JPH049240A - Method for cutting fine metallic wire - Google Patents
Method for cutting fine metallic wireInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ICチップの電極とTABテープのリード等
との間の接合に使用されるハンプを作るために、ハンプ
の素材となる金rX線を、一定の長さに切断するための
方法に関する。Detailed Description of the Invention [Industrial Field of Application] The present invention uses gold r This invention relates to a method for cutting a wire into a certain length.
ICチップの電極と外部リードとの接続には多様な方法
が採用されている。Various methods are used to connect the electrodes of the IC chip and external leads.
配線用の極細ワイヤー(ボンディングワイヤー)を用い
て接続する方法もあるが、チップの電極とリードとの間
にハンプと呼ばれる金属突起を挟んで熱圧着する方法も
広く行われるようになっている。There is a method of connecting using ultra-thin wiring wire (bonding wire), but another method that has become widely used is to sandwich a metal protrusion called a hump between the chip electrode and the lead and bond by thermocompression.
T A B (Tape Automated Bon
ding)法は後者の代表として注目されている技術で
ある。この方法は、予めICチ、プの電極部か、もしく
はTABテープ上のリード先端部のいずれかにバンプを
形成しておき、次にICチップ電極部とリードを有する
TABテープとが、バンプを介して重ね合わさるように
して両者を接合するものである。またTAB法以外にフ
リップチップ法においても、ハンプが使用されている。T A B (Tape Automated Bon
ding) method is a technique that is attracting attention as a representative of the latter. In this method, bumps are formed in advance either on the electrodes of the IC chip or on the lead tips on the TAB tape, and then the IC chip electrodes and the TAB tape having the leads are bonded to form the bumps. The two are joined together by overlapping each other through the material. In addition to the TAB method, humps are also used in the flip chip method.
このような用途に提供されるハンプのこれまでの作り方
は、メツキによる方法が主体であった。Up until now, the method of making humps provided for such uses has mainly been based on the metsuki method.
すなわち、ICチップの電極部にバンプとなる金属を直
接メンキして形成するか、または−旦ガラス基盤上等に
メツキによって形成したバンプをTABテープ側のリー
ド先端部に転写する方法が主流となっている。In other words, the mainstream methods are to directly plate metal to form bumps on the electrodes of IC chips, or to transfer bumps formed by plating on a glass substrate etc. to the lead tips on the TAB tape side. ing.
しかしながら、メツキによる方法は設備が大きくなる上
に、バンプとして使用する金属の組成にも制約を受ける
という欠点がある。また特にICチップの電極部に直接
メツキしてバンプを形成しようとすれば、チップそのも
のがメツキ工程を通過することになって、チップの歩留
まりを悪化させるということも問題とされていた。However, the method using plating has disadvantages in that it requires large equipment and is also subject to restrictions on the composition of the metal used as the bump. In addition, if bumps were to be formed by directly plating the electrode portions of IC chips, the chip itself would have to go through the plating process, which would deteriorate the yield of the chips, which was a problem.
これらの欠点を解消する方法として、メツキによらない
バンプ形成方法も考えられるようになってきた0本発明
者等は先に、バンプ用の素材となる金属を一徹細線に加
工した後、この金属線を定尺切断した後、互いの間隔を
隔てた状態で溶融・凝固させ、表面張力を利用して球形
状のバンプを得る方法を提案した(特願平1−3202
96号)。作られた球形のバンプは、リード先端部等に
熱圧着して使用される(特願平1−234917号)。As a way to overcome these drawbacks, bump forming methods that do not involve plating have come to be considered. We proposed a method to obtain spherical bumps using surface tension by cutting wires to a specified length and melting and solidifying them at intervals (Japanese Patent Application No. 1-3202).
No. 96). The spherical bump thus produced is used by being thermocompression bonded to the tip of the lead, etc. (Japanese Patent Application No. 1-234917).
