JPH07281437A - Photosetting resin laminated body - Google Patents

Photosetting resin laminated body

Info

Publication number
JPH07281437A
JPH07281437A JP6075872A JP7587294A JPH07281437A JP H07281437 A JPH07281437 A JP H07281437A JP 6075872 A JP6075872 A JP 6075872A JP 7587294 A JP7587294 A JP 7587294A JP H07281437 A JPH07281437 A JP H07281437A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
weight
meth
photocurable resin
resin layer
carbon atoms
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6075872A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toru Mori
徹 森
Masahiro Yoshida
正宏 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Chemical Industry Co Ltd filed Critical Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority to JP6075872A priority Critical patent/JPH07281437A/en
Publication of JPH07281437A publication Critical patent/JPH07281437A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a photosetting resin laminated body useful for the production of a high-density printed circuit board having through holes of small dianaeter. CONSTITUTION:The photosetting resin layer of the photosetting resin laminated body has 20-95% transmittance for UV rays of 365nm wavelength. The thermoplastic polymer included in the photosetting resin layer contains a compd. expressed by the formula and has 110-150 deg.C glass transition temp. This laminated body is used for the production of a printed circuit board having small- diameter through holes. In the formula, R1 is a hydrogen atom or alkyl group of 1-3 carbon number, X is a halogen atom or alkyl group of 1-3 carbon number, (n) is 0 or an integer 1 to 3 and when n>2, plural X may be same or different from each other.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光硬化性樹脂積層体に関
する。さらに詳しくは小径スルーホールを持つプリント
配線板の製造に適した新規な光硬化性樹脂積層体に関す
る。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a photocurable resin laminate. More specifically, the present invention relates to a novel photocurable resin laminate suitable for manufacturing a printed wiring board having a small diameter through hole.

【0002】[0002]

【従来の技術】スルーホールを持つプリント配線板の製
造には、テンティング法と呼ばれる方法が多く使われて
いる。テンティング法は、支持体と光硬化性樹脂層から
なる、いわゆるドライフィルムレジスト(以下DFRと
略記する)を用いて行われる。テンティング法は、DF
Rの光硬化性樹脂層で、金属被覆絶縁板(以下基板と略
記する)の各貫通孔の両端開口部をカバーした後、配線
パターンマスク等を通し露光することにより、貫通孔を
覆う硬化レジスト(テンティング膜と呼ばれる)を形成
させ、現像液により未露光部分の光硬化性樹脂層の除去
後、硬化レジスト画像以外のところの基板上の金属導体
層をエッチングすることによりスルーホールを有するプ
リント配線板を製造する方法である。
2. Description of the Related Art A method called a tenting method is often used for manufacturing printed wiring boards having through holes. The tenting method is performed using a so-called dry film resist (hereinafter abbreviated as DFR) including a support and a photocurable resin layer. The tenting method is DF
A photo-curable resin layer of R covers both end openings of each through hole of a metal-coated insulating plate (hereinafter abbreviated as a substrate), and then is exposed through a wiring pattern mask or the like to cure the through hole. (Tenting film) is formed, the photo-curable resin layer in the unexposed area is removed by a developer, and then the metal conductor layer on the substrate other than the cured resist image is etched to form a print having through holes. It is a method of manufacturing a wiring board.

【0003】ここで貫通孔を覆うように形成された硬化
レジスト層は、スルーホールの周囲に形成される導体層
(以下ランドと称する)表面に接着することにより保持
され、エッチング液が貫通孔内に入り込むことを防いで
いる。したがって、テンティング法においては、ランド
を作ることは設計上不可欠で、その幅は0.5mm前後
であった。
The hardened resist layer formed so as to cover the through holes is held by being adhered to the surface of a conductor layer (hereinafter referred to as a land) formed around the through holes, so that the etching solution is contained in the through holes. It prevents you from getting in. Therefore, in the tenting method, it is indispensable in designing to make the land, and the width thereof is about 0.5 mm.

【0004】しかしながら、近年プリント配線板の高密
度化が進み、従来よりも小さな直径の小径スルーホール
とより狭いランドが多用されるようになった。小径スル
ーホールは、直径が0.5mm以下であり、ランド幅は
0.1mm以下、好ましくは0.05mm以下である。
ランド幅が狭いと小径貫通孔を覆う硬化レジスト膜の基
板への接着が十分でなく、小径貫通孔内へのエッチング
液のしみこみによる不良が多発し、実質的に製造が不可
能である。従って、従来はテンティング法よりも工程が
複雑・高コストである穴埋めインク法やめっき法を使わ
ざる得なかった。
However, in recent years, the density of printed wiring boards has been increased, and small-diameter through-holes having a smaller diameter and narrower lands have been frequently used. The small diameter through hole has a diameter of 0.5 mm or less and a land width of 0.1 mm or less, preferably 0.05 mm or less.
If the land width is narrow, the cured resist film covering the small-diameter through-hole is not sufficiently adhered to the substrate, and defects often occur due to the etching solution soaking into the small-diameter through-hole, which makes production substantially impossible. Therefore, conventionally, the hole filling ink method and the plating method, which are more complicated and costly than the tenting method, have been used.

【0005】これに対して、DFRの光硬化性樹脂層を
小径貫通孔内に一定深さまで埋め込ませ、かつ十分光硬
化させると、ランド幅以上にマスクと貫通孔の位置がず
れた場合でも良好なテンティング膜が形成され、小径ス
ルーホールを持つプリント配線板の製造が従来のテンテ
ィングプロセスでも可能となる技術が知られている(特
開平3−236956公報)。これは「埋め込みテンテ
ィング法」として実用化され広まった。
On the other hand, if the photo-curable resin layer of DFR is embedded in the small-diameter through hole to a certain depth and is sufficiently photo-cured, it is preferable even if the positions of the mask and the through hole deviate more than the land width. It is known that a printed wiring board having a small-diameter through-hole can be manufactured by a conventional tenting process in which a different tenting film is formed (JP-A-3-236956). This was put to practical use and spread as the "embedded tenting method".

【0006】「埋め込みテンティング法」は特開平3−
236956公報に開示されているように、ラミネート
速度を遅くすると光硬化性樹脂層が貫通孔へ深く埋め込
まれ、より効果を発揮するため、遅い速度でラミネート
する場合が多かった。しかしながら、ラミネート装置の
一部は従来のテンティング法の通常ラミネート速度に適
合するように設計されているため、「埋め込みテンティ
ング法」に使用できないという制約があった。また、
「埋め込みテンティング法」の利用が拡大するにつれ
て、ラミネート工程に関わる所要時間の短縮が求められ
てきた。
The "embedded tenting method" is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-
As disclosed in 236956, when the laminating speed is slowed down, the photocurable resin layer is deeply embedded in the through-hole, and the effect is more exerted. Therefore, the laminating is often performed at a slower speed. However, a part of the laminating apparatus is designed so as to be compatible with the normal laminating speed of the conventional tenting method, and thus there is a restriction that it cannot be used for the “embedded tenting method”. Also,
As the use of the "embedding tenting method" has expanded, it has been required to reduce the time required for the laminating process.

【0007】DFRにあっては、特開平3−23695
6公報に開示されているように粘度が低くなるに従い、
光硬化性樹脂層の貫通孔への埋め込みが大きくなり、よ
り効果がでるが、一方で耐コールドフロー性、すなわ
ち、巻取りロールを保存する際、光硬化性樹脂層がロー
ル端面から染み出さないことも要求される。染みだし
(エッジヒューズと呼ばれる)た光硬化性樹脂層は、ラ
ミネートの際にチップとなって飛び散り作業環境を汚染
し、さらに基板表面に付着することにより不良基板の発
生を引き起こし、実用上非常に大きな問題となる。
In the case of DFR, Japanese Patent Laid-Open No. 23695/1993
As disclosed in JP-A-6-
The photo-curable resin layer is more embedded in the through holes, which is more effective, but on the other hand, cold flow resistance, that is, the photo-curable resin layer does not exude from the roll end surface when the winding roll is stored. Is also required. The photocurable resin layer that exudes (called edge fuse) becomes a chip when laminating and contaminates the work environment, and further adheres to the surface of the substrate, causing the generation of a defective substrate, which is very practical. It becomes a big problem.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】小径スルーホールを持
つプリント配線板製造において、ラミネート速度条件を
より高速化しても、光硬化性樹脂層が「埋め込みテンテ
ィング法」として効果を発揮する深さまで貫通孔内へ埋
め込まれ、しかも耐コールドフロー性を満足する光硬化
性樹脂積層体の開発を課題とする。
In the production of a printed wiring board having a small diameter through hole, the photocurable resin layer penetrates to a depth where it is effective as the "embedding tenting method" even if the laminating speed condition is made higher. It is an object to develop a photo-curable resin laminate which is embedded in the holes and satisfies the cold flow resistance.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決すべく
検討を重ねた結果、特定の紫外線透過率を持つ光硬化性
樹脂層の中で、光硬化性樹脂層に含まれる熱可塑性高分
子として特定の高分子を選ぶことにより、従来のテンテ
ィング法における通常ラミネート速度(2〜3m/分)
でも光硬化性樹脂層が「埋め込みテンティング法」とし
て効果を発揮する深さまで埋め込まれ、マスクと基板の
貫通孔との位置がずれた場合でも良好なテンティング膜
を形成させ、しかも耐コールドフロー性を有することを
見出した。
As a result of repeated studies to solve the above problems, among the photocurable resin layers having a specific ultraviolet transmittance, the thermoplastic polymer contained in the photocurable resin layer By selecting a specific polymer as, the normal laminating speed in the conventional tenting method (2-3 m / min)
However, the photo-curable resin layer is embedded to a depth that is effective as an "embedding tenting method", forming a good tenting film even when the position of the mask and the through hole of the substrate is deviated, and is cold flow resistant. It has been found to have properties.

