T2, T3, and T4).

즉, 구동용 박막트랜지스터가 가지는 전류는, 상기 제 1 내지 제 4 박막트랜지스터로에서의 전류의 합으로 계산되므로, 기존의 박막트랜지스터보다 전류 공급량을 증가시킬 수 있으므로, 구동 능력을 향상시킬 수 있다. That is, since the current of the thin film transistor for driving is calculated as the sum of the currents in the first to fourth thin film transistors, the current supply amount can be increased compared to the conventional thin film transistor, so that the driving capability can be improved.

더욱이, 다수 개의 박막트랜지스터로 분산구동함에 따라, 박막트랜지스터에 가해지는 데미지(damage) 또한 최소화하여 박막트랜지스터의 소자 안정성 또한 높일 수 있다.
In addition, by dispersing and driving a plurality of thin film transistors, damage to the thin film transistors can be minimized, thereby increasing device stability of the thin film transistors.

상기 제 1, 2 실시예에 따른 박막트랜지스터 구조는 상부층에 위치하는 소스 전극 및 드레인 전극이 원형 구조를 가짐에 따라, 화소 영역의 공간활용도를 높이기 위하여, 상기 제 1 실시예 구조를 기본구조로 적용하되, 컴팩한 구조로 소스 전극과 드레인 전극의 패턴을 변형한 실시예이다. In the thin film transistor structure according to the first and second embodiments, since the source electrode and the drain electrode positioned in the upper layer have a circular structure, the first embodiment is applied as the basic structure to increase the space utilization of the pixel region. However, it is an embodiment in which the pattern of the source electrode and the drain electrode is modified in a compact structure.                     

-- 제 3 실시예 --Third Embodiment

도 6 내지 8은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터에 대한 도면으로서, 도 6a는 사각틀 형상의 채널, 도 6b는 삼각틀 형상의 채널, 도 6c는 십자형상의 채널을 포함하는 구조에 대한 것이며, 단면 구조는 상기 도 4b 구조를 적용할 수 있으므로, 평면 구조를 중심으로 설명한다. 6 to 8 are diagrams illustrating a thin film transistor for driving AMOLEDs according to a third embodiment of the present invention. FIG. 6A includes a rectangular frame channel, FIG. 6B a triangular frame channel, and FIG. 6C includes a cross channel. The cross-sectional structure can be applied to the structure shown in FIG. 4B, and therefore, a planar structure will be described.

도 6은, 사각형상으로 소스 전극(318)이 형성되어 있고, 소스 전극(318)을 포위하는 구조로, 사각틀 형상을 가지는 드레인 전극(320)이 형성되어 있는 구조를 가져, 소스 전극(318)과 드레인 전극(320) 간의 이격 영역에 위치하는 채널(ch)은 사각틀 형상을 가진다. FIG. 6 illustrates a structure in which a source electrode 318 is formed in a quadrangular shape and surrounds the source electrode 318. The drain electrode 320 having a rectangular frame shape is formed in the shape of the source electrode 318. The channel ch positioned in the separation region between the drain electrode 320 and the drain electrode 320 has a rectangular frame shape.

채널폭(W)과 채널길이(L)는, 상기 제 1 실시예에서와 같이, 소스 전극(318)의 외측과 드레인 전극(320)의 외측의 중간 지점에서의 둘레길이는 채널폭(W), 소스 전극(318)과 드레인 전극(320)간의 이격거리가 채널길이(L)에 해당되므로, 기존 구조보다 W/L 비를 증가시켜, 구동능력을 향상시킬 수 있다. The channel width W and the channel length L, as in the first embodiment, have a circumferential length at an intermediate point between the outer side of the source electrode 318 and the outer side of the drain electrode 320. Since the separation distance between the source electrode 318 and the drain electrode 320 corresponds to the channel length L, the W / L ratio may be increased compared to the existing structure, thereby improving driving capability.

본 실시예에서는, 최외곽에 위치하는 드레인 전극(320)의 외측 형상을 사각형으로 형성함에 따라, AMOLED에 적용시 화소 영역 내에서 컴팩한 구조로 형성할 수 있어서, 개구율 향상을 기대할 수 있다. In the present embodiment, since the outer shape of the drain electrode 320 positioned at the outermost part is formed in a quadrangle, when the AMOLED is applied to the AMOLED, it can be formed in a compact structure in the pixel area, thereby improving the aperture ratio.