このようなハンプとして使用される金属は、これまでは
高純度の金が最も普通であった。金は確かにハンプとし
て存効な金属であるが、ハンプをメツキで形成するとい
うプロセス上の制約があったために、他の金属が対象と
して取り上げられにくかったという側面もあったと思わ
れる。Until now, the most common metal used for such humps was high-purity gold. Gold is certainly an effective metal for humps, but it is thought that there were constraints in the process of forming the humps using plating, which made it difficult for other metals to be considered as objects.
これに対してメツキに顧ることなく、任意の金属線片を
溶融してバンプとする新しい方法によれば、接合用部材
としてふされしい特性を持った任意の金属をハンプとし
て使用する可能性が大きく広がったことになる。またこ
れまでと同しように金を使う場合でも、メツキでバンプ
を形成する場合には、純金に近い高純度の金にならざる
を得なかったが、線片を溶融する方法によれば、線引き
の可能な限り任意の組成を有するバンプを作り上げるこ
とが可能である。金の他に銅や銀、並びにそれらをベー
スとする各種の合金を、容易にバンプとして成形するこ
とができるようになった訳である。On the other hand, a new method of melting any piece of metal wire to form a bump without regard to metal wire makes it possible to use any metal with characteristics suitable for a joining member as a hump. has expanded significantly. Furthermore, even if gold is used as in the past, when forming bumps by plating, it is necessary to use high-purity gold close to pure gold. It is possible to fabricate bumps with any composition possible. In addition to gold, copper, silver, and various alloys based on these can now be easily formed into bumps.
金属線片を溶融してバンプを作製する場合、サイズの均
一なバンプを得るためには、金属線の切断長さを厳密に
一定にするということが必要である。長さの切断精度を
上げるためには出来るだけ線径の細い素材を使用して、
切断長さを長めにする方が宥和であることは言うまでも
ない、それでもバンプのサイズは一般に直径100ミク
ロンを下回る小さなものであるから、使用する素材金属
線を細くしても、切断長さは0.5m以下から長くても
2m程度の短いものとならざるを得ない。When producing bumps by melting pieces of metal wire, it is necessary to cut the metal wire to a strictly constant length in order to obtain bumps of uniform size. In order to increase the precision of cutting the length, use material with the thinnest wire diameter possible.
It goes without saying that it is more convenient to make the cutting length longer, but since the size of the bump is generally smaller than 100 microns in diameter, even if the metal wire used is made thinner, the cutting length will be 0. It has to be as short as .5m or less, or about 2m at most.
しかも−船釣にバンプ用に供されるのは軟質金属が主体
であるため、これを加工した金属線は、自重で曲がるな
ど極めて取扱いのしにくいものとなる。とくに切断長さ
の精度を高めるためには、曲がりやすい金属線を一定長
さだけ精度良(送り出すことが必要であるが、軟質な金
属で作られた直径数十ミクロンから細いものでは10ミ
クロン程度の単一の細線を、曲がらぬようにしかも精度
良く送り出すには大変に困難がある。Moreover, since soft metals are mainly used for bumps in fishing boats, metal wires made from these materials are extremely difficult to handle as they bend under their own weight. In particular, in order to increase the precision of the cutting length, it is necessary to accurately feed the easily bendable metal wire to a certain length, but it is necessary to feed the easily bendable metal wire to a certain length with a diameter of about 10 microns for thin wires ranging from several tens of microns made of soft metal. It is extremely difficult to send out a single thin wire accurately without bending it.
したがって、このようなバンプ素材用金属細線を一定ピ
ッチでの送り機構を有する既存の切断機で精度良く切断
しようとする場合には、複数の金属細線を束ねるかテー
プ上に平行に配置して固定するかして、送りに支障の無
いように処置した後に切断することが効果的である。先
の特願平1−320296号公報の方法は、このような
考え方に基づいていた。Therefore, when attempting to accurately cut such thin metal wires for bump materials with an existing cutting machine that has a feeding mechanism at a constant pitch, it is necessary to bundle multiple thin metal wires or arrange them in parallel on a tape and fix them. Therefore, it is effective to cut the material after it has been treated so as not to hinder feeding. The method disclosed in the previous Japanese Patent Application No. 1-320296 was based on this idea.
本発明の目的とするところは、バンプ製造用として50
ミクロン以下程度の細径に線引きされている金等の軟質
の素材金属線を、不純物として接着剤や配列用材料の混
入する余地の無いような手段によって、能率良くしかも
高い切断精度で多量に目的とする長さの線片に切断でき
、かつ切断後の線片が互いに絡み合うことの無いように
して切断できる方法を提供することにある。The object of the present invention is to use a
It is possible to cut large quantities of soft material metal wires such as gold, which are drawn to a diameter of about microns or less, efficiently and with high cutting accuracy by means that do not allow adhesives or alignment materials to be mixed in as impurities. It is an object of the present invention to provide a method that can cut wire pieces into lengths such that the wire pieces have a length of , and can cut the wire pieces without intertwining with each other after cutting.
本発明は、
(1)微細金属線の端部を掴んだ保持部を動かすことに
より、ガイド出側から微細金属線を一定長さだけ引き出
した後、前記保持部に近接して設けた切断刃物によって
微細金属線を切断することを特徴とする微細金属線の切
断方法、
(2)ガイド出側に配したフィードロールによって微細
金属線をガイドから一定長さだけ引き出した後、フィー
ドロールに近接して設けた切断刃物によって微細金属線
を切断することを特徴とする微細金属線の切断方法、
である。The present invention has the following features: (1) After pulling out a certain length of the fine metal wire from the guide outlet side by moving the holding part that grips the end of the fine metal wire, a cutting blade provided close to the holding part is provided. (2) A method for cutting a fine metal wire, characterized in that the fine metal wire is cut by a feed roll disposed on the exit side of the guide. A method for cutting a fine metal wire, characterized in that the fine metal wire is cut with a cutting blade provided with a cutting blade.
本発明は金属線の切断に関するが、切断された金属線片
は、次に、相互に干渉しあわないように配列して溶融す
ることによって、球形状のハンプとするためにイ共され
るものである。したがって切断単独で考えるのでなく、
次工程の溶融過程で使用しやすいように切断するという
ことが大切である。The present invention relates to cutting metal wire, and the cut metal wire pieces are then arranged and melted so as not to interfere with each other, so as to form a spherical hump. It is. Therefore, rather than thinking about cutting alone,
It is important to cut the material so that it can be easily used in the next melting process.
溶融過程では、何よりもまず不純物の混入を避けること
に注意が払われる必要がある。一般にハンプとして必要
な特性は、微量の不純物の混入によっても著しい影響を
受ける場合がある。したがって切断過程で切断後の金属
線片の中に不純物が混じっている場合には、溶融前に何
等かの方法によつてその不純物を除去しておく必要があ
る。さらに溶融過程では、1本1本の金属線片が別々に
、互いに干渉しない状態で溶融されることも必要である
。もし複数の金属線片が接触したままで溶融過程に入っ
た場合には、複数の金属線片が合体した大きなバンブが
得られてしまい用をなさなくなるからである。During the melting process, care must be taken first and foremost to avoid contamination with impurities. In general, the characteristics necessary for a hump may be significantly affected by even a small amount of impurity. Therefore, if impurities are mixed in the cut metal wire piece during the cutting process, it is necessary to remove the impurity by some method before melting. Furthermore, during the melting process, it is also necessary that each piece of metal wire be melted separately without interfering with each other. This is because if the melting process begins with a plurality of metal wire pieces in contact with each other, a large bump is obtained by combining the plurality of metal wire pieces, which is useless.
以上のようなことから、本発明の極細金属の切断は、第
1に不純物が混入しない方法であることと、第2には切
断した後の金属線片が絡み合わず、できれば切断されて
受器に落ちる金属線片1本1本の間隔までもコントロー
ルしやすい方法であること、の実現を狙いとした。これ
らの狙いを満足するためには、むき出しの微細金属線を
単線のままで1ケ所ずつ切断することによって、切断さ
れた線片を1本ずつ処理できるようにすることが必要で
ある。From the above, the cutting of ultra-fine metal according to the present invention is firstly a method that does not introduce impurities, and secondly, the cut metal wire pieces do not get entangled, and if possible, the cut metal wire pieces are not tangled. The aim was to create a method that would make it easy to control even the spacing between each piece of metal wire that falls into the container. In order to satisfy these aims, it is necessary to cut the bare fine metal wire as a single wire one by one, so that the cut wire pieces can be processed one by one.
通常の直径の金属線を一定長さに切断する場合であれば
、ステ・7ブモーターで回転するフィードロール等によ
って一定長さずつ断続的に金属線を送り出し、ステップ
ごとに切断刃物を作動させて切断すれば、長さの揃った
多数の金rIA線片を容易に得ることができる。ところ
が微細金属線の場合には、フィードロールで送ろうとす
ると曲がってしまい、精度の良い送りそのものが容易に
実現できないという問題があった。この点を解決するた
めには、ガイドを通した微細金属線をガイドの出側から
引き出すことが有効であることが明らかになった。一定
長さずつ精度良く微細金属線を引き出す方法としては、
次の二つの方法が特に効果的であった。When cutting a metal wire of a normal diameter to a certain length, the metal wire is fed out intermittently at a certain length using a feed roll, etc., rotated by a step motor, and the cutting blade is operated at each step. By cutting, a large number of gold rIA wire pieces of uniform length can be easily obtained. However, in the case of fine metal wires, when trying to feed them with feed rolls, they tend to bend, making it difficult to accurately feed them. In order to solve this problem, it has become clear that it is effective to pull out the fine metal wire passed through the guide from the exit side of the guide. As a method to accurately draw out fine metal wires of a certain length,
The following two methods were particularly effective.
第1は、微細金属線の先端部の、次に切断されてしまう
部分の全部または一部を挟み込む等の方法で掴んで固定
するための保持部を設け、この保持部を切断する微細金
属線の長さにちょうど相当する長さ分だけ、ガイドから
遠ざける方向に動かすことによって微細金属線を引き出
す方法である。The first method is to provide a holding part for gripping and fixing all or part of the tip of the fine metal wire that will be cut next, and to cut the fine metal wire through this holding part. In this method, the fine metal wire is pulled out by moving it away from the guide by a length exactly corresponding to the length of the wire.
また別な手段として、ガイドの出側にフィードロールを
設置して、1ステツプがちょうど切断する長さに相当す
るように調整されたステ、プモーター等によって前記フ
ィードロールを回転させることによって微細金属線を引
き出す方法も同しように有効であった。このような方法
によれば、微細金属線は後方から送り出す場合に生しが
ちな曲がりの心配が皆無となり、またガイドの細大部分
に微細金属線が詰まってしまうという不都合も、極めて
発生しにくくなることが確認された。As another method, a feed roll is installed on the exit side of the guide, and the fine metal wire is rotated by a step, a motor, etc. adjusted so that one step corresponds to the length to be cut. The method of eliciting this was equally effective. According to this method, there is no need to worry about bending, which tends to occur when fine metal wires are fed from the rear, and the problem of the fine metal wires getting stuck in the narrow part of the guide is extremely unlikely to occur. It was confirmed that
このようにして一定長さずつの微細金属線が弓き出され
てくる機構が実現したので、次にこの微細金属線の供給
機構と整合する切断方法について検討を行った。精度の
よい切断のためには、切断刃物のできるだけ直近の部分
を固定した状態で刃物を作動させることが必要である。Having achieved a mechanism in which fine metal wires of a fixed length are drawn out in this way, we next investigated a cutting method that would be compatible with this fine metal wire supply mechanism. For accurate cutting, it is necessary to operate the cutting tool with the closest part of the tool fixed as possible.
固定部分が刃物から遠くなればそれだけ、切断時の刃物
自体の動きによって微細金属線が大きく動かされること
になり、切断精度はそれだけ劣化することが避けられな
い。しかも固定する部分は、できるだけ微細金属線の先
端に近い部分に限定する必要がある。The farther the fixed part is from the blade, the more the fine metal wire will be moved by the movement of the blade itself during cutting, and cutting accuracy will inevitably deteriorate accordingly. Moreover, it is necessary to limit the part to be fixed to the part as close as possible to the tip of the fine metal wire.
そして出来れば、ガイドと刃物との間ではなく、刃物よ
り外側の、今切り落とされようとしている微細金属線の
最先端部側を掴みたい、そうすれば、掴みによって変形
を受けた微細金属線は切り落とされてしまい、次に掴み
部が固定しようとする位置は、前回の掴みや切断による
変形の影響がほとんど及ばなかった位置となるので、本
発明法を自動化する場合の信頼性が著しく高いものとな
るからである。If possible, I would like to grasp the tip of the fine metal wire that is about to be cut off, which is outside the blade, rather than between the guide and the cutter, so that the fine metal wire that has been deformed by the grip will be After being cut off, the next position that the gripping part tries to fix is a position that has been largely unaffected by the deformation caused by the previous gripping or cutting, so the reliability of the method of the present invention is extremely high when automating it. This is because.
本発明は、以上の知見を組み合わせることによって成立
したものであるが、細部については後に実施例に基づい
て更に詳しく説明する。The present invention was achieved by combining the above findings, and the details will be explained in more detail later based on Examples.
切断しようとする微細金属線はガイドの出側から、一定
の切断長さに相当する長さ分ずつが断続的に引き出され
て来る。微細金rIAvAを引き出すのは、ガイド出側
のフィードロールまたは保持部の動作による。切断は、
フィードロールまたは保持部に近接して設けられた切断
刃物によって行われる。狭いガイド穴に微細金属線を送
り込むのでなく出側から引き出す方式であるために、微
細金属線がガイド大入り口で曲がったり内部で詰まった
りすることなく、量産向きの切断作業が行われる。The fine metal wire to be cut is intermittently pulled out from the exit side of the guide by a length corresponding to a predetermined cutting length. The fine gold rIAvA is pulled out by the operation of the feed roll or holding section on the exit side of the guide. The cutting is
This is done by a cutting blade provided close to the feed roll or holding part. Since the fine metal wire is pulled out from the exit side rather than being fed into a narrow guide hole, cutting work suitable for mass production can be performed without the fine metal wire bending at the large guide entrance or becoming clogged inside.
実施例1 第1図が、本発明の基本的な動作を示す模式図である。 Example 1 FIG. 1 is a schematic diagram showing the basic operation of the present invention.
微細金属H1としては直径2DI!mの金線を用いた。The diameter is 2DI for fine metal H1! m gold wire was used.
前記微細金属vA1は石英で作った内径30μmの細穴
を有するガイド2を通して下方に引き出されている。そ
の微細金属線1の先端部は、解放中の保持部3a、3b
、および同じ(解放中の切断用刃物4a、4bの間まで
達している。The fine metal vA1 is drawn out downward through a guide 2 made of quartz and having a narrow hole with an inner diameter of 30 μm. The tip of the fine metal wire 1 is connected to the holding parts 3a and 3b during release.
, and the same (reaching between the cutting blades 4a and 4b that are being released).
またガイド2の入り側には、クランパー5a、5bを設
けて、微細金属線Iがガイド2を通して自然に流れ出る
のを防止した(第1図(イ))。Furthermore, clampers 5a and 5b were provided on the entry side of the guide 2 to prevent the fine metal wire I from naturally flowing out through the guide 2 (FIG. 1(A)).
保持部3a、3bはセラミックス製であるが、まずこれ
を動作させて、微細金属Mlを左右から挟むように掴ん
で固定した(第1図(ロ))。次にクランパー5a、5
bを解放するとともに保持部3a、3bを微細金属線1
を把持したままで、下方にdだけ動かした。切断刃物4
a、4bとしては剃刀の刃を用いたが、その上下方向の
動きは保持部3a、3bと連動するようにしであるため
、前記保持部の下方動作によって切断刃物4a、4bも
一諸にdだけ下方に移動した(第1図(ハ))、ここま
での動作によって、微細金属線はガイド2から長さdだ
け出側に引き出されたことになる。The holding parts 3a and 3b are made of ceramics, and were first operated to grip and fix the fine metal Ml from the left and right sides (FIG. 1(b)). Next, clampers 5a, 5
b is released and the holding parts 3a and 3b are attached to the fine metal wire 1.
While still holding it, move it downward by d. Cutting knife 4
Razor blades are used as a and 4b, but since their vertical movement is linked to the holding parts 3a and 3b, the cutting blades 4a and 4b are also moved to d by the downward movement of the holding parts. By the operations up to this point, the fine metal wire has been pulled out from the guide 2 by a length d (FIG. 1(c)).
ここで再びクランパー5a、5bを閉じるとともに、切
断刃物4a、4bを水平方向に動作させて微細金属線1
を切断した(第1図(ニ))。切断刃物4a、4bは切
断後すぐに元の待機位置に引き戻し、更に微細金属線1
を掴んでいた保持部3a、3bも解放すると、切断され
た線片lOが落下した(第1図(ホ))。最後に保持部
3a。Here, the clampers 5a and 5b are closed again, and the cutting blades 4a and 4b are operated in the horizontal direction to remove the fine metal wire 1.
was cut (Figure 1 (d)). Immediately after cutting, the cutting blades 4a and 4b are pulled back to their original standby positions, and the fine metal wire 1 is further removed.
When the holding parts 3a and 3b that were holding the wire were also released, the cut wire piece lO fell (FIG. 1 (e)). Finally, the holding part 3a.
3bと切断刃物4a、4bを一緒にdだけ上昇させると
く第1図(へ))、この状態は第1図(イ)に示した最
初の状態とまったく同等の状態に復元していることがわ
かる。したがってこの第1図の(イ)〜(へ)の工程を
繰り返して行わせることによって、微細金属線1は長さ
dの均一な長さの線片に次々と切断していくことができ
る。3b and the cutting blades 4a and 4b together by an amount d (Fig. 1(a)), this state has been restored to exactly the same state as the initial state shown in Fig. 1(a). Recognize. Therefore, by repeating the steps (a) to (f) in FIG. 1, the fine metal wire 1 can be successively cut into wire pieces of uniform length d.
微細金属線の線径dとしては、0.3.0.50.8鶴
で各々テストを行ったが、いずれの場合でも±O,’1
m以内の精度で切断することができた。The wire diameter d of the fine metal wire was tested with 0.3, 0.50.
It was possible to cut with an accuracy of within m.
実施例2
先の実施例1においてクランパー5a、5bの役割は、
微細金属線をガイドの出側で閤んで引き出す作用をする
保持部3a、3bが解放状態になった時に、微細金属線
がガイドから自然に出たり戻ったりすることを防止する
ことであった。この役割は実施例1のようなりランパー
によらない別の手段によっても受は持たせることが可能
である。Example 2 In the previous example 1, the roles of the clampers 5a and 5b are as follows:
The purpose was to prevent the fine metal wire from coming out and returning naturally from the guide when holding parts 3a and 3b, which act to grip and pull out the fine metal wire on the exit side of the guide, are in a released state. This role can also be fulfilled by another means other than the ramper, as in the first embodiment.
本実施例においては、第2図に示すように、ガイド2I
を螺旋状とすることによって、クランパーの機能を併せ
持たセることにした。保持部3 a。In this embodiment, as shown in FIG.
By making it spiral, we decided to make it have the function of a clamper. Holding part 3 a.
3bと切断刃物4a、4bは共に実施例1と同じ者を用
いた。微細金属線1は螺旋状のガイ、ド21の内部を通
るさいにガイドの内壁から与えられる抵抗によって、引
き出された位置で静止するようになり、クランパーが無
いにもかかわらず、実施例1と同じように精度の良い切
断が行われた。3b and the same cutting tools 4a and 4b as in Example 1 were used. When the fine metal wire 1 passes through the inside of the spiral guide 21, it comes to rest at the pulled-out position due to the resistance given by the inner wall of the guide. Cuts were made with the same precision.
実施例3
第3図は使用した装置の模式図である。■は微細金属線
、2はガイド、3a、3bは保持部、4a、4bが切断
用刃物である。ガイド2の出側にはフィードロール6a
、6bを設置した。このフィードロールは直径3fiの
セラミックス製で、ガイド2の出側から10m離れた位
置に設置した。Example 3 FIG. 3 is a schematic diagram of the apparatus used. 2 is a fine metal wire, 2 is a guide, 3a and 3b are holding parts, and 4a and 4b are cutting blades. A feed roll 6a is provided on the exit side of the guide 2.
, 6b was installed. This feed roll was made of ceramics and had a diameter of 3fi, and was installed at a position 10 m away from the exit side of the guide 2.
ロールの回転は、図示しないステップモーターによって
行い、微細金属線を一定の長さずつ断続的にガイド2の
出側に引き出すようにした。The roll was rotated by a step motor (not shown), and the fine metal wire was intermittently drawn out to the exit side of the guide 2 in constant lengths.
本実施例の場合には、前記のようなフィードロールの作
用で微細金属線が切断刃物の位置に自動的に供給されて
くるので、保持部3a、3bも切断刃物4a、4bも上
下方間には動かす必要がない、保持部3a、3bも切断
刃物4a、4bも共に解放された状態の時に、フィード
ロールが1ステ7プ回転して引き出した微細金属線1の
先端部を、まず保持部3a、3bが水平に動いて掴んで
固定した後、切断刃物4a、4bが同しく水平方向に動
いて微細金属vA1を切断するようにした。In the case of this embodiment, the fine metal wire is automatically fed to the position of the cutting blade by the action of the feed roll as described above, so that both the holding parts 3a and 3b and the cutting blades 4a and 4b are vertically spaced. When both the holding parts 3a and 3b and the cutting blades 4a and 4b are released, the feed roll rotates 1 step to hold the tip of the fine metal wire 1 pulled out. After the parts 3a and 3b moved horizontally to grip and fix, the cutting blades 4a and 4b also moved horizontally to cut the fine metal vA1.
微細金属線1としては直径30μmの金線を用い、切断
長さは0.4=nとして精度の良い切断ができた。A gold wire with a diameter of 30 μm was used as the fine metal wire 1, and the cutting length was set to 0.4=n, allowing for accurate cutting.
実施例4
本発明法は微細金属線を単線の状態で精度良く切断する
ものであるが、切断の効率を更に向上させるためには、
単線ごとの切断要素を複数組み合わせて、並列処理する
ことも可能である。第4図はその一例を示すもので、4
本の微細金属線lを同時に切断する場合である。ガイド
2はセラミックス製であるが、二つ割りの状態で内側に
微細金属線を通すための溝を持つものを、左右から合わ
せた状態で使用している。フィードロール6a6bもセ
ラミックス製で、微細金属線をまっすぐに通すために、
溝付きロールになっている。ロールの回転は図に示して
いないステップモーターを使用しており、4本の微細金
属線1を同時に同じ長さだけ引き出すことができる。Example 4 The method of the present invention cuts fine metal wires in the form of single wires with high precision, but in order to further improve the cutting efficiency,
It is also possible to combine multiple cutting elements for each single line and perform parallel processing. Figure 4 shows an example.
This is a case where a book of fine metal wires l is cut at the same time. The guide 2 is made of ceramics, and is split in two and has grooves for passing fine metal wires inside, and is used with the left and right sides aligned. The feed roll 6a6b is also made of ceramics, and in order to pass the fine metal wire straight through,
It is a grooved roll. A step motor (not shown) is used to rotate the rolls, and the four fine metal wires 1 can be drawn out to the same length at the same time.
