JPH07276183A - ブレードカバー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイシング装置等におけるブレードの交換を
容易に且つ能率良く遂行出来るようにした、ブレードカ
バーを提供する。 【構成】 切削水供給ノズルが配設されたダイシング装
置等に装着されるブレードカバーにおいて、切削水供給
ノズルはスピンドルにブレードを着脱する際、着脱の邪
魔にならない退避位置と、着脱の終了後は切削水供給位
置とに選択的に位置付けられる。ブレードカバーには更
にブレード検出手段が配設されており、ブレードの着脱
に邪魔にならない退避位置と、ブレードの状態を検出す
る検出位置とに選択的に位置付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、これに限定されるもの
ではないが、精密切削装置等に装着されるオートブレー
ドチェンジャーに適したブレードカバーに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】精密切削装置例えばダイシング装置にお
いては、半導体ウェーハ等の被切削物を回転ブレードで
切削するが、この回転ブレードは摩耗若しくは破損する
ため適宜交換する必要がある。従来図１３(イ) に示すよ
うに、ブレード２はスピンドルユニット３の先端部に取
り付けられたブレードカバー４により保護され、このブ
レードカバー４は一対の切削水供給ノズル５と必要に応
じてブレード検出手段６とが配設されており、切削水供
給ノズル５はダイシング時に切削水をブレード２に供給
し、ブレード検出手段６はブレード２の摩耗若しくは破
損等を検出するようになっている。従って、ブレード２
を交換するには、図１３(ロ) のように止めネジ７を緩め
て切削水供給ノズル５をブレードカバー４から外すと共
に、ブレード検出手段が配設されている場合は止めネジ
８を緩めてブレード検出手段６をブレードカバー４から
外さねばならない。これは図１４に示すように一対の切
削水供給ノズル５及びブレード検出手段６のセンサー６
ａが、ブレード２を挟むようにして配設されているため
ブレード２の着脱の際に邪魔になるからである。ブレー
ドカバー４から切削水供給ノズル５及びブレード検出手
段６を外した後に、図１５に示すように取り付けナット
９を緩めてブレード２をスピンドル１の装着部１ａから
外すのである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記のようにブレード
交換時にはブレードカバーから切削水供給ノズル５及び
ブレード検出手段６をいちいち着脱しなければならない
ので、ブレード交換作業が面倒であり、且つ非能率的で
あった。ところで、ブレード２の交換作業を能率良く遂
行するためにオートブレードチェンジャーが開発された
（例えば、実開平５−５９８４６号公報）が、その交換
時においても前記切削水供給ノズル５及びブレード検出
手段６の着脱は人手に頼らざるを得ないため、作業能率
を低下させるばかりかＦＡ化を進める上で問題となって
いた。本発明は、このような従来の問題を解決するため
になされ、手動で又はオートブレードチェンジャーでブ
レード交換時に、切削水供給ノズル５及びブレード検出
手段６を退避位置に逃がし、ブレードカバーから外さな
くてもブレード交換を容易且つ高能率に交換することが
出来、特にオートブレードチェンジャーに適したブレー
ドカバーを提供することを課題とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、切削水供給ノズルが
配設されたダイシング装置等に装着されるブレードカバ
ーにおいて、前記切削水供給ノズルはスピンドルにブレ
ードを着脱する際、着脱の邪魔にならない退避位置と、
着脱の終了後は切削水供給位置とに選択的に位置付けら
れるようにしたブレードカバーを要旨とする。又、ブレ
ードカバーには更にブレード検出手段が配設されてお
り、ブレードの着脱に邪魔にならない退避位置と、ブレ
ードの状態を検出する検出位置とに選択的に位置付けら
れることを要旨とする。

【０００５】

【作 用】ブレード交換時に、切削水供給ノズル及びブ
レード検出手段はブレードの着脱に邪魔にならない退避
位置に移動出来るので、ブレードの交換を速やかに遂行
することが出来、しかもブレード着脱の終了後に切削水
供給ノズルは切削水供給位置に、ブレード検出手段はブ
レードの状態を検出する検出位置にそれぞれ直ちに復帰
するので交換作業能率を著しく向上させることが出来
る。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１は本発明に係るブレードカバーの第１実
施例であり、スピンドルユニット３の先端部にブレード
カバー４が取り付けられ、このブレードカバー４の一端
部に切削水供給ノズル５がエアーモーター等のアクチュ
エーター１０を介して開閉自在に設けられている。

