JPH05232307A - 回折格子の作製方法 - Google Patents
回折格子の作製方法Info
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- JPH05232307A JPH05232307A JP4030796A JP3079692A JPH05232307A JP H05232307 A JPH05232307 A JP H05232307A JP 4030796 A JP4030796 A JP 4030796A JP 3079692 A JP3079692 A JP 3079692A JP H05232307 A JPH05232307 A JP H05232307A
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- diffraction grating
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- grating pattern
- pattern
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 非常に薄いと共に極めて軽い回折格子７を比
較的安価に作製することを目的とする。 【構成】 回折格子パターン７ａに対応するパターン７
ｂを有するスタンパー６０を形成し、このスタンパー６
０により樹脂基板６１にこの回折格子パターン７ａを転
写し、この樹脂基板６１の転写された回折格子パターン
７ａ上に反射率の高い金属例えばＡｌ，Ａｕを蒸着し、
その後この樹脂基板６１の蒸着された金属膜６２側を接
着材６３を介して被計測物６４例えばヘッドアーム５に
接着し、この接着材６３が硬化後この被計測物６４よ
り、この樹脂基板６１のみを剥離し、この被計測物６４
にこの金属膜６２の回折格子パターン７ａを作製するよ
うにしたものである。
較的安価に作製することを目的とする。 【構成】 回折格子パターン７ａに対応するパターン７
ｂを有するスタンパー６０を形成し、このスタンパー６
０により樹脂基板６１にこの回折格子パターン７ａを転
写し、この樹脂基板６１の転写された回折格子パターン
７ａ上に反射率の高い金属例えばＡｌ，Ａｕを蒸着し、
その後この樹脂基板６１の蒸着された金属膜６２側を接
着材６３を介して被計測物６４例えばヘッドアーム５に
接着し、この接着材６３が硬化後この被計測物６４よ
り、この樹脂基板６１のみを剥離し、この被計測物６４
にこの金属膜６２の回折格子パターン７ａを作製するよ
うにしたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えばハードディスクド
ライブ（ＨＤＤ）のサーボトラックライターにおけるヘ
ッドの位置決め用として使用して好適な回折格子の作製
方法に関する。
ライブ（ＨＤＤ）のサーボトラックライターにおけるヘ
ッドの位置決め用として使用して好適な回折格子の作製
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来回折格子を測定基準として被測定物
に取り付ける場合、例えばフォトリソグラフィーでガラ
ス基板上に作製した回折格子をこの被測定物に接着する
如くなされていた。
に取り付ける場合、例えばフォトリソグラフィーでガラ
ス基板上に作製した回折格子をこの被測定物に接着する
如くなされていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】然しながら被測定物が
例えば図３、図４に示す如きハードディスクドライブ
（ＨＤＤ）のヘッドが取り付いているアームであるとき
のように、この被測定物が軽量でサーボ等を用いて制御
している場合には、測定用の回折格子を取り付けること
によってアームの質量が変わり測定系全体に影響を与え
てしまい測定を正確に行うことが出来なくなる不都合が
あった。
例えば図３、図４に示す如きハードディスクドライブ
（ＨＤＤ）のヘッドが取り付いているアームであるとき
のように、この被測定物が軽量でサーボ等を用いて制御
している場合には、測定用の回折格子を取り付けること
によってアームの質量が変わり測定系全体に影響を与え
てしまい測定を正確に行うことが出来なくなる不都合が
あった。
【０００４】ここで図３、図４につき説明するに図３お
よび図４において、ハードディスクドライブのケーシン
グ１内には、ディスク３とヘッドアーム５とが内蔵さ
れ、ヘッド５Ａが設けられたヘッドアーム５はボイスコ
イルモータ５０で動作される一方、ディスク３は、モー
タ４０で回転動作される。
よび図４において、ハードディスクドライブのケーシン
グ１内には、ディスク３とヘッドアーム５とが内蔵さ
れ、ヘッド５Ａが設けられたヘッドアーム５はボイスコ
イルモータ５０で動作される一方、ディスク３は、モー
タ４０で回転動作される。
【０００５】そして、ヘッドアーム５には、回折格子７
が取り付けられるとともに、ケーシング１には開口部１
ａが形成されており、開口部１ａは、アクリル、ガラス
等の光透過性材料２により閉塞されて、ケーシング１内
の気密性が維持されるように構成されている。
が取り付けられるとともに、ケーシング１には開口部１
ａが形成されており、開口部１ａは、アクリル、ガラス
等の光透過性材料２により閉塞されて、ケーシング１内
の気密性が維持されるように構成されている。
【０００６】一方、ケーシング１の外部に設けられた光
干渉型の光学系１０には、レーザ光等が出射される光源
１０Ａと、この光源１０Ａの光が反射されるミラー１０
Ｂと、このミラー１０Ｂで反射された光が入射されるＢ
Ｓ（ビームスプリッタ）１０Ｃと、このＢＳ１０Ｃから
回折格子７に照射されて回折された光が反射されて、再
び回折格子７に照射される２つのミラー１０Ｅ、１０Ｄ
と、２度回折された光が互いに重なり合って干渉した干
渉光がＢＳ１０Ｃで分離されてから入射される光検出器
（ディテクタ）１０Ｆとを有している。
干渉型の光学系１０には、レーザ光等が出射される光源
１０Ａと、この光源１０Ａの光が反射されるミラー１０
Ｂと、このミラー１０Ｂで反射された光が入射されるＢ
Ｓ（ビームスプリッタ）１０Ｃと、このＢＳ１０Ｃから
回折格子７に照射されて回折された光が反射されて、再
び回折格子７に照射される２つのミラー１０Ｅ、１０Ｄ
と、２度回折された光が互いに重なり合って干渉した干
渉光がＢＳ１０Ｃで分離されてから入射される光検出器
（ディテクタ）１０Ｆとを有している。
【０００７】この場合、ヘッドアーム５が動くと、回折
格子７も一体的に動き、回折光の位相が変化するので、
干渉光の光強度が正弦波的に変化するため、それを計数
することにより、ヘッド５Ａの位置が検出される。
格子７も一体的に動き、回折光の位相が変化するので、
干渉光の光強度が正弦波的に変化するため、それを計数
することにより、ヘッド５Ａの位置が検出される。
【０００８】その検出信号が、サーボ信号ライタ３０、
コントローラ２０に各々取り込まれ、コントローラ２０
によりボイスコイルモータ５０が動作制御されるととも
に、サーボ信号ライタ３０によりモータ４０が動作制御
され、サーボ信号がヘッド５Ａからディスク３に書き込
まれる（サーボ信号書込手段）。
コントローラ２０に各々取り込まれ、コントローラ２０
によりボイスコイルモータ５０が動作制御されるととも
に、サーボ信号ライタ３０によりモータ４０が動作制御
され、サーボ信号がヘッド５Ａからディスク３に書き込
まれる（サーボ信号書込手段）。
【０００９】以上説明したように、この例では、ヘッド
アーム５に回折格子７が設けれ、その回折格子７で回折
された回折光が、ケーシング１外部の光学系１０に導出
される。
アーム５に回折格子７が設けれ、その回折格子７で回折
された回折光が、ケーシング１外部の光学系１０に導出
される。
【００１０】また、上述の如くフォトリソグラフィーで
回折格子を作製したときには１枚当りの価格が比較的高
く、上述のハードディスクドライブのサーボ信号ライタ
３０に使用する回折格子７のようにこのヘッドアーム５
上に取り付けた回折格子７をサーボ信号の書き込みで１
度だけ使用すれば、その後は使用しないというような用
途に使用することは不都合であった。
回折格子を作製したときには１枚当りの価格が比較的高
く、上述のハードディスクドライブのサーボ信号ライタ
３０に使用する回折格子７のようにこのヘッドアーム５
上に取り付けた回折格子７をサーボ信号の書き込みで１
度だけ使用すれば、その後は使用しないというような用
途に使用することは不都合であった。
【００１１】本発明は斯る点に鑑みきわめて軽量且つ薄
い回折格子を比較的安価に作製できるようにすることを
目的とする。
い回折格子を比較的安価に作製できるようにすることを
目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明回折格子の作製方
法は例えば図１、図２に示す如く、回折格子パターン７
ａに対応するパターン７ｂを有するスタンパー６０を形
成し、このスタンパー６０により樹脂基板６１にこの回
折格子パターン７ａを転写し、この樹脂基板６１の転写
された回折格子パターン７ａ上に反射率の高い金属例え
ばＡｌ，Ａｕを蒸着し、その後この樹脂基板６１の蒸着
された金属膜６２側を接着材６３を介して被計測物６４
例えばヘッドアーム５に接着し、この接着材６３が硬化
後この被計測物６４より、この樹脂基板６１のみを剥離
し、この被計測物６４にこの金属膜６２の回折格子パタ
ーン７ａを作製するようにしたものである。
法は例えば図１、図２に示す如く、回折格子パターン７
ａに対応するパターン７ｂを有するスタンパー６０を形
成し、このスタンパー６０により樹脂基板６１にこの回
折格子パターン７ａを転写し、この樹脂基板６１の転写
された回折格子パターン７ａ上に反射率の高い金属例え
ばＡｌ，Ａｕを蒸着し、その後この樹脂基板６１の蒸着
された金属膜６２側を接着材６３を介して被計測物６４
例えばヘッドアーム５に接着し、この接着材６３が硬化
後この被計測物６４より、この樹脂基板６１のみを剥離
し、この被計測物６４にこの金属膜６２の回折格子パタ
ーン７ａを作製するようにしたものである。
【００１３】
【作用】本発明によれば蒸着された金属膜６２の回折格
子パターン７ａを被計測物６４に接着材６３を介して接
着して回折格子７を得ているので、その厚さが極めて薄
くできると共に極めて軽量の回折格子７を得ることがで
き、また１度スタンパー６０を作製してしまえばこの回
折格子７の大量生産が容易にできる。
子パターン７ａを被計測物６４に接着材６３を介して接
着して回折格子７を得ているので、その厚さが極めて薄
くできると共に極めて軽量の回折格子７を得ることがで
き、また１度スタンパー６０を作製してしまえばこの回
折格子７の大量生産が容易にできる。
【００１４】
【実施例】以下図１、図２を参照して本発明回折格子の
作製方法につき説明しよう。本例においては、先ず図１
Ａに示す如くガラス基板７０を用意し、このガラス基板
７０上に図１Ｂに示す如くフォトレジスト膜７１を塗布
し、その後、このフォトレジスト膜７１に対し、記録用
レーザー等により回折格子パターン７ａの露光を行な
い、これを現像処理上、図１Ｃに示す如く、このフォト
レジスト膜７１による凹凸の回折格子パターン７ａを得
る。
作製方法につき説明しよう。本例においては、先ず図１
Ａに示す如くガラス基板７０を用意し、このガラス基板
７０上に図１Ｂに示す如くフォトレジスト膜７１を塗布
し、その後、このフォトレジスト膜７１に対し、記録用
レーザー等により回折格子パターン７ａの露光を行な
い、これを現像処理上、図１Ｃに示す如く、このフォト
レジスト膜７１による凹凸の回折格子パターン７ａを得
る。
【００１５】この図１Ｃに示す凹凸の回折格子パターン
７ａ上に薄くニッケルメッキを施すと共に図１Ｄに示す
如くニッケル７２の電気鋳造を施す。その後、図１Ｅに
示す如く、このニッケル７２部とフォトレジスト膜７１
により回折格子パターン７ａが形成されたガラス基板７
０とを剥離し、図１Ｆに示す如く回折格子パターン７ａ
に対応する例えば０．１μｍの凹凸のパターン７ｂを有
するニッケルスタンパー６０を得る。
７ａ上に薄くニッケルメッキを施すと共に図１Ｄに示す
如くニッケル７２の電気鋳造を施す。その後、図１Ｅに
示す如く、このニッケル７２部とフォトレジスト膜７１
により回折格子パターン７ａが形成されたガラス基板７
０とを剥離し、図１Ｆに示す如く回折格子パターン７ａ
に対応する例えば０．１μｍの凹凸のパターン７ｂを有
するニッケルスタンパー６０を得る。
【００１６】この図１Ｆに示す如きニッケルスタンパー
６０を使用し、射出成形等により図１Ｇに示す如くアク
リル、ポリカーボネート、塩化ビニール等の合成樹脂に
転写して、回折格子パターン７ａを有する樹脂基板６１
を形成する。次にこの樹脂基板６１の回折格子パターン
７ａ上に図１Ｈに示す如く、アルミニュームＡｌ、金Ａ
ｕ等の反射率の高い金属を蒸着して例えば０．１μｍ厚
の金属膜、本例ではアルミニューム膜６２を被着し、そ
の後図１Ｉに示す如くこの金属膜６２上に例えば０．１
〜０．２μｍ厚の合成樹脂の薄膜６５を被着する。
６０を使用し、射出成形等により図１Ｇに示す如くアク
リル、ポリカーボネート、塩化ビニール等の合成樹脂に
転写して、回折格子パターン７ａを有する樹脂基板６１
を形成する。次にこの樹脂基板６１の回折格子パターン