【0010】すなわち本発明は、支持層と、その一方の
面に設けられた、波長365nmの紫外線に対して20
〜95%の紫外線透過率を有し、かつ(a)α、β−不
飽和カルボン酸の中からから選ばれる少なくとも1種の
第1単量体15〜40重量%、下記式(1)に示される
化合物の中から選ばれる少なくとも1種の第2単量体5
〜35重量%、
That is, according to the present invention, the support layer and the ultraviolet ray having a wavelength of 365 nm, which is provided on one surface of the support layer, are applied to 20 times.
15% to 40% by weight of at least one first monomer selected from the group consisting of (a) α, β-unsaturated carboxylic acids and having a UV transmittance of At least one second monomer 5 selected from the compounds shown
~ 35% by weight,

【0011】[0011]

【化2】 [Chemical 2]

【0012】(式中のR1 は水素原子または炭素数1〜
3のアルキル基、Xはハロゲン原子または炭素数1〜3
のアルキル基、nは0または1〜3の整数であってnが
2以上の場合、複数のXはたがいに同一であっても異な
っていても良い)および、炭素数1〜6のアルキル基を
有するアルキル(メタ)アクリレート、炭素数2〜6の
ヒドロキシアルキル基を有するヒドロキシアルキル(メ
タ)アクリレート、(メタ)アクリロニトリル、(メ
タ)アクリルアミドとその窒素上の水素が炭素数1〜4
のアルキル基または炭素数1〜6のアルコキシ基で置換
された化合物、およびメタクリル酸グリシジルの中から
選ばれる少なくとも1種の第3単量体20〜75重量
%、をビニル共重合して得られる重量平均分子量30、
000から100、000でガラス転移温度が110〜
150℃の1種または2種以上の熱可塑性高分子30〜
70重量部、(b)1分子中に1個以上のエチレン性不
飽和基を有する1種または2種以上の光重合性化合物3
0〜70重量部、および(c)1種または2種以上の光
重合開始剤0.01〜20重量部を主成分とする光硬化
性樹脂層とからなる光硬化性樹脂積層体に関する。
(In the formula, R 1 is a hydrogen atom or a carbon number of 1 to
3 alkyl group, X is a halogen atom or 1 to 3 carbon atoms
, An n is 0 or an integer of 1 to 3 and when n is 2 or more, a plurality of X may be the same or different from each other) and an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. (Meth) acrylate having a hydroxyalkyl group having 2 to 6 carbon atoms, (meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide and hydrogen on the nitrogen thereof have 1 to 4 carbon atoms.
Obtained by vinyl copolymerizing a compound substituted with an alkyl group or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms and 20 to 75% by weight of at least one third monomer selected from glycidyl methacrylate. Weight average molecular weight 30,
000 to 100,000 with a glass transition temperature of 110
One or two or more thermoplastic polymers at 150 ° C. 30 to
70 parts by weight, (b) one or more photopolymerizable compound 3 having one or more ethylenically unsaturated groups in one molecule
The present invention relates to a photocurable resin laminate comprising 0 to 70 parts by weight, and (c) a photocurable resin layer containing 0.01 to 20 parts by weight of one or more photopolymerization initiators as main components.

【0013】本発明の光硬化性樹脂積層体は、特に直径
が0.5mm以下、ランド幅が0.1mm以下の小径ス
ルーホールを持つプリント配線板を製造する際のレジス
ト膜として有用である。本発明の光硬化性樹脂積層体を
小径貫通孔を有する基板の両面に3m/分以下の速度で
積層し、基板の両側から露光後、エッチングにより得ら
れる硬化レジスト層は、マスクのずれにより実質的にラ
ンドが形成されなかった部分においてもエッチング液の
貫通孔内へのしみこみが無い正常な小径スルーホールが
得られる。したがって、本発明の光硬化性樹脂積層体を
用いることにより、従来のテンティング法では歩留りの
良い製造が難しかった小径スルーホールを有するプリン
ト配線板が、従来のテンティング法に用いられる通常の
ラミネート速度で製造可能となるために、特別な仕様の
ラミネーターでなくとも製造可能となり、しかもラミネ
ート作業時間が短縮される。
The photocurable resin laminate of the present invention is particularly useful as a resist film when manufacturing a printed wiring board having a small diameter through hole having a diameter of 0.5 mm or less and a land width of 0.1 mm or less. The photo-curable resin laminate of the present invention is laminated on both sides of a substrate having a small-diameter through hole at a speed of 3 m / min or less, and after exposure from both sides of the substrate, the cured resist layer obtained by etching is substantially affected by a mask shift Even in a portion where the land is not formed, a normal small-diameter through hole in which the etching solution is not soaked into the through hole can be obtained. Therefore, by using the photocurable resin laminate of the present invention, a printed wiring board having a small diameter through hole, which is difficult to manufacture with a good yield by the conventional tenting method, can be used as a usual laminate used in the conventional tenting method. Since it can be manufactured at a high speed, it can be manufactured without a laminator having a special specification, and the laminating time can be shortened.

【0014】本発明の光硬化性樹脂積層体を構成する光
硬化性樹脂層の波長365nmにおける紫外線透過率
(以下、”365nm透過率”と略記する)は、20〜
95%であることが必要である。より好ましくは25〜
60%である。365nm透過率が20%より低いとラ
ンドが無い部分において十分なテンティング膜強度が得
られず、エッチング液のしみこみを生ずるようになる。
一方、365nm透過率が95%以上より大きいと、露
光時間が長くかかり生産性の点で不利となる。
The photo-curable resin layer constituting the photo-curable resin laminate of the present invention has an ultraviolet transmittance at a wavelength of 365 nm (hereinafter abbreviated as "365 nm transmittance") of 20 to 20.
It should be 95%. More preferably 25-
60%. If the 365 nm transmittance is lower than 20%, sufficient tenting film strength cannot be obtained in a portion where there is no land, so that the etching solution may be soaked.
On the other hand, if the 365 nm transmittance is higher than 95%, the exposure time becomes long, which is disadvantageous in terms of productivity.

【0015】この光硬化性樹脂層が特定のビニル共重合
体からなる熱可塑性高分子を含有することにより、3m
/分以下の幅広い範囲のラミネート速度でも、小径貫通
孔に所定深さまで埋め込まれる光硬化性樹脂積層体が実
現可能となった。本発明においては、光重合性樹脂層
は、前記熱可塑性高分子(a)、1分子中に1個以上の
エチレン不飽和基を有する1種または2種以上の光重合
性化合物(b)、および1種または2種以上の光重合開
始剤(c)を主成分とするものである。
When the photocurable resin layer contains a thermoplastic polymer made of a specific vinyl copolymer,
Even with a wide range of laminating speeds of less than 1 minute, a photo-curable resin laminate can be realized which is embedded in a small-diameter through hole to a predetermined depth. In the present invention, the photopolymerizable resin layer includes the thermoplastic polymer (a), one or more photopolymerizable compounds (b) having one or more ethylenically unsaturated groups in one molecule, And one or more photopolymerization initiator (c) as a main component.

【0016】熱可塑性高分子としては、下記第1〜3単
量体をビニル共重合して得られるものが使用される。第
1単量体としては、α、β−不飽和カルボン酸15〜4
0重量%、好ましくは20〜30重量%が用いられる。
15重量%より少ないと、アルカリ水溶液による現像が
困難になる。40重量%より多いと、重合中に溶媒に不
溶となるため合成できなくなる。
As the thermoplastic polymer, those obtained by vinyl copolymerizing the following first to third monomers are used. As the first monomer, α, β-unsaturated carboxylic acid 15-4
0% by weight, preferably 20-30% by weight is used.
If it is less than 15% by weight, development with an aqueous alkali solution becomes difficult. If it is more than 40% by weight, it becomes insoluble in the solvent during the polymerization and the synthesis becomes impossible.

【0017】具体例としては、(メタ)アクリル酸、フ
マル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン
酸半エステル等であり、それぞれ単独で用いてもよい
し、2種以上を組み合わせて用いてもよい。特にメタク
リル酸が好ましい。共重合させる第2単量体として、前
記式(1)に示される化合物5〜35重量%、好ましく
は15〜30重量%が用いられる。5重量%より少ない
と、耐コールドフロー性が低下し、エッジヒューズが激
しく製品としての保存が困難になる。35重量%より多
いと、共重合中に溶媒に対する溶解性が低下し重合が完
結しにくい上、光硬化性樹脂層の現像時間が著しく長く
なる。
Specific examples thereof include (meth) acrylic acid, fumaric acid, cinnamic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid half ester, etc., which may be used alone or in combination of two or more kinds. You may use. Methacrylic acid is particularly preferred. As the second monomer to be copolymerized, 5 to 35% by weight, preferably 15 to 30% by weight of the compound represented by the formula (1) is used. If it is less than 5% by weight, the cold flow resistance is deteriorated, the edge fuse is severe, and it becomes difficult to store the product as a product. When it is more than 35% by weight, the solubility in a solvent is lowered during the copolymerization, the polymerization is difficult to be completed, and the developing time of the photocurable resin layer is remarkably lengthened.

