JP3157664B2 - Pellicle storage container - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はペリクル収納容器、特に
は半導体製造におけるフォトリソグラフィー工程で使用
するレチクルまたはフォトマスク防塵用のペリクル収納
容器に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pellicle container, and more particularly to a pellicle container for dust-proofing a reticle or a photomask used in a photolithography process in semiconductor manufacturing.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、半導体装置は高密度化、高集積化
に伴なってパターンの微細化が進行しており、フォトマ
スク上に付着した微細な異物でも転写パターンの欠陥に
なるようになってきたことから、このフォトマスクヘの
異物の付着を防止するためにフォトマスクにペリクルを
装着することが広く行なわれるようになってきている。2. Description of the Related Art In recent years, as semiconductor devices have become denser and more highly integrated, their patterns have been miniaturized. Even fine foreign substances adhering to a photomask have become defects in a transfer pattern. Therefore, pellicles have been widely mounted on photomasks in order to prevent foreign substances from adhering to the photomasks.
【０００３】このペリクルは、ペリクル膜となる透明薄
物を金属枠（ペリクル枠）の片面に張設したものである
が、これをフォトマスクに装着すると透明薄膜とフォト
マスク面の距離だけ露光時の焦点がずれることになるの
で、透明薄膜上には比較的大きな異物の付着が許容され
る。しかし、このペリクルについてはペリクルの製造時
および搬送時に、ペリクル膜および金属枠（ペリクル
枠）内部に異物が付着していると、使用中に異物がフォ
トマスク上に落下する可能性があり、これは許されない
ので、このペリクルの搬送は一般にプラスチック製の容
器にペリクルを収納して行なわれるが、これは一般に1
つの収納容器に1つのペリクルが収納される。In this pellicle, a transparent thin material serving as a pellicle film is stretched on one side of a metal frame (pellicle frame). When the pellicle is mounted on a photomask, the distance between the transparent thin film and the photomask surface during exposure is reduced. Since the focus is shifted, relatively large foreign matter is allowed to adhere to the transparent thin film. However, when manufacturing and transporting the pellicle, the pellicle film and the metal frame (pellicle) are used.
If foreign matter adheres to the inside of the frame , the foreign matter may fall on the photomask during use, and this is not allowed. Therefore, this pellicle is generally transported by storing the pellicle in a plastic container. But this is generally one
One pellicle is stored in one storage container.
【０００４】図２は従来公知のペリクル収納容器の縦断
面図を示したものであるが、図示されているようにペリ
クルを載置台１４にペリクル膜１１が上になるように置
き、その上からペリクル枠１２にかぶせるように上ぶた
１３を置いて、上ぶた１３でペリクル枠１２の上部を固
定する(実開平１-１２０１４８号公報参照)のである
が、このままでは載置台１４と上ぶた１３が固定できな
いので、固定部品１６を用いてこれらを固定する。例え
ばステッパ用のペリクルの場合にはペリクルの形状が四
角形であるので、ペリクル収納容器も四角形とされ、固
定部品はペリクル収納容器のコーナー部の四ヶ所に用い
ればよいが、これらの収納容器の材質は一般にポリエチ
レン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ＡＢＳ樹脂など
のプラスチックス類とされる。[0004] FIG. 2 shows a longitudinal sectional view of a conventional pellicle container, peri as illustrated
The pellicle is placed on the mounting table 14 with the pellicle film 11 facing upward, and the upper lid 13 is placed thereon so as to cover the pellicle frame 12, and the upper lid 13 is used to fix the upper part of the pellicle frame 12 (actual open flat 1). However, since the mounting table 14 and the upper lid 13 cannot be fixed as they are, the fixing table 16 is used to fix them. For example, in the case of a pellicle for a stepper, since the shape of the pellicle is rectangular, the pellicle storage container is also rectangular, and the fixed parts may be used at four corners of the pellicle storage container. Are generally plastics such as polyethylene, polystyrene, polypropylene and ABS resin.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このように従来のペリ
クル収納容器では、上ぶたが直接ペリクル枠の上部に接
触してこれを押さえることによってペリクルを動かない
ように固定するのであるが、この場合には上ぶたとペリ
クル枠が直接機械的に接触するために、その界面から異
物が発生して、これがペリクル膜に付着するという問題
があり、この界面から発生する異物は上ぶたの接触面か
ら発生するだけでなく、ペリクル枠の接触面からも発生
するという不利がある。As described above, in the conventional pellicle storage container, the upper lid directly contacts the upper portion of the pellicle frame and presses it to fix the pellicle so as not to move. Has a problem that foreign matter is generated from the interface due to direct mechanical contact between the upper lid and the pellicle frame, and this adheres to the pellicle film. There is a disadvantage that it occurs not only from the contact surface of the pellicle frame but also from the pellicle frame.
