JP4647896B2 - Adhesive tape - Google Patents

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Description

本発明は、接着後に一定期間放置した場合であっても、刺激を与えることにより被着体から自己剥離させることができる粘着テープに関する。 The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive tape that can be peeled off from an adherend by giving a stimulus even when left for a certain period after bonding.

粘着テープに求められる性能はその用途により様々であるが、用途によっては、必要な間だけ強固に被着体に接着して固定できる一方で、使用後には容易に剥がせることが要求されることがある。
例えば、ICチップの製造工程において、高純度なシリコン単結晶等から切り出した厚膜ウエハを所定の厚さにまで研削して薄膜ウエハとする場合に、厚膜ウエハを両面粘着テープを用いて支持板に接着して補強することにより、効率よく作業を進めることが提案されている。このときの両面粘着テープとしては、研削工程中には強固に接着する一方で、研削工程終了後には得られた薄膜ウエハを損傷することなく支持板から剥がせることが求められる。
The performance required for adhesive tapes varies depending on the application, but depending on the application, it can be firmly adhered and fixed to the adherend as long as necessary, but it must be easily peeled off after use. There is.
For example, in a manufacturing process of an IC chip, when a thick film wafer cut from a high-purity silicon single crystal or the like is ground to a predetermined thickness to form a thin film wafer, the thick film wafer is supported using a double-sided adhesive tape. It has been proposed to work efficiently by adhering to a plate and reinforcing it. The double-sided pressure-sensitive adhesive tape at this time is required to be firmly peeled off during the grinding process, and peeled off from the support plate without damaging the thin film wafer obtained after the grinding process.

粘着テープを剥がす方法としては、例えば、物理的な力を加えて引き剥がすことが考えられる。しかし、この方法では被着体が軟弱な場合には重大な損傷を与えてしまうことがある。また、粘着剤を溶解できる溶剤を用いて粘着テープを剥がす方法も考えられる。しかし、この方法も被着体が溶剤によって侵されるものである場合には用いることができない。このように、いったん接着に用いた粘着テープは、接着力が強固であるほど、被着体を損傷することなく剥がすことが困難であるという問題があった。 As a method for peeling off the adhesive tape, for example, it is conceivable to peel it off by applying a physical force. However, this method may cause serious damage when the adherend is soft. Moreover, the method of peeling an adhesive tape using the solvent which can melt | dissolve an adhesive is also considered. However, this method cannot be used when the adherend is attacked by a solvent. As described above, the pressure-sensitive adhesive tape once used for adhesion has a problem that it is difficult to peel off the adherend without damaging the adherend as the adhesive strength is stronger.

本発明者らは、鋭意検討の結果これまでに、刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層を有する粘着テープを用いれば、発生した気体が接着面の少なくとも一部を剥がすことにより容易に被着体から粘着テープを剥離できることを見出した。更に、このとき気体が短時間に大量に発生するようにすれば、被着体を粘着剤層から自発的に剥離させ、剥離した被着体が粘着剤層からあたかも浮いたような状態にすること(以下、これを自己剥離ともいう)も可能である。このような自己剥離を実現すれは、例えば極薄にまで研削した薄膜ウエハ等、極めて破損しやすい被着体の接着にも好適に用いることができる。
しかし、粘着剤層と被着体との接着は必ずしも均一ではないことから、粘着剤層から発生する気体による剥離は比較的接着力の弱い部分から先行して進む傾向がある。このとき、接着面の端部が先に剥離してしまった場合には、発生した気体がその剥離した端部から漏れ出してしまい充分な剥離圧力が得られずに、未剥離の部分が生じて自己剥離できないことがあった。このような不均一な剥離は、とりわけ接着を行ってから一定期間以上放置して、接着亢進が進んだ場合に顕著になる傾向にあった。
As a result of intensive studies, the present inventors have so far used the pressure-sensitive adhesive tape having a pressure-sensitive adhesive layer containing a gas generating agent that generates gas by stimulation, and the generated gas peels at least a part of the adhesive surface. It was found that the adhesive tape can be easily peeled off from the adherend. Further, at this time, if a large amount of gas is generated in a short time, the adherend is spontaneously peeled from the pressure-sensitive adhesive layer, and the peeled adherend is in a state as if it floated from the pressure-sensitive adhesive layer. (Hereinafter also referred to as self-peeling). Such self-peeling can be suitably used for adhesion of adherends that are extremely fragile, such as thin film wafers ground to an extremely thin thickness.
However, since the adhesion between the pressure-sensitive adhesive layer and the adherend is not necessarily uniform, peeling by the gas generated from the pressure-sensitive adhesive layer tends to proceed in advance from a portion having a relatively weak adhesive force. At this time, if the edge of the adhesive surface has peeled off first, the generated gas leaks from the peeled edge, and sufficient peeling pressure cannot be obtained, resulting in an unpeeled part. In some cases, self-peeling was impossible. Such non-uniform peeling tended to become prominent particularly when adhesion was promoted after standing for a certain period of time after bonding.

本発明は、上記の現状に鑑み、接着後に一定期間放置した場合であっても、刺激を与えることにより被着体から自己剥離させることができる粘着テープを提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a pressure-sensitive adhesive tape that can be peeled off from an adherend by giving a stimulus even when left for a certain period of time after bonding.

本発明1は、少なくとも基材の片面に刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層が形成されている粘着テープであって、前記基材は、前記粘着剤層側の面に凸部の高さが3μm以上であるエンボス加工が施されており、前記粘着剤層は、刺激により架橋する架橋成分を含有し、かつ、前記気体発生剤は、前記粘着剤層中に溶解している粘着テープである。 The present invention 1 is an adhesive tape in which an adhesive layer containing a gas generating agent that generates gas by stimulation is formed on at least one surface of a substrate, and the substrate is on the surface of the adhesive layer side. Embossing with a convex portion height of 3 μm or more is applied, the pressure-sensitive adhesive layer contains a cross-linking component that cross-links upon stimulation , and the gas generating agent dissolves in the pressure-sensitive adhesive layer. It is an adhesive tape.

本発明2は、少なくとも基材の片面に刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層が形成されている粘着テープであって、前記粘着剤層は、刺激により架橋する架橋成分を含有し、かつ、直径3μm以上のマイクロビーズを含有する粘着テープである。 The present invention 2 is an adhesive tape in which an adhesive layer containing a gas generating agent that generates gas by stimulation is formed on at least one side of a substrate, wherein the adhesive layer has a crosslinking component that is crosslinked by stimulation. The pressure-sensitive adhesive tape contains microbeads having a diameter of 3 μm or more.

本発明3は、少なくとも基材の片面に刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層が形成されている粘着テープであって、前記粘着剤層は、表面に凸部の高さが3μm以上であるエンボス加工が施されている粘着テープである。
なお、本発明の粘着テープは基材の片面にのみ粘着剤層が形成された片面粘着テープであってもよいし、基材の両面に粘着剤層が形成された両面粘着テープであってもよい。
以下に本発明を詳述する。
The present invention 3 is an adhesive tape in which an adhesive layer containing a gas generating agent that generates gas by stimulation is formed on at least one side of a substrate, and the adhesive layer has a height of a convex portion on the surface. Is an adhesive tape that is embossed with a thickness of 3 μm or more.
The pressure-sensitive adhesive tape of the present invention may be a single-sided pressure-sensitive adhesive tape in which a pressure-sensitive adhesive layer is formed only on one side of a substrate, or a double-sided pressure-sensitive adhesive tape in which a pressure-sensitive adhesive layer is formed on both sides of a substrate. Good.
The present invention is described in detail below.

