JPH0682103B2 - 銅張配線板の外観検査装置 - Google Patents
銅張配線板の外観検査装置Info
- Publication number
- JPH0682103B2 JPH0682103B2 JP62271070A JP27107087A JPH0682103B2 JP H0682103 B2 JPH0682103 B2 JP H0682103B2 JP 62271070 A JP62271070 A JP 62271070A JP 27107087 A JP27107087 A JP 27107087A JP H0682103 B2 JPH0682103 B2 JP H0682103B2
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- JP
- Japan
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- light
- light source
- copper
- inspected
- color
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、銅張配線板の表面に生じる打痕、傷、しみ等
の欠陥を検査する銅張配線板の外観検査装置に関するも
のである。
の欠陥を検査する銅張配線板の外観検査装置に関するも
のである。
［背景技術］ 従来よりこの種の外観検査装置としては、被検査物とし
ての銅張配線板の表面に光を照射する１つの光源と、こ
の光源に対して被検査物の表面での正反射光と拡散反射
光とをそれぞれ受光する２つの受光部とを設けたものが
提供されている。
ての銅張配線板の表面に光を照射する１つの光源と、こ
の光源に対して被検査物の表面での正反射光と拡散反射
光とをそれぞれ受光する２つの受光部とを設けたものが
提供されている。
この構成の外観検査装置では、両受光部は被検査物の同
じ位置からの情報を得なければならないから、両受光部
の光軸が被検査物の表面で交差するように光軸の位置合
わせをする必要があり、この調節作業が非常に面倒であ
るという問題がある。また、両受光部の光軸が少しずれ
ただけでも、被検査物の表面の同じ位置からの情報が得
られなくなり、表面状態の正確な情報が得られなくなる
という問題がある。さらに、銅張配線板のような被検査
物では一度に多項目の検査を要求されることがあり、上
述のように正反射光と拡散反射光との２種類の情報を分
離して監視するだけでは、この要求には対応することが
できないものである。
じ位置からの情報を得なければならないから、両受光部
の光軸が被検査物の表面で交差するように光軸の位置合
わせをする必要があり、この調節作業が非常に面倒であ
るという問題がある。また、両受光部の光軸が少しずれ
ただけでも、被検査物の表面の同じ位置からの情報が得
られなくなり、表面状態の正確な情報が得られなくなる
という問題がある。さらに、銅張配線板のような被検査
物では一度に多項目の検査を要求されることがあり、上
述のように正反射光と拡散反射光との２種類の情報を分
離して監視するだけでは、この要求には対応することが
できないものである。
［発明の目的］ 本発明は上述の点に鑑みて為されたものであって、その
目的とするところは、受光部の光軸合わせが不要で、銅
張配線板の表面の凹凸やしみ等の欠陥を精度よく検出で
きるようにした銅張配線板の外観検査装置を提供するこ
とにある。
目的とするところは、受光部の光軸合わせが不要で、銅
張配線板の表面の凹凸やしみ等の欠陥を精度よく検出で
きるようにした銅張配線板の外観検査装置を提供するこ
とにある。
［発明の開示］ （構成） 本発明は、互いに異なる光軸を有し銅張配線板である被
検査物の銅張面に光を照射する第１の光源および第２の
光源と、第１の光源に対して被検査物の表面での正反射
光を受光するとともに第２の光源に対して被検査物の表
面での拡散反射光を受光できる位置に配設され受光量の
変化を電気信号に変換する受光部とを具備した銅張配線
板の外観検査装置において、第１の光源から青色光を放
射し第２の光源から赤色と緑色との混合色を放射すると
ともに、青色光と赤色光と緑色光とをそれぞれ独立して
受光する複数の受光素子を受光部に設け、さらに赤色と
緑色とに対応した受光素子の出力に基づいて被検査物の
表面の色を識別する色認識部と、色認識部で識別した色
と青色に対応した受光素子での受光光量とを組み合わせ
て被検査物の表面状態の種類を分別判定する判定部とを
設けたものである。
検査物の銅張面に光を照射する第１の光源および第２の
光源と、第１の光源に対して被検査物の表面での正反射
光を受光するとともに第２の光源に対して被検査物の表
面での拡散反射光を受光できる位置に配設され受光量の
変化を電気信号に変換する受光部とを具備した銅張配線
板の外観検査装置において、第１の光源から青色光を放
射し第２の光源から赤色と緑色との混合色を放射すると
ともに、青色光と赤色光と緑色光とをそれぞれ独立して
受光する複数の受光素子を受光部に設け、さらに赤色と
緑色とに対応した受光素子の出力に基づいて被検査物の
