JP4479736B2 - Imaging device and camera - Google Patents
Imaging device and camera Download PDFInfo
- Publication number
- JP4479736B2 JP4479736B2 JP2007052935A JP2007052935A JP4479736B2 JP 4479736 B2 JP4479736 B2 JP 4479736B2 JP 2007052935 A JP2007052935 A JP 2007052935A JP 2007052935 A JP2007052935 A JP 2007052935A JP 4479736 B2 JP4479736 B2 JP 4479736B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transistor
- photoelectric conversion
- shared
- shared block
- reset
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 45
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 57
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 24
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 24
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
本発明は、CCD(Charge Coupled Device)、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサなどの撮像素子を備えた撮像装置およびカメラに関するものである。 The present invention relates to an imaging apparatus and a camera including an imaging element such as a charge coupled device (CCD) and a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) sensor.
CMOSを利用したCMOS撮像装置は、カメラ等の撮像素子として使われ、CCD撮像装置では困難な一部読み出し等の機能を有し、撮像装置の低消費電力化や小型化に有利である。 A CMOS image pickup device using CMOS is used as an image pickup element such as a camera, and has a function such as partial reading, which is difficult with a CCD image pickup device, and is advantageous for low power consumption and miniaturization of the image pickup device.
近年のCMOS撮像装置の多画素化に伴い、画素の微細化が要求されている。しかしながら、CMOS撮像装置は画素回路内にフォトダイオード、転送トランジスタ、リセットトランジスタ、増幅トランジスタやセレクトトランジスタ等の多くの駆動素子を有するため、画素寸法の縮小が難しい。 With the recent increase in the number of pixels in CMOS imaging devices, there is a demand for pixel miniaturization. However, since the CMOS imaging device has many drive elements such as a photodiode, a transfer transistor, a reset transistor, an amplification transistor, and a select transistor in the pixel circuit, it is difficult to reduce the pixel size.
画素の微細化に関する解決策の一つに、画素内のトランジスタを共有し、1画素あたりのトランジスタ数を低減させ、画素寸法を縮小させる方法がある(たとえば、特許文献1を参照)。たとえば、複数のフォトダイオードに対して転送トランジスタがそれぞれ配置され、これら複数のフォトダイオードと転送トランジスタに対してセレクトトランジスタ、リセットトランジスタおよび増幅トランジスタが共有される構成をとる。
トランジスタを共有しない場合には、一般的に1画素あたり4個のトランジスタを有するのに対し、4画素で3個のトランジスタを共有すれば、トランジスタ数を1画素あたり1.75個に低減できる。なお、トランジスタの駆動方法等により、セレクトトランジスタを有しない構成もある。(たとえば、特許文献2を参照)。
As one of solutions for pixel miniaturization, there is a method in which transistors in a pixel are shared, the number of transistors per pixel is reduced, and the pixel size is reduced (see, for example, Patent Document 1). For example, a transfer transistor is arranged for each of a plurality of photodiodes, and a select transistor, a reset transistor, and an amplification transistor are shared by the plurality of photodiodes and the transfer transistors.
In the case where the transistors are not shared, the number of transistors can be reduced to 1.75 per pixel by sharing three transistors with four pixels, while the number of transistors is generally four. Note that there is a configuration in which a select transistor is not provided depending on a transistor driving method or the like. (For example, see Patent Document 2).
以上に述べた解決策は、複数の構成要素を共有するため構成要素数が低減されるが、各構成要素の形状、大きさ等によって各画素内のレイアウトは不均一となる。 In the solution described above, the number of components is reduced because a plurality of components are shared, but the layout in each pixel becomes non-uniform depending on the shape, size, etc. of each component.
次に、レイアウトの不均一性について説明する。 Next, the layout non-uniformity will be described.
図1は、複数の構成要素を共有した場合のレイアウトの不均一性を説明するための図である。
図1に示すレイアウトでは、電荷電圧変換部2に対して対角方向に隣接する2個の光電変換部1が電荷電圧変換部2を共有し、これら光電変換部1がゲート長方向の幅がそれぞれ異なるトランジスタ領域3a(ゲート長方向の幅L3a)とトランジスタ領域3b(ゲート長方向の幅L3b)を共有するように配線4によって接続されている。ここで言うトランジスタ領域とは、画素を構成するトランジスタで形成される回路であり、たとえば、トランジスタ領域3aはリセットトランジスタで、トランジスタ領域3bは増幅トランジスタおよびセレクトトランジスタで形成されている。
FIG. 1 is a diagram for explaining non-uniform layout when a plurality of components are shared.
In the layout shown in FIG. 1, two
画素を微細化した時、画素内のトランジスタがすべて配置されると、トランジスタのゲート長方向の幅Lが1画素の一辺の幅よりも長くなる。このような理由により、図1に示す配置レイアウトでは、トランジスタ領域が分割されて配置されている。
図1に示すような配置レイアウトの場合、共有するトランジスタの組み合わせによってトランジスタ領域の占有寸法が異なる。トランジスタ領域3aより占有寸法の大きいトランジスタ領域3bは、配置レイアウト上互いに干渉しやすく、このような干渉を防ぐためのトランジスタの配置は困難である。また、トランジスタ領域の占有寸法は、雑音特性に影響しやすく、占有寸法は大きいほど雑音特性がよい。
When a pixel is miniaturized, when all the transistors in the pixel are arranged, the width L in the gate length direction of the transistor becomes longer than the width of one side of one pixel. For this reason, the transistor region is divided and arranged in the arrangement layout shown in FIG.
In the case of the layout shown in FIG. 1, the occupied size of the transistor region differs depending on the combination of the shared transistors. The
この占有寸法と雑音特性との関係について、次式を用いて説明する。 The relationship between this occupied dimension and noise characteristics will be described using the following equation.