【０００６】また、この種のペリクル収納容器では載置
台と上ぶたも固定部品で固定されるが、載置台と上ぶた
とは気密性が充分でないために、ペリクルを収納した収
納容器をトラックや航空機で輸送すると外部からの微粒
子がこの載置台と上ぶたとの結合部から侵入し、ペリク
ル膜やペリクル枠に異物が付着するという不利がある。
そのため、この載置台と上ぶたとの気密性を保つため
に、例えばこれを粘着テープなどでシールすることも行
なわれているが、これには使用時にこれを剥離するとい
う煩雑さがあり、また粘着テープの使用によってこれが
汚染されるという危険があるため、これは好ましいもの
ではない。In this type of pellicle storage container, the mounting table and the upper lid are also fixed by fixed parts. However, since the mounting table and the upper lid are not sufficiently airtight, the storage container storing the pellicle can be replaced by a truck or the like. When transported by aircraft, there is a disadvantage in that fine particles from the outside enter from the joint between the mounting table and the upper lid, and foreign matter adheres to the pellicle film or pellicle frame.
For this reason, in order to maintain the airtightness between the mounting table and the upper lid, for example, it is also sealed with an adhesive tape or the like.However, this involves the trouble of peeling it off during use, and This is not preferred because there is a risk that it will be contaminated by the use of the adhesive tape.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、問題点を解決したペリクル収納容器に関するもので
あり、これは載置台にペリクル膜を上にしてペリクルを
置き、上ぶたのペリクル枠と対向する部位にパッキンを
設け、該パッキンの弾性でペリクルを固定するように設
けてなることを特徴とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a pellicle storage container which solves such disadvantages and problems. The pellicle frame is formed by placing a pellicle with a pellicle film on a mounting table. Packing in the area facing
And a pellicle is fixed by elasticity of the packing .
【０００８】すなわち、本発明者らはペリクル収納容器
における上記した不利を解決する方法について種々検討
した結果、載置台にペリクル膜を上にしてペリクルを置
き、上ぶたでペリクルを固定するようにしたペリクル収
納容器において、この上ぶたにパッキンを設けたとこ
ろ、上ぶたとペリクル枠が直接機械的に接触することが
なくなり、これらの接触はすべてパッキンを介して行な
われるので、これらの接触界面から異物の発生すること
がなくなるということを見出し、したがってこれによれ
ばペリクル膜に異物の付着することが防止されるという
ことを確認して本発明を完成させた。以下にこれをさら
に詳述する。That is, the present inventors have conducted various studies on a method for solving the above disadvantages in the pellicle storage container, and as a result, the pellicle is placed on the mounting table with the pellicle film facing upward, and the pellicle is fixed with the lid. In the pellicle storage container, when packing is provided on the upper lid, direct mechanical contact does not occur between the upper lid and the pellicle frame, and all these contacts are performed via the packing. Have been found to be eliminated, and thus it has been confirmed that this prevents foreign substances from adhering to the pellicle film, thereby completing the present invention. This will be described in more detail below.
【０００９】[0009]
【作用】本発明のペリクル収納容器は、載置台、上ぶ
た、固定部品からなるペリクル収納容器の上ぶたにパッ
キンを設けたものであり、これによれば上ぶたとペリク
ル枠が直接接触せず、これらがパッキンを介して接触す
るので、これらの機械的接触界面からの異物の発生がな
くなるという有利性が与えられる。The pellicle storage container of the present invention comprises a mounting table,
And having thereon a packing pigs on the pellicle container consisting of a fixed part, top closure and Periku According to this
Since the metal frames do not come into direct contact but come into contact via the packing, the advantage is given that the generation of foreign matter from these mechanical contact interfaces is eliminated.
【００１０】ここに使用するパッキンはこれが上ぶたと
ペリクル枠との機械的な直接接触を防止し、かつクッシ
ョン材となるものであるということから適度に弾性を持
ち、変形時にも発塵が少ないものとすることが好ましい
ということから、例えばポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ＡＢＳ樹脂、ポリ塩化ビニルなどのプラスチック
材、またはシリコーン系ゴム、フッ素系ゴム、ウレタン
系ゴムなどの合成ゴムなどで作られたものとすることが
よい。[0010] The packing used here is
It is preferable to prevent mechanical direct contact with the pellicle frame and to have appropriate elasticity because it is a cushioning material , and to generate less dust even when deformed. For this reason, it is preferable to use, for example, a plastic material such as polyethylene, polypropylene, ABS resin, or polyvinyl chloride, or a synthetic rubber such as silicone rubber, fluorine rubber, or urethane rubber.
【００１１】このパッキンの形状は丸棒状でも、ペリク
ル枠側にとがったくさび状のものであってもよいが、丸
棒状のものはサイズが直径１〜１０ｍｍのものとするこ
とがよく、くさび状のものは巾が１〜１０ｍｍで高さが
１〜１０ｍｍ程度のものとすればよい。なお、このパッ
キンはペリクル枠上部の全体に接触してもよいが、これ
は四角形のコーナー部のみ、またはこれらの中間の形と
してペリクル枠上部に接触するようにしてもよい。The shape of the packing may be a round bar shape or a wedge shape with a point on the pellicle frame side. The round bar shape preferably has a diameter of 1 to 10 mm. May have a width of about 1 to 10 mm and a height of about 1 to 10 mm. Incidentally, the packing may be in contact with the whole of the pellicle frame upper, which the shape of the corner portion of the square alone, or these intermediate
Alternatively, the pellicle frame may be brought into contact with the upper part of the pellicle frame .
【００１２】本発明のペリクル収納容器は、載置台、上
ぶたおよび固定部品から構成される収納容器の上ぶたに
パッキンを設けたものであるが、これは例えば図１に示
したものとされる。図１は、本願発明のペリクル収納容
器の縦断面図を示したものであるが、この図１のものは
ペリクル膜１がペリクル枠２に張設されており、このペ
リクル枠２は載置台４の上に載せられており、この載置
台４にはペリクル枠支持体５が設けられていて、このペ
リクル枠２はパッキン７を介して上ぶた３によって固定
され、さらに、上ぶた３と載置台４は固定部品６によっ
て固定されている。[0012] The pellicle container of the present invention, the mounting table, above
A packing is provided on the upper lid of a storage container composed of a lid and fixed parts, and this is, for example, the one shown in FIG. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a pellicle container according to the present invention. In FIG. 1, a pellicle film 1 is stretched on a pellicle frame 2, and the pellicle frame 2 is mounted on a mounting table 4. This is placed on
The pellicle frame support 5 is provided on the base 4, and the pellicle frame 2 is fixed by the upper lid 3 via the packing 7.
Further, the upper lid 3 and the mounting table 4 are fixed by a fixing component 6.
【００１３】しかし、この図１のものには図示されてい
るように、この上ぶた３に本発明によるパッキン７が設
けられているので、これによってペリクル枠２と上ぶた
３とが直接接触することはなくなり、これらはパッキン
７を介して接触するが、このパッキンが弾性を有する変
形できるものであることから、このペリクル容器からペ
リクルを取り出すために上ぶた３を取り外しても、ペリ
クル枠２と上ぶた３の直接接触で異物が発生するという
事故が防止される。なお、このパッキンは図では丸棒状
のものが図示されているが、これは下のとがったくさび
状のものとしてもよい。However, as shown in FIG. 1, since the upper lid 3 is provided with the packing 7 according to the present invention, the pellicle frame 2 and the upper lid 3 come into direct contact with each other. The pellicle frame 2 contacts the pellicle frame 2 even though the lid 3 is removed to take out the pellicle from the pellicle container because the packing is elastic and can be deformed. An accident that a foreign matter is generated by direct contact of the upper lid 3 is prevented. Although the packing is shown in the shape of a round bar in the figure, it may be shaped like a sharp wedge below.
【００１４】[0014]
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例１、比較例１上ぶた３ 、載置台４、ペリクル枠支持体５、固定部品６
をポリプロピレンで製作した図１に示したペリクル収納
容器の上ぶた３に直径３ｍｍのシリコーンゴム製の丸棒
から作ったパッキン７を設け、このペリクル収納容器に
信越化学工業(株)製のペリクルを収納し、これからペリ
クルを取り出す操作を１０回くり返して行なったが、こ
れには新たにこのペリクル膜に異物の付着することがな
かった。しかし、比較のために図２に示した従来公知の
ペリクル収納容器について同じ操作を行なったところ、
このペリクル膜には新たに１３個の異物が付着してい
た。Next, examples of the present invention and comparative examples will be described. Example 1, Comparative Example 1 Lid 3 , mounting table 4, pellicle frame support 5, fixed part 6
A packing 7 made of a round bar made of silicone rubber having a diameter of 3 mm is provided on the upper lid 3 of the pellicle container shown in FIG. 1 made of polypropylene. The operation of storing the pellicle and taking out the pellicle therefrom was repeated 10 times, but no foreign matter was newly attached to the pellicle film. However, when the same operation was performed on the conventionally known pellicle container shown in FIG. 2 for comparison,
Thirteen foreign substances were newly attached to the pellicle film.
