JP4565824B2 - 二量体オキシムエステル化合物及び該化合物を有効成分とする光重合開始剤 - Google Patents
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- -1 oxime ester compound Chemical class 0.000 title claims description 79
- 239000000539 dimer Substances 0.000 title claims description 63
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 title claims description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title description 29
- 239000003999 initiator Substances 0.000 title description 28
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 claims description 2
- NRNFFDZCBYOZJY-UHFFFAOYSA-N p-quinodimethane Chemical group C=C1C=CC(=C)C=C1 NRNFFDZCBYOZJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 60
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 39
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 32
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 23
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 description 16
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 14
- WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N Acetic anhydride Chemical compound CC(=O)OC(C)=O WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 11
- WTDHULULXKLSOZ-UHFFFAOYSA-N Hydroxylamine hydrochloride Chemical compound Cl.ON WTDHULULXKLSOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 10
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 8
- WQDUMFSSJAZKTM-UHFFFAOYSA-N Sodium methoxide Chemical compound [Na+].[O-]C WQDUMFSSJAZKTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 7
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 7
- 239000000047 product Substances 0.000 description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 6
- 150000003855 acyl compounds Chemical class 0.000 description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 6
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 6
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 5
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 238000002211 ultraviolet spectrum Methods 0.000 description 5
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 5
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 9H-carbazole Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GLDDVZPZOFCMTE-WCRCJTMVSA-N C(C1CO1)OCCC[Si@H](OCC)C Chemical compound C(C1CO1)OCCC[Si@H](OCC)C GLDDVZPZOFCMTE-WCRCJTMVSA-N 0.000 description 4
- 0 CC[n](c(ccc(C(C)=*)c1)c1c1c2)c1ccc2C(c(c(Cl)c1)ccc1OCCOCCOc(cc1)cc(Cl)c1C(c(cc1)cc(c2c3)c1[n](CC)c2ccc3C(C)=O)=O)=O Chemical compound CC[n](c(ccc(C(C)=*)c1)c1c1c2)c1ccc2C(c(c(Cl)c1)ccc1OCCOCCOc(cc1)cc(Cl)c1C(c(cc1)cc(c2c3)c1[n](CC)c2ccc3C(C)=O)=O)=O 0.000 description 4
- CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L Magnesium sulfate Chemical compound [Mg+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] CSNNHWWHGAXBCP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 125000005448 ethoxyethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])OC([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 4
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 4
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 4
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N monopropylene glycol Natural products CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920001909 styrene-acrylic polymer Polymers 0.000 description 4
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 4
- YZBBUYKPTHDZHF-KNVGNIICSA-N (3R)-7,2'-dihydroxy-4'-methoxyisoflavanol Chemical compound OC1=CC(OC)=CC=C1[C@H]1C(O)C2=CC=C(O)C=C2OC1 YZBBUYKPTHDZHF-KNVGNIICSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 3
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 3
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 description 3
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 description 3
- MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 1,2-Divinylbenzene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1C=C MYRTYDVEIRVNKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CYSGHNMQYZDMIA-UHFFFAOYSA-N 1,3-Dimethyl-2-imidazolidinon Chemical compound CN1CCN(C)C1=O CYSGHNMQYZDMIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SYENVBKSVVOOPS-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)butyl prop-2-enoate Chemical compound CCC(CO)(CO)COC(=O)C=C SYENVBKSVVOOPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentane-2,4-diol Chemical compound CC(O)CC(C)(C)O SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical group C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N Sodium Chemical compound [Na] KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- SMTOKHQOVJRXLK-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-dithiol Chemical compound SCCCCS SMTOKHQOVJRXLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004369 butenyl group Chemical group C(=CCC)* 0.000 description 2
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940125904 compound 1 Drugs 0.000 description 2
- 229940126214 compound 3 Drugs 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 125000001028 difluoromethyl group Chemical group [H]C(F)(F)* 0.000 description 2
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 2
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000001972 isopentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 229910052943 magnesium sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000019341 magnesium sulphate Nutrition 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 2
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 125000001400 nonyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- KMTUBAIXCBHPIZ-UHFFFAOYSA-N pentane-1,5-dithiol Chemical compound SCCCCCS KMTUBAIXCBHPIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 235000013772 propylene glycol Nutrition 0.000 description 2
- 125000002568 propynyl group Chemical group [*]C#CC([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000012312 sodium hydride Substances 0.000 description 2
