JP6875472B2 - 撮像装置 - Google Patents
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Description
る。
術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一態様は
、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物(コンポジション・オブ・マタ
ー)に関するものである。そのため、より具体的に本明細書で開示する本発明の一態様の
技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、撮像装置、記憶装置、
それらの駆動方法、または、それらの製造方法、を一例として挙げることができる。
る頻度を減らす表示装置が提案されている(例えば特許文献1)。画像データの更新は、
現フレームの画像データと、前のフレームの画像データを差分処理によるデジタル処理に
よって比較し、このデジタル処理結果に基づいて、画像データの更新の要否を判定してい
る。画像データが更新される頻度を減らすことで、表示装置における消費電力の低減を図
っている。
費電力の低減が重要となる。
機器等を提供することを課題の一とする。
を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、表示品位を低下させるこ
となく画像データの更新の要否を判定できる、新規な構成の表示システム等を提供するこ
とを課題の一とする。
他の課題の存在を妨げるものではない。なお他の課題は、以下の記載で述べる、本項目で
言及していない課題である。本項目で言及していない課題は、当業者であれば明細書又は
図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。
なお、本発明の一態様は、上記列挙した記載、及び/又は他の課題のうち、少なくとも一
つの課題を解決するものである。
は、第1の画素と、アナログ処理回路と、デジタル処理回路と、を有し、第1の画素は、
撮像データを出力する機能を有し、第1の画素は、第1の撮像データと、第2の撮像デー
タとの差分データを保持する機能を有し、撮像装置は、第1の撮像モードと第2の撮像モ
ードで動作する機能を有し、第1の撮像モードにおいて、デジタル処理回路は、第1の画
素が撮像した第3の撮像データをデジタルデータに変換し、第2の撮像モードにおいて、
アナログ処理回路は、差分データを検出し、第1の撮像データと第2の撮像データの差の
ある場合に判定信号をアクティブな値とし、表示装置は、第1の表示モードと第2の表示
モードで動作する機能を有し、第1の表示モードは、画像データを更新して表示を行う機
能を有し、第2の表示モードは、画像データを更新することなく表示を行う機能を有し、
第2の撮像モードから第1の撮像モードへの遷移、及び第2の表示モードから第1の表示
モードへの遷移は、判定信号をアクティブな値にすることで行われる表示システムである
。
い、演算の結果が規定値と同一でない場合に判定信号をアクティブな値とする回路である
表示システムが好ましい。
する表示システムが好ましい。
電流値と、の差の大小関係に従って電流の供給を行い、電流の供給に差が生じた場合に判
定信号をアクティブな値とする回路である表示システムが好ましい。
好ましい。
1のモードに遷移する表示システムが好ましい。
し、表示装置は、第2の画素を有し、第2の画素は、第2のトランジスタと、表示素子と
、を有し、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタは、酸化物半導体をチャネル形成
領域に有する表示システムが好ましい。
テムが好ましい。
しい。
更新しないで表示を行う第2の表示モードと、を切り替える機能を有する表示装置に、判
定信号と画像データとを出力する撮像装置であって、第1の画素と、アナログ処理回路と
、デジタル処理回路と、を有し、第1の画素は、撮像データを出力する機能を有し、第1
の画素は、第1の撮像データと、第2の撮像データとの差分データを保持する機能を有し
、撮像装置は、第1の撮像モードと第2の撮像モードで動作する機能を有し、第1の撮像
モードにおいて、デジタル処理回路は、第1の画素が撮像した第3の撮像データをデジタ
ルデータに変換し、該デジタルデータを画像データとして表示装置に出力し、第2の撮像
モードにおいて、アナログ処理回路は、差分データを検出し、第1の撮像データと第2の
撮像データの差のある場合に判定信号をアクティブな値とし、第2の撮像モードから第1
の撮像モードへの遷移、及び第2の表示モードから第1の表示モードへの遷移は、判定信
号をアクティブな値にすることで行われる撮像装置である。
更新しないで表示を行う第2の表示モードと、を切り替える機能を有する表示装置であっ
て、第2の画素と、ソースドライバと、ゲートドライバと、制御回路と、を有し、制御回
路は、撮像装置から出力される判定信号をアクティブな値にすることで、第2の表示モー
ドから第1の表示モードへの遷移を行う機能を有し、ソースドライバ及びゲートドライバ
は、第1の表示モードにおいて、第2の画素に与える画像データに応じたビデオ電圧を更
新することで画像を表示するように動作する機能、及び第2の表示モードにおいて、第2
の画素に与える画像データに応じたビデオ電圧を画素に保持することで画像を表示するよ
うに動作する機能と、を有する表示装置である。
面に記載されている。
な電子機器等を提供することができる。
を提供することができる。または、本発明の一態様は、表示品位を低下させることなく画
像データの更新の要否を判定できる、新規な構成の表示システム等を提供することができ
る。
他の効果の存在を妨げるものではない。なお他の効果は、以下の記載で述べる、本項目で
言及していない効果である。本項目で言及していない効果は、当業者であれば明細書又は
図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。
なお、本発明の一態様は、上記列挙した効果、及び/又は他の効果のうち、少なくとも一
つの効果を有するものである。従って本発明の一態様は、場合によっては、上記列挙した
効果を有さない場合もある。
る態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及
び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、
以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。なお図面は、理想的な例を模
式的に示したものであり、図面に示す形状又は値などに限定されない。例えば、ノイズに
よる信号、電圧、若しくは電流のばらつき、又は、タイミングのずれによる信号、電圧、
若しくは電流のばらつきなどを含むことが可能である。
なくとも三つの端子を有する素子である。そして、ドレイン(ドレイン端子、ドレイン領
域又はドレイン電極)とソース(ソース端子、ソース領域又はソース電極)の間にチャネ
ル領域を有しており、ドレインとチャネル領域とソースとを介して電流を流すことができ
るものである。
、いずれがソース又はドレインであるかを限定することが困難である。そこで、ソースと
して機能する部分、及びドレインとして機能する部分を、ソース又はドレインと呼ばず、
ソースとドレインとの一方を第1電極と表記し、ソースとドレインとの他方を第2電極と
表記する場合がある。
を避けるために付したものであり、数的に限定するものではないことを付記する。
るものの他、電気的に接続されているものを含むものとする。ここで、AとBとが電気的
に接続されているとは、AとBとの間で、何らかの電気的作用を有する対象物が存在する
とき、AとBとの電気信号の授受を可能とするものをいう。
係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている。また、構成同士の位置関係は
、各構成を描写する方向に応じて適宜変化するものである。従って、明細書で説明した語
句に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
ものであり、異なる回路ブロックで別々の機能を実現するよう示していても、実際の回路
ブロックにおいては同じ回路ブロック内で別々の機能を実現しうるように設けられている
場合もある。また図面における各回路ブロックの機能は、説明のため機能を特定するもの
であり、一つの回路ブロックとして示していても、実際の回路ブロックにおいては一つの
回路ブロックで行う処理を、複数の回路ブロックで行うよう設けられている場合もある。
れている状態をいう。従って、−5°以上5°以下の場合も含まれる。また、「垂直」と
は、二つの直線が80°以上100°以下の角度で配置されている状態をいう。従って、
85°以上95°以下の場合も含まれる。
。
じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜
」という用語に変更することが可能な場合がある。または、例えば、「絶縁膜」という用
語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能な場合がある。
<表示システムの構成>
本発明の一態様の表示システムの構成について、図1を用いて説明する。
テムは、表示装置の他、トランジスタなどの半導体素子をはじめ、半導体装置、演算装置
、記憶装置、撮像装置などを有していてもよい。
数の画素、及び画素を駆動する駆動回路等を有する。また、表示装置は、制御回路、電源
回路、信号生成回路等を含む場合がある。
有する回路、あるいは該回路を含むシステム全体を撮像装置という。
、撮像装置IMAGと、表示装置DISPとを有する。
/D変換回路ADC、列ドライバC_DRV、及び行ドライバR_DRV、を有する。
、選択された各行の画素IPIXは撮像データを出力する。なお第1の撮像モードは、第
1のモード(1st mode)、又はデジタル動作(Digital Operati
on)モードをいう場合がある。
、選択された各行の画素IPIXから基準フレームの撮像データと現フレームの撮像デー
タとの差分の情報を含むデータ(差分データ)を出力する。なお第2の撮像モードは、第
2のモード(2nd mode)、又はアナログ動作(Analog Operatio
n)モードをいう場合がある。
合がある。また第2の撮像モードにおける、現フレームの撮像データを第2の撮像データ
という場合がある。また第1の撮像モードにおける、撮像データを第3の撮像データとい
う場合がある。
素IPIXは、撮像によって撮像データを取得する機能を有する。また画素IPIXは、
基準フレームの撮像データと現フレームの撮像データとの差分データを保持する機能を有
する。撮像データを取得する機能、差分データを保持する機能を有する画素IPIXの具
体的な回路構成については、後述する。
光電変換素子は、例えばフォトダイオードのように光起電力効果を利用した素子や、セレ
ンを有する半導体のように光導電効果を利用した素子を用いることができる。
撮像データに対してアナログデータ処理をする回路である。より具体的には、各画素IP
IXから出力された差分データを検出して、基準フレームの撮像データと現フレームの撮
像データとの差分があると判定した場合は判定信号TRIGをアクティブな値とし、差分
が無いと判定した場合は判定信号TRIGを非アクティブな値とする。