【0018】具体例としては、スチレン、α−メチルス
チレン、p−メチルスチレン、p−クロロスチレン等で
あり、それぞれ単独で用いてもよいし、2種以上を組み
合わせて用いてもよい。特にスチレンが好ましい。さら
に共重合させる第3単量体としては、炭素数1〜6のア
ルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレート、炭素
数2〜6のヒドロキシアルキル基を有するヒドロキシア
ルキル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロニトリ
ル、(メタ)アクリルアミドとその窒素上の水素が炭素
数1〜4のアルキル基または炭素数1〜6のアルコキシ
基で置換された化合物、およびメタクリル酸グリシジル
の中から選ばれる少なくとも1種の化合物20〜75重
量%、好ましくは45〜65重量%が用いられる。20
重量%より少ないと、光硬化性樹脂層の可撓性が低下す
る。75重量%より多いと、耐コールドフロー性が低下
する。
Specific examples thereof include styrene, α-methylstyrene, p-methylstyrene, p-chlorostyrene and the like, which may be used alone or in combination of two or more kinds. Particularly preferred is styrene. Further, as the third monomer to be copolymerized, an alkyl (meth) acrylate having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a hydroxyalkyl (meth) acrylate having a hydroxyalkyl group having 2 to 6 carbon atoms, (meth) acrylonitrile At least one compound selected from the group consisting of (meth) acrylamide, a compound in which hydrogen on the nitrogen thereof is substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, and glycidyl methacrylate. ~ 75 wt%, preferably 45-65 wt% is used. 20
When the content is less than the weight%, the flexibility of the photocurable resin layer decreases. If it exceeds 75% by weight, the cold flow resistance is deteriorated.

【0019】具体例としては、(メタ)アクリル酸メチ
ル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸−
n−プロピル、(メタ)アクリル酸−iso−プロピ
ル、(メタ)アクリル酸−n−ブチル、(メタ)アクリ
ル酸−sec−ブチル、(メタ)アクリル酸−tert
−ブチル、(メタ)アクリル酸−2−エチルヘキシル、
(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、(メタ)
アクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリ
ルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−ブトキ
シメチルアクリルアミド、(メタ)アクリロニトリル、
(メタ)アクリル酸グリシジル等であり、それぞれ単独
で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよ
い。特にメタクリル酸メチルが好ましい。
Specific examples include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid-
n-propyl, (meth) acrylic acid-iso-propyl, (meth) acrylic acid-n-butyl, (meth) acrylic acid-sec-butyl, (meth) acrylic acid-tert
-Butyl, 2-ethylhexyl (meth) acrylate,
2-Hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth)
2-hydroxypropyl acrylate, (meth) acrylamide, N-methylol acrylamide, N-butoxymethyl acrylamide, (meth) acrylonitrile,
Glycidyl (meth) acrylate and the like may be used alone or in combination of two or more kinds. Methyl methacrylate is particularly preferable.

【0020】熱可塑性高分子の重量平均分子量は、3
0、000から100、000であり、好ましくは3
0、000から60、000である。重量平均分子量
は、ゲルパーミエーション クロマトグラフィー(GP
C)により標準ポリスチレンの検量線を用いて測定した
値である。30、000より小さいと、光硬化性樹脂層
が脆くなり、ラミネート時のフィルム切断において切断
部周辺に微細な割れが発生し使用に適さない。100、
000より大きいと、現像性が悪化する。
The weight average molecular weight of the thermoplastic polymer is 3
000 to 100,000, preferably 3
It is 000 to 60,000. Weight average molecular weight is determined by gel permeation chromatography (GP
It is the value measured using the calibration curve of standard polystyrene according to C). When it is less than 30,000, the photocurable resin layer becomes brittle and fine cracks are generated around the cut portion during film cutting during lamination, which is not suitable for use. 100,
If it is larger than 000, the developability is deteriorated.

【0021】熱可塑性高分子のガラス転移温度は、11
0〜150℃でなければならない。好ましくは115〜
140℃である。ガラス転移温度は、共重合体中に含ま
れる単量体の単独重合体のガラス転移温度(Tgn:F
oxの式においてのみ単位は絶対温度 K)および各単
量体の重量分率(wn)から、下記Foxの式により求
められる。 1/Tg(共重合体)=w1/Tg1+w2/Tg2+
・・・+wn/Tgn ガラス転移温度が110℃より低いと、90℃における
粘度が本発明の範囲に入ることと、耐コールドフロー性
との両方を満たすことができない。つまり、90℃の粘
度を小さくするとコールドフローが大きくなり、耐コー
ルドフロー性を良好にすると90℃の粘度が大きくな
り、埋め込みが小さくなる。ガラス転移温度が150℃
より高いと溶解性が低下し、均一な光硬化性樹脂組成物
ができない。
The glass transition temperature of the thermoplastic polymer is 11
Must be 0-150 ° C. Preferably 115-
It is 140 ° C. The glass transition temperature is the glass transition temperature (Tgn: F) of the homopolymer of the monomers contained in the copolymer.
Only in the equation of ox, the unit is determined by the following equation of Fox from the absolute temperature K) and the weight fraction (wn) of each monomer. 1 / Tg (copolymer) = w1 / Tg1 + w2 / Tg2 +
If the + wn / Tgn glass transition temperature is lower than 110 ° C., it is not possible to satisfy both the viscosity at 90 ° C. within the range of the present invention and the cold flow resistance. That is, when the viscosity at 90 ° C. is decreased, the cold flow is increased, and when the cold flow resistance is improved, the viscosity at 90 ° C. is increased and the embedding becomes small. Glass transition temperature is 150 ℃
If it is higher, the solubility is lowered, and a uniform photocurable resin composition cannot be obtained.

【0022】光硬化性樹脂層に含有される熱可塑性高分
子の量は、1種または2種以上の混合であってもよい
が、総量として30〜70重量部の範囲であり、好まし
くは40〜60重量部である。30重量部より少ない
と、耐コールドフロー性が低下する。70重量部より多
いと、光硬化性樹脂層が脆くなる。熱可塑性高分子は、
第1〜3単量体の混合物を、アセトン、メチルエチルケ
トン、イソプロパノール等の溶剤で希釈した溶液に、過
酸化ベンゾイル、アゾビスイソブチロニトリル等のラジ
カル重合開始剤を適量添加し、加熱撹拌することにより
合成することが好ましい。混合物の一部を反応液に滴下
しながら合成する場合もある。また、反応終了後さらに
溶剤を加えて、所望の濃度に調製する場合もある。溶液
重合以外にも、塊状重合、懸濁重合および乳化重合でも
合成可能である。
The amount of the thermoplastic polymer contained in the photocurable resin layer may be one kind or a mixture of two or more kinds, but the total amount is in the range of 30 to 70 parts by weight, preferably 40. -60 parts by weight. If it is less than 30 parts by weight, the cold flow resistance is deteriorated. If the amount is more than 70 parts by weight, the photocurable resin layer becomes brittle. The thermoplastic polymer is
Add a proper amount of radical polymerization initiator such as benzoyl peroxide or azobisisobutyronitrile to a solution obtained by diluting a mixture of the first to third monomers with a solvent such as acetone, methyl ethyl ketone, and isopropanol, and stir with heating. It is preferable to synthesize by. In some cases, a part of the mixture is added dropwise to the reaction solution for synthesis. Further, after the reaction is completed, a solvent may be further added to adjust the concentration to a desired value. In addition to solution polymerization, bulk polymerization, suspension polymerization and emulsion polymerization can also be used.

【0023】光硬化性樹脂層の成分の1つである1分子
中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する光重合性化
合物は、30〜70重量部、好ましくは40〜60重量
部用いられる。30重量部より少ないと、硬化が十分で
なくレジストとしての強度が不足する。70重量部より
多いと、剥離時間が長くなる。この化合物の具体例とし
ては、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリ
レート、フェノキシテトラエチレングリコールアクリレ
ート、β−ヒドロキシプロピル−β’−(アクロイルオ
キシ)プロピルフタレート、1,4−テトラメチレング
リコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジ
オールジ(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサ
ンジオールジ(メタ)アクリレート、オクタプロピレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、グリセロール(メ
タ)アクリレート、2−ジ(p−ヒドロキシフェニル)
プロパンジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
(メタ)アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロ
ールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオキシエ
チルトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルト
リ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジ
ルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジアリルフタレー
ト、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、
ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビ
ス(ポリエチレングリコール(メタ)アクリレート)ポ
リプロピレングリコール、4−ノルマルオクチルフェノ
キシペンタプロピレングリコールアクリレート等があ
る。また、ヘキサメチレンジイソシアナート、トリレン
ジイソシアナートなどの多価イソシアナート化合物と、
2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートなどのヒ
ドロキシアクリレート化合物とのウレタン化反応物など
が挙げられる。それぞれ単独で用いてもよいし、2種以
上を組み合わせて用いてもよい。
The photopolymerizable compound having one or more ethylenically unsaturated groups in one molecule, which is one of the components of the photocurable resin layer, is used in an amount of 30 to 70 parts by weight, preferably 40 to 60 parts by weight. To be When the amount is less than 30 parts by weight, curing is insufficient and the strength as a resist is insufficient. When it is more than 70 parts by weight, the peeling time becomes long. Specific examples of this compound include 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, phenoxytetraethylene glycol acrylate, β-hydroxypropyl-β ′-(acryloyloxy) propyl phthalate, 1,4-tetramethylene glycol di (meth). ) Acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediol di (meth) acrylate, octapropylene glycol di (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, 2-di (p-hydroxyphenyl) )
Propane di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyoxypropyl trimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyoxyethyl trimethylolpropane tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (Meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, diallyl phthalate, polyethylene glycol di (meth) acrylate,
There are polypropylene glycol di (meth) acrylate, bis (polyethylene glycol (meth) acrylate) polypropylene glycol, 4-normal octylphenoxypentapropylene glycol acrylate and the like. Further, with a polyvalent isocyanate compound such as hexamethylene diisocyanate and tolylene diisocyanate,
Examples thereof include urethane reaction products with a hydroxy acrylate compound such as 2-hydroxypropyl (meth) acrylate. Each may be used alone, or two or more kinds may be used in combination.