- 229910000104 sodium hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 2
- HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M sodium;chloride;hydrate Chemical class O.[Na+].[Cl-] HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 2
- 125000004205 trifluoroethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C(F)(F)F 0.000 description 2
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N (+)-propylene glycol Chemical compound C[C@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N 0.000 description 1
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002818 (Hydroxyethyl)methacrylate Polymers 0.000 description 1
- DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N (R)-(-)-Propylene glycol Chemical compound C[C@@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N 0.000 description 1
- GJZFGDYLJLCGHT-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=C(CC)C(CC)=CC=C3SC2=C1 GJZFGDYLJLCGHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYMPLPIFKRHAAC-UHFFFAOYSA-N 1,2-ethanedithiol Chemical compound SCCS VYMPLPIFKRHAAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YGKHJWTVMIMEPQ-UHFFFAOYSA-N 1,2-propanedithiol Chemical compound CC(S)CS YGKHJWTVMIMEPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(prop-2-enyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound C=CCN1C(=O)N(CC=C)C(=O)N(CC=C)C1=O KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 1,3-propanediol Substances OCCCO YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940043375 1,5-pentanediol Drugs 0.000 description 1
- SRZXCOWFGPICGA-UHFFFAOYSA-N 1,6-Hexanedithiol Chemical compound SCCCCCCS SRZXCOWFGPICGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PGTWZHXOSWQKCY-UHFFFAOYSA-N 1,8-Octanedithiol Chemical compound SCCCCCCCCS PGTWZHXOSWQKCY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ALVZNPYWJMLXKV-UHFFFAOYSA-N 1,9-Nonanediol Chemical compound OCCCCCCCCCO ALVZNPYWJMLXKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJRCLMJHPWCJEI-UHFFFAOYSA-N 1,9-Nonanedithiol Chemical compound SCCCCCCCCCS GJRCLMJHPWCJEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IYDQUNGWLDBKOF-UHFFFAOYSA-N 1-(4-butylphenyl)-2,2,2-trichloroethanone Chemical compound CCCCC1=CC=C(C(=O)C(Cl)(Cl)Cl)C=C1 IYDQUNGWLDBKOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VKQJCUYEEABXNK-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-4-propoxythioxanthen-9-one Chemical compound S1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C(OCCC)=CC=C2Cl VKQJCUYEEABXNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZCMOJQQLBXBKI-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxy-2-methylpropane Chemical compound CC(C)COC=C OZCMOJQQLBXBKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSKPJQYAHCKJQC-UHFFFAOYSA-N 1-ethylanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2CC HSKPJQYAHCKJQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 1-propan-2-ylthioxanthen-9-one Chemical compound S1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2C(C)C YIKSHDNOAYSSPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WJFKNYWRSNBZNX-UHFFFAOYSA-N 10H-phenothiazine Chemical compound C1=CC=C2NC3=CC=CC=C3SC2=C1 WJFKNYWRSNBZNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHGGYGMFCRSWIZ-UHFFFAOYSA-N 2,2-dichloro-1-(4-phenoxyphenyl)ethanone Chemical compound C1=CC(C(=O)C(Cl)Cl)=CC=C1OC1=CC=CC=C1 JHGGYGMFCRSWIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CEOCVKWBUWKBKA-UHFFFAOYSA-N 2,4-dichlorobenzoyl chloride Chemical compound ClC(=O)C1=CC=C(Cl)C=C1Cl CEOCVKWBUWKBKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJRJDENLRJHEJO-UHFFFAOYSA-N 2,4-diethylpentane-1,5-diol Chemical compound CCC(CO)CC(CC)CO OJRJDENLRJHEJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BINAJQFZOKLDLN-UHFFFAOYSA-N 2,4-diethylpentane-1,5-dithiol Chemical compound C(C)C(CS)CC(CS)CC BINAJQFZOKLDLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-phenylmethoxyphenyl)-1,3-thiazole-4-carbaldehyde Chemical compound O=CC1=CSC(C=2C=C(OCC=3C=CC=CC=3)C=CC=2)=N1 OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NGNBDVOYPDDBFK-UHFFFAOYSA-N 2-[2,4-di(pentan-2-yl)phenoxy]acetyl chloride Chemical compound CCCC(C)C1=CC=C(OCC(Cl)=O)C(C(C)CCC)=C1 NGNBDVOYPDDBFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DZZAHLOABNWIFA-UHFFFAOYSA-N 2-butoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OCCCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 DZZAHLOABNWIFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DSKYSDCYIODJPC-UHFFFAOYSA-N 2-butyl-2-ethylpropane-1,3-diol Chemical compound CCCCC(CC)(CO)CO DSKYSDCYIODJPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNAOSJQCTDLQED-UHFFFAOYSA-N 2-butyl-2-ethylpropane-1,3-dithiol Chemical compound C(CCC)C(CS)(CS)CC HNAOSJQCTDLQED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBYMUDUGTIKLCR-UHFFFAOYSA-N 2-chloroethenylbenzene Chemical compound ClC=CC1=CC=CC=C1 SBYMUDUGTIKLCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004182 2-chlorophenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(Cl)=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LETDRANQSOEVCX-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound CC1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 LETDRANQSOEVCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDQROPCSKIYYAV-UHFFFAOYSA-N 2-methyloctane-1,8-diol Chemical compound OCC(C)CCCCCCO SDQROPCSKIYYAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BGCQOUJDESLVAJ-UHFFFAOYSA-N 2-methyloctane-1,8-dithiol Chemical compound SCC(C)CCCCCCS BGCQOUJDESLVAJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUWWECNCVOSNOQ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentane-2,4-dithiol Chemical compound CC(S)CC(C)(C)S KUWWECNCVOSNOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWGRWMMWNDWRQN-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropane-1,3-diol Chemical compound OCC(C)CO QWGRWMMWNDWRQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TZROMDFHBOFGOZ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropane-1,3-dithiol Chemical compound SCC(C)CS TZROMDFHBOFGOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDDGHHVNVQKFIB-UHFFFAOYSA-N 2-naphthalen-2-yl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C=2C=C3C=CC=CC3=CC=2)=N1 HDDGHHVNVQKFIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HAZQZUFYRLFOLC-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound ClC(Cl)(Cl)C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 HAZQZUFYRLFOLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXFJDZNJHVPHPH-UHFFFAOYSA-N 3-methylpentane-1,5-diol Chemical compound OCCC(C)CCO SXFJDZNJHVPHPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RCPTXQHBPWHDKY-UHFFFAOYSA-N 3-methylpentane-1,5-dithiol Chemical compound SCCC(C)CCS RCPTXQHBPWHDKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBQLGIKHSXQZTB-UHFFFAOYSA-N 3-methylpentane-2,4-diol Chemical compound CC(O)C(C)C(C)O RBQLGIKHSXQZTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 3-tert-butylbenzene-1,2-diol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC(O)=C1O JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PLAZXGNBGZYJSA-UHFFFAOYSA-N 9-ethylcarbazole Chemical compound C1=CC=C2N(CC)C3=CC=CC=C3C2=C1 PLAZXGNBGZYJSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBFUGELENSBUSW-UHFFFAOYSA-N CC(S)C(C)C(C)S Chemical compound CC(S)C(C)C(C)S FBFUGELENSBUSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKTXZRTVARUXSK-UHFFFAOYSA-N CC[n](c(cccc1)c1c1c2)c1ccc2C(c(ccc(Cl)c1)c1Cl)=O Chemical compound CC[n](c(cccc1)c1c1c2)c1ccc2C(c(ccc(Cl)c1)c1Cl)=O XKTXZRTVARUXSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHZUYIWZZBSPFS-WHBZDRFFSA-N CC[n]1c(ccc(C(C(C(C)CC(SCCCCSc(cc2)cc(Cl)c2C(c(cc2)cc(c3c4)c2[n](CC)c3ccc4/C(/C)=N/OC(C)=O)=O)=C2)=C2Cl)=O)c2)c2c2cc(/C(/C)=N/OC(C)=O)ccc12 Chemical compound CC[n]1c(ccc(C(C(C(C)CC(SCCCCSc(cc2)cc(Cl)c2C(c(cc2)cc(c3c4)c2[n](CC)c3ccc4/C(/C)=N/OC(C)=O)=O)=C2)=C2Cl)=O)c2)c2c2cc(/C(/C)=N/OC(C)=O)ccc12 UHZUYIWZZBSPFS-WHBZDRFFSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004641 Diallyl-phthalate Substances 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ALQSHHUCVQOPAS-UHFFFAOYSA-N Pentane-1,5-diol Chemical compound OCCCCCO ALQSHHUCVQOPAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBHQYYNDKZDVTN-UHFFFAOYSA-N [4-(4-methylphenyl)sulfanylphenyl]-phenylmethanone Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1SC1=CC=C(C(=O)C=2C=CC=CC=2)C=C1 DBHQYYNDKZDVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IYPNRTQAOXLCQW-UHFFFAOYSA-N [4-(sulfanylmethyl)phenyl]methanethiol Chemical compound SCC1=CC=C(CS)C=C1 IYPNRTQAOXLCQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 125000003236 benzoyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C(*)=O 0.000 description 1
- QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC=C QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000006226 butoxyethyl group Chemical group 0.000 description 1
- FFSAXUULYPJSKH-UHFFFAOYSA-N butyrophenone Chemical compound CCCC(=O)C1=CC=CC=C1 FFSAXUULYPJSKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 238000004440 column chromatography Methods 0.000 description 1
- 229940125782 compound 2 Drugs 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- FOTKYAAJKYLFFN-UHFFFAOYSA-N decane-1,10-diol Chemical compound OCCCCCCCCCCO FOTKYAAJKYLFFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UOQACRNTVQWTFF-UHFFFAOYSA-N decane-1,10-dithiol Chemical compound SCCCCCCCCCCS UOQACRNTVQWTFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 150000002009 diols Chemical group 0.000 description 1
- 150000004662 dithiols Chemical group 0.000 description 1
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000032050 esterification Effects 0.000 description 1
- 238000005886 esterification reaction Methods 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IIQWTZQWBGDRQG-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate;isocyanic acid Chemical compound N=C=O.CCOC(=O)C(C)=C IIQWTZQWBGDRQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- SXCBDZAEHILGLM-UHFFFAOYSA-N heptane-1,7-diol Chemical compound OCCCCCCCO SXCBDZAEHILGLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVVRZLSZZKMJCB-UHFFFAOYSA-N heptane-1,7-dithiol Chemical compound SCCCCCCCS RVVRZLSZZKMJCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQWORYKVVNTRAW-UHFFFAOYSA-N heptane-3,5-diol Chemical compound CCC(O)CC(O)CC BQWORYKVVNTRAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LKEYTPDHNRHBGD-UHFFFAOYSA-N heptane-3,5-dithiol Chemical compound CCC(S)CC(S)CC LKEYTPDHNRHBGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004128 high performance liquid chromatography Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHDRKFYEGYYIIK-UHFFFAOYSA-N isovaleronitrile Chemical compound CC(C)CC#N QHDRKFYEGYYIIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLHXLHGIAMFFBU-UHFFFAOYSA-N methyl phenylglyoxalate Chemical compound COC(=O)C(=O)C1=CC=CC=C1 YLHXLHGIAMFFBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N octanoic acid Chemical compound CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004817 pentamethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 1
- GTCCGKPBSJZVRZ-UHFFFAOYSA-N pentane-2,4-diol Chemical compound CC(O)CC(C)O GTCCGKPBSJZVRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUVMJSSTEMBGRQ-UHFFFAOYSA-N pentane-2,4-dithiol Chemical compound CC(S)CC(C)S WUVMJSSTEMBGRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005004 perfluoroethyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 1
- 229950000688 phenothiazine Drugs 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000166 polytrimethylene carbonate Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- ZJLMKPKYJBQJNH-UHFFFAOYSA-N propane-1,3-dithiol Chemical compound SCCCS ZJLMKPKYJBQJNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000001226 reprecipitation Methods 0.000 description 1
