JPS62225308A - 内周刃切断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、半導体結晶、金属、セラミックなどの物体を
切断する内周刃切断装置に間するものである。

〔従来技術とその問題点〕

内周刃切断装置は第５図ないし第７図に示すように、ス
テンレスなどからなる薄い環状のブレード１１の内周部
分にダイヤモンドの砥粒を電着して刃１２を形成し、こ
の刃付きブレード１１を矢印Ａ方向に回転させながら、
被切断物体１３を矢印Ｂ方向に移動させて、物体１３の
切断を行うものである。

このような装置においては、切断をスムーズに行うため
、ノズル１４からブレード１１の両側に水その他の冷却
・潤滑剤１５を供給するようになっている。

物体１３は理想的には、その軸線に対し垂直に切断され
ることが望ましい。しかし実際には例えば第８図に示す
ように切断中に僅かではあるがブレード１１に曲がりが
生じ、切断面が軸線に対して垂直にならないことが多々
ある。物体１１が例えば半導体単結晶で、そこからウェ
ハを切り出すというような場合には、このような曲がり
切断はウェハの平面度を悪化させるので、特に問題であ
る。

従来これに対する対策としては、第７図に示すように正
常位置にあるブレード１１から所定の距離Ｘをおいた所
に、ブレード１１との距離を検知でき名変位センサ１６
（例えば渦電流を利用したもの）を設置し、それによっ
てブレード１１の動きを観察し、作業者がブレード１１
の表側または裏側の刃１２をドレッシングしたり、ノズ
ル１４から供給される冷却・潤滑剤１５の量を調節した
りして、ブレード１１が真直ぐに物体１３に入っていく
ように調整している。

しかしながらこの調整作業は、きわめて微妙な作業であ
るため、かなりの熟練を必要とし、初心者には簡単に行
えないという問題がある。また調整に時間がかかるとい
う問題もある。

〔問題点の解決手段とその作用〕

本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決した内
周刃切断装置を提供するもので、その構成は、ブレード
の表側と裏側にそれぞれ独立した冷却・潤滑剤供給用の
ノズルを設置すると共に、各ノズルへの冷却・潤滑剤供
給経路にそれぞれ流量調節弁を設け、さらに上記ブレー
ドに接近してその傾きを検出する変位センサを設置して
なり、その変位センサの出力に応じて上記流量調節弁の
関度を調節し、ブレードの表側と裏側に供給する冷却・
潤滑剤の量を調節して、ブレードの傾きを修正するよう
にしたことを特徴とするものである。

内周刃切断装置で物体の切断を進めるうちにブレードが
傾いてくるのは、ブレードの表側と裏側で、刃の切れ味
や冷却・潤滑剤の量などに差があるためと考えられるか
ら、本発明では、ブレードの傾きを検出しながら表側と
裏側に供給する冷却・潤滑剤の量を調節して、表側と裏
側の切れ味をバランスさせ、ブレードが被切断物体に垂
直に入っていくようにしたものである。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例を示す。この装置は、ブレー
ド１１の傾きを検出する変位センサ１６を具備する点で
は従来と同じであるが、ブレード１１の両側に独立した
冷却・潤滑剤供給用のノズル２１Ａ、２１Ｂが設置され
ており、かつそのノズル２１Ａ、２１Ｂに供給する冷却
・潤滑剤の量は流量調節弁２２Ａ。

２２Ｂによりそれぞれ個別に調節できるようになってい
る。

このように二つのノズル２１Ａ、２１Ｂを設け、冷却・
潤滑剤の量を加減すると第３図および第４図のようにブ
レードの傾き方向を自由にコントロールできることが実
験の結果から明らかとなった。

すなわち第３図に示すようにブレード１１の裏側のノズ
ル２１Ｂからの冷却・潤滑剤供給量を、表側のノズル２
１Ａからのそれより多くすると、ブレード１１は裏側の
方に曲がって行く、また反対に、第４図に示すようにブ
レード１１の表側のノズル２１Ａからの冷却・潤滑剤供
給量を、裏側のノズル２１Ｂからのそれより多くすると
、ブレード１１は表側の方に曲がって行く、つまりブレ
ード１１は冷却・潤滑剤の供給量が多い方に曲がるので
ある。したがってブレード１１の表側と裏側で冷却・潤
滑剤の供給量を適当に調節してやれば、物体１１の軸線
に対してブレード１１を垂直に切り込むことが可能であ
る。

そこで第１図の装置は、変位センサ１６でブレード１１
の傾き方向と大きさを検出し、その信号を増幅器２３で
増幅して制ｍ装置２４に取り込み、その符号（傾き方向
）と大きさに応じて流量調節弁２２Ａ、２２Ｂの開度を
！Ｊ１節して、ブレード１１の表側と裏側に供給する冷
却・潤滑剤の量を、ブレード１１の傾きがなくなるよう
に１１整するものである。

制御装置２４による制御方法は、ブレードの傾き量の許
容値によって選択すればよく、単なるオン・オフ制御で
も、また制御袋Ｗ２４でブレード１１の表側と裏側に供
給すべき冷却・潤滑剤の量を算出し、その値に応じて各
流量調節弁２２Ａ、２２Ｂの開度を自動的に関節するも
のであってもよい。

なお、この装置は、増幅器２３および制御装置２４を省
略し、変位センサ１６の出力を監視しながら、流量調節
弁２２Ａ、２２Ｂを手動で！ＰＪ節するようにしてもよ
い。

また上記実施例では両側のノズル２１Ａ、２１Ｂのみか
ら冷却・潤滑剤を供給するようにしたが、第２図に示す
ように従来のノズル１４を設置した上で、さらにブレー
ド１１の両側に独立したノズル２１Ａ、２１Ｂ　（２１
Ｂはブレード１１の裏側）を設けてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、ブレードの表側と
裏側にそれぞれ独立したノズルを設け、各々から供給さ
れる冷却・潤滑剤の量を、変位センサで検出したブレー
ドの傾きに応じて調整することにより、ブレードの傾き
を容易に修正することができる。従って熟練作業者によ
るブレードのドレッシング等を行うことなく被切断物体
を垂直に切断することができる。またブレードのドレッ
シング等が不要であるため切断時間が短縮され、生産性
が向上する利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る内周刃切断装置の説明
図、第２図は本発明の他の実施例に係る装置の要部を示
す正面図、第３図および第４図は冷却・潤滑剤供給量の
多少によるブレードの曲がり方を示す説明図、第５図は
従来の内周刃切断装置の要部を示す正面図、第６図は同
装置におけるブレードと被切断物体との関係を示す断面
図、第７図は同じくブレードとノズルと変位センサの関
係を示す説明図、第８図は同装置による切断状態の一例
を示す説明図である。 １１〜ブレード、１２〜刃、１３〜被切断物体、１５〜
冷却・潤滑剤、１６〜変位センサ、２１Ａ・２１Ｂ〜ノ
ズル、２２Ａ・２２Ｂ〜流量調節弁、２３〜増幅器、２
４〜制御装置。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）内周部分に刃を有する薄い環状のブレードを回転
   させて物体を切断する装置であって、上記ブレードの表
   側と裏側にそれぞれ独立した冷却・潤滑剤供給用のノズ
   ルを設置すると共に、各ノズルへの冷却・潤滑剤供給経
   路にそれぞれ流量調節弁を設け、さらに上記ブレードに
   接近してその傾きを検出する変位センサを設置してなり
   、その変位センサの出力に応じて上記流量調節弁の開度
   を調節し、ブレードの表側と裏側に供給する冷却・潤滑
   剤の量を調節してブレードの傾きを修正するようにした
   ことを特徴とする内周刃切断装置。
2. （２）特許請求の範囲第１項記載の切断装置であって、
   変位センサの出力を制御装置に取り込み、ブレードの表
   側と裏側に供給すべき冷却・潤滑剤の量を算出し、その
   値に応じて各流量調節弁の開度を自動的に調節するよう
   にしたもの。