本発明者らは、鋭意検討の結果、刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層を有する粘着テープにおいて、剥離の際に気体を発生させるのに先立って、被着体と接着している粘着剤層の略全表面に凹凸が形成されるようにすれば、この凹部を起点にして気体が発生して接着面の剥離が始まり、均一に剥離が進んで未剥離部分が残らずに自己剥離できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies, the present inventors have found that the adhesive tape having a pressure-sensitive adhesive layer containing a gas generating agent that generates a gas upon stimulation is bonded to the adherend prior to generating the gas upon peeling. If unevenness is formed on almost the entire surface of the pressure-sensitive adhesive layer, gas is generated starting from the recesses, peeling of the adhesive surface begins, the peeling progresses uniformly, and an unpeeled portion remains. The present invention has been completed by finding that self-peeling can be performed without any problem.

このように粘着剤層の表面に凹凸を形成する方法としては、粘着剤層の硬化収縮を利用する方法が挙げられる。即ち、上記粘着剤層に刺激により架橋する架橋成分を配合すれば、刺激を与えることにより、粘着剤層中の架橋成分が架橋反応を起こし、これに伴い粘着剤層全体が硬化収縮する。ここで、1)予め基材の表面にエンボス加工を施して凹凸模様を形成しておいたり、2)粘着剤層中にマイクロビーズ等の添加物を配合したりしておけば、これらの凹凸や添加物が賦型材料となって、粘着剤層の硬化収縮により賦型材料の形や大きさにしたがった凹凸が粘着剤層の表面に現れる。
また、簡易的には、3)予め粘着剤層の表面にエンボス加工を施しておく方法も挙げられる。粘着テープと被着体とを接着した後比較的短期間の間には、粘着剤層の表面にはエンボス加工の効果が残存して、剥離の際にこの凹凸が再び粘着剤層の表面に現れる。ただし、接着した後、長期間保存するに従ってこの効果は失われていく。
これらの方法は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
As a method for forming irregularities on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer as described above, a method utilizing the curing shrinkage of the pressure-sensitive adhesive layer can be mentioned. That is, if a cross-linking component that is cross-linked by stimulation is added to the pressure-sensitive adhesive layer, the cross-linking component in the pressure-sensitive adhesive layer causes a cross-linking reaction due to stimulation, and the entire pressure-sensitive adhesive layer is cured and contracted accordingly. Here, 1) The surface of the base material is embossed in advance to form a concavo-convex pattern, or 2) If an additive such as microbeads is blended in the adhesive layer, these concavo-convex patterns Or an additive becomes a shaping material, and unevenness according to the shape and size of the shaping material appears on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer due to curing shrinkage of the pressure-sensitive adhesive layer.
For simplicity, 3) a method of embossing the surface of the pressure-sensitive adhesive layer in advance is also mentioned. The embossing effect remains on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer for a relatively short period of time after bonding the pressure-sensitive adhesive tape and the adherend, and this unevenness is again formed on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer during peeling. appear. However, after bonding, this effect is lost as it is stored for a long time.
These methods may be used independently and may use 2 or more types together.

本発明1は、上述の1)の方法により剥離の際に粘着テープの粘着剤層の表面に凹凸を形成して自己剥離を実現するものであり、少なくとも基材の片面に刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層が形成されている粘着テープであって、基材は、粘着剤層側の面に凸部の高さが3μm以上であるエンボス加工が施されており、粘着剤層は、刺激により架橋する架橋成分を含有する粘着テープである。 The present invention 1 realizes self-peeling by forming irregularities on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive tape at the time of peeling by the method 1) described above, and generates gas by stimulation on at least one side of the substrate. The pressure-sensitive adhesive tape is formed with a pressure-sensitive adhesive layer containing a gas generating agent, and the base material is embossed with a convex portion height of 3 μm or more on the surface on the pressure-sensitive adhesive layer side, The pressure-sensitive adhesive layer is a pressure-sensitive adhesive tape containing a crosslinking component that is crosslinked by stimulation.

本発明1の粘着テープは、基材と粘着剤層とを有する。
上記基材としては特に限定されないが、上記気体発生剤から気体を発生させる刺激が光による刺激である場合には、光を透過又は通過するものであることが好ましく、例えば、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ABS、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の透明な樹脂からなるシート、網目状の構造を有するシート、孔が開けられたシート等が挙げられる。
The adhesive tape of this invention 1 has a base material and an adhesive layer.
Although it does not specifically limit as said base material, When the irritation | stimulation which generates gas from the said gas generating agent is irritation | stimulation by light, it is preferable that it is what permeate | transmits or passes light, for example, an acryl, an olefin, a polycarbonate , Vinyl chloride, ABS, polyethylene terephthalate (PET), nylon, urethane, a sheet made of transparent resin such as polyimide, a sheet having a network structure, a sheet with holes, and the like.

本発明1においては、上記基材の粘着剤層側の面にはエンボス加工が施されている。なお、本明細書において、エンボス加工とは、表面に凹凸模様をつけることをいう。
エンボス加工により基材の表面に付与される凹凸模様としては、例えば、基材の全面にわたって形成されており、形成される凸部のほぼ全体が数百μm程度の間隔で連続しているランダムな凹凸模様や規則的な凹凸模様等が挙げられる。なかでも、規則正しい凹凸模様であって、凸部の高さが揃っており、かつ、凹部の深さが揃っている凹凸模様が好ましい。このような凹凸模様としては、例えば、点、直線、円弧等が全面にわたって数百μm程度の間隔で連続的に並んだ凹凸模様等が挙げられる。
In this invention 1, the surface at the side of the adhesive layer of the said base material is embossed. In the present specification, embossing refers to providing a surface with a concavo-convex pattern.
The uneven pattern imparted to the surface of the base material by embossing is, for example, a random pattern that is formed over the entire surface of the base material, and almost all the convex portions that are formed are continuous at intervals of about several hundred μm. An uneven pattern, a regular uneven pattern, etc. are mentioned. Among them, a concavo-convex pattern having a regular concavo-convex pattern in which the heights of the convex portions are uniform and the depths of the concave portions are uniform is preferable. Examples of such a concavo-convex pattern include a concavo-convex pattern in which dots, straight lines, arcs and the like are continuously arranged at intervals of about several hundred μm over the entire surface.

上記エンボス加工により基材の表面に付与される凹凸模様の凸部の高さは3μm以上である。3μm未満であると、気体発生の起点となり得る程度に充分な高さのある凹凸が粘着剤層の表面に形成されず、自己剥離を実現できない。好ましくは8μm以上、より好ましくは10μm以上である。 The height of the convex part of the concavo-convex pattern provided on the surface of the substrate by the embossing is 3 μm or more. If the thickness is less than 3 μm, the surface of the pressure-sensitive adhesive layer is not sufficiently uneven so as to be a starting point for gas generation, and self-peeling cannot be realized. Preferably it is 8 micrometers or more, More preferably, it is 10 micrometers or more.

上記粘着剤層は、刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する。
上記気体発生剤から気体を発生させる刺激としては、例えば、光、熱、超音波による刺激が挙げられる。なかでも光又は熱による刺激が好ましい。上記光としては、例えば、紫外線や可視光線等が挙げられる。上記刺激として光による刺激を用いる場合には、気体発生剤を含有する粘着剤層は、光が透過又は通過できるものであることが好ましい。
上記刺激により気体を発生する気体発生剤としては特に限定されないが、例えば、アゾ化合物、アジド化合物が好適に用いられる。
The pressure-sensitive adhesive layer contains a gas generating agent that generates gas upon stimulation.
Examples of the stimulus for generating gas from the gas generating agent include stimulation by light, heat, and ultrasonic waves. Of these, stimulation by light or heat is preferred. Examples of the light include ultraviolet light and visible light. When light stimulation is used as the stimulation, the pressure-sensitive adhesive layer containing the gas generating agent is preferably capable of transmitting or passing light.
Although it does not specifically limit as a gas generating agent which generate | occur | produces gas by the said irritation | stimulation, For example, an azo compound and an azide compound are used suitably.

