JP3357130B2 - Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation - Google Patents
Epoxy resin composition for semiconductor encapsulationInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、流動性、低吸湿性に優
れ、かつ、はんだ耐熱性に優れた硬化物を与える半導体
素子等の封止に好適に用いられるエポキシ樹脂組成物に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an epoxy resin composition which is preferably used for encapsulating a semiconductor device or the like which gives a cured product having excellent fluidity, low moisture absorption and excellent solder heat resistance. is there.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、半導体封止材料にはエポキシ
樹脂を主剤とする樹脂組成物が広く用いられているが、
近年、プリント基板への部品の実装の方法として従来の
挿入方式から表面実装方式への移行が進展している。表
面実装方式においては、パッケージ全体がはんだ温度ま
で加熱され、吸湿した水分の急激な体積膨張により引き
起こされるパッケージクラックが大きな問題点となって
きている。さらに、近年半導体素子の高集積化、素子サ
イズの大型化、配線幅の微細化が急速に進展しており、
パッケージクラックの問題が一層深刻化してきている。
パッケージクラックを防止する方法として樹脂構造の強
靱化、シリカの高充填化による高強度化、低吸水率化等
の方法があるが、未だ十分ではない。2. Description of the Related Art Conventionally, a resin composition containing an epoxy resin as a main component has been widely used as a semiconductor encapsulating material.
In recent years, as a method of mounting components on a printed circuit board, a shift from a conventional insertion method to a surface mounting method has been advanced. In the surface mounting method, the entire package is heated to the solder temperature, and a package crack caused by rapid volume expansion of the absorbed moisture has become a serious problem. Furthermore, in recent years, the high integration of semiconductor devices, the enlargement of device size, and the miniaturization of wiring width are rapidly progressing.
The problem of package cracks is becoming more serious.
Methods for preventing package cracks include toughening the resin structure, increasing the strength by increasing the filling of silica, and reducing the water absorption, but these methods are still insufficient.
【0003】また、上記問題点を克服するため、低吸湿
性であり、かつ、低粘度であるエポキシ樹脂の使用が提
案されている。低粘度エポキシ樹脂としては、ビスフェ
ノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ
樹脂等が一般に広く用いられているが、これらのエポキ
シ樹脂において低粘度のものは常温で液状であり、トラ
ンスファー成形用の樹脂組成物とすることは困難であ
る。さらに、これらのエポキシ樹脂は、耐熱性、機械的
強度、耐湿性の点で十分ではない。In order to overcome the above-mentioned problems, use of an epoxy resin having low hygroscopicity and low viscosity has been proposed. As the low-viscosity epoxy resin, bisphenol A-type epoxy resin, bisphenol F-type epoxy resin and the like are generally widely used. Among these epoxy resins, those having a low viscosity are liquid at ordinary temperature, and the resin composition for transfer molding is used. It is difficult to make things. Furthermore, these epoxy resins are not sufficient in heat resistance, mechanical strength, and moisture resistance.
【0004】また、特公平4−7365号公報には、取
り扱い作業性、耐熱性、靱性等を改良したものとしてビ
フェニル系エポキシ樹脂を主剤とした半導体封止用エポ
キシ樹脂組成物が開示されているが、低吸湿性の点で問
題がある。Further, Japanese Patent Publication No. 4-7365 discloses an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation using a biphenyl-based epoxy resin as a main component as an improvement in handling workability, heat resistance, toughness and the like. However, there is a problem in terms of low hygroscopicity.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は流動性、低吸湿性に優れ、かつ、はんだ耐熱性に優れ
た硬化物を与える半導体素子の封止用エポキシ樹脂組成
物を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an epoxy resin composition for encapsulating a semiconductor device which provides a cured product having excellent fluidity, low moisture absorption and excellent solder heat resistance. It is in.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、
(a)エポキシ樹脂、(b)多価フェノール性化合物、
(c)無機充填剤よりなるエポキシ樹脂組成物であっ
て、エポキシ樹脂成分として、一旦結晶化して固体とし
た融点が50〜120℃の範囲にある結晶状の下記一般
式(1)That is, the present invention provides:
(A) an epoxy resin , (b) a polyhydric phenolic compound ,
(C) an epoxy resin composition comprising an inorganic filler, which is once crystallized into a solid as an epoxy resin component;
Melting points 50 to 120 the following general formula ranges near Ru crystalline in ° C. (1)
【化2】 (但し、Rは水素原子を示し、R1〜R4は水素原子又は
メチル基を示し、R5〜R8はメチル基を示す)で表され
るエポキシ樹脂をエポキシ樹脂全体中の50〜100重
量%含有することを特徴とする半導体封止用エポキシ樹
脂組成物である。Embedded image (However, R represents a hydrogen atom, and R 1 to R 4 represent a hydrogen atom or
A methyl group, R 5 to R 8 is 50 to 100-fold in the total epoxy resin epoxy resin represented by a methyl group)
It is an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, characterized in that the epoxy resin composition contains an amount of 1% by weight .
