JPS62176706U - - Google Patents

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JPS62176706U
JPS62176706U JP6524986U JP6524986U JPS62176706U JP S62176706 U JPS62176706 U JP S62176706U JP 6524986 U JP6524986 U JP 6524986U JP 6524986 U JP6524986 U JP 6524986U JP S62176706 U JPS62176706 U JP S62176706U
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JP
Japan
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measured
laser beam
film
measuring device
optical splitter
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Pending
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JP6524986U
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Priority to KR1019870003914A priority patent/KR900003208B1/ko
Priority to CA000535948A priority patent/CA1292803C/en
Priority to EP87106268A priority patent/EP0243961B1/en
Priority to DE8787106268T priority patent/DE3777232D1/de
Priority to US07/043,711 priority patent/US4748331A/en
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す構成図、第
２図はこの考案の他の実施例を示す構成図、第３
図及び第４図は従来の膜厚測定装置の構成図であ
る。 図において、１は回転軸、２は遮光板、３は被
測定部材、４ａ，５ａはレーザ光、６は反射ミラ
ー、１７はハーフミラー、１８は全反射ミラーで
ある。なお、各図中同一符号は同一、または相当
部分を示す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被測定膜がシートに塗布された被測定部材
    を回転軸で密着支持しながら走行させ、上記回転
    軸の面から所定の距離をあけて上記回転軸と平行
    に遮光板を設けて、上記被測定膜の表面と上記遮
    光板との間を第１のレーザ光を使つて反射ミラー
    で走査し、上記回転軸の表面と上記遮光板との間
    を第２のレーザ光を使つて反射ミラーで走査して
    上記被測定物膜の膜厚を測定するものにおいて、
    上記第１のレーザ光及び上記第２のレーザ光は１
    つのレーザ発振器から出たものを光分岐器で２つ
    に分岐したものであることを特徴とする膜厚測定
    装置。 (2) 光分岐器はレーザ発振器と反射ミラーとの
    間に配置されていることを特徴とする実用新案登
    録請求の範囲第１項記載の膜厚測定装置。 (3) 光分岐器は反射ミラーで反射されたレーザ
    光を分岐するように配置されていることを特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項記載の膜厚測
    定装置。
JP6524986U 1986-04-29 1986-04-29 Pending JPS62176706U (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6524986U JPS62176706U (ja) 1986-04-29 1986-04-29
KR1019870003914A KR900003208B1 (ko) 1986-04-29 1987-04-23 막(膜)두께의 측정장치
CA000535948A CA1292803C (en) 1986-04-29 1987-04-28 Film thickness measuring device
EP87106268A EP0243961B1 (en) 1986-04-29 1987-04-29 Film thickness measuring device
DE8787106268T DE3777232D1 (de) 1986-04-29 1987-04-29 Vorrichtung zum messen der schichtdicke.
US07/043,711 US4748331A (en) 1986-04-29 1987-04-29 Film thickness measuring device with signal averaging to compensate for roller eccentricity

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6524986U JPS62176706U (ja) 1986-04-29 1986-04-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62176706U true JPS62176706U (ja) 1987-11-10

Family

ID=30902145

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6524986U Pending JPS62176706U (ja) 1986-04-29 1986-04-29

Country Status (1)

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JP (1) JPS62176706U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01259206A (ja) * 1988-04-08 1989-10-16 Mitsubishi Electric Corp 膜厚測定装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01259206A (ja) * 1988-04-08 1989-10-16 Mitsubishi Electric Corp 膜厚測定装置

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