上記アゾ化合物としては、例えば、2,2’−アゾビス(N−シクロヘキシル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス[N−(2−メチルプロピル)−2−メチルプロピオンアミド]、2,2’−アゾビス(N−ブチル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス[N−(2−メチルエチル)−2−メチルプロピオンアミド]、2,2’−アゾビス(N−ヘキシル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス(N−プロピル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス(N−エチル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス{2−メチル−N−[1,1−ビス(ヒドロキシメチル)−2−ヒドロキシエチル]プロピオンアミド}、2,2’−アゾビス{2−メチル−N−[2−(1−ヒドロキシブチル)]プロピオンアミド}、2,2’−アゾビス[2−メチル−N−(2−ヒドロキシエチル)プロピオンアミド]、2,2’−アゾビス[N−(2−プロペニル)−2−メチルプロピオンアミド]、2,2’−アゾビス[2−(5−メチル−2−イミダゾリン2−イル)プロパン]ジハイドロクロライド、2,2’−アゾビス[2−(2−イミダゾリン2−イル)プロパン]ジハイドロクロライド、2,2’−アゾビス[2−(2−イミダゾリン2−イル)プロパン]ジサルフェイトジハイドロレート、2,2’−アゾビス[2−(3,4,5,6−テトラハイドロピリミジン−2−イル)プロパン]ジハイドロクロライド、2,2’−アゾビス{2−[1−(2−ヒドロキシエチル)−2−イミダゾリン2−イル]プロパン}ジハイドロクロライド、2,2’−アゾビス[2−(2−イミダゾリン2−イル)プロパン]、2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオンアミジン)ハイドロクロライド、2,2’−アゾビス(2−アミノプロパン)ジハイドロクロライド、2,2’−アゾビス[N−(2−カルボキシアシル)−2−メチル−プロピオンアミジン]、2,2’−アゾビス{2−[N−(2−カルボキシエチル)アミジン]プロパン}、2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオンアミドオキシム)、ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)、ジメチル2,2’−アゾビスイソブチレート、4,4’−アゾビス(4−シアンカルボニックアシッド)、4,4’−アゾビス(4−シアノペンタノイックアシッド)、2,2’−アゾビス(2,4,4−トリメチルペンタン)等が挙げられる。これらのアゾ化合物は、主に波長365nm程度の紫外線領域の光を照射することにより窒素ガスを発生する。 Examples of the azo compound include 2,2′-azobis (N-cyclohexyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis [N- (2-methylpropyl) -2-methylpropionamide], 2 , 2′-azobis (N-butyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis [N- (2-methylethyl) -2-methylpropionamide], 2,2′-azobis (N-hexyl) -2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-propyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-ethyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis {2-Methyl-N- [1,1-bis (hydroxymethyl) -2-hydroxyethyl] propionamide}, 2,2′-azobis {2-methyl-N- [2- ( -Hydroxybutyl)] propionamide}, 2,2′-azobis [2-methyl-N- (2-hydroxyethyl) propionamide], 2,2′-azobis [N- (2-propenyl) -2-methyl Propionamide], 2,2′-azobis [2- (5-methyl-2-imidazolin-2-yl) propane] dihydrochloride, 2,2′-azobis [2- (2-imidazolin-2-yl) propane] Dihydrochloride, 2,2′-azobis [2- (2-imidazolin-2-yl) propane] disulfate dihydrolate, 2,2′-azobis [2- (3,4,5,6-tetrahydro Pyrimidin-2-yl) propane] dihydrochloride, 2,2′-azobis {2- [1- (2-hydroxyethyl) -2-imidazolin-2-yl] propyl Pan} dihydrochloride, 2,2′-azobis [2- (2-imidazolin-2-yl) propane], 2,2′-azobis (2-methylpropionamidine) hydrochloride, 2,2′-azobis (2 -Aminopropane) dihydrochloride, 2,2'-azobis [N- (2-carboxyacyl) -2-methyl-propionamidine], 2,2'-azobis {2- [N- (2-carboxyethyl) Amidine] propane}, 2,2′-azobis (2-methylpropionamide oxime), dimethyl 2,2′-azobis (2-methylpropionate), dimethyl 2,2′-azobisisobutyrate, 4, 4'-azobis (4-cyancarbonic acid), 4,4'-azobis (4-cyanopentanoic acid), 2,2'-azobi (2,4,4-trimethylpentane) and the like. These azo compounds generate nitrogen gas mainly by irradiating light in the ultraviolet region with a wavelength of about 365 nm.

上記アゾ化合物は、10時間半減期温度が80℃以上であることが好ましい。10時間半減期温度が80℃未満であると、本発明の粘着テープは、キャストにより粘着剤層を形成して乾燥する際に発泡を生じてしまったり、経時的に分解反応を生じて分解残渣がブリードアウトしてしまったり、経時的に気体を発生して貼り合わせた被着体との界面に浮きを生じさせてしまったりすることがある。10時間半減期温度が80℃以上であれば、耐熱性に優れていることから、高温での使用及び安定した貯蔵が可能である。 The azo compound preferably has a 10-hour half-life temperature of 80 ° C. or higher. When the 10-hour half-life temperature is less than 80 ° C., the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention may cause foaming when it is dried by forming a pressure-sensitive adhesive layer by casting, or a decomposition reaction may occur over time. May bleed out, or may generate gas over time and cause floating at the interface with the adherend. If the 10-hour half-life temperature is 80 ° C. or higher, the heat resistance is excellent, and therefore, use at a high temperature and stable storage are possible.

10時間半減期温度が80℃以上であるアゾ化合物としては、下記一般式(1)で表されるアゾアミド化合物等が挙げられる。下記一般式(1)で表されるアゾアミド化合物は、耐熱性に優れていることに加え、後述するアクリル酸アルキルエステルポリマー等の粘着性を有するポリマーへの溶解性にも優れ、接着性物質中に粒子として存在しないものとすることができる。 Examples of the azo compound having a 10-hour half-life temperature of 80 ° C. or higher include an azoamide compound represented by the following general formula (1). In addition to excellent heat resistance, the azoamide compound represented by the following general formula (1) is also excellent in solubility in adhesive polymers such as an alkyl acrylate polymer to be described later. The particles may not exist as particles.

Figure 0004647896
Figure 0004647896

式(1)中、R及びRは、それぞれ低級アルキル基を表し、Rは、炭素数2以上の飽和アルキル基を表す。なお、RとRは、同一であっても、異なっていてもよい。 In formula (1), R 1 and R 2 each represent a lower alkyl group, and R 3 represents a saturated alkyl group having 2 or more carbon atoms. R 1 and R 2 may be the same or different.

上記一般式(1)で表されるアゾアミド化合物としては、例えば、2,2’−アゾビス(N−シクロヘキシル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス[N−(2−メチルプロピル)−2−メチルプロピオンアミド]、2,2’−アゾビス(N−ブチル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス[N−(2−メチルエチル)−2−メチルプロピオンアミド]、2,2’−アゾビス(N−ヘキシル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス(N−プロピル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス(N−エチル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス{2−メチル−N−[1,1−ビス(ヒドロキシメチル)−2−ヒドロキシエチル]プロピオンアミド}、2,2’−アゾビス{2−メチル−N−[2−(1−ヒドロキシブチル)]プロピオンアミド}、2,2’−アゾビス[2−メチル−N−(2−ヒドロキシエチル)プロピオンアミド]、2,2’−アゾビス[N−(2−プロペニル)−2−メチルプロピオンアミド]等が挙げられる。なかでも、2,2’−アゾビス(N−ブチル−2−メチルプロピオンアミド)及び2,2’−アゾビス[N−(2−プロペニル)−2−メチルプロピオンアミド]は、溶剤への溶解性に特に優れていることから好適に用いられる。 Examples of the azoamide compound represented by the general formula (1) include 2,2′-azobis (N-cyclohexyl-2-methylpropionamide) and 2,2′-azobis [N- (2-methylpropyl). -2-methylpropionamide], 2,2′-azobis (N-butyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis [N- (2-methylethyl) -2-methylpropionamide], 2 , 2′-azobis (N-hexyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-propyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-ethyl-2-methylpropionamide) Amide), 2,2′-azobis {2-methyl-N- [1,1-bis (hydroxymethyl) -2-hydroxyethyl] propionamide}, 2,2′-azobi {2-methyl-N- [2- (1-hydroxybutyl)] propionamide}, 2,2′-azobis [2-methyl-N- (2-hydroxyethyl) propionamide], 2,2′-azobis [N- (2-propenyl) -2-methylpropionamide] and the like. Among these, 2,2′-azobis (N-butyl-2-methylpropionamide) and 2,2′-azobis [N- (2-propenyl) -2-methylpropionamide] have improved solubility in solvents. It is preferably used because it is particularly excellent.

