JPS6037462B2 - Defect pattern correction equipment - Google Patents
Defect pattern correction equipmentInfo
- Publication number
- JPS6037462B2 JPS6037462B2 JP51104097A JP10409776A JPS6037462B2 JP S6037462 B2 JPS6037462 B2 JP S6037462B2 JP 51104097 A JP51104097 A JP 51104097A JP 10409776 A JP10409776 A JP 10409776A JP S6037462 B2 JPS6037462 B2 JP S6037462B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- pattern
- defective
- stage
- pattern correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、プリント基板にパターンを焼き付ける際に用
いるマスクパターンの欠陥部分を修正する欠陥パターン
修正装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a defective pattern repairing apparatus for repairing defective portions of a mask pattern used when printing a pattern on a printed circuit board.
混成集積回路やプリント配線板を製造する際に使用する
フオトマスクは、感光性フィルムにマスクのパターンを
焼き付けて現像したものである。Photomasks used when manufacturing hybrid integrated circuits and printed wiring boards are made by printing a mask pattern onto a photosensitive film and developing it.
又焼き付けの際に使用するマスクは、縮小カメラで撮影
して感光性フィルム等の上にパターンを形成したもので
ある。ところで、マスクパターンを現像する際或はマス
クの取り扱い中にパターンを損傷させると、この欠陥部
分はプリント基板上に現われるため、マスクを使用する
際にマスクのパターンを検査するものである。The mask used for printing is a pattern formed on a photosensitive film or the like by photographing with a reduction camera. By the way, if the pattern is damaged during development or handling of the mask, the defective portion will appear on the printed circuit board, so the mask pattern is inspected when the mask is used.
そして欠陥部分があった場合には、これを修復しなけれ
ばならない。従釆は、マスクを顕微鏡で調べ、欠陥部分
を修正ペンを用いて人手で塗りつぶしていた。If there is a defective part, it must be repaired. The inspector examined the mask under a microscope and manually filled in the defective areas using a correction pen.
このため修正に多くの時間を要するほか、可成りの熟練
を要するという不都合があった。本発明は、上述の如き
従来の欠点を改善する新規な発明であり、その目的は、
欠陥パターン部分を迅速・正確かつ簡単に修正すること
ができるような欠陥パターン修正装置を提供することに
ある。For this reason, there are disadvantages in that it takes a lot of time to make corrections and also requires considerable skill. The present invention is a novel invention that improves the conventional drawbacks as described above, and its purpose is to
To provide a defective pattern correction device capable of quickly, accurately and easily correcting a defective pattern portion.
その目的を達成せしめるため、本発明の欠陥パターン修
正装置は、欠陥パターンを含む試料を載層するステージ
と、インクの微粒子を噴射するインク噴射装置とを備え
、ステージ上に載層された試料の欠陥パターン部分にイ
ンクの微粒子を噴射して欠陥パターンを修正することを
特徴とするもので、以下実施例について詳細に説明する
。In order to achieve the object, the defect pattern correction apparatus of the present invention includes a stage on which a sample including a defective pattern is placed, and an ink jetting device that jets ink fine particles. This method is characterized in that the defective pattern is corrected by jetting fine ink particles onto the defective pattern portion, and examples thereof will be described in detail below.
図は、本発明に係る一実施例の構成図であり、１は大地
に固定されたステージで、その中央に点線で示すような
孔２を設けている。３は、ステージー上において×方向
およびＹ方向に移動する移動台で、その中央には点線で
示すようにステージ１に設けた孔２と運通する孔４を設
ける。The figure is a configuration diagram of one embodiment of the present invention, and numeral 1 is a stage fixed to the ground, and a hole 2 as shown by a dotted line is provided in the center of the stage. Reference numeral 3 denotes a movable table that moves in the X direction and the Y direction on the stage, and a hole 4 communicating with the hole 2 provided in the stage 1 is provided in the center as shown by the dotted line.