【０００７】即ち、ブレードカバー４の側部にはアクチ
ュエーター１０が取り付けられ、その回転軸１０ａにブ
ラケット１１を介して切削水供給ノズル５が取り付けら
れており、図１(ロ) に示すようにアクチュエーター１０
により切削水供給ノズル５を回動させて開くとブレード
２の交換に邪魔にならない退避位置となり、切削水供給
ノズル５を閉じると図１(イ) のようにブレード２に対す
る切削水供給位置に戻る。

【０００８】前記ブレードカバー４の他端部にはエアー
ピストン等のアクチュエーター１２が取り付けられ、そ
のシリンダーロッド１２ａの先端部に取付金具１３を介
してブレード検出手段６が取り付けられており、図１
(ロ) に示すようにアクチュエーター１２によりブレード
検出手段６を上昇させるとブレード２の交換に邪魔にな
らない退避位置となり、ブレード検出手段６を下降させ
ると図１(イ) のように元の検出位置に復帰する。

【０００９】ブレード２の交換時には、切削水供給ノズ
ル５及びブレード検出手段６をいずれも退避位置にすれ
ば、ナット９を外してブレード２の交換を容易に出来、
新ブレードの取付後に切削水供給ノズル５及びブレード
検出手段６を元の位置に戻せばブレード交換作業が終了
する。

【００１０】前記取付金具１３は、長孔１３ａが並設さ
れこの長孔１３ａを利用してブレード検出手段６にビス
１４止めされ、先端部に形成されたＵ字型の切欠き１３
ｂを前記シリンダーロッド１２ａの上端部に嵌合しナッ
ト１５で固定されている。

【００１１】従って、前記ビス１４及びナット１５を緩
め、長孔１３ａに沿って取付金具１３を前方に動かせば
取付金具１３をシリンダーロッド１２ａから外すことが
出来、必要に応じてブレード検出手段６をブレードカバ
ー４から分離させることが可能である。尚、６ｂは前記
センサー６ａの位置調整用ネジである。

【００１２】図２は本発明に係るブレードカバーの第２
実施例を示すもので、(イ) のようにブレードカバー４の
一端部に切削水供給ノズル５′がエアーピストン式のア
クチュエーター１２′により取り付けられている。この
場合は、(ロ) に示すようにアクチュエーター１２′によ
り切削水供給ノズル５′を側方に移動させることで退避
位置にし、ブレード２の着脱時に邪魔にならないように
したものである。ブレード検出手段６については第１実
施例と同一の構成である。

【００１３】図３は本発明に係るブレードカバーの第３
実施例を示すもので、(イ) のようにエアーピストン式の
アクチュエーター１２″で切削水供給ノズル５″を移動
させるが、この場合は(ロ) のように切削水供給ノズル
５″を下方に移動させて退避位置にする点が第２実施例
とは異なっている。但し、ブレード検出手段６について
は第１実施例、第２実施例と全く同じ構成である。尚、
アクチュエーターは実施例のものに限らず、油圧式、電
磁式その他適宜のもので良い。

【００１４】このように構成されたブレードカバーは、
例えば図４に示すようなダイシング装置２４に装着して
使用される。ダイシング装置２４は、先ずカセット載置
領域Ａに半導体ウェーハ等の被切削物を収納したカセッ
ト２４ａが載置され、搬出入手段２４ｂによりカセット
２４ａ内の被切削物が待機領域Ｂに搬出される。次に、
搬出された被切削物は、旋回アームを有する搬送手段２
４ｃによりチャックテーブル２４ｄに搬送され、このチ
ャックテーブル２４ｄをアライメント手段２４ｅに移動
して被切削物の切削ラインを位置決めし、更にチャック
テーブル２４ｄを切削領域Ｃに移動してスピンドル１に
取り付けたブレード２によりダイシングされる。このダ
イシング後にチャックテーブル２４ｄは元の位置まで戻
され、被切削物は第２の搬送手段２４ｆにより洗浄手段
２４ｇに搬送され、スピン洗浄及び乾燥された後前記搬
送手段２４ｃにより待機領域Ｂに戻され、前記搬出入手
段２４ｂによりカセット２４ａ内の元の位置に収納され
る。

【００１５】２５はオートブレードチェンジャーであ
り、前記ダイシング装置２４の切削領域Ｃに配設され、
新旧ブレードを収納するブレードラック２５ａと、ブレ
ード交換手段２５ｂとから構成されている。