出力された差分データについて差分絶対値和演算を行い、演算の結果が規定値と同一であ
るか否かによって判定する構成、あるいは、各画素IPIXから出力された差分データに
応じた電流値と、基準電流値と、の差の大小関係に従って電流の供給を行い、電流の供給
に差が生じるか否かによって判定する構成等を用いることができる。基準フレームの撮像
データと現フレームの撮像データとの差分の有無に従って判定信号TRIGを出力できる
アナログ処理回路Analogの具体的な回路構成については、後述する。
回路がハイアクティブの回路の場合に、”H”の信号(Hレベルともいう)を出力するこ
とをいう場合がある。逆に判定信号TRIGを非アクティブな値にするとは、判定信号T
RIGによって動作する回路がハイアクティブの回路の場合に、例えば”L”の信号(L
レベルともいう)を出力することをいう。判定信号TRIGによって動作する回路がロー
アクティブの回路の場合には、出力される信号のレベル(”H”と”L”)を入れ替えて
考えればよい。
モードを遷移させるための信号である。また判定信号TRIGは、後述する第2の表示モ
ードから第1の表示モードへと、表示装置DISPのモードを遷移させるための信号であ
る。
デジタルデータに変換し、列ドライバC_DRVによって各列におけるデジタルデータを
データDATAとして順次表示装置DISPに出力する。データDATAは、表示装置D
ISPに供給される画像データである。
フトレジスタ等が用いられる。
表示モードと第2の表示モードとによって動作する表示装置DISPの具体的な構成例つ
いては、後述する。
S_DRV、及びゲートドライバG_DRV、を有する。
を有する。なお第1の表示モードは、第3のモード(3rd mode)、又は通常表示
(Normal Display)モードをいう場合がある。
示を行う機能を有する。なお第2の表示モードは、第4のモード(4th mode)、
又はアイドリングストップ(Idling Stop)モードをいう場合がある。
PIXは、画像データに応じたビデオ電圧によって画像を表示する機能を有する。また画
素DPIXは、画像データが更新されないことでビデオ電圧を保持し続けることができる
機能を有する。
表示素子は、例えば液晶素子、発光素子等である。
なトランジスタとして、酸化物半導体をチャネル形成領域に用いたトランジスタ(OSト
ランジスタ)であることが好ましい。
実質的に真性にすることでオフ電流を極めて低くできるため好ましい。オフ電流が小さい
OSトランジスタを、画素DPIXが有するビデオ電圧を保持するトランジスタに用いる
ことで、オフ電流が小さいことを利用して一度書きこんだ電位を保持し続けることができ
るため、ビデオ電圧を更新することなく表示を行うことができる。そのため、ソースドラ
イバS_DRV、及びゲートドライバG_DRVの動作を止めることでビデオ電圧の更新
頻度を低減でき、低消費電力化を図ることができる。
Vに供給する。ゲートドライバG_DRVに供給する制御信号は、ゲートスタートパルス
、ゲートクロック信号等がある。ソースドライバS_DRVに供給する制御信号は、ソー
ススタートパルス、ソースクロック信号等がある。また制御回路CTRLは、データDA
TAを基に、画素DPIXに書きこむビデオ電圧を生成し、ソースドライバS_DRVに
供給する。
圧の供給を切り替えるように制御する。
電圧の供給を行う。表示装置DISPは、画素DPIXに書きこまれるビデオ電圧を更新
して表示を行う。第1の表示モードでは、撮像装置IMAGから供給される画像データを
基にビデオ電圧を更新して表示を行うことができる。
圧の供給を停止する。表示装置DISPは、一度画素DPIXに書きこんだビデオ電圧を
保持し続けることで表示を行う。第2の表示モードでは、撮像装置IMAGから供給され
る画像データを用いることなく、画素DPIXに書きこんだビデオ電圧を保持するだけで
表示を行うことができる。
ァ等が用いられる。
について、図2、3を用いて説明する。
では、画素IPIXが撮像した第3の撮像データをA/D変換してデジタルデータに変換
する。例えば、第3の撮像データが木立と人物の画像のデータである場合(図3(C)参
照)、第3の撮像データをデジタルデータに変換する。
る)としておく。第1の撮像モードでは、撮像を1回もしくは複数回繰り返す。
図2(A)のステップS01参照)。これは、あらかじめ条件を設定しておくことで行わ
れる。例えば、特定の期間が経過、あるいは、デジタル処理を終了する制御信号の入力、
などの条件である。この条件が満たされた場合に、第1の撮像モードから第2の撮像モー
ドに遷移する。
ィブな値(以下、”L”とする)としておく。なお第2の撮像モードにおける、基準フレ
ームは、第1の撮像モードから第2の撮像モードに遷移する直前の撮像フレームに相当す
る。すなわち第2の撮像モードにおける、基準フレームの撮像データは、第1の撮像モー
ドで取得した最後の撮像データとなる。
では、アナログ処理回路Analogにて、基準フレームの撮像データと現フレームの撮
像データとの差分に関する差分データを検出するアナログ処理を行う。このアナログ処理
によって第1の撮像データと第2の撮像データとの差分が無ければ、すなわち、判定信号
TRIGが発生しなければ、引き続きアナログ処理を行う。一方、当該アナログ処理によ
り第1の撮像データと第2の撮像データとの差分があれば、すなわち、判定信号TRIG
が発生すれば、第1の撮像モードに遷移する(図2(A)のステップS02参照)。
像データも木立の画像のデータ(図3(A2)参照)である場合、その差分はゼロである
。よって、判定信号TRIGは発生しない。一方、第1の撮像データが木立の画像のデー
タ(図3(B1)参照)であり、第2の撮像データは木立と人物の画像のデータ(図3(
B2))である場合、その差分はゼロではないため、判定信号TRIGが発生する。そし
て、判定信号TRIGの発生に伴い、撮像装置IMAGのモードは第2の撮像モードから
第1の撮像モードに遷移する。なお、図示した例では、第1の撮像データと第2の撮像デ
ータは同じ風景を撮像したものであり、撮像した時間が異なるものである。そのため、第
1の撮像データは第1の状態の撮像データと表記し、第2の撮像データは第2の状態の撮
像データと表記する場合がある。
差分データを取得する。基準フレームの撮像データと現フレームの撮像データとの差分が
無いと判定した場合は判定信号TRIGを”L”とし、第2の撮像モードでの撮像を繰り
返す。一方、差分があると判定した場合は判定信号TRIGを”H”とし、再度第1の撮
像モードに遷移する。
第2の撮像モードに遷移するが、第1の撮像モードから第2の撮像モードへの遷移する条
件は、過去の遷移履歴を参考にして決めることができる。例えば、第2の撮像モードが非
常に短時間だった場合、撮像している画像の変動が激しい場合に相当するので、第1の撮
像モードに留まる時間を長くする構成が有効である。また、第1の撮像モードから一定時
間後に第2の撮像モードに遷移する動作が有効である。
撮像モードにおける基準フレームとなる。そのため、予め第1の撮像モードでの最後の撮
像フレームでは、第2の撮像モードにおける基準フレームの撮像データとなるように、撮
像する構成が有効である。このようにすることで、撮像に要する消費電力を低減すること
ができる。
などの膨大な電力を消費するデジタル処理を行わず、また、判定信号TRIGを生成する
ための最低限のアナログ処理を行うだけで良いため、消費電力を低減することができる。
また、第1の撮像モードでは、デジタル処理により、判定信号TRIGが生成した原因、
すなわち、第1の撮像データと第2の撮像データとの違いを詳細に確認することができる
。
ドでは、撮像装置IMAGから出力される画像データを基にビデオ電圧を更新して表示を
行う。例えば、表示装置DISPでは、撮像装置IMAGから連続して供給される画像デ
ータに応じたビデオ電圧を画素DPIXに書きこむことで、先に書きこまれたビデオ電圧
を更新して表示を行う。
図2(B)のステップS03参照)。これは、あらかじめ条件を設定しておくことで行わ
れる。例えば、判定信号TRIGが”H”の場合は、第1の表示モードでの表示を繰り返
し、一方、判定信号TRIGが”L”の場合に第2の表示モードに遷移する、などの条件
である。この条件によって、第1の表示モードから第2の表示モードに遷移する。
IMAGが第1の撮像モードから第2の撮像モードに遷移する前に、第1の表示モードか
ら第2の表示モードに遷移する構成が好ましい。このような構成とすることで、撮像装置
IMAGから表示装置DISPへのデータDATAが途切れることがない。したがって、
表示装置DISPにおける表示が異常となることを避けることができる。
撮像装置IMAGから出力される画像データ用いることなく、画素DPIXに書きこんだ
ビデオ電圧を保持するだけで表示を行う。例えば、表示装置DISPでは、画素DPIX
に書きこまれたビデオ電圧を保持し続けることで表示を行う。
図2(B)のステップS04参照)。これは、あらかじめ条件を設定しておくことで行わ
れる。例えば、判定信号TRIGが”L”の場合は、第2の表示モードでの表示を繰り返
し、一方、判定信号TRIGが”H”になった場合は、第1の表示モードに戻る、などの
条件である。この条件が満たされた場合に、第2の表示モードから第1の表示モードに遷
移する。
IMAGが第2の撮像モードから第1の撮像モードに遷移した後、第2の表示モードから
第1の表示モードに遷移する構成が好ましい。このような構成とすることで、撮像装置I
MAGから表示装置DISPへのデータDATAが途切れることがない。したがって、表
示装置DISPにおける表示が異常となることを避けることができる。
IXを有する表示装置DISPにおいて、第2の撮像モードでは、A/D変換などの膨大
な電力を消費するデジタル処理を行わず、また、判定信号TRIGを生成するための最低
限のアナログ処理を行うだけで良いため、消費電力を低減することができる。この第2の
撮像モードへの遷移と共に、第2の表示モードでは、画素DPIXに書きこむビデオ電圧
の更新をなくし、ソースドライバS_DRV及びゲートドライバG_DRVの動作を最小
限にとどめることができるため、消費電力を低減することができる。また判定信号TRI
Gは、画素IPIXで保持した差分データをアナログ処理することで得ることができるた
め、差分処理等のデジタル処理によって撮像データ間の差分を検知する構成に場合に比べ
、消費電力を低減することができる。
次いで、撮像装置IMAGが有する画素IPIX、及び動作の一例について、図4、図5
を用いて説明する。
素子121と、容量素子122と、フォトダイオード123と、を有する。また、画素I
PIXは、電源線VPD、電源線VPR、電源線VC、電源線VFR及び電源線VOから
電位が供給され、信号線TX、信号線PR、信号線FR及び信号線SELから制御信号が
供給され、信号線OUTに画素の撮像データが出力される。また、ノードFD1に撮像デ
ータに対応する電荷が蓄積する。ここで、容量素子121の容量値は、容量素子122の
容量値とトランジスタ114のゲート容量の容量値との和より大きい構成が好ましい。
オード123の一方の端子に、ソース又はドレインの他方がトランジスタ112のソース
又はドレインの一方に電気的に接続されている。トランジスタ112は、ゲートが信号線
PRに、ソース又はドレインの他方が電源線VPRに電気的に接続されている。トランジ
スタ113は、ゲートが信号線FRに、ソース又はドレインの一方が容量素子122の一