７ａ上に図１Ｈに示す如く、アルミニュームＡｌ、金Ａ
ｕ等の反射率の高い金属を蒸着して例えば０．１μｍ厚
の金属膜、本例ではアルミニューム膜６２を被着し、そ
の後図１Ｉに示す如くこの金属膜６２上に例えば０．１
〜０．２μｍ厚の合成樹脂の薄膜６５を被着する。
【００１７】本例においてはこの図１Ｉに示す如く樹脂
基板６１の回折格子パターン７ａ上に金属膜６２が被着
され、その上に薄膜６５が被着された基板の薄膜６５側
を図２Ａに示す如く例えばエポキシ系接着材６３を介し
て被計測物６４（例えば、図３、図４に示す如きハード
ディスクドライブのヘッドアーム５の所定位置）に接着
する。この接着材６３が硬化後（例えば８０℃１．５時
間）、樹脂基板６１を剥離する。
基板６１の回折格子パターン７ａ上に金属膜６２が被着
され、その上に薄膜６５が被着された基板の薄膜６５側
を図２Ａに示す如く例えばエポキシ系接着材６３を介し
て被計測物６４（例えば、図３、図４に示す如きハード
ディスクドライブのヘッドアーム５の所定位置）に接着
する。この接着材６３が硬化後（例えば８０℃１．５時
間）、樹脂基板６１を剥離する。
【００１８】この場合被計測物６４（例えば図３、図４
に示す如きハードディスクドライブのヘッドアーム５の
所定位置）に金属膜６２の回折格子パターン７ａが固着
した回折格子を得ることができる。
に示す如きハードディスクドライブのヘッドアーム５の
所定位置）に金属膜６２の回折格子パターン７ａが固着
した回折格子を得ることができる。
【００１９】本例は上述の如くスタンパー６０を使用し
て回折格子７を作製しているので１度このスタンパー６
０を作製したときはこの回折格子７の大量生産ができ、
それだけ価格を安価できる利益がある。また本例による
回折格子７は接着材６３薄膜６５及び金属膜６２より成
るので非常に薄いと共に極めて軽い利益がある。
て回折格子７を作製しているので１度このスタンパー６
０を作製したときはこの回折格子７の大量生産ができ、
それだけ価格を安価できる利益がある。また本例による
回折格子７は接着材６３薄膜６５及び金属膜６２より成
るので非常に薄いと共に極めて軽い利益がある。
【００２０】本例より回折格子７をハードディスクドラ
イブのヘッドアーム５に設けたときには、非常に薄いの
でスペースを採る不都合がないと共に極めて軽いので、
ヘッド５Ａに余分な負荷が加わる等の不都合がなく、サ
ーボ信号記録時に記録精度が極めて高精度となると共に
記録速度がより早くなり、またこの記録時と使用時とで
ヘッド５Ａの条件が変わることがない利益がある。尚上
述実施例においては金属膜６２上に合成樹脂の薄膜６５
を設けたが、この薄膜６５を設けることなく、この金属
膜６２を接着材６３により被計測物６４に接着するよう
にしても良いことは勿論である。また本発明は上述実施
例に限ることなく本発明の要旨を逸脱することなく、そ
の他種々の構成が採り得ることは勿論である。
イブのヘッドアーム５に設けたときには、非常に薄いの
でスペースを採る不都合がないと共に極めて軽いので、
ヘッド５Ａに余分な負荷が加わる等の不都合がなく、サ
ーボ信号記録時に記録精度が極めて高精度となると共に
記録速度がより早くなり、またこの記録時と使用時とで
ヘッド５Ａの条件が変わることがない利益がある。尚上
述実施例においては金属膜６２上に合成樹脂の薄膜６５
を設けたが、この薄膜６５を設けることなく、この金属
膜６２を接着材６３により被計測物６４に接着するよう
にしても良いことは勿論である。また本発明は上述実施
例に限ることなく本発明の要旨を逸脱することなく、そ
の他種々の構成が採り得ることは勿論である。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば非常に薄いと共に極めて
軽い回折格子を比較的安価に作製できる利益がある。
軽い回折格子を比較的安価に作製できる利益がある。
【図１】本発明回折格子の作製方法の一実施例を示す工
程図である。
程図である。
【図２】本発明回折格子の作製方法の一実施例を示す工
程図である。
程図である。
【図３】ハードディスクドライブの例を示す構成図であ
る。
る。
【図４】図３の説明に供する構成図である。
７ 回折格子 ７ａ 回折格子パターン ６０ スタンパー ６１ 樹脂基板 ６２ 金属膜 ６３ 接着材 ６４ 被計測物 ６５ 薄膜
Claims (1)
- 【請求項１】 回折格子パターンに対応するパターンを
有するスタンパーを形成し、 該スタンパーにより樹脂基板に上記回折格子パターンを
転写し、 該樹脂基板の転写された回折格子パターン上に反射率の
高い金属を蒸着し、その後上記樹脂基板の蒸着された金
属膜側を接着材を介して被計測物に接着し、 該接着材が硬化後上記被計測物より上記樹脂基板のみを
剥離し、 上記被計測物に上記金属膜の回折格子パターンを作製す
るようにしたことを特徴とする回折格子の作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4030796A JPH05232307A (ja) | 1992-02-18 | 1992-02-18 | 回折格子の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4030796A JPH05232307A (ja) | 1992-02-18 | 1992-02-18 | 回折格子の作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05232307A true JPH05232307A (ja) | 1993-09-10 |
Family
ID=12313649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4030796A Pending JPH05232307A (ja) | 1992-02-18 | 1992-02-18 | 回折格子の作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05232307A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6806202B2 (en) | 2002-12-03 | 2004-10-19 | Motorola, Inc. | Method of removing silicon oxide from a surface of a substrate |
| US20120003348A1 (en) * | 2010-07-02 | 2012-01-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Nano-imprint mold |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5314132A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-08 | Nat Res Inst Metals | Method of obtaining metallic surface having unevenness |
| JPS5965810A (ja) * | 1982-10-08 | 1984-04-14 | Hitachi Ltd | 回折格子の製作方法 |
| JPS61140816A (ja) * | 1984-12-14 | 1986-06-27 | Honda Motor Co Ltd | 曲面測定方法 |
| JPS644703A (en) * | 1987-06-27 | 1989-01-09 | Shimadzu Corp | Diffraction grating and its production |
| JPH01303406A (ja) * | 1988-06-01 | 1989-12-07 | Hitachi Ltd | 回折格子の複製方法 |
| JPH0285715A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-27 | Canon Inc | エンコーダー |
| JPH02254217A (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リモコン装置 |
| JPH03202330A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-09-04 | Sharp Corp | マイクロレンズの製造方法 |
-
1992
- 1992-02-18 JP JP4030796A patent/JPH05232307A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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