【００１６】前記ブレードラック２５ａは断面略へ字型
仕切り壁２４ｈの上部にブラケット２５ｃを介して取り
付けられ、図５、図６に示すように枠体２６と、この枠
体２６の支柱２６ａに着脱出来る可動体２７とから構成
されている。可動体２７の前面には新ブレード２′を保
持する第１の保持軸２７ａと、旧ブレードを保持する第
２の保持軸２７ｂとが並設され、これらの先端部にはブ
レードの脱落を防止するためのストッパー２８、２９が
それぞれ設けられている。

【００１７】第１の保持軸２７ａのストッパー２８は、
図７に示すように一対の爪片２８ａの先端部がバネ２８
ｂで外側に付勢され、ほぼ中間部がピンで枢支２８ｃさ
れた可動ストッパーであり、前記枠体２６に設けられた
係合用ロッド２６ｂにより操作される。即ち、図７(ロ)
に示すように係合用ロッド２６ｂをエアーシリンダー等
で前進させてその先端部を爪片２８ａ間に挿入すると、
爪片２８ａの先端部がバネ２８ｂを縮めて内側に閉じ、
これにより新ブレード２′の嵌め外しを自在に行える。
図７(イ) のように係合用ロッド２６ｂを後退させて爪片
２８ａ間から外すと、バネ２８ｂの復元力によって爪片
２８ａの先端部が外側に開き、新ブレード２′の抜け落
ちを防ぐ。一方、前記第２の保持軸２７ｂのストッパー
２９は固定ストッパーであって、ブレードの取付孔の径
よりやや小さめのフランジ状に形成され、この第２の保
持軸２７ｂに遊嵌されたブレードの脱落を防止する。

【００１８】前記ブレード交換手段２５ｂは仕切り壁２
４ｈの前に配設され、図５に示すように前記ブレードラ
ック２５ａとスピンドル１との間を旋回動するアーム３
０と、このアーム３０の端部に設けられたブレード把持
手段３１及びナット着脱手段３２とから構成されてい
る。尚、仕切り壁２４ｈには図４に仮想線で示すように
開閉カバー２４ｉがエアーシリンダー等で自動的に又は
手動でスライド可能に設けられ、この開閉カバー２４ｉ
を開くと切削領域Ｃが開放されてブレード２の交換が可
能となり、閉じると切削領域Ｃが隠蔽されてダイシング
時に切削水等の飛散を防止する。

【００１９】前記ブレード把持手段３１は、図８(イ) 、
(ロ) に示すように前面に２以上（図例では３個）の揺動
片３１ａが円周方向に設けられ、これらの揺動片３１ａ
は一端部が枢支３１ｂされて径方向の内方にそれぞれ揺
動し、ブレード２のボス部２ｂ（図１５）の外周に接触
してブレードを把持し、径方向の外方に揺動するとブレ
ードを開放するようになっている。又、前面の中央部に
はブレード２の取付孔２ａに嵌合するリング状突起３１
ｃが形成され、更にアーム３０に取り付けられたシリン
ダー３０ａによりブレード把持手段３１が進退可能に形
成されている。尚、アーム３０はパルスモーター又はロ
ータリーエンコーダー等で旋回動の位置付け制御がなさ
れる。

【００２０】前記ナット着脱手段３２は、図９(イ) に示
すように前面部に設けられたナット押え部３２ａと中央
部に設けられたスピンドル押え部３２ｂとを有し、ナッ
ト押え部３２ａは円周方向に配設された２個以上（図例
では４個）の凸部３３からなり、これらの凸部３３は前
記ナット９に形成された凹部９ａに嵌合し、且つ左右一
対の凸部３３′は互いに内側に傾斜出来るように形成さ
れている。左右一対の凸部３３′はブラケット３４に取
り付けられ、このブラケット３４の一端側は切欠き凹部
３２ｃ内に設けられたステー３５の先端部に枢支される
と共に、他端側二股部は小さなエアーシリンダーのピス
トンロッド３６の先端部に枢支されており、このピスト
ンロッド３６が前進すると図９(ロ) の状態から(ハ)の状
態になり、つまり一対の凸部３３′がブラケット３４を
介してそれぞれ内側に傾斜し、前記ナット９を把持出来
るようにしてある。