保持部3a、3b並びに切断刃物4a、4bも4本の微
細金属vAlに同時に作用することができ、両者が共に
解放された状態の時にフィードロールが回転して一定長
さの微細金属線を引き出し、まず保持部3a、3bが閉
して微細金属線の先端を固定した後に、切断刃物4a、
4bが動作して切断するようにした。The holding parts 3a, 3b and the cutting blades 4a, 4b can also act on the four fine metal vAl at the same time, and when both are released, the feed roll rotates and pulls out a certain length of fine metal wire. , first, after the holding parts 3a and 3b are closed and the tip of the fine metal wire is fixed, the cutting blade 4a,
4b works and disconnects.
この方法で、直径20μmの金線を長さ0.8鶴の均一
な線片に能率良く切断することができた。Using this method, it was possible to efficiently cut gold wire with a diameter of 20 μm into uniform wire pieces with a length of 0.8 mm.
微細金属線を不純物に接触させずに精度良く切断するこ
とができ、しかも切断された線片は1本1本をバラバラ
の状態で取り出すことができるので、後の溶融工程への
供給も容易である。Fine metal wires can be cut with high precision without coming into contact with impurities, and the cut wire pieces can be taken out individually, making it easy to feed them to the subsequent melting process. be.
第1図は本発明において、・切断過程の動作状況を説明
するための模式図、第2図はその一部を別の手段で置き
代えた場合の模式図、第3図はフィードロールを用いた
場合−例を示す模式図、さらに第4図は本発明法をより
能率良〈実施する場合の実施例の一例を示す見取図であ
る。
1、・・微細金属線、20.・ガイド、3a、3b・・
・保持部、
4a、4b・・・切断用刃物、
5a、5b・・・クランパー
6a、6b・・・フィードロール、
10、・、切断された微細金属線片、
21・・・螺旋状ガイド。In the present invention, Fig. 1 is a schematic diagram for explaining the operation status of the cutting process, Fig. 2 is a schematic diagram when a part of it is replaced by another means, and Fig. 3 is a schematic diagram for explaining the operating status of the cutting process. FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of a case in which the method of the present invention is carried out more efficiently. 1. Fine metal wire, 20.・Guide, 3a, 3b...
- Holding part, 4a, 4b... Cutting knife, 5a, 5b... Clamper 6a, 6b... Feed roll, 10,... Cut fine metal wire piece, 21... Spiral guide.
Claims (2)
より、ガイド出側から微細金属線を一定長さだけ引き出
した後、前記保持部に近接して設けた切断刃物によって
微細金属線を切断することを特徴とする微細金属線の切
断方法。(1) By moving the holding part that grips the end of the fine metal wire, the fine metal wire is pulled out by a certain length from the guide outlet side, and then the fine metal wire is cut with a cutting blade provided close to the holding part. A method for cutting a fine metal wire, characterized by cutting the fine metal wire.
金属線をガイドから一定長さだけ引き出した後、フィー
ドロールに近接して設けた切断刃物によって微細金属線
を切断することを特徴とする微細金属線の切断方法。(2) A fine metal wire characterized in that the fine metal wire is pulled out by a certain length from the guide by a feed roll placed on the guide outlet side, and then the fine metal wire is cut by a cutting blade provided close to the feed roll. How to cut the line.
Priority Applications (6)
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JP2109780A JP2775984B2 (en) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | Cutting method of fine metal wire |
PCT/JP1990/001591 WO1991008850A1 (en) | 1989-12-07 | 1990-12-06 | Method of manufacturing minute metallic balls uniform in size |
KR1019910700856A KR960000332B1 (en) | 1989-12-07 | 1990-12-06 | Method of manufacturing minute metallic balls or minute alloy balls |
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JP (1) | JP2775984B2 (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1990
- 1990-04-24 JP JP2109780A patent/JP2775984B2/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
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JP2775984B2 (en) | 1998-07-16 |
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