KR100330479B1 - Device for fastening a pod door to a carrier cover - Google Patents
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Abstract
본 발명은 파드 도어와 캐리어 커버 사이를 체결시키는 개선된 체결장치에 관한 것으로, 파드 도어에 형성되는 한 쌍의 관통 구멍, 파드 도어 내부에 왕복운동 가능하게 설치되는 한 쌍의 가이드, 가이드에 상기 관통 구멍과 정렬되도록 형성되며, 가이드의 각각을 이동시키기 위한 경사진 가이드 홈, 탄성 수단에 의해, 가이드 홈 각각의 바로 아래에 설치되어 가이드 홈에 선택적으로 삽입되는 삽입 부재, 삽입 부재 각각에 대응하도록 포트 도어에 마련되어, 관통 구멍을 통해 삽입 부재를 가압하기 위한 가압 부재, 가이드의 왕복운동에 따라 회전운동하도록 가이드와 이맞물림된 한 쌍의 후크 축 및 파드 도어에 설치되며, 후크 축의 회전운동에 따라 선택적으로 작동하여 파드 도어와 캐리어 커버의 잠금 및 분리를 실행하는 두 쌍의 후크를 포함하는 것에 의해, 파드 도어와 캐리어 커버 사이의 확실한 체결을 보장할 수 있다.The present invention relates to an improved fastening device for fastening between the pod door and the carrier cover, a pair of through holes formed in the pod door, a pair of guides reciprocally installed in the pod door, the through to the guide It is formed so as to align with the hole, the inclined guide groove for moving each of the guides, by the elastic means, the insertion member which is installed directly below each of the guide grooves and selectively inserted into the guide grooves, the ports to correspond It is provided in the door, and is provided in the pressing member for pressing the insertion member through the through hole, the pair of hook shaft and the pod door engaged with the guide to rotate in accordance with the reciprocating motion of the guide, optional according to the rotational movement of the hook shaft Which includes two pairs of hooks to operate to lock and detach the pod door and carrier cover A, it is possible to ensure a reliable fastening between the door and the carrier cover Pas.
Description
본 발명은 웨이퍼 이송공정에 사용되는 스탠더드 메커니컬 인터페이스(Standard Mechanical Interface, 이하, SMIF라 한다) 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 SMIF 시스템에 포함되는 파드 도어와 캐리어 커버 사이를 체결시키는 개선된 체결장치에 관한 것이다.The present invention relates to a standard mechanical interface (SMIF) system used in a wafer transfer process, and more particularly, to an improved fastening device for fastening between a pod door and a carrier cover included in a SMIF system. It is about.
SMIF란 Standard Mechanical Interface의 약자로써, 좁은 공간의 청정실등에서의 대기 컨트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 것으로, SMIF 시스템은 반도체 제조공정을 수행하는 반도체 장비의 주변장치로서 웨이퍼가 저장된 캐리어를 반도체 장비에 장전하거나 인출하는데 이용되며, 캐리어를 수납하기 위한 SMIF 파드 및 SMIF 파드로부터 웨이퍼의 이송을 위해 캐리어를 이송시키는 역할을 하는 SMIF 포트를 포함한다.SMIF is an abbreviation of Standard Mechanical Interface. It is used to prevent human error during atmospheric control and process processing in a clean room of a narrow space. SMIF system is a peripheral device of semiconductor equipment that performs semiconductor manufacturing process. It is used to load or withdraw the semiconductor equipment, and includes a SMIF port for receiving the carrier and a SMIF port that serves to transfer the carrier for transfer of wafers from the SMIF pod.
도 1a는 종래 SMIF 파드의 개략적인 사시도이다.1A is a schematic perspective view of a conventional SMIF pod.
