JP6723075B2 - 熱式流量計 - Google Patents

Description

本発明は、熱式流量計に関する。

従来の熱式流量計として、流体が流れる主通路内に配置され前記流体の一部を取り込む副通路と、前記副通路内に配置され発熱抵抗体パターンが形成された流量計測素子と、前記流量計測素子が搭載される支持体と、を有する流量測定装置が知られている（下記特許文献１、請求項１等を参照）。

前記従来の流量測定装置は、第一の流体通路部と第二の流体通路部とを備えている。第一の流体通路部は、前記流量計測素子が搭載される面と前記副通路の通路形成面とで構成される。第二の流体通路部は、前記流量計測素子が搭載される面とは反対側の面と前記副通路の通路形成面とで構成される。

前記従来の流量測定装置では、前記流量計測素子に対して前記流体の流れの上流側に対向する前記第一の流体通路部の前記通路形成面は、前記流体の流れを前記流量計測素子へ向けるような傾斜面を有している。この傾斜面は、異なる向きの二面以上の面から構成されている。

前記構成により、ダストが発熱抵抗体パターン側流体通路部の発熱抵抗体のパターンよりも上流側の対向する面に設けた傾斜面で跳ね返されたのち、流体の流れに乗って発熱抵抗体のパターンに向かって流れるのを抑制することができる。そのため、発熱抵抗体パターンで構成される流量計測素子の破損あるいは汚損を抑制することができ、脈動流のような非定常な流れ場においても耐ダスト性に優れ、特性誤差が生じにくく信頼性の高い流量測定装置を提供できる（同文献、段落０００９等を参照）。

特開２０１２−９３２０３号公報

前記従来の熱式流量計は、流体の脈動時に流体が逆流し、前記第一の流体通路部を逆流方向に流れる流体が増加すると、流量計測素子によって計測される流速が実際の流速よりも低下し、計測誤差が増大するおそれがある。

本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、流体の脈動時の計測誤差を従来よりも減少させることができる熱式流量計を提供することを目的とする。

前記目的を達成すべく、本発明の熱式流量計は、主通路を流れる流体の一部を取りこむ副通路と、該副通路内に配置された流量計測部と、を備えた熱式流量計であって、前記副通路は、前記流量計測部の計測面側に設けられた第１通路と、前記流量計測部の背面側に設けられた第２通路と、該第２通路の出口よりも該第２通路における前記流体の順流方向の下流側に設けられた傾斜通路と、を有し、前記傾斜通路は、前記流量計測部よりも前記第１通路側に、前記順流方向に対して前記第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜する第１傾斜面を有することを特徴とする。

本発明の熱式流量計によれば、流体の脈動時に流体が逆流しても、第２通路の出口よりも該第２通路における流体の順流方向の下流側に設けられた傾斜通路の第１傾斜面によって、第１通路側から前記第２通路側へ向けて偏向させることができる。これにより、第１通路を逆流方向に流れる流体の流量を従来よりも減少させ、計測される流速が実際の流速よりも低下するのを抑制し、計測誤差を従来よりも減少させることができる。

本発明の実施形態１に係る熱式流量計を備えたシステムの一例を示す概略図。 本発明の実施形態１に係る熱式流量計の正面図。 図２Ａに示す熱式流量計の左側面図。 図２Ａに示す熱式流量計の背面図。 図２Ａに示す熱式流量計の右側面図。 図２Ａに示す熱式流量計の表カバーを取り外した状態の正面図。 図２Ｃに示す熱式流量計の裏カバーを取り外した状態の背面図。 図２Ｃに示す熱式流量計のIV−IV線に沿う断面図。 図４に示す熱式流量計の副通路の模式的な展開図。 図２Ａに示す熱式流量計の表カバーの正面図。 図６Ａに示す熱式流量計の表カバーの背面図。 図２Ｃに示す熱式流量計の裏カバーの正面図。 図７Ａに示す熱式流量計の裏カバーの背面図。 従来の熱式流量計の計測値の一例を示すグラフ。 本発明の実施形態１に係る熱式流量計の計測値の一例を示すグラフ。 本発明の実施形態２に係る熱式流量計の副通路の模式的な展開図。 本発明の実施形態３に係る熱式流量計の副通路の模式的な展開図。 本発明の実施形態４に係る熱式流量計の副通路の模式的な展開図。

以下、図面を参照して本発明の熱式流量計の実施形態を説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る熱式流量計３００を備えた電子燃料噴射方式の内燃機関制御システムの一例を示す概略図である。このシステムでは、エンジンシリンダ１１２とエンジンピストン１１４を備える内燃機関１１０の動作に基づき、吸入空気が被計測気体３０としてエアクリーナ１２２から吸入され、主通路１２４であるたとえば吸気管、スロットルボディ１２６、吸気マニホールド１２８を介してエンジンシリンダ１１２の燃焼室に導かれる。

前記燃焼室に導かれる吸入空気である被計測気体３０の流量は、熱式流量計３００で計測され、計測された流量に基づいて燃料噴射弁１５２より燃料が供給され、吸入空気である被計測気体３０とともに混合気の状態で燃焼室に導かれる。なお、本実施形態では、燃料噴射弁１５２は、内燃機関の吸気ポートに設けられ、吸気ポートに噴射された燃料が吸入空気である被計測気体３０と混合されて混合気となり、吸気弁１１６を介して燃焼室に導かれ、燃焼して機械エネルギを発生する。

熱式流量計３００は、図１に示す内燃機関の吸気ポートに燃料を噴射する方式だけでなく、各燃焼室に燃料を直接噴射する方式にも同様に使用できる。両方式とも熱式流量計３００の使用方法を含めた制御パラメータの計測方法および燃料供給量や点火時期を含めた内燃機関の制御方法の基本概念は略同じであり、図１では、両方式の代表例として吸気ポートに燃料を噴射する方式を示す。

燃焼室に導かれた燃料および空気は、燃料と空気との混合状態であり、点火プラグ１５４の火花着火によって爆発的に燃焼して機械エネルギを発生する。燃焼後の気体は、排気弁１１８から排気管に導かれ、排気２４として排気管から車外に排出される。前記燃焼室に導かれる吸入空気である被計測気体３０の流量は、アクセルペダルの操作に基づいてその開度が変化するスロットルバルブ１３２により制御される。前記燃焼室に導かれる吸入空気の流量に基づいて燃料供給量が制御され、運転者はスロットルバルブ１３２の開度を制御して前記燃焼室に導かれる吸入空気の流量を制御することにより、内燃機関が発生する機械エネルギを制御することができる。

エアクリーナ１２２から取り込まれ、主通路１２４を流れる吸入空気である被計測気体３０の流量および温度は、熱式流量計３００により計測され、計測された吸入空気の流量および温度を表す電気信号が熱式流量計３００から制御装置２００に入力される。また、スロットルバルブ１３２の開度を計測するスロットル角度センサ１４４の出力が制御装置２００に入力され、さらに内燃機関のエンジンピストン１１４や吸気弁１１６や排気弁１１８の位置や状態、さらに内燃機関の回転速度を計測するために、回転角度センサ１４６の出力が、制御装置２００に入力される。排気２４の状態から燃料量と空気量との混合比の状態を計測するために、酸素センサ１４８の出力が制御装置２００に入力される。

制御装置２００は、熱式流量計３００の出力である、たとえば、吸入空気の流量、湿度、および温度、ならびに回転角度センサ１４６からの内燃機関の回転速度等に基づいて、燃料噴射量や点火時期を演算する。これら演算結果に基づいて、燃料噴射弁１５２から供給される燃料量や点火プラグ１５４により点火される点火時期が制御される。燃料供給量や点火時期は、実際には、さらに熱式流量計３００で計測される吸気温度や、スロットル角度の変化状態、エンジン回転速度の変化状態、酸素センサ１４８で計測された空燃比の状態に基づいて制御されている。制御装置２００は、さらに内燃機関のアイドル運転状態において、スロットルバルブ１３２をバイパスする空気量をアイドルエアコントロールバルブ１５６により制御し、アイドル運転状態での内燃機関の回転速度を制御する。

内燃機関の主要な制御量である燃料供給量や点火時期は、いずれも熱式流量計３００の出力を主パラメータとして演算される。したがって、熱式流量計３００の計測精度の向上や、経時変化の抑制、信頼性の向上が、車両の制御精度の向上や信頼性の確保に関して重要である。特に近年、車両の省燃費に関する要望が非常に高く、また排気ガス浄化に関する要望が非常に高い。これらの要望に応えるには熱式流量計３００により計測される吸入空気である被計測気体３０の流量の計測精度の向上が極めて重要である。

図２Ａは、本実施形態に係る熱式流量計３００の正面図である。図２Ｂ、図２Ｃ、および図２Ｄは、それぞれ、図２Ａに示す熱式流量計の左側面図、背面図、および右側面図である。

熱式流量計３００は、ハウジング３０２と表カバー３０３と裏カバー３０４とによって構成される筐体３１０を備えている。表カバー３０３および裏カバー３０４は、薄い板状に形成されて、広い平坦な冷却面を有している。このため熱式流量計３００は、空気抵抗が低減され、さらに主通路１２４を流れる被計測気体により筐体３１０が冷却されやすい構成を有している。

筐体３１０は、たとえば、概ね直方体の扁平な形状を有し、図１に示すように吸気管に挿入されて主通路１２４内に配置される。詳細については後述するが、筐体３１０は、主通路１２４を流れる流体である被計測気体３０の一部を取りこむ副通路を画定している。

なお、以下では、主通路１２４内の被計測気体３０の流れに概ね平行な筐体３１０の長さ方向をＸ軸方向、長さ方向に垂直で主通路１２４の径方向に概ね平行な筐体３１０の高さ方向をＹ軸方向、これら長さ方向および高さ方向に垂直な筐体３１０の厚さ方向をＺ軸方向とする、ＸＹＺ直交座標系を用いて、熱式流量計３００の各部を説明する場合がある。

筐体３１０は、主通路１２４の外壁から中央に向かう軸に沿って長く延びる形状を有しているが、図２Ｂおよび図２Ｄに示すように、厚さが薄い扁平な形状を成している。すなわち、熱式流量計３００の筐体３１０は、側面に沿う厚さが薄く正面が略長方形の形状を有している。これにより、熱式流量計３００は、被計測気体３０に対しては流体抵抗を小さくして、十分な長さの副通路を備えることができる

ハウジング３０２の基端部には、熱式流量計３００を吸気管に固定するためのフランジ３０５と、外部機器との電気的な接続を行うために吸気管外部に露出した外部接続部であるコネクタ３０６が設けられている。ハウジング３０２は、フランジ３０５を吸気管に固定することにより片持ち状に支持される。

図３Ａは、図２Ａに示す熱式流量計３００の表カバー３０３を取り外した状態の正面図である。図３Ｂは、図２Ｃに示す熱式流量計３００の裏カバー３０４を取り外した状態の背面図である。

ハウジング３０２の先端側でかつ主流れ方向上流側の位置には、主通路１２４を流れる流体である吸入空気などの被計測気体３０の一部を副通路３０７に取り込むための入口３１１が設けられている。このように、主通路１２４を流れる被計測気体３０を副通路３０７に取りこむための入口３１１は、フランジ３０５から主通路１２４の径方向の中心方向に向かって延びる筐体３１０の先端側に設けられる。

これにより、主通路１２４の内壁面から離れた部分の気体を副通路３０７に取り込むことができ、主通路１２４の内壁面の温度の影響を受け難くなり、気体の流量や温度の計測精度の低下を抑制できる。また、主通路１２４の内壁面近傍では流体抵抗が大きく、主通路１２４の平均的な流速に比べ、流速が低くなる。本実施形態の熱式流量計３００では、フランジ３０５から主通路１２４の中央に向かって延びる薄くて長い筐体３１０の先端部に入口３１１が設けられているので、主通路１２４の中央部の流速の速い気体を副通路３０７に取り込むことができる。

ハウジング３０２の先端側でかつ主流れ方向下流側の位置には、副通路３０７から被計測気体３０を主通路１２４に戻すための第１出口３１２と第２出口３１３が設けられている。第１出口３１２と第２出口３１３は、図２Ｄに示すように、ハウジング３０２の厚さ方向（Ｚ軸方向）に横並びに配置されている。このように、副通路３０７の排出口である第１出口３１２および第２出口３１３が、筐体３１０の先端部に設けられることで、副通路３０７内を流れた気体を流速の速い主通路１２４の中央部近傍に戻すことができる。