【0024】光重合開始剤は、0.01〜20重量部、
好ましくは1〜10重量部用いられる。0.01重量部
より少ないと感度が十分ではない。20重量部より多い
と、365nm透過率が20%以上にすることが難し
い。光重合開始剤の種類と量は、光硬化性樹脂層の36
5nm透過率を20〜95%の範囲にするように選択さ
れる。365nmの紫外線に対して吸収の大きい光重合
開始剤を用いる場合は、添加量を少なくする。逆に吸収
の小さい光重合開始剤を用いる場合は、添加量を多くす
る。
The photopolymerization initiator is 0.01 to 20 parts by weight,
It is preferably used in an amount of 1 to 10 parts by weight. If the amount is less than 0.01 parts by weight, the sensitivity is insufficient. If the amount is more than 20 parts by weight, it is difficult to set the 365 nm transmittance to 20% or more. The type and amount of the photopolymerization initiator is 36% of that of the photocurable resin layer.
The 5 nm transmission is chosen to be in the range of 20-95%. When a photopolymerization initiator having a large absorption for 365 nm ultraviolet light is used, the addition amount is reduced. On the contrary, when using a photopolymerization initiator having a small absorption, the addition amount is increased.

【0025】好ましい光重合開始剤の例としては下記式
(2)、(3)および(4)で示される化合物を挙げる
ことができる。
Examples of preferable photopolymerization initiators include compounds represented by the following formulas (2), (3) and (4).

【0026】[0026]

【化3】 [Chemical 3]

【0027】[R2 、R3 はおのおの独立的に水素、水
酸基、アルキル基、アルコキシ基またはフェノキシ基を
示すが、R2 、R3 が同時に水酸基であることはない] 具体例としては、ベンジルジメチルケタール、ベンジル
ジエチルケタール、ベンジルジプロピルケタール、ベン
ジルジフェニルケタール、ベンゾインメチルエーテル、
ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインピロピルエーテ
ル、ベンゾインフェニルエーテルなど挙げることができ
る。
[R 2 and R 3 each independently represent hydrogen, a hydroxyl group, an alkyl group, an alkoxy group or a phenoxy group, but R 2 and R 3 are not a hydroxyl group at the same time] Dimethyl ketal, benzyl diethyl ketal, benzyl dipropyl ketal, benzyl diphenyl ketal, benzoin methyl ether,
Examples thereof include benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether and benzoin phenyl ether.

【0028】[0028]

【化4】 [Chemical 4]

【0029】[式中、Y及びZは水素、炭素数4以下の
アルキル基またはハロゲン] 具体例としては、チオキサントン、2,4−ジメチルチ
オキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−
イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキ
サントン、2,4ージイソプロピルチオキサントン、2
−フルオロチオキサントン、4−フルオロチオキサント
ン、2−クロロチオキサントン、4−クロロチオキサン
トン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなど
を挙げることができる。
[In the formula, Y and Z are hydrogen, an alkyl group having 4 or less carbon atoms or halogen] Specific examples are thioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, and 2-.
Isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2
-Fluorothioxanthone, 4-fluorothioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 4-chlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone and the like can be mentioned.

【0030】[0030]

【化5】 [Chemical 5]

【0031】[式中、R4 及びR5 は炭素数3以下のア
ルキル基、R6 は水素または炭素数18以下のアルキル
基] 具体例としては、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジ
エチルアミノ安息香酸及びp−ジイソプロピルアミノ安
息香酸及びこれらと下記のアルコールのエステル化物が
挙げられる。アルコールとしては、メチルアルコール、
エチルアルコール、プロピルアルコール、イソプロピル
アルコール、ブチルアルコール、イソブチルアルコー
ル、sec−ブチルアルコール、tert−ブチルアル
コール、n−アミルアルコール、イソアミルアルコー
ル、ヘキシルアルコール、オクチルアルコール等を挙げ
ることができる。
[Wherein R 4 and R 5 are alkyl groups having 3 or less carbon atoms, R 6 is hydrogen or an alkyl group having 18 or less carbon atoms] Specific examples are p-dimethylaminobenzoic acid and p-diethylaminobenzoic acid. Examples thereof include acids and p-diisopropylaminobenzoic acid, and esterified products of these and the following alcohols. As alcohol, methyl alcohol,
Examples thereof include ethyl alcohol, propyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol, isobutyl alcohol, sec-butyl alcohol, tert-butyl alcohol, n-amyl alcohol, isoamyl alcohol, hexyl alcohol and octyl alcohol.

【0032】また、これらの開始剤に加えて、公知のあ
らゆる化合物を用いることができる。例えば、ベンゾフ
ェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン[ミヒラーズケトン]、4,4’−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノンなどの芳香族ケトン類、2−
(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾ
リル二量体等のビイミダゾール化合物、9−フェニルア
クリジン等のアクリジン類、α、α−ジメトキシ−α−
モルホリノ−メチルチオフェニルアセトフェノン、2,
4,6−トリメチルベンゾイルホスフォンオキシド、フ
ェニルグリシン、さらに1−フェニル−1、2−プロパ
ンジオン−2−o−ベンゾイルオキシム、2,3−ジオ
キソ−3−フェニルプロピオン酸エチル−2−(o−ベ
ンゾイルカルボニル)−オキシム等のオキシムエステル
類がある。
In addition to these initiators, any known compound can be used. For example, aromatic ketones such as benzophenone, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone [Michler's ketone], 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-
(O-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer and other biimidazole compounds, 9-phenylacridine and other acridines, α, α-dimethoxy-α-
Morpholino-methylthiophenylacetophenone, 2,
4,6-Trimethylbenzoylphosphine oxide, phenylglycine, 1-phenyl-1,2-propanedione-2-o-benzoyloxime, ethyl 2,3-dioxo-3-phenylpropionate-2- (o- There are oxime esters such as benzoylcarbonyl) -oxime.

【0033】光硬化性樹脂の熱安定性、保存安定性を向
上させるために、光硬化性樹脂層にラジカル重合禁止剤
を含有させることは好ましいことである。例えば、p−
メトキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、
ナフチルアミン、tert−ブチルカテコール、塩化第
一銅、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾー
ル、2,2’−メチレンビス(4−エチル−6−ter
t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4
−メチル−6−tert−ブチルフェノール)等があ
る。
In order to improve the thermal stability and storage stability of the photocurable resin, it is preferable to add a radical polymerization inhibitor to the photocurable resin layer. For example, p-
Methoxyphenol, hydroquinone, pyrogallol,
Naphthylamine, tert-butylcatechol, cuprous chloride, 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, 2,2'-methylenebis (4-ethyl-6-ter).
t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4
-Methyl-6-tert-butylphenol) and the like.

【0034】光硬化性樹脂層は染料、顔料等の着色物質
を含有してもよい。例えばフクシン、フタロシアニング
リーン、オーラミン塩基、カルコキシドグリーンS、パ
ラマジエンタ、クリスタルバイオレット、メチルオレン
ジ、ナイルブルー2B、ビクトリアブルー、マラカイト
グリーン、ベイシックブルー20、ダイヤモンドグリー
ン等がある。
The photocurable resin layer may contain coloring substances such as dyes and pigments. For example, fuchsin, phthalocyanine green, auramine base, chalcoxide green S, paramagenta, crystal violet, methyl orange, Nile blue 2B, Victoria blue, malachite green, basic blue 20, diamond green and the like.

【0035】また、光照射により発色する発色系染料を
含有しても良い。発色系染料としては、ロイコ染料とハ
ロゲン化合物の組み合わせが良く知られている。ロイコ
染料としては、例えばトリス(4−ジメチルアミノ−2
−メチルフェニル)メタン[ロイコクリスタルバイオレ
ット]、トリス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェ
ニル)メタン[ロイコマラカイトグリーン]等が挙げら
れる。一方ハロゲン化合物としては臭化アミル、臭化イ
ソアミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフ
ェニルメチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロ
モメチルフェニルスルホン、四臭化炭素、トリス(2,
3−ジブロモプロピル)ホスフェート、トリクロロアセ
トアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、1,1,
1−トリクロロ−2,2−ビス(p−クロロフェニル)
エタン、ヘキサクロロエタン等がある。
Further, a color-forming dye that develops color upon irradiation with light may be contained. As a color-forming dye, a combination of a leuco dye and a halogen compound is well known. Examples of leuco dyes include tris (4-dimethylamino-2)
-Methylphenyl) methane [leuco crystal violet], tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leucomalachite green] and the like. On the other hand, as the halogen compound, amyl bromide, isoamyl bromide, isobutylene bromide, ethylene bromide, diphenylmethyl bromide, benzal bromide, methylene bromide, tribromomethylphenyl sulfone, carbon tetrabromide, tris (2,
3-dibromopropyl) phosphate, trichloroacetamide, amyl iodide, isobutyl iodide, 1,1,
1-trichloro-2,2-bis (p-chlorophenyl)
Examples include ethane and hexachloroethane.