도면에 도시된 바와 같이, SMIF 파드(10)는 그의 하부에 마련된 파드 도어(pod door, 11), 파드 도어(11)의 상부에 탑재되며 웨이퍼들이 정렬되는 캐리어(15) 및 캐리어(15)를 덮고 있는 캐리어 커버(16)를 포함한다. 파드 도어(11)에는 캐리어 커버(16)와의 선택적 결합을 위한 두 쌍의 후크(12a, 한 쌍만 도시)가 설치된다. 이 후크(12a)는 후술하는 래치핀의 작동에 의해 캐리어 커버(16)를 SMIF 파드(10)와 선택적으로 결합시키는 역할을 한다. 또한, SMIF 파드(10)의 내부는 진공상태를 유지하는 것이 바람직하므로, 파드 도어(11)에는 SMIF 파드(10)의 내부에 공기 등의 주입을 방지하기 위한 고무 재질로 이루어지는 밀봉재(12)가 마련되어 있다. 밀봉재(12)는 파드 도어(11)의 각 측면을 따라 대략 사각형 형상으로 배치되어 캐리어 커버(16)가 파드 도어(11)와 선택적으로 체결될 때 캐리어 커버(16)와 파드 도어(11) 사이의 간격을 밀봉하는 역할을 한다.As shown in the figure, the SMIF pod 10 has a pod door 11 provided at the bottom thereof, a carrier 15 and a carrier 15 mounted on the top of the pod door 11 and aligned with wafers. Covering carrier cover 16 is included. The pod door 11 is provided with two pairs of hooks 12a (only one pair) for selective engagement with the carrier cover 16. The hook 12a serves to selectively couple the carrier cover 16 with the SMIF pod 10 by the operation of a latch pin described later. In addition, since the inside of the SMIF pod 10 is preferably maintained in a vacuum state, the pod door 11 has a sealing material 12 made of a rubber material for preventing injection of air or the like into the SMIF pod 10. It is prepared. The sealant 12 is disposed in a substantially rectangular shape along each side of the pod door 11 such that between the carrier cover 16 and the pod door 11 when the carrier cover 16 is selectively engaged with the pod door 11. It serves to seal the gap.
또한, 도 1b에 도시된 바와 같이, 파드 도어(11)의 하면에는 3개의 삽입 구멍(11a) 및 한 쌍의 구멍(14)이 형성된 회전판(13)이 마련되어 있다. 삽입 구멍(11a)에는 그에 대응하는 후술하는 파드위치 결정핀(25)이 삽입되는 것에 의해 SMIF 파드(10)를 정위치에 위치시키는 역할을 하며, 회전판(13)의 구멍(14)은 후술하는 SMIF 포트(20)의 래치핀(27)과 체결되는 것에 의해 파드 도어(11)를 개폐하는 역할을 한다.In addition, as shown in FIG. 1B, the lower surface of the pod door 11 is provided with a rotating plate 13 on which three insertion holes 11a and a pair of holes 14 are formed. The pod positioning pin 25, which will be described later, is inserted into the insertion hole 11a to serve to position the SMIF pod 10 in position. The hole 14 of the rotating plate 13 will be described later. By engaging with the latch pin 27 of the SMIF port 20 serves to open and close the pod door (11).