上記アジド化合物としては、例えば、3−アジドメチル−3−メチルオキセタン、テレフタルアジド、p−tert−ブチルベンズアジド;3−アジドメチル−3−メチルオキセタンを開環重合することにより得られるグリシジルアジドポリマー等のアジド基を有するポリマー等が挙げられる。これらのアジド化合物は、主に波長365nm程度の紫外線領域の光を照射することにより窒素ガスを発生する。 Examples of the azide compound include 3-azidomethyl-3-methyloxetane, terephthalazide, p-tert-butylbenzazide; glycidyl azide polymer obtained by ring-opening polymerization of 3-azidomethyl-3-methyloxetane, and the like. Examples thereof include a polymer having an azide group. These azide compounds generate nitrogen gas mainly by irradiating light in the ultraviolet region with a wavelength of about 365 nm.

これらの気体発生剤のうち、上記アジド化合物は衝撃を与えることによっても容易に分解して窒素ガスを放出することから、取り扱いが困難であるという問題がある。更に、上記アジド化合物は、いったん分解が始まると連鎖反応を起こして爆発的に窒素ガスを放出しその制御ができないことから、爆発的に発生した窒素ガスによって被着体が損傷することがあるという問題もある。このような問題から上記アジド化合物の使用量は限定されるが、限定された使用量では充分な効果が得られないことがある。 Among these gas generating agents, the azide compound is easily decomposed even by giving an impact and releases nitrogen gas, so that there is a problem that handling is difficult. Furthermore, once the decomposition starts, the azide compound causes a chain reaction and explosively releases nitrogen gas, which cannot be controlled. Therefore, the adherend may be damaged by the explosively generated nitrogen gas. There is also a problem. Due to such problems, the amount of the azide compound used is limited, but sufficient effects may not be obtained with the limited amount used.

一方、上記アゾ化合物は、アジド化合物とは異なり衝撃によっては気体を発生しないことから取り扱いが極めて容易である。また、連鎖反応を起こして爆発的に気体を発生することもないため被着体を損傷することもなく、光の照射を中断すれば気体の発生も中断できることから、用途に合わせた接着性の制御が可能であるという利点もある。従って、上記気体発生剤としては、アゾ化合物を用いることがより好ましい。 On the other hand, unlike the azide compound, the azo compound is extremely easy to handle because it does not generate gas upon impact. In addition, since no gas is explosively generated due to a chain reaction, the adherend is not damaged, and generation of gas can be interrupted if light irradiation is interrupted. There is also an advantage that control is possible. Therefore, it is more preferable to use an azo compound as the gas generating agent.

上記気体発生剤は、上記粘着剤層中に粒子として存在しないことが好ましい。なお、本明細書において、気体発生剤が粒子として存在しないとは、電子顕微鏡により上記粘着剤層を観察したときに気体発生剤を確認することができないことを意味する。上記粘着剤層中に気体発生剤が粒子として存在すると、気体を発生させる刺激として光を照射したときに粒子の界面で光が散乱して気体発生効率が低くなってしまったり、粘着剤層の表面平滑性が悪くなったりすることがある。 The gas generating agent is preferably not present as particles in the pressure-sensitive adhesive layer. In addition, in this specification, that a gas generating agent does not exist as a particle | grain means that a gas generating agent cannot be confirmed when the said adhesive layer is observed with an electron microscope. When the gas generating agent is present as particles in the pressure-sensitive adhesive layer, when light is irradiated as a gas generating stimulus, light is scattered at the particle interface, resulting in low gas generation efficiency. The surface smoothness may deteriorate.

上記気体発生剤を粒子として存在しないようにするには、通常、上記粘着剤層を構成する粘着剤に溶解する気体発生剤を選択するが、粘着剤に溶解しない気体発生剤を選択する場合には、例えば、分散機を用いたり、分散剤を併用したりすることにより粘着剤層中に気体発生剤を微分散させる。粘着剤層中に気体発生剤を微分散させるためには、気体発生剤は、微小な粒子であることが好ましく、更に、これらの微粒子は、例えば、分散機や混練装置等を用いて必要に応じてより細かい微粒子とすることが好ましい。即ち、電子顕微鏡により上記粘着剤層を観察したときに気体発生剤を確認することができない状態まで分散させることがより好ましい。 In order to prevent the gas generating agent from being present as particles, normally, a gas generating agent that dissolves in the adhesive constituting the adhesive layer is selected, but when a gas generating agent that does not dissolve in the adhesive is selected. For example, the gas generating agent is finely dispersed in the pressure-sensitive adhesive layer by using a disperser or using a dispersing agent in combination. In order to finely disperse the gas generating agent in the pressure-sensitive adhesive layer, the gas generating agent is preferably fine particles, and these fine particles are necessary using, for example, a disperser or a kneading apparatus. Accordingly, finer fine particles are preferable. That is, it is more preferable to disperse the gas generating agent to a state where it cannot be confirmed when the pressure-sensitive adhesive layer is observed with an electron microscope.

本発明の粘着テープでは、上記気体発生剤から発生した気体は粘着剤層の外へ放出されることが好ましい。これにより、本発明の粘着テープを被着体に貼り付けた接着面に光を照射すると気体発生剤から発生した気体が被着体から接着面の少なくとも一部を剥がし接着力を低下させるため、容易に被着体から剥離することができる。この際、気体発生剤から発生した気体の大部分は粘着剤層の外へ放出されることが好ましい。上記気体発生剤から発生した気体の大部分が粘着剤層の外へ放出されないと、粘着剤層が気体発生剤から発生した気体により全体的に発泡してしまい、接着力を低下させる効果を充分に得ることができず、被着体に糊残りを生じさせてしまうことがある。なお、被着体に糊残りを生じさせない程度であれば、気体発生剤から発生した気体の一部が粘着剤層中に溶け込んでいたり、気泡として粘着剤層中に存在していたりしてもかまわない。 In the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention, the gas generated from the gas generating agent is preferably released out of the pressure-sensitive adhesive layer. Thereby, when irradiating light to the adhesion surface where the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention is attached to the adherend, the gas generated from the gas generating agent peels off at least a part of the adhesion surface from the adherend and reduces the adhesive force. It can be easily peeled off from the adherend. At this time, it is preferable that most of the gas generated from the gas generating agent is released out of the pressure-sensitive adhesive layer. If most of the gas generated from the gas generating agent is not released to the outside of the pressure-sensitive adhesive layer, the pressure-sensitive adhesive layer is foamed entirely by the gas generated from the gas generating agent, and the effect of reducing the adhesive force is sufficient. In some cases, adhesive residue may be generated on the adherend. As long as no adhesive residue is generated on the adherend, a part of the gas generated from the gas generating agent may be dissolved in the adhesive layer or may be present as bubbles in the adhesive layer. It doesn't matter.