(数1)
〈Vn 2〉∝ 1/(WL) …(1)
(Equation 1)
<V n 2 > ∝ 1 / (WL) (1)
(1)式は、電荷電圧変換部の電圧を増幅する増幅トランジスタについての1/f雑音量の一般式であり、電圧の雑音分散Vnにおける2乗の平均値〈Vn 2〉が、増幅トランジスタの幅Wとゲート長Lの積によるゲート面積WLに反比例することを示している。 The expression (1) is a general expression of the 1 / f noise amount for the amplification transistor that amplifies the voltage of the charge-voltage conversion unit, and the average value <V n 2 > of the square in the noise variance V n of the voltage It shows that the gate area WL is inversely proportional to the product of the width W of the transistor and the gate length L.
したがって、(1)式によれば、トランジスタ領域の占有寸法、たとえば増幅トランジスタのゲート面積WLが大きいほど1/f雑音量は減少し、ランダム雑音の影響を受けにくい。 Therefore, according to the equation (1), as the occupied size of the transistor region, for example, the gate area WL of the amplification transistor is larger, the 1 / f noise amount is reduced and is not easily affected by random noise.
しかしながら、多画素化に伴って画素を縮小化する場合にはトランジスタ領域の占有寸法を縮小化する必要がある。この場合、特に増幅トランジスタの雑音特性は悪化し、また、ゲート界面における電荷のトラップ等によるランダム雑音も増加する。さらには、構成要素の寸法は、構成要素の配置レイアウトにも影響を与える。 However, when the pixels are reduced as the number of pixels is increased, it is necessary to reduce the occupied size of the transistor region. In this case, the noise characteristics of the amplification transistor are particularly deteriorated, and random noise due to charge trapping at the gate interface also increases. Furthermore, the dimensions of the components also affect the layout of the components.
構成要素の寸法により配置レイアウトが制限される場合には、製造プロセスの改善が制限要因の解消に有効な手段である。しかし、この制限要因解消のためには微細プロセスへの移行が必要とされる。それは、設備投資が前提であり、製造工程数が増加するという問題が発生する。さらに、CCDやCMOS撮像装置では、画素部は画素部周辺の回路と異なる構造を有する場合が多く、開発コストが増加するという問題もある。 When the arrangement layout is limited by the dimensions of the constituent elements, improvement of the manufacturing process is an effective means for eliminating the limiting factor. However, in order to eliminate this limiting factor, it is necessary to shift to a fine process. This is premised on capital investment, and the number of manufacturing processes increases. Further, in a CCD or CMOS imaging device, the pixel portion often has a different structure from the circuit around the pixel portion, and there is a problem that the development cost increases.
制限要因を解消するための別の手段として、前に述べた構成要素を共有して画素数を増加させる手段がある。しかしながら、この手段では、前述のレイアウトの不均一性が増すのに加え、離れた画素同士を配線するため配線のレイアウトが混雑し、さらには増幅トランジスタ入力部の浮遊ノード容量が増大して変換効率低下に繋がる。 As another means for eliminating the limiting factor, there is a means for increasing the number of pixels by sharing the components described above. However, with this means, in addition to increasing the non-uniformity of the layout described above, the layout of the wiring is congested due to the wiring of the distant pixels, and the floating node capacitance of the input portion of the amplification transistor is increased, thereby increasing the conversion efficiency. It leads to decline.
したがって、構成要素の配置レイアウトを最適化することで、半導体基板上の面積利用率を上げ、可能な限りトランジスタ領域の占有寸法を大きくとる必要がある。 Therefore, by optimizing the arrangement layout of the components, it is necessary to increase the area utilization rate on the semiconductor substrate and to make the occupied area of the transistor region as large as possible.
本発明は、半導体基板上の面積利用効率を上げ、トランジスタ領域の占有寸法を大きくとることが可能な撮像装置およびカメラを提供することにある。 It is an object of the present invention to provide an imaging device and a camera that can increase the area utilization efficiency on a semiconductor substrate and increase the occupied size of a transistor region.
本発明の第1の観点の撮像装置は、入射光を信号電荷に変換する複数の光電変換部と、上記複数の光電変換部の各々で共有され、各光電変換部で得られた上記信号電荷を電圧に変換して出力するための複数のトランジスタと、を含む複数の共有ブロックを有し、上記複数のトランジスタは、上記光電変換部の上記電圧をリセットするリセットトランジスタと、上記光電変換部の上記電圧を増幅する増幅トランジスタと、を含み、各共有ブロック内におけるトランジスタ配置領域は、上記リセットトランジスタが配置された第1配置領域と、上記増幅トランジスタが配置された第2配置領域とに分割され、かつ、配線され、上記複数の共有ブロックは、第1共有ブロックと、上記第1共有ブロック内の配線方向に対して直交する方向に、上記第1共有ブロックに隣接して配置された第2共有ブロックと、を含み、上記第1共有ブロックおよび上記第2共有ブロックは、上記第1共有ブロック内の上記第1配置領域と上記第2共有ブロック内の上記第2配置領域とが隣接し、互いに隣接した上記第1配置領域のゲート長方向の幅と上記第2配置領域のゲート長方向の幅との和が各配線方向の列間で合致するように、配線方向にずらして配列されている。 The first aspect imaging apparatus of the present invention includes: a plurality of photoelectric conversion portions for converting incident light into signal charges, is shared by each of the plurality of photoelectric conversion unit, the signal charges obtained by the photoelectric conversion portion A plurality of shared blocks including a plurality of shared blocks including a reset transistor that resets the voltage of the photoelectric conversion unit, and a plurality of transistors that convert the voltage of the photoelectric conversion unit. The transistor arrangement region in each shared block is divided into a first arrangement region in which the reset transistor is arranged and a second arrangement region in which the amplification transistor is arranged. and it is wired, the plurality of shared blocks has a first shared block, in a direction orthogonal to the wiring direction of said first shared block, the first A second shared block arranged adjacent to the shared block, wherein the first shared block and the second shared block are within the first shared area and the second shared block in the first shared block. The second arrangement region is adjacent to each other, and the sum of the widths of the first arrangement regions adjacent to each other in the gate length direction and the width of the second arrangement region in the gate length direction matches between the columns in each wiring direction. As shown in FIG.
好適には、対角方向に隣接するように配置された上記複数の光電変換部は、上記複数のトランジスタを共有する。 Preferably, the plurality of photoelectric conversion units arranged so as to be adjacent to each other in the diagonal direction share the plurality of transistors.
好適には、配線方向に隣接するように配置された上記複数の光電変換部は、上記複数のトランジスタを共有する。 Preferably, the plurality of photoelectric conversion units arranged so as to be adjacent to each other in the wiring direction share the plurality of transistors.
本発明の第2の観点のカメラは、請求項1から3のいずれか一に記載の撮像装置と、上記撮像装置の撮像エリアに対して入射光を導く光学系と、を有する。
The camera of the 2nd viewpoint of this invention has an imaging device as described in any one of
本発明によれば、複数の光電変換部と複数のトランジスタで構成された共有ブロックにおいて、光電変換部を複数のトランジスタで共有し、複数のトランジスタにける占有寸法の大小が相違う位置に配置された複数の共有ブロックが交互に配列されている。 According to the present invention, in a shared block composed of a plurality of photoelectric conversion units and a plurality of transistors, the photoelectric conversion unit is shared by the plurality of transistors, and the occupied dimensions of the plurality of transistors are arranged at different positions. A plurality of shared blocks are alternately arranged.
本発明によれば、半導体基板上の面積利用効率を上げ、トランジスタ領域の占有寸法を大きくとることができる。 According to the present invention, the area utilization efficiency on the semiconductor substrate can be increased, and the occupied size of the transistor region can be increased.
以下、本発明の実施形態を図面に関連づけて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図2は、本発明の実施形態に係る撮像装置の要部の一構成例を示すブロック図である。 FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration example of a main part of the imaging apparatus according to the embodiment of the present invention.
図2に示す撮像装置10は、画素回路(PIXEL)11、画素アレイ部(本発明の撮像エリアに対応)12、水平スキャン回路(HSCN)13、アナログデジタル変換器(AD)131、垂直スキャン回路(VSCN)14、アナログフロントエンド部15、出力バッファ16、およびタイミングジェネレータ(TG)17によって構成されている。
2 includes a pixel circuit (PIXEL) 11, a pixel array unit (corresponding to the imaging area of the present invention) 12, a horizontal scan circuit (HSCN) 13, an analog-digital converter (AD) 131, and a vertical scan circuit. (VSCN) 14, analog
画素アレイ部12は、たとえば光電変換部を含む画素回路11が所定の配列形態をもってマトリクス状に配列されており、垂直スキャン回路14と画素配列の各行(ロウ)にリセット線RSTL、転送選択線TRFL、およびセレクト線SELLがそれぞれ接続され、画素配列の各行(カラム)に垂直信号線VSGNLが配置されている。画素アレイ部12の各画素回路11は、垂直スキャン回路14によって制御される。また、画素回路11が有する光電変換部(図示していない)は、入射光をその光量に応じて電気信号に変換し、この電気信号を垂直信号線VSGNLを介して水平スキャン回路13に出力する。
In the
垂直スキャン回路14は、画素アレイ部12の各画素回路11とリセット線RSTL、転送選択線TRFL、およびセレクト線SELLで接続され、また、垂直スキャン回路14の外部に配置されているタイミングジェネレータ17と接続されている。垂直スキャン回路14は、タイミングジェネレータ17からの所定のクロックに同期して、リセット線RSTL、転送選択線TRFL、およびセレクト線SELLに、リセット信号、転送信号、およびセレクト信号をそれぞれ伝搬させ、画素回路11を制御する。
The
また、水平スキャン回路13は、その内部に各垂直信号線VSGNLに接続されたアナログデジタル変換器(単にAD変換器と記す)131を有し、アナログフロントエンド部15と水平信号線HSCNLで接続され、また、タイミングジェネレータ17と接続されている。水平スキャン回路13は、タイミングジェネレータ17からの所定のクロックに同期して、入力された電気信号をAD変換器131にてデジタル信号に変換し、水平信号線HSCNLを介してアナログフロントエンド部15に出力する。なお、撮像装置の構成によっては、AD変換器131の代わりに増幅器を用いることができる。
The
アナログフロントエンド部15は、入力側が水平スキャン回路13と水平信号線HSCNLで接続され、出力側が出力バッファ16と接続されている。また、アナログフロントエンド部15は、タイミングジェネレータ17と接続されている。このアナログフロントエンド部15は、タイミングジェネレータ17からの所定のクロックに同期して、水平スキャン回路13から入力されたデジタル信号の信号レベル等を調整して出力バッファ16に出力する。なお、撮像装置の構成により、アナログフロントエンド部15の代わりに、増幅器もしくはアナログデジタル変換器等が用いることができる。
The analog
出力バッファ16は、入力側がアナログフロントエンド部15に、出力側がたとえば、信号処理回路にそれぞれ接続されている。この出力バッファ16は、入力されたデジタル信号を信号処理回路に出力する。
The
なお、タイミングジェネレータ17は、所定のクロックを生成し、水平スキャン回路13、垂直スキャン回路14、およびアナログフロントエンド部15を制御する。
The
次に、本実施形態に係る撮像装置の一構成例について回路図を用いて説明する。なお、以降の説明において、CMOS撮像装置を一例として示す。 Next, a configuration example of the imaging apparatus according to the present embodiment will be described using a circuit diagram. In the following description, a CMOS imaging device is shown as an example.
図3は、本実施形態に係る撮像装置の一構成例を示す等価回路図である。 FIG. 3 is an equivalent circuit diagram illustrating a configuration example of the imaging apparatus according to the present embodiment.