도 2에 도시된 바와 같이, SMIF 포트(20)는 포트 플레이트(port plate, 21), 'Ｌ'자 형상의 가이드 레일(22), 파드 래치(pod latch, 23) 및 포트 도어(24)를 포함한다. 포트 플레이트(21)는 SMIF 포트(20) 상에 SMIF 파드(10)가 위치할 때, SMIF 파드(10)의 하면을 수평으로 유지시키기 위한 것이고, 가이드 레일(22)은 포트 플레이트(21)의 각 꼭지점을 중심으로 마련되어 SMIF 포트(20) 상의 소망하는 정위치에 SMIF 파드(10)를 안내하는 역할을 하며, 파드 래치(23)는 L자 형상의 가이드 레일(22)의 코너부에 마련되어 SMIF 파드(10)를 SMIF 포트(20) 상의 소망하는 정위치에 기계적으로 고정시키는 역할을 한다. 또한, 포트 도어(24)는 파드 도어(11)와 접촉하여 아암(도시하지 않음)과 함께 수직방향으로 이송되어 파드 도어(11) 상의 캐리어(15)를 운반하는 역할을 하며, 파드위치 결정핀(25), 파드 센서(26) 및 래치 핀(27)을 포함한다. 파드위치 결정핀(25)은 포트 도어(24)의 소정 위치에 배치되어 파드 도어(11)의 삽입 구멍(11a)에 각각 삽입되는 것에 의해 SMIF 파드(10)를 소망하는 정위치에 배치시키기 위한 것이고, 파드 센서(26)는 SMIF 파드(10)가 정위치에 배치되었는가를 체크하기 위한 것이며, 래치 핀(27)은 포트 도어(24)의 중앙부에 위치하여 파드 도어(11)의 회전판(13)에 형성된 구멍(14)과 선택적으로 체결되는 것에 의해 파드 도어(11)를 캐리어 커버(16)로부터 선택적으로 개폐시키는 역할을 한다. 보다 상세히 설명하면, SMIF 파드(10)의 파드 도어(11)가 SMIF 포트(20)에 안착되면, 래치핀(27)이 삽입 구멍(14)에 삽입된다. 그 후, 래치핀(27)이 회전하여 회전판(13)을 회전시키면 후크(12a)가 작동하게 되며, 이것에 의해 파드 도어(11)는 캐리어 커버(16)와의 체결이 해제된다. 따라서, 파드 도어(11)를 아암을 사용하여 이동시키는 것에 의해 캐리어(10)를 소망하는 위치까지 이송시켜 그 내부의 웨이퍼에 반도체 공정을 실행할 수 있게 된다.As shown in FIG. 2, the SMIF port 20 includes a port plate 21, a 'L' shaped guide rail 22, a pod latch 23, and a port door 24. Include. The port plate 21 is for keeping the lower surface of the SMIF pod 10 horizontally when the SMIF pod 10 is positioned on the SMIF port 20, and the guide rails 22 may be formed on the port plate 21. It is provided around each vertex to guide the SMIF pod 10 to the desired position on the SMIF port 20, and the pod latch 23 is provided at the corner of the L-shaped guide rail 22 to SMIF. It serves to mechanically fix the pod 10 to the desired home position on the SMIF port 20. In addition, the port door 24 is in contact with the pod door 11 is transported in the vertical direction with the arm (not shown) serves to transport the carrier 15 on the pod door 11, the pod positioning pin 25, pod sensor 26 and latch pin 27. The pod positioning pin 25 is disposed at a predetermined position of the port door 24 and inserted into the insertion hole 11a of the pod door 11, respectively, to arrange the SMIF pod 10 in a desired position. The pod sensor 26 is for checking whether the SMIF pod 10 is disposed in the correct position, and the latch pin 27 is located at the center of the port door 24 so as to rotate the rotating plate 13 of the pod door 11. By selectively engaging with the hole 14 formed in the) serves to selectively open and close the pod door 11 from the carrier cover (16). In more detail, when the pod door 11 of the SMIF pod 10 is seated in the SMIF port 20, the latch pin 27 is inserted into the insertion hole 14. After that, when the latch pin 27 rotates to rotate the rotating plate 13, the hook 12a is operated, whereby the pod door 11 is released from the carrier cover 16. Therefore, by moving the pod door 11 using the arm, the carrier 10 can be transferred to a desired position and the semiconductor process can be performed on the wafer therein.