表面の色を識別する色認識部と、色認識部で識別した色
と青色に対応した受光素子での受光光量とを組み合わせ
て被検査物の表面状態の種類を分別判定する判定部とを
設けたものである。
この構成によれば、２つの光源と１つの受光部とで銅張
配線板の銅張面の表面状態を検出するので、受光部の光
軸合わせが不要であり、しかも、受光部に対して拡散反
射光を入射させる光源は赤色と緑色との混合色であっ
て、受光部では正反射光の青色と分離できるのはもちろ
んのこと、この混合色から銅張配線板の銅張面の色の状
態を識別することができる。このように、被検査物の表
面の色を認識することで、単に正反射光と拡散反射光と
の２種類の情報の組み合わせに加えて、色の情報を用い
ることができ、一度に検査することができる検査項目の
多項目化が可能になる。しかも、赤色と緑色との混合色
を用いて色を識別するからとくに銅張配線板の検査に適
合することになる。
配線板の銅張面の表面状態を検出するので、受光部の光
軸合わせが不要であり、しかも、受光部に対して拡散反
射光を入射させる光源は赤色と緑色との混合色であっ
て、受光部では正反射光の青色と分離できるのはもちろ
んのこと、この混合色から銅張配線板の銅張面の色の状
態を識別することができる。このように、被検査物の表
面の色を認識することで、単に正反射光と拡散反射光と
の２種類の情報の組み合わせに加えて、色の情報を用い
ることができ、一度に検査することができる検査項目の
多項目化が可能になる。しかも、赤色と緑色との混合色
を用いて色を識別するからとくに銅張配線板の検査に適
合することになる。
（実施例） 第１図および第２図に示すように、第１の光源10aと第
２の光源10bとが設けられており、各光源10a,10bは、そ
れぞれ直管状のランプ11a,11bと、反射板12a,12bと、フ
ィルタ13a,13bとを備えた線状光源であって、ランプ11
a,11bは白色光を放射するようになっている。第１の光
源10aと第２の光源10bとは、互いに略平行となるように
配設されている。また、被検査物１は銅張配線板であっ
て第１の光源10aおよび第２の光源10bと略平行な方向に
移動する。第１の光源10aの光軸は被検査物１の表面に
対して角度θだけ傾斜しており、第２の光源10bの光軸
は被検査物１の表面に対して略直交するように配設され
ている。また、第１の光源10aのフィルタ13aは青色光が
透過するように設定され、第２の光源10bのフィルタ13b
は赤色光と緑色光との混合色が透過するように設定され
ている。
２の光源10bとが設けられており、各光源10a,10bは、そ
れぞれ直管状のランプ11a,11bと、反射板12a,12bと、フ
ィルタ13a,13bとを備えた線状光源であって、ランプ11
a,11bは白色光を放射するようになっている。第１の光
源10aと第２の光源10bとは、互いに略平行となるように
配設されている。また、被検査物１は銅張配線板であっ
て第１の光源10aおよび第２の光源10bと略平行な方向に
移動する。第１の光源10aの光軸は被検査物１の表面に
対して角度θだけ傾斜しており、第２の光源10bの光軸
は被検査物１の表面に対して略直交するように配設され
ている。また、第１の光源10aのフィルタ13aは青色光が
透過するように設定され、第２の光源10bのフィルタ13b
は赤色光と緑色光との混合色が透過するように設定され
ている。
一方、第１の光源10aに対して第２の光源10bを挟んで反
対側には、受光部20が設けられる。受光部20は、赤色
光、緑色光、青色光をそれぞれ受光する受光素子21R,21
G,21Bを一直線上に多数配列したカラーイメージセンサ2
1であって、各色の受光量に応じた電気信号を出力する
ようになっている。受光部20はこのように一直線上に形
成されているのであって、その方向は第１の光源10aお
よび第２の光源10bと略平行になっており、また、受光
部20の光軸は被検査物１の表面に対して角度θだけ傾斜
している。ここに、第１の光源10aの光軸と受光部20の
光軸とはおおよそ上の関係を満たすように配設すればよ
いのであり、第１の光源10aからの光束はある程度拡散
するから、受光部20では必ず第１の光源10aからの正反
射光が受光できるのである。また、第２の光源10bの光
軸は被検査物１の表面に対して略直交しているから、受
光部20では第２の光源10bの拡散反射光を受光すること
になる。ここに、受光部20の焦点位置を被検査物１の表
面に略一致させておくだけで、第１の光源10aと第２の
光源10bとは光軸を完全に調節していなくても、正反射
光と拡散反射光とが受光部20で受光されるのであり、従
来のような厳密な光軸合わせが不要となるのである。以
上のようにして青色光の受光素子21Bからは正反射光に
対応する電気信号が得られ、赤色光と緑色光の受光素子
21R,21Gからは拡散反射光に対応する電気信号が得られ
ることになる。
対側には、受光部20が設けられる。受光部20は、赤色
光、緑色光、青色光をそれぞれ受光する受光素子21R,21
G,21Bを一直線上に多数配列したカラーイメージセンサ2
1であって、各色の受光量に応じた電気信号を出力する
