JP5580994B2 - 光モジュール - Google Patents
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Description
光モジュールは、レーザ(発光素子)、フォトダイオード(受光素子)といった光電気変換を行う光素子を内部に搭載したパッケージと、フレキシブル基板を備えている。一般的に、これら光モジュールは、受光側ではROSA、送信側ではTOSAなどと呼ばれることもある。
光素子が搭載されたパッケージは、CAN型パッケージやBox型パッケージが使用され、信号の入出力には、リードピンが使われている。このリードピンはフレキシブル基板に貫通されて半田固着されるか、リードピンとフレキシブル基板がほぼ水平をなすように配置され、リードピンがフレキシブル基板上の導体と半田固着される。
このような光モジュールの構成は、数百Mbps〜10Gbps程度の伝送速度に対応した光トランシーバ内において、しばしば利用されており、近年ではXMDと呼ばれる規格に対応した光モジュールが数社により製品化されている。
ところで、光モジュールのリードピンの幅は、その機械的強度を保つために200ミクロン程度がしばしば用いられる。このパッケージのリードピンと、100ミクロン幅のマイクロストリップ線路を、半田で固着することは出来ない。
なお、本願明細書では、「マイクロストリップ線路」は、フレキシブル基板の第1主平面(以後、「表面」と称する。)に表面グランドラインで挟まれていないシグナルラインを備え、フレキシブル基板の第2主平面(以後、「裏面」と称する。)に、シグナルラインと重なる裏面グランドラインを備えた伝送線路のことをいい、「コプレーナ線路」とは、フレキシブル基板の表面にギャップを介して表面グランドラインに挟まれたシグナルラインを備え、フレキシブル基板の裏面に、シグナルラインと重ならない裏面グランドラインを備えた伝送線路のことをいい、後述する「グランデッドコプレーナ線路」とは、フレキシブル基板の表面に表面グランドラインで挟またシグナルラインを備え、フレキシブル基板の裏面に、シグナルラインと重なる裏面グランドラインを備えた伝送線路のことをいうものとする。
なお、上述した特許文献1では、特に、マイクロストリップ線路からコプレーナ線路に変わった領域において、シグナルラインのライン幅がコプレーナ線路で徐々に広がることで、矩形の表面グランドラインとの距離が徐々に狭まる構造が採用されている。また、このとき、裏面グランドラインは、裏面グランドラインがシグナルラインを挟むように分岐し、シグナルラインとの距離が徐々に離れる構造が採用されている。
フレキシブル基板の作製工程において、表面の導体パターンと裏面の導体パターンのパターニングは、一括して行うことが出来ない。一般的には、導体パターンをベースフィルムに別個に張り合わせをするか、表裏面、別々にエッチングをすることで、パターニングを行う。このような場合、表面の導体パターンと裏面の導体パターンは、最大50ミクロン程度の位置ズレを起こしてしまうのが一般的である。また、仮に位置ズレを無くそうとすると、著しく量産性が低下する。かかるフレキシブル基板を光モジュールのパッケージの外部接続に用いる場合、事前にフレキシブル基板の検査が必要になる。従って、フレキシブル基板の導体レイアウトを工夫することで、表裏導体パターンの位置ズレが発生しても、特性に影響が出にくい構造であれば、そのような検査工程を経る必要もなくなる。
つまり、特性インピーダンスのズレによる高周波信号の劣化だけでなく、電磁波の放射(ノイズ)による高周波信号の劣化をも引き起こす。このような光モジュールを用いた光トランシーバは、動作不良を引き起こしやすくなる。
この問題は、本発明者らが25GHzの高周波信号の伝送に用いた際に生じた信号劣化の原因追及から見いだしたものであり、当然、信号の周波数が高くなる程顕著に現れるが、25GHz未満の周波数でも試した結果、10GHz以上の信号であれば同様の問題が生じていた。
このように、従来のフレキシブル基板を用いた光モジュールでは、高周波信号の特性劣化が生じやすく、それを防ぐためには、フレキシブル基板の事前検査をせざるをえなかった。
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、優れた伝送特性の光モジュールを容易に得ることが可能となる技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかにする。
上記課題は、パッケージのリードピンと接続されるフレキシブル基板として、リードピンが固着されるコプレーナ線路と、前記コプレーナ領域に接するグランデッドコプレーナ線路と、前記グランデッドコプレーナ線路に接するマイクロストリップ線路とを備え、前記コプレーナ線路の前記グランデッドコプレーナ線路に隣接する領域で、表面グランドラインとシグナルラインとの電磁界成分が、裏面グランドラインとシグナルラインとの電磁界成分よりも支配的となる電極レイアウトとなっているものを用いることで解決できる。
この1つの具体例は、前記コプレーナ線路の前記グランデッドコプレーナ線路に隣接する領域で、前記コプレーナ線路の表面グランドラインとシグナルラインとの間隔が、前記コプレーナ線路の裏面グランドラインとシグナルラインとの間隔よりも狭くなっている電極レイアウトである。
グランデッドコプレーナ線路からコプレーナ線路に切り替わった際に、表面グランドラインとシグナルラインとの電磁界が支配的になっていれば、電磁界分布の変換がスムーズに行われ、かつ、表裏の導体パターンの位置ズレがフレキシブル基板の特性に与える影響が極めて少ない。従って、位置ズレ起因の不良抑制を目的として、フレキシブル基板をリードピンに接続する前に行う部品検査を簡略化でき、また、部品検査なしでも歩留まりを高いまま保持できる。また、インピーダンスがずれることもないので、ノイズが少なく、高周波伝送特性の優れた光モジュールを安価に再現性よく製造できるようになる。
(1)回路基板と、前記回路基板に接続されるフレキシブル基板と、リードピンを有し、前記フレキシブル基板に該リードピンが固着されるパッケージとを備えた光モジュールであって、前記フレキシブル基板は、第1主平面上に、シグナルラインと、前記シグナルラインの左右に間隙を介して配置された表面グランドラインとを備え、前記第1主平面に対向する第2主平面上に裏面グランドラインとを備えた伝送線路を備え、前記伝送線路は、前記パッケージに向かって、順に第1領域、第2領域及び第3領域を備え、前記第1領域、前記第2領域及び前記第3領域は、前記シグナルライン及び前記表面グランドラインを備え、さらに、前記第1領域は前記シグナルラインと重なり、その重なりが前記第1領域で終端する裏面グランドラインを備え、前記第3領域は前記シグナルラインと重なる裏面グランドラインを備えず、前記第2領域は、前記裏面グランドラインを備えないか又は前記シグナルラインと前記裏面グランドラインとの間の電磁界成分よりも前記シグナルラインと前記表面グランドラインとの電磁界強度の方が大きくなるように配置された裏面グランドラインを備えている構成となっている。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
[実施例1]
図1は、実施例1のフレキシブル基板の構成を示す上面図である。図1のA−A’より左側の断面図、A−A’とB−B’との間の断面図、B−B’とC−C’との間の断面図、C−C’とD−D’との間の断面図を、それぞれ図2(a)〜(d)に示す。
なお、図1、および後述する図3〜図5、図6、図8、図10、図13において、ベースフィルム5の表面(上面)側に形成された配線パターンを実線で示し、裏面側に形成された配線パターンを点線で示している。以下、これらの電極レイアウトパターンについて説明する。
図2(a)〜(d)から分かるように、ベースフィルム5の表面側には、伝送すべき情報を示すシグナルが供給されるシグナルライン1と、グランド電位が供給される表面グランドライン2がパターニングされており、裏面側には、グランド電位が供給される裏面グランドライン3がパターニングされている。表面グランドライン2と裏面グランドライン3は、等電位を保つべく、コンタクトホール4によって電気的導通がなされている。このコンタクトホール4は、ビアやスルーホールなどと言われることもある。
図1のフレキシブル基板は、図1のA−A’より左側はマイクロストリップ線路で構成され、A−A’とB−B’との間はグランデッドコプレーナ線路で構成され、B−B’とD−D’との間はコプレーナ線路で構成されている。
本実施例のマイクロストリップ線路の断面図を、図2(a)に示す。フレキシブル基板の第1主平面(表面)となるベースフィルム5の第1主平面(表面)は、第1の幅のシグナルライン1を備えている。このシグナルライン1は、特性インピーダンス50±5オーム程度になるように製造される。そして、フレキシブル基板の第2主平面(裏面)となるベースフィルム5の第2主平面(裏面)は、裏面全面に裏面グランドライン3が形成されている。当然、裏面グランドライン3はシグナルライン1と重畳している。
さらに、ベースフィルム5の表面は、グランデッドコプレーナ線路から連続的に繋がっている表面グランドライン2を備えている。表面グランドライン2は、グランデッドコプレーナ線路と同様に、シグナルライン1を挟んでいる。グランデッドコプレーナ線路と異なるのは、コプレーナ線路のグランデッドコプレーナ線路側の隣接部分、つまり、図1のB−B’からC−C’までの間でシグナルライン1の幅が広がったことに対応して、徐々に表面グランドライン2の幅が細くなっている。この際、シグナルライン1と表面グランドライン2との間隔は徐々に広くなっている。
このように、本実施例によれば、製造プロセスにおけるフレキシブル基板の検査工程を省いても、優れた高周波信号の伝送特性を実現できる光モジュールを提供することができる。
図13に示すモデルでは、誘電率3.5、フィルム厚50ミクロンのベースフィルム5上に、シグナルライン1と表面グランドライン2が30ミクロン厚でパターニングされている。シグナルライン1は配線幅90ミクロンのマイクロストリップ線路から幅600ミクロンのコプレーナ線路に変換されている。シグナルライン1は、シグナル伝送方向に250ミクロンがテーパ状となっており、コプレーナ線路部から150ミクロンのところで、裏面側のグランドライン3の縁(凹部の底辺)が、シグナル伝送方向に対して、おおよそ直交している。
また、表面グランドライン2と、裏面グランドライン3とはコンタクトホール4によって導通が取られている。なお、シミュレーションに当っては、Ansoft社の3次元電磁界シミュレータHFSSを使用している。また、高周波信号の周波数が25GHzにおいて、電場ベクトル分布の観測を行った。
図14では、裏面グランドライン3が適正位置の場合と、X軸方向に50ミクロンずらした場合の反射ロスの周波数特性を示す。裏面グランドライン3がずれても、40GHz程度まで、ほとんど反射ロスが増大しておらず、効果が確認できる。
図15(a)と、図15(b)において、電場ベクトル分布はほとんど変化せず、X軸正方向と負方向で、ほぼ対象が保たれていることが分かる。すなわち、表面グランドライン2の方が、裏面グランドライン3よりも、伝送線路に50ミクロン近接していれば、電場ベクトル分布は、X軸正方向と負方向で、ほぼ対称に保たれていることが分かる。
図16(a)は、表面グランドライン2と裏面グランドライン3が適正位置の電場分布を示すものである。シミュレーションに当っては、グランドライン2よりもグランドライン3の方が、X軸方向に100ミクロンだけシグナルライン1に近接している。
図16(b)は、裏面グランドライン3の縁が、X軸方向に50ミクロンずれた場合の電場分布を示すものである。図16(a)では電場ベクトル分布が左右対称(X軸の正方向と負方向に対称)であるが、図16(b)では、明らかに左右非対称である。図16(b)で示されたフレキシブル基板をパッケージと接続した場合、電場ベクトル分布が急激に変化するために、ノイズの原因となる電磁波放射が起きるという問題が発生していた。本実施例によれば、図15に示すように、シグナルライン1に対してほぼ対称に、同程度の強度の電場が形成されるので、図16に示す従来技術よりも高周波伝送に優れていることがわかる。
このように、本実施例のフレキシブル基板によれば、シグナルライン1を伝搬する高周波信号の周波数が、10GHz以上、特に、25GHz以上の場合でも、高周波信号の伝送特性は優れ、パッケージと接続した場合でも電磁界放射の少なくなるという利点を有している。
図3は、本発明の実施例2のフレキシブル基板の構成を示す上面図であり、図4は、本発明の実施例2のフレキシブル基板の変形例の構成を示す上面図である。
図3と図1には相違点が2つある。1つ目の相違点は、コプレーナ線路におけるシグナルライン1と重なる裏面に、コンタクトホール4によって接続されたシグナルパッド6がパターニングされている点である。このシグナルパッド6により、フレキシブル基板の裏面側からリードピンを固着することが可能となっている。
このシグナルパッド6の幅L3は、シグナルライン1のコプレーナ線路の幅L4よりも細い。言い換えれば、裏面側のシグナルパッド6よりも、表面側のシグナルライン1の方が、グランドライン2に対して近接している。これにより、フレキシブル基板の裏面側にパターニングされたシグナルパッド6が特性インピーダンスに与える影響が小さく、フレキシブル基板の表面側と裏面側のパターンの位置ズレがあっても、特性インピーダンスの変化が小さくて済むという利点を有する。具体的には、製造後、L5が50ミクロン以上となるように設計するのが好ましい。
また、図4と図1の相違点は、図1のグランデッドコプレーナ線路におけるシグナルライン1と裏面グランドライン3の縁が交差する部分において、裏面グランドライン3の縁(凹部の底辺)は、シグナルライン1の延伸方向であるシグナル伝搬方向(Z軸方向)に対して、角度を有して交差している。すなわち、図3、図4では、L1の距離では、裏面グランドライン3の方が、表面グランドライン2よりもシグナルライン1に近接しているが、シグナルライン1の変換部の長さL2よりもL1が1/3以下であれば、裏面グランドライン3の縁が、シグナル伝搬方向に対して、ほぼ直交しているとしても差し支えない。左右にずれてもグランデッドコプレーナ領域とコプレーナ領域の長さが変更されるだけで、高周波特性には大きな影響がない構造である。
図5は、本発明の実施例3のフレキシブル基板の構成を示す上面図である。
図1からの大きな変更点は、コプレーナ線路に裏面グランドライン3を設けていない点である。この部分の特性インピーダンスは、ほぼ、シグナルライン1と表面グランドライン2の距離によってのみ保たれている。このような場合は、フレキシブル基板の表裏面のパターンの位置ズレが特に大きい場合においても、X軸方向の表裏面パターン位置ズレによる特性インピーダンスの変化がほとんど無くなるというメリットを有している。
図6は、本発明の実施例4のフレキシブル基板の構成を示す上面図であり、図7は、図6に示すフレキシブル基板を、リードピン10を有するパッケージ9に実装した状態を示す図である。
光通信用のパッケージ9は、内部に搭載された光素子や電子素子を気密封止した構造となっており、パッケージ9は、セラミックや金属などによって構成されている。セラミック基板11上のパターン12は、パッケージ9内部の伝送線路と導通が取られている。
パターン12上には、半田などの金属によってリードピン10が固着固定されている。リードピン10は、シグナルライン1、表面グランドライン2、電源、バイアスなどの配線パターン7と半田固着される。
一方、フレキシブル基板の図1との相違点は、シグナルライン1、表面グランドライン2の一部には、矩形状の切り欠きのある凹部がある樹脂8が形成されている点である。これはシグナルライン1上に半田等によってリードピン10を固着する場合、半田によりシグナルライン1と表面グランドライン2がショートしてしまうことを防ぐためのものである。なお、本実施例、および後述する実施例5において、樹脂8に代えて有機フィルムを使用することも可能である。
したがって、シグナルライン1と表面グランドライン2によって形成される電磁界分布は等方性に優れている。このような場合、セラミック基板11上のパターン12を通る信号が形成する電磁界分布と一致しやすく、フレキシブル基板とパッケージ9の接続部で、電磁界放射が起こりにくいというメリットを有する。
また、裏面側のグランドライン3が、特性インピーダンスに影響を及ぼさないため、シグナルライン1と表面グランドライン2は幅広な線路となる。そのため、シグナルライン1や表面グランドライン2上にリードピン10を位置合わせするのは、容易であり、位置ズレを伴って固着しても、強固に固着されるという利点がある。
例えば、誘電率3.5程度のベースフィルム上にシグナルライン1をパターニングした場合、コプレーナ線路では幅500ミクロン程度、配線1と表面グランドライン2のギャップは80ミクロン程度である。すなわち、200ミクロン程度のリードピンが、このコプレーナ線路の中央部よりも100ミクロン程度左右にずれても、半田により充分取り付け可能である。
図8は、本発明の実施例5のフレキシブル基板の構成例を示す上面図であり、図9は、図8に示すフレキシブル基板を、リードピン10を有するパッケージ9に実装した状態を示す図である。
図8と図3との大きな相違点は、フレキシブル基板のベースフィルム5上には、シグナルライン1や表面グランドライン2がパターニングされ、その上から樹脂8が塗布されている点と配線パターン7が配置されている点である。樹脂8は、シグナルライン1や表面グランドライン2の腐食を防ぐためと、パターンの間隔が狭いところで、半田、金属などの付着によるパターン間のショートなどが起きることを防ぐためである。
シグナルライン1、表面グランドライン2、裏面グランドライン3、配線パターン7には孔13が設けられており、リードピン10は、孔13に貫通された後、半田等によって、シグナルライン1、表面グランドライン2等と半田固着されている。この孔13は、内壁がメタライズされたスルーホールであったほうが、半田が固着しやすい。
本実施例では、シグナルライン1のコプレーナ線路では、シグナルライン1と表面グランドライン2によって、ほぼ一定の特性インピーダンスがコントロールされている。このような場合、シグナルライン1は幅広な線路となる。そのため、シグナルライン1に孔13を設けるのは容易である。例えば、誘電率3.5程度のベースフィルム上にシグナルライン1をパターニングした場合、コプレーナ線路部では幅500ミクロン程度、配線1と表面グランドライン2のギャップは80ミクロン程度である。さて、200ミクロン程度のリードピンを貫通するためには、孔13は直径300ミクロン程度もあれば充分であり、幅500ミクロンのコプレーナ線路に孔13を設けることは作製位置ズレを考慮しても容易である。
図10は、本発明の実施例6のフレキシブル基板の構成を示す上面図であり、図11は、図10に示すフレキシブル基板を、リードピン10を有するパッケージ9に実装した状態を示す図である。
本実施例では、フレキシブル基板の表面側がパッケージ9に向くように実装している。シグナルライン1は2本一対で差動線路となっており、一般的には、差動の特性インピーダンスが100オーム程度になるように設計されている。シグナルライン1の裏面側には、シグナルパッド6が形成されていて、シグナルパッド6と、シグナルライン1には、孔13が設けられている。
リードピン10は、孔13に貫通された後、半田等によって、シグナルライン1、表面グランドライン2等と半田固着されている。この孔13は、内壁がメタライズされたスルーホールであったほうが、半田が固着しやすい。
シグナルライン1やシグナルパッド6には孔13以外にも、両導体間のインダクタンスを低減するために、コンタクトホール4が複数設けられている。このようにコンタクトホール4を設けることは効果的であるが、コンタクトホール4や孔13を複数個設けることで、距離L5は1mm以上となってしまう。
このような場合、実施例でも見られたように、表面グランドライン2よりも、裏面グランドライン3がシグナルライン1に近接し、特性インピーダンスのコントロールがなされた場合、フレキシブル基板の表裏面のパターン位置ズレによる特性インピーダンスの変化は、非常に大きなものになってしまう。しかしながら、本実施例では、表面グランドライン2とシグナルライン1が近接することで、パターンの位置ズレによる特性インピーダンスの変動を抑えることが可能になっている。
図12は、本発明の各実施例のフレキシブル基板を具備する光トランシーバを説明するための断面図である。
本実施例の光トランシーバは、光モジュールと、フレキシブル基板14によって構成されている。光モジュールのパッケージ内部には、サブマント21に搭載された光素子22が実装されており、光素子22とファイバ28の光結合は、レンズホルダ24によって固定されたレンズ25によって成されている。なお、20は台座、27はスリーブ、29はファイバホルダである。
内部を気密封止するためパッケージ9はセラミックまたは金属によって作られており、光信号の通る部分は、ガラス26となっている。パッケージ9内部から外部への電気信号の入出力は、セラミック基板11上にパターニングされたパターン12によって形成されている。
パターン12上には、半田や金属によって固定されたリードピン10が固着されている。リードピン10はフレキシブル基板14と固定されているが、固定方法は、図9などで示したとおりである。
光トランシーバ内部のプリント基板19には、配線パターン17とスルーホール18が形成されており、配線パターン17と、フレキシブル基板14上との配線パターンとは、半田16によって固着されている。プリント基板19には、LSI15など電子素子が搭載されている。
本実施例によれば、高速光通信分野で利用される、フレキシブル基板を用いた光モジュールが提供される。これらの光モジュールは、10Gbps以上の通信容量をもつ光トランシーバ、光レシーバ、光トランスミッタといった通信用光モジュール内に内包され、利用される。
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
2 表面グランドライン
3 裏面グランドライン
4 コンタクトホール
5 ベースフィルム
6 シグナルパッド
7 配線パターン
8 樹脂
9 パッケージ
10 リードピン
11 セラミック基板
12 パターン
13 孔
14 フレキシブル基板
15 LSI
16 半田
17 配線パターン
18 スルーホール
19 プリント基板
20 台座
21 サブマント
22 光素子
23 ワイヤ
24 レンズホルダ
25 レンズ
26 ガラス
27 スリーブ
28 ファイバ
29 ファイバホルダ
Claims (12)
- 回路基板と、
前記回路基板に接続されるフレキシブル基板と、
リードピンを有し、前記フレキシブル基板に該リードピンが固着されるパッケージとを備えた光モジュールであって、
前記フレキシブル基板は、第1主平面上に、シグナルラインと、前記シグナルラインの左右に間隙を介して配置された表面グランドラインとを備え、
前記第1主平面に対向する第2主平面上に裏面グランドラインとを備えた伝送線路を備え、
前記伝送線路は、前記パッケージに向って、順に第1領域、第2領域及び第3領域を備え、
前記第1領域、前記第2領域及び前記第3領域は、前記シグナルライン及び前記表面グランドラインを備え、
前記第1領域は、前記シグナルラインと重なり、その重なりが前記第1領域で終端する裏面グランドラインを備え、
前記第3領域は、前記シグナルラインと重なる位置には裏面グランドラインを備えず、
前記第2領域は、前記シグナルラインと重なる位置には裏面グランドラインを備えないか、又は、前記シグナルラインと前記裏面グランドラインとの間の距離が前記シグナルラインと前記表面グランドラインとの間の距離よりも長くなる裏面グランドラインを備え、
前記シグナルラインは、
前記第1領域にある第1の幅である部分と、
前記第3領域にある第3の幅である部分と、
前記第2領域にある前記第1の幅から前記第3の幅へ変化する部分とを備えている
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1において、
前記第2領域の前記表面グランドラインは、徐々に前記シグナルラインの中心軸から離れていくことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1において、
前記第3領域の前記表面グランドラインの下に裏面グランドラインを備えていることを特徴とする光モジュール。 - 請求項3において、
前記表面グランドラインの下にある裏面グランドラインは、前記表面グランドラインとコンタクトホールで接続されていることを特徴とする光モジュール。 - 請求項1において、
前記第2領域に、前記表面グランドラインの下に前記裏面グランドラインを備えていることを特徴とする光モジュール。 - 請求項5において、
前記表面グランドラインの下にある裏面グランドラインは、前記表面グランドラインとコンタクトホールで接続されていることを特徴とする光モジュール。 - 請求項1において、
前記フレキシブル基板を構成する前記シグナルライン及び前記表面グランドラインは、前記第3領域において前記リードピンと接続されていることを特徴とする光モジュール。 - 請求項1において、
前記第1領域での前記シグナルラインと重なる裏面グランドラインの終端は、前記シグナルラインの延伸方向に対して直交するか又は所定角度になっていることを特徴とする光モジュール。 - 請求項1において、
前記フレキシブル基板は、前記第1領域の前記第2領域とは逆側に隣接する第4領域を備え、
前記第4領域は、前記一対の表面グランドラインを有さず、前記シグナルラインと重なる裏面グランドラインを有するマイクロストリップ線路を備え、
前記第2領域における伝送線路の特性インピーダンスは、前記第4領域におけるマイクロストリップ線路の特性インピーダンスの±5オーム以内であることを特徴とする光モジュール。 - 請求項1において、
前記シグナルライン及び前記一対の表面グランドラインは、有機フィルム、あるいは樹脂で覆われている部分を備えていることを特徴とする光モジュール。 - 請求項1において、
前記伝送線路を伝搬する信号の周波数は、10GHz以上であることを特徴とする光モジュール。 - 請求項11において、
前記伝送線路を伝搬する信号の周波数は、25GHz以上であることを特徴とする光モジュール。
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