그러나, 상술한 구성에 있어서는 파드 도어와 캐리어 커버 사이의 선택적 체결 수단이 래치핀과 그에 대응하는 삽입 구멍이므로, 반복 작업시 잠금과 분리를 위해 회전시키는 부분이 마모하여 잠금과 분리가 부정확하게 되며, 이로 인한 캐리어 내의 웨이퍼가 손상될 염려가 있었다.However, in the above-described configuration, since the selective fastening means between the pod door and the carrier cover is a latch pin and an insertion hole corresponding thereto, the rotating part is worn out for locking and disengaging during repeated operation, resulting in inaccurate locking and disengaging. This may damage the wafer in the carrier.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 파드 도어와 캐리어 커버를 체결시키는 개선된 체결 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object thereof is to provide an improved fastening device for fastening a pod door and a carrier cover.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명의 체결 장치는 파드 도어에 형성되는 한 쌍의 관통 구멍, 파드 도어 내부에 왕복운동 가능하게 설치되는 한 쌍의 가이드, 가이드에 관통 구멍과 정렬되도록 형성되며, 가이드의 각각을 이동시키기 위한 경사진 가이드 홈, 탄성 수단에 의해, 가이드 홈 각각의 바로 아래에 설치되어 가이드 홈에 선택적으로 삽입되는 삽입 부재, 삽입 부재 각각에 대응하도록 포트 도어에 마련되어, 관통 구멍을 통해 삽입 부재를 가압하기 위한 가압 부재, 가이드의 왕복운동에 따라 회전운동하도록 가이드와 이맞물림된 한 쌍의 후크 축 및 파드 도어에 설치되며, 후크 축의 회전운동에 따라 선택적으로 작동하여 파드 도어와 캐리어 커버의 잠금 및 분리를 실행하는 두 쌍의 후크를 포함한다.The fastening device of the present invention for achieving the above object is a pair of through holes formed in the pod door, a pair of guides reciprocally installed in the pod door, formed to be aligned with the through holes in the guide An inclined guide groove for moving each of the guide grooves, an insertion member installed directly under each guide groove and selectively inserted into the guide groove by an elastic means, provided in the port door so as to correspond to each of the insertion members, Pressing member for pressurizing the insertion member, a pair of hook shaft and pod door engaged with the guide to rotate in accordance with the reciprocating motion of the guide, is installed selectively according to the rotational movement of the hook shaft, the pod door and carrier cover It includes two pairs of hooks to execute locking and detaching.
본 발명의 상술한 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 다음에 설명하는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.
도 1a 및 도 1b는 각각 종래 스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드의 사시도 및 그의 저면도,1A and 1B are a perspective view and a bottom view of a conventional standard mechanical interface pod, respectively,
도 2는 종래 스탠더드 메커니컬 인터페이스 포트의 개략적인 사시도,2 is a schematic perspective view of a conventional standard mechanical interface port,
도 3은 본 발명에 따른 파드 도어의 저면도,3 is a bottom view of the pod door according to the present invention,
도 4는 본 발명에 따른 체결 장치의 구성도,4 is a block diagram of a fastening device according to the present invention,
도 5는 본 발명의 체결 장치의 작동을 설명하기 도면.5 is a view for explaining the operation of the fastening device of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
12a : 후크 110 : 파드 도어12a: Hook 110: Pod Door
112 : 관통 구멍 120 : 가이드112: through hole 120: guide
122 : 가이드 홈 124 : 스프링122: guide groove 124: spring
130 : 삽입 부재 140 : 포트 도어130: insertion member 140: port door
150 : 가압 부재 160 : 후크 축150: pressure member 160: hook shaft
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 SMIF 시스템을 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the SMIF system according to the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 파드 도어의 저면도, 도 4는 본 발명에 따른 체결 장치의 구성도 및 도 5는 본 발명의 체결 장하다 작동을 설명하기 도면이다. 또한, 이하의 기재에 있어서, 종래의 도면을 참조하여 설명하며, 종래와 동일한 부품에 대해서는 동일한 부호를 붙여 설명한다.Figure 3 is a bottom view of the pod door according to the present invention, Figure 4 is a block diagram of the fastening device according to the invention and Figure 5 is a view illustrating the fastening operation of the present invention. In addition, in the following description, it demonstrates with reference to a conventional figure, and attaches | subjects the same code | symbol about the same component as the conventional description.