ハウジング３０２の内部には、主通路１２４を流れる被計測気体３０の流量を計測するための流量計測部４５１や主通路１２４を流れる被計測気体３０の温度を計測するための温度計測部４５２等を備える回路パッケージ４００が一体にモールド成形されている。また、ハウジング３０２には、副通路３０７を画定するための副通路溝３３０，３３１が形成されている。本実施形態では、ハウジング３０２の表面および裏面にそれぞれ副通路溝３３０，３３１が凹設されている。

そのため、ハウジング３０２の表面および裏面に表カバー３０３および裏カバー３０４を取り付け、ハウジング３０２の副通路溝３３０，３３１を表カバー３０３および裏カバー３０４で覆うことで、副通路３０７を画定する筐体３１０を構成することができる。このような構成を有するハウジング３０２は、たとえば、ハウジング３０２を成形する樹脂モールド工程において、ハウジング３０２の両面に配置される金型を使用して、ハウジング３０２の成形と表裏の副通路溝３３０，３３１の成形とを一括して行うことができる。

ハウジング３０２の裏側に設けられた副通路溝３３１は、図３Ｂに示すように、副通路３０７の一部に直線通路３０７Ａを画定するための直線溝部３３２と、副通路３０７の一部に分岐通路３０７Ｂを画定するための分岐溝部３３３とを有している。

直線溝部３３２は、ハウジング３０２の先端部で被計測気体３０の主流れ方向（Ｘ軸正方向）に沿うように一直線状に延在して、一端がハウジング３０２の入口３１１に連通し、他端がハウジング３０２の第１出口３１２に連通している。直線溝部３３２は、入口３１１から略一定の断面形状で延在する直線部３３２Ａと、直線部３３２Ａから第１出口３１２に向かって移行するに従って溝幅が漸次狭くなる絞り部３３２Ｂとを有している。第１出口３１２は、副通路３０７の直線通路３０７Ａを流れる流体、すなわち被計測気体３０の一部を排出する排出口となる。第１出口３１２を設置することで、副通路３０７から塵埃などの異物を外部に排出させ、副通路３０７の分岐通路３０７Ｂへ取りこまれる異物の総量を低減でき、流量計測部４５１の計測性能の劣化を防止できる。

分岐溝部３３３は、直線溝部３３２の直線部３３２Ａから分岐してカーブしながらハウジング３０２の基端側に向かって進み、ハウジング３０２の長手方向である高さ方向（Ｙ軸方向）の中央部に設けられている計測用流路３４１に連通する。分岐溝部３３３は、直線溝部３３２を構成する一対の側壁面のうち、ハウジング３０２の基端側に位置する側壁面３３２ａに上流端が連通しており、底壁面３３３ａが直線溝部３３２の直線部３３２Ａの底壁面と段差なく面一に連続している。

分岐溝部３３３のカーブ内側の側壁面には、収容溝部３３３Ａが設けられている。収容溝部３３３Ａは凹部３３３Ｂを有している。凹部３３３Ｂは、収容溝部３３３Ａに侵入した水を取りこみ、図２Ｃに示すように、裏カバー３０４の凹部３３３Ｂに対向する位置に穿設された排水孔３７６から筐体３１０の外部に排出させる。

計測用流路３４１は、ハウジング３０２を表側から裏側まで厚さ方向に貫通して形成されている。計測用流路３４１内には、回路パッケージ４００の流路露出部４３０が突出して配置されている。分岐溝部３３３は、回路パッケージ４００の流路露出部４３０よりも副通路３０７の上流側で計測用流路３４１に連通している。分岐溝部３３３は、直線溝部３３２からハウジング３０２の高さ方向（Ｙ軸方向）に計測用流路３４１へ向けて、主通路１２４の被計測気体３０の主流れ方向と逆方向（Ｘ軸負方向）にカーブしながら延びている。

分岐溝部３３３によって画定される副通路３０７の分岐通路３０７Ｂは、曲線を描きながらハウジング３０２の先端側からフランジ３０５側である基端側に向かい、最もフランジ３０５に接近した位置に計測用流路３４１が設けられている。計測用流路３４１では、副通路３０７を流れる被計測気体３０が主通路１２４の主流れ方向に対して逆方向（Ｘ軸負方向）の流れとなる。

本実施形態の熱式流量計３００において、分岐溝部３３３は、ハウジング３０２の厚さ方向（Ｚ軸方向）の溝深さが計測用流路３４１へ向けて漸次深くなる立体的な形状を有している。そして、本実施形態の熱式流量計３００において、分岐溝部３３３は、計測用流路３４１の手前で急激に深くなる急傾斜部３３３ｄを有している。

急傾斜部３３３ｄは、計測用流路３４１において、回路パッケージ４００の流路露出部４３０が有する表面４３１と背面４３２のうち、流量計測部４５１の計測面４５１ａが設けられている表面４３１側に被計測気体３０の気体を通過させる作用を有する。そして、流量計測部４５１の背面側である回路パッケージ４００の流路露出部４３０の背面４３２側には、被計測気体３０に含まれる塵埃などの異物を通過させて流量計測部４５１の計測面４５１ａの耐汚損性を向上させている。

より詳細には、質量の小さい空気の一部は、急傾斜部３３３ｄに沿って移動し、計測用流路３４１において、回路パッケージ４００の流路露出部４３０の表面４３１側、すなわち、流量計測部４５１の計測面４５１ａ側の第１通路３５１（図４参照）を流れる。一方、質量の大きい異物は、副通路３０７の分岐通路３０７Ｂのカーブに沿う遠心力によって急激な進路変更が困難である。そのため、質量の大きい異物は、急傾斜部３３３ｄに沿って流れることができず、回路パッケージ４００の流路露出部４３０の背面４３２側、すなわち、流量計測部４５１の背面４５１ｂ側の第２通路３５２（図４参照）を流れる。

図３Ａに示すハウジング３０２の表側に設けられた副通路溝３３０は、副通路３０７の分岐通路３０７Ｂの下流側の部分を画定する。副通路溝３３０によって画定される分岐通路３０７Ｂの下流側の部分は、一端が計測用流路３４１を介してハウジング３０２の裏側の分岐通路３０７Ｂの上流側の部分に連通し、他端がハウジング３０２の先端側に形成された第２出口３１３に連通する。

本実施形態の熱式流量計３００において、副通路３０７の分岐通路３０７Ｂの下流側の部分を画定する副通路溝３３０は、計測用流路３４１における被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側に、後述する傾斜通路３６１（図５参照）を画定する第２傾斜面３７２を有している。

ハウジング３０２の表側に設けられた副通路溝３３０は、ハウジング３０２の先端側に移行するにしたがって、漸次、主流れ方向下流側に向かって進むようにカーブし、ハウジング３０２の先端部で被計測気体３０の主流れ方向下流側に向かって直線状に延びて、第２出口３１３に向かって溝幅が漸次狭くなる形状を有している。計測用流路３４１を通過した被計測気体３０および異物は、ハウジング３０２の表側に設けられた副通路溝３３０によって画定される副通路３０７の分岐通路３０７Ｂの下流側の部分を流れて、第２出口３１３から排出されて主通路１２４に戻される。

回路パッケージ４００の流路露出部４３０は、計測用流路３４１を画定する副通路溝３３１の分岐溝部３３３の壁面から、ハウジング３０２の高さ方向（Ｙ軸方向）においてハウジング３０２の先端側へ向けて、計測用流路３４１内に突出している。流路露出部４３０は、ハウジング３０２の厚さ方向（Ｚ軸方向）に厚さを有し、計測用流路３４１を流れる被計測気体３０の流れ方向に沿う長方形板状に形成されている。流路露出部４３０は、流量計測部４５１を支持して、流量計測部４５１を副通路３０７内に配置する支持部としての役割を有する。

図４は、図２Ｃに示す熱式流量計３００のIV−IV線に沿う断面図である。

副通路３０７は、計測用流路３４１において、流量計測部４５１の計測面４５１ａ側に設けられた第１通路３５１と、流量計測部４５１の背面４５１ｂ側に設けられた第２通路３５２とを有する。また、副通路３０７は、第２通路３５２の出口３５２ｂよりも第２通路３５２における流体の順流方向Ｆ、すなわち、第１通路３５１における被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側に設けられた傾斜通路３６１を有している。

被計測気体３０である空気は、計測用流路３４１の第１通路３５１における被計測気体３０の順流方向Ｆに沿って流れる。このとき、流量計測部４５１に設けられた熱伝達面である計測面４５１ａを介して被計測気体３０との間で熱伝達が行われ、流量の計測が行われる。なお、この流量の計測原理は、熱式流量計として一般的な計測原理を用いることができる。本実施形態の熱式流量計３００のように、流量計測部４５１が計測した計測値に基づいて主通路１２４を流れる被計測気体３０の流量を計測することができるものであれば、流量計測部４５１の構成は、特に限定されない。

本実施形態の熱式流量計３００は、副通路３０７の計測用流路３４１において、流量計測部４５１の背面４５１ｂ側に設けられた第２通路３５２の出口３５２ｂよりも、第２通路３５２における被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側に設けられた傾斜通路３６１に特徴を有している。傾斜通路３６１は、流量計測部４５１よりも第１通路３５１側に、被計測気体３０の順流方向Ｆに対して第２通路３５２側から第１通路３５１側へ向けて傾斜する第１傾斜面３７１（図５参照）を有している。

なお、本実施形態の熱式流量計３００は、前述のように、主通路１２４内に配置され副通路３０７を画定する扁平な筐体３１０を備えているが、副通路３０７内に配置される流量計測部４５１の計測面４５１ａは、筐体３１０の厚さ方向（Ｚ軸方向）に概ね垂直になっている。

本実施形態の熱式流量計３００において、副通路３０７は、前述のように、主通路１２４を流れる流体である被計測気体３０の一部を取りこむ直線通路３０７Ａを有している（図３Ｂ参照）。また、副通路３０７は、直線通路３０７Ａを流れる流体である被計測気体３０の一部を排出する排出口である第１出口３１２と、第１出口３１２よりも直線通路３０７Ａを流れる流体の順流方向の上流側で直線通路３０７Ａから分岐する分岐通路３０７Ｂと、を有している。前述の第１通路３５１、第２通路３５２、および傾斜通路３６１は、すべて分岐通路３０７Ｂに設けられている。

図５は、図４に示す熱式流量計３００の副通路３０７の模式的な展開図である。図５では、副通路３０７の計測用流路３４１の前後の部分における筐体３１０の厚さ方向（Ｚ軸方向）に沿う断面を、筐体３１０の厚さ方向（Ｚ軸方向）および長さ方向（Ｘ軸方向）に平行な断面に展開して表している。

本実施形態の熱式流量計３００は、前述のように、主通路１２４を流れる流体である被計測気体３０の一部を取りこむ副通路３０７と、該副通路３０７内に配置された流量計測部４５１と、を備えている。また、副通路３０７は、流量計測部４５１の計測面４５１ａ側に設けられた第１通路３５１と、流量計測部４５１の背面４５１ｂ側に設けられた第２通路３５２と、第２通路３５２の出口３５２ｂよりも第２通路３５２における被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側に設けられた傾斜通路３６１と、を有している。この傾斜通路３６１は、流量計測部４５１よりも第１通路３５１側に、被計測気体３０の順流方向Ｆに対して第２通路３５２側から第１通路３５１側へ向けて傾斜する第１傾斜面３７１を有している。第１傾斜面３７１は、たとえば図６Ｂに示すように、表カバー３０３の背面側に設けられている。

さらに、図５に示す例では、傾斜通路３６１は、流量計測部４５１の計測面４５１ａに垂直な方向（Ｚ軸方向）において第１傾斜面３７１に対向する第２傾斜面３７２を有している。第２傾斜面３７２は、第１傾斜面３７１と同様に、被計測気体３０の順流方向Ｆに対して第２通路３５２側から第１通路３５１側へ向けて傾斜している。第２傾斜面３７２は、図３Ａに示すようにハウジング３０２の副通路溝３３０の底部に設けられている。

また、図５に示す例では、被計測気体３０の順流方向Ｆに対する第２傾斜面３７２の傾斜角度θ２は、被計測気体３０の順流方向Ｆに対する第１傾斜面３７１の傾斜角度θ１よりも大きくなっている。より具体的には、第１傾斜面３７１の傾斜角度θ１と第２傾斜面３７２の傾斜角度θ２との角度差は、たとえば、３°以上かつ１５°以下とすることができる。

また、図５に示す例では、副通路３０７は、傾斜通路３６１よりも被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側の部分が、流量計測部４５１の計測面４５１ａに垂直な方向（Ｚ軸方向）において第２通路３５２よりも第１通路３５１側に設けられている。

また、図５に示す例では、副通路３０７は、被計測気体３０の順流方向Ｆに平行で流量計測部４５１の計測面４５１ａに垂直な断面において、第１傾斜面３７１の延長線Ｌ１と計測面４５１ａの延長線Ｌ２とが、計測面４５１ａよりも被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側で交差している。また、被計測気体３０の順流方向Ｆにおいて、流量計測部４５１の支持部としての回路パッケージ４００の流路露出部４３０の下流側の端部よりも下流側で、第１傾斜面３７１の延長線Ｌ１と計測面４５１ａの延長線Ｌ２とが交差するようにしてもよい。

図６Ａおよび図６Ｂは、それぞれ、図２Ａに示す熱式流量計３００の表カバー３０３の正面図および背面図である。図７Ａおよび図７Ｂは、それぞれ、図２Ｃに示す熱式流量計３００の裏カバー３０４の正面図および背面図である。

前述のように、表カバー３０３および裏カバー３０４は、副通路３０７を画定する筐体３１０の構成部材であり、それぞれ、ハウジング３０２に対向する背面側に、副通路３０７を画定するための副通路溝３３５，３３６を有している。表カバー３０３の副通路溝３３５は、図３Ａに示すハウジング３０２の副通路溝３３０とともに、副通路３０７の分岐通路３０７Ｂの計測用流路３４１およびその下流側の部分を画定する。表カバー３０３の副通路溝３３５の底部には、図５に示す傾斜通路３６１を画定する第１傾斜面３７１が設けられている。

裏カバー３０４の副通路溝３３６は、図３Ｂに示すハウジング３０２の裏側に設けられた副通路溝３３１と同様に、副通路３０７の一部に直線通路３０７Ａを画定するための直線溝部３３７と、副通路３０７の一部に分岐通路３０７Ｂを画定するための分岐溝部３３８とを有している。

以下、本実施形態の熱式流量計３００の作用について説明する。

図１に示す内燃機関制御システムでは、条件によって、主通路１２４を流れる被計測気体３０としての吸入空気が脈動し、被計測気体３０が主流れ方向下流側から上流側へ逆流する場合がある。

ここで、本実施形態の熱式流量計３００は、前述のように主通路１２４を流れる流体の一部を取りこむ副通路３０７を有している。そのため、主通路１２４を流れる被計測気体３０が逆流すると、図５に示すように、副通路３０７の計測用流路３４１を流れる被計測気体３０が、計測用流路３４１の順流方向Ｆの下流側から上流側へ、順流方向Ｆと逆向きの逆流方向Ｒに流れることがある。

本実施形態の熱式流量計３００は、前述のように、副通路３０７の計測用流路３４１内に配置された流量計測部４５１を備えている。また、副通路３０７は、流量計測部４５１の計測面４５１ａ側に設けられた第１通路３５１と、流量計測部４５１の背面側に設けられた第２通路３５２と、を有している。そのため、計測用流路３４１を逆流する被計測気体３０が、第１通路３５１に多く流れると、流量計測部４５１によって計測される流速の平均値が実際の流速よりも低下し、計測誤差が増大するおそれがある。

図８は、傾斜通路３６１を有しない従来の熱式流量計の計測値の一例を示すグラフである。図８において、横軸は時間であり、縦軸は流速である。図８では、従来の熱式流量計による流速の計測値の変化を実線で表し、実際の被計測気体３０の流速の変化を破線で表している。

被計測気体３０の脈動時には、脈動を生じない定常時と比較して、流体の慣性効果による直進性が増す。そのため、図３Ｂに示す入口３１１から副通路３０７に取り込まれた順流方向の被計測気体３０は、直線通路３０７Ａを通過し、分岐通路３０７Ｂに分岐することなく、第１出口３１２から排出される流量が増加する。その結果、副通路３０７の直線通路３０７Ａから分岐通路３０７Ｂに分岐する被計測気体３０の流量が減少し、計測用流路３４１へ流入する順流方向Ｆの被計測気体３０の流量が減少する。そのため、図８に示すように、熱式流量計による流速の計測値の最大値ｕｍａｘが、実際の被計測気体３０の流速の最大値よりも低下する。

一方、図３Ａに示す第２出口３１３から副通路３０７に取り込まれた逆流方向の被計測気体３０は、途中で排出されることなく、すべて計測用流路３４１へ流入する。その結果、被計測気体３０の逆流時において、計測用流路３４１へ流入する逆流方向Ｒの被計測気体３０の流量は減少せず、図８に示すように、熱式流量計による流速の計測値の最小値ｕｍｉｎは、実際の被計測気体３０の流速と概ね等しくなる。この場合、傾斜通路３６１を有しない従来の熱式流量計の計測値の平均値ｕａｖｅは、実際の被計測気体３０の流量の平均値ｕ０よりも小さくなり、マイナスの計測誤差が生じる。

これに対し、本実施形態の熱式流量計３００は、図５に示すように、流量計測部４５１の背面側に設けられた第２通路３５２の出口３５２ｂよりも該第２通路３５２における流体すなわち被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側に設けられた傾斜通路３６１を有している。この傾斜通路３６１は、流量計測部４５１よりも第１通路３５１側に、被計測気体３０の順流方向Ｆに対して第２通路３５２側から第１通路３５１側へ向けて傾斜する第１傾斜面３７１を有している。

そのため、傾斜通路３６１よりも被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側から上流側へ逆流方向Ｒに流れる被計測気体３０は、傾斜通路３６１の第１傾斜面３７１に沿って流れ、第１通路３５１側から第２通路３５２側へ向けて偏向される。これにより、傾斜通路３６１を有しない従来の熱式流量計と比較して、第２通路３５２を逆流方向Ｒに流れる被計測気体３０の流量を増加させ、第１通路３５１を逆流方向Ｒに流れる被計測気体３０の流量を減少させることができる。

図９は、本実施形態の熱式流量計３００の計測値の一例を示すグラフである。図９において、横軸は時間であり、縦軸は流速である。図９では、本実施形態の熱式流量計３００による流速の計測値の変化を実線で表し、実際の被計測気体３０の流速の変化を破線で表している。

本実施形態の熱式流量計３００では、前述のように、傾斜通路３６１を有しない従来の熱式流量計と比較して、第２通路３５２を逆流方向Ｒに流れる被計測気体３０の流量を増加させ、第１通路３５１を逆流方向Ｒに流れる被計測気体３０の流量を減少させることができる。そのため、図９に示すように、熱式流量計３００による流速の計測値の最小値ｕｍｉｎの絶対値は、実際の被計測気体３０の流速の絶対値よりも小さくなる。これにより、本実施形態の熱式流量計３００では、計測値の平均値ｕａｖｅが増加し、計測値の平均値ｕａｖｅと実際の被計測気体３０の流量の平均値ｕ０とのマイナスの計測誤差が減少する。その結果、被計測気体３０の脈動時に、熱式流量計３００によって計測される流速の時間平均値ｕａｖｅは、実際の被計測気体３０の流速の平均値ｕ０に概ね等しくすることができ、熱式流量計３００の計測誤差を従来よりも減少させることができる。

また、本実施形態の熱式流量計３００において、傾斜通路３６１は、流量計測部４５１の計測面４５１ａに垂直な方向（Ｚ軸方向）において第１傾斜面３７１に対向する第２傾斜面３７２を有している。この第２傾斜面３７２は、被計測気体３０の順流方向Ｆに対して第２通路３５２側から第１通路３５１側へ向けて傾斜している。これにより、傾斜通路３６１の第１傾斜面３７１によって偏向させた被計測気体３０の逆流方向Ｒの流れに渦が発生するのを抑制し、第２通路３５２を逆流方向Ｒに流れる被計測気体３０の流量を増加させることができる。

また、本実施形態の熱式流量計３００において、被計測気体３０の順流方向Ｆに対する第２傾斜面３７２の傾斜角度θ２は、順流方向Ｆに対する第１傾斜面３７１の傾斜角度θ１よりも大きくなっている。これにより、傾斜通路３６１の第１傾斜面３７１によって偏向させた被計測気体３０の流れに渦が発生するのをより効果的に抑制し、第２通路３５２を逆流方向Ｒに流れる被計測気体３０の流量を増加させることができる。

また、第１傾斜面３７１の傾斜角度θ１と第２傾斜面３７２の傾斜角度θ２との角度差を、たとえば、３°以上かつ１５°以下とすることで、拡径された管で発生しやすい渦を抑制することができる。すなわち、傾斜通路３６１が拡径する角度を緩やかにして、計測用流路３４１における被計測気体３０の逆流方向Ｒの流れを整流し、第１通路３５１および第２通路３５２における被計測気体３０の逆流方向Ｒの流れを安定化させることができる。

また、本実施形態の熱式流量計３００において、図５に示すように、副通路３０７は、傾斜通路３６１よりも被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側の部分が、流量計測部４５１の計測面４５１ａに垂直な方向（Ｚ軸方向）において第２通路３５２よりも第１通路３５１側に設けられている。そのため、傾斜通路３６１に第１傾斜面３７１を有しない場合には、被計測気体３０の逆流方向Ｒの流れは、第１通路３５１に流入しやすくなる。しかし、傾斜通路３６１に第１傾斜面３７１を有することで、被計測気体３０の逆流方向Ｒの流れを第１通路３５１側から第２通路３５２側へ向けて偏向させ、第１通路３５１を逆流方向Ｒに流れる流体の流速を減少させることができる。

また、本実施形態の熱式流量計３００において、図５に示すように、副通路３０７は、被計測気体３０の順流方向Ｆに平行で流量計測部４５１の計測面４５１ａに垂直な断面において、第１傾斜面３７１の延長線Ｌ１と計測面４５１ａの延長線Ｌ２とが、計測面４５１ａよりも被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側で交差している。これにより、第１傾斜面３７１に沿って流れることで第２通路３５２側から第１通路３５１側へ向けて偏向された被計測気体３０の逆流方向Ｒの流れが、第２通路３５２に導入されやすくなる。また、第１傾斜面３７１の延長線Ｌ１と計測面４５１ａの延長線Ｌ２とが、回路パッケージ４００の流路露出部４３０の下流側の端部よりも下流側で交差する場合には、偏向された被計測気体３０の逆流方向Ｒの流れが第２通路３５２により導入されやすくなる。

以上説明したように、本実施形態の熱式流量計３００によれば、被計測気体３０の脈動時においても、流量計測部４５１によって計測される流速が実際の流速よりも低下するのを抑制し、計測誤差を従来よりも減少させることができる。

（実施形態２）
次に、本発明の熱式流量計の実施形態２について、図１から図４および図６Ａから図７Ｂを援用し、図１０を用いて説明する。図１０は、前述の実施形態１の熱式流量計３００の図５に相当する本実施形態の熱式流量計の副通路３０７の模式的な展開図である。

以下、本実施形態の熱式流量計について、図５に示す前述の実施形態１の熱式流量計３００との相違点を中心に説明する。以下に説明する構成以外については、本実施形態の熱式流量計は、前述の実施形態１の熱式流量計３００と同様の構成を有している。そのため、実施形態１の熱式流量計３００と同様の部分には同一の符号を付して、説明を適宜省略する。

本実施形態の熱式流量計は、前述の実施形態１の熱式流量計３００と同様に、主通路１２４を流れる流体である被計測気体３０の一部を取りこむ副通路３０７と、該副通路３０７内に配置された流量計測部４５１と、を備えている。なお、本実施形態の熱式流量計において、流量計測部４５１および回路パッケージ４００の流路露出部４３０は、副通路３０７の計測用流路３４１の壁面に埋め込まれ、計測用流路３４１を画定している。

本実施形態の熱式流量計において、副通路３０７は、流量計測部４５１の計測面４５１ａに臨む計測用流路３４１と、該計測用流路３４１よりも該計測用流路３４１を流れる流体である被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側に設けられた傾斜通路３６１とを有している。本実施形態の熱式流量計において、傾斜通路３６１は、被計測気体３０の順流方向Ｆにおいて流量計測部４５１の計測面４５１ａ側から背面４５１ｂ側へ向けて傾斜する第１傾斜面３７１を有している。

なお、第１傾斜面３７１は、流量計測部４５１の計測面４５１ａに垂直な方向（Ｚ軸方向）において、副通路３０７の流量計測部４５１側の壁面に設けられている。また、流量計測部４５１の計測面４５１ａに垂直な方向（Ｚ軸方向）において、副通路３０７の流量計測部４５１に対向する壁面には、突起部３８１が設けられている。突起部３８１は、副通路３０７の流量計測部４５１に対向する壁面から流量計測部４５１の計測面４５１ａへ向けて突出している。

このような構成により、本実施形態の熱式流量計は、被計測気体３０の脈動時に、計測用流路３４１における被計測気体３０の順流方向Ｆの下流側から上流側へ逆流方向Ｒに流れる被計測気体３０は、傾斜通路３６１の第１傾斜面３７１に沿って流れ、流量計測部４５１の計測面４５１ａから遠ざかる方向に偏向される。これにより、突起部３８１と流量計測部４５１の計測面４５１ａの間を逆流方向Ｒに流れる被計測気体３０は、流量計測部４５１の計測面４５１ａから離隔した位置で流速が上昇し、流量計測部４５１の計測面４５１ａの近傍で流速が低下する。

その結果、本実施形態の熱式流量計では、実施形態１の熱式流量計３００と同様に、被計測気体３０の脈動時に、熱式流量計によって計測される流速の時間平均値を、実際の被計測気体の流速に概ね等しくすることができる。したがって、本実施形態の熱式流量計によれば、実施形態１の熱式流量計３００と同様に、計測誤差を従来よりも減少させることができる。

（実施形態３）
次に、本発明の熱式流量計の実施形態３について、図１から図４および図６Ａから図７Ｂを援用し、図１１を用いて説明する。図１１は、前述の実施形態１の熱式流量計３００の図５に相当する本実施形態の熱式流量計の副通路３０７の模式的な展開図である。

以下、本実施形態の熱式流量計について、図１０に示す前述の実施形態２の熱式流量計との相違点を中心に説明する。以下に説明する構成以外については、本実施形態の熱式流量計は、前述の実施形態２の熱式流量計と同様の構成を有している。そのため、実施形態２の熱式流量計および実施形態１の熱式流量計３００と同様の部分には、同一の符号を付して説明を適宜省略する。

図１１に示すように、本実施形態の熱式流量計は、筐体３１０の厚さ方向（Ｚ軸方向）において対向する副通路３０７の壁面のうち、第１通路３５１側の壁面に、筐体３１０の厚さ方向（Ｚ軸方向）に突出する突出部３８２を有している。この突出部３８２は、第１傾斜面３７１を有している。この第１傾斜面３７１が設けられた範囲が、本実施形態の熱式流量計の副通路３０７における傾斜通路３６１である。

図１１に示す第１傾斜面３７１は、図５に示す第１傾斜面３７１と同様に、流量計測部４５１よりも第１通路３５１側に設けられ、順流方向Ｆに対して第２通路３５２側から第１通路３５１側へ向けて傾斜している。また、図１１に示す第１傾斜面３７１は、第１傾斜面３７１の延長線Ｌ１と計測面４５１ａの延長線Ｌ２とが、計測面４５１ａよりも順流方向Ｆの下流側で、かつ、流量計測部４５１の支持部としての回路パッケージ４００の流路露出部４３０よりも順流方向Ｆの下流側で交差している。

したがって、本実施形態の熱式流量計によれば、傾斜通路３６１の第１傾斜面３７１によって、被計測気体３０の逆流方向Ｒの流れを第１通路３５１側から第２通路３５２側へ向けて偏向させることができ、前述の実施形態２の熱式流量計および実施形態１の熱式流量計３００と同様の効果を得ることができる。

（実施形態４）
次に、本発明の熱式流量計の実施形態４について、図１から図４および図６Ａから図７Ｂを援用し、図１２を用いて説明する。図１２は、前述の実施形態１の熱式流量計３００の図５に相当する本実施形態の熱式流量計の副通路３０７の模式的な展開図である。

以下、本実施形態の熱式流量計について、図５に示す前述の実施形態１の熱式流量計３００との相違点を中心に説明する。以下に説明する構成以外については、本実施形態の熱式流量計は、前述の実施形態１の熱式流量計３００と同様の構成を有している。そのため、実施形態１の熱式流量計３００と同様の部分には、同一の符号を付して説明を適宜省略する。

本実施形態の熱式流量計において、副通路３０７は、第１通路３５１の入口３５１ａよりも順流方向Ｆの上流側に第２傾斜通路３６２を有している。第２傾斜通路３６２は、流量計測部４５１よりも第１通路３５１側に、順流方向Ｆに対して第２通路３５２側から第１通路３５１側へ向けて傾斜する第３傾斜面３７３を有している。

また、本実施形態の熱式流量計において、第２傾斜通路３６２は、計測面４５１ａに垂直な方向（Ｚ軸方向）において第３傾斜面３７３に対向する第４傾斜面３７４を有している。第４傾斜面３７４は、順流方向Ｆに対して第２通路３５２側から第１通路３５１側へ向けて傾斜している。

さらに、本実施形態の熱式流量計において、副通路３０７は、第２傾斜通路３６２よりも順流方向Ｆの上流側の部分が、計測面４５１ａに垂直な方向（Ｚ軸方向）において第１通路３５１よりも第２通路３５２側に設けられている。換言すると、副通路３０７は、計測用流路３４１の順流方向Ｆの上流側と下流側に、流量計測部４５１上の点に対して点対称の構成を有する傾斜通路３６１と第２傾斜通路３６２とを有している。

本実施形態の熱式流量計は、前述の実施形態１の熱式流量計３００と同様の構成を有することで、前述の実施形態１の熱式流量計３００と同様の効果を得られる。加えて、本実施形態の熱式流量計は、第２傾斜通路３６２を有することで、計測用流路３４１の被計測気体３０の順流方向Ｆの上流側から、順流方向Ｆに流れる被計測気体３０を、第３傾斜面３７３によって第２通路３５２側から第１通路３５１側へ向けて偏向させることができる。

これにより、被計測気体３０の脈動時において、第１通路３５１を順流方向Ｆ（Ｘ軸負方向）に流れる被計測気体３０の流量を従来よりも増加させることができる。これにより、図９に示す熱式流量計の計測値の最大値ｕｍａｘをプラス側にシフトさせ、熱式流量計によって計測される流速の平均値ｕａｖｅを、実際の被計測気体３０の流速の平均値ｕ０により近付けることができる。

さらに、本実施形態の熱式流量計において、第２傾斜通路３６２は、第３傾斜面３７３に対向し、順流方向Ｆに対して第２通路３５２側から第１通路３５１側へ向けて傾斜する第４傾斜面３７４を有している。これにより、第２傾斜通路３６２の第３傾斜面３７３によって偏向させた被計測気体３０の順流方向Ｆの流れに渦が発生するのを抑制し、第１通路３５１を順流方向Ｆに流れる被計測気体３０の流量を増加させることができる。

したがって、本実施形態の熱式流量計によれば、被計測気体３０の脈動時においても、流量計測部４５１によって計測される流速が実際の流速よりも低下するのをより効果的に抑制し、計測誤差を従来よりも減少させることができる。

以上、図面を用いて本発明の実施の形態を詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本発明に含まれるものである。

３０ 被計測気体（流体）
１２４ 主通路
３００ 熱式流量計
３０７ 副通路
３０７Ａ 直線通路
３０７Ｂ 分岐通路
３１０ 筐体
３１２ 第１出口（排出口）
３４１ 計測用流路
３５１ 第１通路
３５１ａ 第１通路の入口
３５２ 第２通路
３５２ｂ 第２通路の出口
３６１ 傾斜通路
３６２ 第２傾斜通路
３７１ 第１傾斜面
３７２ 第２傾斜面
３７３ 第３傾斜面
３７４ 第４傾斜面
４５１ 流量計測部
４５１ａ 計測面
４５１ｂ 背面
Ｆ 順流方向
Ｌ１ 第１傾斜面の延長線
Ｌ２ 計測面の延長線
θ２ 第２傾斜面の傾斜角度
θ１ 第１傾斜面の傾斜角度

Claims (12)

1. 主通路を流れる流体の一部を取りこむ副通路と、該副通路内に配置された流量計測部と、を備えた熱式流量計であって、
   前記副通路は、前記流量計測部の計測面側に設けられた第１通路と、前記流量計測部の背面側に設けられた第２通路と、該第２通路の出口よりも該第２通路における前記流体の順流方向の下流側に設けられた傾斜通路と、を有し、
   前記傾斜通路は、前記順流方向に対して第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜することを特徴とする熱式流量計。
2. 前記傾斜通路は、前記流量計測部よりも第１通路側に、前記順流方向に対して第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜する第１傾斜面を有するとともに、前記流量計測部の計測面に垂直な方向において前記第１傾斜面に対向する第２傾斜面を有し、
   前記第２傾斜面は、前記順流方向に対して前記第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜することを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。
3. 前記順流方向に対する前記第２傾斜面の傾斜角度は、前記順流方向に対する前記第１傾斜面の傾斜角度よりも大きいことを特徴とする請求項２に記載の熱式流量計。
4. 前記副通路は、前記傾斜通路よりも前記順流方向の下流側の部分が、前記流量計測部の計測面に垂直な方向において前記第２通路よりも前記第１通路側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。
5. 前記傾斜通路は、前記流量計測部よりも第１通路側に、前記順流方向に対して第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜する第１傾斜面を有し、
   前記副通路は、前記順流方向に平行で前記流量計測部の計測面に垂直な断面において、前記第１傾斜面の延長線と前記計測面の延長線とが、前記計測面よりも前記順流方向の下流側で交差することを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。
6. 前記副通路は、前記主通路を流れる前記流体の一部を取りこむ直線通路と、該直線通路を流れる前記流体の一部を排出する排出口と、該排出口よりも前記直線通路を流れる前記流体の順流方向の上流側で前記直線通路から分岐する分岐通路と、を有し、
   前記第１通路、前記第２通路、および前記傾斜通路は、前記分岐通路に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。
7. 前記主通路内に配置され前記副通路を画定する偏平な筐体を備え、
   前記流量計測部の計測面は、前記筐体の厚さ方向に垂直であることを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。
8. 前記傾斜通路は、前記流量計測部よりも第１通路側に、前記順流方向に対して第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜する第１傾斜面を有し、
   前記副通路は、前記第１通路の入口よりも前記順流方向の上流側に第２傾斜通路を有し、
   前記第２傾斜通路は、前記流量計測部よりも前記第２通路側に、前記順流方向に対して前記第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜する第３傾斜面を有することを特徴とする請求項１に記載の熱式流量計。
9. 前記第２傾斜通路は、前記流量計測部の計測面に垂直な方向において前記第３傾斜面に対向する第４傾斜面を有し、
   前記第４傾斜面は、前記順流方向に対して前記第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜することを特徴とする請求項８に記載の熱式流量計。
10. 主通路を流れる流体の一部を取りこむ副通路と、該副通路内に配置された流量計測部と、を備えた熱式流量計であって、
    前記副通路は、前記流量計測部の計測面側に設けられた第１通路と、前記流量計測部の背面側に設けられた第２通路と、該第２通路の出口よりも該第２通路における前記流体の順流方向の下流側に設けられた傾斜通路と、を有し、
    前記傾斜通路は、前記流量計測部よりも第１通路側に、前記順流方向に対して第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜する第１傾斜面を有するとともに、前記流量計測部の計測面に垂直な方向において前記第１傾斜面に対向する第２傾斜面を有し、
    前記第２傾斜面は、前記順流方向に対して前記第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜することを特徴とする熱式流量計。
11. 前記順流方向に対する前記第２傾斜面の傾斜角度は、前記順流方向に対する前記第１傾斜面の傾斜角度よりも大きいことを特徴とする請求項１０に記載の熱式流量計。
12. 主通路を流れる流体の一部を取りこむ副通路と、該副通路内に配置された流量計測部と、を備えた熱式流量計であって、
    前記副通路は、前記流量計測部の計測面側に設けられた第１通路と、前記流量計測部の背面側に設けられた第２通路と、該第２通路の出口よりも該第２通路における前記流体の順流方向の下流側に設けられた傾斜通路と、を有し、
    前記傾斜通路は、前記流量計測部よりも第１通路側に、前記順流方向に対して第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜する第１傾斜面を有し、
    前記副通路は、前記第１通路の入口よりも前記順流方向の上流側に第２傾斜通路を有し、
    前記第２傾斜通路は、前記流量計測部よりも前記第２通路側に、前記順流方向に対して前記第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜する第３傾斜面を有するとともに、前記流量計測部の計測面に垂直な方向において前記第３傾斜面に対向する第４傾斜面を有し、
    前記第４傾斜面は、前記順流方向に対して前記第２通路側から前記第１通路側へ向けて傾斜することを特徴とする熱式流量計。

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