【００２１】又、ナット押え部３２ａは非回転に形成さ
れ、前記スピンドル押え部３２ｂが回転可能に形成され
ている。このスピンドル押え部３２ｂは、先端が前記ス
ピンドル１の先端面に形成された六角の係合孔１ｃ（図
１５参照）に係合し、スピンル１を回転出来るようにし
てある。つまり、ナット押え部３２ｂでナット９を非回
転状態に押え付け、スピンドル押え部３２ｂでスピンド
ル１を回転させることにより、スピンドル１のネジ部１
ｂからナット９を緩めて外すことが出来る。更に、ナッ
ト９を嵌める際にはナット押え部３２ｂでナット９を非
回転に押え付けながら、スピンドル押え部３２ｂでスピ
ンドル１を逆回転させればスピンドル１のネジ部１ｂに
ナット９を締め付けることが出来る。

【００２２】次に、図１０〜図１２を用いてブレード交
換作業を順に説明すると、先ず図１０(イ) のようにブレ
ードラック２５ａの第１の保持軸２７ａには複数枚（図
例では２枚）の新ブレード２′が保持されており、スピ
ンドル１には交換すべきブレード２（旧ブレード）が装
着されている。ブレード２の交換時に、前記ブレードカ
バー４の切削水供給ノズル５及びブレード検出手段６を
退避位置に移動させた後（説明を分かり易くするために
ブレードカバー４の図示は省略した）、図１０(ロ) のよ
うにアーム３０を旋回させてナット着脱手段３２をスピ
ンドル１に位置決めする。尚、３７はアーム３０の旋回
動を容易にする戻りバネである。

【００２３】この後、図１０(ハ) に示すようにスピンド
ル１（詳しくはスピンドルユニット３）を前進させ、ナ
ット着脱手段３２によりナット９を緩めナット押え部３
２ａに保持させると共に、図１０(ニ) のようにスピンド
ル１を後退させてナット９を完全に外す。

【００２４】更に、図１０(ホ) のようにスピンドル１に
対してブレード把持手段３１を位置決めし、図１０(ヘ)
のようにスピンドル１を前進させると共に、図１１(ト)
のようにブレード２をリング状突起３１ｃに嵌め込むと
共に前記揺動片３１ａを介して保持し、スピンドル１を
後退させてブレード２を装着部１ａから完全に外す。

【００２５】この状態から図１１(チ) のようにアーム３
０を旋回させてブレード把持手段３１を第２の保持軸２
７ｂに位置決めし、シリンダー３０ａを作動させてブレ
ード把持手段３１を前進させ、ブレード２を第２の保持
軸２７ｂに嵌合し、揺動片３１ａの把持を解除した後図
１１(リ) のようにブレード把持手段３１を後退させて第
２の保持軸２７ｂにブレード２を保持させる。

【００２６】続いて図１１(ヌ) のようにアーム３０を旋
回してブレード把持手段３１を第１の保持軸２７ａに位
置決めし、シリンダー３０ａによりブレード把持手段３
１を前進させ、揺動片３１ａにより新ブレード２′を把
持させる。この時、前記枠体２６の係合用ロッド２６ｂ
を作用させて第１の保持軸２７ａの可動ストッパー２８
のロックを解除する。この解除後に、図１１(ル) のよう
にブレード把持手段３１を後退させると新ブレード２′
を第１の保持軸２７ａから抜き取ることが出来る。新ブ
レード２′の抜き取り後はストッパー２８は再びロック
される。

【００２７】ブレード把持手段３１は新ブレード２′を
保持したまま、図１１(ヲ) のようにアーム３０を旋回す
ることによりスピンドル１に位置決めされ、そのスピン
ドル１を前進させて新ブレード２′を装着部１ａに挿入
する。挿入後、揺動片３１ａの把持を解除して図１２
(ワ) のようにスピンドル１を後退させる。

【００２８】この後、図１２(カ) のようにアーム３０を
旋回させてナット着脱手段３２をスピンドル１に位置決
めし、図１２(ヨ) のようにスピンドル１を前進させてナ
ット着脱手段３２に保持されているナット９を装着部１
ａに締め付ける。このナット９の締め付けは、前記のよ
うにナット押え部３２ａでナット９を非回転に保持し、
スピンドル押え部３２ｂでスピンドル１を回転させるこ
とにより遂行出来る。

【００２９】最後に、図１２(タ) のようにスピンドル１
を後退させ、アーム３０を旋回してブレード交換手段２
５ｂを元の位置に戻し、ブレードカバー４の切削水供給
ノズル５とブレード検出手段６とを元の位置に戻すこと
により交換作業は終了する。このようにして、スピンド
ル１のブレード２とブレードラック２５ａの新ブレード
２′とを全自動的に且つ能率良く交換することが出来
る。