도 1a를 참조하면, SMIF 파드(10)는 그의 하부에 마련된 파드 도어(pod door, 11), 파드 도어(11)의 상부에 탑재된 웨이퍼들이 정렬된 캐리어(15) 및 캐리어(15)를 덮고 있는 캐리어 커버(16)를 포함한다. 한편, SMIF 파드(10)의 내부는진공상태를 유지하는 것이 바람직하므로, 파드 도어(11)에는 SMIF 파드(10)의 내부에 공기 등의 주입을 방지하기 위한 고무 재질로 이루어지는 밀봉재(12)가 마련되어 있다. 밀봉재(12)는 파드 도어(11)의 각 측면을 따라 대략 사각형 형상으로 배치되어 캐리어 커버(16)가 파드 도어(11)와 선택적으로 체결될 때 캐리어 커버(16)와 파드 도어(11) 사이의 간격을 밀봉하는 역할을 한다. 또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 파드 도어(110)의 하면에는 두 쌍의 후크(12a)가 마련되어 있다.Referring to FIG. 1A, the SMIF pod 10 covers a pod door 11 provided below, a carrier 15 in which wafers mounted on the top of the pod door 11 are aligned, and a carrier 15. Carrier cover 16 which is present. On the other hand, since the inside of the SMIF pod 10 is preferably maintained in a vacuum state, the pod door 11 has a sealing material 12 made of a rubber material for preventing the injection of air or the like into the interior of the SMIF pod 10. It is prepared. The sealant 12 is disposed in a substantially rectangular shape along each side of the pod door 11 such that between the carrier cover 16 and the pod door 11 when the carrier cover 16 is selectively engaged with the pod door 11. It serves to seal the gap. 3, two pairs of hooks 12a are provided on the bottom surface of the pod door 110 according to the present invention.
이하, 도 3, 4 및 5를 참조하여, 파드 도어와 캐리어 커버를 체결시키기 위한 본 발명에 따른 체결 장하다 구성 및 작동을 설명한다.3, 4 and 5, the fastening fault configuration and operation according to the present invention for fastening the pod door and the carrier cover will be described.
본 발명에 따른 체결 장하다 도면에 도시된 바와 같이, 파드 도어(110)에 형성된 한 쌍의 관통 구멍(112), 파드 도어(110) 내부에 왕복운동 가능하게 설치되는 한 쌍의 가이드(120), 가이드(120) 각각을 이동시키기 위한 것으로 상술한 관통 구멍(112)과 정렬되도록 설치된 가이드(120)에 형성된 경사진 가이드 홈(122), 탄성수단, 예를들어 스프링(124)에 의해 가이드 홈(122) 각각의 바로 아래에 설치되어 가이드 홈(122)에 선택적으로 삽입되는 삽입 부재(130), 관통 구멍(112)을 통해 삽입 부재(130)를 가압하기 위한 것으로, 삽입 부재(130) 각각에 대응하도록 포트 도어(140)에 마련된 한 쌍의 가압 부재(150), 가이드(120)의 왕복운동에 따라 회전운동하도록 가이드(120)와 이맞물림된 한 쌍의 후크 축(160) 및 파드 도어(112)에 설치되며, 후크 축(160)의 회전운동에 따라 선택적으로 작동하여 파드 도어(112)와 캐리어 커버(16)의 잠금 및 분리를 실행하는 두 쌍의 후크(12a)를 포함한다.As shown in the fastening drawer according to the present invention, a pair of through-holes 112 formed in the pod door 110, a pair of guides 120 to be reciprocally installed in the pod door 110, Guide grooves 122 are formed by inclined guide grooves 122 and elastic means, for example, springs 124, formed in the guides 120 installed to align each of the guides 120 to be aligned with the above-described through holes 112. 122) for pressing the insertion member 130 through the insertion member 130 and the through-hole 112 selectively installed in each of the guide grooves 122 and inserted into the guide groove 122. A pair of pressing members 150 provided in the port door 140, a pair of hook shafts 160 engaged with the guide 120 to rotate in accordance with the reciprocating motion of the guide 120, and the pod door ( 112, optionally according to the rotational movement of the hook shaft 160 Copper by Pas and a door (112) and the hook (12a) of two pairs of running the locking and removal of the carrier cover 16.