【0007】上記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂
は、下記一般式(2)[0007] The epoxy resin represented by the above general formula (1) has the following general formula (2)
【化3】 (但し、R1〜R4は水素原子又はメチル基を示し、R5
〜R8はメチル基を示す) で表されるビスフェノール化合物とエピハロヒドリンと
を反応させることにより製造される。この反応は通常の
エポキシ化反応と同様に行うことができる。Embedded image (However, R 1 to R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 5
~ R 8 represents a methyl group ), and a bisphenol compound represented by the following formula: and epihalohydrin. This reaction can be performed in the same manner as a usual epoxidation reaction.
【0008】例えば、ビスフェノール化合物を過剰のエ
ピクロルヒドリン等に溶解した後、水酸化ナトリウム、
水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物の存在下に5
0〜150℃、好ましくは60〜120℃の範囲で1〜
10時間反応させる方法が挙げられる。この際のエピハ
ロヒドリンの使用量は、ビスフェノール化合物の水酸基
1モルに対して0.8〜2モル、好ましくは0.9〜
1.2モルの範囲である。反応終了後、過剰のエピはロ
ヒドリンを留去し、残留物をトルエン、メチルイソブチ
ルケトン等の溶剤に溶解し、濾過し、水洗して無機塩を
除去し、次いで溶剤を留去することによりエポキシ樹脂
とすることができる。For example, after dissolving a bisphenol compound in excess epichlorohydrin or the like, sodium hydroxide,
5 in the presence of an alkali metal hydroxide such as potassium hydroxide
0 to 150 ° C, preferably 1 to 60 ° C to 120 ° C.
A method of reacting for 10 hours is exemplified. The amount of epihalohydrin used at this time is 0.8 to 2 mol, preferably 0.9 to 2 mol per mol of hydroxyl group of the bisphenol compound.
It is in the range of 1.2 mol. After completion of the reaction, excess epi was removed by distilling off rohydrin, dissolving the residue in a solvent such as toluene or methyl isobutyl ketone, filtering, washing with water to remove inorganic salts, and then distilling off the solvent to remove epoxy. It can be a resin.
【0009】しかし、通常これらのエポキシ樹脂は常温
においても液状であるため、本発明に用いるためには結
晶化を行う必要がある。結晶化の方法としては、溶媒を
用いての結晶化、あるいは、あらかじめ調製した結晶種
を加えることによる結晶化等の方法がある。溶媒を用い
る方法において、溶媒種としては、メタノール、エタノ
ール、イソプロピルアルコール等のアルコール類、ペン
タン、ヘキサン、ヘプタン等の炭化水素溶媒が好適に用
いられる。However, since these epoxy resins are usually liquid even at room temperature, they need to be crystallized for use in the present invention. Examples of the crystallization method include crystallization using a solvent or crystallization by adding a crystal seed prepared in advance. In the method using a solvent, as the solvent species, alcohols such as methanol, ethanol and isopropyl alcohol, and hydrocarbon solvents such as pentane, hexane and heptane are preferably used.
【0010】前記一般式(1)において、置換基R1 〜
R4 は水素原子、ハロゲン原子又は炭素数1〜6の炭化
水素基を示す。炭化水素基としては、メチル基、エチル
基、イソプロピル基、tert−ブチル基、tert−
アミル基、フェニル基等が例示される。また、置換基R
5 〜R8 は水素原子又はメチル基である。用いる結晶性
エポキシ樹脂の好ましい融点の範囲としては40〜13
0℃であり、さらに好ましくは50〜120℃の範囲で
ある。これより低いと保存時にブロッキング等の問題が
あり、これより高いと溶解性に劣り、硬化剤との混合性
が低下する。In the above general formula (1), the substituents R 1 to
R 4 represents a hydrogen atom, a halogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms. Examples of the hydrocarbon group include a methyl group, an ethyl group, an isopropyl group, a tert-butyl group, and a tert-butyl group.
Examples thereof include an amyl group and a phenyl group. Further, the substituent R
5 to R 8 is a hydrogen atom or a methyl group. The preferred range of the melting point of the crystalline epoxy resin used is 40 to 13
0 ° C, more preferably in the range of 50 to 120 ° C. If it is lower than this, there is a problem such as blocking at the time of storage, and if it is higher than this, the solubility is poor and the mixing property with the curing agent is reduced.
【0011】融点、粘度、反応性及び硬化物の耐熱性、
耐湿性を考慮した場合、好ましい結晶性エポキシ樹脂の
例としては、融点が55〜75℃の結晶状の1,4−ビ
ス(4−ヒドロキシクミル)ベンゼンのジグリシジルエ
ーテル化合物、融点が75〜95℃である結晶状の1,
4−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシクミル)ベンゼ
ンのジグリシジルエーテル等が挙げられる。上記融点範
囲より低いものは、二量体以上のオリゴマー成分が多
く、粘度上昇及び耐熱性低下の問題があり好ましくな
い。Melting point, viscosity, reactivity and heat resistance of the cured product;
In consideration of moisture resistance, preferred examples of the crystalline epoxy resin include crystalline 1,4-bis (4-hydroxycumyl) benzene diglycidyl ether compound having a melting point of 55 to 75 ° C., and a melting point of 75 to 75 ° C. Crystalline 1, which is 95 ° C
And diglycidyl ether of 4-bis (3-methyl-4-hydroxycumyl) benzene. Those having a melting point lower than the above range are unfavorable because there are many oligomer components of dimers or more, and there are problems of an increase in viscosity and a decrease in heat resistance.
【0012】本発明の樹脂組成物に使用する硬化剤とし
ては、フェノール性水酸基を有するものが使用される。
例えば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフ
ェノールS、フルオレンビスフェノール、4,4’−ビ
フェノール、2,2’−ビフェノール、ハイドロキノ
ン、レゾルシン、ナフタレンジオール等の2価のフェノ
ール類、トリス−(4−ヒドロキシフェニル)メタン、
1,1,2,2−テトラキス(4−ヒドロキシフェニ
ル)エタン、フェノールノボラック、o−クレゾールノ
ボラック、ナフトールノボラック、ポリビニルフェノー
ル等に代表される3価以上のフェノール類、さらにはフ
ェノール類、ナフトール類、ビスフェノールA、ビスフ
ェノールF、ビスフェノールS、フルオレンビスフェノ
ール、4,4’−ビフェノール、2,2’−ビフェノー
ル、ハイドロキノン、レゾルシン、ナフタレンジオール
等の2価のフェノール類をホルムアルデヒド、アセトア
ルデヒド、ベンズアルデヒド、p−ヒドロキシベンズア
ルデヒド、p−キシリレングリコール等の縮合剤で縮合
して合成される多価フェノール性化合物である。これら
硬化剤は1種又は2種以上を混合して用いることができ
る。As the curing agent used in the resin composition of the present invention, a curing agent having a phenolic hydroxyl group is used.
For example, divalent phenols such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, fluorene bisphenol, 4,4′-biphenol, 2,2′-biphenol, hydroquinone, resorcinol, and naphthalene diol, tris- (4-hydroxyphenyl) methane,
Trivalent or higher phenols represented by 1,1,2,2-tetrakis (4-hydroxyphenyl) ethane, phenol novolak, o-cresol novolak, naphthol novolak, polyvinyl phenol, etc., further, phenols, naphthols, Divalent phenols such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, fluorene bisphenol, 4,4'-biphenol, 2,2'-biphenol, hydroquinone, resorcinol, and naphthalene diol are converted to formaldehyde, acetaldehyde, benzaldehyde, and p-hydroxybenzaldehyde. And polyhydric phenolic compounds synthesized by condensation with a condensing agent such as p-xylylene glycol. These curing agents can be used alone or in combination of two or more.
【0013】また、本発明の樹脂組成物には、本発明の
必須成分として使用されるエポキシ樹脂以外に、分子中
にエポキシ基を2個以上有する通常のエポキシ樹脂を併
用してもよい。例を挙げれば、ビスフェノールA、ビス
フェノールF、ビスフェノールS、フルオレンビスフェ
ノール、4,4’−ビフェノール、2,2’−ビフェノ
ール、ハイドロキンノ、レゾルシン等の2価のフェノー
ル類、あるいは、トリス−(4−ヒドロキシフェニル)
メタン、1,1,2,2−テトラキス(4−ヒドロキシ
フェニル)エタン、フェノールノボラック、o−クレゾ
ールノボラック等の3価以上のフェノール類、あるい
は、テトラブロモビスフェノールA等のハロゲン価ビス
フェノール類から誘導されるグリシジルエーテル化合物
がある。これらのエポキシ樹脂は、1種又は2種以上を
混合して用いることができるが、本発明に関わるエポキ
シ樹脂の配合量はエポキシ樹脂全体中50〜100重量
%の範囲であることが好ましい。[0013] In addition to the epoxy resin used as an essential component of the present invention, a normal epoxy resin having two or more epoxy groups in a molecule may be used in the resin composition of the present invention. Examples include dihydric phenols such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, fluorene bisphenol, 4,4'-biphenol, 2,2'-biphenol, hydroquino, resorcin, and tris- (4 -Hydroxyphenyl)
It is derived from trivalent or higher phenols such as methane, 1,1,2,2-tetrakis (4-hydroxyphenyl) ethane, phenol novolak, o-cresol novolac, or halogenated bisphenols such as tetrabromobisphenol A. Glycidyl ether compounds. These epoxy resins can be used alone or as a mixture of two or more, but the amount of the epoxy resin according to the present invention is preferably in the range of 50 to 100% by weight based on the entire epoxy resin.
【0014】また、本発明の樹脂組成物には、無機充填
剤を配合する。無機充填剤としては、例えば、球状ある
いは破砕状の溶融シリカ、結晶シリカ等のシリカ粉末、
アルミナ粉末、ガラス粉末等が使用され、その使用量は
70重量%以上であることが好ましいが、低吸湿性、は
んだ耐熱性向上の点から75重量%以上であることがよ
り好ましい。Further, the resin composition of the present invention contains an inorganic filler. As the inorganic filler, for example, spherical or crushed fused silica, silica powder such as crystalline silica,
Alumina powder, glass powder and the like are used, and the amount used is preferably 70% by weight or more, but is more preferably 75% by weight or more from the viewpoint of low moisture absorption and improvement in solder heat resistance.
【0015】本発明の樹脂組成物には必要に応じて、従
来より公知の硬化促進剤を用いることができる。例を挙
げれば、アミン類、イミダゾール類、有機ホスフィン
類、ルイス酸類等がある。添加量としては、エポキシ樹
脂100重量部に対して0.2〜5重量部の範囲であ
る。If necessary, conventionally known curing accelerators can be used in the resin composition of the present invention. Examples include amines, imidazoles, organic phosphines, Lewis acids, and the like. The amount of addition is in the range of 0.2 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the epoxy resin.
【0016】さらに必要に応じて、本発明の樹脂組成物
には、カルナバワックス、OPワックス等の離型剤、γ
−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のカップ
リング剤、カーボンブラック等の着色剤、三酸化アンチ
モン等の難燃剤、シリコンオイル等の低応力化剤、ステ
アリン酸カルシウム等の潤滑剤を使用できる。If necessary, the resin composition of the present invention may further contain a release agent such as carnauba wax or OP wax, γ.
-Coupling agents such as glycidoxypropyltrimethoxysilane, coloring agents such as carbon black, flame retardants such as antimony trioxide, low stress agents such as silicone oil, and lubricants such as calcium stearate can be used.
【0017】[0017]
【実施例】以下、実施例により本発明をさらに具体的に
説明する。 参考例1 1,4−ビス(4−ヒドロキシクミル)ベンゼン120
gをエピクロルヒドリン720gに溶解し、さらにベン
ジルトリエチルアンモニウムクロライド0.3gを加
え、減圧下(約150mmHg)、70℃にて48%水
酸化ナトリウム水溶液56.6gを4時間かけて滴下し
た。この間生成する水はエピクロルヒドリンとの共沸に
より系外に除き、留出したエピクロルヒドリンは系内に
戻した。滴下終了後、さらに1時間反応を継続した。そ
の後、濾過により生成した塩を除き、さらに水洗したの
ちエピクロルヒドリンを留去し、無色透明の液状樹脂1
51gを得た。得られた樹脂にあらかじめ調製した1,
4−ビス(4−ヒドロキシクミル)ベンゼンのジクリシ
ジルエーテル化合物の微粉末結晶を加え、30℃に放置
することにより白色結晶状エポキシ樹脂とした。エポキ
シ当量は243であり、融点は64.5℃であった。2
5℃におけるm−クレゾール中(30重量%)での粘度
は28cPであった。The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. Reference Example 1 1,4-bis (4-hydroxycumyl) benzene 120
g was dissolved in 720 g of epichlorohydrin, 0.3 g of benzyltriethylammonium chloride was further added, and 56.6 g of a 48% aqueous sodium hydroxide solution was added dropwise at 70 ° C. under reduced pressure (about 150 mmHg) over 4 hours. Water generated during this time was removed from the system by azeotropic distillation with epichlorohydrin, and the distilled epichlorohydrin was returned to the system. After the completion of the dropwise addition, the reaction was further continued for one hour. Thereafter, salts produced by filtration were removed, and after washing with water, epichlorohydrin was distilled off.
51 g were obtained. 1, prepared in advance on the obtained resin
Fine powder crystals of a dicrisidyl ether compound of 4-bis (4-hydroxycumyl) benzene were added, and the mixture was allowed to stand at 30 ° C. to obtain a white crystalline epoxy resin. Epoxy equivalent was 243 and melting point was 64.5 ° C. 2
The viscosity in m-cresol (30% by weight) at 5 ° C. was 28 cP.
【0018】参考例2 1,4−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシクミル)ベ
ンゼン120g、48%水酸化ナトリウム水溶液53.
4gを用いて参考例1と同様に反応を行い、白色結晶状
エポキシ樹脂150gを得た。エポキシ当量は245で
あり、融点は88.5℃であった。また、25℃におけ
るm−クレゾール中(30重量%)での粘度は64.5
cPであった。Reference Example 2 120 g of 1,4-bis (3-methyl-4-hydroxycumyl) benzene, 48% aqueous sodium hydroxide solution
The reaction was carried out in the same manner as in Reference Example 1 using 4 g to obtain 150 g of a white crystalline epoxy resin. The epoxy equivalent was 245 and the melting point was 88.5 ° C. The viscosity in m-cresol (30% by weight) at 25 ° C. is 64.5.
cP.
【0019】実施例1、2 エポキシ樹脂成分として参考例1で得られたエポキシ樹
脂を用い、硬化剤としてフェノールノボラック樹脂(群
栄化学(株)製、PSF−4300)、充填剤として破
砕シリカ(平均粒径16μm)又は球状シリカ(平均粒
径22μm)、硬化促進剤としてトリフェニルホスフィ
ン、シランカップリング剤としてγ−グリシドキシプロ
ピルトリメトキシシラン及びその他の添加剤を表1に示
す配合で混練しエポキシ樹脂組成物を得た。このエポキ
シ樹脂組成物を用いて175℃にて成形し、175℃に
て12時間ポストキュアを行い、硬化物試験片を得た
後、各種物性測定に供した。また、本エポキシ樹脂組成
物を用いて84ピンICを成形し、ポストキュア後85
℃、85%RHの条件で24時間、48時間及び72時
間吸湿させ、260℃のはんだ浴に10秒間浸漬させパ
ッケージのクラックを観察した。結果を表1に示す。Examples 1 and 2 The epoxy resin obtained in Reference Example 1 was used as an epoxy resin component, a phenol novolak resin (PSF-4300, manufactured by Gun Ei Chemical Co., Ltd.) as a curing agent, and crushed silica (PS) as a filler. Kneading with an average particle size of 16 μm) or spherical silica (average particle size of 22 μm), triphenylphosphine as a curing accelerator, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane as a silane coupling agent and other additives as shown in Table 1. Thus, an epoxy resin composition was obtained. The epoxy resin composition was molded at 175 ° C., post-cured at 175 ° C. for 12 hours to obtain a cured product test piece, which was then subjected to various physical property measurements. Also, an 84-pin IC was molded using the epoxy resin composition, and after post-curing, an 85-pin IC was formed.
C. and 85% RH for 24 hours, 48 hours and 72 hours, immersed in a 260 ° C. solder bath for 10 seconds, and observed cracks in the package. Table 1 shows the results.
【0020】実施例3 エポキシ樹脂成分として参考例2で得られたエポキシ樹
脂を用い、実施例1と同様に配合、混練、成形し評価し
た。結果を表1に示す。Example 3 Using the epoxy resin obtained in Reference Example 2 as an epoxy resin component, compounding, kneading, molding and evaluation were performed in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.
【0021】比較例1 エポキシ樹脂成分としてo−クレゾールノボラック型エ
ポキシ樹脂(軟化点71℃)を用い、実施例1と同様に
エポキシ樹脂組成物を得た後、成形を行い評価した。結
果を表1に示す。Comparative Example 1 Using an o-cresol novolak type epoxy resin (softening point: 71 ° C.) as an epoxy resin component, an epoxy resin composition was obtained in the same manner as in Example 1, and then molded and evaluated. Table 1 shows the results.
【0022】[0022]
【表1】 [Table 1]
【0023】[0023]
【発明の効果】本発明に使用するエポキシ樹脂は溶融状
態において極めて低粘度であるため、優れた成形流動性
を保持し、かつ、シリカの高充填化が可能であるため、
本組成物により半導体素子を封止して得られたパッケー
ジの耐クラック性は大幅に向上する。Since the epoxy resin used in the present invention has an extremely low viscosity in a molten state, it maintains excellent molding fluidity and can be filled with silica at a high level.
The crack resistance of a package obtained by sealing a semiconductor element with the present composition is significantly improved.
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−222443(JP,A) 特開 平6−56964(JP,A) 特開 平6−157710(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08G 59/24 C08G 59/62 H01L 23/29 Continuation of front page (56) References JP-A-2-222443 (JP, A) JP-A-6-56964 (JP, A) JP-A-6-157710 (JP, A) (58) Fields studied (Int .Cl. 7 , DB name) C08G 59/24 C08G 59/62 H01L 23/29
Claims (2)
て、エポキシ樹脂成分として、一旦結晶化して固体とし
た融点が50〜120℃の範囲にある結晶状の下記一般
式(1) 【化1】 (但し、Rは水素原子を示し、R1〜R4は水素原子又は
メチル基を示し、R5〜R8はメチル基を示す)で表され
るエポキシ樹脂をエポキシ樹脂全体中の50〜100重
量%含有することを特徴とする半導体封止用エポキシ樹
脂組成物。A method according to claim 1] (a) an epoxy resin (b) a polyhydric phenol compound (c) an epoxy resin composition comprising an inorganic filler, as the epoxy resin component, once crystallized to a solid
And the following general formula crystalline range near Ru having a melting point of 50 to 120 ° C. (1) ## STR1 ## (However, R represents a hydrogen atom, and R 1 to R 4 represent a hydrogen atom or
A methyl group, R 5 to R 8 is 50 to 100-fold in the total epoxy resin epoxy resin represented by a methyl group)
An epoxy resin composition for encapsulating a semiconductor, characterized in that the epoxy resin composition contains an amount of 1% by weight .
とを特徴とする請求項1記載の半導体封止用エポキシ樹
脂組成物。Wherein the inorganic filler according to claim 1 epoxy resin composition for semiconductor encapsulation of wherein and this <br/> blending 75% by weight or more.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP18668493A JP3357130B2 (en) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation |
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ID=16192835
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