上記粘着剤層を構成する粘着剤は、刺激により架橋する架橋成分を含有する。このような架橋成分を含有することにより、剥離の際に気体を発生させるのに先立って架橋成分を架橋させれば粘着剤層全体が硬化収縮して、基材の表面の凹凸模様に応じた凹凸が粘着剤層の表面に現れる。
上記架橋成分を架橋させる刺激は、上記気体発生剤から気体を発生させる刺激と同一であってもよいし、異なっていてもよい。刺激が異なる場合には、剥離の際、気体発生剤から気体を発生させる刺激を与える前に架橋成分を架橋させる刺激を与える。また、刺激が同一である場合でも、通常は気体発生剤から気体が発生し、それが粘着剤層から放出されるまでにはタイムラグがあることから、架橋成分の架橋反応と粘着剤層の硬化収縮とが先行する。
The pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer contains a cross-linking component that cross-links upon stimulation. By including such a crosslinking component, if the crosslinking component is crosslinked prior to generating gas during peeling, the entire pressure-sensitive adhesive layer is cured and shrunk, corresponding to the uneven pattern on the surface of the substrate. Unevenness appears on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer.
The stimulus for crosslinking the crosslinking component may be the same as or different from the stimulus for generating gas from the gas generating agent. When the stimuli are different, a stimulus for cross-linking the cross-linking component is given before giving a stimulus for generating gas from the gas generating agent at the time of peeling. Even when the stimulation is the same, gas is usually generated from the gas generating agent, and there is a time lag before it is released from the adhesive layer, so the crosslinking reaction of the crosslinking component and the curing of the adhesive layer Shrinkage precedes.

上記架橋成分としては特に限定されず、例えば、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマー等が挙げられる。これらの架橋成分とともに、例えば、光重合開始剤を配合すれば光による刺激により架橋成分の架橋反応を開始させることができ、熱重合開始剤を配合すれば熱による刺激により架橋成分の架橋反応を開始させることができる。更に、分子内にラジカル重合性の不飽和結合を有してなるアクリル酸アルキルエステル系及び/又はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーを組み合わせれば、光硬化型粘着剤又は熱硬化型粘着剤となる。 The crosslinking component is not particularly limited, and examples thereof include a radical polymerizable polyfunctional oligomer or monomer. Along with these crosslinking components, for example, if a photopolymerization initiator is blended, the crosslinking reaction of the crosslinking component can be initiated by light stimulation, and if a thermal polymerization initiator is blended, the crosslinking component is crosslinked by heat stimulation. Can be started. Furthermore, if an acrylic acid alkyl ester-based and / or methacrylic acid alkyl ester-based polymerizable polymer having a radical polymerizable unsaturated bond in the molecule is combined, a photo-curing adhesive or a thermosetting adhesive It becomes.

このような光硬化型粘着剤又は熱硬化型粘着剤等の後硬化型粘着剤は、光の照射又は加熱により粘着剤の全体が均一にかつ速やかに重合架橋して一体化するため、重合硬化による弾性率の上昇が著しくなり、粘着力が大きく低下することから、更に剥離性を向上させることができる。また、硬い硬化物中で気体発生剤から気体を発生させると、発生した気体の大半は外部に放出され、放出された気体は、被着体から接着面の少なくとも一部を剥がし接着力を低下させる。 Such a photo-curing pressure-sensitive adhesive or a thermosetting pressure-sensitive adhesive such as a thermosetting pressure-sensitive adhesive is polymerized and cured because the entire pressure-sensitive adhesive is uniformly and rapidly polymerized and cross-linked by irradiation or heating with light. As the elastic modulus increases significantly due to, and the adhesive strength is greatly reduced, the peelability can be further improved. In addition, when gas is generated from a gas generating agent in a hard cured product, most of the generated gas is released to the outside, and the released gas peels at least part of the adhesive surface from the adherend, reducing the adhesive strength. Let

上記重合性ポリマーは、例えば、分子内に官能基を持った(メタ)アクリル系ポリマー(以下、官能基含有(メタ)アクリル系ポリマーという)をあらかじめ合成し、分子内に上記の官能基と反応する官能基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物(以下、官能基含有不飽和化合物という)と反応させることにより得ることができる。 The polymerizable polymer is prepared by, for example, previously synthesizing a (meth) acrylic polymer having a functional group in the molecule (hereinafter referred to as a functional group-containing (meth) acrylic polymer) and reacting with the functional group in the molecule. It can obtain by making it react with the compound (henceforth a functional group containing unsaturated compound) which has a functional group to perform and a radically polymerizable unsaturated bond.

上記官能基含有(メタ)アクリル系ポリマーは、常温で粘着性を有するポリマーとして、一般の(メタ)アクリル系ポリマーの場合と同様に、アルキル基の炭素数が通常2〜18の範囲にあるアクリル酸アルキルエステル及び/又はメタクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、これと官能基含有モノマーと、更に必要に応じてこれらと共重合可能な他の改質用モノマーとを常法により共重合させることにより得られるものである。上記官能基含有(メタ)アクリル系ポリマーの重量平均分子量は通常20万〜200万程度である。 The functional group-containing (meth) acrylic polymer is an acrylic having an alkyl group usually in the range of 2 to 18 as a polymer having adhesiveness at room temperature, as in the case of a general (meth) acrylic polymer. By copolymerizing an acid alkyl ester and / or methacrylic acid alkyl ester as a main monomer, a functional group-containing monomer, and, if necessary, another modifying monomer copolymerizable therewith by a conventional method It is obtained. The weight average molecular weight of the functional group-containing (meth) acrylic polymer is usually about 200,000 to 2,000,000.

上記官能基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等のカルボキシル基含有モノマー;アクリル酸ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマー;アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有モノマー;アクリル酸イソシアネートエチル、メタクリル酸イソシアネートエチル等のイソシアネート基含有モノマー;アクリル酸アミノエチル、メタクリル酸アミノエチル等のアミノ基含有モノマー等が挙げられる。 Examples of the functional group-containing monomer include a carboxyl group-containing monomer such as acrylic acid and methacrylic acid; a hydroxyl group-containing monomer such as hydroxyethyl acrylate and hydroxyethyl methacrylate; and an epoxy group containing glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate. Monomers; Isocyanate group-containing monomers such as isocyanate ethyl acrylate and isocyanate ethyl methacrylate; and amino group-containing monomers such as aminoethyl acrylate and aminoethyl methacrylate.

上記共重合可能な他の改質用モノマーとしては、例えば、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の一般の(メタ)アクリル系ポリマーに用いられている各種のモノマーが挙げられる。 Examples of other modifying monomers that can be copolymerized include various monomers used in general (meth) acrylic polymers such as vinyl acetate, acrylonitrile, and styrene.

上記官能基含有(メタ)アクリル系ポリマーに反応させる官能基含有不飽和化合物としては、上記官能基含有(メタ)アクリル系ポリマーの官能基に応じて上述した官能基含有モノマーと同様のものを使用できる。例えば、上記官能基含有(メタ)アクリル系ポリマーの官能基がカルボキシル基の場合はエポキシ基含有モノマーやイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がヒドロキシル基の場合はイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がエポキシ基の場合はカルボキシル基含有モノマーやアクリルアミド等のアミド基含有モノマーが用いられ、同官能基がアミノ基の場合はエポキシ基含有モノマーが用いられる。 The functional group-containing unsaturated compound to be reacted with the functional group-containing (meth) acrylic polymer is the same as the functional group-containing monomer described above according to the functional group of the functional group-containing (meth) acrylic polymer. it can. For example, when the functional group of the functional group-containing (meth) acrylic polymer is a carboxyl group, an epoxy group-containing monomer or an isocyanate group-containing monomer is used, and when the functional group is a hydroxyl group, an isocyanate group-containing monomer is used. When the functional group is an epoxy group, a carboxyl group-containing monomer or an amide group-containing monomer such as acrylamide is used, and when the functional group is an amino group, an epoxy group-containing monomer is used.

上記多官能オリゴマー又はモノマーとしては、分子量が1万以下であるものが好ましく、より好ましくは加熱又は光の照射による粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が5000以下でかつ分子内のラジカル重合性の不飽和結合の数が2〜20個のものである。このようなより好ましい多官能オリゴマー又はモノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート又は上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。その他、1,4−ブチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート、上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。これらの多官能オリゴマー又はモノマーは、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The polyfunctional oligomer or monomer preferably has a molecular weight of 10,000 or less, and more preferably has a molecular weight of 5000 or less so that the three-dimensional network of the pressure-sensitive adhesive layer can be efficiently formed by heating or light irradiation. And the number of radically polymerizable unsaturated bonds in the molecule is 2 to 20. Examples of such more preferred polyfunctional oligomers or monomers include trimethylolpropane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate. Or the above-mentioned methacrylates etc. are mentioned. Other examples include 1,4-butylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, commercially available oligoester acrylate, and methacrylates similar to those described above. These polyfunctional oligomers or monomers may be used alone or in combination of two or more.