이러한 구성에 의해, 우선 캐리어(15)가 안착된 파드 도어(110)가 포트 도어(140)에 장착되면, 가압 부재(150)는 관통 구멍(112)을 통해 삽입 부재(130)를 가압하게 된다. 또한, 삽입 부재(130)가 도 4의 화살표'A' 방향으로 경사진 가이드 홈(122)에 삽입되는 것에 의해, 가이드 홈(122)의 경사만큼 가이드(120)는 도 4의 화살표'B' 방향으로 이동한다. 계속해서, 도 5를 참조하면, 가이드(120)의 화살표'B' 방향으로의 이동에 의해, 후크 축(160)은 도 5의 화살표'C' 방향으로 회전하여, 파드 도어(110)와 캐리어 커버(16)를 체결하고 있는 후크(12a)를 회전시켜 이들의 체결을 해제시킨다. 캐리어 커버(16)와 분리된 파드 도어(110)는 아암(도시하지 않음)의 작동에 의해 캐리어(15) 내의 웨이퍼를 소망하는 위치로 이동시킬 수 있는 것이다.By such a configuration, when the pod door 110 on which the carrier 15 is seated is first mounted to the port door 140, the pressing member 150 presses the insertion member 130 through the through hole 112. . In addition, the insertion member 130 is inserted into the guide groove 122 inclined in the direction of arrow 'A' of FIG. 4, so that the guide 120 has the arrow 'B' of FIG. 4 by the inclination of the guide groove 122. Move in the direction of 5, the hook shaft 160 rotates in the direction of arrow 'C' of FIG. 5 by the movement of the guide 120 in the direction of arrow 'B', so that the pod door 110 and the carrier are rotated. The hooks 12a that fasten the cover 16 are rotated to release these fasteners. The pod door 110 separated from the carrier cover 16 is capable of moving the wafer in the carrier 15 to a desired position by the operation of an arm (not shown).
상술한 바와 같이 본 발명은 바람직한 예를 중심으로 설명 및 도시되었으나, 본 기술분야의 숙련자라면 본 발명의 사상 및 범주를 벗어나지 않고 다양하게 변형 실시 할 수 있음을 알 수 있을 것이다.As described above, the present invention has been described and illustrated with reference to preferred examples, but it will be understood by those skilled in the art that various modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention.
상술한 구성에 있어서, 파드 도어와 캐리어 커버 사이의 확실한 체결을 보장할 수 있다.In the above-described configuration, a secure fastening between the pod door and the carrier cover can be ensured.
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| KR (1) | KR100330479B1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4995430A (en) * | 1989-05-19 | 1991-02-26 | Asyst Technologies, Inc. | Sealable transportable container having improved latch mechanism |
| US5482161A (en) * | 1994-05-24 | 1996-01-09 | Fluoroware, Inc. | Mechanical interface wafer container |
| KR970052858U (en) * | 1996-02-26 | 1997-09-08 | 삼성전자주식회사 | Wafer carrier box |
| KR19990030921U (en) * | 1997-12-30 | 1999-07-26 | 이완근 | Opening and closing device of wafer cassette storage container in semiconductor wafer cassette storage equipment |
-
2000
- 2000-02-17 KR KR1020000007446A patent/KR100330479B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20010083592A (en) | 2001-09-01 |
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