JPS61204548A - 欠陥検出装置 - Google Patents
欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS61204548A JPS61204548A JP4557285A JP4557285A JPS61204548A JP S61204548 A JPS61204548 A JP S61204548A JP 4557285 A JP4557285 A JP 4557285A JP 4557285 A JP4557285 A JP 4557285A JP S61204548 A JPS61204548 A JP S61204548A
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- JP
- Japan
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- defect
- inspected
- scattered light
- light
- flank
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は透明物体の表面欠陥および内部欠陥を欠陥検出
装置に関する。
装置に関する。
一般に透明物体は、製造時に傷あるいは気泡。
異物の混入等の欠陥が生じる。この欠陥は強度を弱めま
た美観を悪化させるため製造時に全数について検査して
これを取除かなければならない。このとき、欠陥の透明
物体における位置を知ることが製造技術の向上をはかる
うえに重要なことである。この種の検査は目視による方
法が一般的であったが検査の効率化、均一化、精度向上
のため検査の自動化が必要とされている。そこで従来は
第３図に示すような欠陥検出装置によって欠陥の検出を
行っていえ。即ち、レーザー光源１から照射されたレー
ザー光３を集光レンズ２により、所定のビーム径とし、
このレーザー光３をレーザー走査用ミラー４（振動鏡）
にて透明の被検査物体９上を走査させ、欠陥７に当たっ
て生じた側面散乱気信号８に変える。この電気信号８を
用いて欠陥の有無を調べるとともに、レーザー走査用ミ
ラー４のドライバ１１から出力されるアナログ位置信号
１３をもとに走査角検出部１４によりディジタル位置信
号１５を得ていた。尚、１２はミラードライブ信号であ
る。
た美観を悪化させるため製造時に全数について検査して
これを取除かなければならない。このとき、欠陥の透明
物体における位置を知ることが製造技術の向上をはかる
うえに重要なことである。この種の検査は目視による方
法が一般的であったが検査の効率化、均一化、精度向上
のため検査の自動化が必要とされている。そこで従来は
第３図に示すような欠陥検出装置によって欠陥の検出を
行っていえ。即ち、レーザー光源１から照射されたレー
ザー光３を集光レンズ２により、所定のビーム径とし、
このレーザー光３をレーザー走査用ミラー４（振動鏡）
にて透明の被検査物体９上を走査させ、欠陥７に当たっ
て生じた側面散乱気信号８に変える。この電気信号８を
用いて欠陥の有無を調べるとともに、レーザー走査用ミ
ラー４のドライバ１１から出力されるアナログ位置信号
１３をもとに走査角検出部１４によりディジタル位置信
号１５を得ていた。尚、１２はミラードライブ信号であ
る。
しかしながら、このような従来の欠陥検出装置では、欠
陥の位置を検出するのく、走査角検出部１４が必要とな
り、さらに位置信号１５と電気信号８とを同期させる必
要があった。また走査速度は、走査角検出部１４で制限
され、高速化に限界があった。
陥の位置を検出するのく、走査角検出部１４が必要とな
り、さらに位置信号１５と電気信号８とを同期させる必
要があった。また走査速度は、走査角検出部１４で制限
され、高速化に限界があった。
このような従来の問題点を解決するため、になされたも
のであって、そのための解決手段として、透明な被検査
物体にビーム状の光線を照射し、その散乱光から内部欠
陥および表面欠陥を検出する欠陥検出装置ＫＴｈいて、
透明な被検査物体を所定の位置に保持する手段と、被検
査物体にビーム状の光線を照射する手段と、被検査物体
中に存在する欠陥により散乱した光のうち物体の側面か
ら物体外部に出る側面散乱光のなかで広がり角度の小さ
い散乱光のみを受光して欠陥の位置を検出可能に設置し
た光検出器とを備えることを特徴とする欠陥検出装置を
提供するものである。
のであって、そのための解決手段として、透明な被検査
物体にビーム状の光線を照射し、その散乱光から内部欠
陥および表面欠陥を検出する欠陥検出装置ＫＴｈいて、
透明な被検査物体を所定の位置に保持する手段と、被検
査物体にビーム状の光線を照射する手段と、被検査物体
中に存在する欠陥により散乱した光のうち物体の側面か
ら物体外部に出る側面散乱光のなかで広がり角度の小さ
い散乱光のみを受光して欠陥の位置を検出可能に設置し
た光検出器とを備えることを特徴とする欠陥検出装置を
提供するものである。
以下本発明の一実施例について第１図及び第２図を参照
して説明する。
して説明する。
第１図において、２１はレーザー光源、２２は所定ビー
ム径を得るための集光レンズ、２３はレーザー光、２４
は被検査物体２９０所定範囲を走査する丸めの走査ミラ
ーで、振動鏡１回転多面鏡を用いる。２５は光検出器で
、該被検査物体２９の側面に多数置き、被検査物体２９
内の欠陥２７よりの側面散乱光２６を受光し、電気信号
２８を出力する。尚、３０はレーザー走査用ミラードラ
イバ、３１はミラードライブ信号である。第２図は第１
図を上方から見たときの図で、光検出器２５にフード３
２を取り付けることによって、被検査物体２９のなかの
欠陥３５の側面散乱光２６は受光できるが、離れた位置
にある欠陥２７の側面散乱光３８は受光できないことを
示している。
ム径を得るための集光レンズ、２３はレーザー光、２４
は被検査物体２９０所定範囲を走査する丸めの走査ミラ
ーで、振動鏡１回転多面鏡を用いる。２５は光検出器で
、該被検査物体２９の側面に多数置き、被検査物体２９
内の欠陥２７よりの側面散乱光２６を受光し、電気信号
２８を出力する。尚、３０はレーザー走査用ミラードラ
イバ、３１はミラードライブ信号である。第２図は第１
図を上方から見たときの図で、光検出器２５にフード３
２を取り付けることによって、被検査物体２９のなかの
欠陥３５の側面散乱光２６は受光できるが、離れた位置
にある欠陥２７の側面散乱光３８は受光できないことを
示している。
このように直進してきた側面散乱光２６だけを受光でき
るようＫした光検出器２５を側面に、すき間をあけずに
置くことＫより、欠陥３５の位置を検出できる。尚、３
４は電気信号である。
るようＫした光検出器２５を側面に、すき間をあけずに
置くことＫより、欠陥３５の位置を検出できる。尚、３
４は電気信号である。
本実施例では、角度の大きい側面散乱光３８を除去する
のにフード３２を用いたが、ガラスファイバやプラスチ
ックファイバあるいは多孔性円筒を用いることができる
。また第３図における光検出器２５はＹ軸方向における
位置が検出可能であるが、他の側面に配置する光検出器
２５によってＹ軸バかの位置が檜出可仙とｈ入ので、絃
林檜審物体２９のなかの位置が求まる。
のにフード３２を用いたが、ガラスファイバやプラスチ
ックファイバあるいは多孔性円筒を用いることができる
。また第３図における光検出器２５はＹ軸方向における
位置が検出可能であるが、他の側面に配置する光検出器
２５によってＹ軸バかの位置が檜出可仙とｈ入ので、絃
林檜審物体２９のなかの位置が求まる。
本発明によれば、透明な被検査物体にビーム状の光線を
照射し、その散乱光から内部欠陥および表面欠陥を検出
する欠陥検出装置において、透明な被検査物体を所定の
位置に保持する手段と、被検査物体にビーム状の光線を
照射する手段と、被検査物体中に存在する欠陥により散
乱した光のうち物体の側面から物体外部に出る側面散乱
光のなかで広がり角度の小さい散乱光のみを受光して欠
陥の位置を検出可能に設置した光検出器とを備えること
を特徴とする欠陥検出装置としたため、欠陥の被検査物
体における位置の検出を高速に行なうことが可能となり
、検査ラインなどでの品質管理が向上するという効果が
ある。
照射し、その散乱光から内部欠陥および表面欠陥を検出
する欠陥検出装置において、透明な被検査物体を所定の
位置に保持する手段と、被検査物体にビーム状の光線を
照射する手段と、被検査物体中に存在する欠陥により散
乱した光のうち物体の側面から物体外部に出る側面散乱
光のなかで広がり角度の小さい散乱光のみを受光して欠
陥の位置を検出可能に設置した光検出器とを備えること
を特徴とする欠陥検出装置としたため、欠陥の被検査物
体における位置の検出を高速に行なうことが可能となり
、検査ラインなどでの品質管理が向上するという効果が
ある。
第１図は、本発明の一実施例に係る欠陥検出装置の説明
図、 第２図は、第１図を上から見た場合の説明図、そして、
第３図は、従来の欠陥検出装置を示す説明図である。
図、 第２図は、第１図を上から見た場合の説明図、そして、
第３図は、従来の欠陥検出装置を示す説明図である。
Claims (1)
- 透明な被検査物体にビーム状の光線を照射し、その散乱
光から内部欠陥および表面欠陥を検出する欠陥検出装置
において、透明な被検査物体を所定の位置に保持する手
段と、被検査物体にビーム状の光線を照射する手段と、
被検査物体中に存在する欠陥により散乱した光のうち物
体の側面から物体外部に出る側面散乱光のなかで広がり
角度の小さい散乱光のみを受光して欠陥の位置を検出可
能に設置した光検出器とを備えることを特徴とする欠陥
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4557285A JPS61204548A (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | 欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4557285A JPS61204548A (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | 欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61204548A true JPS61204548A (ja) | 1986-09-10 |
Family
ID=12723059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4557285A Pending JPS61204548A (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | 欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61204548A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4986214A (en) * | 1986-12-16 | 1991-01-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Thin film forming apparatus |
| JP2013505433A (ja) * | 2009-09-18 | 2013-02-14 | サノフィ−アベンティス・ドイチュラント・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | ストッパの長手位置を決定するための配置 |
-
1985
- 1985-03-07 JP JP4557285A patent/JPS61204548A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4986214A (en) * | 1986-12-16 | 1991-01-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Thin film forming apparatus |
| JP2013505433A (ja) * | 2009-09-18 | 2013-02-14 | サノフィ−アベンティス・ドイチュラント・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | ストッパの長手位置を決定するための配置 |
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