本実施形態に係る撮像装置10の画素アレイ部12は、図3に示すように共有ブロックBLK10を有し、共有ブロックBLK10は、光電変換部(PD)111と、転送トランジスタ(TTR)112から構成される4つの画素回路11と、リセットトランジスタ(RTR)121、増幅トランジスタ(ATR)122、セレクトトランジスタ(STR)123、およびノードND121で構成されている。以後、このような構成を共有ブロックと呼ぶ。なお、光電変換部111には、たとえばフォトダイオードが用いられる(図3では光電変換部111にフォトダイオードの記号を用いており、以後フォトダイオードとして説明を行う)。
The
図3に示すように、画素回路11の光電変換部(フォトダイオード)111は、アノードが接地され、カソードが転送トランジスタ112のソースに接続されている。そして、転送トランジスタ112は、ソースが光電変換部111のカソードに、ドレインが共通にノードND121に、ゲートが転送選択線TRFLにそれぞれ接続されている。
As shown in FIG. 3, the photoelectric conversion unit (photodiode) 111 of the
そして、リセットトランジスタ121は、ソースがノードND121に、ドレインが電源電位VDDに、ゲートがリセット線RSTLにそれぞれ接続されている。また、増幅トランジスタ122とセレクトトランジスタ123は、ソース・ドレイン間で直列に接続されている。増幅トランジスタ122はドレインが電源電位VDDに、ゲートがノードND121にそれぞれ接続されている。また、セレクトトランジスタ123は、ソースが垂直信号線VSGNLに、ゲートがセレクト線SELLにそれぞれ接続されている。
The
上記に述べた構成例において、光電変換部111は、入射光の光量に応じた信号電荷を光電変換により発生させ蓄積する。
また、リセット線RSTLの状態が、たとえばローレベルからハイレベルに切り替わると、リセットトランジスタ121はオン(導通状態)に切り替わり、ノードND121の電位は電源電位VDDにリセットされる。
また、転送選択線TRFLの状態がハイレベルに切り替わると、転送トランジスタ112はオンに切り替わり、光電変換部111に蓄積された信号電荷はノードND121に転送される。
増幅トランジスタ122は、転送トランジスタ112がオンに切り替わっている期間、ノードND121の電位を増幅する。
また、セレクト線SELLの状態がハイレベルに切り替わると、セレクトトランジスタ123はオンに切り替わり、信号電荷は垂直信号線VSGNLに出力される。
In the configuration example described above, the
When the state of the reset line RSTL is switched from, for example, a low level to a high level, the
Further, when the state of the transfer selection line TRFL is switched to a high level, the
The
Further, when the state of the select line SELL is switched to a high level, the
以上説明したように、各画素回路11における転送トランジスタ112のドレインが共通にノードND121に接続され、4組の画素回路11がリセットトランジスタ121、増幅トランジスタ122、およびセレクトトランジスタ123を共有している。
As described above, the drains of the
このような構成の撮像装置を採用することで、本実施形態は画素回路中の素子数や配線数を低減させ、画素の微細化や撮像装置の高速化を行っている。 By adopting the imaging apparatus having such a configuration, the present embodiment reduces the number of elements and the number of wirings in the pixel circuit, miniaturizes the pixels, and speeds up the imaging apparatus.
(第1の配置レイアウト例)
次に、図3で説明した等価回路の各構成要素が半導体基板上にレイアウトされた第1の配置レイアウト例について説明する。
(First arrangement layout example)
Next, a first arrangement layout example in which each component of the equivalent circuit described in FIG. 3 is laid out on a semiconductor substrate will be described.
図4は、本実施形態に係る第1の配置レイアウト例を示す図である。 FIG. 4 is a diagram illustrating a first arrangement layout example according to the present embodiment.
本実施形態に係る撮像装置は、図3で説明した構成の等価回路が半導体基板上にレイアウトされている。
具体的には、共有ブロックBLK10は、光電変換部111、転送トランジスタ112、電荷電圧変換部FD121、配線SGNL、トランジスタ領域TRGN1、およびTRGN2で構成されている。また、転送トランジスタ112は転送ゲート1121を有する。このトランジスタ領域TRGN1は、リセットトランジスタ121で形成され、そのゲート長方向の幅はL1である。なお、リセットトランジスタ121は、そのソース1212とリセットゲート1211を有する。さらに、トランジスタ領域TRGN2は、増幅トランジスタ122およびセレクトトランジスタ123で形成され、そのゲート長方向の幅はL2である。なお、増幅トランジスタ122は増幅ゲート1221を、セレクトトランジスタ123はセレクトゲート1231を有する。
In the imaging apparatus according to the present embodiment, the equivalent circuit having the configuration described in FIG. 3 is laid out on a semiconductor substrate.
Specifically, the shared block BLK10 includes a
本実施形態に係る第1の配置レイアウトでは、光電変換部111と転送トランジスタ112から構成される2つの画素回路11が電荷電圧変換部FD121を共有し、2つの光電変換部111が電荷電圧変換部FD121を挟んで対角方向に配置されている。さらに、単一の共有ブロックBLK10内において、2つの電荷電圧変換部FD121は、その電極FD121Eと増幅ゲート1221のゲート電極1221Eおよびリセットトランジスタ121のソース電極1212Eが、分散配置されているトランジスタ領域TRGN1およびTRGN2を共有するように配線SGNLでそれぞれ接続されている。したがって、単一の共有ブロックBLK10は、4つの光電変換部111を有する。
In the first arrangement layout according to this embodiment, the two
また、図4に示すように、本第1の配置レイアウトでは、複数の共有ブロックBLK10が交互に配列され、ゲート長方向の幅が異なるトランジスタ領域TRGN1およびTRGN2が相違うように配置されている。このとき、トランジスタ領域TRGN1およびTRGN2のゲート長方向の占有寸法の合計(L1+L2)は一定である。 Further, as shown in FIG. 4, in the first arrangement layout, a plurality of shared blocks BLK10 are alternately arranged, and transistor regions TRGN1 and TRGN2 having different widths in the gate length direction are arranged differently. At this time, the total occupied size (L1 + L2) of the transistor regions TRGN1 and TRGN2 in the gate length direction is constant.
次に、本実施形態に採用した撮像装置10の動作について、タイミングチャートを用いて説明する。なお、説明を簡単にするために、図3に示す画素回路の内、単一の画素回路11について説明する。
Next, the operation of the
図5は、本実施形態に係る等価回路の動作を説明するためのタイミングチャートである。 FIG. 5 is a timing chart for explaining the operation of the equivalent circuit according to the present embodiment.
図5(a)は、セレクト線SELLに伝搬されるセレクト信号SELのタイミングチャートで、図5(b)は、リセット線RSTLに伝搬されるリセット信号RSTのタイミングチャートで、図5(c)は、転送選択線TRFLに伝搬される転送選択信号TRFのタイミングチャートである。 FIG. 5A is a timing chart of the select signal SEL propagated to the select line SELL, FIG. 5B is a timing chart of the reset signal RST propagated to the reset line RSTL, and FIG. 4 is a timing chart of a transfer selection signal TRF propagated to a transfer selection line TRFL.