方の電極に、ソース又はドレインの他方が電源線VFRに電気的に接続されている。トラ
ンジスタ114は、ゲートが容量素子122の一方の電極に、ソース又はドレインの一方
が電源線VOに、ソース又はドレインの他方がトランジスタ115のソース又はドレイン
の一方に電気的に接続されている。トランジスタ115は、ゲートが信号線SELに、ソ
ース又はドレインの他方が信号線OUTに電気的に接続されている。容量素子121は、
一方の電極がトランジスタ111のソース又はドレインの他方とトランジスタ112のソ
ース又はドレインの一方に接続され、他方の電極が容量素子122の一方の電極とトラン
ジスタ113のソース又はドレインの一方に電気的に接続されている。容量素子122の
他方の電極は電源線VCに電気的に接続されている。フォトダイオード123の他方の端
子は電源線VPDに電気的に接続されている。
源線VPDは低電位、電源線VPRは高電位、電源線VCは低電位、電源線VFRは高電
位、電源線VOは高電位とする。
を”H”とする。この時、ノードFD1の電位は電源線VFRの電位(V1とする)に設
定され、ノードFD2の電位は電源線VPRの電位(V2とする)に設定される。時刻T
2乃至時刻T3において、信号線PRを”L”、信号線FRを”L”、信号線TXを”H
”とする。この時、フォトダイオード123に照射する光に応じて、ノードFD2の電位
は低下する。ここで、ノードFD2の電圧降下分をΔV2とすると、ノードFD2の電位
はV2−ΔV2となる。また、容量素子121(容量値C1)と、容量素子122(容量
値C2)とトランジスタ114のゲート容量(容量値Cg)との合成容量と、の容量結合
により、ノードFD1の電位も低下する。ここで、ノードFD1の電圧降下分をΔV1と
すると、ΔV1=ΔV2・C1/(C1+C2+Cg)=ΔV2・αであり、ノードの電
位はV1−ΔV1となる。なお、フォトダイオード123に照射する光が強い程、ノード
FD2の電位は低下する。また、ノードFD1の電位も低下する。時刻T4乃至時刻T5
において、信号線SELを”H”とする。この時、ノードFD1の電位に応じて、信号線
OUTに撮像データに対応する信号が出力される。なお、ノードFD1の電位が低いほど
、信号線OUTの電位は低くなる。すなわち、フォトダイオード123に照射する光が強
い程、信号線OUTの電位は低くなる。時刻T6乃至時刻T10についても、時刻T1乃
至時刻T5と同様の説明ができる。
刻T01乃至時刻T02において、信号線PRを”H”、信号線FRを”H”、信号線T
Xを”H”とする。この時、ノードFD1の電位は電源線VFRの電位(V1)に設定さ
れ、ノードFD2の電位は電源線VPRの電位(V2)に設定される。時刻T02乃至時
刻T03において、信号線PRを”L”、信号線FRを”H”、信号線TXを”H”とす
る。この時、フォトダイオード123に照射する光に応じて、ノードFD2の電位は低下
する。ここで、ノードFD2の電圧降下分をΔV2とすると、ノードFD2の電位はV2
−ΔV2となる。なお、フォトダイオード123に照射する光が強い程、ノードFD2の
電位は低下する。なお、ノードFD1の電位は変化しない。時刻T03乃至時刻T04に
おいて、信号線PRを”L”、信号線FRを”L”、信号線TXを”H”とする。なお、
時刻T02乃至時刻T03の間隔と時刻T03乃至時刻T04の間隔とはTで等しいとす
る。この時、フォトダイオード123に照射する光に応じて、ノードFD2の電位は低下
し、V2−2・ΔV2となる。また、容量素子121と、容量素子122とトランジスタ
114のゲート容量と、の容量結合により、ノードFD1の電位も低下する。ここで、ノ
ードFD1の電圧降下分をΔV1とすると、ΔV1=ΔV2・αであり、ノードFD1の
電位はV1−ΔV1となる。なお、フォトダイオード123に照射する光が強い程、ノー
ドFD2の電位は低下する。また、ノードFD1の電位も低下する。なお、ここでは、時
刻T02乃至時刻T03の間隔と時刻T03乃至時刻T04の間隔とはTで等しいとした
が、時刻T02乃至時刻T03と時刻T03乃至時刻T04におけるノードFD2の電圧
降下分が等しくなるように設定することが本質である。したがって、上記条件を満たすよ
うに、時刻T02乃至時刻T03と時刻T03乃至時刻T04の間隔を適宜調整する構成
が好ましい。時刻T05乃至時刻T06において、信号線SELを”H”とする。この時
、ノードFD1の電位に応じて、信号線OUTに撮像データに対応する信号が出力される
。なお、ノードFD1の電位が低いほど、信号線OUTの電位は低くなる。すなわち、フ
ォトダイオード123に照射する光が強い程、信号線OUTの電位は低くなる。
取得する期間に相当する。特に、第1の撮像データと第2の撮像データとの差分がゼロの
場合に相当する。時刻T11乃至時刻T12において、信号線PRを”H”、信号線FR
を”L”、信号線TXを”H”とする。この時、ノードFD2の電位は電源線VPRの電
位(V2)に設定される。すなわち、時刻T02乃至時刻T04における電圧降下分(2
・ΔV2)、電位が上昇する。一方、容量素子121と、容量素子122とトランジスタ
114のゲート容量と、の容量結合により、ノードFD1の電位も上昇するが、上昇分(
2・ΔV1)は、時刻T03乃至時刻T04における電圧降下分の2倍に相当する。すな
わち、電源線VFRの電位(V1)に、時刻T03乃至時刻T04における電圧降下分(
ΔV1)を加えた電位(V1+ΔV1)となる。時刻T12乃至時刻T13において、信
号線PRを”L”、信号線FRを”L”、信号線TXを”H”とする。この時、フォトダ
イオード123に照射する光に応じて、ノードFD2の電位は低下し、また、容量素子1
21と、容量素子122とトランジスタ114のゲート容量と、の容量結合により、ノー
ドFD1の電位も低下する。なお、フォトダイオード123に照射する光が強い程、ノー
ドFD2の電位は低下する。また、ノードFD1の電位も低下する。
の光がフォトダイオード123に照射しているものとすると、ノードFD2の電圧降下分
は時刻T03乃至時刻T04での降下分ΔV2に等しい。また、ノードFD1の電圧降下
分も時刻T03乃至時刻T04での降下分ΔV1に等しい。したがって、ノードFD1の
電位は、V1になる。これは、第1の撮像データと第2の撮像データとの差分はゼロに対
応する。なおノードFD1の電位は、画素IPIXで保持される差分データに相当する。
1の電位に応じて、信号線OUTに撮像データに対応する信号が出力される。なお、当該
信号の電位は、第1の撮像データと第2の撮像データとの差分はゼロの場合の電位になる
。また、信号線OUTから出力される信号の電位は、ノードFD1で保持された差分デー
タに相当する電位である。
、時刻T11乃至時刻T15と同様に第1の撮像データと第2の撮像データとの差分がゼ
ロの場合に相当する。
る。特に、第1の撮像データと第2の撮像データとの差分が有限(負)の場合に相当する
。時刻T31乃至時刻T32において、信号線PRを”H”、信号線FRを”L”、信号
線TXを”H”とする。この時、ノードFD2の電位は電源線VPRの電位(V2)に設
定される。すなわち、時刻T12乃至時刻T13における電圧降下分(ΔV2)、電位が
上昇する。一方、容量素子121と、容量素子122とトランジスタ114のゲート容量
と、の容量結合により、ノードFD1の電位も上昇するが、上昇分(ΔV1)は、時刻T
12乃至時刻T13における電圧降下分に相当する。すなわち、電源線VFRの電位(V
1)に、時刻T03乃至時刻T04における電圧降下分(ΔV1)を加えた電位(V1+
ΔV1)となる。時刻T32乃至時刻T33において、信号線PRを”L”、信号線FR
を”L”、信号線TXを”H”とする。この時、フォトダイオード123に照射する光に
応じて、ノードFD2の電位は低下し、また、容量素子121と、容量素子122とトラ
ンジスタ114のゲート容量との容量結合により、ノードFD1の電位も低下する。なお
、フォトダイオード123に照射する光は、時刻T12乃至時刻T13に照射した光より
強いとする。ここで、時刻T32乃至時刻T33の間隔をTとすると、ノードFD2の電
圧降下分(ΔV2’)は時刻T12乃至時刻T13での降下分(ΔV2)より大きい(Δ
V2’>ΔV2)。また、ノードFD1の電圧降下分(ΔV1’=ΔV2’・α)も時刻
T12乃至時刻T13での降下分(ΔV1)より大きい(ΔV1’>ΔV1)。したがっ
て、ノードFD1の電位(V1+ΔV1−ΔV1’)は、電源線VFRの電位(V1)よ
り低いことになる。これは、第1の撮像データと第2の撮像データとの差分が有限(負)
に対応する。
1の電位に応じて、信号線OUTに撮像データに対応する信号が出力される。なお、当該
信号の電位は、時刻T24乃至時刻T25における当該信号の電位より低く、第1の撮像
データと第2の撮像データとの差分が有限(負)の場合の電位になる。
る。特に、第1の撮像データと第2の撮像データとの差分が再びゼロの場合に相当する。
時刻T41乃至時刻T42において、信号線PRを”H”、信号線FRを”L”、信号線
TXを”H”とする。この時、ノードFD2の電位は電源線VPRの電位(V2)に設定
される。すなわち、時刻T32乃至時刻T33における電圧降下分(ΔV2’)、電位が
上昇する。一方、容量素子121と、容量素子122とトランジスタ114のゲート容量
と、の容量結合により、ノードFD1の電位も上昇するが、上昇分(ΔV1’)は、時刻
T32乃至時刻T33における電圧降下分に相当する。すなわち、電源線VFRの電位(
V1)に、時刻T03乃至時刻T04における電圧降下分(ΔV1)を加えた電位(V1
+ΔV1)となる。時刻T42乃至時刻T43において、信号線PRを”L”、信号線F
Rを”L”、信号線TXを”H”とする。この時、フォトダイオード123に照射する光
に応じて、ノードFD2の電位は低下し、また、容量素子121と、容量素子122とト
ランジスタ114のゲート容量と、の容量結合により、ノードFD1の電位も低下する。
なお、フォトダイオード123に照射する光が強い程、ノードFD2の電位は低下する。
また、ノードFD1の電位も低下する。ここで、時刻T42乃至時刻T43の間隔をTと
し、時刻T02乃至時刻T04と同強度の光がフォトダイオード123に照射しているも
のとすると、ノードFD2の電圧降下分は時刻T03乃至時刻T04での降下分ΔV2に
等しい。また、ノードFD1の電圧降下分も時刻T03乃至時刻T04での降下分ΔV1
に等しい。したがって、ノードFD1の電位は、V1になる。これは、第1の撮像データ
と第2の撮像データとの差分がゼロに対応する。時刻T44乃至時刻T45において、信
号線SELを”H”とする。この時、ノードFD1の電位に応じて、信号線OUTに撮像
データに対応する信号が出力される。なお、当該信号の電位は、第1の撮像データと第2
の撮像データとの差分がゼロの場合の電位になる。
る。特に、第1の撮像データと第2の撮像データとの差分が有限(正)の場合に相当する
。時刻T51乃至時刻T52において、信号線PRを”H”、信号線FRを”L”、信号
線TXを”H”とする。この時、ノードFD2の電位は電源線VPRの電位(V2)に設
定される。すなわち、時刻T42乃至時刻T43における電圧降下分(ΔV2)、電位が
上昇する。一方、容量素子121と、容量素子122とトランジスタ114のゲート容量
と、の容量結合により、ノードFD1の電位も上昇するが、上昇分(ΔV1)は、時刻T
42乃至時刻T43における電圧降下分に相当する。すなわち、電源線VFRの電位(V
1)に、時刻T03乃至時刻T04における電圧降下分(ΔV1)を加えた電位(V1+
ΔV1)となる。
TXを”H”とする。この時、フォトダイオード123に照射する光に応じて、ノードF
D2の電位は低下し、また、容量素子121と、容量素子122とトランジスタ114の
ゲート容量と、の容量結合により、ノードFD1の電位も低下する。なお、フォトダイオ
ード123に照射する光は、時刻T12乃至時刻T13に照射した光より弱いとする。
V2’’)は時刻T12乃至時刻T13での降下分(ΔV2)より小さい(ΔV2’’<
ΔV2)。また、ノードFD1の電圧降下分(ΔV1’’=ΔV2’’・α)も時刻T1
2乃至時刻T13での降下分(ΔV1)より小さい(ΔV1’’<ΔV1)。したがって
、ノードFD1の電位(V1+ΔV1−ΔV1’’)は、電源線VFRの電位(V1)よ
り高いことになる。これは、第1の撮像データと第2の撮像データとの差分が有限(正)
に対応する。
1の電位に応じて、信号線OUTに撮像データに対応する信号が出力される。なお、当該
信号の電位は、時刻T24乃至時刻T25における当該信号の電位より高く、第1の撮像
データと第2の撮像データとの差分が有限(正)の場合の電位になる。
する場合について説明したが、第1の撮像データと第2の撮像データとの差分データが取
得できれば十分な場合、すなわち、第1の撮像データを出力する必要が無い場合は、時刻
T03乃至時刻T06の動作を省略することが可能である。時刻T03乃至時刻T06の
動作を省略した場合の動作は次のようになる。すなわち、時刻T11乃至時刻T12にお
いて、信号線PRを”H”、信号線FRを”L”、信号線TXを”H”とした時、ノード
FD2の電位は時刻T03における電位V2−ΔV2から電位V2に設定される。また、
ノードFD1の電位は時刻T03における電位V1から電位V1+ΔV1に上昇する。な
お、時刻T12以降の動作は、上記と同様に説明できる。
フレームの撮像データと現フレームの撮像データとの差分データの保持及び出力、をする
ことができる。
られていてもよい。例えば、図17(A)に示す画素IPIXのように、フォトダイオー
ド123A及びフォトダイオード123Bを設け、トランジスタ111Aのゲートに信号
線TXAを接続し、トランジスタ111Bのゲートに信号線TXBを接続してもよい。あ
るいは、例えば、図17(B)に示す画素IPIXのように、フォトダイオード123A
乃至123Cを設け、トランジスタ111Aのゲートに信号線TXAを接続し、トランジ
スタ111Bのゲートに信号線TXBを接続し、トランジスタ111Cのゲートに信号線
TXCを接続してもよい。
オードの受光面の大きさを異ならせた素子を配置してもよい。この場合、図18(A)に
図示する画素IPIXのように、トランジスタ毎に異なる大きさの受光面を有するフォト
ダイオード123Aとフォトダイオード123Bとを設ける構成とすればよい。なおフォ
トダイオード123Aは電源線VPD_Aに接続され、フォトダイオード123Bは電源
線VPD_Bに接続される。電源線VPD_Aと電源線VPD_Bとは、同じ電位でもよ
いし、異なる電位でもよい。または、図18(B)に図示する画素IPIXのように、一
つのトランジスタ111に異なる大きさの受光面を有するフォトダイオード123Aとフ
ォトダイオード123Bとを設ける構成としてもよい。図18(A)あるいは図18(B
)の構成とすることで、分光感度の異なるフォトダイオードを設け、明暗の異なる場所の
撮像を同時に行うことができる。なおフォトダイオード間の分光感度を異ならせる手段と
しては、フォトダイオードの受光面の大きさを異ならせる他、異なる種類の半導体材料を
受光面に設けて実現してもよい。
向きに流れるとして動作を説明したが、逆方向でもよい。すなわち、トランジスタ114
を流れる電流は、信号線OUTから電源線VOの向きに流れる回路構成としてもよい。こ
の場合、例えば、図19に示す画素IPIXの回路構成としてもよい。なお図19に示す
画素IPIXの回路構成の場合、電源線VOに低電位を与え、信号線OUTに高電位を与
える構成とすればよい。
じ配線としてもよい。例えば、図20(A)に示す画素IPIXのように、高電位を与え
る電源線VCと電源線VOとを同じ配線としてもよい。または、図20(B)に示す画素
IPIXのように、高電位を与える電源線VPRと電源線VCとを同じ配線としてもよい
。または、図21(A)に示す画素IPIXのように、高電位を与える電源線VPRと電
源線VOとを同じ配線としてもよい。または、図21(B)に示す画素IPIXのように
、高電位を与える電源線VPRと電源線VCと電源線VOとを同じ配線としてもよい。
く、簡単な構成でビデオ電圧を更新するための判定信号を生成し、ビデオ電圧の更新頻度
を少なくすることで消費電力の低減を実現できる、新規な構成の表示システムとすること
ができる。
次いで撮像装置IMAGが含むアナログ処理回路Analogの構成の一例について図6
乃至8を用いて説明する。本実施の形態では、アナログ処理回路Analogが取りうる
回路構成について、2つの回路構成を説明する。
回路ABS[1]乃至ABS[n]、加算回路SUMを有する。
信号線OUT[1]乃至信号線OUT[n]の電位の減算演算を行う。ここで、参照電位
VREFは、画素IPIXと等価な回路構成のダミー回路を用意し、ノードFD1の電位
をVFRとした時の信号線OUTの電位とすることで、生成することができる。減算回路
SUB[1]乃至減算回路SUB[n]は、各々OPアンプOP0、抵抗R01乃至抵抗
R04を有する。ここで、減算回路SUB[1]について、信号線OUT[1]の電位V
10、VREFの電位をV20とする。また、抵抗R01乃至抵抗R04の抵抗値を下記
の式(1)、(2)を満たすように設定する。
る。
回路SUB[n]の出力の絶対値を各々出力する。絶対値回路ABS[1]乃至絶対値回
路ABS[n]は、各々OPアンプOP11、OPアンプOP12、抵抗R11乃至抵抗
R15、ダイオードD11、ダイオードD12を有する。ここで、絶対値回路ABS[1
]について、入力信号を電位V10’とし、R11=R12、R13×2=R14=R1
5となるように抵抗値を設定すると、絶対値回路ABS[1]の出力V0’=|V10’
|となる。
できる。
力する。加算回路SUMは、OPアンプOP21、OPアンプOP22、抵抗R21乃至
抵抗R2n、抵抗R31乃至抵抗R33を有する。ここで、絶対値回路ABS[1]乃至
絶対値回路ABS[n]の各々の出力の電位をV10’’乃至Vn0’’とし、R21=
(中略)=R2n=R31、R32=R33となるように抵抗値を設定すると、加算回路
SUMの出力は、V10’’+(中略)+ Vn0’’となる。これを判定信号TRIG
とすると、第1の撮像データと第2の撮像データが同一の場合、判定信号TRIGは”L
”となる。一方、第1の撮像データと第2の撮像データが異なる場合、判定信号TRIG
は”H”となる。
トランジスタ139、トランジスタ140、トランジスタ141、トランジスタ142、
トランジスタ143、トランジスタ144、トランジスタ145、トランジスタ146、
トランジスタ147、トランジスタ148、容量149、コンパレータCMP+、コンパ
レータCMP−、から構成される。参照電位線Vref+、参照電位線Vref−の電位
は適宜設定する。
号線ATCを”H”とする。また、信号線FRを”H”、信号線SEL[x]を”H”と
する。なお信号線SEL[x]は、任意の行(第x行;xはm以下の自然数)の信号線S
ELである。この時、第y列の信号線OUT[y](yはn以下の自然数)に供給される
電流は、第x行における各画素PIXのトランジスタ114のゲート電位をVFRとした
時の電流値、すなわち、基準フレームの撮像データと現フレームの撮像データとで差分が
ゼロの時の電流量I0[y]になる。この電流量I0[y]は、(第y列の)基準電流量
という場合もある。なお、各列の基準電流量にあたる電流量I0[1]乃至電流量I0[
n]は常に同じではないが、以下の議論で明らかなように、電流量I0[1]乃至電流量
I0[n]の個々の値は、回路の動作に直接影響しない。したがって、以後、電流量I0
[1]乃至電流量I0[n]はすべて電流量I0と表記する。
I0に等しく、また、電流Ic[1]乃至電流Ic[n]の電流値も電流値I0に等しい
。さらに、トランジスタ138により、ドレインとゲートを接続されたトランジスタ13
7に流れる電流の電流値も電流値I0に等しい。特に、容量149に充電される電位は、
電流値I0を流すのに必要なゲート電圧に相当する電位に設定される。
号線ATCを”L”とし、信号線SEL[1]を”H”とする。この時、第1の行におけ
る各画素の差分データに相当する電流が各列の信号線OUT[1]乃至信号線OUT[n
]に供給される。ここで、第1の行における各画素の差分データはゼロとすると、各列の
信号線OUT[1]乃至信号線OUT[n]に供給される電流の電流値はI0、トランジ
スタ136を介して流れる電流Ip[1]乃至電流Ip[n]の電流値はI0に等しく、
また、電流Ic[1]乃至電流Ic[n]の電流値もI0に等しい。
号線ATCを”L”とし、信号線SEL[2]を”H”とする。この時、第2の行におけ
る各画素の差分データに相当する電流が各列の信号線OUT[1]乃至信号線OUT[n
]に供給される。ここで、第2の行における各画素の差分データは有限(負)とし、第y
列の信号線OUT[v]に供給される電流の電流値を(I0−ΔIv)とすると、第v列
のトランジスタ136を介して流れる電流Ip[v]は(I0−ΔIv)に等しく、また
、電流Ic[v]の電流値はI0に等しいため、第v列のトランジスタ139とトランジ
スタ140を介して、電流値ΔIvの電流が流れることになる。
、これらの和に相当する電流値 I−の電流を供給する必要がある。ここで、コンパレー
タCMP−とトランジスタ142の働きにより、当該電流 I−が供給される。ここで、
トランジスタ142を介して各列のトランジスタ140に供給される電流の和がI−より
少ない(多い)場合は、コンパレータCMP−の+端子の電位が下がる(上がる)ことに
なり、コンパレータの出力は低下(上昇)する。すなわち、トランジスタ142のゲート
電圧が低下(上昇)し、より多い(少ない)電流 I−を供給することができるようにな
る。
ため、トランジスタ142に対するトランジスタ143のW/L比(n1)倍した電流n
1・I−がトランジスタ143に流れる。また、トランジスタ148とトランジスタ14
3とで構成されるバッファにより、信号TRIGが”H”となる。なおトランジスタ14
8は、ゲートにバイアス電圧biasが与えられる。バイアス電圧biasは適宜設定す
ることができる。
号線ATCを”L”とし、信号線SEL[m]を”H”とする。この時、第mの行におけ
る各画素の差分データに相当する電流が各列の信号線OUT[1]乃至信号線OUT[n
]に供給される。ここで、第mの行における各画素の差分データは、第1列が有限(正)
、第2列が有限(正)、第n列が有限(負)、その他の列がゼロとし、各列の信号線OU
T[1]、信号線OUT[2]、信号線OUT[n]に供給される電流の電流が(I0+
ΔI1)、(I0+ΔI2)、(I0−ΔIn)とすると、トランジスタ136を介して
流れる電流Ip[1]、電流Ip[2]、電流Ip[n]の電流値は(I0+ΔI1)、
(I0+ΔI2)、(I0−ΔIn)に等しく、また、電流Ic[1]乃至電流Ic[n
]の電流値はI0に等しいため、第1列、第2列のトランジスタ139とトランジスタ1
40を介して、電流値ΔI1、ΔI2の電流が流れ、第n列のトランジスタ139とトラ
ンジスタ141を介して、電流値ΔInの電流が流れることになる。
には、これらの和に相当する電流値 I−=ΔI1+ΔI2の電流を供給する必要がある
。ここで、コンパレータCMP−とトランジスタ142の働きにより、当該電流 I−が
供給される。ここで、トランジスタ142を介して各列のトランジスタ140に供給され
る電流 I−がΔI1+ΔI2より少ない(多い)場合は、コンパレータCMP−の+端
子の電位が下がる(上がる)ことになり、コンパレータCMP−の出力は低下(上昇)す
る。すなわち、トランジスタ142のゲート電圧が低下(上昇)し、より多い(少ない)
電流 I−を供給することができるようになる。
=ΔInの電流を流す必要がある。ここで、コンパレータCMP+とトランジスタ144
の働きにより、当該電流I+が流せる。ここで、第n列のトランジスタ141からトラン
ジスタ144に流れ込める電流I+がΔInより少ない(多い)場合は、コンパレータC
MP+の+端子の電位が上がる(下がる)ことになり、コンパレータの出力は上昇(低下
)する。すなわち、トランジスタ144のゲート電圧が上昇(低下)し、より多い(少な
い)電流 I+を流すことができるようになる。
め、トランジスタ142に対するトランジスタ143のW/L比(n1)倍した電流n1
・I−がトランジスタ143に流れる。
ため、トランジスタ144に対するトランジスタ145のW/L比(n2)倍した電流n
2・I+がトランジスタ145に流れる。トランジスタ145に流れる電流がトランジス
タ146にも流れ、さらに、トランジスタ146に対するトランジスタ147のW/L比
(n3)倍した電流n3・n2・I+がトランジスタ147に流れる。トランジスタ14
8とトランジスタ143とトランジスタ147とで構成されるバッファにより、判定信号
TRIGが”H”となる。
く、簡単な構成でビデオ電圧を更新するための判定信号を生成できる。
図9(A)は、一例として、表示装置DISPの構成のうち、画素DPIX、ソースドラ
イバS_DRV、及びゲートドライバG_DRVを示すブロック図である。図9(A)で
は、ゲートドライバG_DRVに接続されるゲート線x_1乃至x_m(mは自然数)、
ソースドライバS_DRVに接続されるソース線y_1乃至y_n(nは自然数)とし、
画素DPIXではそれぞれに(1,1)乃至(n,m)の符号を付している。
える信号のタイミングチャート図である。図9(B)では、ビデオ電圧を書き換えるフレ
ームと、ビデオ電圧を書き換えないフレームと、に分けて示している。また、図9(B)
では、帰線期間等の期間を考慮していない。
き換える。この場合、x_1乃至x_mのゲート線には、順に走査信号が与えられる。走
査信号がHレベルの期間である水平走査期間1Hでは、各列のソース線y_1乃至y_n
には、ビデオ電圧Dが与えられる。
。この場合、x_1乃至x_mのゲート線に与える走査信号を停止する。また水平走査期
間1Hでは、各列のソース線y_1乃至y_nに与えるビデオ電圧Dの供給を停止する。
子として液晶素子を用いる画素の例であり、図10(B)は、表示素子として発光素子を
用いる画素の例である。
を有する。
ング素子であり、そのゲートから入力される走査信号によりオン、オフが制御される。な
おトランジスタTrには、オフ電流を小さくできるOSトランジスタが好適である。
発光素子ELを有する。
制御するスイッチング素子であり、そのゲートから入力される走査信号によりオン、オフ
が制御される。なおトランジスタTr1には、オフ電流を小さくできるOSトランジスタ
が好適である。またトランジスタTr2のソース又はドレインには、電源線L_Vが電気
的に接続される。
示するために、酸化物半導体を用いたトランジスタの回路記号に「OS」の記載を付して
いる。
通状態、遮断状態、ともいう)にあるときのドレイン電流をいう。オフ状態とは、特に断
りがない場合、nチャネル型トランジスタでは、ゲートとソースの間の電圧Vgsがしき
い値電圧Vthよりも低い状態、pチャネル型トランジスタでは、ゲートとソースの間の
電圧Vgsがしきい値電圧Vthよりも高い状態をいう。例えば、nチャネル型のトラン
ジスタのオフ電流とは、ゲートとソースの間の電圧Vgsがしきい値電圧Vthよりも低
いときのドレイン電流を言う場合がある。
電流がI以下である、とは、トランジスタのオフ電流がI以下となるVgsの値が存在す
ることを言う場合がある。トランジスタのオフ電流は、所定のVgsにおけるオフ状態、
所定の範囲内のVgsにおけるオフ状態、または、十分に低減されたオフ電流が得られる
Vgsにおけるオフ状態、等におけるオフ電流を指す場合がある。
電流が1×10−9Aであり、Vgsが0.1Vにおけるドレイン電流が1×10−13
Aであり、Vgsが−0.5Vにおけるドレイン電流が1×10−19Aであり、Vgs
が−0.8Vにおけるドレイン電流が1×10−22Aであるようなnチャネル型トラン
ジスタを想定する。当該トランジスタのドレイン電流は、Vgsが−0.5Vにおいて、
または、Vgsが−0.5V乃至−0.8Vの範囲において、1×10−19A以下であ
るから、当該トランジスタのオフ電流は1×10−19A以下である、と言う場合がある
。当該トランジスタのドレイン電流が1×10−22A以下となるVgsが存在するため
、当該トランジスタのオフ電流は1×10−22A以下である、と言う場合がある。
流れる電流値で表す場合がある。また、所定のチャネル幅(例えば1μm)あたりを流れ
る電流値で表す場合がある。後者の場合、オフ電流の単位は、電流/長さの次元を持つ単
位(例えば、A/μm)で表される場合がある。
、特に記載がない場合、室温、60℃、85℃、95℃、または125℃におけるオフ電
流を表す場合がある。または、当該トランジスタが含まれる半導体装置等に要求される信
頼性において用いられる温度、または、当該トランジスタが含まれる半導体装置等が使用
される温度(例えば、5℃乃至35℃のいずれか一の温度)におけるオフ電流、を表す場
合がある。トランジスタのオフ電流がI以下である、とは、室温、60℃、85℃、95
℃、125℃、当該トランジスタが含まれる半導体装置に要求される信頼性において用い
られる温度、または、当該トランジスタが含まれる半導体装置等が使用される温度(例え
ば、5℃乃至35℃のいずれか一の温度)、におけるトランジスタのオフ電流がI以下と
なるVgsの値が存在することを指す場合がある。
本明細書において、オフ電流は、特に記載がない場合、Vdsが0.1V、0.8V、1
V、1.2V、1.8V、2.5V、3V、3.3V、10V、12V、16V、または
20Vにおけるオフ電流を表す場合がある。または、当該トランジスタが含まれる半導体
装置等に要求される信頼性において用いられるVds、または、当該トランジスタが含ま
れる半導体装置等において使用されるVdsにおけるオフ電流、を表す場合がある。トラ
ンジスタのオフ電流がI以下である、とは、Vdsが0.1V、0.8V、1V、1.2
V、1.8V、2.5V、3V、3.3V、10V、12V、16V、20V、当該トラ
ンジスタが含まれる半導体装置に要求される信頼性において用いられるVds、または、
当該トランジスタが含まれる半導体装置等において使用されるVds、におけるトランジ
スタのオフ電流がI以下となるVgsの値が存在することを指す場合がある。
は、トランジスタがオフ状態にあるときのソースを流れる電流を言う場合もある。
スとドレインとの間に流れる電流を指す場合がある。
ができればよい。そのため、オフ電流の小さいトランジスタを用いる構成に限らない。画
素DPIXは、画素内にビデオ電圧を保持可能なメモリを有する構成でもよい。
モリmemを有することで、ビデオデータを保持することができる。メモリとしては、S
RAMやDRAM等におけるメモリ回路を適用すればよい。図25(B)には、メモリm
emにSRAMを適用した場合の回路図の一例を示す。
DPIXのトランジスタ付近の断面の模式図であり、図24(B)のC−Dは、端子部付
近の断面の模式図である。
モン電極303、絶縁膜304、配向膜305、液晶306、基板307、配向膜308
、配線309、封止層310、FPC311、導電性樹脂312を示している。
電界方式(例えばIPS(In−Plane−Switching)モード、FFS(F
ringe Field Switching)モード)の液晶表示装置を示しているが
、所謂縦電界方式(例えば、TNモード、VAモード、MVAモード、PVAモード、S
TNモード、OCBモードなど)としてもよい。
であればよい。一例としては、OSトランジスタであることが好ましい。
としては、インジウム錫酸化物(ITO)を用いることができる。
本発明の一態様はこれに限らず、様々な形態、又は様々な素子を有することが出来る。表
示素子、表示装置、発光素子又は発光装置は、例えば、EL(エレクトロルミネッセンス
)素子(有機物及び無機物を含むEL素子、有機EL素子、無機EL素子)、LED(白
色LED、赤色LED、緑色LED、青色LEDなど)、トランジスタ(電流に応じて発
光するトランジスタ)、電子放出素子、液晶素子、電子インク、電気泳動素子、グレーテ
ィングライトバルブ(GLV)、プラズマディスプレイ(PDP)、MEMS(マイクロ
・エレクトロ・メカニカル・システム)を用いた表示素子、デジタルマイクロミラーデバ
イス(DMD)、DMS(デジタル・マイクロ・シャッター)、MIRASOL(登録商
標)、IMOD(インターフェアレンス・モジュレーション)素子、シャッター方式のM
EMS表示素子、光干渉方式のMEMS表示素子、エレクトロウェッティング素子、圧電
セラミックディスプレイ、カーボンナノチューブなどの少なくとも一つを有している。こ
れらの他にも、電気的または磁気的作用により、コントラスト、輝度、反射率、透過率な
どが変化する表示媒体を有していても良い。EL素子を用いた表示装置の一例としては、
ELディスプレイなどがある。電子放出素子を用いた表示装置の一例としては、フィール
ドエミッションディスプレイ(FED)又はSED方式平面型ディスプレイ(SED:S
urface−conduction Electron−emitter Displ
ay)などがある。液晶素子を用いた表示装置の一例としては、液晶ディスプレイ(透過
型液晶ディスプレイ、半透過型液晶ディスプレイ、反射型液晶ディスプレイ、直視型液晶
ディスプレイ、投射型液晶ディスプレイ)などがある。電子インク、電子粉流体(登録商
標)、又は電気泳動素子を用いた表示装置の一例としては、電子ペーパーなどがある。な
お、半透過型液晶ディスプレイや反射型液晶ディスプレイを実現する場合には、画素電極
の一部、または、全部が、反射電極としての機能を有するようにすればよい。例えば、画
素電極の一部、または、全部が、アルミニウム、銀、などを有するようにすればよい。さ
らに、その場合、反射電極の下に、SRAMなどの記憶回路を設けることも可能である。
これにより、さらに、消費電力を低減することができる。なお、LEDを用いる場合、L
EDの電極や窒化物半導体の下に、グラフェンやグラファイトを配置してもよい。グラフ
ェンやグラファイトは、複数の層を重ねて、多層膜としてもよい。このように、グラフェ
ンやグラファイトを設けることにより、その上に、窒化物半導体、例えば、結晶を有する
n型GaN半導体層などを容易に成膜することができる。さらに、その上に、結晶を有す
るp型GaN半導体層などを設けて、LEDを構成することができる。なお、グラフェン
やグラファイトと、結晶を有するn型GaN半導体層との間に、AlN層を設けてもよい
。なお、LEDが有するGaN半導体層は、MOCVDで成膜してもよい。ただし、グラ
フェンを設けることにより、LEDが有するGaN半導体層は、スパッタ法で成膜するこ
とも可能である。
体基板(例えば単結晶基板又はシリコン基板)、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プ
ラスチック基板、金属基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有
する基板、タングステン基板、タングステン・ホイルを有する基板、可撓性基板、貼り合
わせフィルム、繊維状の材料を含む紙、又は基材フィルムなどがある。ガラス基板の一例
としては、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、又はソーダライムガ
ラスなどがある。可撓性基板、貼り合わせフィルム、基材フィルムなどの一例としては、
以下のものがあげられる。例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレ
ンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)、ポリテトラフルオロエ
チレン(PTFE)に代表されるプラスチックがある。または、一例としては、アクリル
等の合成樹脂などがある。または、一例としては、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリ
フッ化ビニル、又はポリ塩化ビニルなどがある。または、一例としては、ポリアミド、ポ
リイミド、アラミド、エポキシ、無機蒸着フィルム、又は紙類などがある。特に、半導体
基板、単結晶基板、又はSOI基板などを用いてトランジスタを製造することによって、
特性、サイズ、又は形状などのばらつきが少なく、電流能力が高く、サイズの小さいトラ
ンジスタを製造することができる。このようなトランジスタによって回路を構成すると、
回路の低消費電力化、又は回路の高集積化を図ることができる。
よい。または、基板とトランジスタの間に剥離層を設けてもよい。剥離層は、その上に半
導体装置を一部あるいは全部完成させた後、基板より分離し、他の基板に転載するために
用いることができる。その際、トランジスタは耐熱性の劣る基板や可撓性の基板にも転載
できる。なお、上述の剥離層には、例えば、タングステン膜と酸化シリコン膜との無機膜
の積層構造の構成や、基板上にポリイミド等の有機樹脂膜が形成された構成等を用いるこ
とができる。
置し、別の基板上にトランジスタを配置してもよい。トランジスタが転置される基板の一
例としては、上述したトランジスタを形成することが可能な基板に加え、紙基板、セロフ
ァン基板、アラミドフィルム基板、ポリイミドフィルム基板、石材基板、木材基板、布基
板(天然繊維(絹、綿、麻)、合成繊維(ナイロン、ポリウレタン、ポリエステル)若し
くは再生繊維(アセテート、キュプラ、レーヨン、再生ポリエステル)などを含む)、皮
革基板、又はゴム基板などがある。これらの基板を用いることにより、特性のよいトラン
ジスタの形成、消費電力の小さいトランジスタの形成、壊れにくい装置の製造、耐熱性の
付与、軽量化、又は薄型化を図ることができる。
画像を表示する第1の表示モードと、画像データを用いることなくビデオ電圧を保持し続
けて画像を表示する第2の表示モードと、を切り替えて表示装置を動作させることができ
る。
本実施の形態では、上記実施の形態で説明した画素IPIXの変形例について説明する。
体とする回路図の変形例を示す。図11(A)に示す画素IPIXでは、トランジスタ1
11乃至115を、酸化物半導体を半導体層に有する構成としている。
、撮像のダイナミックレンジを拡大することができる。図11(A)に示す回路図では、
フォトダイオードに入射される光の強度が大きいときにノードFD1の電位が小さくなる
。OSトランジスタは極めて低いオフ電流特性を有するため、ゲート電位が極めて小さい
場合においても当該ゲート電位に応じた電流を正確に出力することができる。したがって
、検出することのできる照度のレンジ、すなわちダイナミックレンジを広げることができ
る。
保持できる期間を極めて長くすることができることから、回路構成や動作方法を複雑にす
ることなくグローバルシャッタ方式を適用することができる。したがって、動体であって
も歪の小さい画像を容易に得ることができる。また、同様の理由により露光時間(電荷の
蓄積動作を行う期間)を長くすることもできることから、低照度環境における撮像にも適
する。
タともいう)よりも電気特性変動の温度依存性が小さい。そのため、極めて広い温度範囲
で使用することができる。したがって、OSトランジスタを有する撮像装置および半導体
装置は、自動車、航空機、宇宙機などへの搭載にも適している。
ドと、OSトランジスタと、で構成することができる。このような構成とすることで、画
素にSiトランジスタを形成する必要が無いため、フォトダイオードの有効面積を増大す
ることが容易になる。したがって、撮像感度を向上することができる。
、行ドライバR_DRV、列ドライバC_DRVなどの周辺回路をOSトランジスタで形
成する構成が有効である。周辺回路をOSトランジスタのみで形成する構成は、Siトラ
ンジスタの形成工程が不要となるため、撮像装置の低価格化に有効である。また、周辺回
路をOSトランジスタとP型Siトランジスタのみで形成する構成は、N型Siトランジ
スタの形成工程が不要となるため、撮像装置の低価格化に有効である。さらに、周辺回路
をCMOS回路とすることができるので、周辺回路の低消費電力化、すなわち、撮像装置
の低消費電力化に有効である。
示す。図11(B)に示す画素IPIXでは、トランジスタ114、115を、シリコン
を半導体層に有する構成としている。
特性を有する。そのため、増幅トランジスタとして機能するトランジスタに流れる電流値
を増やすことができる。例えば、図11(B)においてノードFD1に蓄積された電荷に
応じて、トランジスタ114、115に流れる電流値を増やすことができる。
画素IPIXの回路図を示す。
であることが好ましい。あるいは、与えられる物理量を一度別の物理量に変換した上で、
素子を流れる電流値に変換できる素子であることが好ましい。
、温度センサ、光センサ、ガスセンサ、炎センサ、煙センサ、湿度センサ、圧力センサ、
流量センサ、振動センサ、音声センサ、磁気センサ、放射線センサ、匂いセンサ、花粉セ
ンサ、加速度センサ、傾斜角センサ、ジャイロセンサ、方位センサ、電力センサなどを用
いることができる。
フォトトランジスタを用いることが可能である。
体にガスが吸着することによる抵抗の変化を検出する半導体式ガスセンサ、接触燃焼式ガ
スセンサ、固体電解質式ガスセンサなどを用いることが可能である。
の回路図におけるセンサSISをセレン系半導体SSeとする画素IPIXの回路図を示
す。
取り出すことのできる、アバランシェ増倍という現象を利用して光電変換が可能な素子で
ある。従って、セレン系半導体SSeを有する画素IPIXでは、入射される光量に対す
る電子の増幅を大きく、高感度のセンサとすることができる。
するセレン系半導体を用いることができる。結晶性を有するセレン系半導体は、一例とし
て、非晶質性を有するセレン系半導体を成膜後、熱処理することで得ればよい。なお結晶
性を有するセレン系半導体の結晶粒径を画素ピッチより小さくすることで、画素ごとの特
性ばらつきが低減し、得られる画像の画質が均一になり好ましい。
帯域にわたって有するといった特性を有する。そのため、可視光や紫外光に加えて、X線
やガンマ線といった幅広い波長帯域の光電変換素子として利用することができ、X線やガ
ンマ線といった短い波長帯域の光を直接電荷に変換できる、所謂直接変換型の素子として
用いることができる。
ある。図22(B)では、トランジスタ111、トランジスタ111に接続される電極E
PIX、セレン系半導体SSe、電極EVPD、及び基板Subを図示している。
入射する。そのため電極EVPD、及び基板Subは透光性を有することが好ましい。電
極EVPDとしては、インジウム錫酸化物(ITO:Indium Tin Oxide
)を用い、基板Subとしては、ガラス基板を用いることができる。
素ごとに形状を加工することなく用いることができる。形状を加工するための工程を削減
することができるため、作製コストの低減、及び作製歩留まりの向上を図ることができる
。
できる。具体例としては、CuIn1−xGaxSe2(0≦x≦1)(CIGSと略記
)を挙げることができる。CIGSは、蒸着法、スパッタリング法等を用いて形成するこ
とができる。
電圧を印加することで、アバランシェ増倍を発現できる。セレン系半導体SSeに電圧を
印加して光の照射によって生じる信号電荷の移動における直進性を高めることができる。
なおセレン系半導体SSeの膜厚は、1μm以下と薄くすることで、印加する電圧を小さ
くできる。
カルコパイライト系半導体であるCIGSに暗電流が流れることを防ぐための層(正孔注
入障壁層)を設けることで、暗電流が流れることを抑制できる。正孔注入障壁層としては
、酸化物半導体を用いればよく、一例としては酸化ガリウムを用いることができる。正孔
注入障壁層の膜厚は、セレン系半導体SSeの膜厚より小さいことが好ましい。
は、トランジスタ111、トランジスタ111に接続される電極EPIX、セレン系半導
体SSe、電極EVPD、及び基板Subの他に、正孔注入障壁層EOSを図示している
。
減、及び作製歩留まりの向上、画素ごとの特性ばらつき低減することができ、高感度のセ
ンサとすることができる。
本実施の形態では、撮像装置を構成する素子の断面構造について、図面を参照して説明す
る。本実施の形態では一例として、上記実施の形態2で図11(B)を用いて説明した、
Siトランジスタ及びOSトランジスタを用いて画素を構成する断面構造について説明す
る。
撮像装置は、シリコン基板40に設けられたSiトランジスタ51、Siトランジスタ5
1上に積層して設けられたOSトランジスタ52およびOSトランジスタ53、ならびに
シリコン基板40に設けられたフォトダイオード60を含む。各トランジスタおよびフォ
トダイオード60は、種々のコンタクトプラグ70および配線層71と電気的な接続を有
する。また、フォトダイオード60のアノード61は、低抵抗領域63を介してコンタク
トプラグ70と電気的な接続を有する。
オード60を有する層1100と、層1100と接して設けられ、配線層71を有する層
1200と、層1200と接して設けられ、OSトランジスタ52およびOSトランジス
タ53を有する層1300と、層1300と接して設けられ、配線層72および配線層7
3を有する層1400を備えている。
1が形成された面とは逆側の面にフォトダイオード60の受光面を有する構成とする。該
構成とすることで、各種トランジスタや配線などの影響を受けずに光路を確保することが
できる。そのため、高開口率の画素を形成することができる。なお、フォトダイオード6
0の受光面をSiトランジスタ51が形成された面と同じとすることもできる。
を構成する場合には、層1100を、OSトランジスタを有する層とすればよい。または
層1100を省略し、OSトランジスタのみで画素を構成してもよい。
層1300を省略した断面図の一例を図13(B)に示す。
また、シリコン基板40に替えて、ゲルマニウム、シリコンゲルマニウム、炭化シリコン
、ガリウムヒ素、アルミニウムガリウムヒ素、インジウムリン、窒化ガリウム、有機半導
体を材料とする基板を用いることもできる。
する層1100と、OSトランジスタ52およびOSトランジスタ53を有する層130
0との間には絶縁層80が設けられる。
ングボンドを終端し、Siトランジスタ51の信頼性を向上させる効果がある。一方、上
層に設けられるOSトランジスタ52およびOSトランジスタ53等の活性層である酸化
物半導体層の近傍に設けられる絶縁層中の水素は、酸化物半導体中にキャリアを生成する
要因の一つとなるため、OSトランジスタ52およびOSトランジスタ53等の信頼性を
低下させる要因となる場合がある。したがって、シリコン系半導体材料を用いたトランジ
スタの上層に酸化物半導体を用いたトランジスタを積層して設ける場合、これらの間に水
素の拡散を防止する機能を有する絶縁層80を設けることが好ましい。絶縁層80により
、下層に水素を閉じ込めることでSiトランジスタ51の信頼性が向上することに加え、
下層から上層に水素が拡散することが抑制されることでOSトランジスタ52およびOS
トランジスタ53等の信頼性も同時に向上させることができる。
酸化窒化ガリウム、酸化イットリウム、酸化窒化イットリウム、酸化ハフニウム、酸化窒
化ハフニウム、イットリア安定化ジルコニア(YSZ)等を用いることができる。
1300に設けるトランジスタとを重なるように形成することができる。そうすると、画
素の集積度を高めることができる。すなわち、撮像装置の解像度を高めることができる。
もよい。図23(A1)は、撮像装置IMAGを同図中の二点鎖線X1−X2の方向に湾
曲させた状態を示している。図23(A2)は、図23(A1)中の二点鎖線X1−X2
で示した部位の断面図である。図23(A3)は、図23(A1)中の二点鎖線Y1−Y
2で示した部位の断面図である。
かつ、同図中の二点鎖線Y3−Y4の方向に湾曲させた状態を示している。図23(B2
)は、図23(B1)中の二点鎖線X3−X4で示した部位の断面図である。図23(B
3)は、図23(B1)中の二点鎖線Y3−Y4で示した部位の断面図である。
って、撮像装置IMAGと組み合わせて用いるレンズなどの光学設計を容易とすることが
できる。例えば、収差補正のためのレンズ枚数を低減できるため、撮像装置IMAGを用
いた撮像装置などの小型化や軽量化を容易とすることができる。また、撮像された画像の
品質を向上させる事ができる。
本実施の形態では、撮像装置にカラーフィルタ等を付加した形態の一例の断面構造につい
て、図面を参照して説明する。
態の一例の断面図であり、3画素分の回路(回路91a、回路91b、回路91c)が占
める領域を示している。層1100に形成されるフォトダイオード60上には絶縁層15
00が形成される。絶縁層1500は可視光に対して透光性の高い酸化シリコン膜などを
用いることができる。また、パッシベーション膜として窒化シリコン膜を積層する構成と
してもよい。また、反射防止膜として、酸化ハフニウムなどの誘電体膜を積層する構成と
してもよい。
フィルタを通る光の混色を防止する作用を有する。遮光層1510には、アルミニウム、
タングステンなどの金属層や当該金属層と反射防止膜としての機能を有する誘電体膜を積
層する構成とすることができる。
れ、回路91a、回路91bおよび回路91c上においてそれぞれカラーフィルタ153
0a、カラーフィルタ1530bおよびカラーフィルタ1530cが対になるように形成
される。カラーフィルタ1530a、カラーフィルタ1530bおよびカラーフィルタ1
530cには、それぞれR(赤)、G(緑)、B(青)などの色を割り当てることにより
、カラー画像を得ることができる。
上にはマイクロレンズアレイ1540が設けられ、一つのレンズを通る光が直下のカラー
フィルタを通り、フォトダイオードに照射されるようになる。
シリコン基板などの半導体基板、ガラス基板、金属基板、セラミック基板などの硬質基板
を用いることができる。なお、層1400と支持基板1600との間には接着層となる無
機絶縁層や有機樹脂層が形成されていてもよい。
よびカラーフィルタ1530cの代わりに光学変換層1550を用いてもよい(図14(
B)参照)。光学変換層1550を用いることにより、様々な波長領域における画像が得
られる撮像装置とすることができる。
線撮像装置とすることができる。また、光学変換層1550に赤外線の波長以下の光を遮
るフィルタを用いれば、遠赤外線撮像装置とすることができる。また、光学変換層155
0に可視光線の波長以上の光を遮るフィルタを用いれば紫外線撮像装置とすることができ
る。
線の強弱を可視化した画像を得る撮像装置とすることができる。被写体を透過したX線等
の放射線がシンチレータに入射されると、フォトルミネッセンスと呼ばれる現象により可
視光線や紫外光線などの光(蛍光)に変換される。そして、当該光をフォトダイオード6
0で検知することにより画像データを取得する。
て可視光や紫外光を発する物質、または当該物質を含む材料からなり、例えば、Gd2O
2S:Tb、Gd2O2S:Pr、Gd2O2S:Eu、BaFCl:Eu、NaI、C
sI、CaF2、BaF2、CeF3、LiF、LiI、ZnOなどの材料や、それらを
樹脂やセラミクスに分散させたものが知られている。
である。
本実施の形態では、上記実施の形態で説明したOSトランジスタについて説明する。
実質的に真性にすることでオフ電流を低くすることができる。ここで、実質的に真性とは
、酸化物半導体中のキャリア密度が、1×1017/cm3未満であること、好ましくは
1×1015/cm3未満であること、さらに好ましくは1×1013/cm3未満であ
ることを指す。酸化物半導体において、水素、窒素、炭素、シリコン、および主成分以外
の金属元素は不純物となる。例えば、水素および窒素はドナー準位の形成に寄与し、キャ
リア密度を増大させてしまう。
いため、閾値電圧がマイナスとなる電気特性になることが少ない。また、当該酸化物半導
体を用いたトランジスタは、酸化物半導体のキャリアトラップが少ないため、電気特性の
変動が小さく、信頼性の高いトランジスタとなる。また、当該酸化物半導体を用いたトラ
ンジスタは、オフ電流を非常に低くすることが可能となる。
mあたりの規格化されたオフ電流が1×10−18A以下、好ましくは1×10−21A
以下、更に好ましくは1×10−24A以下、又は85℃にて1×10−15A以下、好
ましくは1×10−18A以下、更に好ましくは1×10−21A以下とすることができ
る。
にソースとドレインとの間に流れる電流をいう。nチャネル型トランジスタの閾値電圧が
、例えば、0V乃至2V程度であれば、ゲートとソースの間に印加される電圧が負の電圧
の場合に、ソースとドレインとの間を流れる電流をオフ電流ということができる。
(In)又は亜鉛(Zn)を含むことが好ましい。特にIn及びZnを含むことが好まし
い。また、それらに加えて、酸素を強く結びつけるスタビライザーを有することが好まし
い。スタビライザーとしては、ガリウム(Ga)、スズ(Sn)、ジルコニウム(Zr)
、ハフニウム(Hf)及びアルミニウム(Al)の少なくともいずれかを有すればよい。
Ce)、プラセオジム(Pr)、ネオジム(Nd)、サマリウム(Sm)、ユウロピウム
(Eu)、ガドリニウム(Gd)、テルビウム(Tb)、ジスプロシウム(Dy)、ホル
ミウム(Ho)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、イッテルビウム(Yb)、ル
テチウム(Lu)のいずれか一種又は複数種を有してもよい。
スズ、酸化亜鉛、In−Zn系酸化物、Sn−Zn系酸化物、Al−Zn系酸化物、Zn
−Mg系酸化物、Sn−Mg系酸化物、In−Mg系酸化物、In−Ga系酸化物、In
−Ga−Zn系酸化物(IGZOとも表記する)、In−Al−Zn系酸化物、In−S
n−Zn系酸化物、Sn−Ga−Zn系酸化物、Al−Ga−Zn系酸化物、Sn−Al
−Zn系酸化物、In−Hf−Zn系酸化物、In−Zr−Zn系酸化物、In−Ti−
Zn系酸化物、In−Sc−Zn系酸化物、In−Y−Zn系酸化物、In−La−Zn
系酸化物、In−Ce−Zn系酸化物、In−Pr−Zn系酸化物、In−Nd−Zn系
酸化物、In−Sm−Zn系酸化物、In−Eu−Zn系酸化物、In−Gd−Zn系酸
化物、In−Tb−Zn系酸化物、In−Dy−Zn系酸化物、In−Ho−Zn系酸化
物、In−Er−Zn系酸化物、In−Tm−Zn系酸化物、In−Yb−Zn系酸化物
、In−Lu−Zn系酸化物、In−Sn−Ga−Zn系酸化物、In−Hf−Ga−Z
n系酸化物、In−Al−Ga−Zn系酸化物、In−Sn−Al−Zn系酸化物、In
−Sn−Hf−Zn系酸化物、In−Hf−Al−Zn系酸化物等がある。
:Ga:Zn=2:1:3の原子数比のIn−Ga−Zn系酸化物やその組成の近傍の酸
化物を用いるとよい。
ことによって、水素の一部がドナーとなり、キャリアである電子を生じてしまう。これに
より、トランジスタの閾値電圧がマイナス方向にシフトしてしまう。そのため、酸化物半
導体膜の形成後において、脱水化処理(脱水素化処理)を行い酸化物半導体膜から、水素
、又は水分を除去して不純物が極力含まれないように高純度化することが好ましい。
素が減少してしまうことがある。よって、酸化物半導体膜への脱水化処理(脱水素化処理
)によって増加した酸素欠損を補填するため酸素を酸化物半導体膜に加える処理を行うこ
とが好ましい。
去され、加酸素化処理により酸素欠損を補填することによって、i型(真性)化又はi型
に限りなく近く実質的にi型(真性)である酸化物半導体膜とすることができる。なお、
実質的に真性とは、酸化物半導体膜中にドナーに由来するキャリアが極めて少なく(ゼロ
に近く)、キャリア密度が1×1017/cm3以下、1×1016/cm3以下、1×
1015/cm3以下、1×1014/cm3以下、1×1013/cm3以下であるこ
とをいう。
て優れたオフ電流特性を実現できる。
である。
本実施の形態では、上記実施の形態1で説明した表示システムを監視装置(監視システム
ともいう)に利用する場合について説明する。
ラ200、記憶装置211、表示装置212、および警報装置213を有する。カメラ2
00は、撮像装置220を有する。カメラ200、記憶装置211、表示装置212、お
よび警報装置213は、それぞれ機能的に接続される。カメラ200で撮影された画像は
、記憶装置211に記録され、表示装置212に表示される。また、警報装置213は、
カメラ200が動きを検出した場合等に管理者に警報を行う。
この判定信号に基づいて撮像装置220では、アナログ処理を行い、デジタル処理を行う
。そのため、膨大な電力を消費するデジタル処理を継続的に行わなくてもよいため、消費
電力を低減することができる。また表示装置212は、判定信号に従った撮像モードの切
り替えに応じて、画像データの更新を行うか否かの表示モードの切り替えを行う構成とす
ることができる。そのため、表示装置212が有する画素を駆動するための駆動回路での
消費電力を低減することができる。
とする。ここで、撮像装置220が第2の撮像モードで動作する場合に侵入者がいない場
合は、第1の撮像データと第2の撮像データとは同一のため、差分データはゼロに対応す
る。したがって、アナログ処理回路で各画素から読み出した差分データに対して、差分絶
対値和演算を行った結果はゼロで、判定信号が発生しない。一方、侵入者がいる場合は、
第1の撮像データと第2の撮像データとは異なるため、差分データは有限である。したが
って、アナログ処理回路で各画素から読み出した差分データに対して、差分絶対値和演算
を行った結果は有限で、判定信号が発生する。判定信号の発生に伴い、撮像装置220は
第1の撮像モードに遷移し、第3の撮像データをデジタル処理回路でデジタルデータに変
換し、PCなどでのデジタル処理により、撮像画像に関する詳細の解析を実行する。その
結果、侵入者の詳細な情報を取得することができる。加えて表示装置212では、撮像装
置220の撮像モードの切り替えに応じて、画像データの更新を行うか否かの表示モード
の切り替えを行う構成とすることができる。そのため、表示装置212が有する画素を駆
動するための駆動回路での消費電力を低減することができる。
その結果、カメラ200での電力消費を抑えることができる。また、記憶装置211は、
動きが検出されない期間での画像データ分の、記憶装置211の記憶容量の節約ができる
ため、より長時間の録画が可能になる。表示装置212では、画像データを更新しない期
間での駆動回路の動作を停止することによる消費電力の低減を図ることができる。
るいは、認証システムでの照合を基に判定し、警報を行うか否かの判定を行ってもよい。
である。
本実施の形態では、本発明の一態様に係る撮像装置及び表示装置を用いた表示システムを
適用できる電子機器の一例について説明する。
示装置、照明装置、デスクトップ型或いはノート型のパーソナルコンピュータ、ワードプ
ロセッサ、DVD(Digital Versatile Disc)などの記録媒体に
記憶された静止画又は動画を再生する画像再生装置、ポータブルCDプレーヤ、ラジオ、
テープレコーダ、ヘッドホンステレオ、ステレオ、ナビゲーションシステム、置き時計、
壁掛け時計、コードレス電話子機、トランシーバ、携帯電話、自動車電話、携帯型ゲーム
機、タブレット型端末、パチンコ機などの大型ゲーム機、電卓、携帯情報端末、電子手帳
、電子書籍端末、電子翻訳機、音声入力機器、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、電
気シェーバ、電子レンジ等の高周波加熱装置、電気炊飯器、電気洗濯機、電気掃除機、温
水器、扇風機、毛髪乾燥機、エアコンディショナー、加湿器、除湿器などの空調設備、食
器洗い器、食器乾燥器、衣類乾燥器、布団乾燥器、電気冷蔵庫、電気冷凍庫、電気冷凍冷
蔵庫、DNA保存用冷凍庫、懐中電灯、チェーンソー等の工具、煙感知器、透析装置等の
医療機器、ファクシミリ、プリンタ、プリンタ複合機、現金自動預け入れ払い機(ATM
)、自動販売機などが挙げられる。さらに、誘導灯、信号機、ベルトコンベア、エレベー
タ、エスカレータ、産業用ロボット、電力貯蔵システム、電力の平準化やスマートグリッ
ドのための等の蓄電装置等が挙げられる。また、電力を用いて電動機により推進する移動
体なども、電子機器の範疇に含まれるものとする。上記移動体として、例えば、電気自動
車(EV)、内燃機関と電動機を併せ持ったハイブリッド車(HEV)、プラグインハイ
ブリッド車(PHEV)、これらのタイヤ車輪を無限軌道に変えた装軌車両、電動アシス
ト自転車を含む原動機付自転車、自動二輪車、電動車椅子、ゴルフ用カート、小型又は大
型船舶、潜水艦、ヘリコプター、航空機、ロケット、人工衛星、宇宙探査機や惑星探査機
、宇宙船などが挙げられる。
944、レンズ945、接続部946等を有する。操作キー944およびレンズ945は
筐体941に設けられており、表示部943は筐体942に設けられている。そして、筐
体941と筐体942とは、接続部946により接続されており、筐体941と筐体94
2の間の角度は、接続部946により変更が可能である。表示部943における映像を、
接続部946における筐体941と筐体942との間の角度に従って切り替える構成とし
ても良い。レンズ945の焦点となる位置には撮像装置を備え、表示部943と共に本発
明の一態様の表示システムを用いることができる。
ー954、カメラ959、入出力端子956、操作用のボタン955等を有する。カメラ
959及び表示部には本発明の一態様の表示システムを用いることができる。
23、発光部927、レンズ925等を有する。レンズ925の焦点となる位置には撮像
装置を備え、筐体921にある表示部(図示せず)と共に本発明の一態様の表示システム
を用いることができる。
904、マイク905、スピーカー906、操作キー907、スタイラス908、カメラ
909等を有する。なお、図16(A)に示した携帯型ゲーム機は、2つの表示部903
と表示部904とを有しているが、携帯型ゲーム機が有する表示部の数は、これに限定さ
れない。カメラ909及び表示部903には本発明の一態様の表示システムを用いること
ができる。
33、カメラ939等を有する。表示部932はタッチパネルとなっていてもよい。カメ
ラ939及び表示部932には本発明の一態様の表示システムを用いることができる。
する。表示部912が有するタッチパネル機能により情報の入出力を行うことができる。
カメラ919及び表示部912には本発明の一態様の表示システムを用いることができる
。
ば、上記で示した電子機器に特に限定されないことは言うまでもない。
である。
DISP 表示装置
Analog アナログ処理回路
Analog_A アナログ処理回路
Analog_B アナログ処理回路
ADC A/D変換回路
CTRL 制御回路
SUM 加算回路
SUB 減算回路
ABS 絶対値回路
OP0 オペアンプ
C1 容量値
C2 容量値
D11 ダイオード
D12 ダイオード
FD1 ノード
FD2 ノード
I0 電流値
M1 トランジスタ
n1 電流
n2 電流
n3 電流
OP11 OPアンプ
OP12 OPアンプ
OP21 OPアンプ
OP22 OPアンプ
R01 抵抗
R2n 抵抗
R04 抵抗
R11 抵抗
R15 抵抗
R21 抵抗
R31 抵抗
R33 抵抗
T01 時刻
T1 時刻
T02 時刻
T2 時刻
T03 時刻
T3 時刻
T04 時刻
T4 時刻
T05 時刻
T5 時刻
T06 時刻
T6 時刻
T10 時刻
T11 時刻
T12 時刻
T13 時刻
T14 時刻
T15 時刻
T21 時刻
T24 時刻
T25 時刻
T31 時刻
T32 時刻
T33 時刻
T34 時刻
T35 時刻
T41 時刻
T42 時刻
T43 時刻
T44 時刻
T45 時刻
T51 時刻
T52 時刻
T53 時刻
T54 時刻
T55 時刻
T61 時刻
T62 時刻
T63 時刻
T64 時刻
T65 時刻
T66 時刻
T67 時刻
Tr1 トランジスタ
Tr2 トランジスタ
x_m ゲート線
x_1 ゲート線
y_n ソース線
y_1 ソース線
40 シリコン基板
51 Siトランジスタ
52 OSトランジスタ
53 OSトランジスタ
60 フォトダイオード
61 アノード
63 低抵抗領域
70 コンタクトプラグ
71 配線層
72 配線層
73 配線層
80 絶縁層
91a 回路
91b 回路
91c 回路
111 トランジスタ
111A トランジスタ
111B トランジスタ
111C トランジスタ
112 トランジスタ
113 トランジスタ
114 トランジスタ
115 トランジスタ
121 容量素子
122 容量素子
123 フォトダイオード
123A フォトダイオード
123B フォトダイオード
123C フォトダイオード
123D フォトダイオード
136 トランジスタ
137 トランジスタ
138 トランジスタ
139 トランジスタ
140 トランジスタ
141 トランジスタ
142 トランジスタ
143 トランジスタ
144 トランジスタ
145 トランジスタ
146 トランジスタ
147 トランジスタ
148 トランジスタ
149 容量
200 カメラ
211 記憶装置
212 表示装置
213 警報装置
220 撮像装置
300 基板
301 トランジスタ
302 画素電極
303 コモン電極
304 絶縁膜
305 配向膜
306 液晶
307 基板
308 配向膜
309 配線
310 封止層
311 FPC
312 導電性樹脂
901 筐体
902 筐体
903 表示部
904 表示部
905 マイク
906 スピーカー
907 操作キー
908 スタイラス
909 カメラ
911 筐体
912 表示部
919 カメラ
921 筐体
922 シャッターボタン
923 マイク
925 レンズ
927 発光部
931 筐体
932 表示部
933 リストバンド
939 カメラ
941 筐体
942 筐体
943 表示部
944 操作キー
945 レンズ
946 接続部
951 筐体
952 表示部
954 スピーカー
955 ボタン
956 入出力端子
957 マイク
959 カメラ
1100 層
1200 層
1300 層
1400 層
1500 絶縁層
1510 遮光層
1520 有機樹脂層
1530a カラーフィルタ
1530b カラーフィルタ
1530c カラーフィルタ
1540 マイクロレンズアレイ
1550 光学変換層
1600 支持基板
Claims (6)
- 画素と、アナログ処理回路と、A/D変換回路と、を有する撮像装置であって、
前記撮像装置は、第1の撮像モードと第2の撮像モードで動作する機能を有し、
前記第1の撮像モードにおいて、第1の撮像データと、第2の撮像データとの差分データを検出し、
前記アナログ処理回路は、前記差分データにしきい値以上の差がある場合はアクティブな値を判定信号として出力し、
前記アナログ処理回路は、前記差分データにしきい値以上の差がない場合は非アクティブな値を判定信号として出力し、
前記判定信号がアクティブな値の場合に、前記第1の撮像モードから前記第2の撮像モードへと遷移する機能を有し、
前記第2の撮像モードにおいて、前記A/D変換回路は、前記画素が撮像した撮像データをデジタルデータに変換する機能を有し、
前記第1の撮像モードにおける消費電力は、前記第2の撮像モードにおける消費電力より小さい、撮像装置。 - 画素、アナログ処理回路と、A/D変換回路と、を有する撮像装置であって、
前記撮像装置は、第1の撮像モードと第2の撮像モードで動作する機能を有し、
前記第1の撮像モードにおいて、第1の撮像データと、第2の撮像データとの差分データを検出し、
前記差分データに応じた値と、基準となる値と、の差の大小関係に従って、
前記アナログ処理回路は、前記差分データに応じた値が、前記基準となる値より大きい場合はアクティブな値を判定信号として出力し、
前記アナログ処理回路は、前記差分データに応じた値が、前記基準となる値より小さい場合は非アクティブな値を判定信号として出力し、
前記判定信号がアクティブな値の場合に、前記第1の撮像モードから前記第2の撮像モードへと遷移する機能を有し、
前記第2の撮像モードにおいて、前記A/D変換回路は、前記画素が撮像した撮像データをデジタルデータに変換する機能を有し、
前記第1の撮像モードにおける消費電力は、前記第2の撮像モードにおける消費電力より小さい、撮像装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記画素は、トランジスタと、光電変換素子と、を有する、撮像装置。 - 請求項3において、
前記トランジスタは、チャネル領域にシリコンを有する、撮像装置。 - 請求項3または請求項4において、
前記光電変換素子は、シリコンを有する、撮像装置。 - 請求項3または請求項4において、
前記光電変換素子は、セレンを有する、撮像装置。
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