【0036】さらに光硬化性樹脂層は、必要に応じて可
塑剤等の添加剤を含有しても良い。例えばジエチルフタ
レート等のフタル酸エステル類が例示できる。光硬化性
樹脂層は、90℃における粘度が5×102 〜5×10
5 ポイズであることが好ましく、さらに好ましくは10
3 〜105 ポイズ、最も好ましくは103 〜104 ポイ
ズである。90℃における粘度が小さいことにより、3
m/分以下の幅広い範囲のラミネート速度でも、小径貫
通孔に所定深さまで埋め込むことができる。粘度が5×
105 ポイズより大きいと、光硬化性樹脂層の小径貫通
孔内への埋め込み性が低下する。一方粘度が低くなるに
したがい、光硬化性樹脂層は小径貫通孔の中へ埋め込ま
れやすくなるが、耐コールドフロー性が悪化する。5×
102 ポイズ未満では、製品の長期にわたるロール形状
保持ができなくなる。
Further, the photocurable resin layer may contain additives such as a plasticizer, if necessary. Examples thereof include phthalates such as diethyl phthalate. The photocurable resin layer has a viscosity at 90 ° C. of 5 × 10 2 to 5 × 10 2.
It is preferably 5 poise, more preferably 10 poise.
3 to 10 5 poise, most preferably 10 3 to 10 4 poise. 3 because of low viscosity at 90 ° C
Even in a wide range of laminating speed of m / min or less, it is possible to embed a small-diameter through hole to a predetermined depth. Viscosity is 5 ×
If it is larger than 10 5 poise, the embedding property of the photocurable resin layer into the small-diameter through hole is deteriorated. On the other hand, as the viscosity becomes lower, the photo-curable resin layer is more likely to be embedded in the small-diameter through hole, but the cold flow resistance deteriorates. 5x
If it is less than 10 2 poise, the roll shape of the product cannot be maintained for a long time.

【0037】光硬化性樹脂層の厚みは30〜100μm
の範囲から選ばれるが、好ましい範囲は35〜70μm
である。厚みが30μmより薄いと、貫通孔開口部の光
硬化性樹脂層のテンティング膜が現像時に膨潤したり破
れを起こしやすくなり、また貫通孔内に埋め込まれる光
硬化性樹脂層の深さが十分でなく信頼性が低下する。一
方、厚みが100μmより厚いと、波長365nm透過
率を20%以上に保つことが難しく、解像性も悪くなる
ため好ましくない。
The thickness of the photocurable resin layer is 30 to 100 μm.
However, the preferable range is 35 to 70 μm.
Is. When the thickness is less than 30 μm, the tenting film of the photocurable resin layer in the opening of the through hole is likely to swell or break during development, and the depth of the photocurable resin layer embedded in the through hole is sufficient. Not reliable. On the other hand, if the thickness is more than 100 μm, it is difficult to keep the transmittance at a wavelength of 365 nm at 20% or more, and the resolution is deteriorated, which is not preferable.

【0038】光硬化性樹脂積層体の支持層としては、活
性光を透過する透明なものが望ましい。例えば、ポリエ
チレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコール
フィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合
体フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリ
デン共重合体フィルム、ポリメタクリル酸メチル共重合
体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニト
リルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリアミド
フィルム、セルロース誘導体フィルム等が挙げられる。
これらのフィルムは必要に応じ延伸されたものも使用可
能である。
As the supporting layer of the photocurable resin laminate, a transparent layer which transmits active light is desirable. For example, polyethylene terephthalate film, polyvinyl alcohol film, polyvinyl chloride film, vinyl chloride copolymer film, polyvinylidene chloride film, vinylidene chloride copolymer film, polymethyl methacrylate copolymer film, polystyrene film, polyacrylonitrile film, Examples thereof include a styrene copolymer film, a polyamide film and a cellulose derivative film.
These films may be stretched if necessary.

【0039】支持層の一方の面に光硬化性樹脂層を積層
したのち、光硬化性樹脂層表面に必要に応じて保護層を
積層する。この保護層の重要な特性は、光硬化性樹脂層
との密着力について、支持層よりも保護層の方が充分小
さく容易に剥離できることである。例えばポリエチレン
フィルム、ポリプロピレンフィルム等がある。また、特
開昭59−202457号公報に示された剥離性の優れ
たフィルムを用いることもできる。
After laminating the photocurable resin layer on one surface of the support layer, a protective layer is laminated on the surface of the photocurable resin layer as required. An important characteristic of this protective layer is that the protective layer is sufficiently smaller than the support layer in terms of adhesion to the photocurable resin layer and can be easily peeled off. For example, there are polyethylene film, polypropylene film and the like. Further, a film having excellent releasability disclosed in JP-A-59-202457 can be used.

【0040】本発明の光硬化性樹脂積層体は、小径スル
−ホ−ルを持つプリント配線板製造における「埋め込み
テンティング法」に使用できる。すなわち、本発明の光
硬化性樹脂積層体は、貫通孔を持つ金属被覆絶縁板に光
硬化性樹脂積層体をラミネートし、露光、現像、エッチ
ングすることにより小径スルーホールを持つプリント配
線板を製造する方法において、該光硬化性樹脂積層体を
ラミネートする際に、貫通孔の内周縁から貫通孔内壁に
沿って該内壁上に延びる光硬化性樹脂層の埋め込みの深
さを、該深さの金属被覆絶縁板の各面の金属導体層の厚
さに対し、0.3以上とする方法に用いる場合、優れた
効果を発揮する。
The photocurable resin laminate of the present invention can be used in the "embedding tenting method" in manufacturing a printed wiring board having a small diameter through hole. That is, the photocurable resin laminate of the present invention is manufactured by laminating a photocurable resin laminate on a metal-coated insulating plate having a through hole, and exposing, developing, and etching the printed wiring board having a small diameter through hole. In the method, when laminating the photocurable resin laminate, the depth of embedding of the photocurable resin layer extending from the inner peripheral edge of the through hole along the inner wall of the through hole to the inner wall is When used in a method in which the thickness of the metal conductor layer on each surface of the metal-coated insulating plate is 0.3 or more, an excellent effect is exhibited.

【0041】本発明の光硬化性樹脂積層体を金属被覆絶
縁板の両面に積層し、貫通孔内部に埋め込ませる工程に
おいて、貫通孔の内周縁から貫通孔内壁に沿って該内壁
面上に延びる光硬化性樹脂層の埋め込みの深さが、該深
さの金属被覆絶縁板の各面の金属導体層の厚さに対し
0.3以上とは、図1において、貫通孔内周縁から内壁
上に延びる光硬化性樹脂層の深さdを、絶縁板の両面に
形成された導体層厚みtで割った値が0.3以上である
ことをいう。0.5以上がさらに好ましく、1.1以上
が最も好ましい。この値が大きいほど、大きなずれ幅に
対しても欠陥が生じにくく好ましいが、2以上ではそれ
以上の効果の増加は認められず、またエッチング後の硬
化レジスト層の剥離時間が長くなって生産性が低下す
る。0.3より小さいと従来のテンティング法との有意
な差が無くなる。
In the step of laminating the photocurable resin laminate of the present invention on both sides of the metal-coated insulating plate and embedding it inside the through hole, it extends from the inner peripheral edge of the through hole to the inner wall surface along the inner wall of the through hole. The embedding depth of the photocurable resin layer is 0.3 or more with respect to the thickness of the metal conductor layer on each surface of the metal-coated insulating plate having the depth, in FIG. 1 from the inner peripheral edge of the through hole to the inner wall. It means that a value obtained by dividing the depth d of the photo-curable resin layer extending to the area by the thickness t of the conductor layer formed on both surfaces of the insulating plate is 0.3 or more. 0.5 or more is more preferable, and 1.1 or more is most preferable. The larger this value is, the more likely it is that defects will not occur even with a large deviation width, but if it is 2 or more, no further increase in the effect will be observed, and the peeling time of the cured resist layer after etching will be long, and the productivity will be increased. Is reduced. When it is less than 0.3, there is no significant difference from the conventional tenting method.

【0042】本発明の光硬化性樹脂積層体の基板への積
層方法は、従来のテンティング法で使用されているホッ
トロールラミネーターあるいは真空ラミネーターを用い
ることができるが、貫通孔の内周縁から内壁上に埋め込
ませるために、ラミネーターのロール温度、圧力、ラミ
ネート速度等を適切に設定する必要がある。一般的に、
より深く光硬化性樹脂層を埋め込ませるためには、ロー
ル温度および圧力を上げ、ラミネート速度を遅くすると
効果がある。さらに特開平3−236956公報に開示
されているように2段式ホットロールラミネーターを用
いるとさらに好ましい。
As a method for laminating the photocurable resin laminate of the present invention on a substrate, a hot roll laminator or a vacuum laminator used in the conventional tenting method can be used. In order to embed it on top, it is necessary to properly set the roll temperature, pressure, laminating speed, etc. of the laminator. Typically,
In order to embed the photocurable resin layer deeper, it is effective to raise the roll temperature and pressure and slow the laminating speed. Furthermore, it is more preferable to use a two-stage hot roll laminator as disclosed in JP-A-3-236956.

【0043】露光は、配線として残したい部分および導
電性貫通孔の開口部の被覆として残したい部分が透明な
高透過性マスクを通し、超高圧水銀灯などの紫外線を用
いて行われる。現像は、アルカリ水溶液を用いて未露光
部を現像除去する。アルカリ水溶液としては、炭酸ナト
リウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム等の水溶液を用いる。最も一般的には0.5〜3%
の炭酸ナトリウム水溶液が用いられる。
The exposure is carried out by using an ultraviolet ray such as an ultra-high pressure mercury lamp through a mask having a high transparency which is transparent in the portion to be left as a wiring and the portion to be left as a coating of the opening of the conductive through hole. In development, the unexposed portion is removed by development using an alkaline aqueous solution. As the alkaline aqueous solution, an aqueous solution of sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide or the like is used. Most commonly 0.5-3%
Aqueous sodium carbonate solution is used.