도 7은, 상기 도 6a에서 변형한 구조로서, 소스 전극(418)이 삼각형 패턴으로 형성되어 있고, 소스 전극(418)을 포위하는 구조로 드레인 전극(420)을 삼각틀 형상으로 형성하여, 두 전극 간의 채널(ch)이 삼각틀 형상으로 이루어져 있고, 최외곽 전극인 드레인 전극(420)을 삼각형으로 형성한 예에 대한 것이다. FIG. 7 illustrates a structure modified from the structure of FIG. 6A, wherein the source electrode 418 is formed in a triangular pattern, and the drain electrode 420 is formed in a triangular frame with a structure surrounding the source electrode 418. The channel ch between the electrodes is formed in a triangular frame shape, and the drain electrode 420 which is the outermost electrode is formed in a triangle.                     

그리고, 도 8은 사각형 패턴으로 소스 전극(518)이 형성되어 있고, 소스 전극(518)을 포위하는 구조를 가지며 십자형 오픈부(519)를 가지는 십자형 틀형상으로 드레인 전극(520)이 형성되어 있다. In FIG. 8, the source electrode 518 is formed in a rectangular pattern, and the drain electrode 520 is formed in a cross-shaped frame having a structure surrounding the source electrode 518 and having a cross-shaped open portion 519. .

본 구조에 의하면, 최외곽 구동 전극인 드레인 전극의 외측 형상이 오목한 부분과 볼록한 부분을 다수 개 포함하므로, AMOLED에 적용시 이웃하는 소자들과의 컴팩한 구조로 형성하기에 용이할 수 있다. According to this structure, since the outer shape of the drain electrode, which is the outermost driving electrode, includes a plurality of concave portions and convex portions, it may be easy to form a compact structure with neighboring devices when applied to the AMOLED.

본 실시예에서는, 채널의 형상은 환형상으로 유지하고, 최외곽 구동 전극을 동심다각형 구조로 변형하는 예 또한 포함한다. In this embodiment, the shape of the channel is kept in an annular shape, and an example in which the outermost drive electrode is deformed into a concentric polygonal structure is also included.

또한, 상기 제 2 실시예 구조를 적용하여 반도체층을 다수 개로 분할된 구조로 구성하여 병렬 연결된 다수 개의 박막트랜지스터로 구동용 박막트랜지스터를 제작할 수도 있다. In addition, the thin film transistor for driving may be fabricated using a plurality of thin film transistors connected in parallel by applying the structure of the second embodiment to the semiconductor layer.

이와 같이, 본 실시예 들에 따른 동심원 또는 동심다각형 구조 버텀게이트 구조 박막트랜지스터에 의하면, 구동 능력을 기존보다 향상시킬 수 있기 때문에, AMOLED용 구동용 박막트랜지스터로 용이하게 적용할 수 있다.
As described above, according to the concentric circles or the concentric polygonal bottom gate structure thin film transistors according to the present embodiments, since the driving capability can be improved than before, the thin film transistor for driving AMOLED can be easily applied.

이하, 본 발명의 또 다른 실시예는, 동심원 구조 박막트랜지스터를 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터로 적용한 실시예이다.
Hereinafter, another embodiment of the present invention is an embodiment in which the concentric thin film transistor is applied as a driving thin film transistor for AMOLED.

-- 제 4 실시예 --Fourth Embodiment

도 9는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 AMOLED에 대한 평면도로서, 상기 제 1 실시예에 따른 동심원 구조 박막트랜지스터의 특징적인 구조를 그대로 적용한 구동용 박막트랜지스터로 포함하는 것을 특징으로 한다. FIG. 9 is a plan view of an AMOLED according to a fourth embodiment of the present invention, and includes a driving thin film transistor in which the characteristic structure of the concentric thin film transistor according to the first embodiment is applied.