【００３０】尚、ブレードラック２５ａに保持する新ブ
レード２′の枚数は１枚でも良いが、２枚又は３枚以上
保持出来るようにしても良い。又、ブレードラック２５
ａの可動体２７は前記のように枠体２６に対して着脱可
能であるから、第１の保持軸２７ａの新ブレード２′が
全て交換された時には枠体２６から外して新ブレードを
補充すると共に、第２の保持軸２７ｂに集められた旧ブ
レードを取り除く。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダイシング等の精密切削装置において、ブレードカバー
に取り付けられた切削水供給ノズル及びブレード検出手
段をブレード交換時に邪魔にならないように退避位置に
移動出来るようにしたので、ブレード交換作業の容易化
及び能率化を図ることが出来、特にオートブレードチェ
ンジャーでのブレード交換に優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係るブレードカバーの第１実施例を
示すもので、(イ) は通常時、(ロ) はブレード交換時のそ
れぞれ状態図である。

【図２】 本発明に係るブレードカバーの第２実施例を
示すもので、(イ) は通常時、(ロ) はブレード交換時のそ
れぞれ状態図である。

【図３】 本発明に係るブレードカバーの第３実施例を
示すもので、(イ) は通常時、(ロ) はブレード交換時のそ
れぞれ状態図である。

【図４】 ダイシング装置に適用した一例を示す斜視図
である。

【図５】 オートブレードチェンジャーの斜視図であ
る。

【図６】 ブレードラックの分解斜視図である。

【図７】 第１の保持軸のストッパーを示すもので、
(イ) は新ブレードをックしている状態、(ロ) はロックを
解除した状態をそれぞれ示す説明図である。

【図８】 ブレード把持手段を示すもので、(イ) は斜視
図、(ロ) は揺動片動きを説明する正面図である。

【図９】 ナット着脱手段を示すもので、(イ) は斜視
図、(ロ) は平面図、)は凸部のロック状態を説明する平
面図である。

【図１０】 (イ) 〜(ヘ) はオートブレードチェンジャー
の作用を示す説明図ある。

【図１１】 (ト) 〜(ヲ) は図１３に続くオートブレード
チェンジャーの作用をす説明図である。

【図１２】 (ワ) 〜(タ) は図１４に続くオートブレード
チェンジャーの作用をす説明図である。

【図１３】 従来のブレードカバーを示すもので、(イ)
は斜視図、(ロ) は分解斜視図である。

【図１４】 ブレードと切削水供給ノズル及びブレード
検出手段の位置関係を示す説明図である。

【図１５】 ブレードを外した状態を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１…スピンドル １ａ…装着部 １ｂ…ネジ部
１ｃ…係合孔 ２…ブレード ２ａ…取付孔 ２
ｂ…ボス部 ３…スピンドルユニット ４…ブレー
ドカバー ５…切削水供給ノズル ６…ブレード検
出手段 ６ａ…センサー ６ｂ…位置調整用ネジ
７、８…止めネジ ９…ナット １０…アクチュエーター １０ａ…回転軸 １１…
ブラケット １２…アクチュエーター １２ａ…シ
リンダーロッド １３…取付金具 １３ａ…長孔
１３ｂ…切欠き １４…ビス止め １５…ナット ２４…ダイシング装置 ２５…オートブレードチェン
ジャー ２５ａ…ブレードラック ２５ｂ…ブレー
ド交換手段 ２６…枠体 ２７…可動体 ２７ａ…第１の保持軸 ２７ｂ…第２の保持軸 ２
８、２９…ストッパー ３０…アーム ３１…ブレード把持手段 ３２…ナ
ット着脱手段 ３２ａ…ナット押え部 ３２ｂ…ス
ピンドル押え部 ３３…凸部 ３４…ブラケット
３５…ステー ３６…ピストンロッド ３７…戻
りバネ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 切削水供給ノズルが配設されたダイシン
   グ装置等に装着されるブレードカバーにおいて、前記切
   削水供給ノズルはスピンドルにブレードを着脱する際、
   着脱の邪魔にならない退避位置と、着脱の終了後は切削
   水供給位置とに選択的に位置付けられるようにした、ブ
   レードカバー。
2. 【請求項２】 ブレードカバーには更にブレード検出手
   段が配設されており、ブレードの着脱に邪魔にならない
   退避位置と、ブレードの状態を検出する検出位置とに選
   択的に位置付けられる請求項１記載のブレードカバー。