【0044】エッチングは酸性エッチング、アルカリエ
ッチングなど、使用するDFRに適した方法で行うこと
ができる。エッチング後の光硬化レジストの剥離は、現
像で用いたアルカリ水溶液よりもさらに強いアルカリ性
の水溶液により剥離される。例えば、1〜5%の水酸化
ナトリウムまたは水酸化カリウムの水溶液を用いる。
The etching can be carried out by a method suitable for the DFR used, such as acid etching or alkali etching. Peeling of the photocurable resist after etching is peeled by an alkaline aqueous solution which is stronger than the alkaline aqueous solution used in the development. For example, an aqueous solution of 1 to 5% sodium hydroxide or potassium hydroxide is used.

【0045】[0045]

【実施例】以下、実施例により本発明をさらに詳しく説
明するが、本発明の範囲は、実施例に限定されるもので
はない。以下の実施例中の「部」はすべて「重量部」で
ある。実施例中の諸特性は、次の方法により測定した。 1)分子量 日本分光製ゲルパーミエーションクロマトグラフィーに
よりポリスチレン換算の重量平均分子量として求めた。 2)粘度 島津製作所製フローテスターCFT−500を用いた。 3)紫外線透過率 島津製作所製UV分光計UV−240で、測定側にポリ
エチレンテレフタレートフィルムと光硬化性樹脂層の積
層体を置き、リファレンス側にポリエチレンテレフタレ
ートフィルムを置き、T%モードにより測定した。 4)ガラス転移温度(Tg) Foxの式に当てはめ、算出した。 5)コールドフロー性の評価 〔プレスフロー試験〕光硬化性樹脂層積層体を2.5c
m角に切り、保護フィルム(ポリエチレンフィルム)を
剥がし、ポリエチレンテレフタレートフィルム10cm
角の中央にはさみ、40℃に加熱した油圧プレスにより
100kgの力を5分間加え、レジストの4方向でのは
み出し幅を測定し、その平均値を求めた。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the scope of the present invention is not limited to the examples. All "parts" in the following examples are "parts by weight". Various properties in the examples were measured by the following methods. 1) Molecular weight It was determined as a polystyrene-equivalent weight average molecular weight by gel permeation chromatography manufactured by JASCO Corporation. 2) Viscosity A flow tester CFT-500 manufactured by Shimadzu Corporation was used. 3) Ultraviolet Transmittance Using a UV spectrometer UV-240 manufactured by Shimadzu Corporation, a laminate of a polyethylene terephthalate film and a photocurable resin layer was placed on the measurement side, a polyethylene terephthalate film was placed on the reference side, and measurement was performed in T% mode. 4) Glass transition temperature (Tg) It was calculated by applying it to the Fox equation. 5) Evaluation of cold flow property [Press flow test] 2.5c of photocurable resin layer laminate
Cut into m square, peel off the protective film (polyethylene film), polyethylene terephthalate film 10cm
A force of 100 kg was applied for 5 minutes by a hydraulic press heated to 40 ° C. at the center of the corner, the protrusion width in four directions of the resist was measured, and the average value was obtained.

【0046】この値が0.8mm以上であると、ロール
状にして保存した場合に、ロールの端面にエッジヒュー
ズが発生し、実質的にラミネーターにより基板に安定し
て積層する事ができなくなることが分かっている。 6)光硬化性樹脂層の貫通孔内周縁から内壁上への埋め
込み深さ(以下、単に「埋め込み深さ」と略記する) 現像後の基板をエポキシ樹脂により包埋硬化し、貫通孔
が現れるまで研磨し、光学顕微鏡で基板表面から内壁上
に延びた長さdを測定した。(図1) 7)小径スルーホールの開口部被覆保持率 エッチング後、光学顕微鏡により開口部被覆を観察し、
破れの有無を確認した。
When this value is 0.8 mm or more, an edge fuse is generated on the end face of the roll when it is stored in the form of a roll, and it becomes substantially impossible to stably laminate on the substrate by the laminator. I know. 6) Embedding depth from the inner peripheral edge of the through hole of the photocurable resin layer to the inner wall (hereinafter, simply referred to as "embedding depth") The substrate after development is embedded and hardened with an epoxy resin, and the through hole appears. And the length d extending from the substrate surface to the inner wall was measured with an optical microscope. (Fig. 1) 7) Opening coverage of small diameter through hole After etching, the opening coverage is observed with an optical microscope.
The presence or absence of tearing was confirmed.

【0047】A:テンティング膜が完全に小径スルーホ
ールの開口部を被覆しており、エッチング液のスルーホ
ール内への染み込みが無いホール数 B:観察ホール全数 開口部被覆保持率(%)=(A/B)×100
A: The number of holes in which the tenting film completely covers the openings of the small-diameter through holes, and the etching solution does not soak into the through holes. B: The total number of observation holes. (A / B) x 100

【0048】[0048]

【合成例】かきまぜ器、還流冷却器、温度計を備えた2
リットル容のセパラブルフラスコに、メチルエチルケト
ン(MEK)350gを入れ、窒素気流下、80℃でか
きまぜながら単量体としてメタクリル酸100g,スチ
レン100g,メタクリル酸メチル160g、メタクリ
ル酸−2−ヒドロキシエチル40g、重合開始剤として
アゾビスイソブチロニトリル4gの均一混合物を4時間
かけて滴下した。8時間加熱・撹拌し、アゾビスイソブ
チロニトリル3gをMEK溶液として加え、さらに12
時間加熱・撹拌した。最後にMEK400gを加えて、
溶液濃度を35%前後に調整し、目的の熱可塑性高分子
(P−1)を得た。分子量は4.8万、Tgは130℃
であった。
[Synthesis example] 2 equipped with stirrer, reflux condenser, thermometer
In a liter separable flask, 350 g of methyl ethyl ketone (MEK) was put, and 100 g of methacrylic acid as a monomer, 100 g of styrene, 160 g of methyl methacrylate, 40 g of 2-hydroxyethyl methacrylate, 40 g, while stirring at 80 ° C. under a nitrogen stream. A homogeneous mixture of 4 g of azobisisobutyronitrile was added dropwise as a polymerization initiator over 4 hours. After heating and stirring for 8 hours, 3 g of azobisisobutyronitrile was added as a MEK solution, and further 12
Heated and stirred for hours. Finally, add 400 g of MEK,
The solution concentration was adjusted to about 35% to obtain the desired thermoplastic polymer (P-1). Molecular weight is 48,000, Tg is 130 ℃
Met.

【0049】表1と表2に示した単量体組成(単量体総
量:400g)と重合開始剤(アゾビスイソブチロニト
リル)を用いて上記の方法を繰り返し、各種の熱可塑性
高分子を合成した。
The above-mentioned method was repeated using the monomer composition (total amount of monomers: 400 g) shown in Tables 1 and 2 and the polymerization initiator (azobisisobutyronitrile) to prepare various thermoplastic polymers. Was synthesized.

【0050】[0050]

【実施例1】合成例で重合した熱可塑性高分子溶液P−
1と、光重合性化合物、光重合開始剤およびその他の成
分を次に示す成分比で、12時間かきまぜた。 P−1(36%MEK溶液) 144重量部 ノナエチレングリコールジアクリレート(M−1) 10重量部 ヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロピレングリコールモノメタクリ レートとのウレタン反応物(M−2) 22重量部 無水フタル酸と2−ヒドロキシプロピルアクリレートとの半エステル化物とプ ロピレンオキシドとの反応物(M−3:日本触媒化学社製OE−A200) 10重量部 ベンジルジメチルケタール(I−1) 5重量部 2、4−ジエチルチオキサントン(I−2) 0.3重量部 p−ジメチルアミノ安息香酸エチル(I−3) 3重量部 マラカイトグリーン(D−1) 0.04重量部 ロイコクリスタルバイオレット(D−2) 0.4重量部 トリブロモフェニルスルホン(D−3) 0.5重量部 MEK 11重量部 次にこの混合溶液を、厚さ20μmのポリエチレンテレ
フタレートフィルム(PETフィルム)にバーコーター
を用いて均一に塗布し、90℃の乾燥機中で5分間乾燥
して光硬化性樹脂層の厚さ50μmの積層体を得た。そ
の後、光硬化性樹脂層のPETフィルムを積層していな
い側に28μmのポリエチレンフィルム(PEフィル
ム)を張り合わせて目的の光硬化性樹脂積層体を得た。
この光硬化性樹脂層の90℃における粘度は7×103
ポイズであり、365nm透過率は38%であった。
[Example 1] Thermoplastic polymer solution P- polymerized in the synthesis example
1, the photopolymerizable compound, the photopolymerization initiator and other components were stirred for 12 hours at the following component ratios. P-1 (36% MEK solution) 144 parts by weight Nonaethylene glycol diacrylate (M-1) 10 parts by weight Urethane reaction product of hexamethylene diisocyanate and oligopropylene glycol monomethacrylate (M-2) 22 parts by weight Anhydrous phthalate Reaction product of half-esterified product of acid and 2-hydroxypropyl acrylate and propylene oxide (M-3: OE-A200 manufactured by Nippon Shokubai Kagaku Co., Ltd.) 10 parts by weight Benzyl dimethyl ketal (I-1) 5 parts by weight 2, 4-Diethylthioxanthone (I-2) 0.3 parts by weight Ethyl p-dimethylaminobenzoate (I-3) 3 parts by weight Malachite Green (D-1) 0.04 parts by weight Leuco Crystal Violet (D-2) 0 0.4 parts by weight tribromophenyl sulfone (D-3) 0.5 parts by weight MEK 11 Next, this mixed solution is uniformly applied to a polyethylene terephthalate film (PET film) having a thickness of 20 μm using a bar coater and dried in a dryer at 90 ° C. for 5 minutes to form a photocurable resin layer having a thickness of A 50 μm thick laminate was obtained. Then, a 28 μm polyethylene film (PE film) was attached to the side of the photocurable resin layer on which the PET film was not laminated to obtain a desired photocurable resin laminate.
The viscosity of this photocurable resin layer at 90 ° C. is 7 × 10 3
It was a poise and the 365 nm transmittance was 38%.