도시한 바와 같이, 제 1 방향으로 게이트 배선(612)이 형성되어 있고, 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 서로 이격되게 데이터 배선(614) 및 전력공급 배선(616)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 배선(612), 데이터 배선(614), 전력공급 배선(616)이 서로 교차되는 영역은 화소 영역(P)으로 정의된다. As shown, the gate wiring 612 is formed in the first direction, and the data wiring 614 and the power supply wiring 616 are formed to be spaced apart from each other in the second direction crossing the first direction. An area where the gate wiring 612, the data wiring 614, and the power supply wiring 616 cross each other is defined as a pixel area P.

상기 게이트 배선(612) 및 데이터 배선(614)이 교차되는 지점에는 스위칭용 게이트 전극(618), 스위칭용 반도체층(620), 스위칭용 소스 전극(622), 스위칭용 드레인 전극(624)으로 이루어지는 스위칭용 박막트랜지스터(Ts)가 형성되어 있고, 스위칭 드레인 전극(624)에서는 전력공급 배선(616)과 중첩된 영역에 커패시터 전극(626)이 연장형성되어 있고, 스위칭 드레인 전극(624)과 별도의 콘택홀을 통해 구동용 게이트 전극(628)이 연결되어 있고, 구동용 게이트 전극(628)을 덮는 영역에는 구동용 반도체층(630)이 형성되어 있고, 구동용 게이트 전극(628)의 중심부와 대응된 영역에는 원형 구조의 구동용 소스 전극(632)이 형성되어 있다. At the point where the gate wiring 612 and the data wiring 614 intersect, the switching gate electrode 618, the switching semiconductor layer 620, the switching source electrode 622, and the switching drain electrode 624 are formed. The switching thin film transistor Ts is formed, and in the switching drain electrode 624, the capacitor electrode 626 extends in a region overlapping with the power supply wiring 616 and is separate from the switching drain electrode 624. The driving gate electrode 628 is connected through the contact hole, and the driving semiconductor layer 630 is formed in an area covering the driving gate electrode 628 and corresponds to the center of the driving gate electrode 628. The drive source electrode 632 has a circular structure.

이때, 상기 구동용 소스 전극(632)은 일측으로 제 1 돌출부(PP1 ; projecting part)를 가지고 있어서, 제 1 돌출부(PP1)를 통해 전력공급 배선(616)에서 분기된 파워 전극(634)과 별도의 콘택홀을 통해 전기적으로 연결되어 있다. At this time, the driving source electrode 632 has a first projecting part (PP1) on one side, and is separate from the power electrode 634 branched from the power supply wiring 616 through the first projecting part (PP1). It is electrically connected through the contact hole.

상기 구동용 소스 전극(632)을 포위하는 구조를 가지며, 구동용 게이트 전극(628)의 외측과 일정간격 중첩되게 환형상의 구동용 드레인 전극(638)이 형성되어 있다. 이때, 상기 구동용 소스 전극(632)과의 단락을 방지하기 위해 구동용 소스 전극(632)의 제 1 돌출부(PP1)와는 이격되게 위치한다. The driving source electrode 632 has a structure surrounding the driving source electrode 632, and an annular driving drain electrode 638 is formed to overlap the outer side of the driving gate electrode 628 at a predetermined interval. In this case, in order to prevent a short circuit from the driving source electrode 632, the driving unit may be spaced apart from the first protrusion PP1 of the driving source electrode 632.

상기 구동용 드레인 전극(638)과 구동용 소스 전극(632) 간의 이격 구간에 위치하는 채널(ch)을 환형상을 가지는 것을 특징으로 하며, 이러한 구조적 특징에 의해 W/L 비의 증가로 구동 능력을 높일 수 있다. It characterized in that the channel (ch) located in the separation section between the driving drain electrode 638 and the driving source electrode 632 has an annular shape, the drive capability by the increase in the W / L ratio by this structural feature Can increase.

그러나, 상기 구동용 소스 전극(632) 및 구동용 드레인 전극(638)의 구조는 본 실시예 구조로 한정되는 것이 아니고, 전술한 상기 제 1 내지 제 3 실시예 구조로 다양하게 변경하여 적용할 수 있으며, 이때 구동용 소스 전극(632)과 파워 전극(634) 간의 연결 및 구동용 드레인 전극(638)과 유기전계발광 다이오드 소자용 전극(640)과의 연결을 위한 연결부는 포함하되, 채널(ch)을 환형상 또는 환형상에서 변형된 구조로 하는 특징은 유지한다. However, the structure of the driving source electrode 632 and the driving drain electrode 638 is not limited to the present embodiment structure, and may be variously modified and applied to the above described first to third embodiment structures. In this case, a connection part for a connection between the driving source electrode 632 and the power electrode 634 and a connection between the driving drain electrode 638 and the electrode for the organic light emitting diode device 640 includes a channel (ch). Retains the features of annular or annularly deformed structures.

상기 구동용 게이트 전극(628), 구동용 반도체층(630), 구동용 소스 전극(632), 구동용 드레인 전극(638)은 구동용 박막트랜지스터(Td)를 이룬다. The driving gate electrode 628, the driving semiconductor layer 630, the driving source electrode 632, and the driving drain electrode 638 form a driving thin film transistor Td.

상기 구동용 드레인 전극(638)의 바깥쪽 일측은 또 하나의 제 2 돌출부(PP2)를 가지고 있어서, 제 2 돌출부(PP2)를 통해 유기전계발광 다이오드 소자용 전극(640)이 연결되어 있다. One outer side of the driving drain electrode 638 has another second protrusion PP2, and the electrode 640 for the organic light emitting diode device is connected through the second protrusion PP2.

그리고, 상기 스위칭용 드레인 전극(624)의 일측은 전력공급 배선(616)과 중첩되는 영역으로 연장형성된 커패시터 전극(626)을 이루고 있어서, 상기 전력공급 배선(616)과 커패시터 전극(626)이 중첩된 영역은 스토리지 커패시터(Cst)를 이룬다. In addition, one side of the switching drain electrode 624 forms a capacitor electrode 626 extending to an area overlapping the power supply wiring 616, and the power supply wiring 616 and the capacitor electrode 626 overlap each other. Area constitutes a storage capacitor Cst.

이하, 본 발명의 또 다른 실시예는, 상기 제 4 실시예와 기본적인 구조는 동일하지만, 구동용 소스 전극과 구동용 드레인 전극이 위치가 바뀐 구조에 대한 실시예이다.
Hereinafter, another embodiment of the present invention is an embodiment of a structure in which the driving source electrode and the driving drain electrode are replaced with each other although the basic structure is the same as that of the fourth embodiment.

-- 제 5 실시예 --Fifth Embodiment

도 10은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 AMOLED에 대한 평면도로서, 상기 제 4 실시예와 구별되는 특징적인 부분을 중심으로 설명한다. FIG. 10 is a plan view of an AMOLED according to a fifth embodiment of the present invention, and will be described with reference to characteristic parts distinguishing from the fourth embodiment.

본 실시예에 따른 구동용 박막트랜지스터(Td)는, 중앙부에 원형 패턴으로 이루어지며, 일측으로 연장형성된 제 1 돌출부(PP1)를 가지는 구동용 드레인 전극(738)과, 상기 구동용 드레인 전극(738)을 포위하는 구조를 가지며, 환형상을 가지고, 파워 전극(734)과 중첩된 위치로 연장형성된 제 2 돌출부(PP2)를 가지는 구동용 소스 전극(732)을 포함하는 것을 특징으로 한다. The driving thin film transistor Td according to the present embodiment has a circular pattern in a central portion, and has a driving drain electrode 738 having a first protrusion PP1 extending to one side, and the driving drain electrode 738. ) And a driving source electrode 732 having an annular shape and having a second protrusion PP2 extending to a position overlapping with the power electrode 734.

상기 구동용 소스 전극(732)은 구동용 드레인 전극(738)의 제 1 돌출부(PP1)와는 이격되게 위치하며, 상기 구동용 소스 전극(732)과 구동용 드레인 전극(738) 간의 이격구간에 위치하는 채널(ch)은 환형상 구조를 가짐을 특징으로 한다. The driving source electrode 732 is positioned to be spaced apart from the first protrusion PP1 of the driving drain electrode 738, and is located at a separation interval between the driving source electrode 732 and the driving drain electrode 738. The channel (ch) is characterized in that it has an annular structure.

상기 구동용 드레인 전극(738)은 제 1 돌출부(PP1)를 통해 유기전계발광 다이오드 소자용 전극(740)과 연결되고, 구동용 소스 전극(732)은 제 2 돌출부(PP2)를 통해 파워 전극(734)과 연결된다.

The driving drain electrode 738 is connected to the organic light emitting diode device electrode 740 through the first protrusion PP1, and the driving source electrode 732 is connected to the power electrode through the second protrusion PP2. 734).

이와 같이, 본 발명에 따른 환형상 구조 박막트랜지스터는 구동용 소스 전극과 구동용 드레인 전극의 서로 위치가 바뀔 수도 있으며, 각 전극과 연결되는 소자와의 연결을 위해 패턴이 변경될 수도 있지만, 기본적으로 비정질 실리콘 물질로 이루어진 반도체 물질을 이용하는 버텀 게이트 구조 박막트랜지스터에 있어서, 채널 형상및 최외곽 구동 전극의 패턴 구조는 상기 제 1 내지 제 3 실시예 구조를 그대로 적용하는 것이 중요하다. As described above, in the annular structure thin film transistor according to the present invention, the position of the driving source electrode and the driving drain electrode may be changed from each other, and the pattern may be changed to connect the elements connected to each electrode, but basically In a bottom gate structure thin film transistor using a semiconductor material made of an amorphous silicon material, it is important to apply the first to third embodiment structures as the channel shape and the pattern structure of the outermost driving electrode.

그리고, 상기 제 4, 5 실시예에서 언급된 유기전계발광 다이오드 소자용 전극은 애노드 전극 또는 캐소드 전극 중 어느 하나이며, 도면을 제시하지 않았지만, 상기 유기전계발광 다이오드 소자용 전극 상부에는 유기발광층 및 또 하나의 유기전계발광 다이오드 소자용 전극이 차례대로 형성된다. The electrode for an organic light emitting diode device mentioned in the fourth and fifth embodiments is either an anode electrode or a cathode electrode, and although not shown in the drawings, an organic light emitting layer and an upper portion of the organic light emitting diode device electrode are not shown. One electrode for an organic light emitting diode element is formed in sequence.

그러나, 본 발명은 상기 실시예 들로 한정되지 않고 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. However, the present invention is not limited to the above embodiments and can be practiced in various ways without departing from the spirit of the present invention.

예를 들어, 상기 소스 전극 및 드레인 전극을 다각형 구조로 형성하는 실시예에서, 소스 전극 및 드레인 전극의 다각형 구조를 서로 닮은꼴 다각형 구조로 한정하는 것은 아니다.
For example, in an embodiment in which the source electrode and the drain electrode are formed in a polygonal structure, the polygonal structures of the source electrode and the drain electrode are not limited to polygonal polygonal structures that resemble each other.

이상과 같이, 본 발명에 따른 동심원 또는 동심다각형 구조 구조 박막트랜지스터에 의하면, 비정질 실리콘 물질을 반도체층으로 이용하는 버텀게이트형 박막트랜지스터의 신뢰성을 획기적으로 개선함으로써, AMOLED용 구동용 박막트랜지스터로 용이하게 적용할 수 있으며, 기존 비정질 실리콘 박막트랜지스터를 AMOLED용 구동용 박막트랜지스터로 적용함으로써 관련분야에의 파급효과를 크게 할 수 있는 장점을 가진다.
As described above, according to the concentric or concentric polygonal structure thin film transistor according to the present invention, by dramatically improving the reliability of the bottom gate type thin film transistor using an amorphous silicon material as a semiconductor layer, it is easily applied as a driving thin film transistor for AMOLED. In addition, by applying the existing amorphous silicon thin film transistor as a driving thin film transistor for AMOLED has the advantage that can increase the ripple effect in the related field.

Claims (10)

구동용 박막트랜지스터를 포함하는 어레이 소자층과, 상기 구동용 박막트랜지스터와 연결되는 유기전계발광 다이오드 소자를 포함하는 유기전계발광 소자의 구동용 박막트랜지스터에 있어서, A thin film transistor for driving an organic light emitting device comprising an array element layer including a driving thin film transistor and an organic light emitting diode device connected to the driving thin film transistor, 기판 상에 형성된 게이트 전극과; A gate electrode formed on the substrate; 상기 게이트 전극을 덮는 영역에 형성되며, 순수 비정질 실리콘 물질층과 불순물 비정질 실리콘 물질층이 차례대로 적층된 구조로 이루어진 반도체층과; A semiconductor layer formed in a region covering the gate electrode and having a structure in which a pure amorphous silicon material layer and an impurity amorphous silicon material layer are sequentially stacked; 상기 반도체층 상의 중앙부에 위치하는 원형 패턴 구조의 제 1 구동 전극과; A first driving electrode having a circular pattern structure positioned at a central portion on the semiconductor layer; 상기 제 1 구동 전극을 포위하는 구조로, 상기 제 1 구동 전극과 일정간격 이격되게 환형상으로 이루어진 제 2 구동 전극 A second driving electrode having a structure surrounding the first driving electrode and having an annular shape spaced apart from the first driving electrode at a predetermined interval; 을 포함하며, 상기 제 1 구동 전극은 소스 전극 또는 드레인 전극 중 어느 한 전극이고, 상기 제 2 구동 전극은 소스 전극 또는 드레인 전극 중 나머지 한 전극이며, 상기 제 1, 제 2 구동 전극의 이격 구간에 순수 반도체 물질 영역으로 이루어진 채널이 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 다이오드 소자의 구동용 박막트랜지스터. The first driving electrode may be any one of a source electrode and a drain electrode, and the second driving electrode may be the other one of the source electrode and the drain electrode, and may be spaced apart from the first and second driving electrodes. A thin film transistor for driving an organic light emitting diode device, characterized in that a channel consisting of a pure semiconductor material region. 구동용 박막트랜지스터를 포함하는 어레이 소자층과, 상기 구동용 박막트랜지스터와 연결되는 유기전계발광 다이오드 소자를 포함하는 유기전계발광 소자의 구동용 박막트랜지스터에 있어서, A thin film transistor for driving an organic light emitting device comprising an array element layer including a driving thin film transistor and an organic light emitting diode device connected to the driving thin film transistor, 기판 상에 형성된 게이트 전극과; A gate electrode formed on the substrate; 상기 게이트 전극을 덮는 영역에 형성되며, 순수 비정질 실리콘 물질층과 불순물 비정질 실리콘 물질층이 차례대로 적층된 구조로 이루어진 반도체층과; A semiconductor layer formed in a region covering the gate electrode and having a structure in which a pure amorphous silicon material layer and an impurity amorphous silicon material layer are sequentially stacked; 상기 반도체층 상의 중앙부에 위치하는 다각형 패턴 구조의 제 1 구동 전극과; A first driving electrode having a polygonal pattern structure positioned at a central portion on the semiconductor layer; 상기 제 1 구동 전극을 포위하는 구조로, 상기 제 1 구동 전극과 일정간격 이격되게 위치하며 다각형 틀형상을 가지는 제 2 구동 전극 A second driving electrode having a structure surrounding the first driving electrode and positioned spaced apart from the first driving electrode at a predetermined interval and having a polygonal frame shape. 을 포함하며, 상기 제 1 구동 전극은 소스 전극 또는 드레인 전극 중 어느 한 전극이고, 상기 제 2 구동 전극은 소스 전극 또는 드레인 전극 중 나머지 한 전극이며, 상기 제 1, 제 2 구동 전극의 이격 구간에 순수 비정질 실리콘 물질 영역으로 이루어진 채널이 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 다이오드 소자의 구동용 박막트랜지스터. The first driving electrode may be any one of a source electrode and a drain electrode, and the second driving electrode may be the other one of the source electrode and the drain electrode, and may be spaced apart from the first and second driving electrodes. A thin film transistor for driving an organic light emitting diode device, characterized in that a channel consisting of a pure amorphous silicon material region. 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 하나의 항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 채널의 폭은 제 1 패턴의 내측과, 제 2 패턴의 외측의 중간지점에서의 둘레 길이에 해당되고, 상기 채널의 길이는 상기 소스 전극 및 드레인 전극 간의 이격거리와 대응되는 값을 가지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 다이오드 소자의 구동용 박막트랜지스터. The width of the channel corresponds to a circumferential length at an intermediate point of an inner side of the first pattern and an outer side of the second pattern, and the length of the channel has a value corresponding to a separation distance between the source electrode and the drain electrode. A thin film transistor for driving an organic light emitting diode device. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 제 1, 제 2 구동 전극은, 사각형, 삼각형, 십자형 패턴 구조 중 어느 하나를 가지는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 다이오드 소자의 구동용 박막트랜지스터. The thin film transistor for driving the organic light emitting diode device, wherein the first and second driving electrodes have any one of a square, a triangle, and a cross pattern structure. 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 하나의 항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 구동용 반도체층은, 방사상 구조를 이루는 다수 개로 분할된 패턴으로 이루어지고, 상기 다수 개의 반도체층과 대응된 위치에서, 상기 채널은 다수 개로 이루어져, 상기 채널과 대응되게 다수 개의 박막트랜지스터가 병렬 구조로 연결되어 하나의 구동용 박막트랜지스터를 이루는 유기전계발광 다이오드 소자의 구동용 박막트랜지스터. The driving semiconductor layer is formed of a plurality of divided patterns forming a radial structure, and at a position corresponding to the plurality of semiconductor layers, the channel is composed of a plurality of thin film transistors in parallel to correspond to the channel. A thin film transistor for driving an organic light emitting diode device which is connected to form a single thin film transistor for driving. 제 1 방향으로 형성된 게이트 배선과; A gate wiring formed in a first direction; 상기 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 형성되며 서로 이격되게 위치하는 데이터 배선 및 파워 배선과; Data and power lines formed in a second direction crossing the first direction and spaced apart from each other; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 교차지점에 위치하며, 스위칭용 게이트 전극, 스위칭용 반도체층, 스위칭용 소스 전극, 스위칭용 드레인 전극으로 이루어 진 스위칭용 박막트랜지스터와; A switching thin film transistor positioned at an intersection point of the gate wiring and the data wiring, the switching thin film transistor comprising a switching gate electrode, a switching semiconductor layer, a switching source electrode, and a switching drain electrode; 상기 스위칭용 드레인 전극과 연결되는 구동용 게이트 전극과; A driving gate electrode connected to the switching drain electrode; 상기 구동용 게이트 전극을 덮는 영역에 형성된 구동용 반도체층과; A driving semiconductor layer formed in a region covering the driving gate electrode; 상기 구동용 반도체층 상의 중앙부에 원형 또는 다각형 구조 중 어느 하나로 이루어지며, 상기 파워 배선에서 분기되는 파워 전극과 연결되는 소스 전극과; A source electrode formed of any one of a circular or polygonal structure in a central portion of the driving semiconductor layer and connected to a power electrode branched from the power wire; 상기 소스 전극의 파워 전극과의 연결부를 제외한 영역을 포위하는 구조를 가지며, 상기 소스 전극과 일정간격 이격되며, 환형상 또는 다각형 틀형상 중 어느 하나를 가지고, 연결되는 드레인 전극과; A drain electrode having a structure surrounding a region excluding a connection portion of the source electrode with a power electrode, spaced apart from the source electrode at a predetermined interval, and having any one of an annular shape or a polygonal frame shape; 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 파워 배선이 교차되는 영역은 화소 영역으로 정의되고, 상기 드레인 전극과 연결되어 화소 영역에 형성되는 유기전계발광 다이오드 소자용 전극An area where the gate wiring, the data wiring, and the power wiring cross each other is defined as a pixel region, and is connected to the drain electrode and formed in the pixel region. 을 포함하며, 상기 소스 전극 및 드레인 전극의 이격 구간에 반도체층의 순수 비정질 실리콘 물질이 노출된 영역인 채널이 구성되며, 상기 구동용 게이트 전극, 구동용 반도체층, 구동용 소스 전극, 구동용 드레인 전극은 구동용 박막트랜지스터를 이루는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자. And a channel that is a region in which pure amorphous silicon material of the semiconductor layer is exposed in a spaced interval between the source electrode and the drain electrode, and includes the driving gate electrode, the driving semiconductor layer, the driving source electrode, and the driving drain. The electrode is an organic light emitting display device, characterized in that the drive comprises a thin film transistor. 