【００１５】[0015]
【発明の効果】本発明はペリクル収納容器に関するもの
であり、これは前記したように載置台にペリクル膜を上
にしてペリクルを置き、上ぶたでペリクルを固定するペ
リクル収納容器において、上ぶたにパッキンを設けてな
ることを特徴とするものであるが、これによれば上ぶた
とペリクル枠とがこのパッキンを介して接触するので、
従来発生していたペリクル取り出し時における上ぶたと
ペリクル枠との直接接触による異物の発生、この異物の
ペリクル膜ヘの付着が防止される。 The present invention relates to a pellicle storage container, which has a pellicle film mounted on a mounting table as described above.
In the pellicle storage container in which the pellicle is placed and the pellicle is fixed with the top lid, the packing is provided on the top lid, but according to this, the top lid and the pellicle frame form this packing. Contact through
Generation of foreign matter due to direct contact between the top cover and the pellicle frame when the pellicle extraction which has been conventionally occurred, adhesion of the pellicle film F of this foreign matter is prevented.
【図１】 本発明のペリクル収納容器の縦断面図の一例
を示したものである。FIG. 1 shows an example of a longitudinal sectional view of a pellicle storage container of the present invention.
【図２】 従来公知のペリクル収納容器の縦断面図の一
例を示したものである。 FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a conventionally known pellicle storage container.
This is an example.
１,１１…ペリクル膜、 ２,１２…ペリクル枠、 ３,１３…上ぶた、 ４,１４…載置台、 ５,１５…ペリクル枠支持体、 ６,１６…固定部品、 ７…パッキン 1,11 ... pellicle membrane, 2,12 ... pellicle frame, 3,13 ... top lid, 4,14 ... mounting table, 5,15 ... pellicle frame support, 6,16 ... fixed parts, 7 ... packing
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白崎 享 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 浜田 裕一 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 永田 愛彦 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 久保田 芳宏 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 昭63−305359（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−240254（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−87442（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−120148（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor: Shirasaki 2-13-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.Precision Functional Materials Research Laboratory No.2-13-1 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.Precision Functional Materials Research Laboratories (72) Inventor Aihiko Nagata 2-3-1-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Pref. Inventor Yoshihiro Kubota 2-13-1, Isobe, Annaka-shi, Gunma Prefecture Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.Precision Functional Materials Laboratory (56) References JP, A) JP-A 62-87442 (JP, U) JP-A 1-120148 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01L 21/68
Claims (1)
置き、上ぶたのペリクル枠と対向する部位にパッキンを
設け、該パッキンの弾性でペリクルを固定するように設
けてなることを特徴とするペリクル収納容器。1. A pellicle is placed on a mounting table with the pellicle film facing upward, and packing is provided on a portion of the lid facing the pellicle frame.
A pellicle storage container provided so that the pellicle is fixed by elasticity of the packing .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29166893A JP3157664B2 (en) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | Pellicle storage container |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29166893A JP3157664B2 (en) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | Pellicle storage container |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07142562A JPH07142562A (en) | 1995-06-02 |
| JP3157664B2 true JP3157664B2 (en) | 2001-04-16 |
Family
ID=17771896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29166893A Expired - Fee Related JP3157664B2 (en) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | Pellicle storage container |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3157664B2 (en) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4675601B2 (en) * | 2003-11-18 | 2011-04-27 | 株式会社 ネットプラスチック | Sealed container for large precision sheet products and semi-finished products |
| TWI334399B (en) * | 2003-11-18 | 2010-12-11 | Net Plastic Inc | Hermetically sealed container for large-sized precision sheet (semi-)product |
| JP4694299B2 (en) * | 2005-08-05 | 2011-06-08 | 信越ポリマー株式会社 | Pellicle storage container |
| JP5528190B2 (en) * | 2010-04-23 | 2014-06-25 | 信越化学工業株式会社 | Pellicle storage container |
| CN112088334B (en) * | 2018-03-05 | 2024-08-27 | 三井化学株式会社 | Protective film assembly, exposure original plate, exposure device and method for manufacturing semiconductor device |
-
1993
- 1993-11-22 JP JP29166893A patent/JP3157664B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07142562A (en) | 1995-06-02 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110209 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120209 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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