【0051】この光硬化性樹脂積層体のPEフィルムを
剥がしながら、光硬化性樹脂層を330×330×1.
6mmの寸法の銅張り積層板に2段式ホットロールラミ
ネーター(旭化成工業製「AL−700」)により12
0/160℃でラミネートした。内径が4cmのエアシ
リンダーを用い加圧し、エアシリンダーに加えたエア圧
力は6.8kg/cm2 ゲージとし、ラミネート速度は
1.0m/分とした。用いた銅張り積層板はガラス繊維
エポキシ基材の両面に18μm銅箔を張り合わせ、直径
0.35mmの貫通孔を作り、めっきによりさらに約2
5μmの銅を析出させて両面の導通を図ったものとし
た。光硬化性樹脂層の埋め込み深さは、100μmだっ
た。
While peeling off the PE film of this photocurable resin laminate, a photocurable resin layer was formed on the surface of 330 × 330 × 1.
Use a two-stage hot roll laminator ("AL-700" manufactured by Asahi Kasei Kogyo) on a copper-clad laminate with a size of 6 mm.
Laminated at 0/160 ° C. Pressure was applied using an air cylinder having an inner diameter of 4 cm, the air pressure applied to the air cylinder was 6.8 kg / cm 2 gauge, and the laminating speed was 1.0 m / min. The copper-clad laminate used was 18 μm copper foil laminated on both sides of a glass fiber epoxy base material to form a through hole with a diameter of 0.35 mm, and plating was performed to further reduce the thickness to about 2
It was assumed that copper of 5 μm was deposited to achieve conduction on both sides. The embedded depth of the photocurable resin layer was 100 μm.

【0052】光硬化性樹脂層に、直径0.4mmの円状
の導通部を貫通孔の位置に合わせて1000個作ったネ
ガフィルムを通して、超高圧水銀ランプ(オーク製作所
製HMW−201KB)により100mJ/cm2 で露
光した。この時一方の面は、マスクをずれ幅が80μm
または10μmとなるようにずらして露光し、もう一方
の面はずれないようにして露光した。マスクをずらした
場合は、スルーホールの中心とスルーホール上を覆う硬
化レジスト画像の中心を通る線上でスルーホール内壁面
からスルーホール上を覆う硬化レジスト画像の上面まで
の長さをマスクずれ幅とした。
A negative film made of 1000 circular conductive portions having a diameter of 0.4 mm was formed in the photo-curable resin layer in accordance with the positions of the through holes, and passed through a super-high pressure mercury lamp (HMW-201KB manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) at 100 mJ. Exposure was performed at / cm 2 . At this time, one surface has a mask shift width of 80 μm.
Alternatively, the exposure was performed so that the thickness was 10 μm, and the other surface was not displaced. When the mask is shifted, the length from the inner wall surface of the through hole to the upper surface of the cured resist image covering the through hole on the line passing through the center of the through hole and the center of the cured resist image covering the through hole is defined as the mask shift width. did.

【0053】続いてPETフィルムを剥離した後、30
℃の1%炭酸ナトリウム水溶液を60秒スプレーし、未
露光部分を溶解除去した。さらに50℃の塩化第二銅溶
液を115秒スプレーし、硬化レジストの無い部分の銅
をエッチングした。スルーホール開口部被覆保持率(以
下、ずれ保持率と略記する)はマスクずれ10μmの場
合、100%であった。
Then, after peeling off the PET film, 30
An unexposed portion was dissolved and removed by spraying a 1% aqueous sodium carbonate solution at 60 ° C. for 60 seconds. Further, a cupric chloride solution at 50 ° C. was sprayed for 115 seconds to etch the copper in the portion without the cured resist. The through-hole opening coverage ratio (hereinafter, abbreviated as displacement retention ratio) was 100% when the mask displacement was 10 μm.

【0054】次に50℃の3%水酸化ナトリウム水溶液
を120秒スプレーしてレジストとして用いた硬化樹脂
膜を剥離した後テスターによりスルーホール内部の導通
を調べたところ、マスクずれ80μmの基板の断線は0
箇所(0.0%)であり、マスクずれ10μmの基板の
断線は0箇所(0.0%)であった。同様の方法で、ラ
ミネート速度を3.0m/分でラミネートしたところ、
埋め込み深さは、30μmであり、エッチング後のずれ
保持率は100%であった。さらにレジスト剥離後の導
通は、マスクずれ80μmの場合、10箇所(1.0
%)であり、マスクずれ10μmの場合、0箇所(0.
0%)であった。
Next, a 3% aqueous solution of sodium hydroxide at 50 ° C. was sprayed for 120 seconds to peel off the cured resin film used as the resist, and then the inside of the through hole was examined with a tester. Is 0
There were 0 (0.0%) breaks in the substrate with a mask shift of 10 μm. In the same manner, when laminating at a laminating speed of 3.0 m / min,
The embedded depth was 30 μm, and the shift retention rate after etching was 100%. Further, the conduction after the resist is peeled off is 10 (1.0
%), And when the mask shift is 10 μm, it is 0 (0.
It was 0%).

【0055】[0055]

【実施例2〜9および比較例1〜7】表3〜6に示した
組成を用いた以外は実施例1と同様にして、積層板およ
び配線板を得た。なお、表3〜6に示す組成の略号は、
熱可塑性高分子については表1〜2に、他の成分につい
ては実施例1および以下に示すものである。
Examples 2 to 9 and Comparative Examples 1 to 7 Laminated boards and wiring boards were obtained in the same manner as in Example 1 except that the compositions shown in Tables 3 to 6 were used. The composition abbreviations shown in Tables 3 to 6 are as follows:
The thermoplastic polymers are shown in Tables 1-2, and the other components are shown in Example 1 and below.

【0056】I−4:ミヒラーズケトンI-4: Michler's ketone

【0057】[0057]

【表1】 [Table 1]

【0058】[0058]

【表2】 [Table 2]

【0059】[0059]

【表3】 [Table 3]

【0060】[0060]

【表4】 [Table 4]

【0061】[0061]

【表5】 [Table 5]

【0062】[0062]

【表6】 [Table 6]

【0063】[0063]

【発明の効果】本発明の光硬化性樹脂積層体は、マスク
と貫通孔の位置がずれた場合でも、良好なテンティング
膜を形成し、エッチング液の貫通孔内への入り込みを防
ぎ、かつ感度および解像度が良いため、近年の小径スル
ーホールを利用した高密度プリント配線板の製造に有利
に利用できる。
The photocurable resin laminate of the present invention forms a good tenting film even when the positions of the mask and the through holes are deviated, prevents the etchant from entering the through holes, and Since it has good sensitivity and resolution, it can be advantageously used for manufacturing a high-density printed wiring board using a small-diameter through hole in recent years.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】貫通孔の内周縁部から内壁上に樹脂層が形成さ
れた状態を示す概略拡大断面図である。
FIG. 1 is a schematic enlarged cross-sectional view showing a state in which a resin layer is formed on an inner wall from an inner peripheral edge portion of a through hole.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 絶縁板 2 絶縁板の両面に形成された導体層 3 貫通孔 4 絶縁板の両面に積層された光硬化性樹脂層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Insulating plate 2 Conductor layers formed on both sides of an insulating plate 3 Through holes 4 Photocurable resin layers laminated on both sides of an insulating plate

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 支持層と、その一方の面に設けられた、
波長365nmの紫外線に対して20〜95%の紫外線
透過率を有し、かつ(a)α、β−不飽和カルボン酸の
中から選ばれる少なくとも1種の第1単量体15〜40
重量%、下記式(1)に示される化合物の中から選ばれ
る少なくとも1種の第2単量体5〜35重量%、 【化1】 (式中のR1 は水素原子または炭素数1〜3のアルキル
基、Xはハロゲン原子または炭素数1〜3のアルキル
基、nは0または1〜3の整数であってnが2以上の場
合、複数のXはたがいに同一であっても異なっていても
良い)および、炭素数1〜6のアルキル基を有するアル
キル(メタ)アクリレート、炭素数2〜6のヒドロキシ
アルキル基を有するヒドロキシアルキル(メタ)アクリ
レート、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリル
アミドとその窒素上の水素が炭素数1〜4のアルキル基
または炭素数1〜6のアルコキシ基で置換された化合
物、およびメタクリル酸グリシジルの中から選ばれる少
なくとも1種の第3単量体20〜75重量%、をビニル
共重合して得られる重量平均分子量30、000から1
00、000でガラス転移温度が110〜150℃の1
種または2種以上の熱可塑性高分子30〜70重量部、
(b)1分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有す
る1種または2種以上の光重合性化合物30〜70重量
部、および(c)1種または2種以上の光重合開始剤
0.01〜20重量部を主成分とする光硬化性樹脂層と
からなる光硬化性樹脂積層体。
1. A support layer and a surface provided on one surface thereof,
It has an ultraviolet transmittance of 20 to 95% with respect to an ultraviolet ray having a wavelength of 365 nm, and (a) is at least one first monomer 15 to 40 selected from α, β-unsaturated carboxylic acids.
%, At least 5 to 35% by weight of at least one second monomer selected from the compounds represented by the following formula (1): (In the formula, R 1 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, X is a halogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, n is 0 or an integer of 1 to 3, and n is 2 or more. In this case, a plurality of X may be the same or different from each other), and an alkyl (meth) acrylate having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a hydroxyalkyl having a hydroxyalkyl group having 2 to 6 carbon atoms Among (meth) acrylate, (meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide and compounds in which hydrogen on the nitrogen thereof is substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, and glycidyl methacrylate 20 to 75% by weight of at least one third monomer selected from the group consisting of 30,000 to 1 weight average molecular weight obtained by vinyl copolymerization
1 with a glass transition temperature of 110 to 150 ° C at 000
30 to 70 parts by weight of one or more thermoplastic polymers,
(B) 30 to 70 parts by weight of one or more photopolymerizable compounds having one or more ethylenically unsaturated groups in one molecule, and (c) one or more photopolymerization initiators. A photocurable resin laminate comprising a photocurable resin layer whose main component is 0.01 to 20 parts by weight.
JP6075872A 1994-04-14 1994-04-14 Photosetting resin laminated body Pending JPH07281437A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6075872A JPH07281437A (en) 1994-04-14 1994-04-14 Photosetting resin laminated body

