JP3157664B2 - ペリクル収納容器 - Google Patents
ペリクル収納容器Info
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はペリクル収納容器、特に
は半導体製造におけるフォトリソグラフィー工程で使用
するレチクルまたはフォトマスク防塵用のペリクル収納
容器に関するものである。
は半導体製造におけるフォトリソグラフィー工程で使用
するレチクルまたはフォトマスク防塵用のペリクル収納
容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体装置は高密度化、高集積化
に伴なってパターンの微細化が進行しており、フォトマ
スク上に付着した微細な異物でも転写パターンの欠陥に
なるようになってきたことから、このフォトマスクヘの
異物の付着を防止するためにフォトマスクにペリクルを
装着することが広く行なわれるようになってきている。
に伴なってパターンの微細化が進行しており、フォトマ
スク上に付着した微細な異物でも転写パターンの欠陥に
なるようになってきたことから、このフォトマスクヘの
異物の付着を防止するためにフォトマスクにペリクルを
装着することが広く行なわれるようになってきている。
【０００３】このペリクルは、ペリクル膜となる透明薄
物を金属枠（ペリクル枠）の片面に張設したものである
が、これをフォトマスクに装着すると透明薄膜とフォト
マスク面の距離だけ露光時の焦点がずれることになるの
で、透明薄膜上には比較的大きな異物の付着が許容され
る。しかし、このペリクルについてはペリクルの製造時
および搬送時に、ペリクル膜および金属枠（ペリクル
枠）内部に異物が付着していると、使用中に異物がフォ
トマスク上に落下する可能性があり、これは許されない
ので、このペリクルの搬送は一般にプラスチック製の容
器にペリクルを収納して行なわれるが、これは一般に1
つの収納容器に1つのペリクルが収納される。
物を金属枠（ペリクル枠）の片面に張設したものである
が、これをフォトマスクに装着すると透明薄膜とフォト
マスク面の距離だけ露光時の焦点がずれることになるの
で、透明薄膜上には比較的大きな異物の付着が許容され
る。しかし、このペリクルについてはペリクルの製造時
および搬送時に、ペリクル膜および金属枠（ペリクル
枠）内部に異物が付着していると、使用中に異物がフォ
トマスク上に落下する可能性があり、これは許されない
ので、このペリクルの搬送は一般にプラスチック製の容
器にペリクルを収納して行なわれるが、これは一般に1
つの収納容器に1つのペリクルが収納される。
【０００４】図２は従来公知のペリクル収納容器の縦断
面図を示したものであるが、図示されているようにペリ
クルを載置台１４にペリクル膜１１が上になるように置
き、その上からペリクル枠１２にかぶせるように上ぶた
１３を置いて、上ぶた１３でペリクル枠１２の上部を固
定する(実開平１-１２０１４８号公報参照)のである
が、このままでは載置台１４と上ぶた１３が固定できな
いので、固定部品１６を用いてこれらを固定する。例え
ばステッパ用のペリクルの場合にはペリクルの形状が四
角形であるので、ペリクル収納容器も四角形とされ、固
定部品はペリクル収納容器のコーナー部の四ヶ所に用い
ればよいが、これらの収納容器の材質は一般にポリエチ
レン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ＡＢＳ樹脂など
のプラスチックス類とされる。
面図を示したものであるが、図示されているようにペリ
クルを載置台１４にペリクル膜１１が上になるように置
き、その上からペリクル枠１２にかぶせるように上ぶた
１３を置いて、上ぶた１３でペリクル枠１２の上部を固
定する(実開平１-１２０１４８号公報参照)のである
が、このままでは載置台１４と上ぶた１３が固定できな
いので、固定部品１６を用いてこれらを固定する。例え
ばステッパ用のペリクルの場合にはペリクルの形状が四
角形であるので、ペリクル収納容器も四角形とされ、固
定部品はペリクル収納容器のコーナー部の四ヶ所に用い
ればよいが、これらの収納容器の材質は一般にポリエチ
レン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ＡＢＳ樹脂など
のプラスチックス類とされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように従来のペリ
クル収納容器では、上ぶたが直接ペリクル枠の上部に接
触してこれを押さえることによってペリクルを動かない
ように固定するのであるが、この場合には上ぶたとペリ
クル枠が直接機械的に接触するために、その界面から異
物が発生して、これがペリクル膜に付着するという問題
があり、この界面から発生する異物は上ぶたの接触面か
ら発生するだけでなく、ペリクル枠の接触面からも発生
するという不利がある。
クル収納容器では、上ぶたが直接ペリクル枠の上部に接
触してこれを押さえることによってペリクルを動かない
ように固定するのであるが、この場合には上ぶたとペリ
クル枠が直接機械的に接触するために、その界面から異
物が発生して、これがペリクル膜に付着するという問題
があり、この界面から発生する異物は上ぶたの接触面か
ら発生するだけでなく、ペリクル枠の接触面からも発生
するという不利がある。
【０００６】また、この種のペリクル収納容器では載置
台と上ぶたも固定部品で固定されるが、載置台と上ぶた
とは気密性が充分でないために、ペリクルを収納した収
納容器をトラックや航空機で輸送すると外部からの微粒
子がこの載置台と上ぶたとの結合部から侵入し、ペリク
ル膜やペリクル枠に異物が付着するという不利がある。
そのため、この載置台と上ぶたとの気密性を保つため
に、例えばこれを粘着テープなどでシールすることも行
なわれているが、これには使用時にこれを剥離するとい
う煩雑さがあり、また粘着テープの使用によってこれが
汚染されるという危険があるため、これは好ましいもの
ではない。
台と上ぶたも固定部品で固定されるが、載置台と上ぶた
とは気密性が充分でないために、ペリクルを収納した収
納容器をトラックや航空機で輸送すると外部からの微粒
子がこの載置台と上ぶたとの結合部から侵入し、ペリク
ル膜やペリクル枠に異物が付着するという不利がある。
そのため、この載置台と上ぶたとの気密性を保つため
に、例えばこれを粘着テープなどでシールすることも行
なわれているが、これには使用時にこれを剥離するとい
う煩雑さがあり、また粘着テープの使用によってこれが
汚染されるという危険があるため、これは好ましいもの
ではない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、問題点を解決したペリクル収納容器に関するもので
あり、これは載置台にペリクル膜を上にしてペリクルを
置き、上ぶたのペリクル枠と対向する部位にパッキンを
設け、該パッキンの弾性でペリクルを固定するように設
けてなることを特徴とするものである。
利、問題点を解決したペリクル収納容器に関するもので
あり、これは載置台にペリクル膜を上にしてペリクルを
置き、上ぶたのペリクル枠と対向する部位にパッキンを
設け、該パッキンの弾性でペリクルを固定するように設
けてなることを特徴とするものである。
【０００８】すなわち、本発明者らはペリクル収納容器
における上記した不利を解決する方法について種々検討
した結果、載置台にペリクル膜を上にしてペリクルを置
き、上ぶたでペリクルを固定するようにしたペリクル収
納容器において、この上ぶたにパッキンを設けたとこ
ろ、上ぶたとペリクル枠が直接機械的に接触することが
なくなり、これらの接触はすべてパッキンを介して行な
われるので、これらの接触界面から異物の発生すること
がなくなるということを見出し、したがってこれによれ
ばペリクル膜に異物の付着することが防止されるという
ことを確認して本発明を完成させた。以下にこれをさら
に詳述する。
における上記した不利を解決する方法について種々検討
した結果、載置台にペリクル膜を上にしてペリクルを置
き、上ぶたでペリクルを固定するようにしたペリクル収
納容器において、この上ぶたにパッキンを設けたとこ
ろ、上ぶたとペリクル枠が直接機械的に接触することが
なくなり、これらの接触はすべてパッキンを介して行な
われるので、これらの接触界面から異物の発生すること
がなくなるということを見出し、したがってこれによれ
ばペリクル膜に異物の付着することが防止されるという
ことを確認して本発明を完成させた。以下にこれをさら
に詳述する。
【０００９】
【作用】本発明のペリクル収納容器は、載置台、上ぶ
た、固定部品からなるペリクル収納容器の上ぶたにパッ
キンを設けたものであり、これによれば上ぶたとペリク
ル枠が直接接触せず、これらがパッキンを介して接触す
るので、これらの機械的接触界面からの異物の発生がな
くなるという有利性が与えられる。
た、固定部品からなるペリクル収納容器の上ぶたにパッ
キンを設けたものであり、これによれば上ぶたとペリク
ル枠が直接接触せず、これらがパッキンを介して接触す
るので、これらの機械的接触界面からの異物の発生がな
くなるという有利性が与えられる。
【００１０】ここに使用するパッキンはこれが上ぶたと
ペリクル枠との機械的な直接接触を防止し、かつクッシ
ョン材となるものであるということから適度に弾性を持
ち、変形時にも発塵が少ないものとすることが好ましい
ということから、例えばポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ＡＢＳ樹脂、ポリ塩化ビニルなどのプラスチック
材、またはシリコーン系ゴム、フッ素系ゴム、ウレタン
系ゴムなどの合成ゴムなどで作られたものとすることが
よい。
ペリクル枠との機械的な直接接触を防止し、かつクッシ
ョン材となるものであるということから適度に弾性を持
ち、変形時にも発塵が少ないものとすることが好ましい
ということから、例えばポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ＡＢＳ樹脂、ポリ塩化ビニルなどのプラスチック
材、またはシリコーン系ゴム、フッ素系ゴム、ウレタン
系ゴムなどの合成ゴムなどで作られたものとすることが
よい。
【００１１】このパッキンの形状は丸棒状でも、ペリク
ル枠側にとがったくさび状のものであってもよいが、丸
棒状のものはサイズが直径１〜１０ｍｍのものとするこ
とがよく、くさび状のものは巾が１〜１０ｍｍで高さが
１〜１０ｍｍ程度のものとすればよい。なお、このパッ
キンはペリクル枠上部の全体に接触してもよいが、これ
は四角形のコーナー部のみ、またはこれらの中間の形と
してペリクル枠上部に接触するようにしてもよい。
ル枠側にとがったくさび状のものであってもよいが、丸
棒状のものはサイズが直径１〜１０ｍｍのものとするこ
とがよく、くさび状のものは巾が１〜１０ｍｍで高さが
１〜１０ｍｍ程度のものとすればよい。なお、このパッ
キンはペリクル枠上部の全体に接触してもよいが、これ
は四角形のコーナー部のみ、またはこれらの中間の形と
してペリクル枠上部に接触するようにしてもよい。
【００１２】本発明のペリクル収納容器は、載置台、上
ぶたおよび固定部品から構成される収納容器の上ぶたに
パッキンを設けたものであるが、これは例えば図１に示
したものとされる。図１は、本願発明のペリクル収納容
器の縦断面図を示したものであるが、この図１のものは
ペリクル膜１がペリクル枠２に張設されており、このペ
リクル枠２は載置台４の上に載せられており、この載置
台４にはペリクル枠支持体５が設けられていて、このペ
リクル枠２はパッキン７を介して上ぶた３によって固定
され、さらに、上ぶた３と載置台４は固定部品６によっ
て固定されている。
ぶたおよび固定部品から構成される収納容器の上ぶたに
パッキンを設けたものであるが、これは例えば図１に示
したものとされる。図１は、本願発明のペリクル収納容
器の縦断面図を示したものであるが、この図１のものは
ペリクル膜１がペリクル枠２に張設されており、このペ
リクル枠２は載置台４の上に載せられており、この載置
台４にはペリクル枠支持体５が設けられていて、このペ
リクル枠２はパッキン７を介して上ぶた３によって固定
され、さらに、上ぶた３と載置台４は固定部品６によっ
て固定されている。
【００１３】しかし、この図１のものには図示されてい
るように、この上ぶた３に本発明によるパッキン７が設
けられているので、これによってペリクル枠２と上ぶた
３とが直接接触することはなくなり、これらはパッキン
７を介して接触するが、このパッキンが弾性を有する変
形できるものであることから、このペリクル容器からペ
リクルを取り出すために上ぶた３を取り外しても、ペリ
クル枠２と上ぶた３の直接接触で異物が発生するという
事故が防止される。なお、このパッキンは図では丸棒状
のものが図示されているが、これは下のとがったくさび
状のものとしてもよい。
るように、この上ぶた３に本発明によるパッキン７が設
けられているので、これによってペリクル枠２と上ぶた
３とが直接接触することはなくなり、これらはパッキン
７を介して接触するが、このパッキンが弾性を有する変
形できるものであることから、このペリクル容器からペ
リクルを取り出すために上ぶた３を取り外しても、ペリ
クル枠２と上ぶた３の直接接触で異物が発生するという
事故が防止される。なお、このパッキンは図では丸棒状
のものが図示されているが、これは下のとがったくさび
状のものとしてもよい。
【００１４】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例１、比較例１上ぶた３ 、載置台４、ペリクル枠支持体５、固定部品６
をポリプロピレンで製作した図１に示したペリクル収納
容器の上ぶた３に直径３ｍｍのシリコーンゴム製の丸棒
から作ったパッキン７を設け、このペリクル収納容器に
信越化学工業(株)製のペリクルを収納し、これからペリ
クルを取り出す操作を１０回くり返して行なったが、こ
れには新たにこのペリクル膜に異物の付着することがな
かった。しかし、比較のために図２に示した従来公知の
ペリクル収納容器について同じ操作を行なったところ、
このペリクル膜には新たに１３個の異物が付着してい
た。
をポリプロピレンで製作した図１に示したペリクル収納
容器の上ぶた３に直径３ｍｍのシリコーンゴム製の丸棒
から作ったパッキン７を設け、このペリクル収納容器に
信越化学工業(株)製のペリクルを収納し、これからペリ
クルを取り出す操作を１０回くり返して行なったが、こ
れには新たにこのペリクル膜に異物の付着することがな
かった。しかし、比較のために図２に示した従来公知の
ペリクル収納容器について同じ操作を行なったところ、
このペリクル膜には新たに１３個の異物が付着してい
た。
【００１５】
【発明の効果】本発明はペリクル収納容器に関するもの
であり、これは前記したように載置台にペリクル膜を上
にしてペリクルを置き、上ぶたでペリクルを固定するペ
リクル収納容器において、上ぶたにパッキンを設けてな
ることを特徴とするものであるが、これによれば上ぶた
とペリクル枠とがこのパッキンを介して接触するので、
従来発生していたペリクル取り出し時における上ぶたと
ペリクル枠との直接接触による異物の発生、この異物の
ペリクル膜ヘの付着が防止される。
であり、これは前記したように載置台にペリクル膜を上
にしてペリクルを置き、上ぶたでペリクルを固定するペ
リクル収納容器において、上ぶたにパッキンを設けてな
ることを特徴とするものであるが、これによれば上ぶた
とペリクル枠とがこのパッキンを介して接触するので、
従来発生していたペリクル取り出し時における上ぶたと
ペリクル枠との直接接触による異物の発生、この異物の
ペリクル膜ヘの付着が防止される。
【図１】 本発明のペリクル収納容器の縦断面図の一例
を示したものである。
を示したものである。
【図２】 従来公知のペリクル収納容器の縦断面図の一
例を示したものである。
例を示したものである。
１,１１…ペリクル膜、 ２,１２…ペリクル枠、 ３,１３…上ぶた、 ４,１４…載置台、 ５,１５…ペリクル枠支持体、 ６,１６…固定部品、 ７…パッキン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白崎 享 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 浜田 裕一 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 永田 愛彦 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 久保田 芳宏 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 昭63−305359（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−240254（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−87442（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−120148（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68
Claims (1)
- 【請求項１】載置台にペリクル膜を上にしてペリクルを
置き、上ぶたのペリクル枠と対向する部位にパッキンを
設け、該パッキンの弾性でペリクルを固定するように設
けてなることを特徴とするペリクル収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29166893A JP3157664B2 (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | ペリクル収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29166893A JP3157664B2 (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | ペリクル収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07142562A JPH07142562A (ja) | 1995-06-02 |
| JP3157664B2 true JP3157664B2 (ja) | 2001-04-16 |
Family
ID=17771896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29166893A Expired - Fee Related JP3157664B2 (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | ペリクル収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3157664B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4675601B2 (ja) * | 2003-11-18 | 2011-04-27 | 株式会社 ネットプラスチック | 大型精密シート状製品および半製品用密封容器 |
| TWI334399B (en) * | 2003-11-18 | 2010-12-11 | Net Plastic Inc | Hermetically sealed container for large-sized precision sheet (semi-)product |
| JP4694299B2 (ja) * | 2005-08-05 | 2011-06-08 | 信越ポリマー株式会社 | ペリクル用収納容器 |
| JP5528190B2 (ja) * | 2010-04-23 | 2014-06-25 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
| CN112088334B (zh) * | 2018-03-05 | 2024-08-27 | 三井化学株式会社 | 防护膜组件、曝光原版、曝光装置及半导体装置的制造方法 |
-
1993
- 1993-11-22 JP JP29166893A patent/JP3157664B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07142562A (ja) | 1995-06-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110209 Year of fee payment: 10 |
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