時刻t1において、入射光が光電変換部111に入射される。この時、転送トランジスタ112、リセットトランジスタ121およびセレクトトランジスタ123は、オフ(非導通状態)である。
At time t1, incident light enters the
時刻t1から時刻t2において、光電変換部111は、入射光を光電効果によって信号電荷に変換する。そして、リセットトランジスタ121がオンに切り替わる時刻t2まで、光電変換部111は、信号電荷を蓄積する。この時刻t1から時刻t2までの期間が信号電荷の蓄積時間である。
From time t1 to time t2, the
時刻t2において、垂直スキャン回路14からハイレベルのセレクト信号SELがセレクト線SELLに伝搬され、セレクトトランジスタ123はオンに切り替わる。時刻t2から時刻t10まで、セレクトトランジスタ123はオンの状態が保持される。
At time t2, the high level select signal SEL is transmitted from the
また、時刻t2において、ノードND121の電圧リセットが行われる。リセットトランジスタ121は、垂直スキャン回路14からハイレベルのリセット信号RSTがリセット線RSTLに伝搬され、オンに切り替わり、ノードND121の電位を電源電位VDDにリセットする。
At time t2, the voltage of the node ND121 is reset. In the
時刻t3において、垂直スキャン回路14からローレベルのリセット信号RSTがリセット線RSTLに伝搬され、リセットトランジスタ121がオフに切り替わり、ノードND121の電圧リセットが完了する。
At time t3, the low level reset signal RST is propagated from the
時刻t4から時刻t5において、ノードND121の電位は基準信号として読み出しされる。この基準信号の読み出し期間をRead1とする。 From time t4 to time t5, the potential of the node ND121 is read as a reference signal. The reading period of this reference signal is Read1.
時刻t6において、垂直スキャン回路14からハイレベルの転送選択信号TRFが転送選択線TRFLに伝搬され、転送トランジスタ112は、オンに切り替わり、光電変換部111に蓄積された信号電荷をノードND121に転送する。
また、転送トランジスタ112は、時刻t6から時刻t7まで、オンの状態が保持される。
At time t6, the high-level transfer selection signal TRF is propagated from the
Further, the
時刻t7において、垂直スキャン回路14からローレベルの転送選択信号TRFが転送選択線TRFLに伝搬され、転送トランジスタ112はオフに切り替わる。
At time t7, the low-level transfer selection signal TRF is propagated from the
時刻t8から時刻t9において、ノードND121の電圧と読み出し期間Read1で読み出しされた基準信号の電圧との差分は、ノードND121から転送された信号電荷による信号として読み出しされる。この信号読み出し期間をRead2とする。また、この信号読み出し時において、増幅トランジスタ122は、オンに切り替わり、ノードND121の電位を増幅し、増幅された電圧信号を信号出力端子211bを介して垂直信号線VSGNLに出力する。
From time t8 to time t9, the difference between the voltage of the node ND121 and the voltage of the reference signal read in the reading period Read1 is read as a signal based on the signal charge transferred from the node ND121. This signal readout period is referred to as Read2. At the time of this signal reading, the
時刻t10において、垂直スキャン回路14からローレベルのセレクト信号SELがセレクト線SELLに伝搬され、セレクトトランジスタ123がオフに切り替わり、水平スキャン回路13への電圧信号の出力が終了する。
At time t10, the low level select signal SEL is propagated from the
本実施形態では、このようなレイアウトを採用することにより、光電変換部111等周辺の空き領域が低減し、半導体基板表面を効率よく使用できる。そのため、本実施形態では、トランジスタ領域等の構成要素の使用領域を縮小させる必要がない。また、本実施形態では、トランジスタのゲート長を大きくとることができるため、同一プロセス世代での最小画素寸法が小さくできる。さらに、本実施形態では、増幅トランジスタのゲート長を大きくとることができるためゲート面積を大きくでき、ランダムな雑音を低減できる。
In this embodiment, by adopting such a layout, the empty area around the
(第2の配置レイアウト例)
次に、図3で説明した等価回路の各構成要素が半導体基板上にレイアウトされた第2の配置レイアウト例について説明する。
(Second arrangement layout example)
Next, a second layout example in which each component of the equivalent circuit described in FIG. 3 is laid out on a semiconductor substrate will be described.
図6は、本実施形態に係る第2の配置レイアウト例を示す図である。 FIG. 6 is a diagram illustrating a second arrangement layout example according to the present embodiment.
本配置レイアウト例は、図6に示すように、第1の配置レイアウト例と同様の構成の共有ブロックBLK10を有している。さらに、複数の共有ブロックBLK10が交互に配列され、ゲート長方向の幅が異なるトランジスタ領域TRGN1およびTRGN2が相違うように配置されているが、光電変換部111の配置形態が異なる。
As shown in FIG. 6, the present arrangement layout example includes a shared block BLK10 having the same configuration as that of the first arrangement layout example. Furthermore, although the plurality of shared blocks BLK10 are alternately arranged and the transistor regions TRGN1 and TRGN2 having different widths in the gate length direction are arranged differently, the arrangement form of the
具体的には、図6に示すように、2つの光電変換部111が電荷電圧変換部FD121を挟んで配線SGNL方向に対して垂直に配置されている。
図6に示すように、本第2の配置レイアウトは、共有ブロックBLK10がゲート長方向の幅が異なるトランジスタ領域TRGN1およびTRGN2が隣あうように組合わさるようにレイアウトされている。このとき、トランジスタ領域TRGN1およびTRGN2のゲート長方向の占有寸法の合計(L1+L2)は一定である。
Specifically, as illustrated in FIG. 6, the two
As shown in FIG. 6, the second layout layout is such that the shared block BLK10 is combined so that the transistor regions TRGN1 and TRGN2 having different widths in the gate length direction are adjacent to each other. At this time, the total occupied size (L1 + L2) of the transistor regions TRGN1 and TRGN2 in the gate length direction is constant.