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6075872A JPH07281437A (en) 1994-04-14 1994-04-14 Photosetting resin laminated body

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07281437A true JPH07281437A (en) 1995-10-27

Family

ID=13588803

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6075872A Pending JPH07281437A (en) 1994-04-14 1994-04-14 Photosetting resin laminated body

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07281437A (en)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001255653A (en) * 2001-01-09 2001-09-21 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, method for producing resist pattern and method for producing printed wiring board
JP2006184840A (en) * 2004-03-22 2006-07-13 Fuji Photo Film Co Ltd Pattern forming material, and apparatus and method for forming pattern
JP2006220864A (en) * 2005-02-09 2006-08-24 Fuji Photo Film Co Ltd Pattern formation material, pattern formation device, and pattern formation method
US7645561B1 (en) 1997-09-19 2010-01-12 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive film
WO2010064602A1 (en) 2008-12-02 2010-06-10 パナソニック電工株式会社 Method for manufacturing circuit board, and circuit board obtained using the manufacturing method
WO2011052211A1 (en) 2009-10-30 2011-05-05 パナソニック電工株式会社 Circuit board, and semiconductor device having component mounted on circuit board
WO2011145294A1 (en) 2010-05-19 2011-11-24 パナソニック電工株式会社 Wiring method, structure having wiring provided on surface, semiconductor device, wiring board, memory card, electric device, module, and multilayer circuit board
WO2012160617A1 (en) 2011-05-23 2012-11-29 パナソニック株式会社 Resin composition and method for producing circuit board
US8482137B2 (en) 2009-01-27 2013-07-09 Panasonic Corporation Method of mounting semiconductor chips, semiconductor device obtained using the method, method of connecting semiconductor chips, three-dimensional structure in which wiring is provided on its surface, and method of producing the same
US8698003B2 (en) 2008-12-02 2014-04-15 Panasonic Corporation Method of producing circuit board, and circuit board obtained using the manufacturing method
US9070393B2 (en) 2009-01-27 2015-06-30 Panasonic Corporation Three-dimensional structure in which wiring is provided on its surface
US9082438B2 (en) 2008-12-02 2015-07-14 Panasonic Corporation Three-dimensional structure for wiring formation
US9332642B2 (en) 2009-10-30 2016-05-03 Panasonic Corporation Circuit board

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03160058A (en) * 1989-11-17 1991-07-10 Mitsubishi Rayon Co Ltd Crosslinkage-curable resin composition
JPH03236956A (en) * 1989-05-17 1991-10-22 Asahi Chem Ind Co Ltd Photo-setting resin laminate and manufacture of printed wiring board using the same
JPH0667427A (en) * 1990-08-29 1994-03-11 Hoechst Ag Photopolymerization composition and photopoly- merization recording material prepared by using composition thereof

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03236956A (en) * 1989-05-17 1991-10-22 Asahi Chem Ind Co Ltd Photo-setting resin laminate and manufacture of printed wiring board using the same
JPH03160058A (en) * 1989-11-17 1991-07-10 Mitsubishi Rayon Co Ltd Crosslinkage-curable resin composition
JPH0667427A (en) * 1990-08-29 1994-03-11 Hoechst Ag Photopolymerization composition and photopoly- merization recording material prepared by using composition thereof

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7645561B1 (en) 1997-09-19 2010-01-12 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive film
US7687224B2 (en) 1997-09-19 2010-03-30 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive film
JP2001255653A (en) * 2001-01-09 2001-09-21 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, method for producing resist pattern and method for producing printed wiring board
JP4529289B2 (en) * 2001-01-09 2010-08-25 日立化成工業株式会社 Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, resist pattern manufacturing method, and printed wiring board manufacturing method
JP2006184840A (en) * 2004-03-22 2006-07-13 Fuji Photo Film Co Ltd Pattern forming material, and apparatus and method for forming pattern
JP2006220864A (en) * 2005-02-09 2006-08-24 Fuji Photo Film Co Ltd Pattern formation material, pattern formation device, and pattern formation method
WO2010064602A1 (en) 2008-12-02 2010-06-10 パナソニック電工株式会社 Method for manufacturing circuit board, and circuit board obtained using the manufacturing method
US9082438B2 (en) 2008-12-02 2015-07-14 Panasonic Corporation Three-dimensional structure for wiring formation
US8698003B2 (en) 2008-12-02 2014-04-15 Panasonic Corporation Method of producing circuit board, and circuit board obtained using the manufacturing method
US8482137B2 (en) 2009-01-27 2013-07-09 Panasonic Corporation Method of mounting semiconductor chips, semiconductor device obtained using the method, method of connecting semiconductor chips, three-dimensional structure in which wiring is provided on its surface, and method of producing the same
US8759148B2 (en) 2009-01-27 2014-06-24 Panasonic Corporation Method of mounting semiconductor chips, semiconductor device obtained using the method, method of connecting semiconductor chips, three-dimensional structure in which wiring is provided on its surface, and method of producing the same
US8901728B2 (en) 2009-01-27 2014-12-02 Panasonic Corporation Method of mounting semiconductor chips, semiconductor device obtained using the method, method of connecting semiconductor chips, three-dimensional structure in which wiring is provided on its surface, and method of producing the same
US9070393B2 (en) 2009-01-27 2015-06-30 Panasonic Corporation Three-dimensional structure in which wiring is provided on its surface
US9795033B2 (en) 2009-01-27 2017-10-17 Panasonic Corporation Method of mounting semiconductor chips, semiconductor device obtained using the method, method of connecting semiconductor chips, three-dimensional structure in which wiring is provided on its surface, and method of producing the same
US8929092B2 (en) 2009-10-30 2015-01-06 Panasonic Corporation Circuit board, and semiconductor device having component mounted on circuit board
WO2011052211A1 (en) 2009-10-30 2011-05-05 パナソニック電工株式会社 Circuit board, and semiconductor device having component mounted on circuit board
US9332642B2 (en) 2009-10-30 2016-05-03 Panasonic Corporation Circuit board
US9351402B2 (en) 2009-10-30 2016-05-24 Panasonic Corporation Circuit board, and semiconductor device having component mounted on circuit board
WO2011145294A1 (en) 2010-05-19 2011-11-24 パナソニック電工株式会社 Wiring method, structure having wiring provided on surface, semiconductor device, wiring board, memory card, electric device, module, and multilayer circuit board
WO2012160617A1 (en) 2011-05-23 2012-11-29 パナソニック株式会社 Resin composition and method for producing circuit board
US8877843B2 (en) 2011-05-23 2014-11-04 Panasonic Corporation Resin composition and method for producing circuit board
US9175151B2 (en) 2011-05-23 2015-11-03 Panasonic Corporation Resin composition and method for producing circuit board

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0798381B2 (en) Photocurable resin laminate and method for manufacturing printed wiring board using the same
US20050164124A1 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, method for producing resist pattern and method for producing printed wiring board
JPH07281437A (en) Photosetting resin laminated body
JPWO2009078380A1 (en) Method of producing resist cured product using negative photosensitive resin laminate, negative photosensitive resin laminate, and method of using negative photosensitive resin laminate
JP3366722B2 (en) Photocurable resin laminate and method for manufacturing printed wiring board using the same
JP6981864B2 (en) A method for manufacturing a photosensitive resin composition, a photosensitive resin laminate, a substrate on which a resist pattern is formed, and a circuit board.
JP2007226158A (en) Dry film resist
JP4230227B2 (en) Photopolymerizable resin composition
JP3782134B2 (en) Method for manufacturing printed wiring board
JP4614858B2 (en) Photosensitive resin composition and laminate thereof
JP3732110B2 (en) Photopolymerizable resin laminate
JP2002053621A (en) Photopolymerizable resin composition and laminate
JP3644731B2 (en) Novel photocurable resin composition
JP5416256B2 (en) Photosensitive resin laminate
JP2006234995A (en) Photopolymerizable resin composition
JPH11133602A (en) Photopolymerizable composition having improved side wall shape and development latitude
JP2006234995A5 (en)
JP3267703B2 (en) New photopolymerizable resin laminate
JP3883540B2 (en) Photosensitive resin composition and use thereof
JP4259855B2 (en) Photosensitive resin composition
JP2010224158A (en) Composition containg (meth)acrylate compound and photosensitive resin laminate formed by using the same
JP4149769B2 (en) Photosensitive resin composition and laminate thereof
JP4197445B2 (en) Photosensitive resin composition and laminate
JP2004302049A (en) Photosensitive resin composition
JP2011043854A (en) Photosensitive resin laminate

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20030304