ようになっている。受光部20はこのように一直線上に形
成されているのであって、その方向は第１の光源10aお
よび第２の光源10bと略平行になっており、また、受光
部20の光軸は被検査物１の表面に対して角度θだけ傾斜
している。ここに、第１の光源10aの光軸と受光部20の
光軸とはおおよそ上の関係を満たすように配設すればよ
いのであり、第１の光源10aからの光束はある程度拡散
するから、受光部20では必ず第１の光源10aからの正反
射光が受光できるのである。また、第２の光源10bの光
軸は被検査物１の表面に対して略直交しているから、受
光部20では第２の光源10bの拡散反射光を受光すること
になる。ここに、受光部20の焦点位置を被検査物１の表
面に略一致させておくだけで、第１の光源10aと第２の
光源10bとは光軸を完全に調節していなくても、正反射
光と拡散反射光とが受光部20で受光されるのであり、従
来のような厳密な光軸合わせが不要となるのである。以
上のようにして青色光の受光素子21Bからは正反射光に
対応する電気信号が得られ、赤色光と緑色光の受光素子
21R,21Gからは拡散反射光に対応する電気信号が得られ
ることになる。
以上のようにして得られた電気信号は、第３図に示すよ
うに、信号処理部30に入力される。信号処理部30では、
赤色、緑色、青色に応じた各信号R,G,Bをそれぞれ増幅
する増幅回路31R,31G,31Bと、赤色と緑色とに対応する
増幅回路31R,31Gの出力を受けて色を識別する色認識部3
2と、色認識部32の出力と青色に対応する増幅回路31Bの
出力とから、被検査物１の表面状態を判定する判定部33
とを備えており、判定部33では６状態が判定できるよう
になっている。すなわち、受光部20の出力により、次の
ような判定が行なえるのである。
うに、信号処理部30に入力される。信号処理部30では、
赤色、緑色、青色に応じた各信号R,G,Bをそれぞれ増幅
する増幅回路31R,31G,31Bと、赤色と緑色とに対応する
増幅回路31R,31Gの出力を受けて色を識別する色認識部3
2と、色認識部32の出力と青色に対応する増幅回路31Bの
出力とから、被検査物１の表面状態を判定する判定部33
とを備えており、判定部33では６状態が判定できるよう
になっている。すなわち、受光部20の出力により、次の
ような判定が行なえるのである。
ただし、上表において、１は正常部分に対して明るい方
向への変化、０は正常部分に対して暗い方向への変化、
φは正常部分に対して明るい方向と暗い方向との変化が
混在することを示す。
向への変化、０は正常部分に対して暗い方向への変化、
φは正常部分に対して明るい方向と暗い方向との変化が
混在することを示す。
以上のようにして、正反射光と拡散反射光との状態に応
じて被検査物１の表面状態を知ることができるのであ
り、また、正反射光と拡散反射光とを色で識別し、しか
も、拡散反射光に２色を用いることにより、被検査物１
の表面の色の状態も識別することができ、被検査物１の
表面状態の分類数を増やすことができるのである。互い
に異なる光軸を有し銅張配線板である被検査物の銅張面
に光を照射する第１の光源および第２の光源と、第１の
光源に対して被検査物の表面での正反射光を受光すると
ともに第２の光源に対して被検査物の表面での拡散反射
光を受光できる位置に配設され受光量の変化を電気信号
に変換する受光部とを具備した銅張配線板の外観検査装
置において、第１の光源から青色光を放射し第２の光源
から赤色と緑色との混合色を放射するとともに、青色光
と赤色光と緑色光とをそれぞれ独立して受光する複数の
受光素子を受光部に設け、さらに赤色と緑色とに対応し
た受光素子の出力に基づいて被検査物の表面の色を識別
する色認識部と、色認識部で識別した色と青色に対応し
た受光素子での受光光量とを組み合わせて被検査物の表
面状態の種類を分別判定する判定部とを設けたものであ
り、２つの光源と１つの受光部とで銅張配線板の銅張面
の表面状態を検出するので、なお、信号処理部において
パターンを認識できるようにしておけば、被検査物１の
表面に形成されているパターンの認識も可能となるもの
である。この場合、色情報を含めることも可能であるの
はいうまでもない。
じて被検査物１の表面状態を知ることができるのであ
り、また、正反射光と拡散反射光とを色で識別し、しか
も、拡散反射光に２色を用いることにより、被検査物１
の表面の色の状態も識別することができ、被検査物１の
表面状態の分類数を増やすことができるのである。互い
に異なる光軸を有し銅張配線板である被検査物の銅張面
に光を照射する第１の光源および第２の光源と、第１の
光源に対して被検査物の表面での正反射光を受光すると
ともに第２の光源に対して被検査物の表面での拡散反射
光を受光できる位置に配設され受光量の変化を電気信号
に変換する受光部とを具備した銅張配線板の外観検査装
置において、第１の光源から青色光を放射し第２の光源
から赤色と緑色との混合色を放射するとともに、青色光
と赤色光と緑色光とをそれぞれ独立して受光する複数の
受光素子を受光部に設け、さらに赤色と緑色とに対応し
た受光素子の出力に基づいて被検査物の表面の色を識別
する色認識部と、色認識部で識別した色と青色に対応し
た受光素子での受光光量とを組み合わせて被検査物の表
面状態の種類を分別判定する判定部とを設けたものであ
り、２つの光源と１つの受光部とで銅張配線板の銅張面
の表面状態を検出するので、なお、信号処理部において
パターンを認識できるようにしておけば、被検査物１の
表面に形成されているパターンの認識も可能となるもの
である。この場合、色情報を含めることも可能であるの
はいうまでもない。
［発明の効果］ 本発明は上述のように、互いに異なる光軸を有し被検査
物の表面に光を照射する第１の光源および第２の光源
と、第１の光源に対して被検査物の表面での正反射光を
受光するとともに第２の光源に対して被検査物の表面で
の拡散反射光を受光できる位置に配設され受光量の変化
を電気信号に変換する受光部とを具備し、第１の光源か
ら放射される光線と第２の光源から放射される光線とは
互いに異なる識別要素を含み、受光部で受光された反射
光に対する電気信号を上記識別要素に基づいて第１の光
源に対する電気信号と第２の光源に対する電気信号とに
分離して処理することにより被検査物の表面状態に応じ
た情報を出力する信号処理部を備えているものであり、
２つの光源と１つの受光部とを用い、両光源から放射さ
れて被検査物の表面で反射された正反射光と拡散反射光
とに関する情報を受光部で検出し、信号処理部でこの情
報から被検査物の表面状態を検出するので、第１の光源
から放射され被検査物の表面で正反射された光線が受光
部で受光でき、第２の光源から放射され被検査物に表面
で拡散反射された光線が受光部で受光できるように、３
者の位置関係をだいたい設定しておけば、従来のような
厳密な調整を行なわずに大まかな調整のみで被検査物の
表面の状態を正確に検出することができるという利点を
有するのである。
物の表面に光を照射する第１の光源および第２の光源
と、第１の光源に対して被検査物の表面での正反射光を
受光するとともに第２の光源に対して被検査物の表面で
の拡散反射光を受光できる位置に配設され受光量の変化
を電気信号に変換する受光部とを具備し、第１の光源か
ら放射される光線と第２の光源から放射される光線とは
互いに異なる識別要素を含み、受光部で受光された反射
光に対する電気信号を上記識別要素に基づいて第１の光
源に対する電気信号と第２の光源に対する電気信号とに
分離して処理することにより被検査物の表面状態に応じ
た情報を出力する信号処理部を備えているものであり、
２つの光源と１つの受光部とを用い、両光源から放射さ
れて被検査物の表面で反射された正反射光と拡散反射光
とに関する情報を受光部で検出し、信号処理部でこの情
報から被検査物の表面状態を検出するので、第１の光源
から放射され被検査物の表面で正反射された光線が受光
部で受光でき、第２の光源から放射され被検査物に表面
で拡散反射された光線が受光部で受光できるように、３
者の位置関係をだいたい設定しておけば、従来のような
厳密な調整を行なわずに大まかな調整のみで被検査物の
表面の状態を正確に検出することができるという利点を
有するのである。
しかも、受光部に対して拡散反射光を入射させる光源は
赤色と緑色との混合色であって、受光部では正反射光の
青色と分離できるのはもちろんのこと、この混合色から
銅張配線板の銅張面の色の状態を識別することができ
る。このように、被検査物の表面の色を認識すること
で、単に正反射光と拡散反射光との２種類の情報を組み
合わせに加えて、色の情報を用いることができるのであ
り、一度に検査することができる検査項目の多項目化が
可能になるという利点を有する。しかも、赤色と緑色と
の混合色を用いて色を識別するからとくにに銅張配線板
の検査に適合するという利点もある。
赤色と緑色との混合色であって、受光部では正反射光の
青色と分離できるのはもちろんのこと、この混合色から
銅張配線板の銅張面の色の状態を識別することができ
る。このように、被検査物の表面の色を認識すること
で、単に正反射光と拡散反射光との２種類の情報を組み
合わせに加えて、色の情報を用いることができるのであ
り、一度に検査することができる検査項目の多項目化が
可能になるという利点を有する。しかも、赤色と緑色と
の混合色を用いて色を識別するからとくにに銅張配線板
の検査に適合するという利点もある。
第１図は本発明の一実施例を示す概略構成を示す側面
図、第２図は同上の概略構成を示す斜視図、第３図は同
上に用いる信号処理回路を示すブロック図である。 １は被検査物、10aは第１の光源、10bは第２の光源、20
は受光部、21はカラーイメージセンサ、21R,21G,21Bは
受光素子、30は信号処理回路である。
図、第２図は同上の概略構成を示す斜視図、第３図は同
上に用いる信号処理回路を示すブロック図である。 １は被検査物、10aは第１の光源、10bは第２の光源、20
は受光部、21はカラーイメージセンサ、21R,21G,21Bは
受光素子、30は信号処理回路である。
Claims (2)
- 【請求項１】互いに異なる光軸を有し銅張配線板である
被検査物の銅張面に光を照射する第１の光源および第２
の光源と、第１の光源に対して被検査物の表面での正反
射光を受光するとともに第２の光源に対して被検査物の
表面での拡散反射光を受光できる位置に配設され受光量
の変化を電気信号に変換する受光部とを具備した銅張配
線板の外観検査装置において、第１の光源から青色光を
放射し第２の光源から赤色と緑色との混合色を放射する
とともに、青色光と赤色光と緑色光とをそれぞれ独立し
て受光する複数の受光素子を受光部に設け、さらに赤色
と緑色とに対応した受光素子の出力に基づいて被検査物
の表面の色を識別する色認識部と、色認識部で識別した
色と青色に対応した受光素子での受光光量とを組み合わ
せて被検査物の表面状態の種類を分別判定する判定部と
を設けて成ることを特徴とする銅張配線板の外観検査装
置。 - 【請求項２】第１の光源および第２の光源は線光源であ
って互いに略平行に配設され、被検査物は第１の光源お
よび第２の光源に略直交する方向に移動し、受光部は青
色光と赤色光と緑色光とをそれぞれ独立して受光する複
数の受光素子を第１の光源および第２の光源と略平行な
一直線上に配列したカラーイメージセンサであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の銅張配線板の外
観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62271070A JPH0682103B2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 銅張配線板の外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62271070A JPH0682103B2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 銅張配線板の外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01113639A JPH01113639A (ja) | 1989-05-02 |
| JPH0682103B2 true JPH0682103B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=17494969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62271070A Expired - Lifetime JPH0682103B2 (ja) | 1987-10-27 | 1987-10-27 | 銅張配線板の外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682103B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU8071791A (en) * | 1990-06-22 | 1992-01-23 | Alcan International Limited | Illumination system for high speed surface inspection of rolled aluminum sheet |
| FR2817964B1 (fr) * | 2000-12-11 | 2003-03-14 | Usinor | Dispositif d'inspection automatique de surface d'une bande en defilement |
| JP4826750B2 (ja) | 2005-04-08 | 2011-11-30 | オムロン株式会社 | 欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置 |
| JP4719284B2 (ja) * | 2008-10-10 | 2011-07-06 | トヨタ自動車株式会社 | 表面検査装置 |
| KR101538696B1 (ko) * | 2014-05-23 | 2015-07-29 | 주식회사 포스코 | 열간 슬라브 표면의 면세로 크랙 검출 장치 및 방법 |
| CN113027668A (zh) * | 2021-03-16 | 2021-06-25 | 北京天地玛珂电液控制系统有限公司 | 液压马达 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6238348A (ja) * | 1985-08-14 | 1987-02-19 | Mitsubishi Metal Corp | 光学的表面欠陥検査方法 |
-
1987
- 1987-10-27 JP JP62271070A patent/JPH0682103B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01113639A (ja) | 1989-05-02 |
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