제 1 방향으로 형성된 게이트 배선과; A gate wiring formed in a first direction; 상기 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 형성되며 서로 이격되게 위치하는 데이터 배선 및 파워 배선과; Data and power lines formed in a second direction crossing the first direction and spaced apart from each other; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 교차지점에 위치하며, 스위칭용 게이트 전극, 스위칭용 반도체층, 스위칭용 소스 전극, 스위칭용 드레인 전극으로 이루어진 스위칭용 박막트랜지스터와; A switching thin film transistor positioned at an intersection point of the gate wiring and the data wiring, the switching thin film transistor comprising a switching gate electrode, a switching semiconductor layer, a switching source electrode, and a switching drain electrode; 상기 스위칭용 드레인 전극과 연결되는 구동용 게이트 전극과; A driving gate electrode connected to the switching drain electrode; 상기 구동용 게이트 전극을 덮는 영역에 형성된 구동용 반도체층과; A driving semiconductor layer formed in a region covering the driving gate electrode; 상기 구동용 반도체층 상의 중앙부에 원형 또는 다각형 구조 중 어느 하나로 이루어지는 드레인 전극과; A drain electrode formed of any one of a circular or polygonal structure in a central portion of the driving semiconductor layer; 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 파워 배선이 교차되는 영역은 화소 영역으로 정의되고, 상기 드레인 전극과 연결되어 화소 영역에 형성되는 유기전계발광 다이오드 소자용 전극과; An area where the gate line, the data line, and the power line cross each other is defined as a pixel area, and is connected to the drain electrode and formed in the pixel area; 상기 드레인 전극과 유기전계발광 다이오드 소자용 전극 간의 연결부를 제외한 영역을 포위하는 구조를 가지며, 상기 드레인 전극과 일정간격 이격되며, 환형상 또는 다각형 틀형상 중 어느 하나를 가지고, 상기 파워 배선에서 분기되는 파워 전극과 연결되는 소스 전극 It has a structure surrounding the region except for the connection between the drain electrode and the electrode for the organic light emitting diode device, spaced apart from the drain electrode at regular intervals, and has any one of an annular or polygonal frame shape, branched from the power wiring Source electrode connected to the power electrode 을 포함하며, 상기 소스 전극 및 드레인 전극 간의 이격 구간에 반도체층의 순수 비정질 실리콘 물질이 노출된 영역인 채널이 구성되고, 상기 구동용 게이트 전극, 구동용 반도체층, 구동용 소스 전극, 구동용 드레인 전극은 구동용 박막트랜지스터를 이루는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 소자. And a channel which is a region in which pure amorphous silicon material of the semiconductor layer is exposed in a spaced interval between the source electrode and the drain electrode, and includes the driving gate electrode, the driving semiconductor layer, the driving source electrode, and the driving drain. The electrode is an organic light emitting display device, characterized in that the drive comprises a thin film transistor. 제 6 항 또는 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, The method according to any one of claims 6 to 7, 상기 채널의 폭은, 상기 소스 전극 및 드레인 전극 간의 중간지점에서의 둘레길이이고, 상기 채널의 길이는 상기 소스 전극 및 드레인 전극 간 이격거리에 대응되는 값인 유기전계발광 소자. The width of the channel is a circumferential length at an intermediate point between the source electrode and the drain electrode, the length of the channel is a value corresponding to the separation distance between the source electrode and the drain electrode. 제 6 항 또는 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, The method according to any one of claims 6 to 7, 상기 유기전계발광 다이오드 소자는, 상기 드레인 전극과 연결되는 제 1 전극과, 유기발광층, 제 2 전극으로 이루어지는 유기전계발광 소자. The organic light emitting diode device includes an organic light emitting diode comprising a first electrode connected to the drain electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode. 제 6 항 또는 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, The method according to any one of claims 6 to 7, 상기 구동용 반도체층은, 방사상 구조를 이루는 다수 개로 분할된 패턴으로 이루어지고, 상기 다수 개의 반도체층과 대응된 위치에서, 상기 채널은 다수 개로 이루어져, 상기 채널과 대응되게 다수 개의 박막트랜지스터가 병렬 구조로 연결되어 하나의 구동용 박막트랜지스터를 이루는 유기전계발광 소자. The driving semiconductor layer is formed of a plurality of divided patterns forming a radial structure, and at a position corresponding to the plurality of semiconductor layers, the channel is composed of a plurality of thin film transistors in parallel to correspond to the channel. The organic light emitting device is connected to form a thin film transistor for driving.
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