上記光重合開始剤としては、例えば、250〜800nmの波長の光を照射することにより活性化されるものが挙げられ、このような光重合開始剤としては、例えば、メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体化合物;ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物;ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等のケタール誘導体化合物;フォスフィンオキシド誘導体化合物;ビス(η5−シクロペンタジエニル)チタノセン誘導体化合物、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、クロロチオキサントン、トデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the photopolymerization initiator include those activated by irradiation with light having a wavelength of 250 to 800 nm. Examples of such a photopolymerization initiator include acetophenone derivative compounds such as methoxyacetophenone. Benzoin ether compounds such as benzoin propyl ether and benzoin isobutyl ether; ketal derivative compounds such as benzyl dimethyl ketal and acetophenone diethyl ketal; phosphine oxide derivative compounds; bis (η5-cyclopentadienyl) titanocene derivative compounds, benzophenone, Michler's ketone Chlorothioxanthone, todecylthioxanthone, dimethylthioxanthone, diethylthioxanthone, α-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxymethylphenyl pro Examples thereof include photo radical polymerization initiators such as bread. These photoinitiators may be used independently and 2 or more types may be used together.

上記熱重合開始剤としては、熱により分解し、重合硬化を開始する活性ラジカルを発生するものが挙げられ、例えば、ジクミルパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシベンゾエール、t−ブチルハイドロパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、パラメンタンハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド等が挙げられる。なかでも、熱分解温度が高いことから、クメンハイドロパーオキサイド、パラメンタンハイドロパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド等が好適である。これらの熱重合開始剤のうち市販されているものとしては特に限定されないが、例えば、パーブチルD、パーブチルH、パーブチルP、パーメンタH(以上いずれも日本油脂製)等が好適である。これら熱重合開始剤は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the thermal polymerization initiator include those that decompose by heat and generate active radicals that initiate polymerization and curing, such as dicumyl peroxide, di-t-butyl peroxide, and t-butyl peroxybenzoale. , T-butyl hydroperoxide, benzoyl peroxide, cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, paramentane hydroperoxide, di-t-butyl peroxide and the like. Among these, cumene hydroperoxide, paramentane hydroperoxide, di-t-butyl peroxide, and the like are preferable because of their high thermal decomposition temperature. Although it does not specifically limit as what is marketed among these thermal-polymerization initiators, For example, perbutyl D, perbutyl H, perbutyl P, permenta H (all are the products made from NOF) etc. are suitable. These thermal polymerization initiators may be used independently and 2 or more types may be used together.

上記後硬化型粘着剤には、以上の成分のほか、粘着剤としての凝集力の調節を図る目的で、所望によりイソシアネート化合物、メラミン化合物、エポキシ化合物等の一般の粘着剤に配合される各種の多官能性化合物を適宜配合してもよい。また、可塑剤、樹脂、界面活性剤、ワックス、微粒子充填剤等の公知の添加剤を加えることもできる。 In addition to the above components, the post-curing pressure-sensitive adhesive described above is variously blended with general pressure-sensitive adhesives such as isocyanate compounds, melamine compounds, and epoxy compounds as desired for the purpose of adjusting the cohesive force as pressure-sensitive adhesives You may mix | blend a polyfunctional compound suitably. Moreover, well-known additives, such as a plasticizer, resin, surfactant, wax, and a fine particle filler, can also be added.

本発明1の粘着テープを製造する方法としては特に限定されず、例えば、上記基材のエンボス加工を施した面上に、上記気体発生剤等を含有する粘着剤等をドクターナイフやスピンコーター等を用いて塗工する方法等が挙げられる。 The method for producing the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention 1 is not particularly limited. For example, a pressure-sensitive adhesive containing the gas generating agent or the like is applied to the surface of the substrate that has been embossed. Examples of the method include coating using, for example.

本発明2は、上述の2)の方法により剥離の際に粘着テープの粘着剤層の表面に凹凸を形成して自己剥離を実現するものであり、少なくとも基材の片面に刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層が形成されている粘着テープであって、粘着剤層は、刺激により架橋する架橋成分を含有し、かつ、直径3μm以上のマイクロビーズを含有する粘着テープである。
本発明2の粘着テープにおける、気体発生剤、粘着剤層を構成する粘着剤等としては、本発明1の粘着テープのものと同様のものを用いることができる。また、基材についてもエンボス加工を施す必要がない以外は、本発明1の粘着テープと同様のものを用いることができる。
The present invention 2 realizes self-peeling by forming irregularities on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive tape at the time of peeling by the method 2) described above, and generates gas by stimulation on at least one side of the substrate. The pressure-sensitive adhesive tape has a pressure-sensitive adhesive layer containing a gas generating agent, and the pressure-sensitive adhesive layer is a pressure-sensitive adhesive tape containing a cross-linking component that is cross-linked by stimulation and containing microbeads having a diameter of 3 μm or more. is there.
As the gas generating agent, the pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer and the like in the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention 2, those similar to those of the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention 1 can be used. Moreover, the thing similar to the adhesive tape of this invention 1 can be used except that it is not necessary to emboss about a base material.

本発明2の粘着テープにおいて、上記粘着剤層はマイクロビーズを含有する。マイクロビーズを含有することにより、剥離の際に気体を発生させるのに先立って、粘着剤層中に含まれる架橋成分を架橋させれば粘着剤層全体が硬化収縮して、マイクロビーズの形や大きさに応じた凹凸が粘着剤層の表面に現れる。 In the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention 2, the pressure-sensitive adhesive layer contains microbeads. By containing microbeads, if the cross-linking component contained in the pressure-sensitive adhesive layer is cross-linked prior to generating gas at the time of peeling, the entire pressure-sensitive adhesive layer is cured and shrunk, Unevenness corresponding to the size appears on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer.

上記マイクロビーズの直径は3μm以上である。3μm未満であると、気体発生の起点となり得る程度に充分な高さのある凹凸が粘着剤層の表面に形成されず、自己剥離を実現できない。好ましくは8μm以上、より好ましくは10μm以上である。
また、上記マイクロビーズの配合量としては特に限定されないが、上記粘着剤層を構成する粘着剤100重量部に対して好ましい下限は1重量部、好ましい上限は30重量部である。
The diameter of the microbead is 3 μm or more. If the thickness is less than 3 μm, the surface of the pressure-sensitive adhesive layer is not sufficiently uneven so as to be a starting point for gas generation, and self-peeling cannot be realized. Preferably it is 8 micrometers or more, More preferably, it is 10 micrometers or more.
Further, the blending amount of the microbeads is not particularly limited, but a preferable lower limit is 1 part by weight and a preferable upper limit is 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer.

本発明2の粘着テープを製造する方法としては特に限定されず、例えば、上記基材の片面上に、上記気体発生剤及びマイクロビーズ等を含有する粘着剤等をドクターナイフやスピンコーター等を用いて塗工する方法等が挙げられる。 The method for producing the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention 2 is not particularly limited. For example, a pressure-sensitive adhesive containing the gas generating agent and microbeads is used on one side of the base material using a doctor knife or a spin coater. And the method of coating.

本発明3は、上述の3)の方法により剥離の際に粘着剤層の表面に凹凸を形成して自己剥離を実現するものであり、少なくとも基材の片面に刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層が形成されている粘着テープであって、粘着剤層は、表面に凸部の高さが3μm以上であるエンボス加工が施されている粘着テープである。
本発明3の粘着テープにおける、気体発生剤、粘着剤層を構成する粘着剤等としては、本発明1の粘着テープのものと同様のものを用いることができる。また、基材についてもエンボス加工を施す必要がない以外は、本発明1の粘着テープと同様のものを用いることができる。
The present invention 3 realizes self-peeling by forming irregularities on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer at the time of peeling by the method of 3) described above, and gas generation that generates gas by stimulation on at least one side of the substrate It is the adhesive tape in which the adhesive layer containing an agent is formed, Comprising: The adhesive layer is an adhesive tape by which the embossing whose height of a convex part is 3 micrometers or more is given to the surface.
As the gas generating agent and the pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer in the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention 3, the same ones as those of the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention 1 can be used. Moreover, the thing similar to the adhesive tape of this invention 1 can be used except that it is not necessary to emboss about a base material.

本発明3の粘着テープでは、粘着剤層の表面にエンボス加工が施されている。エンボス加工により形成された凹凸は、接着時の押圧によりつぶれてしまっても、接着から短期間の間であれば、剥離の際に再び粘着剤層の表面に現れる。 In the adhesive tape of this invention 3, the surface of the adhesive layer is embossed. Even if the unevenness formed by embossing is crushed by pressing during bonding, it will appear on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer again at the time of peeling if it is for a short period after bonding.

上記エンボス加工により粘着剤層の表面に付与される凹凸模様の凸部の高さは3μm以上である。3μm未満であると、剥離時に、気体発生の起点となり得る程度に充分な高さのある凹凸が粘着剤層の表面に形成されず、自己剥離を実現できない。好ましくは8μm以上、より好ましくは10μm以上である。 The height of the convex part of the concavo-convex pattern imparted to the surface of the pressure-sensitive adhesive layer by the embossing is 3 μm or more. When the thickness is less than 3 μm, there is no unevenness on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer that is high enough to cause gas generation at the time of peeling, and self-peeling cannot be realized. Preferably it is 8 micrometers or more, More preferably, it is 10 micrometers or more.

本発明3の粘着テープを製造する方法としては特に限定されず、例えば、上記基材上に、上記気体発生剤等を含有する粘着剤等をドクターナイフやスピンコーター等を用いて塗工した後、エンボスシート、エンボス板、エンボスロール等を粘着剤層に押し当てることにより凹凸模様を粘着剤層に転写する方法;離型処理を施したエンボス面上に粘着剤を塗工して粘着剤層を形成した後に、粘着剤層のエンボスが形成されていない面を基材上に積層する方法等が挙げられる。 The method for producing the pressure-sensitive adhesive tape of the present invention 3 is not particularly limited. For example, after the pressure-sensitive adhesive containing the gas generating agent or the like is applied on the base material using a doctor knife or a spin coater. A method of transferring an uneven pattern to an adhesive layer by pressing an embossed sheet, an embossed plate, an embossing roll, etc. on the adhesive layer; applying an adhesive on the embossed surface subjected to a release treatment, and then applying an adhesive layer The method of laminating | stacking the surface in which the embossing of an adhesive layer is not formed on a base material after forming is mentioned.

本発明の粘着シートでは、剥離の際に被着体と接着する粘着剤層の表面に凹凸を形成させることができる。その後、気体発生剤から気体を発生させる刺激を与えれば、粘着剤層の表面に現れた凹凸の凹部を起点にして気体が均一に発生して接着面の剥離が始まる。これにより、不均一な気体の発生が起こることなく、均一な剥離が進んで、確実に自己剥離させることができる。 In the pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention, irregularities can be formed on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer that adheres to the adherend during peeling. Thereafter, when a stimulus for generating gas from the gas generating agent is given, the gas is uniformly generated starting from the concave and convex portions appearing on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer, and peeling of the adhesive surface starts. Thereby, the uniform peeling progresses and the self-peeling can be surely performed without generating non-uniform gas.

本発明によれば、接着後に一定期間放置した場合であっても、刺激を与えることにより被着体から自己剥離させることができる粘着テープを提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if it is a case where it is left for a fixed period after adhesion | attachment, the adhesive tape which can be made to peel from an adherend by giving a stimulus can be provided.

以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited only to these examples.

(実施例1)
(粘着剤の調製)
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量70万のアクリル共重合体を得た。
得られたアクリル共重合体を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、2−イソシアナトエチルメタクリレート3.5重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、ペンタエリスリトールトリアクリレート40重量部、光重合開始剤(イルガキュア651)5重量部、ポリイソシアネート0.5重量部を混合し粘着剤(1)の酢酸エチル溶液を調製した。
ブチルアクリレート 79重量部
エチルアクリレート 15重量部
アクリル酸 1重量部
2−ヒドロキシエチルアクリレート 5重量部
光重合開始剤 0.2重量部
(イルガキュア651、50%酢酸エチル溶液)
ラウリルメルカプタン 0.01重量部
Example 1
(Preparation of adhesive)
The following compounds were dissolved in ethyl acetate and polymerized by irradiating with ultraviolet rays to obtain an acrylic copolymer having a weight average molecular weight of 700,000.
The resin solid content of 100 parts by weight of the ethyl acetate solution containing the acrylic copolymer thus obtained is reacted by adding 3.5 parts by weight of 2-isocyanatoethyl methacrylate, and further the resin of the ethyl acetate solution after the reaction. Mixing 100 parts by weight of solid content with 40 parts by weight of pentaerythritol triacrylate, 5 parts by weight of photopolymerization initiator (Irgacure 651) and 0.5 parts by weight of polyisocyanate to prepare an ethyl acetate solution of adhesive (1) did.
Butyl acrylate 79 parts by weight Ethyl acrylate 15 parts by weight Acrylic acid 1 part by weight 2-hydroxyethyl acrylate 5 parts by weight Photopolymerization initiator 0.2 part by weight (Irgacure 651, 50% ethyl acetate solution)
Lauryl mercaptan 0.01 parts by weight

また、粘着剤(1)の酢酸エチル溶液の樹脂固形分100重量部に対して、2,2’−アゾビス−(N−ブチル−2−メチルプロピオンアミド)30重量部、及び、2,4−ジエチルチオキサントン3.6重量部を混合して、気体発生剤を含有する粘着剤(2)を調製した。 In addition, 30 parts by weight of 2,2′-azobis- (N-butyl-2-methylpropionamide) and 2,4-, with respect to 100 parts by weight of the resin solid content of the ethyl acetate solution of the pressure-sensitive adhesive (1) A pressure-sensitive adhesive (2) containing a gas generating agent was prepared by mixing 3.6 parts by weight of diethylthioxanthone.

(粘着テープの作製)
粘着剤(2)の酢酸エチル溶液を、片面にコロナ処理を施し、凸部の高さが10μm、凸部の間隔が600μmのエンボス加工を施した厚さ50μmの透明なポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(ユニチカ社製、エンブレットEM38)のエンボス面に、凸部の頂点からの乾燥皮膜の厚さが約50μmとなるようにドクターナイフで塗工し110℃、5分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤(2)層の表面に離型処理が施されたPETフィルムを貼り付けた。その後、40℃、3日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
(Production of adhesive tape)
A transparent polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 50 μm, which has been subjected to corona treatment on one side with an ethyl acetate solution of the pressure-sensitive adhesive (2) and embossed so that the height of the convex portions is 10 μm and the interval between the convex portions is 600 μm. (Embret EM38, manufactured by Unitika Ltd.) On the embossed surface of the embossed EM38, apply with a doctor knife so that the thickness of the dry film from the top of the convex portion is about 50 μm, and heat at 110 ° C. for 5 minutes. Dried. The pressure-sensitive adhesive layer after drying showed adhesiveness in a dry state. Next, a PET film having been subjected to a release treatment was attached to the surface of the pressure-sensitive adhesive (2) layer. Thereafter, static curing was performed at 40 ° C. for 3 days to obtain an adhesive tape.

参考例2
粘着剤(2)中に直径30μmのマイクロビーズ(三井化学社製、ミペロンXM220)を粘着剤(2)100重量部に対して10重量部配合して混練して、粘着剤(3)を得た。
粘着剤(3)の酢酸エチル溶液を、片面にコロナ処理を施した厚さ50μmの透明なポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムのコロナ処理を施した面に乾燥皮膜の厚さが約50μmとなるようにドクターナイフで塗工し110℃、5分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤(3)層の表面に離型処理が施されたPETフィルムを貼り付けた。その後、40℃、3日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
( Reference Example 2 )
A pressure-sensitive adhesive (3) is obtained by blending 10 parts by weight of microbeads 30 μm in diameter (made by Mitsui Chemicals, Mipperon XM220) with 100 parts by weight of the pressure-sensitive adhesive (2). It was.
The ethyl acetate solution of the adhesive (3) was prepared so that the dry film thickness was about 50 μm on the corona-treated surface of a transparent polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 50 μm that was corona-treated on one side. It was coated with a doctor knife and heated at 110 ° C. for 5 minutes to dry the coating solution. The pressure-sensitive adhesive layer after drying showed adhesiveness in a dry state. Next, a PET film having been subjected to a release treatment was attached to the surface of the pressure-sensitive adhesive (3) layer. Thereafter, static curing was performed at 40 ° C. for 3 days to obtain an adhesive tape.

参考例3
粘着剤(2)の酢酸エチル溶液を、片面にコロナ処理を施した厚さ50μmの透明なポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムのコロナ処理を施した面に乾燥皮膜の厚さが約50μmとなるようにドクターナイフで塗工し110℃、5分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤(2)層の表面に離型処理を施したエンボスPET(凸部間隔30μm)を押しつけることにより、粘着剤(2)層の表面に凹凸模様を形成させた。その後、40℃、3日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
( Reference Example 3 )
A 50 μm thick transparent polyethylene terephthalate (PET) film with a corona treatment on one side of the ethyl acetate solution of the pressure-sensitive adhesive (2) so that the dry film thickness is about 50 μm. It was coated with a doctor knife and heated at 110 ° C. for 5 minutes to dry the coating solution. The pressure-sensitive adhesive layer after drying showed adhesiveness in a dry state. Subsequently, the embossed PET (protrusion part interval 30 micrometers) which performed the mold release process was pressed on the surface of an adhesive (2) layer, and the uneven | corrugated pattern was formed in the surface of an adhesive (2) layer. Thereafter, static curing was performed at 40 ° C. for 3 days to obtain an adhesive tape.

(比較例1)
粘着剤(2)の酢酸エチル溶液を、片面にコロナ処理を施した厚さ50μmの透明なポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムのコロナ処理を施した面に乾燥皮膜の厚さが約50μmとなるようにドクターナイフで塗工し110℃、5分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤(2)層の表面に離型処理が施されたPETフィルムを貼り付けた。その後、40℃、3日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
(Comparative Example 1)
A 50 μm thick transparent polyethylene terephthalate (PET) film with a corona treatment on one side of the ethyl acetate solution of the pressure-sensitive adhesive (2) so that the dry film thickness is about 50 μm. It was coated with a doctor knife and heated at 110 ° C. for 5 minutes to dry the coating solution. The pressure-sensitive adhesive layer after drying showed adhesiveness in a dry state. Next, a PET film having been subjected to a release treatment was attached to the surface of the pressure-sensitive adhesive (2) layer. Thereafter, static curing was performed at 40 ° C. for 3 days to obtain an adhesive tape.

(評価)
実施例1、参考例2、3及び比較例1で得られた粘着テープから粘着剤(2)層又は粘着剤(3)層を保護するPETフィルムを剥がし、真空プレス機を用いてガラス板に貼り付けて接着体を作製した。
この接着体を粘着テープ側が下になるように設置した後、ガラス板側から超高圧水銀灯を用いて、波長365nmの紫外線をガラス板表面への照射強度が40mW/cmとなるよう照度を調節して照射した。ガラス側から目視により粘着テープとガラス板との間の気体の発生状態を観察し、接着面全体の何%が剥離しているかを評価した。
試験は接着体の作製直後、60℃で1時間放置後、及び、室温にて1カ月間放置後に行った。
なお、目視で100%剥離していたものは、完全にガラスが粘着テープ上に浮き、自己剥離していた。
結果を表1に示した。
(Evaluation)
The PET film that protects the pressure-sensitive adhesive (2) layer or the pressure-sensitive adhesive (3) layer is peeled off from the pressure-sensitive adhesive tapes obtained in Example 1, Reference Examples 2, 3 and Comparative Example 1, and is applied to a glass plate using a vacuum press. An adhesive body was prepared by pasting.
After this adhesive is placed with the adhesive tape side down, the illuminance is adjusted using an ultra high pressure mercury lamp from the glass plate side so that the irradiation intensity of the ultraviolet light with a wavelength of 365 nm is 40 mW / cm 2. And irradiated. The state of gas generation between the adhesive tape and the glass plate was visually observed from the glass side to evaluate what percentage of the entire adhesive surface was peeled off.
The test was performed immediately after the production of the adhesive, left at 60 ° C. for 1 hour, and left at room temperature for 1 month.
In addition, what was peeled 100% visually had the glass completely floated on the adhesive tape and self-peeled.
The results are shown in Table 1.

Figure 0004647896
Figure 0004647896

本発明によれば、接着後に一定期間放置した場合であっても、刺激を与えることにより被着体から自己剥離させることができる粘着テープを提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if it is a case where it is left for a fixed period after adhesion | attachment, the adhesive tape which can be made to peel from an adherend by giving a stimulus can be provided.

Claims (1)

少なくとも基材の片面に光、熱又は超音波による刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層が形成されている粘着テープであって、
前記基材は、前記粘着剤層側の面に凸部の高さが3μm以上であるエンボス加工が施されており、
前記粘着剤層は、光又は熱による刺激により架橋する架橋成分を含有し、かつ、前記気体発生剤は、前記粘着剤層中に溶解しており、
前記光、熱又は超音波による刺激により気体を発生する気体発生剤は、アゾ化合物又はアジド化合物であり、
前記光又は熱による刺激により架橋する架橋成分は、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーと、光重合開始剤又は熱重合開始剤とからなる
ことを特徴とする粘着テープ。
A pressure-sensitive adhesive tape in which a pressure-sensitive adhesive layer containing a gas generating agent that generates gas by stimulation with light, heat or ultrasonic waves is formed on at least one surface of a base material,
The base material is embossed with a height of a convex portion of 3 μm or more on the surface on the pressure-sensitive adhesive layer side,
The pressure-sensitive adhesive layer contains a crosslinking component that is cross-linked by stimulation with light or heat , and the gas generating agent is dissolved in the pressure-sensitive adhesive layer ,
The gas generating agent that generates gas by stimulation with light, heat, or ultrasonic waves is an azo compound or an azide compound,
The pressure-sensitive adhesive tape, wherein the crosslinking component that is crosslinked by stimulation with light or heat comprises a radical polymerizable polyfunctional oligomer or monomer, and a photopolymerization initiator or a thermal polymerization initiator .
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010083934A (en) * 2008-09-30 2010-04-15 Unitika Ltd Easily adhesive polyester film
JP5168523B2 (en) * 2011-01-19 2013-03-21 株式会社スミロン Heat release type adhesive sheet
JP6568373B2 (en) * 2014-07-09 2019-08-28 積水化学工業株式会社 Adhesive composition and adhesive tape

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003238936A (en) * 2002-02-18 2003-08-27 Asahi Kasei Corp Adhesive

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2657965B2 (en) * 1987-10-31 1997-09-30 日本カーバイド工業 株式会社 Pressure-sensitive adhesive layer
JPH0796964A (en) * 1993-09-21 1995-04-11 Nitto Denko Corp Adhesive sheet
JPH09157612A (en) * 1995-12-12 1997-06-17 Sekisui Chem Co Ltd Adhesive double coated tape for fixing decorative sheet of speaker
JP4034866B2 (en) * 1998-01-05 2008-01-16 スリーエム カンパニー Adhesive sheet and method for producing the same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003238936A (en) * 2002-02-18 2003-08-27 Asahi Kasei Corp Adhesive

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