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000003440 styrenes Chemical class 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L succinate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCC([O-])=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 125000003718 tetrahydrofuranyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000383 tetramethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- YODZTKMDCQEPHD-UHFFFAOYSA-N thiodiglycol Chemical compound OCCSCCO YODZTKMDCQEPHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXJQHYBHAIHNGG-UHFFFAOYSA-N trimethylolethane Chemical compound OCC(C)(CO)CO QXJQHYBHAIHNGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHGIFBQQEGRTPB-UHFFFAOYSA-N tris(prop-2-enyl) phosphate Chemical compound C=CCOP(=O)(OCC=C)OCC=C XHGIFBQQEGRTPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Indole Compounds (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Description
本発明は、感光性組成物に用いられる光重合開始剤として有用な新規な二量体オキシムエステル化合物、該化合物を有効成分とする光重合開始剤、及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物に該光重合開始剤を含有させてなる感光性組成物に関する。
感光性組成物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物に光重合開始剤を加えたものであり、この感光性組成物に４０５ｎｍや３６５ｎｍの光を照射することによって重合硬化させることができるので、光硬化性インキ、感光性印刷版、各種フォトレジスト等に用いられている。短波長の光源に感度を持つ感光性組成物は微細な印刷が可能であるため、特に３６５ｎｍの光源に優れた感度を有する光重合開始剤が望まれている。
この感光性組成物に用いられる光重合開始剤として、下記特許文献１には、オキシムエステル誘導体を用いることが提案されている。また、下記特許文献２〜４にもオキシムエステル化合物が記載されている。しかし、これらの公知のオキシムエステル化合物は、光重合開始剤として用いた場合に、露光時の光により発生する分解物がマスクに付着し、その結果、焼付け時のパターン形状不良を引き起こし、収率の低下を招いていた。そのため、得られる重合物を着色したり、光重合開始剤の分解物が揮散して重合物や装置等を汚染したりしない光重合開始剤が望まれていた。
また、下記特許文献５〜７には、より高い反応性を有するＯ−アシルオキシム光開始剤が提案されている。しかし、これらのＯ−アシルオキシム光開始剤も、感度の観点で未だ満足のいくものではなく、より感度に優れるものが望まれている。
解決しようとする問題点は、上述したように、得られる重合物を着色したり重合物や装置等を汚染したりすることがなく且つ感度に優れた光重合開始剤がこれまでなかったということである。
本発明の目的は、高感度であり、重合物を着色したり重合物及び装置等を汚染したりするおそれのない、光重合開始剤を提供することにある。
本発明は、下記一般式（Ｉ）で表される二量体オキシムエステル化合物及び該化合物を有効成分とする光重合開始剤を提供することにより、上記目的を達成したものである。
本発明の二量体オキシムエステル化合物は、感光性に優れ、経時による感光層表面への析出がないため、経時安定性に優れており、さらに分解物によるマスク付着物がなく焼付け時のパターン形状不良を起こさないため、光重合開始剤として有用なものである。
以下、本発明の二量体オキシムエステル化合物及び該化合物を有効成分とする光重合開始剤について詳細に説明する。
上記一般式（Ｉ）中、Ｘ1及びＸ1’で表されるハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられ、Ｘ1及びＸ1’で表されるアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、第二ブチル、第三ブチル、アミル、イソアミル、第三アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、２−エチルヘキシル、第三オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ビニル、アリル、ブテニル、エチニル、プロピニル、メトキシエチル、エトキシエチル、プロピロキシエチル、メトキシエトキシエチル、エトキシエトキシエチル、プロピロキシエトキシエチル、メトキシプロピル、モノフルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロエチル、パーフルオロエチル、２−（ベンゾオキサゾール−２’−イル）エテニル等が挙げられる。
Ｒ 1 〜Ｒ 3 及びＲ 1 ’〜Ｒ 3 ’で表されるアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、第二ブチル、第三ブチル、アミル、イソアミル、第三アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、２−エチルヘキシル、第三オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ビニル、アリル、ブテニル、エチニル、プロピニル、メトキシエチル、エトキシエチル、プロピロキシエチル、メトキシエトキシエチル、エトキシエトキシエチル、プロピロキシエトキシエチル、メトキシプロピル、モノフルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロエチル、パーフルオロエチル、２−（ベンゾオキサゾール−２'−イル）エテニル等が挙げられる。
また、Ｒ4で表されるジオール残基又はジチオール残基は、ジオール化合物又はジチオール化合物から導入し得る基であるが、該ジオール化合物としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，２−プロパンジオール、１，３−プロパンジオール、２−メチル−１，３−プロパンジオール、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオール、１，４−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、３−メチル−２，４−ペンタンジオール、２，４−ペンタンジオール、１，５−ペンタンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、２，４−ジエチル−１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、１，７−ヘプタンジオール、３，５−ヘプタンジオール、１，８−オクタンジオール、２−メチル−１，８−オクタンジオール、１，９−ノナンジオール、１，１０−デカンジオール、チオジエチレングリコール等の脂肪族ジオール化合物が挙げられ、該ジチオール化合物としては、エチレンジチオール、１，２−プロパンジチオール、１，３−プロパンジチオール、２−メチル−１，３−プロパンジチオール、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジチオール、１，４−ブタンジチオール、３−メチル−２，４−ペンタンジチオール、２，４−ペンタンジチオール、１，５−ペンタンジチオール、３−メチル−１，５−ペンタンジチオール、２−メチル−２，４−ペンタンジチオール、２，４−ジエチル−１，５−ペンタンジチオール、１，６−ヘキサンジチオール、１，７−ヘプタンジチオール、３，５−ヘプタンジチオール、１，８−オクタンジチオール、２−メチル−１，８−オクタンジチオール、１，９−ノナンジチオール、１，１０−デカンジチオール等の脂肪族ジチオール、ｐ−キシレン−α，α'−ジチオール等の芳香族環式ジチオールが挙げられる。
本発明の二量体オキシムエステル化合物の中でも、上記一般式（Ｉ）において、Ｘ1及び／又はＸ1'、特にＸ1及びＸ1'が塩素原子であるもの；ｍ及び／又はｎ、特にｍ及びｎが１であるもの；Ｒ1及び／又はＲ1'、特にＲ1及びＲ1'がアルキル基、特にメチル基であるもの；Ｒ2及び／又はＲ2'、特にＲ2及びＲ2'がアルキル基、特にメチル基であるもの；Ｒ3及び／又はＲ3'、特にＲ3及びＲ3'がアルキル基、特にエチル基であるもの；Ｒ4がアルキレン基、特にブチレン基又はペンチレン基であるものが好ましい。
従って、上記一般式（Ｉ）で表される本発明の二量体オキシムエステル化合物の好ましい具体例としては、以下の化合物Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の化合物が挙げられる。ただし、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。
上記一般式（Ｉ）で表される本発明の二量体オキシムエステル化合物は、例えば、下記〔化６〕の反応式で示される方法によって製造することができる。まず、Ｘ2がハロゲン原子であるカルバゾール化合物１とカルボン酸クロライド２とを塩化亜鉛の存在下に反応させてアシル化合物３を得る。次いで、アシル化合物３とジチオール化合物あるいはジオール化合物４とをナトリウムメトキシド及びジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）の存在下に反応させて二量体５を得る。次いで、二量体５と塩酸ヒドロキシルアミンとをＤＭＦの存在下に反応させて二量体オキシム化合物６を得る。次いで、二量体オキシム化合物６と酸無水物７あるいは酸クロライド７’とを反応させて上記一般式（Ｉ）で表される本発明の二量体オキシムエステル化合物を得る。
本発明の二量体オキシムエステル化合物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の光重合開始剤として有用である。
次に、本発明の感光性組成物について説明する。
本発明の感光性組成物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物に、本発明の二量体オキシムエステル化合物を有効成分とする光重合開始剤を含有させてなるものである。
本発明の感光性組成物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物に、本発明の二量体オキシムエステル化合物を有効成分とする光重合開始剤を含有させてなるものである。
エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物としては、従来、感光性組成物に用いられているものを用いることができる。即ち、エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、クロロスチレン等のスチレン系化合物；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、第二ブチル（メタ）アクリレート、第三ブチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフリル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、ポリ（エトキシ）エチル（メタ）アクリレート、プロピルオキシエチル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、ブトキシエトキシエチル（メタ）アクリレート、ポリ（プロピルオキシ）プロピル（メタ）アクリレート、ビニル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、トリス（２−アクリロイルエチル）イソシアヌラート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート等の多価アルコールをα，β−不飽和カルボン酸でエステル化して得られる化合物；アクリロニトリル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−置換（メタ）アクリレート；酢酸ビニル、イソブチルビニルエーテル、Ｎ−ビニルピロリドン、ビニルクロリド、ビニリデンクロリド、ジビニルベンゼン、ジビニルスクシナート、ジアリルフタラート、トリアリルホスファート、トリアリルイソシアヌラート等が挙げられる。これらの中でも、スチレン、メチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートに対し、本発明の二量体オキシムエステル化合物を有効成分とする光重合開始剤は好適である。