本配置レイアウト例においても、半導体基板表面を効率よく使用でき、トランジスタのゲート長を大きくとることができるため、本実施形態に係る第1の配置レイアウト例と同様の効果を得ることができる。 Also in this arrangement layout example, since the surface of the semiconductor substrate can be used efficiently and the gate length of the transistor can be increased, the same effect as in the first arrangement layout example according to the present embodiment can be obtained.
(第3の配置レイアウト例)
次に、図3で説明した等価回路の各構成要素が半導体基板上にレイアウトされた第3の配置レイアウト例について説明する。
(Third arrangement layout example)
Next, a third arrangement layout example in which each component of the equivalent circuit described in FIG. 3 is laid out on a semiconductor substrate will be described.
図7は、本実施形態に係る第3の配置レイアウト例を示す図である。 FIG. 7 is a diagram showing a third arrangement layout example according to the present embodiment.
本配置レイアウト例は、図7に示すように、光電変換部111の配置形態が第1の配置レイアウト例と同様の共有ブロックBLK10を有するが、複数の共有ブロックBLK10による配置形態が異なる。
In this arrangement layout example, as shown in FIG. 7, the arrangement form of the
具体的には、図7に示すように、共有ブロックBLK10が列毎にずれて配置されている。本配置レイアウト例では、共有ブロックBLK10を列毎にずらし、同一列のトランジスタ領域TRGN1およびTRGN2のゲート長方向の幅の合計(L1+L2+…)が一定となるように配置されている。 Specifically, as shown in FIG. 7, the shared blocks BLK10 are arranged so as to be shifted for each column. In this arrangement layout example, the shared block BLK10 is shifted for each column, and the total (L1 + L2 +...) Width in the gate length direction of the transistor regions TRGN1 and TRGN2 of the same column is arranged to be constant.
ところが、図7のように共有ブロックBLK10が列毎にずれてレイアウトされるため、隣接する列間では共有ブロックBLK10の属する行が異なる。 However, since the shared block BLK10 is laid out by shifting for each column as shown in FIG. 7, the row to which the shared block BLK10 belongs is different between adjacent columns.
次に、共有ブロックBLK10の属する行のずれについて、図8を参照しながら説明する。 Next, the shift of the row to which the shared block BLK10 belongs will be described with reference to FIG.
図8は、共有ブロックBLK10の属する行のずれを説明するための図である。 FIG. 8 is a diagram for explaining a shift of a row to which the shared block BLK10 belongs.
図8において、共有ブロックBLK10のVSLは光電変換部111を、TRF1〜TRF4はそれぞれ第1〜第4の転送ゲート1121を、RSTはリセットゲート1211を、SELはセレクトゲート1231をそれぞれ示している。
図8に示す単一の共有ブロックBLK10において、電荷電圧変換部FD121を共有する2つの光電変換部111が配線SGNLで接続されている。したがって、単一の共有ブロックBLK10は、4つの光電変換部111を有する。
このような構成の共有ブロックBLK10が、列毎にずれて、同一列のトランジスタ領域TRGN1およびTRGN2のゲート長方向の幅の合計が一定となるようにレイアウトされている。
In FIG. 8, VSL of the shared block BLK10 indicates the
In the single shared block BLK10 shown in FIG. 8, two
The shared block BLK10 having such a configuration is laid out such that the sum of the widths in the gate length direction of the transistor regions TRGN1 and TRGN2 in the same column is constant for each column.
具体的には、同一行にあるリセットゲート1211がリセット線RSTLで共通に接続され、同一行にあるセレクトゲート1231がセレクト線SELLで共通に接続されている。ただし、リセットゲート1211およびセレクトゲート1231は、列によって異なるリセット線RSTLおよびセレクト線SELLにそれぞれ接続されている。たとえば、図7のように、リセット線RSTLあるいはセレクト線SELLの配置を行とすると、i行j列とi行(j+2)列のリセットゲート1211およびセレクトゲート1231が共通に接続され、(i+1)行(j+1)列と(i+1)行(j+3)列のリセットゲート1211およびセレクトゲート1231が共通に接続されている。
また、同一行にある第1の転送ゲート1121(TRF1)と第3の転送ゲート1121(TRF3)が転送選択線TRFLで共通に接続され、同一行にある第2の転送ゲート1121(TRF2)と第4の転送ゲート1121(TRF4)が転送選択線TRFLで共通に接続されている。
Specifically, reset
Further, the first transfer gate 1121 (TRF1) and the third transfer gate 1121 (TRF3) in the same row are commonly connected by the transfer selection line TRFL, and the second transfer gate 1121 (TRF2) in the same row is connected. The fourth transfer gate 1121 (TRF4) is commonly connected by the transfer selection line TRFL.
図8に示すように、同一行方向の第1〜第4の転送ゲート1121は、共通に転送選択線TRFLで接続されているため、行毎に第1〜第4の転送トランジスタ112を制御可能である。しかし、各列のリセットゲート1211およびセレクトゲート1231は、1行分ずれて異なるリセット線RSTLおよびセレクト線SELLにそれぞれ接続されている。したがって、垂直スキャン回路14(図2を参照)は、リセットトランジスタ121およびセレクトトランジスタ123をそれぞれ制御するリセット信号およびセレクト信号を、列に応じて行を一行分ずらしてリセット線RSTLおよびセレクト線SELLに伝搬させる。
As shown in FIG. 8, since the first to
本配置レイアウト例においても、半導体基板表面を効率よく使用でき、トランジスタのゲート長を大きくとることができるため、本実施形態に係る第1、第2の配置レイアウト例と同様の効果を得ることができる。 Also in this arrangement layout example, since the surface of the semiconductor substrate can be used efficiently and the gate length of the transistor can be increased, the same effects as those in the first and second arrangement layout examples according to this embodiment can be obtained. it can.
なお、本配置レイアウト例で採用した光電変換部111の配置形態は、第1の配置レイアウトと同様であるが、第2の配置レイアウトと同様の配置形態を採用してもよい。
この場合においても、本実施形態に係る第1、第2あるいは第3の配置レイアウト例と同様の効果を得ることができる。
The arrangement form of the
Even in this case, the same effects as those of the first, second, or third arrangement layout examples according to the present embodiment can be obtained.
次に、本発明の実施形態に係るカメラについて説明する。図9は、本発明の実施形態に係るカメラの構成の概略を示すブロック図である。 Next, a camera according to an embodiment of the present invention will be described. FIG. 9 is a block diagram showing an outline of the configuration of the camera according to the embodiment of the present invention.
本カメラ20は、撮像装置10と、この撮像装置10の画素アレイ部12に入射光を導く光学系、たとえば入射光(像光)を撮像面上に結像させるレンズ21と、撮像装置10の出力信号を処理する信号処理回路22などを有する構成となっている。
The
このカメラ20において、撮像装置10は、上記実施形態に係る撮像装置が用いられている。信号処理回路22は、撮像装置10の出力バッファ16からの出力信号Voutに対して種々の信号処理を施して映像信号を出力する。
In the
本カメラ20によれば、先述した実施形態に係る撮像装置10を採用することで、多画素化に対応した高品質の撮像画像を得ることができる。
According to the
なお、本発明の撮像装置10は、1チップとして形成された撮像装置であっても、複数のチップの集合体として形成されたモジュールタイプの撮像装置であってもよい。複数のチップの集合体として形成された撮像装置である場合には、撮像を行うセンサチップ、デジタル信号処理を行う信号処理チップなどに分かれて形成され、さらに光学系を含むことがある。
The
以上説明したように、本実施形態は、リセットトランジスタで形成されるトランジスタ領域と、セレクトトランジスタおよび増幅トランジスタで形成されるトランジスタ領域を有し、さらに複数の光電変換部でこれらのトランジスタ領域を共有する共有ブロックを形成する。この共有ブロックは、トランジスタ領域におけるゲート長方向の占有寸法の合計が一定となるように、各トランジスタ領域が隣あって組合わさるようにレイアウトされている。 As described above, this embodiment has a transistor region formed of a reset transistor, a transistor region formed of a select transistor and an amplification transistor, and a plurality of photoelectric conversion units share these transistor regions. Form a shared block. The shared block is laid out so that the transistor regions are adjacent to each other so that the total occupied dimension in the gate length direction in the transistor region is constant.
そのため、光電変換部等周辺の空き領域が低減し、半導体基板表面を効率よく使用できる。さらには、増幅トランジスタのゲート長を大きくとることができるため、ゲート面積が大きくなり、増幅トランジスタが雑音の影響を受けにくくなる利点がある。 For this reason, the empty area around the photoelectric conversion portion or the like is reduced, and the semiconductor substrate surface can be used efficiently. Furthermore, since the gate length of the amplification transistor can be increased, there is an advantage that the gate area is increased and the amplification transistor is less susceptible to noise.
なお、本実施形態では、リセットトランジスタで形成されるトランジスタ領域と、セレクトトランジスタおよび増幅トランジスタで形成されるトランジスタ領域を有する。共有要素が複数の箇所に配置されるレイアウトであれば、トランジスタ領域を形成する構成要素の組み合わせは限定されない。また、本実施形態で採用した構成要素のトランジスタはnチャネル型、pチャネル型のいずれでもよい。 In the present embodiment, a transistor region formed by a reset transistor and a transistor region formed by a select transistor and an amplification transistor are provided. A combination of components forming the transistor region is not limited as long as the shared elements are arranged in a plurality of locations. In addition, the transistors of the constituent elements employed in this embodiment may be either n-channel type or p-channel type.
11…画素回路(PIXEL)、12…画素アレイ部、13…水平スキャン回路(HSCN)、131…AD変換器、14…垂直スキャン回路(VSCN)、15…アナログフロントエンド部、16…出力バッファ、17…タイミングジェネレータ(TG)、BLK10…共有ブロック、111…光電変換部(PD)、112…転送トランジスタ(TTR)、121…リセットトランジスタ(RTR)、122…増幅トランジスタ(ATR)、123…セレクトトランジスタ(STR)、FD121…電荷電圧変換部、TRGN1、TRGN2…トランジスタ領域、1121…転送ゲート、1212…リセットトランジスタのソース、1211…リセットゲート、1221…増幅ゲート、1231…セレクトゲート、L1、L2…ゲート長方向の幅、SGNL…配線、RSTL…リセット線、RSTL…転送選択線、SELL…セレクト線、VSGNL…垂直信号線、HSCNL…水平信号線。
DESCRIPTION OF
Claims (4)
上記複数の光電変換部の各々で共有され、各光電変換部で得られた上記信号電荷を電圧に変換して出力するための複数のトランジスタと、
を含む複数の共有ブロックを有し、
上記複数のトランジスタは、
上記光電変換部の上記電圧をリセットするリセットトランジスタと、
上記光電変換部の上記電圧を増幅する増幅トランジスタと、
を含み、
各共有ブロック内におけるトランジスタ配置領域は、
上記リセットトランジスタが配置された第1配置領域と、上記増幅トランジスタが配置された第2配置領域とに分割され、かつ、配線され、
上記複数の共有ブロックは、
第1共有ブロックと、
上記第1共有ブロック内の配線方向に対して直交する方向に、上記第1共有ブロックに隣接して配置された第2共有ブロックと、
を含み、
上記第1共有ブロックおよび上記第2共有ブロックは、
上記第1共有ブロック内の上記第1配置領域と上記第2共有ブロック内の上記第2配置領域とが隣接し、互いに隣接した上記第1配置領域のゲート長方向の幅と上記第2配置領域のゲート長方向の幅との和が各配線方向の列間で合致するように、配線方向にずらして配列されている
撮像装置。 A plurality of photoelectric conversion units for converting incident light into signal charges;
Is shared by each of the plurality of photoelectric conversion portions, a plurality of transistors for outputting by converting the signal charges obtained by the photoelectric conversion units into a voltage,
A plurality of shared blocks including
The plurality of transistors include:
A reset transistor for resetting the voltage of the photoelectric conversion unit;
An amplification transistor for amplifying the voltage of the photoelectric conversion unit;
Including
The transistor placement area in each shared block is
A first placement region where the reset transistor is arranged is divided into a second arrangement area in which the amplifying transistor is placed, and is wired,
The multiple shared blocks are
A first shared block;
A second shared block disposed adjacent to the first shared block in a direction orthogonal to the wiring direction in the first shared block;
Including
The first shared block and the second shared block are
The first arrangement area in the first shared block and the second arrangement area in the second shared block are adjacent to each other, and the width of the first arrangement area in the gate length direction and the second arrangement area are adjacent to each other. Imaging devices arranged in the wiring direction so that the sum of the width in the gate length direction matches between the columns in each wiring direction .
上記複数のトランジスタを共有する
請求項1記載の撮像装置。 The plurality of photoelectric conversion units arranged so as to be diagonally adjacent to each other,
Imaging device according to claim 1, wherein sharing the plurality of transistors.
上記複数のトランジスタを共有する
請求項1記載の撮像装置。 The plurality of photoelectric conversion units arranged so as to be adjacent in the wiring direction,
Imaging device according to claim 1, wherein sharing the plurality of transistors.
上記撮像装置の撮像エリアに対して入射光を導く光学系と、
を有するカメラ。 The imaging device according to any one of claims 1 to 3,
An optical system for guiding incident light to the imaging area of the imaging device;
Having a camera .
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007052935A JP4479736B2 (en) | 2007-03-02 | 2007-03-02 | Imaging device and camera |
US11/860,192 US7916195B2 (en) | 2006-10-13 | 2007-09-24 | Solid-state imaging device, imaging apparatus and camera |
TW096136479A TWI362107B (en) | 2006-10-13 | 2007-09-28 | Solid-state imaging device, imaging apparatus and camera |
KR1020070103002A KR101398289B1 (en) | 2006-10-13 | 2007-10-12 | Solid-state imaging device, imaging apparatus and camera |
CN201010118373A CN101777567A (en) | 2006-10-13 | 2007-10-15 | Imaging apparatus and camera |
CN2007103061312A CN101188245B (en) | 2006-10-13 | 2007-10-15 | Solid-state imaging device, imaging apparatus |
CN2010101183321A CN101777566B (en) | 2006-10-13 | 2007-10-15 | Imaging apparatus and camera |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007052935A JP4479736B2 (en) | 2007-03-02 | 2007-03-02 | Imaging device and camera |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008218648A JP2008218648A (en) | 2008-09-18 |
JP4479736B2 true JP4479736B2 (en) | 2010-06-09 |
Family
ID=39838347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007052935A Active JP4479736B2 (en) | 2006-10-13 | 2007-03-02 | Imaging device and camera |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4479736B2 (en) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5241454B2 (en) * | 2008-12-01 | 2013-07-17 | キヤノン株式会社 | Solid-state imaging device and imaging system using the same |
JP5511203B2 (en) * | 2009-03-16 | 2014-06-04 | キヤノン株式会社 | Imaging device and imaging apparatus |
EP3051588A1 (en) | 2009-11-06 | 2016-08-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
WO2011055625A1 (en) | 2009-11-06 | 2011-05-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and operating method thereof |
JP5537172B2 (en) | 2010-01-28 | 2014-07-02 | ソニー株式会社 | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
CN102158663B (en) * | 2011-04-15 | 2013-09-11 | 北京思比科微电子技术股份有限公司 | CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor pixel and control time sequence thereof |
JP6355401B2 (en) * | 2014-04-14 | 2018-07-11 | キヤノン株式会社 | Solid-state imaging device and camera |
JP6355402B2 (en) * | 2014-04-14 | 2018-07-11 | キヤノン株式会社 | Solid-state imaging device and camera |
JP5874777B2 (en) * | 2014-04-25 | 2016-03-02 | ソニー株式会社 | Solid-state imaging device and electronic device |
JP6276297B2 (en) * | 2016-01-08 | 2018-02-07 | ソニー株式会社 | Solid-state imaging device and electronic device |
JP2017175164A (en) * | 2017-06-12 | 2017-09-28 | ソニー株式会社 | Solid-state imaging device and electronic equipment |
-
2007
- 2007-03-02 JP JP2007052935A patent/JP4479736B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008218648A (en) | 2008-09-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4479736B2 (en) | Imaging device and camera | |
US7916195B2 (en) | Solid-state imaging device, imaging apparatus and camera | |
JP4818018B2 (en) | Photoelectric conversion device and imaging system using the same | |
JP4971586B2 (en) | Solid-state imaging device | |
JP4337779B2 (en) | Physical information acquisition method, physical information acquisition device, and semiconductor device for physical quantity distribution detection | |
US20170287957A1 (en) | Solid state imaging device and electronic apparatus | |
JP4553612B2 (en) | Image pickup device and image pickup apparatus including the same | |
TWI412271B (en) | Solid-state imaging device, camera, and electronic device | |
WO2015194390A1 (en) | Solid-state image pickup apparatus and electronic device | |
JP6045156B2 (en) | Solid-state imaging device | |
JP5895525B2 (en) | Image sensor | |
KR20160137953A (en) | Solid-state imaging element and imaging device | |
JP5434485B2 (en) | Solid-state image sensor, solid-state image sensor driving method, and camera system | |
US7432964B2 (en) | Solid-state imaging device with plural CDS circuits per column sharing a capacitor and/or clamping transistor | |
KR102709670B1 (en) | Image Sensor | |
JP4483422B2 (en) | Pixel array device and driving method of pixel array device | |
JP5672363B2 (en) | Solid-state imaging device and camera system | |
JP4553969B2 (en) | Imaging device | |
JP2008206003A (en) | Solid-state imaging device | |
JP5429345B2 (en) | Solid-state imaging device, driving method of solid-state imaging device, and electronic apparatus | |
JP2020005131A (en) | Solid state image pickup device and imaging system | |
JP6053321B2 (en) | Solid-state imaging device | |
JP4883192B2 (en) | Pixel array device and driving method of pixel array device | |
JP2006210468A (en) | Solid state imaging device | |
JP5945463B2 (en) | Solid-state imaging device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090313 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090331 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090601 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100223 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100308 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130326 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4479736 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140326 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |