JP5418458B2

JP5418458B2 - 光学式変位センサの調整方法、光学式変位センサの製造方法、および光学式変位センサ

Info

Publication number: JP5418458B2
Application number: JP2010222238A
Authority: JP
Inventors: 健太山川; 星文一柳
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2010-09-30
Filing date: 2010-09-30
Publication date: 2014-02-19
Anticipated expiration: 2030-09-30
Also published as: EP2538172A1; JP2012078153A; EP2538172B1; EP2538172A4; CN102834692B; WO2012042944A1; CN102834692A

Description

この発明は、光学式変位センサの調整方法、および光学式変位センサの製造方法に関するものであり、特に、三角測量の原理を用いて測定対象物の変位を測定する光学式変位センサの調整方法、および製造方法に関するものである。

従来の光学式変位センサが、例えば、特開２００８−１４５１６０号公報（特許文献１）に開示されている。図９は、特許文献１に開示の従来の光学式変位センサ１００を示す図である。図９を参照して、光学式変位センサ１００は、測定対象物１０６に対して光を照射するレーザダイオード１０１ａ、およびレーザダイオード１０１ａからの光を集光する投光レンズ１０１ｂを含む投光モジュール１０１と、投光モジュール１０１からの光が測定対象物１０６で反射することにより、その反射光を受光面１０３ａで受光するＣＣＤ１０３と、反射光をＣＣＤ１０３の受光面１０３ａに結像する受光レンズ１０４とを備える。

光学式変位センサ１００は、レーザダイオード１０１ａから測定対象物１０６に向けて光を照射すると、照射した光が測定対象物１０６で反射して、受光レンズ１０４を介して、その反射光をＣＣＤ１０３の受光面１０３ａが受光することにより、この受光した像の位置に基づいて、測定対象物１０６の変位を測定する。

特開２００８−１４５１６０号公報

ここで、投光モジュール１０１、ＣＣＤ１０３、および受光レンズ１０４は、シャインプルーフの条件を満たすように調整して配置されている。具体的には、ＣＣＤ１０３の受光面１０３ａは所定の幅Ｗ_２を有しており、受光面１０３ａが反射光を受光可能な範囲となる測定対象物１０６の反射位置は、投光モジュール１０１の光軸、すなわち投光軸Ｌ_１上で、所定の幅Ｗ_１を有することとなる。そして、所定の幅Ｗ_１の反射位置と、受光面１０３ａと、受光レンズ１０４の主面１０４ａとを延長した線が一点Ｄで交わるように、すなわち、シャインプルーフの条件を満たすように調整して配置されている。これにより、所定の幅Ｗ_１のどの位置で反射した反射光であっても、結像の際に受光面１０３ａでピントが合うようになる。なお、ここでは、説明のために、受光レンズ１０４を薄肉レンズと見なしている。

ここで、特許文献１によると、調整においては、図９中の矢印Ａで示すように、受光レンズ１０４の光軸、すなわち受光軸Ｌ_２方向に受光レンズ１０４をずらすと共に、図９中の矢印Ｂおよび矢印Ｃで示すように、ＣＣＤ１０３をスライドおよび回転させることとしている。すなわち、受光レンズ１０４およびＣＣＤ１０３の２つの部材を調整することとしている。

しかしながら、このような調整方法では、例えば、受光レンズ１０４調整後にＣＣＤ１０３を調整する場合、ＣＣＤ１０３に調整誤差が生じると、再度受光レンズ１０４を調整しなければならない場合がある等、調整の作業が煩雑である。そうすると、調整の作業工数も増加する虞がある。また、調整のための機構を個々に設ける必要があり、光学式変位センサ１００そのものの大型化や、光学式変位センサ１００を製造する製造装置の大型化を招く虞もある。

この発明の目的は、容易に、光学式変位センサの光学系を調整することが可能な光学式変位センサの調整方法を提供することである。

また、この発明の他の目的は、容易に、光学式変位センサの光学系を調整することが可能な光学式変位センサの製造方法を提供することである。

この発明に係る光学式変位センサの調整方法は、所定の光学系を有する光学式変位センサの調整方法である。所定の光学系は、測定対象物に対して光を照射する投光モジュールと、投光モジュールからの光による測定対象物からの反射光を受光する受光素子と、測定対象物と受光素子との間に位置して、反射光を受光素子に結像する受光レンズとを備える。そして、調整方法は、受光レンズのみを、受光レンズの光軸方向、および受光レンズの光軸方向に垂直な方向に移動させることにより調整する。

こうすることにより、受光レンズのみを移動させて、所定の光学系を調整することができる。すなわち、１つの部材を調整するのみでよい。そうすると、調整作業の工数の増加を抑制できると共に、光学式変位センサそのものの小型化や、光学式変位センサを製造する製造装置の小型化を図ることができる。その結果、容易に調整することができる。

一実施形態として、調整方法は、所定の光学系をシャインプルーフの条件を満たすように調整する。こうすることにより、受光レンズのみを移動させて、所定の光学系がシャインプルーフの条件を満たすように調整することができる。

好ましくは、投光モジュール、受光素子、および受光レンズは、光学式変位センサの筐体を構成する基準面上に配置されており、調整方法は、受光レンズを、基準面上をスライドさせて移動させることにより調整する。こうすることにより、調整のための機構を新たに設ける必要なく、簡易な方法で調整することができる。

さらに好ましくは、投光モジュールは、光を照射する光源と、光源からの光を所定の形状に調整する投光レンズとを含み、調整方法は、投光レンズを、投光レンズの光軸方向、投光レンズの光軸方向に垂直な方向であり基準面に平行な方向、および投光レンズの光軸方向に垂直な方向であり基準面に垂直な方向に移動させることにより調整する。こうすることにより、例えば投光モジュールを構成する部品の形状のバラツキ等によって、部品が基準面上で傾斜して配置されて、シャインプルーフの条件を満たせない状態となった場合に、投光モジュールの光軸の傾斜具合を調整することができる。

この発明の他の局面においては、測定対象物に対して光を照射する投光モジュールと、投光モジュールからの光による測定対象物からの反射光を受光する受光素子と、測定対象物と受光素子との間に位置して、反射光を受光素子に結像する受光レンズとを備える光学式変位センサの製造方法に関する。製造方法は、投光モジュール、および受光素子を、光学式変位センサの筐体を構成する基準面に固定する第一の取り付け工程と、基準面を基準として、受光レンズを、受光レンズの光軸方向、および受光レンズの光軸方向に垂直な方向に移動させる受光レンズ移動工程と、受光レンズ移動工程において移動させた位置に、受光レンズを基準面に固定する第二の取り付け工程とを備える。

こうすることにより、光学式変位センサの製造の際に、受光レンズのみを移動させて、所定の光学系を調整することができる。すなわち、１つの部材を調整するのみでよい。そうすると、調整作業の工数の増加を抑制できると共に、光学式変位センサそのものの小型化や、光学式変位センサを製造する製造装置の小型化を図ることができる。その結果、容易に調整することができる。

この発明に係る光学式変位センサの調整方法は、受光レンズのみを移動させて、所定の光学系を調整することができる。すなわち、１つの部材を調整するのみでよい。そうすると、調整作業の工数の増加を抑制できると共に、光学式変位センサそのものの小型化や、光学式変位センサを製造する製造装置の小型化を図ることができる。その結果、容易に調整することができる。

また、この発明に係る光学式変位センサの製造方法は、受光レンズのみを移動させて、所定の光学系を調整することができる。すなわち、１つの部材を調整するのみでよい。そうすると、調整作業の工数の増加を抑制できると共に、光学式変位センサそのものの小型化や、光学式変位センサを製造する製造装置の小型化を図ることができる。その結果、容易に調整することができる。

光学式変位センサの外観を示す斜視図である。図１に示す光学式変位センサの蓋を取り外し、矢印ＩＩの方向から見た場合の平面図である。投光レンズを示す斜視図である。受光レンズを示す斜視図である。光学式変位センサを示す模式図である。図５に示す模式図において、シャインプルーフの条件を満たしていない場合を示す図である。図６に示す模式図において、シャインプルーフの条件を満たすように、受光レンズの位置を調整する手順を示す図である。図６に示す模式図において、シャインプルーフの条件を満たすように、投光レンズの位置を調整する手順を示す図である。特許文献１に開示の従来の光学式変位センサを示す図である。