５は移動台３の孔４上に置かれた試料、６は移動台３を
×方向に移動させるモータ、７は移動台３をＹ方向に移
動させるモータ、８はインク噴射装置、９はインク噴射
装置８およびモータ６，７を制御する制御部、１０‘ま
テレビカメラで、インク噴射装置からインクの微粒子が
噴射される方向の真下に配置されている。5 is a sample placed on the hole 4 of the moving table 3, 6 is a motor that moves the moving table 3 in the x direction, 7 is a motor that moves the moving table 3 in the Y direction, 8 is an ink jetting device, and 9 is an ink A control section 10' for controlling the ejecting device 8 and the motors 6 and 7 is a television camera, which is placed directly below the direction in which ink particles are ejected from the ink ejecting device.
１１はテレビモニ夕で、テレビカメラ９で撮像した映像
をブラウン管１２上に表示する。Reference numeral 11 denotes a television monitor, which displays images captured by a television camera 9 on a cathode ray tube 12.
なお、ブラウン管１１上には、インク噂射装置８から噴
射されるインクの微粒子の噴射位置を線１３および線１
４の交点で表示してある。次に動作について説明する。
まず、操作者が制御部９に指示を与えてモータ６および
７を動作させ、移動台３を動かして試料５を端から順次
テレビカメラ１０で撮像し、試料の画像をテレビモニタ
１１のブラウン管１２上に表示する。Incidentally, on the cathode ray tube 11, a line 13 and a line 1 indicate the ejection position of the ink particles ejected from the ink ejection device 8.
It is indicated by the intersection of 4. Next, the operation will be explained.
First, the operator gives an instruction to the control unit 9 to operate the motors 6 and 7, moves the movable stage 3, and sequentially images the sample 5 from the end with the television camera 10. Display above.
そして、操作者はブラウン管１２上に映し出されたパタ
ーンを目視し、欠陥部分が発見されたならば、いったん
移動台３の動きを止め、次にモータ６および７を微動さ
せて欠陥部分１５を線１３および１４の交点に移動させ
る。この位置は、ちようどインク噴射装置８の真下であ
る。Then, the operator visually observes the pattern projected on the cathode ray tube 12, and if a defective part is found, the operator temporarily stops the movement of the moving table 3, and then moves the motors 6 and 7 slightly to remove the defective part 15. Move to the intersection of 13 and 14. This position is just below the ink ejecting device 8.
この状態でインク噴射装置８からインクの微粒子を試料
５に噴射すると、インクの微粒子は欠陥部分１５に付着
し、欠陥部分１５を塗りつぶして欠陥部分を修正する。
欠陥部分の面積が大きく、１個のインクの微粒子だけで
は塗りつぶすことができないときは移動台３をさらに移
動させて再度インクの微粒子を噴射すればよい。なお、
インク噴射装置８からのインクの微粒子は、連続的ある
いは単発的の発射も可能であるので、円形ないし線状の
欠陥も修正できるし、また、電気的にインクの微粒子の
直径を制御することも可能であるので、小さい欠陥たと
えば直径数十〔仏ｍ〕程度の欠陥部分もインクを余分に
塗布することなしに修正できる。When fine particles of ink are jetted onto the sample 5 from the ink jetting device 8 in this state, the fine particles of ink adhere to the defective portion 15, fill the defective portion 15, and correct the defective portion.
If the area of the defective area is large and cannot be filled with just one ink particle, the movable table 3 may be moved further and ink particles may be ejected again. In addition,
The ink particles from the ink jetting device 8 can be ejected continuously or singly, so circular or linear defects can be corrected, and the diameter of the ink particles can be electrically controlled. Since this is possible, even small defects, such as defects on the order of several tens of meters in diameter, can be corrected without applying extra ink.
上記実施例は、テレビモニタ１１に表示されるパターン
を目視しながらの修正であるが、次のように修正を自動
的に行なうこともできる。In the above embodiment, the correction is made while visually observing the pattern displayed on the television monitor 11, but the correction can also be made automatically as follows.