また、エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物とともに、熱可塑性有機重合体を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該熱可塑性有機重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタクリレート−エチルアクリレート共重合体、ポリ（メタ）アクリル酸、スチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、（メタ）アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、ポリビニルブチラール、セルロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル等が挙げられ、これらの中でも、ポリスチレン、（メタ）アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体が好ましい。
また、本発明の感光性組成物には、光重合開始剤として、本発明の二量体オキシムエステル化合物の他に、必要に応じて、その他の光重合開始剤を併用することも可能であり、その他の光重合開始剤を併用することによって著しい相乗効果を奏する場合もある。
本発明の二量体オキシムエステル化合物と併用できる光重合開始剤としては、従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、ベンゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、１−ヒドロキシ−１−ベンゾイルシクロヘキサン、ベンジルジメチルケタール、１−ベンジル−１−ジメチルアミノ−１−（４'−モルホリノベンゾイル）プロパン、２−モルホリル−２−（４'−メチルメルカプト）ベンゾイルプロパン、チオキサントン、１−クロル−４−プロポキシチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、エチルアントラキノン、４−ベンゾイル−４'−メチルジフェニルスルフィド、ベンゾインブチルエーテル、２−ヒドロキシ−２−ベンゾイルプロパン、２−ヒドロキシ−２−（４'−イソプロピル）ベンゾイルプロパン、４−ブチルベンゾイルトリクロロメタン、４−フェノキシベンゾイルジクロロメタン、ベンゾイル蟻酸メチル、１，７−ビス（９'−アクリジニル）ヘプタン、９−ｎ−ブチル−３，６−ビス（２'−モルホリノイソブチロイル）カルバゾール、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ナフチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
また、本発明の感光性組成物には、必要に応じて、ｐ−アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、第三ブチルカテコール、フェノチアジン等の熱重合抑制剤；可塑剤；接着促進剤；充填剤等の慣用の添加剤を加えることができる。
本発明の感光性組成物は、通常、必要に応じて前記の各成分（本発明のオキシムエステル化合物及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物）を溶解又は分散し得る溶媒、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、クロロホルム、塩化メチレン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプロパノールを加えた溶液状組成物として用いられる。
本発明の感光性組成物は、ロールコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用される。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。
本発明の感光性組成物は、光硬化性塗料、光硬化性インキ、光硬化性接着剤、印刷版、印刷配線板用フォトレジスト等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限
はない。
はない。
また、本発明の二量体オキシムエステル化合物を含有する感光性組成物を硬化させる際に用いられる活性光の光源としては、波長３００〜４５０ｎｍの光を発光するものを用いることができ、例えば、超高圧水銀、水銀蒸気アーク、カーボンアーク、キセノンアーク等を用いることができる。
尚、本発明の感光性組成物において、光重合開始剤の添加量は特に限定されるものではないが、本発明の二量体オキシムエステル化合物は、エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物１００質量部に対して、好ましくは１〜５０質量部、より好ましくは５〜３０質量部である。
以下、実施例等を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
〔実施例１〕化合物Ｎｏ．１の製造
＜ステップ１＞ベンゾイル体の製造
下記ベンゾイル体を、以下のようにして製造した。
＜ステップ１＞ベンゾイル体の製造
下記ベンゾイル体を、以下のようにして製造した。
２，４−ジクロロベンゾイルクロライド２０．９ｇ（０．１モル）、Ｎ−エチルカルバゾール３０ｇ（０．１５モル）、塩化アルミニウム１３．３ｇ（０．１モル）及びクロロホルム１５０ｇを仕込み、−４０℃にて１時間攪拌した。その後、酢酸エチル２００ｇ及び水２００ｇを加えて油層を抽出し、水洗を行なった。さらに、溶媒を留去後、カラムクロマトグラフィーにより精製を行い、アモルファス状物（収量８．７ｇ、収率２４％、純度９０％）を得た。
得られたアモルファス状物の1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフトは次の通りであり、該アモルファス状物は目的物であるベンゾイル体であることを確認した。
８．５２（ｓ：１Ｈ）、８．１０（ｄ：１Ｈ）、８．００（ｄ：１Ｈ）、７．５３（ｓ：１Ｈ）、７．５１（ｔ：１Ｈ）、７．４５（ｄ：２Ｈ）、７．４１（ｄ：２Ｈ）、７．２８（ｔ：１Ｈ）、４．４１（ｃ：３Ｈ）、１．４７（ｔ：３Ｈ）
８．５２（ｓ：１Ｈ）、８．１０（ｄ：１Ｈ）、８．００（ｄ：１Ｈ）、７．５３（ｓ：１Ｈ）、７．５１（ｔ：１Ｈ）、７．４５（ｄ：２Ｈ）、７．４１（ｄ：２Ｈ）、７．２８（ｔ：１Ｈ）、４．４１（ｃ：３Ｈ）、１．４７（ｔ：３Ｈ）
＜ステップ２＞アシル体の製造
下記アシル体を、以下のようにして製造した。
下記アシル体を、以下のようにして製造した。
ステップ１で得られたベンゾイル体３６．５ｇ（０．１０モル）、塩化亜鉛２７．２ｇ（０．２モル）及びクロロホルム１００ｇを仕込み、８０℃まで昇温した後、無水酢酸２０．４ｇ（０．２モル）を１時間かけて滴下し、さらに２時間攪拌した。その後、酢酸エチル２００ｇと塩酸水を加えて塩化亜鉛を分解し、水洗を行なった。さらに溶媒を留去して酢酸エチル５００ｇから再結晶を行い、白色結晶（収量９．０ｇ、収率２２％、純度９１％）を得た。
得られた白色結晶は、融点１７２℃で、1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフトが次の通りであり、目的物であるアシル体であることを確認した。
８．７１（ｓ：１Ｈ）、８．５０（ｓ：１Ｈ）、８．１７（ｄ：１Ｈ）、８．０９（ｄ：１Ｈ）、７．５６（ｓ：１Ｈ）、７．５１（ｄ：１Ｈ）、７．４９（ｄ：１Ｈ）、７．４１（ｄ：２Ｈ）、４．４３（ｃ：３Ｈ）、２．７３（ｓ：３Ｈ）、（１．５０ｔ：３Ｈ）
８．７１（ｓ：１Ｈ）、８．５０（ｓ：１Ｈ）、８．１７（ｄ：１Ｈ）、８．０９（ｄ：１Ｈ）、７．５６（ｓ：１Ｈ）、７．５１（ｄ：１Ｈ）、７．４９（ｄ：１Ｈ）、７．４１（ｄ：２Ｈ）、４．４３（ｃ：３Ｈ）、２．７３（ｓ：３Ｈ）、（１．５０ｔ：３Ｈ）
＜ステップ３＞二量体１の製造
下記二量体１を、以下のようにして製造した。
下記二量体１を、以下のようにして製造した。
ステップ２で得られたアシル体９．０３ｇ（０．０２２モル）及びジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）２０ｇを仕込み、さらに１，５−ペンタンジチオール１．３９ｇ（０．０１モル）を仕込み、５０℃まで昇温した。ナトリウムメトキシド４．２４ｇ（０．０２２モル）を徐々に滴下し、６０℃で１時間保持し、続いて６０℃で１時間攪拌した。その後、酢酸エチル２０ｇを加え、油層を水２０ｇにて２回洗浄すると結晶が析出したため、これをろ別し、淡黄色結晶を得た。ろ液を水、続いて飽和食塩水で洗浄し、硫酸ナトリウムで乾燥後、溶媒を留去してさらに淡黄色結晶を得た。得られた淡黄色結晶（二量体１）は、あわせて収量５．４７ｇ、収率６３％、純度８５％であった。
＜ステップ４＞二量体オキシム１の製造
下記二量体オキシム１を、以下のようにして製造した。
下記二量体オキシム１を、以下のようにして製造した。
ステップ３で得られた二量体１の４．４２ｇ（０．００５モル）、ヒドロキシルアミン塩酸塩１．０４ｇ（０．０１５モル）及びＤＭＦ９ｇを仕込み、６０℃で２時間攪拌した。反応液をメタノール：水＝５：１（体積比）５０ｍｌに滴下した。固体をろ別し、メタノール、水で洗浄後、乾燥して淡黄色結晶として二量体オキシム１（収量４．００ｇ、収率８１％、純度８１％）を得た。
＜ステップ５＞化合物Ｎｏ．１の製造
ステップ４で得られた二量体オキシム１の３．６６ｇ（０．００４モル）及びクロロホルム１５ｇを仕込み、６０℃まで昇温した。無水酢酸１．２３ｇ（０．０１２モル）を滴下し、６５℃で３０分攪拌した。クロロホルム５０ｍｌを加え、反応液をメタノール１００ｍｌに滴下すると結晶が析出した。結晶をろ別して、淡黄色結晶（収量０．６３ｇ、収率１８％、純度９２％）を得た。該淡黄色結晶について分析を行なったところ、該淡黄色結晶は目的物である化合物Ｎｏ．１であることが確認された。分析結果を以下に示す。
ステップ４で得られた二量体オキシム１の３．６６ｇ（０．００４モル）及びクロロホルム１５ｇを仕込み、６０℃まで昇温した。無水酢酸１．２３ｇ（０．０１２モル）を滴下し、６５℃で３０分攪拌した。クロロホルム５０ｍｌを加え、反応液をメタノール１００ｍｌに滴下すると結晶が析出した。結晶をろ別して、淡黄色結晶（収量０．６３ｇ、収率１８％、純度９２％）を得た。該淡黄色結晶について分析を行なったところ、該淡黄色結晶は目的物である化合物Ｎｏ．１であることが確認された。分析結果を以下に示す。
（分析結果）
（１）融点：１６０．６℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．５１（ｄ：２Ｈ）、８．４４（ｄ：２Ｈ）、８．０８（ｄｄ：２Ｈ）、７．９７（ｄｄ：２Ｈ）、７．４６（ｄ：２Ｈ）、７．４４（ｄ：２Ｈ）、７．４１（ｄ：２Ｈ）、７．３８（ｄ：２Ｈ）、７．３１（ｄｄ：２Ｈ）、４．４１（ｑ：４Ｈ）、３．４９（ｂｒ：２Ｈ）、３．０７（ｔ：４Ｈ）、２．５１（ｓ：６Ｈ）、２．２９（ｓ：６Ｈ）、１．８４‐１．７８（ｍ：４Ｈ）、１．４７（ｔ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９３２、１７６６、１６５１、１６２７、１５９２、１４８９、１３３７、１２９７、１２７４、１２４７、１１２８、９３４、８９６、８１５、７５９、７２０
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
λｍａｘ＝２６１、３００、３４１ｎｍ
（１）融点：１６０．６℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．５１（ｄ：２Ｈ）、８．４４（ｄ：２Ｈ）、８．０８（ｄｄ：２Ｈ）、７．９７（ｄｄ：２Ｈ）、７．４６（ｄ：２Ｈ）、７．４４（ｄ：２Ｈ）、７．４１（ｄ：２Ｈ）、７．３８（ｄ：２Ｈ）、７．３１（ｄｄ：２Ｈ）、４．４１（ｑ：４Ｈ）、３．４９（ｂｒ：２Ｈ）、３．０７（ｔ：４Ｈ）、２．５１（ｓ：６Ｈ）、２．２９（ｓ：６Ｈ）、１．８４‐１．７８（ｍ：４Ｈ）、１．４７（ｔ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９３２、１７６６、１６５１、１６２７、１５９２、１４８９、１３３７、１２９７、１２７４、１２４７、１１２８、９３４、８９６、８１５、７５９、７２０
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
λｍａｘ＝２６１、３００、３４１ｎｍ
〔実施例２〕化合物Ｎｏ．２の製造
＜ステップ１＞二量体２の製造
下記二量体２を、以下のようにして製造した。
＜ステップ１＞二量体２の製造
下記二量体２を、以下のようにして製造した。
実施例１のステップ２で製造したアシル体２．２６ｇ（０．００６モル）及びＤＭＦ５ｇを仕込み、１，４−ブタンジチオール０．３２ｇ（０．００３モル）を加え、５０℃まで昇温した。ナトリウムメトキシド０．３０ｇ（０．００６モル）を加え、５０℃で４時間攪拌すると結晶が徐々に析出した。結晶をろ別し、ＤＭＦ、メタノールで洗浄し、薄赤色結晶として二量体２（収量１．８５ｇ、収率８０％、純度９４％）を得た。
＜ステップ２＞二量体オキシム２の製造
下記二量体オキシム２を、以下のようにして製造した。
下記二量体オキシム２を、以下のようにして製造した。
ステップ１で得られた二量体２の３．４８ｇ（０．００４モル）、塩酸ヒドロキシルアミン０．８３ｇ（０．０１２モル）及びＤＭＦ８ｇを仕込み、６０℃で3時間攪拌した。メタノール８ｍｌ及び水４ｍｌを加えて結晶をろ別し、淡黄色結晶として二量体オキシム２（収量２．５４ｇ、収率５８％、純度７４％）を得た。
＜ステップ３＞化合物Ｎｏ．２の製造
ステップ２で得られた二量体オキシム２の２．２５ｇ（０．００３モル）及びクロロホルム１０ｇを仕込み、６０℃まで昇温した。さらに無水酢酸０．６１ｇ（０．００３モル）を滴下し、６５℃で３０分攪拌した。メタノール１００ｍｌに反応液を加えると結晶が析出したので、これをろ別し、淡黄色粗結晶（収量１．９１ｇ、粗収率１００％、純度８５％）を得た。得られた粗結晶をクロロホルム１０ｍｌに溶解し、６０℃まで加熱してメタノール１５ｍｌを滴下した。固体をろ別し、白色結晶（収量１．１３ｇ、収率５９％、純度９５％）を得た。得られた白色結晶について分析を行なったところ、該白色結晶は目的物である化合物Ｎｏ．２であると確認された。分析結果を以下に示す。
ステップ２で得られた二量体オキシム２の２．２５ｇ（０．００３モル）及びクロロホルム１０ｇを仕込み、６０℃まで昇温した。さらに無水酢酸０．６１ｇ（０．００３モル）を滴下し、６５℃で３０分攪拌した。メタノール１００ｍｌに反応液を加えると結晶が析出したので、これをろ別し、淡黄色粗結晶（収量１．９１ｇ、粗収率１００％、純度８５％）を得た。得られた粗結晶をクロロホルム１０ｍｌに溶解し、６０℃まで加熱してメタノール１５ｍｌを滴下した。固体をろ別し、白色結晶（収量１．１３ｇ、収率５９％、純度９５％）を得た。得られた白色結晶について分析を行なったところ、該白色結晶は目的物である化合物Ｎｏ．２であると確認された。分析結果を以下に示す。
（分析結果）
（１）融点：１４９．７℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．５１（ｄ：２Ｈ）、８．４６（ｄ：２Ｈ）、８．０９（ｄｄ：２Ｈ）、７．９７（ｄｄ：２Ｈ）、７．４７（ｄ：２Ｈ）、７．４４（ｄ：２Ｈ）、７．４２（ｄ：２Ｈ）、７．３８（ｄ：２Ｈ）、７．３１（ｄｄ：２Ｈ）、４．４１（ｑ：４Ｈ）、３．１２‐３．０８（ｍ：４Ｈ）、２．５１（ｓ：６Ｈ）、２．２８（ｓ：６Ｈ）、１．９７‐１．９４（ｍ：４Ｈ）、１．４７（ｔ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９３１、１７６０、１６５６、１６２２、１５８５、１４８４、１４３２、１３６８、１３４９、１３３４、１３０８、１２７５、１２４８、１１３１、１１０５、９３６、８９６、８２４、８１３
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
λｍａｘ＝２６１、２９９、３４１ｎｍ
（１）融点：１４９．７℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．５１（ｄ：２Ｈ）、８．４６（ｄ：２Ｈ）、８．０９（ｄｄ：２Ｈ）、７．９７（ｄｄ：２Ｈ）、７．４７（ｄ：２Ｈ）、７．４４（ｄ：２Ｈ）、７．４２（ｄ：２Ｈ）、７．３８（ｄ：２Ｈ）、７．３１（ｄｄ：２Ｈ）、４．４１（ｑ：４Ｈ）、３．１２‐３．０８（ｍ：４Ｈ）、２．５１（ｓ：６Ｈ）、２．２８（ｓ：６Ｈ）、１．９７‐１．９４（ｍ：４Ｈ）、１．４７（ｔ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９３１、１７６０、１６５６、１６２２、１５８５、１４８４、１４３２、１３６８、１３４９、１３３４、１３０８、１２７５、１２４８、１１３１、１１０５、９３６、８９６、８２４、８１３
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
λｍａｘ＝２６１、２９９、３４１ｎｍ
〔実施例３〕化合物Ｎｏ．3の製造
＜ステップ１＞二量体３の製造
下記二量体３を、以下のようにして製造した。
＜ステップ１＞二量体３の製造
下記二量体３を、以下のようにして製造した。
実施例１のステップ２で製造したアシル体１０．２ｇ（０．０２５モル）、ｐ−キシレン−α，α’−ジチオール２．０３ｇ（０．０１１モル）及びＤＭＦ２０ｇを仕込み、５０℃まで昇温した後、ナトリウムメトキシド１．３４ｇ（０．０２５モル）を１時間かけて少量ずつ加えた。塩化メチレン２０ｇ及び水２０ｇを加えて抽出を行い、油層を水洗後、硫酸マグネシウムで乾燥し、溶媒を留去してテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）／ジエチルエーテル混合溶媒から再結晶を行い、肌色結晶として二量体３（収量１１．７９ｇ、収率５２％、純度９５％）を得た。
＜ステップ２＞二量体オキシム３の製造
下記二量体オキシム３を、以下のようにして製造した。
下記二量体オキシム３を、以下のようにして製造した。
ステップ１で得られた二量体３の４．５９ｇ（０．００５モル）及びＤＭＦ１０ｇを仕込み、６５℃まで昇温した。さらに塩酸ヒドロキシルアミン１．０４ｇ（０．０１５モル）を滴下し、６５℃で３時間攪拌した。室温まで冷却し、酢酸エチル２０ｇ及び水２０ｇを加えて抽出し、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液、飽和食塩水で洗浄し、硫酸ナトリウムで乾燥後、溶媒を留去して淡黄色固体として二量体オキシム３（収量５．００ｇ、収率７０％、純度５８％）を得た。
＜ステップ３＞化合物Ｎｏ．３の製造
ステップ２で得られた二量体オキシム３の１．５９ｇ（０．００２モル）及びクロロホルム５ｇを仕込み、５５℃まで昇温した。無水酢酸０．４１ｇ（０．００４モル）を滴下し５５℃で３０分攪拌した。その後、反応液をメタノール１００ｍｌに滴下した。固体をろ別し、黄色結晶（収量１．３６ｇ、収率７８％、純度６４％）を得た。得られた黄色結晶について分析を行なったところ、該黄色結晶は目的物である化合物Ｎｏ．３であることが確認された。分析結果を以下に示す。
ステップ２で得られた二量体オキシム３の１．５９ｇ（０．００２モル）及びクロロホルム５ｇを仕込み、５５℃まで昇温した。無水酢酸０．４１ｇ（０．００４モル）を滴下し５５℃で３０分攪拌した。その後、反応液をメタノール１００ｍｌに滴下した。固体をろ別し、黄色結晶（収量１．３６ｇ、収率７８％、純度６４％）を得た。得られた黄色結晶について分析を行なったところ、該黄色結晶は目的物である化合物Ｎｏ．３であることが確認された。分析結果を以下に示す。
（分析結果）
（１）融点：１５０．０℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．４９（ｄ：２Ｈ）、８．４５（ｄ：２Ｈ）、８．０６（ｄｄ：２Ｈ）、７．９７（ｄｄ：２Ｈ）、７．４６（ｄ：２Ｈ）、７．４４（ｄ：２Ｈ）、７．４１‐７．３９（ｍ：４Ｈ）、７．３４（ｄ：４Ｈ）、７．２８（ｄｄ：２Ｈ）、４．４１（ｑ：４Ｈ）、４．２４（ｓ：４Ｈ）、２．５２（ｓ：６Ｈ）、２．２９（ｓ：６Ｈ）、１．４７（ｔ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９７５、１７６１、１６４９、１５８９、１４８８、１４２８、１３７２、１２３７、１２９６、１２０４、１１２８、１０４７、９８３、９３４、９０１、８５９、８１８、７６０、７１８、６６９、６２８
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
λｍａｘ＝２６１、３００、３４４ｎｍ
（１）融点：１５０．０℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．４９（ｄ：２Ｈ）、８．４５（ｄ：２Ｈ）、８．０６（ｄｄ：２Ｈ）、７．９７（ｄｄ：２Ｈ）、７．４６（ｄ：２Ｈ）、７．４４（ｄ：２Ｈ）、７．４１‐７．３９（ｍ：４Ｈ）、７．３４（ｄ：４Ｈ）、７．２８（ｄｄ：２Ｈ）、４．４１（ｑ：４Ｈ）、４．２４（ｓ：４Ｈ）、２．５２（ｓ：６Ｈ）、２．２９（ｓ：６Ｈ）、１．４７（ｔ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９７５、１７６１、１６４９、１５８９、１４８８、１４２８、１３７２、１２３７、１２９６、１２０４、１１２８、１０４７、９８３、９３４、９０１、８５９、８１８、７６０、７１８、６６９、６２８
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
λｍａｘ＝２６１、３００、３４４ｎｍ
〔実施例４〕二量体オキシムエステル化合物の混合物の製造
＜ステップ１＞二量体４の製造
下記二量体４を、以下のようにして製造した。
＜ステップ１＞二量体４の製造
下記二量体４を、以下のようにして製造した。
水素化ナトリウム０．３０ｇ（０．００６モル）に１，３‐ ジメチル‐２‐イミダゾリジノン（ＤＭＩ）１ｇを混合し、これにジエチレングリコール０．２９ｇ（０．００３モル）を徐々に滴下して、水素ガスの発生がおさまるまで攪拌した。続いて、実施例１のステップ２で製造したアシル体３．０８ｇ（０．００８モル）及びＤＭＩ ４ｇを仕込み、これに、先に調製した水素化ナトリウム、ＤＭＩ及びジエチレングリコールを混合したものを１時間かけて徐々に滴下した。１００℃で３時間反応を行い、ジクロロメタン２０ｇ及び水２０ｇを加えて抽出を行った。油層を硫酸マグネシウムで乾燥し、溶媒を留去して、クロロホルム／メタノール混合溶媒を用いて再沈殿を行い、淡黄色結晶として二量体４（収量１．７３ｇ、収率２８％、純度３４％）を得た。
＜ステップ２＞二量体オキシム４の製造
下記二量体オキシム４を、以下のようにして製造した。
下記二量体オキシム４を、以下のようにして製造した。
ステップ１で得られた二量体４の１．７１ｇ（０．００２モル）、塩酸ヒドロキシルアミン０．４２ｇ（０．００６モル）及びＤＭＦ４ｇを仕込み、６０℃で３時間攪拌した。反応液をメタノール：水＝４：１（体積比）５０ｍｌに滴下した。固体をろ別し、淡黄色結晶として二量体オキシム４（収量２．５０ｇ、収率２９％、純度３８％）を得た。
＜ステップ３＞二量体オキシムエステル化合物の混合物の製造
下記二量体オキシムエステル化合物の混合物を、以下のようにして製造した。
下記二量体オキシムエステル化合物の混合物を、以下のようにして製造した。
ステップ２で得られた二量体オキシム４の０．１５ｇ（０．０００２モル）及びクロロホルム１ｇを仕込み、５５℃まで昇温した。続いて無水酢酸０．０４２ｇ（０．０００４モル）を滴下し、５５℃で１時間攪拌した。反応液をメタノール１０ｍｌに滴下した。固体をろ別し、黄色結晶（収量０．０６５ｇ、収率３６％、純度８８％）を得た。得られた黄色結晶について分析を行なったところ、該黄色結晶は目的物である二量体オキシムエステル化合物の混合物であることが確認され、得られた二量体オキシムエステル化合物の混合物のうち、ｏ‐ｏ体は１６％、ｏ‐ｐ体は４８％、ｐ‐ｐ体は３６％であった。分析結果を以下に示す。なお、融点、1Ｈ−ＮＭＲ測定、ＩＲ測定については混合物についての分析結果であり、ＵＶスペクトル測定については、三次元ＨＰＬＣ分析において検出器をＵＶとし、ｏ‐ｏ体、ｏ‐ｐ体、ｐ‐ｐ体それぞれの保持時間において検出した分析結果である。
（分析結果）
（１）融点：１６０．７℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．５３ー８．４２（ｍ：４Ｈ）、８．１２ー７．８９（ｍ：４Ｈ）、７．４７ー６．６０（ｍ：１０Ｈ）、４．４４ー４．３１（ｍ：４Ｈ）、４．１６ー３．０４（２Ｈ，２Ｈ，ｔ，ｔ）[４．１６（ｔ：２Ｈ）、３．６８（ｔ：２Ｈ）、３．６５（ｔ：２Ｈ）、３．５５（ｔ：２Ｈ）、３．４５（ｔ：２Ｈ）、３．０４（ｔ：２Ｈ）]、２．５０ー２．４８（ｍ：６Ｈ）、２．２９ー２．２６（ｍ：６Ｈ）、１．５０ー１．３７（ｍ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９３２、１７６２、１６５４、１６２７、１５９１、１４８６、１３６６、１３３６、１２９８、１２７３、１２４６、１１２９、１０９２、１０４２、９３４、８１２、７６９、７６２、７２７
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
ｏ‐ｏ体：λｍａｘ＝２７１、２９９、３４１ｎｍ
ｏ‐ｐ体：λｍａｘ＝２６５、２９７、３４１ｎｍ
ｐ‐ｐ体：λｍａｘ＝２６３、２９６、３３９ｎｍ
（１）融点：１６０．７℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．５３ー８．４２（ｍ：４Ｈ）、８．１２ー７．８９（ｍ：４Ｈ）、７．４７ー６．６０（ｍ：１０Ｈ）、４．４４ー４．３１（ｍ：４Ｈ）、４．１６ー３．０４（２Ｈ，２Ｈ，ｔ，ｔ）[４．１６（ｔ：２Ｈ）、３．６８（ｔ：２Ｈ）、３．６５（ｔ：２Ｈ）、３．５５（ｔ：２Ｈ）、３．４５（ｔ：２Ｈ）、３．０４（ｔ：２Ｈ）]、２．５０ー２．４８（ｍ：６Ｈ）、２．２９ー２．２６（ｍ：６Ｈ）、１．５０ー１．３７（ｍ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９３２、１７６２、１６５４、１６２７、１５９１、１４８６、１３６６、１３３６、１２９８、１２７３、１２４６、１１２９、１０９２、１０４２、９３４、８１２、７６９、７６２、７２７
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
ｏ‐ｏ体：λｍａｘ＝２７１、２９９、３４１ｎｍ
ｏ‐ｐ体：λｍａｘ＝２６５、２９７、３４１ｎｍ
ｐ‐ｐ体：λｍａｘ＝２６３、２９６、３３９ｎｍ
〔実施例５〕感光性組成物の製造
アクリル系共重合体１００ｇに対し、トリメチロールプロパンアクリレート０．４ｇ、実施例１で得られた化合物Ｎｏ．１の０．０２ｇ及び２，２−ビス（２−クロロフェニル）−４，５，４'，５'−テトラフェニル−１−２'−ビイミダゾール０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
尚、上記アクリル系共重合体は、メタクリル酸２０質量部、ヒドロキシエチルメタクリレート１５質量部、メチルメタクリレート１０質量部及びブチルメタクリレート５５質量部をエチルセロソルブ３００質量部に溶解し、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル０．７５質量部を加えて７０℃で５時間反応させることにより得られたものである。
アクリル系共重合体１００ｇに対し、トリメチロールプロパンアクリレート０．４ｇ、実施例１で得られた化合物Ｎｏ．１の０．０２ｇ及び２，２−ビス（２−クロロフェニル）−４，５，４'，５'−テトラフェニル−１−２'−ビイミダゾール０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
尚、上記アクリル系共重合体は、メタクリル酸２０質量部、ヒドロキシエチルメタクリレート１５質量部、メチルメタクリレート１０質量部及びブチルメタクリレート５５質量部をエチルセロソルブ３００質量部に溶解し、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル０．７５質量部を加えて７０℃で５時間反応させることにより得られたものである。
次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン乾燥させた後、上記感光性組成物をスピンコート（１０００ｒ．ｐ．ｍ、４０秒間）し乾燥させた。７０℃で２０分間プリベークを行った後、画素サイズ３０μｍ×１００μｍのマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光した。次に、２．５質量％炭酸ナトリウム溶液で現像後、良く水洗し、さらに水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定着させた。尚、露光量は８０ｍＪ／ｃｍ2であった。
光重合開始剤として本発明の二量体オキシムエステル化合物を含有する上記感光性組成物は、感度に優れ、重合物の着色や重合物及び装置の汚染がなく、得られたパターンは鮮明であった。また、上記感光性組成物をスピンコートした後１０日以上放置しても、光重合開始剤の析出はなかった。
〔実施例６〕感光性組成物の製造
スチレン−アクリル系感光性共重合体１００ｇに対し、トリメチロールプロパンアクリレート０．４ｇ及び実施例１で得られた化合物Ｎｏ．１の０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
尚、上記スチレン−アクリル系感光性共重合体は、スチレン２６．３質量部、２−ヒドロキシメタクリレート４３．８質量部、メタクリル酸３５質量部及びメタクリル酸エチル７０質量部をエチルセロソルブ１７５質量部に溶解し、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル０．７５質量部を加え９０℃で５時間反応させ、次いで、イソシアネートエチルメタクリレート２３．５質量部及びオクチル酸錫０．１１質量部をエチルセロソルブ２０質量部で溶解したものを約１０分かけて滴下し、滴下後２時間反応させることにより得られたものである。
スチレン−アクリル系感光性共重合体１００ｇに対し、トリメチロールプロパンアクリレート０．４ｇ及び実施例１で得られた化合物Ｎｏ．１の０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
尚、上記スチレン−アクリル系感光性共重合体は、スチレン２６．３質量部、２−ヒドロキシメタクリレート４３．８質量部、メタクリル酸３５質量部及びメタクリル酸エチル７０質量部をエチルセロソルブ１７５質量部に溶解し、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル０．７５質量部を加え９０℃で５時間反応させ、次いで、イソシアネートエチルメタクリレート２３．５質量部及びオクチル酸錫０．１１質量部をエチルセロソルブ２０質量部で溶解したものを約１０分かけて滴下し、滴下後２時間反応させることにより得られたものである。
次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン乾燥させた後、上記感光性組成物をスピンコート（１０００ｒ．ｐ．ｍ、４０秒間）し乾燥させた。７０℃で２０分間プリベークを行った後、画素サイズ３０μｍ×１００μｍのマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光した。次に、２．５質量％炭酸ナトリウム溶液で現像後、良く水洗し、さらに水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定着させた。尚、露光量は８０ｍＪ／ｃｍ2であった。
光重合開始剤として本発明の二量体オキシムエステル化合物を含有する上記感光性組成物は、感度に優れ、重合物の着色や重合物及び装置の汚染がなく、得られたパターンは鮮明であった。また、上記感光性組成物をスピンコートした後１０日以上放置しても、光重合開始剤の析出はなかった。
〔比較例１〕感光性組成物の製造
実施例５で用いたアクリル系共重合体１００ｇに対して、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート０．４ｇ及び比較化合物１（下記〔化１８〕）１０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
実施例５で用いたアクリル系共重合体１００ｇに対して、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート０．４ｇ及び比較化合物１（下記〔化１８〕）１０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン乾燥させた後、上記感光性組成物をスピンコート（１３００ｒ．ｐ．ｍ、５０秒間）し乾燥させた。７０℃で２０分間プリベークを行った後、ポリビニルアルコール５質量％溶液をコートして酸素遮断膜とした。７０℃２０分間の乾燥後、所定のマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光後、２．５質量％炭酸ナトリウム溶液で現像して良く水洗した。水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定着させた。尚、露光量は、８０ｍＪ／ｃｍ2であった。得られたパターンは、実施例５で得られたパターンに較べて不鮮明であった。
〔比較例２〕感光性組成物の製造
アクリル系共重合体の代わりに実施例６で用いたスチレン−アクリル系感光性共重合体を用いた以外は、比較例１と同一の条件で、感光性組成物を得、該感光性組成物を用いてパターンを作成した。
アクリル系共重合体の代わりに実施例６で用いたスチレン−アクリル系感光性共重合体を用いた以外は、比較例１と同一の条件で、感光性組成物を得、該感光性組成物を用いてパターンを作成した。
上記感光性組成物は、比較例１の感光性組成物と同様の特性を有しており、実施例６の感光性組成物に較べて感度が劣っていた。また、この感光性組成物をスピンコートした後に５日以上放置すると、光重合開始剤の析出が起こった。
〔比較例３〕感光性組成物の製造
実施例５で用いたアクリル系共重合体１００ｇに対して、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート０．４ｇ及び比較化合物２（下記〔化１９〕）１０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
実施例５で用いたアクリル系共重合体１００ｇに対して、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート０．４ｇ及び比較化合物２（下記〔化１９〕）１０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン乾燥させた後、上記感光性組成物をスピンコート（１３００ｒ．ｐ．ｍ、５０秒間）し乾燥させた。７０℃で２０分間プリベークを行った後、ポリビニルアルコール５質量％溶液をコートして酸素遮断膜とした。７０℃２０分間の乾燥後、所定のマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光後、２．５質量％炭酸ナトリウム溶液で現像して良く水洗した。水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定着させた。尚、露光量は、８０ｍＪ／ｃｍ2であった。得られたパターンは、実施例５で得られたパターンに較べて不鮮明であった。
〔比較例４〕感光性組成物の製造
アクリル系共重合体の代わりに、実施例６で用いたスチレン−アクリル系感光性共重合体を用いた以外は、比較例３と同一の条件で、感光性組成物を得、該感光性組成物を用いてパターンを作成した。
アクリル系共重合体の代わりに、実施例６で用いたスチレン−アクリル系感光性共重合体を用いた以外は、比較例３と同一の条件で、感光性組成物を得、該感光性組成物を用いてパターンを作成した。
上記感光性組成物は比較例３の感光性組成物と同様の特性を有しており、実施例６の感光性組成物に較べて感度が劣っていた。また、上記感光性組成物をスピンコートした後に５日以上放置すると、光重合開始剤の析出が起こった。
Claims (6)
- 下記一般式（Ｉ）で表される二量体オキシムエステル化合物。
- Ｘ1及び／又はＸ1'が塩素原子であることを特徴とする請求項１に記載の二量体オキシムエステル化合物。
- ｍ及び／又はｎが１であることを特徴とする請求項１又は２に記載の二量体オキシムエステル化合物。
- Ｒ4がアルキレン基であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の二量体オキシムエステル化合物。
- Ｒ4がｐ−キシリレンであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の二量体オキシムエステル化合物。
- 請求項１〜５のいずれかに記載の二量体オキシムエステル化合物を有効成分とする光重合開始剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003330877A JP4565824B2 (ja) | 2003-09-24 | 2003-09-24 | 二量体オキシムエステル化合物及び該化合物を有効成分とする光重合開始剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003330877A JP4565824B2 (ja) | 2003-09-24 | 2003-09-24 | 二量体オキシムエステル化合物及び該化合物を有効成分とする光重合開始剤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005097141A JP2005097141A (ja) | 2005-04-14 |
| JP4565824B2 true JP4565824B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=34459672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003330877A Expired - Lifetime JP4565824B2 (ja) | 2003-09-24 | 2003-09-24 | 二量体オキシムエステル化合物及び該化合物を有効成分とする光重合開始剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4565824B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101457172B1 (ko) * | 2013-11-28 | 2014-10-31 | 타코마테크놀러지 주식회사 | 광개시제 및 이를 포함한 감광성 조성물 |
| WO2015080503A1 (en) * | 2013-11-28 | 2015-06-04 | Takoma Technology Co., Ltd. | Photoinitiator and photosensitive composition including the same |
Families Citing this family (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1963374B1 (en) * | 2005-12-20 | 2010-02-17 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
| JP4948112B2 (ja) * | 2006-10-13 | 2012-06-06 | 株式会社Ａｄｅｋａ | オキシムエステル化合物及び該化合物を有効成分とする光重合開始剤 |
| WO2008139924A1 (ja) | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Adeka Corporation | 新規エポキシ化合物、アルカリ現像性樹脂組成物およびアルカリ現像性感光性樹脂組成物 |
| JP5535064B2 (ja) * | 2007-05-11 | 2014-07-02 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | オキシムエステル光重合開始剤 |
| JP5535065B2 (ja) * | 2007-05-11 | 2014-07-02 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | オキシムエステル光重合開始剤 |
| JP5054456B2 (ja) * | 2007-07-26 | 2012-10-24 | 株式会社Ａｄｅｋａ | 重合性液晶化合物及びラジカル光重合開始剤を含有する重合性組成物 |
| KR20100028020A (ko) | 2007-08-01 | 2010-03-11 | 가부시키가이샤 아데카 | 알칼리 현상성 감광성 수지 조성물 및 β-디케톤 화합물 |
| KR101551785B1 (ko) | 2008-02-22 | 2015-09-09 | 가부시키가이샤 아데카 | 중합성 화합물을 함유하는 액정 조성물 및 상기 액정 조성물을 이용한 액정표시소자 |
| WO2009122868A1 (ja) | 2008-04-01 | 2009-10-08 | 株式会社Adeka | 三官能（メタ）アクリレート化合物及び該化合物を含有する重合性組成物 |
| JP5284735B2 (ja) | 2008-09-18 | 2013-09-11 | 株式会社Ａｄｅｋａ | 重合性光学活性イミド化合物及び該化合物を含有する重合性組成物 |
| JP5344892B2 (ja) | 2008-11-27 | 2013-11-20 | 富士フイルム株式会社 | インクジェット用インク組成物、及びインクジェット記録方法 |
| JP5371471B2 (ja) * | 2009-02-16 | 2013-12-18 | 株式会社日本化学工業所 | オキシムエステル化合物及びこれらを用いた感光性樹脂組成物 |
| JP5236587B2 (ja) * | 2009-07-15 | 2013-07-17 | 太陽ホールディングス株式会社 | 光硬化性樹脂組成物 |
| JP5709761B2 (ja) | 2009-11-18 | 2015-04-30 | 株式会社Adeka | 重合性化合物を含有する液晶組成物及び該液晶組成物を用いた液晶表示素子 |
| JP5640722B2 (ja) * | 2010-02-05 | 2014-12-17 | Jsr株式会社 | 新規化合物及びそれを含有する感放射線性組成物 |
| KR20130040780A (ko) * | 2010-03-31 | 2013-04-24 | 다이요 홀딩스 가부시키가이샤 | 광경화성 수지 조성물 |
| JP5645446B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2014-12-24 | 太陽ホールディングス株式会社 | 光硬化性樹脂組成物 |
| TWI575311B (zh) * | 2011-03-08 | 2017-03-21 | 大賽璐股份有限公司 | 光阻製造用溶劑或溶劑組成物 |
| KR101947252B1 (ko) | 2012-05-09 | 2019-02-12 | 바스프 에스이 | 옥심 에스테르 광개시제 |
| JP2013047816A (ja) * | 2012-10-01 | 2013-03-07 | Taiyo Holdings Co Ltd | プリント配線板用光硬化性樹脂組成物 |
| JP5536167B2 (ja) * | 2012-10-01 | 2014-07-02 | 太陽ホールディングス株式会社 | ソルダーレジスト用光硬化性樹脂組成物 |
| JP2013047818A (ja) * | 2012-10-01 | 2013-03-07 | Taiyo Holdings Co Ltd | 光硬化性樹脂組成物 |
| KR20140052233A (ko) * | 2012-10-23 | 2014-05-07 | 동우 화인켐 주식회사 | 경화성 수지 조성물 및 이를 사용하여 제조된 광학필름 |
| CN107254205B (zh) | 2013-11-05 | 2020-08-14 | 太阳油墨制造株式会社 | 固化型组合物、使用其的固化涂膜和印刷电路板 |
| JP5882510B2 (ja) | 2014-06-30 | 2016-03-09 | 太陽インキ製造株式会社 | 感光性ドライフィルムおよびそれを用いたプリント配線板の製造方法 |
| JP6169545B2 (ja) | 2014-09-09 | 2017-07-26 | 富士フイルム株式会社 | 重合性組成物、インクジェット記録用インク組成物、インクジェット記録方法、及び記録物 |
| JP6169548B2 (ja) | 2014-09-26 | 2017-07-26 | 富士フイルム株式会社 | 重合性組成物、インクジェット記録用インク組成物、インクジェット記録方法、及び記録物 |
| JP6086888B2 (ja) | 2014-09-26 | 2017-03-01 | 富士フイルム株式会社 | インクジェット記録用インク組成物、インクジェット記録方法、及び記録物 |
| JP6530902B2 (ja) * | 2014-10-22 | 2019-06-12 | 株式会社Adeka | 新規重合開始剤及び該重合開始剤を含有するラジカル重合性組成物 |
| JP6688087B2 (ja) * | 2016-01-15 | 2020-04-28 | 株式会社Adeka | 化合物、組成物及び光重合開始剤 |
| TWI772616B (zh) | 2018-03-01 | 2022-08-01 | 日商日本化藥股份有限公司 | 新穎化合物、含有該化合物之光聚合起始劑及含有該光聚合起始劑的感光性樹脂組成物 |
| TWI774931B (zh) | 2018-03-02 | 2022-08-21 | 日商日本化藥股份有限公司 | 新穎化合物、含有該化合物的光聚合起始劑及含有該光聚合起始劑的感光性樹脂組成物 |
| JP7519276B2 (ja) | 2020-11-13 | 2024-07-19 | 株式会社日本化学工業所 | 新規な光重合開始剤及びこれらを用いた感光性樹脂組成物 |
| WO2022131346A1 (ja) | 2020-12-17 | 2022-06-23 | 株式会社Adeka | 化合物及び組成物 |
| JP2022159028A (ja) | 2021-03-31 | 2022-10-17 | 太陽インキ製造株式会社 | ２液型硬化性樹脂組成物、製品、ドライフィルム、硬化物、およびプリント配線板 |
| US20240352203A1 (en) | 2021-07-20 | 2024-10-24 | Adeka Corporation | Film-forming material for semiconductor, member-forming material for semiconductor, process member-forming material for semiconductor, underlayer film-forming material, underlayer film, and semiconductor device |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001092128A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-06 | Toppan Printing Co Ltd | 柱状スペーサー用感光性組成物及びそれを用いた液晶表示装置用カラーフィルタ |
| JP2002258473A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Nippon Kayaku Co Ltd | 着色感光性組成物 |
| WO2002100903A1 (en) * | 2001-06-11 | 2002-12-19 | Ciba Specialty Chemicals Holding Inc. | Oxime ester photoinitiators having a combined structure |
| JP2003177532A (ja) * | 2001-12-13 | 2003-06-27 | Sumitomo Chem Co Ltd | 感光性組成物 |
| JP2005099280A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ及びその製造方法 |
| JP2005099258A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Toppan Printing Co Ltd | 感光性組成物及び感光性着色組成物 |
-
2003
- 2003-09-24 JP JP2003330877A patent/JP4565824B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001092128A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-06 | Toppan Printing Co Ltd | 柱状スペーサー用感光性組成物及びそれを用いた液晶表示装置用カラーフィルタ |
| JP2002258473A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Nippon Kayaku Co Ltd | 着色感光性組成物 |
| WO2002100903A1 (en) * | 2001-06-11 | 2002-12-19 | Ciba Specialty Chemicals Holding Inc. | Oxime ester photoinitiators having a combined structure |
| JP2003177532A (ja) * | 2001-12-13 | 2003-06-27 | Sumitomo Chem Co Ltd | 感光性組成物 |
| JP2005099280A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ及びその製造方法 |
| JP2005099258A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Toppan Printing Co Ltd | 感光性組成物及び感光性着色組成物 |
| JP4342886B2 (ja) * | 2003-09-24 | 2009-10-14 | 凸版印刷株式会社 | 感光性組成物及び感光性着色組成物 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101457172B1 (ko) * | 2013-11-28 | 2014-10-31 | 타코마테크놀러지 주식회사 | 광개시제 및 이를 포함한 감광성 조성물 |
| WO2015080503A1 (en) * | 2013-11-28 | 2015-06-04 | Takoma Technology Co., Ltd. | Photoinitiator and photosensitive composition including the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2005097141A (ja) | 2005-04-14 |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |