JP6696989B2 - プリント配線板及び電子部品 - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 160
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 156
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 156
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 155
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 12
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims description 8
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 239000002075 main ingredient Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 185
- 239000002585 base Substances 0.000 description 164
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 86
- 238000000034 method Methods 0.000 description 66
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 61
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 61
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 34
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 32
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 31
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 31
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 25
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 20
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 17
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 15
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 13
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 12
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 11
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 10
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 8
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 8
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 7
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 7
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 7
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 6
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 description 4
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 4
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 description 4
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N Tert-Butanol Chemical compound CC(C)(C)O DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- XTVVROIMIGLXTD-UHFFFAOYSA-N copper(II) nitrate Chemical compound [Cu+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XTVVROIMIGLXTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002873 Polyethylenimine Polymers 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N butan-2-ol Chemical compound CCC(C)O BTANRVKWQNVYAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 230000000051 modifying effect Effects 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L sodium carbonate Substances [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 2
- 230000002522 swelling effect Effects 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 5-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-2h-tetrazole Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(C2=NNN=N2)=C1 KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Natural products OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930091371 Fructose Natural products 0.000 description 1
- RFSUNEUAIZKAJO-ARQDHWQXSA-N Fructose Chemical compound OC[C@H]1O[C@](O)(CO)[C@@H](O)[C@@H]1O RFSUNEUAIZKAJO-ARQDHWQXSA-N 0.000 description 1
- 239000005715 Fructose Substances 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229960005070 ascorbic acid Drugs 0.000 description 1
- 235000010323 ascorbic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011668 ascorbic acid Substances 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-VFUOTHLCSA-N beta-D-glucose Chemical compound OC[C@H]1O[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-VFUOTHLCSA-N 0.000 description 1
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 description 1
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910001429 cobalt ion Inorganic materials 0.000 description 1
- XLJKHNWPARRRJB-UHFFFAOYSA-N cobalt(2+) Chemical compound [Co+2] XLJKHNWPARRRJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- JZCCFEFSEZPSOG-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate pentahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.[Cu+2].[O-]S([O-])(=O)=O JZCCFEFSEZPSOG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000000909 electrodialysis Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 description 1
- 229940035429 isobutyl alcohol Drugs 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- TYQCGQRIZGCHNB-JLAZNSOCSA-N l-ascorbic acid Chemical compound OC[C@H](O)[C@H]1OC(O)=C(O)C1=O TYQCGQRIZGCHNB-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000012279 sodium borohydride Substances 0.000 description 1
- 229910000033 sodium borohydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001379 sodium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 235000000346 sugar Nutrition 0.000 description 1
- 150000008163 sugars Chemical class 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- 229910001428 transition metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
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- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
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- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
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- H05K2201/0335—Layered conductors or foils
- H05K2201/0347—Overplating, e.g. for reinforcing conductors or bumps; Plating over filled vias
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- H05K2203/0756—Uses of liquids, e.g. rinsing, coating, dissolving
- H05K2203/0776—Uses of liquids not otherwise provided for in H05K2203/0759 - H05K2203/0773
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- H05K2203/09—Treatments involving charged particles
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- H05K2203/11—Treatments characterised by their effect, e.g. heating, cooling, roughening
- H05K2203/1126—Firing, i.e. heating a powder or paste above the melting temperature of at least one of its constituents
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Description
本出願は、2015年8月17日出願の日本出願第2015−160592号に基づく優先権を主張し、上記日本出願に記載された全ての記載内容を援用するものである。
上記従来のプリント配線板は、回路表面と回路間に露出するベースフィルム表面とのコントラストが十分に得られ難い。そして、このように回路表面とベースフィルム表面とのコントラストが不十分であると、自動光学検査装置によって回路を正確に認識し難くなり、その結果回路欠陥の誤検査率が高くなる。
本発明の一態様に係るプリント配線板は、回路欠陥の誤検査率を低減することができる。また、本発明の電子部品は、回路欠陥の発生率を低減することができる。
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施形態に係るプリント配線板について説明する。
<プリント配線板>
図1のプリント配線板1は、ベースフィルム2と、ベースフィルム2の一方の面に積層される導電パターン3とを備える。図1のプリント配線板1は、可撓性を有するフレキシブルプリント配線板である。
ベースフィルム2は、絶縁性及び可撓性を有する。ベースフィルム2は、合成樹脂を主成分とする単一の樹脂フィルムである。ベースフィルム2の主成分としては、例えばポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、フッ素樹脂、液晶ポリマー等の合成樹脂が挙げられる。中でも、絶縁性、柔軟性、耐熱性等に優れるポリイミドが好ましい。また、ポリイミドは耐熱性が高いことから、後述するようにベースフィルム2の一方の面側を改質した場合でも、ベースフィルム2の熱変形等の品質の劣化を防止することができる。
導電パターン3は、ベースフィルム2に固着する銅粒子結合層3aを含む。特に本実施形態では、導電パターン3はこの銅粒子結合層3aのみから構成されている。導電パターン3は、ベースフィルム2の一方の面の全面に銅粒子結合層3aを積層した上、この銅粒子結合層3aをパターニングしたものである。銅粒子結合層3aの積層方法としては、後述するように、銅粒子を含むインクをベースフィルム2の一方の面に塗布して焼成する方法が挙げられる。また、この場合、銅粒子結合層3aは、銅粒子焼結層として構成される。導電パターン3のパターニング方法としては、例えばベースフィルム2の一方の面の全面に積層された銅粒子結合層3aにレジストパターン等のマスキングを施してエッチングする方法(サブトラクティブ法)を採用することができる。導電パターン3は、このような銅粒子結合層3aを含むことによって、製造コストを抑えつつ、導通性を向上することができる。また、導電パターン3がこのような銅粒子結合層3aを含むことで、ベースフィルム2の一方の面側に改質層2aを形成することができる。
当該プリント配線板1は、ベースフィルム2の導電パターン非積層領域の明度L*が上記上限以下であるので、導電パターン3の一方の面の明度L*とベースフィルム2の導電パターン非積層領域の明度L*との差を大きくし易い。そのため、当該プリント配線板1は、導電パターン3の一方の面とベースフィルム2の導電パターン非積層領域とのコントラストを十分に確保することで、回路欠陥検査装置から照射される光によって回路欠陥を高精度で検出し易い。従って、当該プリント配線板1は、回路欠陥の誤検査率を低減することができる。
<プリント配線板>
図2のプリント配線板11は、可撓性を有するフレキシブルプリント配線板である。図2のプリント配線板11は、ベースフィルム2と、ベースフィルム2の一方の面に積層される導電パターン12とを備える。図2のプリント配線板11は、導電パターン12が図1のプリント配線板1の銅粒子結合層3aの外面に金属めっき層12aが形成された構成とされる以外、図1のプリント配線板1と同様である。また、導電パターン12のパターニング方法としては、例えば図1のプリント配線板1と同様、サブトラクティブ法を採用することができる。当該プリント配線板11におけるベースフィルム2及び銅粒子結合層3aは、図1のプリント配線板1と同様のため、同一符号を付して説明を省略する。
金属めっき層12aは、めっき金属が銅粒子結合層3aの空隙に充填され、かつ銅粒子結合層3aの一方の面に積層されることで形成されている。また、このめっき金属は、銅粒子結合層3aの全ての空隙に充填されている。当該プリント配線板11は、銅粒子結合層3aの空隙にめっき金属が充填されることで、銅粒子結合層3aの空隙部分が破壊起点となって導電パターン12がベースフィルム2から剥離するのを抑制することができる。また、当該プリント配線板11は、銅粒子結合層3aの空隙にめっき金属が充填されることで、めっき金属の充填後に熱処理を施すことによってベースフィルム2の改質をさらに促進することができる。
当該プリント配線板11は、銅粒子結合層3aの外面に金属めっき層12aを有するので、めっき金属の充填後に熱処理を施すことによってベースフィルム2の改質を促進してベースフィルム2の明度L*及び色度a*b*を調整し易い。
<プリント配線板>
図3のプリント配線板21は、可撓性を有するフレキシブルプリント配線板である。図3のプリント配線板21は、ベースフィルム2と、ベースフィルム2の一方の面に積層される導電パターン23とを備える。図3のプリント配線板21は、導電パターン23が図1のプリント配線板1の銅粒子結合層3aの外面に金属めっき層が形成された構成とされる以外、図1のプリント配線板1と同様である。また、導電パターン23のパターニング方法としては、例えば図1のプリント配線板1と同様、サブトラクティブ法を採用することができる。当該プリント配線板21におけるベースフィルム2及び銅粒子結合層3aは、図1のプリント配線板1と同様のため、同一符号を付して説明を省略する。
金属めっき層は、第1めっき層12aと、第2めっき層22aとを有する。第1めっき層12aは、図2の金属めっき層12aと同様の構成とされる。
第2めっき層22aは、第1めっき層12aの一方の面に積層される。第2めっき層22aを形成するためのめっき方法は、特に限定されず、無電解めっきであっても電気めっきであってもよいが、厚みの調整を容易かつ正確に行うことができると共に、比較的短時間で第2めっき層22aを形成することができる電気めっきが好ましい。
当該プリント配線板21は、金属めっき層が第1めっき層12a及び第2めっき層22aを有するので、導電パターン23の厚みを容易かつ確実に調整することができる。
次に、図4A〜4Dを参照しつつ、当該プリント配線板1,11,21の製造方法を説明する。
上記塗膜形成工程では、図4Aに示すように、ベースフィルム2の一方の面に銅粒子41を含むインクを塗布し、例えば乾燥することにより塗膜42を形成する。なお、塗膜42には、上記インクの分散媒等が含まれていてもよい。
上記インクに分散させる銅粒子41は、高温処理法、液相還元法、気相法等で製造することができる。中でも、液相還元法によれば、製造コストをより低減できる上、水溶液中での攪拌等により、容易に銅粒子41の粒子径を均一にすることができる。
上記インクには、銅粒子41以外に分散剤が含まれていてもよい。この分散剤としては、特に限定されず、銅粒子41を良好に分散させることができる種々の分散剤を用いることができる。分散剤の分子量の下限としては、2,000が好ましい。一方、分散剤の分子量の上限としては、30,000が好ましい。分子量が上記範囲の分散剤を用いることで、銅粒子41をインク中に良好に分散させることができ、塗膜42の膜質を緻密でかつ欠陥のないものにすることができる。上記分散剤の分子量が上記下限に満たないと、銅粒子41の凝集を防止して分散を維持する効果が十分に得られないおそれがある。一方、上記分散剤の分子量が上記上限を超えると、分散剤の嵩が大きすぎて、塗膜42の焼成時において、銅粒子41同士の焼結を阻害してボイドを生じさせるおそれがある。また、分散剤の嵩が大きすぎると、塗膜42の緻密さが低下したり、分散剤の分解残渣が導電性を低下させるおそれがある。
上記銅粒子結合層形成工程では、塗膜42の焼成により銅粒子結合層3aを形成する。
上記パターニング工程では、上記銅粒子結合層形成工程で形成された銅粒子結合層3aのパターニングによりベースフィルム2の一方の面に導電パターンを形成する。このパターニング工程によって、図1のプリント配線板1が得られる。上記パターニング工程におけるパターニングは、公知のエッチング手法によって行うことができる。
上記金属めっき層形成工程では、銅粒子結合層3aの空隙をめっき金属で充填すると共に、このめっき金属を銅粒子結合層3aの一方の面に積層する。
上記金属めっき層形成工程では、上記金属めっき層12aと同様の第1めっき層12aを形成する工程と、第1めっき層12aの表面に第2めっき層22aを形成する工程とを有する。第1めっき層形成工程は、上述の金属めっき層12aを形成する工程と同様のため、説明を省略する。
当該プリント配線板の製造方法は、当該プリント配線板を容易かつ確実に製造することができる。また、当該プリント配線板の製造方法は、金属めっき層形成工程においてめっき金属の充填後に熱処理を施すことによって、ベースフィルム2の一方の面側の改質を促進してベースフィルム2の一方の面の明度L*及び色度a*b*をより確実に調整することができる。
今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
液相還元法によって得られた平均粒子径60nmの銅粒子を溶媒の水に分散させ、銅濃度が26質量%のインクを調製した。次に、ベースフィルムとして平均厚み25μmのポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの一方の面にウェットブラスト処理及びプラズマ処理をこの順で施した(以下、このウェットブラスト処理及びプラズマ処理をまとめて「表面処理」ともいう。)。さらに、上記インクをポリイミドフィルムの一方の面に塗布し、大気中で乾燥して塗膜を形成した。そして、酸素濃度が100体積ppmの窒素雰囲気中で120分間、350℃で上記塗膜を焼成し、ポリイミドフィルムに固着された銅粒子結合層(平均厚み150nm)を備えたNo.1〜No.3のプリント配線板用基材を得た。
ベースフィルムとして平均厚み25μmのポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの一方の面にNo.1〜No.3と同様の表面処理を施した。さらに、ポリイミドフィルムの一方の面に接着剤を用いて圧延銅箔(平均厚み12μm)を積層し、No.4のプリント配線板用基材を得た。また、このプリント配線板用基材を、酸素濃度が100体積ppmの窒素雰囲気中で120分間、350℃で熱処理した。その後、サブトラクティブ法を用いてNo.4のプリント配線板を製造した。なお、上記サブトラクティブ法におけるエッチング液としては、苛性ソーダ水溶液を用いた。なお、No.4のプリント配線板では銅粒子結合層が存在せず、上述のような改質層は観察されない。
<明度及び色度>
上記No.1〜No.4のプリント配線板用基材について、表面処理前におけるベースフィルムの一方の面の明度L*及び色度a*b*を測定した。この明度L*及び色度a*b*は、色差計(コニカミノルタ株式会社製の「CR−400」)を用い、JIS−Z8781−4(2013)に準拠して測定した。この明度L*及び色度a*b*の測定結果を表1に示す。
上記No.1〜No.4のプリント配線板用基材について、表面処理前におけるベースフィルムの波長500nmの外部透過率を測定した。この外部透過率は、朝日分光株式会社製の「TLV−304−BP」を用いて測定した。この外部透過率の測定結果を表1に示す。
<明度及び色度>
No.1〜No.4のプリント配線板について、導電パターンの一方の面の明度L*を上記と同様の測定方法によって測定した。また、No.1〜No.4のプリント配線板について、ベースフィルムの導電パターン非積層領域の明度L*及び色度a*b*を上記と同様の測定方法によって測定した。この測定結果を表2に示す。
No.1〜No.4のプリント配線板について、ベースフィルムの導電パターン非積層領域の波長500nmの外部透過率を上記と同様の測定装置を用いて測定した。この測定結果を表2に示す。
No.1〜No.4のプリント配線板について、導電パターンの一方の面の明度L*から、ベースフィルムの導電パターン非積層領域の明度L*を引いた差の絶対値(明度L*差)を算出した。この算出結果を表2に示す。
No.1〜No.4のプリント配線板をそれぞれ複数用意し、これら複数のプリント配線板について自動光学検査装置(AOI:Automated Optical Inspection system)を用いて回路欠陥を検出した。次に、AOIで回路欠陥が検出されたNo.1〜No.4それぞれ100個のプリント配線板について、正確な回路欠陥の有無を光学顕微鏡を用いて目視にて検査した。上記光学顕微鏡を用いて回路欠陥が検出されたプリント配線板の数をAとし、No.1〜No.4のプリント配線板のそれぞれの回路欠陥の誤検出率を(100−A)/100×100[%]によって算出した。この算出結果を表2に示す。
表1,2に示すように、No.1〜No.3のプリント配線板は、導電パターン非積層領域の明度L*が44.1〜46.6で、いずれも60以下となっていることが分かる。またこれは、導電パターン非積層領域の明度L*が、プリント配線板用基材における表面処理前のベースフィルムの明度L*よりも23以上も低くなっていることに基づいていることが分かる。一方、No.4のプリント配線板では、導電パターン非積層領域の明度L*が62.0で、60より大きくなっている。さらに、表2に示すように、No.1〜No.3のプリント配線板では、導電パターンの一方の面の明度L*と、ベースフィルムの導電パターン非積層領域の明度L*との差が25.3〜27.3で、10以上となっていることが分かる。これに対して、No.4のプリント配線板は、上記の明度L*差は9.1と低い。そのため、No.1〜No.3のプリント配線板は、ベースフィルムの導電パターン非積層領域と導電パターンの一方の面とのコントラストが十分に得られており、その結果、No.4のプリント配線板に比べて回路欠陥の検査精度が向上していることが分かる。
2 ベースフィルム
2a 改質層
2b 非改質層
3,12,23 導電パターン
3a 銅粒子結合層
12a 金属めっき層(第1めっき層)
22a 第2めっき層
41 銅粒子
42 塗膜
Claims (6)
- 絶縁性を有するベースフィルムと、
上記ベースフィルムの少なくとも一方の面に積層される導電パターンと
を備えるプリント配線板であって、
上記導電パターンが上記ベースフィルムに固着する銅粒子結合層を含み、
上記ベースフィルムが、上記導電パターンが積層される面側に組成が変化した改質層を有し、
上記改質層の平均厚みが5nm以上100nm以下であり、
上記ベースフィルムの導電パターン非積層領域の明度L*が60以下であるプリント配線板。 - 上記ベースフィルムが実質的に顔料を含有しない請求項1に記載のプリント配線板。
- 上記ベースフィルムの主成分がポリイミドである請求項1又は請求項2に記載のプリント配線板。
- 上記ベースフィルムの導電パターン非積層領域の色度b*が60以下である請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のプリント配線板。
- 上記導電パターンの一方の面の明度L*と、上記ベースフィルムの導電パターン非積層領域の上記明度L*との差の絶対値が10以上である請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のプリント配線板。
- 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のプリント配線板と、
上記プリント配線板に実装される素子とを備える電子部品。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015160592 | 2015-08-17 | ||
JP2015160592 | 2015-08-17 | ||
PCT/JP2016/072505 WO2017029973A1 (ja) | 2015-08-17 | 2016-08-01 | プリント配線板及び電子部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017029973A1 JPWO2017029973A1 (ja) | 2018-06-07 |
JP6696989B2 true JP6696989B2 (ja) | 2020-05-20 |
Family
ID=58052170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017535317A Active JP6696989B2 (ja) | 2015-08-17 | 2016-08-01 | プリント配線板及び電子部品 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10537020B2 (ja) |
JP (1) | JP6696989B2 (ja) |
CN (1) | CN107926115B (ja) |
WO (1) | WO2017029973A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7063101B2 (ja) * | 2018-05-11 | 2022-05-09 | 住友電気工業株式会社 | プリント配線板及びプリント配線板の製造方法 |
US20210127487A1 (en) * | 2018-05-25 | 2021-04-29 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Base material for printed circuit board and printed circuit board |
JP6634184B1 (ja) * | 2019-09-30 | 2020-01-22 | 株式会社フジクラ | フレキシブルプリント配線板及びその製造方法 |
JP7310599B2 (ja) * | 2019-12-26 | 2023-07-19 | トヨタ自動車株式会社 | 配線基板の製造方法および配線基板 |
US12114424B2 (en) * | 2020-04-24 | 2024-10-08 | Hongqisheng Precision Electronics (Qinhuangdao) Co., Ltd. | Circuit board and preparation method thereof |
JP7298786B2 (ja) * | 2021-03-31 | 2023-06-27 | 大日本印刷株式会社 | プリント配線基板用積層体および多層プリント配線基板用接合体 |
TWI842105B (zh) * | 2022-09-26 | 2024-05-11 | 國立清華大學 | 電子電路的製造方法以及金屬離子溶液 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2728465C2 (de) | 1977-06-24 | 1982-04-22 | Preh, Elektrofeinmechanische Werke, Jakob Preh, Nachf. Gmbh & Co, 8740 Bad Neustadt | Gedruckte Schaltung |
US4404237A (en) | 1980-12-29 | 1983-09-13 | General Electric Company | Fabrication of electrical conductor by replacement of metallic powder in polymer with more noble metal |
JPS63211683A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-02 | Ulvac Corp | 太陽光選択吸収膜 |
JPH02765U (ja) * | 1988-06-10 | 1990-01-05 | ||
US4975327A (en) * | 1989-07-11 | 1990-12-04 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Polyimide substrate having a textured surface and metallizing such a substrate |
JP3570802B2 (ja) | 1995-11-14 | 2004-09-29 | 三井化学株式会社 | 銅薄膜基板及びプリント配線板 |
JP2004195774A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 導電性フィルムおよびその作製方法 |
WO2009004774A1 (ja) | 2007-07-02 | 2009-01-08 | Panasonic Corporation | 金属積層ポリイミド基盤及びその製造方法 |
JP5181618B2 (ja) * | 2007-10-24 | 2013-04-10 | 宇部興産株式会社 | 金属箔積層ポリイミド樹脂基板 |
TWI420194B (zh) | 2008-06-30 | 2013-12-21 | Kolon Inc | 塑膠基板以及包含此塑膠基板之裝置 |
JP5334617B2 (ja) * | 2009-02-17 | 2013-11-06 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板の製造方法 |
JP5244020B2 (ja) * | 2009-04-15 | 2013-07-24 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板の製造方法 |
EP2424337A4 (en) | 2009-04-24 | 2014-10-01 | Sumitomo Electric Industries | SUBSTRATE FOR PRINTED CARD, PRINTED CARD, AND METHODS OF MANUFACTURING THE SAME |
JP2011249511A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 金メッキ金属微細パターン付き基材の製造方法、金メッキ金属微細パターン付き基材、プリント配線板、インターポーザ及び半導体装置 |
JP5511597B2 (ja) | 2010-09-06 | 2014-06-04 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板の製造方法 |
TWI569700B (zh) | 2011-11-25 | 2017-02-01 | 昭和電工股份有限公司 | 導電性圖案生成方法 |
JP6014939B2 (ja) * | 2011-12-15 | 2016-10-26 | エルジー・ケム・リミテッド | 反射型偏光板の製造方法およびディスプレイ装置 |
JP2013135089A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Ishihara Chem Co Ltd | 導電膜形成方法、銅微粒子分散液及び回路基板 |
US9403947B2 (en) | 2012-06-19 | 2016-08-02 | Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. | Display device, method for manufacturing same, polyimide film for display device supporting bases, and method for producing polyimide film for display device supporting bases |
TWI584708B (zh) * | 2014-11-28 | 2017-05-21 | 財團法人工業技術研究院 | 導線結構及其製造方法 |
-
2016
- 2016-08-01 US US15/752,359 patent/US10537020B2/en active Active
- 2016-08-01 JP JP2017535317A patent/JP6696989B2/ja active Active
- 2016-08-01 WO PCT/JP2016/072505 patent/WO2017029973A1/ja active Application Filing
- 2016-08-01 CN CN201680046184.2A patent/CN107926115B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2017029973A1 (ja) | 2017-02-23 |
US20190008037A1 (en) | 2019-01-03 |
CN107926115B (zh) | 2020-07-24 |
JPWO2017029973A1 (ja) | 2018-06-07 |
US10537020B2 (en) | 2020-01-14 |
CN107926115A (zh) | 2018-04-17 |
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Legal Events
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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