以下、図面を参照して、この発明の一実施形態に係る光学式変位センサの調整方法について説明する。図１は、光学式変位センサ１０の外観を示す斜視図である。図２は、図１に示す光学式変位センサ１０の蓋３３を取り外し、矢印ＩＩの方向から見た場合の平面図である。なお、図２においては、光学式変位センサ１０の平面図に加え、測定対象物１６も図示している。図１および図２を参照して、光学式変位センサ１０は、測定対象物１６の変位を測定する。光学式変位センサ１０は、略直方体形状の筐体３０の内部に、測定対象物１６に対して所望のビーム形状の光を照射する投光モジュール９と、投光モジュール９からの光による測定対象物１６からの反射光を受光する受光素子１３と、測定対象物１６と受光素子１３との間に位置する受光レンズ１４とを備える。投光モジュール９は、光を照射する光源１１と、測定対象物１６と光源１１との間に位置する投光レンズ１２とを含む構成である。投光モジュール９、受光素子１３、および受光レンズ１４は、所定の光学系を構成する。なお、図２中の三点鎖線で、投光モジュール９による照射される光線であり、投光モジュール９の光軸、すなわち投光軸Ｌ_１と、測定対象物１６からの反射光を受光する受光レンズ１４の光軸、すなわち受光軸Ｌ_２とを示している。

筐体３０は、底部に配置され、光学式変位センサ１０の光学系を構成する部材が固定される底面３１と、開口部３２ａ，３２ｂを有し、底面３１の周縁を取り囲むように配置される側壁３２と、底面３１に対向して配置される蓋３３とを含む。底面３１は、平面状であって、その上に光源１１等が固定される。側壁３２は、図示はしないが、ケーブル等を接続可能な接続部を有する構成である。そして、開口部３２ａは、受光レンズ１４に対向するように設けられており、開口部３２ｂは、投光レンズ１２に対向するように設けられている。

図３は、投光レンズ１２を示す斜視図である。図４は、受光レンズ１４を示す斜視図である。図１〜図４を参照して、光源１１は、レーザダイオードであって、測定対象物１６に対してレーザビームを照射する。投光レンズ１２は、レンズを収容するレンズホルダーを含み、光源１１から照射された光を集光し、光源１１からの光を所定の形状に調整する。受光素子１３は、ＣＭＯＳ（ＣｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙＭｅｔａｌＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）センサであって、受光面に測定対象物１６からの反射光を受光する。受光面は、複数の受光素子がライン状に配置されている。受光レンズ１４は、例えば、反射光の入射する表面が非球面形状の単レンズであって、レンズホルダー１５に収容されており、測定対象物１６からの反射光を集光して受光面に結像する。受光レンズ１４は、受光軸Ｌ_２が受光レンズ１４の中心を通るようにして配置されており、受光レンズ１４の主面が、受光軸Ｌ_２に直交するようにして配置されている。

また、レンズホルダー１５は、例えば、受光レンズ１４の周縁の４箇所を掛止するようにして受光レンズ１４を収容しており、底面３１と接する面は、平面状であり、矢印ＩＩの方向から見た場合の形状が、略四角形状である。また、レンズホルダー１５の周囲には、ピン１５ａ〜１５ｄが４箇所底面３１に固定されている。この４個のピン１５ａ〜１５ｄは、レンズホルダー１５の略四角形状の各頂点に対応するようにして配置されており、レンズホルダー１５を移動させる際の位置決め部材となる。

光学式変位センサ１０は、投光モジュール９の光源１１からレーザビームを照射すると、照射した光が側壁３２の開口部３２ｂを介して測定対象物１６に到達し、測定対象物１６で反射する。そして、測定対象物１６からの反射光が側壁３２の開口部３２ａを介して受光レンズ１４に入射し、受光レンズ１４が反射光を受光面に結像する。そして、結像の際の受光した像の位置を検出する。これにより、光学式変位センサ１０は、測定対象物１６の投光軸Ｌ_１方向の変位を測定する。

ここで、光学式変位センサ１０は、投光モジュール９、受光素子１３、および受光レンズ１４をシャインプルーフの条件を満たすように調整して配置される。図５は、光学式変位センサ１０を示す模式図である。図５を参照して、具体的には、光学式変位センサ１０は、測定対象物１６の変位を測定可能な所定の測定範囲Ｗ_１を有している。この所定の測定範囲Ｗ_１は、測定対象物１６における光の反射位置１６ａを示すものであり、投光軸Ｌ_１上の光源１１に近い第一の位置Ｐ_Ｎ１から、光源１１から離れた第二の位置Ｐ_Ｆ１までの範囲である。すなわち、測定対象物１６における光の反射位置１６ａは、投光軸Ｌ_１上の所定の測定範囲Ｗ_１の幅を有する。なお、図５中の点線で、第一の位置Ｐ_Ｎ１の測定対象物１６´、および第二の位置Ｐ_Ｆ１の測定対象物１６´´を示し、所定の測定範囲Ｗ_１である光の反射位置１６ａを太線で示している。そして、所定の測定範囲Ｗ_１は、例えば２０〜３０ｍｍである。受光素子１３の受光面１３ａは、所定の測定範囲Ｗ_１に対応して、光源１１に近い位置Ｐ_Ｎ２から光源１１から離れた位置Ｐ_Ｆ２までの所定の幅Ｗ_２を有する。

そして、光学式変位センサ１０は、所定の光学系がシャインプルーフの条件を満たすように、すなわち、測定対象物１６における反射位置１６ａ（投光軸Ｌ_１）と、受光レンズ１４の主面１４ａと、受光素子１３の受光面１３ａとを延長した線が一点Ｓ_１で交わるように、調整して配置される。これにより、光学式変位センサ１０は、測定範囲Ｗ_１のどの位置で反射した反射光であっても、結像の際に受光面１３ａでピントが合うようになる。そして、光学式変位センサ１０は、測定範囲Ｗ_１における測定対象物１６の変位を測定する。

ここで、シャインプルーフの条件を満たすように調整する具体的な調整方法について説明する。図６は、図５に示す模式図において、シャインプルーフの条件を満たしていない場合を示す図である。図７は、図６に示す模式図において、シャインプルーフの条件を満たすように、受光レンズ１４の位置を調整する手順を示す図である。なお、図７中の一点鎖線で、位置調整後の受光レンズ１４、受光レンズ１４の主面１４ａ、および受光軸Ｌ_２´を示している。

図６を参照して、光源１１の取り付け位置がずれたために、図６中の領域Ｂで示すように、投光軸Ｌ_１´上の測定対象物１６における反射位置１６ａを延長した線は、受光レンズ１４の主面１４ａと、受光素子１３の受光面１３ａとを延長した線と一点で交わっていない。このような場合の調整方法について説明する。

まず、予め、光源１１、投光レンズ１２、受光素子１３、および受光レンズ１４は、上記した図６に示すように配置されている。このとき、例えば、光源１１、投光レンズ１２、および受光素子１３においては、予め筐体３０の底面３１に固定されている。この固定する工程を第一の取り付け工程とする。

そして、受光レンズ１４の位置を移動させる。具体的には、受光レンズ１４はレンズホルダー１５に収容された状態であり、アーム等でレンズホルダー１５を底面３１に押し当てる。そして、押し当てた状態で、図７中のＺ_１方向（受光軸Ｌ_２方向）、およびＸ_１方向（底面３１に平行な方向であって受光軸Ｌ_２方向に垂直な方向）に受光レンズ１４をスライドさせる。ここで、スライドとは、底面３１上を滑らすことである。すなわち、底面３１は受光レンズ１４を移動させる際の基準となる基準面であり、基準面を基準として、受光レンズ１４を前後および左右の２軸方向に移動させる。このとき、レンズホルダー１５の移動範囲は、ピン１５ａ〜１５ｄによって規制される。

このように、シャインプルーフの条件を満たすように受光レンズ１４を動かすことによって調整する。すなわち、Ｚ_１方向（受光軸Ｌ_２方向）、およびＸ_１方向（底面３１に平行な方向であって受光軸Ｌ_２方向に垂直な方向）に受光軸Ｌ_２を調整する。なお、この受光レンズ１４を移動させる工程を受光レンズ移動工程とする。

そして、シャインプルーフの条件を満たす位置、すなわち、測定対象物１６における反射位置１６ａと、受光レンズ１４の主面１４ａと、受光素子１３の受光面１３ａとを延長した線が一点で交わる位置に受光レンズ１４が到達すると、その位置でレンズホルダー１５を底面３１に固定する。なお、固定の際には、紫外線硬化型の接着剤やネジ等を用いる。図７を参照して、測定対象物１６における反射位置１６ａと、一点鎖線で示す位置調整後の受光レンズ１４の主面１４ａと、受光素子１３の受光面１３ａとを延長した線が一点Ｓ_２で交わっている。なお、受光レンズ１４を底面３１に固定する工程を第二の取り付け工程とする。

このように、光学式変位センサ１０の調整方法は、受光レンズ１４のみを移動させて、所定の光学系がシャインプルーフの条件を満たすように調整することができる。すなわち、１つの部材を調整するのみでよい。そうすると、調整作業の工数の増加を抑制できると共に、光学式変位センサ１０そのものの小型化や、光学式変位センサ１０を製造する製造装置の小型化を図ることができる。その結果、容易に調整することができる。

また、受光レンズ１４を収容したレンズホルダー１５を底面３１上をスライドさせるのみでよいため、調整のための機構を新たに設ける必要なく、簡易な方法で調整することができる。

また、このような光学式変位センサ１０の製造方法は、受光レンズ１４のみを移動させて、所定の光学系がシャインプルーフの条件を満たすように調整することができる。すなわち、１つの部材を調整するのみでよい。そうすると、調整作業の工数の増加を抑制できると共に、光学式変位センサ１０そのものの小型化や、光学式変位センサ１０を製造する製造装置の小型化を図ることができる。その結果、容易に調整することができる。

次に、シャインプルーフの条件を満たすように調整する他の方法について説明する。図８は、図６に示す模式図において、シャインプルーフの条件を満たすように、投光レンズ１２の位置を調整する手順を示す図である。なお、図８中の二点鎖線で、位置調整後の投光レンズ１２、および投光軸Ｌ_１´´を示している。

再び、図６に示す状態において、調整方法について説明する。

まず、予め、光源１１、投光レンズ１２、受光素子１３、および受光レンズ１４は、上記した図６に示すように配置されている。このとき、例えば、光源１１、および受光素子１３においては、予め筐体３０の底面３１に固定されている。

ここで、まず、投光レンズ１２の位置を移動させる。具体的には、底面３１の蓋３３側上部においてアーム等で投光レンズ１２を収容するレンズホルダーを保持することにより、図８中のＺ_２方向（投光軸Ｌ_１方向）と、Ｘ_２方向（底面３１に平行な方向であって投光軸Ｌ_１方向に垂直な方向）と、Ｙ_２方向（底面３１に垂直な方向であって投光軸Ｌ_１方向に垂直な方向）とに投光レンズ１２を移動させる。すなわち、底面３１から離れた状態で、投光レンズ１２を前後、左右、および上下方向の３軸方向に移動させる。

このようにして、投光レンズ１２を動かすことにより、Ｚ_２方向（投光軸Ｌ_１方向）、Ｘ_２方向（底面３１に平行な方向であって投光軸Ｌ_１方向に垂直な方向）、およびＹ_２方向（底面３１に垂直な方向であって投光軸Ｌ_１方向に垂直な方向）に投光軸Ｌ_１を調整する。

そして、投光レンズ１２を移動させた位置に固定し、その固定後、上記した受光レンズ移動工程および第二の取り付け工程と同様に、受光レンズ１４を底面３１に固定する。

このようにして、シャインプルーフの条件を満たすように、投光レンズ１２、および受光レンズ１４の取り付け位置を調整する。こうすることにより、例えば投光モジュール９を構成する部品の形状のバラツキ等によって、部品が底面３１上で傾斜して配置されて、シャインプルーフの条件を満たせない状態となった場合に、投光軸Ｌ_１´の傾斜具合を抑制することができる。そして、受光レンズ１４の位置を調整する際の移動量を抑えることができる。

また、上記の実施の形態においては、受光素子１３は、ＣＭＯＳセンサである例について説明したが、これに限ることなく、ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）センサであってもよい。

また、上記の実施の形態においては、Ｓ１２において、底面３１上をスライドさせて受光レンズ１４を動かす例について説明したが、これに限ることなく、例えば、底面３１にＺ_１方向およびＸ_１方向に延びる溝等を設け、この溝に沿って受光レンズ１４を移動させてもよい。

また、上記の実施の形態においては、レンズホルダー１５の周囲にピン１５ａ〜１５ｄを設け、レンズホルダー１５の移動範囲は、ピン１５ａ〜１５ｄによって規制される例について説明したが、これに限ることなく、特にピン１５ａ〜１５ｄが設けられておらず、移動範囲が規制されなくてもよい。

また、上記の実施の形態においては、受光レンズ１４の移動の際に、ピン１５ａ〜１５ｄによって規制される例について説明したが、投光レンズ１２においても同様に、ピン等を予め底面３１に取り付けておくことにより、移動を規制してもよい。

また、上記の実施の形態においては、光学式変位センサ１０において、シャインプルーフの条件を満たすように調整する例について説明したが、これに限ることなく、光学系を調整する際にも適用することができる。すなわち、光学系を調整する際に受光レンズ１４のみを調整してもよい。

また、上記の実施の形態においては、底面３１を基準面として、受光レンズ１４を移動させる例について説明したが、これに限ることなく、例えば側壁３２等を基準面として移動させてもよい。

以上、図面を参照してこの発明の実施形態を説明したが、この発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示された実施形態に対して、この発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。

この発明は、光学式変位センサを製造する際に、有効に用いられる。

９投光モジュール、１０光学式変位センサ、１１光源、１２投光レンズ、１３受光素子、１３ａ受光面、１４受光レンズ、１４ａ主面、１５レンズホルダー、１５ａ〜１５ｄピン、１６測定対象物、１６ａ反射位置、３０筐体、３１底面、３２側壁、３２ａ，３２ｂ開口部、３３蓋。

Claims

所定の光学系を有する光学式変位センサの筐体に前記所定の光学系を固定するために行われる調整方法であって、
前記所定の光学系は、所定の測定範囲内に存在する測定対象物に対して光を照射する投光モジュールと、前記投光モジュールからの光による前記測定対象物からの反射光を受光する受光素子と、前記測定対象物と前記受光素子との間に位置して、前記反射光を前記受光素子に結像する受光レンズとを備え、
前記調整方法は、前記所定の光学系がシャインプルーフの条件を満たすように、前記受光素子および前記受光レンズのうち前記受光レンズのみを、前記受光レンズの光軸方向、および前記受光レンズの光軸方向に垂直な方向の双方に移動させることにより位置ずれを調整する、光学式変位センサの調整方法。
前記投光モジュール、前記受光素子、および前記受光レンズは、前記光学式変位センサの筐体における基準面上に配置されており、
前記調整方法は、前記受光レンズを、前記基準面上をスライドさせて移動させることにより調整する、請求項１に記載の光学式変位センサの調整方法。
前記投光モジュールは、光を照射する光源と、前記光源からの光を所定の形状に調整する投光レンズとを含み、
前記調整方法は、前記投光レンズを、前記投光レンズの光軸方向、前記投光レンズの光軸方向に垂直な方向であり前記基準面に平行な方向、および前記投光レンズの光軸方向に垂直な方向であり前記基準面に垂直な方向に移動させることにより調整する、請求項２に記載の光学式変位センサの調整方法。
所定の光学系として、所定の測定範囲内に存在する測定対象物に対して光を照射する投光モジュールと、前記投光モジュールからの光による前記測定対象物からの反射光を受光する受光素子と、前記測定対象物と前記受光素子との間に位置して、前記反射光を前記受光素子に結像する受光レンズとを備える光学式変位センサの製造方法であって、
前記投光モジュール、および前記受光素子を、前記光学式変位センサの筐体における基準面に固定する第一の取り付け工程と、
前記所定の光学系がシャインプルーフの条件を満たすように、前記基準面を基準として、前記受光レンズを、前記受光レンズの光軸方向、および前記受光レンズの光軸方向に垂直な方向の双方に移動させることによって位置ずれを調整する受光レンズ移動工程と、
前記受光レンズ移動工程において移動させた位置に、前記受光レンズを前記基準面に固定する第二の取り付け工程とを備える、光学式変位センサの製造方法。
請求項４に記載の光学式変位センサの製造方法により製造された、光学式変位センサ。