JPH0610255Y2 - Ultrasonic transceiver - Google Patents

Ultrasonic transceiver

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JPH0610255Y2
JPH0610255Y2 JP19179587U JP19179587U JPH0610255Y2 JP H0610255 Y2 JPH0610255 Y2 JP H0610255Y2 JP 19179587 U JP19179587 U JP 19179587U JP 19179587 U JP19179587 U JP 19179587U JP H0610255 Y2 JPH0610255 Y2 JP H0610255Y2
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ultrasonic
fluid
diaphragm
receiver
transmitter
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新三 鈴木
一政 川崎
豊 稲田
繁 西山
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トキコ株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は超音波送受信装置に係り、特に流体の流量等を
超音波を用いて測定する超音波流量計に用いられる超音
波送受信装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic wave transmitter / receiver, and more particularly to an ultrasonic wave transmitter / receiver used in an ultrasonic flow meter for measuring a flow rate of a fluid using ultrasonic waves.

従来の技術 第6図(A),(B)はそれぞれ従来の超音波送受信装
置の送信部1及び受信部2を示す。両図よりわかるよう
に送信部1と受信部2の形状はほとんど同じものと考え
てよい。同図において1a,2aは超音波振動子、1
b,2bは振動板、1c,1dは超音波発振器より超音
波信号が供給される端子であり、2c,2dは受信され
た超音波信号を後段の検出器等へ供給する端子である。
2. Description of the Related Art FIGS. 6 (A) and 6 (B) show a transmitter 1 and a receiver 2 of a conventional ultrasonic transceiver, respectively. As can be seen from both figures, the shapes of the transmitting unit 1 and the receiving unit 2 may be considered to be almost the same. In the figure, 1a and 2a are ultrasonic transducers and 1
Reference numerals b and 2b are diaphragms, 1c and 1d are terminals to which an ultrasonic wave signal is supplied from an ultrasonic oscillator, and 2c and 2d are terminals for supplying a received ultrasonic wave signal to a detector or the like in a subsequent stage.

この送信部1、受信部2よりなる超音波送受信装置は例
えば第7図に示すように流量計に用いられる。同図に示
すように送信部1は管路3の壁面に配設され、又、管路
3の壁面であって送信部1と対向する位置には受信部2
が配設されている。
The ultrasonic transmission / reception device including the transmission unit 1 and the reception unit 2 is used for a flow meter as shown in FIG. 7, for example. As shown in the figure, the transmitting unit 1 is disposed on the wall surface of the pipe line 3, and the receiving unit 2 is provided on the wall surface of the pipe line 3 facing the transmitting unit 1.
Is provided.

第8図は第7図の破線に沿っての断面図であり、上記
流量計の動作を説明するための模式図である。同図にお
いて流体が同図上方から下方へ流れると、管路3の中央
に設けられた渦発生体4の下流には、左右交互に周知の
カルマン渦が発生する。このカルマン渦の発生数は流体
の流速に比例することが知られている。
FIG. 8 is a sectional view taken along the broken line in FIG. 7, and is a schematic diagram for explaining the operation of the flowmeter. When the fluid flows from the upper side to the lower side in the figure, well-known Karman vortices are alternately generated in the left and right downstream of the vortex generator 4 provided in the center of the pipe line 3. It is known that the number of generated Karman vortices is proportional to the flow velocity of the fluid.

超音波信号発生器(図示せず)より端子1c,1dから
送信部へ超音波励振信号が供給されると、超音波振動子
1aが振動し、この振動は振動板1bによって流体中に
送信される。流体中を伝播して受信部2に到達した超音
波は受信部2の振動板 2bを振動させ、超音波振動子
2aに伝え、更に超音波振動子2aはこれを超音波信号
として後段の検出器等(図示せず)へ出力する。
When an ultrasonic excitation signal is supplied from the ultrasonic signal generator (not shown) from the terminals 1c and 1d to the transmitter, the ultrasonic vibrator 1a vibrates, and this vibration is transmitted into the fluid by the diaphragm 1b. It The ultrasonic wave that has propagated through the fluid and has reached the receiving portion 2 vibrates the diaphragm 2b of the receiving portion 2 and transmits it to the ultrasonic transducer 2a, which is further detected as an ultrasonic signal at the subsequent stage. Output to a container or the like (not shown).

超音波が流体中を伝播する途中において上記カルマン渦
と遭遇すると、超音波はその位相に変化を受けることと
なる。従って、この超音波を受信する受信部2の出力超
音波信号から検出器等によりこの位相の変化を検出する
ことによってカルマン渦の発生数を知ることができ、こ
れより流体の流量が求められる。
If the ultrasonic wave encounters the Karman vortex while propagating in the fluid, the ultrasonic wave undergoes a change in its phase. Therefore, the number of generated Karman vortices can be known by detecting the change in the phase with a detector or the like from the output ultrasonic signal of the receiving unit 2 that receives the ultrasonic wave, and the flow rate of the fluid can be obtained from this.

考案が解決しようとする問題点 しかしながら、従来の超音波送受信装置の送信部1、受
信部2の振動板1b,2bは共に平面となっているた
め、振動板1bから流体中へ送信される超音波のうち受
信部2の振動板2bによって反射された波は再び送信部
1に戻り、振動板1bによって送信される超音波と干渉
する。この干渉によってλ/4(λは流体中の超音波の
波長である)ごとに腹と節が繰り返される定在波が生
じ、受信器の位置が腹となるか節となるかによって受信
レベルが大きく異なる。
Problems to be Solved by the Invention However, since the diaphragms 1b and 2b of the transmitting unit 1 and the receiving unit 2 of the conventional ultrasonic transmitter / receiver are both flat, the ultrasonic waves transmitted from the diaphragm 1b into the fluid are extremely large. Among the sound waves, the wave reflected by the diaphragm 2b of the receiver 2 returns to the transmitter 1 again and interferes with the ultrasonic wave transmitted by the diaphragm 1b. This interference causes a standing wave in which the antinode and the node are repeated every λ / 4 (λ is the wavelength of the ultrasonic wave in the fluid), and the reception level depends on whether the position of the receiver is the antinode or the node. to differ greatly.

第9図は直径50ミリメートル(mm)の管路中に1メガ
ヘルツ(MHz)近傍で周波数掃引した超音波を受信し
た場合の各周波数ごとの受信レベルの周波数スペクトル
を示しており、約14KHz毎に現われるピークの部分は
送信波と反射波とが互いに強め合い(腹の部分)、ピー
クとピークの間の谷の部分は互いに弱め合っている(節
の部分)ことを表わしている。
FIG. 9 shows the frequency spectrum of the reception level for each frequency when ultrasonic waves swept in the vicinity of 1 megahertz (MHz) are received in a pipe with a diameter of 50 millimeters (mm), and about every 14 KHz. The appearing peak portion indicates that the transmitted wave and the reflected wave strengthen each other (antinode portion), and the valley portion between the peaks weakens each other (node portion).

温度が変化すると流体中の音速(流体中の超音波の波
長)が変化することとなるため、一定距離の区間を反射
する超音波の受信レベルは、温度が変化した場合にも第
9図に示すような周波数が変化した場合と同様の変化を
示す。
Since the sound velocity in the fluid (wavelength of the ultrasonic wave in the fluid) changes when the temperature changes, the reception level of the ultrasonic wave reflected in a certain distance section is shown in FIG. 9 even when the temperature changes. It shows the same change as when the frequency changes as shown.

流体中のカルマン渦の発生、あるいはその他の物理現象
を検出するという観点から見ると、ピークの位置では充
分な超音波の受信レベルがあるが、ピークとピークの間
の谷の部分では計測に必要な受信レベルに達しない。温
度等周囲の条件が変化すると流体中の音速が変化し、こ
のため第6図の従来装置では同一の周波数であっても送
信波と受信波とが互いに強め合う最初の状態から、互い
に弱め合う状態へと変化するため、受信レベルが計測に
必要なレベル以下となってしまい、計測ができなくなる
という問題点があった。
From the point of view of detecting Karman vortices or other physical phenomena in the fluid, there is sufficient ultrasonic wave reception level at the peak position, but it is necessary for measurement at the valley between the peaks. The reception level is not reached. When ambient conditions such as temperature change, the speed of sound in the fluid changes. Therefore, in the conventional device of FIG. 6, even if the same frequency is used, the transmitted wave and the received wave weaken each other from the initial state in which they strengthen each other. Since the state changes, the reception level becomes lower than the level required for measurement, and there is a problem that measurement cannot be performed.

本考案は上記の点に鑑みてなされたものであり、温度変
化等によっても良好に種々の計測に用いることのできる
超音波送受信装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic transmitter / receiver device which can be favorably used for various measurements even when temperature changes or the like.

問題点を解決するための手段 本考案は、流体が通過する管路の壁面に該流体を介して
相対向して設けられ、振動子に当接する第1の振動板を
振動させることにより該流体中に超音波を送信する超音
波送信器と、該流体中を伝播した超音波に第2の振動板
が振動させられることにより該第2の振動板に当接する
振動子が該超音波を受信する超音波受信器とからなる超
音波送受信装置において、 前記第1及び第2の振動板の少なくとも一方の表面形状
のみを曲面又は曲面を含む形状としてなる。
Means for Solving the Problems The present invention is directed to vibrating first vibrating plates, which are provided on the wall surface of a conduit through which a fluid passes and are opposed to each other with the fluid interposed therebetween, and vibrate the fluid. An ultrasonic wave transmitter that transmits an ultrasonic wave inside, and an ultrasonic wave that propagates in the fluid causes a second diaphragm to vibrate, and a vibrator that is in contact with the second diaphragm receives the ultrasonic wave. In the ultrasonic transmitting / receiving device including the ultrasonic receiver, at least one surface shape of the first and second diaphragms is a curved surface or a shape including a curved surface.

作用 送信部の第1の振動板より流体中に送信される超音波
は、曲面上の各点の法線方向に送出される。これらの送
信波は流体中を略直進して受信部に達すると、その一部
は曲面を有する第2の振動板によって反射される。この
場合の反射角はそのほとんどがある有限の角度となるた
め、ここで反射された超音波のほとんどは流体中に拡散
され、僅かな超音波だけが送信部へ戻ることとなる。
The ultrasonic waves transmitted into the fluid from the first vibrating plate of the action transmitting unit are transmitted in the normal direction of each point on the curved surface. When these transmitted waves travel substantially straight in the fluid and reach the receiver, a part of them is reflected by the second diaphragm having a curved surface. Since the reflection angle in this case is almost a finite angle, most of the ultrasonic wave reflected here is diffused in the fluid, and only a small amount of ultrasonic wave returns to the transmitter.

受信部で反射されて送信部へ戻された超音波の第1の振
動板による反射も、上記第2の振動板による反射と同様
に曲面上での反射であるため、ここで反射された超音波
の大部分は流体中に拡散して伝播することとなり、送信
部より直接送信されて受信部に到達する超音波とはほと
んど干渉することはない。
Since the ultrasonic wave reflected by the receiving unit and returned to the transmitting unit is also reflected by the first diaphragm on the curved surface like the reflection by the second diaphragm, the ultrasonic wave reflected here is reflected. Most of the sound waves are diffused and propagated in the fluid and hardly interfere with the ultrasonic waves that are directly transmitted from the transmission unit and reach the reception unit.

又、超音波送信器及び超音波受信器の振動子を加工する
ものではなく、第1の振動板及び第2の振動板の少なく
とも一方の表面形状のみが曲面となるようにするため、
加工が容易に行えるばかりか、計測される流体の特性に
応じた振動子に変更する際に振動板をそのまま使用する
こともできるので、振動子の変更にも容易に対応するこ
とができる。
Also, in order to make only the surface shape of at least one of the first diaphragm and the second diaphragm a curved surface, instead of processing the vibrator of the ultrasonic transmitter and the ultrasonic receiver,
Not only can processing be performed easily, but since the diaphragm can be used as it is when changing to a vibrator according to the characteristics of the fluid to be measured, it is possible to easily cope with changes in the vibrator.

実施例 第1図(A),(B)は、夫々本考案の第1実施例の超
音波送受信装置の送信部5及び受信部6の断面図を示
す。同図において第6図と同一構成部分には同一符号を
付し、その説明を省略する。
First Embodiment FIGS. 1 (A) and 1 (B) are cross-sectional views of a transmitter 5 and a receiver 6 of an ultrasonic transceiver according to the first embodiment of the present invention. In the figure, the same components as those in FIG. 6 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

本実施例の送信部5、受信部6は、その振動板5a,6
aの表面形状のみが共に球面状をしている点が第6図の
従来の超音波送受信装置と異なる。本実施例では超音波
送受信装置が第7図のような管路3に従来と同様に取り
付けられ、流体の流量計に適用された場合の例を示す。
The transmitting unit 5 and the receiving unit 6 of this embodiment have the diaphragms 5a and 6a.
This is different from the conventional ultrasonic transmitter / receiver of FIG. 6 in that only the surface shape of a is spherical. In this embodiment, an ultrasonic transmitter / receiver device is attached to the conduit 3 as shown in FIG. 7 as in the conventional case, and is applied to a fluid flow meter.

送信部5の振動板5aより流体中に送信される超音波の
進行方向は、超音波が送信される球面上の各点の略法線
方向となる。このため、これらの送信波のうち受信部6
に到達する超音波は幾分減少するが、流量の計測等には
支障がない程度である。
The traveling direction of the ultrasonic wave transmitted into the fluid from the diaphragm 5a of the transmitter 5 is substantially the normal direction of each point on the spherical surface where the ultrasonic wave is transmitted. Therefore, of these transmitted waves, the receiving unit 6
The amount of ultrasonic waves reaching the position will be somewhat reduced, but it will not hinder the measurement of the flow rate.

流体中を伝播してカルマン渦によって位相に変化を受
け、受信部6に達した超音波は振動板6aを振動させる
ことによって受信されカルマン渦の発生数を検出するこ
とにより流体の流量が計測されるが、その一部は反射波
となって再び流体中を伝播する。第2図は受信部6の振
動板6aによって反射される超音波の様子を模式的に示
したものであり、球面状の先端部rで反射される超音波
以外の超音波は夫々有限の反射角を以って反射される。
このため振動板6aによって反射される超音波の大部分
は流体中に拡散され、反射波のうち送信部5に再び戻る
ものは僅かである。
The ultrasonic waves that have propagated through the fluid and undergo a phase change due to the Karman vortices and have reached the receiver 6 are received by vibrating the vibrating plate 6a, and the flow rate of the fluid is measured by detecting the number of Karman vortices generated. However, a part of it becomes a reflected wave and propagates again in the fluid. FIG. 2 schematically shows a state of ultrasonic waves reflected by the diaphragm 6a of the receiving unit 6, and ultrasonic waves other than the ultrasonic waves reflected by the spherical tip portion r are finite reflections. Reflected at the corners.
Therefore, most of the ultrasonic waves reflected by the vibrating plate 6a are diffused in the fluid, and few of the reflected waves return to the transmission unit 5 again.

送信部5に到達した反射波が振動板5aによって更に反
射される場合にも、第2図の場合と同様にその大部分は
有限な反射角を有することから、これらのうちで直接送
信部5から送信される超音波と干渉するものは極く僅か
となる。
Even when the reflected wave reaching the transmitting unit 5 is further reflected by the diaphragm 5a, most of them have a finite reflection angle as in the case of FIG. Very few interfere with the ultrasonic waves transmitted from.

この結果、第3図に受信部6により受信レベルの周波数
スペクトルを示すように、第9図のような多数のピーク
が現われるということはなく、中心周波数(ここでは1
MHz)前後の比較的広い範囲に亘ってかなりの受信レ
ベルが得られることとなる。このことは、流体の温度が
変化した場合にもこの受信レベルが大きく変化しないこ
とを意味し、温度等その他の外的条件の変化に対しても
良好に流量計測が行なえることとなる。
As a result, as shown in the frequency spectrum of the reception level by the receiving unit 6 in FIG. 3, a large number of peaks as in FIG. 9 do not appear, and the center frequency (here, 1
A considerable reception level can be obtained over a relatively wide range around (MHz). This means that the reception level does not change significantly even when the temperature of the fluid changes, and the flow rate can be measured well even when the external conditions such as temperature change.

又、本考案では、送信部5及び受信部6の振動子1a,
2aを加工するものではなく、振動板5a,6aの表面
形状のみが曲面となるようにするため、加工が容易に行
えるばかりか、計測される流体の特性に応じた振動子1
a,2aに変更する際に振動板5a,6aをそのまま使
用することもできるので、振動子1a,2aの変更にも
容易に対応することができる。
Further, in the present invention, the transducers 1a of the transmitter 5 and the receiver 6 are
2a is not processed, and only the surface shapes of the vibration plates 5a and 6a are curved, so that the processing can be performed easily and the vibrator 1 according to the characteristics of the fluid to be measured is used.
Since the vibrating plates 5a and 6a can be used as they are when changing to a or 2a, it is possible to easily deal with changing the vibrators 1a and 2a.

第4図は本考案の第2実施例の断面図を示す。同図にお
いて第1図と同一構成部分には同一符号を付し、その説
明を省略する。同図に示す送信部7の振動板7aは円す
い台形状をしている例である。受信部についての図示は
省略するが受信部の振動板についても同様の形状であ
る。
FIG. 4 shows a sectional view of a second embodiment of the present invention. In the figure, the same components as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. The diaphragm 7a of the transmitter 7 shown in the figure is an example of a truncated cone shape. Although illustration of the receiver is omitted, the diaphragm of the receiver has the same shape.

第5図は本考案の第3実施例の断面図を示す。同図にお
いて第1図と同一構成部分には同一符号を付し、その説
明を省略する。同図に示す送信部8の振動板8aは、円
すい形をしている点が第1実施例及び第2実施例と異な
っている。受信部については同形状であるため図示は省
略する。
FIG. 5 shows a sectional view of a third embodiment of the present invention. In the figure, the same components as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. The diaphragm 8a of the transmitter 8 shown in the figure is different from the first and second embodiments in that it has a conical shape. The receiving unit has the same shape, and therefore the illustration is omitted.

第4図,第5図に示すような振動板7a,8aを用いる
ことによっても第1図に示した形状の振動板5a,6a
を有する超音波送受信装置と同様の効果を奏することが
できる。
By using the diaphragms 7a and 8a as shown in FIGS. 4 and 5, the diaphragms 5a and 6a having the shapes shown in FIG.
It is possible to achieve the same effect as the ultrasonic transmitting / receiving device having the above.

又、上記実施例では超音波送受信装置をカルマン渦の発
生数を検出して流体の流量を計測する場合に適用した例
を示したが、この場合以外にも、流体中における超音波
の伝達特性の変化を検出することにより計測を行う種々
の場合にも適用できることは言うまでもない。
In the above embodiment, the ultrasonic transmitter / receiver is applied to detect the number of Karman vortices generated and to measure the flow rate of the fluid. However, in addition to this case, the transmission characteristics of the ultrasonic waves in the fluid are also shown. Needless to say, it can be applied to various cases in which measurement is performed by detecting a change in

考案の効果 上述の如く、本考案よれば、超音波送受信装置の送信部
及び受信部における第1及び第2の振動板のうち少なく
とも一方の表面形状のみを曲面又は曲面を含む形状とす
るという比較的簡単な方法により、送信波と反射波との
干渉を防止することができ、温度等の外的条件の変化に
対しても受信レベルが大きく変化することはなく、この
超音波送受信装置を流量計等に適用した場合には常に良
好な計測が可能となる。又、超音波送信器及び超音波受
信器の振動子を加工するものではなく、第1の振動板及
び第2の振動板の少なくとも一方の表面形状のみが曲面
となるようにするため、加工が容易に行えるばかりか、
計測される流体の特性に応じた振動子に変更する際に振
動板をそのまま使用することもできるので、振動子の変
更にも容易に対応することができる等の特長を有する。
Advantageous Effect of the Invention As described above, according to the present invention, only the surface shape of at least one of the first and second diaphragms in the transmitter and the receiver of the ultrasonic transmitter / receiver has a curved surface or a shape including a curved surface. By using a simple method, it is possible to prevent the interference between the transmitted wave and the reflected wave, and the reception level does not change significantly even if external conditions such as temperature change. When applied to meters, etc., good measurement is always possible. Further, the vibrators of the ultrasonic transmitter and the ultrasonic receiver are not processed, but the processing is performed so that only the surface shape of at least one of the first diaphragm and the second diaphragm is a curved surface. Not only can it be done easily,
Since the diaphragm can be used as it is when changing to a vibrator according to the characteristics of the fluid to be measured, it has a feature that it can easily cope with changes in the vibrator.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本考案の一実施例の断面図、第2図は超音波の
反射の様子を示す模式図、第3図は本実施例の受信レベ
ルの周波数スペクトルを示す図、第4図,第5図は夫々
本考案の第2及び第3実施例の断面図、第6図は従来装
置の断面図、第7図及び第8図は従来装置を流量計に適
用した場合の説明図、第9図は従来装置の受信レベルの
周波数スペクトルを示す図である。 5,7,8……送信部、5a,6a,7a,8a……振
動板、6……受信部。
FIG. 1 is a cross-sectional view of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic view showing how ultrasonic waves are reflected, and FIG. 3 is a view showing a frequency spectrum of a reception level of this embodiment, FIG. FIG. 5 is a sectional view of the second and third embodiments of the present invention, FIG. 6 is a sectional view of a conventional device, and FIGS. 7 and 8 are explanatory diagrams when the conventional device is applied to a flow meter. FIG. 9 is a diagram showing the frequency spectrum of the reception level of the conventional device. 5, 7, 8 ... Transmitter, 5a, 6a, 7a, 8a ... Diaphragm, 6 ... Receiver.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−13873(JP,A) 特開 昭57−149918(JP,A) 特開 昭54−10719(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-55-13873 (JP, A) JP-A-57-149918 (JP, A) JP-A-54-10719 (JP, A)

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】流体が通過する管路の壁面に該流体を介し
て相対向して設けられ、振動子に当接する第1の振動板
を振動させることにより該流体中に超音波を送信する超
音波送信器と、該流体中を伝播した超音波に第2の振動
板が振動させられることにより該第2の振動板に当接す
る振動子が該超音波を受信する超音波受信器とからなる
超音波送受信装置において、 前記第1及び第2の振動板の少なくとも一方の表面形状
のみを曲面又は曲面を含む形状とした超音波送受信装
置。
1. An ultrasonic wave is transmitted into a fluid passage by vibrating first vibrating plates which are provided opposite to each other on the wall surface of the fluid passage through the fluid and are in contact with the vibrator. From an ultrasonic transmitter and an ultrasonic receiver in which a vibrator contacting the second diaphragm receives the ultrasonic wave by vibrating the second diaphragm by the ultrasonic waves propagating in the fluid. The ultrasonic transmission / reception device according to claim 1, wherein at least one surface shape of the first and second diaphragms is a curved surface or a shape including a curved surface.
【請求項2】前記第1及び第2の振動板のうち少なくと
も一方の表面形状は、球面の一部である実用新案登録請
求の範囲第1項記載の超音波送受信装置。
2. The ultrasonic transceiver according to claim 1, wherein the surface shape of at least one of the first and second diaphragms is a part of a spherical surface.
【請求項3】前記第1及び第2の振動板のうち少なくと
も一方の表面形状は、円すい形である実用新案登録請求
の範囲第1項記載の超音波送受信装置。
3. The ultrasonic transceiver according to claim 1, wherein at least one of the first and second diaphragms has a conical surface shape.
【請求項4】前記第1及び第2の振動板のうち少なくと
も一方の表面形状は、円すい台形である実用新案登録請
求の範囲第1項記載の超音波送受信装置。
4. The ultrasonic transceiver according to claim 1, wherein at least one of the first and second diaphragms has a conical trapezoidal surface shape.
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