JPS61204547A - 欠陥検出装置 - Google Patents
欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS61204547A JPS61204547A JP4557185A JP4557185A JPS61204547A JP S61204547 A JPS61204547 A JP S61204547A JP 4557185 A JP4557185 A JP 4557185A JP 4557185 A JP4557185 A JP 4557185A JP S61204547 A JPS61204547 A JP S61204547A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- light
- inspected
- laser
- flank
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、物の欠陥検出装置に関し、特に欠陥の種類を
分類処理す′る欠陥検出装置に関する。
分類処理す′る欠陥検出装置に関する。
ｒ 猛ネのｔ左ａテ ）
一般に透明ガラス物体は、製造時に傷あるいは気泡、異
物の混入等の欠陥が生じる。この欠陥は強度を弱めまた
美観を悪化させるため、製造時に全数について検査して
不良と判断される種類の物を取除かなければならない。
物の混入等の欠陥が生じる。この欠陥は強度を弱めまた
美観を悪化させるため、製造時に全数について検査して
不良と判断される種類の物を取除かなければならない。
この種の検査は、目視による方法が一般的であったが、
検査の効率化。
検査の効率化。
均一化、ｎ度向上等のため検査の自動化が必要とされて
いる。そこで従来から第３図に示すような欠陥検出装置
が用いられている。
いる。そこで従来から第３図に示すような欠陥検出装置
が用いられている。
図中１はレーザ光源、２は収光レンズ、３はレーザ光、
４はレーザ走査用ミラー、５は光センサ。
４はレーザ走査用ミラー、５は光センサ。
６は光収光器としての光ファイバー、７は欠陥。
８は出力信号を示す。まず、レーザ光源ｌからのレーザ
光３をレーザ走査用ミラー４にて透明な物体９上を走査
させて欠陥７にあたって生じた側面散乱光を光ファイバ
ー６で集め、光センサ５で電気的信号に変え、この電気
的信号を用いて欠陥７の有無を検査するようにしていた
。
光３をレーザ走査用ミラー４にて透明な物体９上を走査
させて欠陥７にあたって生じた側面散乱光を光ファイバ
ー６で集め、光センサ５で電気的信号に変え、この電気
的信号を用いて欠陥７の有無を検査するようにしていた
。
上述した従来の欠陥検出装置は、欠陥７に当たって生じ
た側面散乱光を光ファイバー６で集めて光センサ５で電
気的信号に変え、この電気的信号不正確な所かのこって
いた。
た側面散乱光を光ファイバー６で集めて光センサ５で電
気的信号に変え、この電気的信号不正確な所かのこって
いた。
本発明は、散乱光を方向別に受けることＫよりその散乱
パターンを検出し欠陥をより細かく分類出来る欠陥検出
装置を提供せんとするものである。
パターンを検出し欠陥をより細かく分類出来る欠陥検出
装置を提供せんとするものである。
そのために１本発明は、透明な被検査物体にビーム状の
光線を照射し、その散乱光から欠陥を検出し分類する欠
陥検出装置Ｋｆ？いて、透明な被検査物体を所定の位置
に保持する手段と、該被検査物体にビーム状の光線を照
射する手段と、該被検査物体中に存在する欠陥により散
乱する光のうち該被検査物体の側面より外部に出る側面
散乱光を方向別に検出するように配置した検出手段とを
備え九ことを特徴とする欠陥検出装置を提供するもので
ある。
光線を照射し、その散乱光から欠陥を検出し分類する欠
陥検出装置Ｋｆ？いて、透明な被検査物体を所定の位置
に保持する手段と、該被検査物体にビーム状の光線を照
射する手段と、該被検査物体中に存在する欠陥により散
乱する光のうち該被検査物体の側面より外部に出る側面
散乱光を方向別に検出するように配置した検出手段とを
備え九ことを特徴とする欠陥検出装置を提供するもので
ある。
以下本発明の実施例について第１図及び第２図を参照し
て説明する。
て説明する。
第１図において１１はレーザ光源、１２は所定ビーム径
を得るための集光レンズ、１３はレーザ光、１４は該被
検査物体の所定範囲を走査するためのレーザ走査ミラー
で、振動鏡又は回転多ｔｉｉｉ鏡を用いる。１５は光検
知器としての光センナで該被検査物体１８のまわりに多
数おき該被検査物体ｌＢ内の欠陥１６よりの側面散乱光
１７を方向別に受光しそれぞれの信号を別々忙その信号
を受けた時光レーザ１３が当りていた場所のデータとと
もＫＭ理してその欠陥の種類を分類する。尚、１９はそ
の出力信号である。欠陥分類の例としては、第２図の様
な細長い欠陥２０の場合は光レーザ１３が当たると側面
散乱光２１．２２の方向に多く、側面散乱光２３．２４
の方向には少ない傾向を示す。従って、欠陥の種類が判
別できることとなる。
を得るための集光レンズ、１３はレーザ光、１４は該被
検査物体の所定範囲を走査するためのレーザ走査ミラー
で、振動鏡又は回転多ｔｉｉｉ鏡を用いる。１５は光検
知器としての光センナで該被検査物体１８のまわりに多
数おき該被検査物体ｌＢ内の欠陥１６よりの側面散乱光
１７を方向別に受光しそれぞれの信号を別々忙その信号
を受けた時光レーザ１３が当りていた場所のデータとと
もＫＭ理してその欠陥の種類を分類する。尚、１９はそ
の出力信号である。欠陥分類の例としては、第２図の様
な細長い欠陥２０の場合は光レーザ１３が当たると側面
散乱光２１．２２の方向に多く、側面散乱光２３．２４
の方向には少ない傾向を示す。従って、欠陥の種類が判
別できることとなる。
以上説明したように１本発明は、透明な被検査物体にビ
ーム状の光線を照射し、その散乱光から欠陥を検出し分
類する欠陥検出装置において、透明な被検査物体を所定
の位置に保持する手段と、該被検査物体にビーム状の光
線を照射する手段と、該被検査物体中に存在する欠陥に
より散乱する光のうち該被検査物体の側面より外部に出
る側面散乱光を方向別に検出するように配置した検出手
段とを備えたことを特徴とする欠陥検出装置としたため
、欠陥の分類が容易に出来るようＫなり検査ラインなど
での品質管理が向上するという効果がある。
ーム状の光線を照射し、その散乱光から欠陥を検出し分
類する欠陥検出装置において、透明な被検査物体を所定
の位置に保持する手段と、該被検査物体にビーム状の光
線を照射する手段と、該被検査物体中に存在する欠陥に
より散乱する光のうち該被検査物体の側面より外部に出
る側面散乱光を方向別に検出するように配置した検出手
段とを備えたことを特徴とする欠陥検出装置としたため
、欠陥の分類が容易に出来るようＫなり検査ラインなど
での品質管理が向上するという効果がある。
第１図は、本発明の一実施例の欠陥検出装置を示す説明
図、 ３１１２図は、欠陥の側面散乱先例を示す説明図、そし
て、第３図は、従来の欠陥検出装置を示す説明図である
。 １１・・・レーｆ光源 １２・・・収光レンズ１
３・・・レーザ光１４川レーザ走査用ミラー１５・・・
光センサ １６・・・欠陥１７・・・側面散乱
光 １８・・・被検査物体１９・・・出力信号
図、 ３１１２図は、欠陥の側面散乱先例を示す説明図、そし
て、第３図は、従来の欠陥検出装置を示す説明図である
。 １１・・・レーｆ光源 １２・・・収光レンズ１
３・・・レーザ光１４川レーザ走査用ミラー１５・・・
光センサ １６・・・欠陥１７・・・側面散乱
光 １８・・・被検査物体１９・・・出力信号
Claims (1)
- 透明な被検査物体にビーム状の光線を照射し、その散乱
光から欠陥を検出し分類する欠陥検出装置において、透
明な被検査物体を所定の位置に保持する手段と、該被検
査物体にビーム状の光線を照射する手段と、該被検査物
体中に存在する欠陥により散乱する光のうち該被検査物
体の側面より外部に出る側面散乱光を方向別に検出する
ように配置した検出手段とを備えたことを特徴とする欠
陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4557185A JPS61204547A (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | 欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4557185A JPS61204547A (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | 欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61204547A true JPS61204547A (ja) | 1986-09-10 |
Family
ID=12723029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4557185A Pending JPS61204547A (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | 欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61204547A (ja) |
-
1985
- 1985-03-07 JP JP4557185A patent/JPS61204547A/ja active Pending
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