まず、パターン自動検査装置を使用するかあるいは顕微
鏡検査などであらかじめ試料５の欠陥位置を調査してお
き、この欠陥位置情報を制御部９に加え、その情報をも
とに移動台３を自動的に移動させてインク噴射装置８の
真下に欠陥部分を位置させ、インク噴射装置８からイン
クの微粒子を噴射させて欠陥部分を自動的に修正するこ
ともできる。First, the defect position of the sample 5 is investigated in advance using an automatic pattern inspection device or by microscopic inspection, and this defect position information is added to the control unit 9, and the moving stage 3 is automatically controlled based on the information. It is also possible to move the defective portion directly under the ink ejecting device 8, and to have the ink ejecting device 8 eject fine particles of ink to automatically correct the defective portion.
以上詳細に説明したように、本発明によれば、シルク・
スクリーン、ステンレス・スクリーンへパターンを焼き
付けるときに使用するマスク材などの試料の欠陥部分を
人手によらずインクジェットで修正できるので、作業性
の改善がはかれるばかりか、インクの微粒子の直径、単
発噴射あるいは連続噴射を自由に使いわけることができ
るので、複雑な欠陥部分の修正も迅速・簡単にできるし
、また人手による修正のようにパターンからのはみだし
などのミスは皆無になるなど多くの効果を有するもので
ある。As explained in detail above, according to the present invention, silk
Since defective parts of samples such as mask materials used when printing patterns on screens and stainless steel screens can be corrected by inkjet without manual intervention, workability is not only improved, but also the diameter of ink particles, single injection or Since continuous injection can be used freely, complex defects can be repaired quickly and easily, and there are no mistakes such as deviations from the pattern that occur when making manual corrections, which has many other effects. It is something.
図は、本発明の一実施例の構成図である。
図において、１はステージ、２は孔、３は移動台、４は
孔、５は試料、８はインク噴射装置、９は制御部、１川
まテレビカメラ、１１はテレビモニタである。The figure is a configuration diagram of an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a stage, 2 is a hole, 3 is a moving table, 4 is a hole, 5 is a sample, 8 is an ink jetting device, 9 is a control unit, 1 is a television camera, and 11 is a television monitor.
Claims (1)
ンクの微粒子を噴射するインク噴射装置とを備え、ステ
ージ上に載置された試料の欠陥パターン部分にインクの
微粒子を噴射して欠陥パターンを修正することを特徴と
する欠陥パターン修正装置。1 Equipped with a stage on which a sample including a defective pattern is placed and an ink jetting device that jets fine ink particles, the defective pattern is corrected by jetting fine ink particles onto the defective pattern portion of the sample placed on the stage. A defect pattern correction device characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51104097A JPS6037462B2 (en) | 1976-08-31 | 1976-08-31 | Defect pattern correction equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51104097A JPS6037462B2 (en) | 1976-08-31 | 1976-08-31 | Defect pattern correction equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5329806A JPS5329806A (en) | 1978-03-20 |
| JPS6037462B2 true JPS6037462B2 (en) | 1985-08-26 |
Family
ID=14371605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51104097A Expired JPS6037462B2 (en) | 1976-08-31 | 1976-08-31 | Defect pattern correction equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6037462B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0454055Y2 (en) * | 1985-07-12 | 1992-12-18 | ||
| JPH0513870U (en) * | 1991-08-07 | 1993-02-23 | アラコ株式会社 | Rear windshield raindrop remover |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58115898U (en) * | 1982-01-30 | 1983-08-08 | 株式会社島津製作所 | Variable voltage/variable frequency inverter for induction motors |
| JPS5946647A (en) * | 1982-09-09 | 1984-03-16 | Toppan Printing Co Ltd | Pinhole sealing device |
| JPH0695209B2 (en) * | 1986-10-17 | 1994-11-24 | 東洋インキ製造株式会社 | Plate making method |
-
1976
- 1976-08-31 JP JP51104097A patent/JPS6037462B2/en not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0454055Y2 (en) * | 1985-07-12 | 1992-12-18 | ||
| JPH0513870U (en) * | 1991-08-07 | 1993-02-23 | アラコ株式会社 | Rear windshield raindrop remover |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5329806A (en) | 1978-03-20 |
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