JP3118520B2 - 光重合性記録材料の造像的照射による印刷板またはフォトレジストの製法 - Google Patents
光重合性記録材料の造像的照射による印刷板またはフォトレジストの製法Info
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- JP3118520B2 JP3118520B2 JP03122425A JP12242591A JP3118520B2 JP 3118520 B2 JP3118520 B2 JP 3118520B2 JP 03122425 A JP03122425 A JP 03122425A JP 12242591 A JP12242591 A JP 12242591A JP 3118520 B2 JP3118520 B2 JP 3118520B2
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
Description
【0001】本発明は、重合体結合剤、遊離基によって
重合できる化合物、特にアクリル酸エステルまたはアル
クアクリル酸エステル(alkacrylicester)、および光
開始剤または光開始剤組み合わせを含有する光重合性記
録材料の造像的照射による印刷版またはフォトレジスト
の製法に関する。
重合できる化合物、特にアクリル酸エステルまたはアル
クアクリル酸エステル(alkacrylicester)、および光
開始剤または光開始剤組み合わせを含有する光重合性記
録材料の造像的照射による印刷版またはフォトレジスト
の製法に関する。
【0002】DE−B第1,214,085号明細書
(米国特許第3,144,331号明細書)から、印刷
版支持体および感光性層を具備する光重合性記録材料の
感度(その感度は分子状酸素の吸収のため減少されてい
る)を元に戻すために、感光性層を、光重合を開始する
のに必要な化学線の線量の70〜98%に露光すること
が既知である。例えば、露光は、透明印刷版支持体を通
して生じ、使用する化学線の波長は放射線の10〜70
%のみが光重合性層によって吸収されるようなものであ
る。このプロセスにおいては、1つの拡散および1つの
造像的露光は、一般原則として行う。次いで、拡散また
は予備露光を行った後に、造像的露光は放射線の全量ま
で行う。
(米国特許第3,144,331号明細書)から、印刷
版支持体および感光性層を具備する光重合性記録材料の
感度(その感度は分子状酸素の吸収のため減少されてい
る)を元に戻すために、感光性層を、光重合を開始する
のに必要な化学線の線量の70〜98%に露光すること
が既知である。例えば、露光は、透明印刷版支持体を通
して生じ、使用する化学線の波長は放射線の10〜70
%のみが光重合性層によって吸収されるようなものであ
る。このプロセスにおいては、1つの拡散および1つの
造像的露光は、一般原則として行う。次いで、拡散また
は予備露光を行った後に、造像的露光は放射線の全量ま
で行う。
【0003】染料を含有する光重合性層を先ず400nm
よりも長い波長および少なくとも1500ルーメン/ m
2 の強度を有する光に約60分間拡散露光し、次いで、
造像的に露光する方法は、米国特許第4,716,09
7号明細書に開示されている。
よりも長い波長および少なくとも1500ルーメン/ m
2 の強度を有する光に約60分間拡散露光し、次いで、
造像的に露光する方法は、米国特許第4,716,09
7号明細書に開示されている。
【0004】DE−A第2,412,571号明細書
は、先ず拡散露光を短時間行い、次いで、露光部中の層
が事実上完全に硬化するまで、造像的露光を行う印刷版
の光硬化性層の硬化法を記載している。拡散露光は、予
備露光だけではなく、造像的露光のための放射線と同じ
強度で重合体層を硬化するのに必要な時間の90%以下
続く。
は、先ず拡散露光を短時間行い、次いで、露光部中の層
が事実上完全に硬化するまで、造像的露光を行う印刷版
の光硬化性層の硬化法を記載している。拡散露光は、予
備露光だけではなく、造像的露光のための放射線と同じ
強度で重合体層を硬化するのに必要な時間の90%以下
続く。
【0005】EP−A第53,708号明細書は、記録
材料の光重合性層を造像的露光に付し、露光前または露
光後に高温に短時間加熱し、次いで、現像するレリーフ
コピーの製法を記載している。
材料の光重合性層を造像的露光に付し、露光前または露
光後に高温に短時間加熱し、次いで、現像するレリーフ
コピーの製法を記載している。
【0006】EP−A第284,938号明細書は、分
子中にウレタン基、第三級アミノ基および場合によって
尿素基を有する(メタ)アクリル酸エステル、重合体結
合剤および光開始剤として光還元性染料(所望ならば、
感放射線トリハロメチル化合物との組み合わせ)を含有
する光重合性混合物を記載している。EP−A第32
1,827号明細書は、ウレタン基を含有しない以外は
(メタ)アクリル酸エステルを含有する同様の混合物を
記載している。
子中にウレタン基、第三級アミノ基および場合によって
尿素基を有する(メタ)アクリル酸エステル、重合体結
合剤および光開始剤として光還元性染料(所望ならば、
感放射線トリハロメチル化合物との組み合わせ)を含有
する光重合性混合物を記載している。EP−A第32
1,827号明細書は、ウレタン基を含有しない以外は
(メタ)アクリル酸エステルを含有する同様の混合物を
記載している。
【0007】EP−A第364,735号明細書は、
(a)重合体結合剤、(b)遊離基によって重合でき且
つ少なくとも1個の重合性基を含有する化合物、(c)
光還元性染料、(d)放射線によって開裂できるトリハ
ロメチル化合物、および(e)メタロセン化合物、特に
チタノセンまたはジルコノセンを含有する光重合性混合
物を記載している。
(a)重合体結合剤、(b)遊離基によって重合でき且
つ少なくとも1個の重合性基を含有する化合物、(c)
光還元性染料、(d)放射線によって開裂できるトリハ
ロメチル化合物、および(e)メタロセン化合物、特に
チタノセンまたはジルコノセンを含有する光重合性混合
物を記載している。
【0008】使用されたメタロセンは、配位子として2
個の置換または非置換シクロペンタジエニル基および2
個の置換フェニル基を担持するものである。従来の刊行
物ではない先願の独国特許出願P第4,007,42
8.5号明細書は、メタロセンとしてジシクロペンタジ
エニルビス−2,4,6−トリフルオロフェニルチタン
またはジシクロペンタジエニルビス−2,4,6−トリ
フルオロフェニルジルコニウムを含有する上記組成物の
更に他の光重合性混合物を記載している。これらの混合
物は、極めて高い光感度を有する。
個の置換または非置換シクロペンタジエニル基および2
個の置換フェニル基を担持するものである。従来の刊行
物ではない先願の独国特許出願P第4,007,42
8.5号明細書は、メタロセンとしてジシクロペンタジ
エニルビス−2,4,6−トリフルオロフェニルチタン
またはジシクロペンタジエニルビス−2,4,6−トリ
フルオロフェニルジルコニウムを含有する上記組成物の
更に他の光重合性混合物を記載している。これらの混合
物は、極めて高い光感度を有する。
【0009】従来の刊行物ではない先願の独国特許出願
P第4,011,023.0号明細書は、印刷版の全面
積露光用露光ステーションおよび加熱ステーションを具
備する造像的露光印刷版用後処理装置を記載している。
全面積露光は、500〜700nmのスペクトル範囲内の
光を使用して行っている。加工する光重合性印刷版の組
成についての詳細な情報は、与えられていない。
P第4,011,023.0号明細書は、印刷版の全面
積露光用露光ステーションおよび加熱ステーションを具
備する造像的露光印刷版用後処理装置を記載している。
全面積露光は、500〜700nmのスペクトル範囲内の
光を使用して行っている。加工する光重合性印刷版の組
成についての詳細な情報は、与えられていない。
【0010】本発明の目的は、既に非常に高い光感度を
有する光重合性記録材料の造像的露光による印刷版、特
に平版印刷版またはフォトレジストの製法を提案するこ
とにあり且つ画像の露光時のエネルギー要件が実質上減
少でき、かくて実際に対応して高い光感度を達成する好
適な加工工程を提案することにある。
有する光重合性記録材料の造像的露光による印刷版、特
に平版印刷版またはフォトレジストの製法を提案するこ
とにあり且つ画像の露光時のエネルギー要件が実質上減
少でき、かくて実際に対応して高い光感度を達成する好
適な加工工程を提案することにある。
【0011】本発明によれば、光重合性記録材料の造像
的照射による印刷版またはフォトレジストの製法(その
光重合性層は重合体結合剤、遊離基によって重合でき且
つ少なくとも1個の末端エチレン性二重結合を含有する
エチレン性不飽和化合物および照射時に遊離基を形成す
る重合開始剤または開始剤組み合わせを含有し、そして
材料を造像的照射後に短時間加熱し、次いで、現像す
る)が提案される。
的照射による印刷版またはフォトレジストの製法(その
光重合性層は重合体結合剤、遊離基によって重合でき且
つ少なくとも1個の末端エチレン性二重結合を含有する
エチレン性不飽和化合物および照射時に遊離基を形成す
る重合開始剤または開始剤組み合わせを含有し、そして
材料を造像的照射後に短時間加熱し、次いで、現像す
る)が提案される。
【0012】本発明に係る方法は、遊離基形成重合開始
剤としてメタロセン化合物を使用し、材料を造像的露光
前、造像的露光と同時または造像的露光後に原稿なしで
少なくとも400nmの波長を有する可視光線に短時間露
光することからなる。
剤としてメタロセン化合物を使用し、材料を造像的露光
前、造像的露光と同時または造像的露光後に原稿なしで
少なくとも400nmの波長を有する可視光線に短時間露
光することからなる。
【0013】原稿なしでの加熱および露光は、先願P第
4,011,023.0号明細書に記載の装置などの装
置で有利に行うことができる。露光工程の順序は、所望
通りであり、好ましくは材料は先ず造像的露光または照
射に付し、次いで、原稿なしに露光し、最後に加熱す
る。
4,011,023.0号明細書に記載の装置などの装
置で有利に行うことができる。露光工程の順序は、所望
通りであり、好ましくは材料は先ず造像的露光または照
射に付し、次いで、原稿なしに露光し、最後に加熱す
る。
【0014】造像的照射は、好ましくは、標準複写光ま
たはレーザー線を使用して投影によって行うことができ
る。使用できる投影光源の例は、水銀蒸気ランプ、キセ
ノンランプ、金属ハライドランプ、フラッシュライトラ
ンプ、カーボンアークランプなどであり、強度および/
または露光期間は低く保つことが可能である。好適なレ
ーザー光源は、特に可視スペクトル範囲内で、例えば、
488および514nmで放出するレーザーである。この
目的で、例えば、比較的低い出力、例えば、10〜25
mWを有するアルゴンイオンレーザーは、有利に使用で
きる。造像的照射の線量は、好ましくは、更なる処理な
しに層の完全な硬化に必要な線量の5〜50%の範囲内
である。エネルギーの必要量の残部は、拡散露光(即
ち、原稿なし)とその後の加熱との組み合わせによって
本発明に従って供給する。
たはレーザー線を使用して投影によって行うことができ
る。使用できる投影光源の例は、水銀蒸気ランプ、キセ
ノンランプ、金属ハライドランプ、フラッシュライトラ
ンプ、カーボンアークランプなどであり、強度および/
または露光期間は低く保つことが可能である。好適なレ
ーザー光源は、特に可視スペクトル範囲内で、例えば、
488および514nmで放出するレーザーである。この
目的で、例えば、比較的低い出力、例えば、10〜25
mWを有するアルゴンイオンレーザーは、有利に使用で
きる。造像的照射の線量は、好ましくは、更なる処理な
しに層の完全な硬化に必要な線量の5〜50%の範囲内
である。エネルギーの必要量の残部は、拡散露光(即
ち、原稿なし)とその後の加熱との組み合わせによって
本発明に従って供給する。
【0015】原稿なしでの露光の場合には、500nmよ
りも長い波長を有する非常に高い割合の光を放出する比
較的低い出力の光源、例えば、蛍光灯が、使用される。
放出範囲は、一般に、400〜700nm、好ましくは4
50〜650nmである。層表面は、一般に、約10〜8
0ルクスの強度に露光する。線量は、完全な硬化がそれ
によって硬化すべき画線部上への画像露光および熱処理
との組み合わせで達成されるように選ばなければならな
い。非画線部は、もはや現像液に完全には可溶性ではな
いような程度まで加熱との組み合わせでの拡散露光によ
って硬化するようにならないことを保証しなければなら
ない。所望の画像弁別は、必要線量の5〜50%の上記
範囲内の画像露光または照射で達成できる。
りも長い波長を有する非常に高い割合の光を放出する比
較的低い出力の光源、例えば、蛍光灯が、使用される。
放出範囲は、一般に、400〜700nm、好ましくは4
50〜650nmである。層表面は、一般に、約10〜8
0ルクスの強度に露光する。線量は、完全な硬化がそれ
によって硬化すべき画線部上への画像露光および熱処理
との組み合わせで達成されるように選ばなければならな
い。非画線部は、もはや現像液に完全には可溶性ではな
いような程度まで加熱との組み合わせでの拡散露光によ
って硬化するようにならないことを保証しなければなら
ない。所望の画像弁別は、必要線量の5〜50%の上記
範囲内の画像露光または照射で達成できる。
【0016】加熱は、それ自体既知の方法での現像前に
最終処理工程として行う。この目的で、完全に露光され
た材料は、温度60〜140℃、好ましくは80〜12
0℃、特に90〜110℃に約10秒〜2分間加熱す
る。大抵の場合には、必要とされる処理時間は、30〜
80秒の範囲内である。この処理時に、温度は、金属支
持体、特にアルミニウム上の印刷版を加熱する時には、
有利には印刷版のバック上で、例えば、市販の温度試験
ストリップを使用して測定しなければならない。加熱
は、空気循環により、接触加熱により、または赤外線に
より生ずることができる。
最終処理工程として行う。この目的で、完全に露光され
た材料は、温度60〜140℃、好ましくは80〜12
0℃、特に90〜110℃に約10秒〜2分間加熱す
る。大抵の場合には、必要とされる処理時間は、30〜
80秒の範囲内である。この処理時に、温度は、金属支
持体、特にアルミニウム上の印刷版を加熱する時には、
有利には印刷版のバック上で、例えば、市販の温度試験
ストリップを使用して測定しなければならない。加熱
は、空気循環により、接触加熱により、または赤外線に
より生ずることができる。
【0017】驚異的なことに、本発明に係る方法は、非
常に特定の光重合性材料においてのみ感度の所望の増大
を生ずることが見出された。かくて、光開始剤として9
−フェニルアクリジンを含有し且つ単量体としてトリメ
チロールエタントリアクリレートを含有する既知の光重
合性材料を使用するならば、適切な再露光および再加熱
は、事実上感度の増大を達成しないことが示された。し
かしながら、メタロセン、特にチタノセンまたはジルコ
ノセンを光開始剤として使用するならば、幾つかの程度
だけの光感度の増大は、同じ処理によって達成される。
常に特定の光重合性材料においてのみ感度の所望の増大
を生ずることが見出された。かくて、光開始剤として9
−フェニルアクリジンを含有し且つ単量体としてトリメ
チロールエタントリアクリレートを含有する既知の光重
合性材料を使用するならば、適切な再露光および再加熱
は、事実上感度の増大を達成しないことが示された。し
かしながら、メタロセン、特にチタノセンまたはジルコ
ノセンを光開始剤として使用するならば、幾つかの程度
だけの光感度の増大は、同じ処理によって達成される。
【0018】開始剤として使用するメタロセンは、それ
自体既知であり且つ例えば、米国特許第3,717,5
58号明細書、第4,590,287号明細書およびか
第4,707,432号明細書から光開始剤としても既
知である。好ましくは、元素の周期表の亜族IVからの元
素のメタロセン、特にチタンおよびジルコニウムの化合
物が、使用される。この種の化合物は、EP−A第36
4,735号明細書に記載されている。大多数の既知の
メタロセン、特にチタノセンのうち、一般式
自体既知であり且つ例えば、米国特許第3,717,5
58号明細書、第4,590,287号明細書およびか
第4,707,432号明細書から光開始剤としても既
知である。好ましくは、元素の周期表の亜族IVからの元
素のメタロセン、特にチタンおよびジルコニウムの化合
物が、使用される。この種の化合物は、EP−A第36
4,735号明細書に記載されている。大多数の既知の
メタロセン、特にチタノセンのうち、一般式
【化1】 の化合物が、好ましい。この式中、Meは四価金属原
子、特にTiまたはZrであり、R1 およびR2 は同一
または異種のシクロペンタジエニル基(置換してもよ
い)であり、R3 およびR4 は同一または異種のフェニ
ル基(置換してもよい)である。
子、特にTiまたはZrであり、R1 およびR2 は同一
または異種のシクロペンタジエニル基(置換してもよ
い)であり、R3 およびR4 は同一または異種のフェニ
ル基(置換してもよい)である。
【0019】シクロペンタジエニル基は、特に炭素数1
〜4のアルキル基、塩素原子、フェニルまたはシクロヘ
キシル基で置換でき、またはアルキレン基によって互い
に結合できる。シクロペンタジエニル基は、好ましくは
非置換であるか、アルキル基または塩素原子で置換され
ている。
〜4のアルキル基、塩素原子、フェニルまたはシクロヘ
キシル基で置換でき、またはアルキレン基によって互い
に結合できる。シクロペンタジエニル基は、好ましくは
非置換であるか、アルキル基または塩素原子で置換され
ている。
【0020】R3 およびR4 は、好ましくは結合に対し
てo位に少なくとも1個のフッ素原子を含有し且つ残り
がF、Cl、Brなどのハロゲン原子、炭素数1〜4の
アルキルまたはアルコキシ基、ポリオキシアルキレン基
(エーテル化またはエステル化してもよい)、または複
素環式基、例えば、ピロリル基で置換できるフェニル基
である。ポリオキシアルキレン基は、一般に、1〜6個
のオキシアルキレン単位を有し、好ましくはフェニル基
の4位にあり且つ炭素数1〜18のアルキルまたはアシ
ル基でエーテル化またはエステル化できる。それは、特
にポリオキシエチレン基である。
てo位に少なくとも1個のフッ素原子を含有し且つ残り
がF、Cl、Brなどのハロゲン原子、炭素数1〜4の
アルキルまたはアルコキシ基、ポリオキシアルキレン基
(エーテル化またはエステル化してもよい)、または複
素環式基、例えば、ピロリル基で置換できるフェニル基
である。ポリオキシアルキレン基は、一般に、1〜6個
のオキシアルキレン単位を有し、好ましくはフェニル基
の4位にあり且つ炭素数1〜18のアルキルまたはアシ
ル基でエーテル化またはエステル化できる。それは、特
にポリオキシエチレン基である。
【0021】メタロセン化合物の相対量は、一般に、光
重合性層に対して0.01〜10、好ましくは0.05
〜8重量%である。
重合性層に対して0.01〜10、好ましくは0.05
〜8重量%である。
【0022】光重合性層は、更に他の光開始剤成分とし
て光還元性染料を含有できる。好適な染料は、特にキサ
ンテン、ベンゾキサンテン、ベンゾチオキサンテン、チ
アジン、ピロニン、ポルフィリンまたはアクリジン染料
である。
て光還元性染料を含有できる。好適な染料は、特にキサ
ンテン、ベンゾキサンテン、ベンゾチオキサンテン、チ
アジン、ピロニン、ポルフィリンまたはアクリジン染料
である。
【0023】好適なキサンテンおよびチアジン染料は、
例えば、EP−A第287,817号明細書に記載され
ている。好適なベンゾキサンテンおよびベンゾチオキサ
ンテン染料は、DE−A第2,025,291号明細書
およびEP−A第321,828号明細書に記載されて
いる。
例えば、EP−A第287,817号明細書に記載され
ている。好適なベンゾキサンテンおよびベンゾチオキサ
ンテン染料は、DE−A第2,025,291号明細書
およびEP−A第321,828号明細書に記載されて
いる。
【0024】好適なポルフィリン染料の一例は、ヘマト
ポルフィリンであり且つ好適なアクリジン染料の一例
は、塩酸アクリフラビニウムクロリドである。
ポルフィリンであり且つ好適なアクリジン染料の一例
は、塩酸アクリフラビニウムクロリドである。
【0025】キサンテン染料の例は、エオシンB(C.
I.No. 45400)、エオシンJ(C.I. No.45
380)、エオシンアルコール可溶物(C.I.453
86)、シアノシン(C.I.No. 45410)、ロー
ズベンガル、エリトロシン(C.I.No. 4543
0)、2,3,7−トリヒドロキシ−9−フェニルキサ
ンテン−6−オンおよびローダミン6G(C.I.No.
45160)である。
I.No. 45400)、エオシンJ(C.I. No.45
380)、エオシンアルコール可溶物(C.I.453
86)、シアノシン(C.I.No. 45410)、ロー
ズベンガル、エリトロシン(C.I.No. 4543
0)、2,3,7−トリヒドロキシ−9−フェニルキサ
ンテン−6−オンおよびローダミン6G(C.I.No.
45160)である。
【0026】チアジン染料の例は、チオニン(C.I.
No. 52000)、アズレA(C.I.No. 5200
5)およびアズレC(C.I.No. 52002)であ
る。
No. 52000)、アズレA(C.I.No. 5200
5)およびアズレC(C.I.No. 52002)であ
る。
【0027】ピロニン染料の例は、ピロニンB(C.
I.45010)およびピロニンGY(C.I.No. 4
5005)である。光還元性染料の量は、一般に、フィ
ルムの0.01〜10重量%、好ましくは0.05〜4
重量%である。
I.45010)およびピロニンGY(C.I.No. 4
5005)である。光還元性染料の量は、一般に、フィ
ルムの0.01〜10重量%、好ましくは0.05〜4
重量%である。
【0028】光感度を増大するために、光重合性層は、
光分解によって開裂できるトリハロメチル基を有する化
合物を追加的に含有できる。これらの化合物は、光重合
性混合物用遊離基形成光開始剤としてそれ自体既知であ
る。特に、ハロゲンとして塩素および臭素、特に塩素を
含有する化合物は、この種の補助開始剤として好適であ
ることが証明された。トリハロメチル基は、芳香族炭素
環または複素環式環に直接またはスルー共役(through-
conjugated)鎖を介して結合できる。親構造中にトリア
ジン環を有する化合物(親構造は好ましくは2個のトリ
ハロメチル基を担持する)、特にEP−A第137,4
52号明細書、DE−A第2,718,259号明細書
およびDE−A第2,243,621号明細書に記載の
ものが、好ましい。より短いUV波長領域内で吸収する
異なる親構造を有する化合物、例えば、フェニルトリハ
ロメチルスルホンまたはフェニルトリハロメチルケト
ン、例えば、フェニルトリブロモメチルスルホンも、好
適である。ハロゲン化合物は、一般に、フィルムの0.
01〜10重量%、好ましくは0.05〜4重量%の量
で使用される。
光分解によって開裂できるトリハロメチル基を有する化
合物を追加的に含有できる。これらの化合物は、光重合
性混合物用遊離基形成光開始剤としてそれ自体既知であ
る。特に、ハロゲンとして塩素および臭素、特に塩素を
含有する化合物は、この種の補助開始剤として好適であ
ることが証明された。トリハロメチル基は、芳香族炭素
環または複素環式環に直接またはスルー共役(through-
conjugated)鎖を介して結合できる。親構造中にトリア
ジン環を有する化合物(親構造は好ましくは2個のトリ
ハロメチル基を担持する)、特にEP−A第137,4
52号明細書、DE−A第2,718,259号明細書
およびDE−A第2,243,621号明細書に記載の
ものが、好ましい。より短いUV波長領域内で吸収する
異なる親構造を有する化合物、例えば、フェニルトリハ
ロメチルスルホンまたはフェニルトリハロメチルケト
ン、例えば、フェニルトリブロモメチルスルホンも、好
適である。ハロゲン化合物は、一般に、フィルムの0.
01〜10重量%、好ましくは0.05〜4重量%の量
で使用される。
【0029】光重合性層は、所望ならば、更に他の開始
剤成分としてアクリジン、フェナジンまたはキノキサリ
ン化合物を含有できる。これらの化合物は、光開始剤と
して既知であり且つDE−C第2,027,467号明
細書および第2,039,861号明細書に記載されて
いる。重合開始剤の合計量は、一般に0.05〜20重
量%、好ましくは0.1〜10重量%である。
剤成分としてアクリジン、フェナジンまたはキノキサリ
ン化合物を含有できる。これらの化合物は、光開始剤と
して既知であり且つDE−C第2,027,467号明
細書および第2,039,861号明細書に記載されて
いる。重合開始剤の合計量は、一般に0.05〜20重
量%、好ましくは0.1〜10重量%である。
【0030】本発明の目的で好適である重合性化合物
は、既知であり且つ例えば、米国特許第2,760,8
63号明細書および第3,060,023号明細書に記
載されている。
は、既知であり且つ例えば、米国特許第2,760,8
63号明細書および第3,060,023号明細書に記
載されている。
【0031】好ましい例は、二価または多価アルコール
のアクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、例
えば、エチレングリコールジアクリレート、ポリエチレ
ングリコールジメタクリレート、トリメチロールエタ
ン、トリメチロールプロパン、ペンタエリトリトールお
よびジペンタエリトリトールのアクリレートおよびメタ
クリレートおよび多価脂環式アルコールまたはN置換ア
クリルアミドおよびメタクリルアミドのアクリレートお
よびメタクリレートである。モノ−またはジイソシアネ
ートと多価アルコールの部分エステルとの反応生成物
も、有利に使用される。この種の単量体は、DE−A第
2,064,079号明細書、第2,361,041号
明細書および第2,822,190号明細書に記載され
ている。
のアクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、例
えば、エチレングリコールジアクリレート、ポリエチレ
ングリコールジメタクリレート、トリメチロールエタ
ン、トリメチロールプロパン、ペンタエリトリトールお
よびジペンタエリトリトールのアクリレートおよびメタ
クリレートおよび多価脂環式アルコールまたはN置換ア
クリルアミドおよびメタクリルアミドのアクリレートお
よびメタクリレートである。モノ−またはジイソシアネ
ートと多価アルコールの部分エステルとの反応生成物
も、有利に使用される。この種の単量体は、DE−A第
2,064,079号明細書、第2,361,041号
明細書および第2,822,190号明細書に記載され
ている。
【0032】分子中に少なくとも1個の光酸化性基およ
び所望ならば少なくとも1個のウレタン基を含有する重
合性化合物が、特に好ましい。好適な光酸化性基は、特
にアミノ基、尿素基、チオ基(複素環式環の成分である
こともできる)、エノール基およびカルボキシル基(オ
レフィン二重結合との組み合わせ)である。この種の基
の例は、トリエタノールアミノ、トリフェニルアミノ、
チオ尿素、イミダゾール、オキサゾール、チアゾール、
アセチルアセトニル、N−フェニルグリシンおよびアス
コルビン酸基である。第一級、第二級および特に第三級
アミノ基を有する重合性化合物が、好ましい。
び所望ならば少なくとも1個のウレタン基を含有する重
合性化合物が、特に好ましい。好適な光酸化性基は、特
にアミノ基、尿素基、チオ基(複素環式環の成分である
こともできる)、エノール基およびカルボキシル基(オ
レフィン二重結合との組み合わせ)である。この種の基
の例は、トリエタノールアミノ、トリフェニルアミノ、
チオ尿素、イミダゾール、オキサゾール、チアゾール、
アセチルアセトニル、N−フェニルグリシンおよびアス
コルビン酸基である。第一級、第二級および特に第三級
アミノ基を有する重合性化合物が、好ましい。
【0033】光酸化性基を含有する化合物の例は、式I
【化2】 〔式中、Qは
【化3】
【化4】
【化5】 または−S−であり、Rはアルキル、ヒドロキシアルキ
ルまたはアリール基であり、R5 およびR6 は各々水素
原子、アルキル基またはアルコキシアルキル基であり、
R7 は水素原子、メチルまたはエチル基であり、X1 は
炭素数2〜12の飽和炭化水素基であり、X2 は(c+
1)価飽和炭化水素基であり、そして5個までのメチレ
ン基は酸素原子で置換でき、D1 およびD2 は各々炭素
数1〜5の飽和炭化水素基であり、Eは炭素数2〜12
の飽和炭化水素基、5〜7環員の脂環式基(これは所望
ならば環員として2個までのN、OまたはS原子を含有
できる)、炭素数6〜12のアリーレン基または5また
は6環員の複素環式芳香族基であり、aは0または1〜
4の数であり、bは0または1であり、cは1〜3の整
数であり、mはQの原子価に応じて2、3または4であ
り、nは1〜mの整数であり、同じ定義のすべての記号
は互いに同一または異種であることが可能である〕のア
クリル酸エステルおよびアルクアクリル酸エステルであ
る。この式の化合物、その製法および用途は、EP−A
第287,818号明細書に詳述されている。一般式I
の化合物において1個よりも多い基Rまたは角括弧に記
載の種類の1個よりも多い基が中心の基Qに結合されて
いるならば、これらの基は、互いに異なることができ
る。
ルまたはアリール基であり、R5 およびR6 は各々水素
原子、アルキル基またはアルコキシアルキル基であり、
R7 は水素原子、メチルまたはエチル基であり、X1 は
炭素数2〜12の飽和炭化水素基であり、X2 は(c+
1)価飽和炭化水素基であり、そして5個までのメチレ
ン基は酸素原子で置換でき、D1 およびD2 は各々炭素
数1〜5の飽和炭化水素基であり、Eは炭素数2〜12
の飽和炭化水素基、5〜7環員の脂環式基(これは所望
ならば環員として2個までのN、OまたはS原子を含有
できる)、炭素数6〜12のアリーレン基または5また
は6環員の複素環式芳香族基であり、aは0または1〜
4の数であり、bは0または1であり、cは1〜3の整
数であり、mはQの原子価に応じて2、3または4であ
り、nは1〜mの整数であり、同じ定義のすべての記号
は互いに同一または異種であることが可能である〕のア
クリル酸エステルおよびアルクアクリル酸エステルであ
る。この式の化合物、その製法および用途は、EP−A
第287,818号明細書に詳述されている。一般式I
の化合物において1個よりも多い基Rまたは角括弧に記
載の種類の1個よりも多い基が中心の基Qに結合されて
いるならば、これらの基は、互いに異なることができ
る。
【0034】Qのすべての置換基が重合性基であり、即
ち、mがnである化合物は、一般に好ましい。一般に、
aは、1個以下の基において0であり、好ましくはすべ
ての基において0ではない。好ましくは、aは1であ
る。
ち、mがnである化合物は、一般に好ましい。一般に、
aは、1個以下の基において0であり、好ましくはすべ
ての基において0ではない。好ましくは、aは1であ
る。
【0035】Rがアルキルまたはヒドロキシアルキル基
であるならば、この基は、一般に2〜8個の炭素原子、
好ましくは2〜4個の炭素原子を有する。アリール基R
は、一般に1個または2個の環上、好ましくは1個の環
上で置換でき且つ炭素数5までのアルキルまたはアルコ
キシ基またはハロゲン原子で置換してもよい。
であるならば、この基は、一般に2〜8個の炭素原子、
好ましくは2〜4個の炭素原子を有する。アリール基R
は、一般に1個または2個の環上、好ましくは1個の環
上で置換でき且つ炭素数5までのアルキルまたはアルコ
キシ基またはハロゲン原子で置換してもよい。
【0036】R5 およびR6 がアルキルまたはアルコキ
シアルキル基であるならば、1〜5個の炭素原子を含有
することができる。R7 は、好ましくは水素原子または
メチル基、特にメチル基である。
シアルキル基であるならば、1〜5個の炭素原子を含有
することができる。R7 は、好ましくは水素原子または
メチル基、特にメチル基である。
【0037】X1 は、好ましくは直鎖または分枝脂肪族
または脂環式基(好ましくは炭素数4〜10)である。
X2 は、好ましくは2〜15個の炭素原子を有し、それ
らの5個までは酸素原子で置換できる。純粋な炭素鎖が
包含されるならば、炭素数2〜12、好ましくは2〜6
のものが、一般に使用される。また、X2 は、炭素数5
〜10の脂環式基、特にシクロヘキシレン基であること
ができる。D1 およびD2 は、同一または異種であるこ
とができ且つ2個の窒素原子と一緒に5〜10個の環
員、好ましくは6個の環員を有する飽和複素環式環を形
成する。
または脂環式基(好ましくは炭素数4〜10)である。
X2 は、好ましくは2〜15個の炭素原子を有し、それ
らの5個までは酸素原子で置換できる。純粋な炭素鎖が
包含されるならば、炭素数2〜12、好ましくは2〜6
のものが、一般に使用される。また、X2 は、炭素数5
〜10の脂環式基、特にシクロヘキシレン基であること
ができる。D1 およびD2 は、同一または異種であるこ
とができ且つ2個の窒素原子と一緒に5〜10個の環
員、好ましくは6個の環員を有する飽和複素環式環を形
成する。
【0038】Eがアルキレン基であるならば、Eは、好
ましくは2〜6個の炭素原子を有し且つアリーレン基と
して好ましくはフェニレン基である。好ましい脂環式基
はシクロヘキシレン基であり、好ましい芳香族複素環式
物はヘテロ原子としてのNまたはSおよび5または6個
の環員を有するものである。cの値は、好ましくは1で
ある。
ましくは2〜6個の炭素原子を有し且つアリーレン基と
して好ましくはフェニレン基である。好ましい脂環式基
はシクロヘキシレン基であり、好ましい芳香族複素環式
物はヘテロ原子としてのNまたはSおよび5または6個
の環員を有するものである。cの値は、好ましくは1で
ある。
【0039】光酸化性基を含有する更に他の好適な化合
物は、式II
物は、式II
【化6】 〔式中、Q、R、R5 、R6 、R7 、mおよびnは上記
意味を有し、Qは追加的に基
意味を有し、Qは追加的に基
【化7】 (式中、E′は式III
【化8】 (式中、cは式Iと同様の意味を有する)の基である)
であることができ;a′およびb′は1〜4の整数であ
る〕の化合物である。
であることができ;a′およびb′は1〜4の整数であ
る〕の化合物である。
【0040】この式の化合物、その製法および用途は、
EP−A第316,706号明細書に詳述されている。
EP−A第316,706号明細書に詳述されている。
【0041】光酸化性基を有する更に他の好適な化合物
は、式IV
は、式IV
【化9】 〔式中、Q′は−N−、
【化10】 または
【化11】 であり、X1 ′はCi H2iまたは
【化12】 であり、D3 は炭素数4〜8の飽和炭化水素基(これは
窒素原子と一緒に5または6員環を形成)であり、Zは
水素原子または式
窒素原子と一緒に5または6員環を形成)であり、Zは
水素原子または式
【化13】 の基であり、iおよびkは1〜12の整数であり、n′
はQ′の原子価に応じて1、2または3であり、R7 、
X1 、X2 、D1 、D2 、aおよびbは式Iで与えられ
た意味を有し、同じ定義のすべての記号は互いに同一ま
たは異種であることが可能であり且つ基Q上の少なくと
も1個の置換基中のaは0である〕のアクリル酸エステ
ルおよびアルクアクリル酸エステルである。
はQ′の原子価に応じて1、2または3であり、R7 、
X1 、X2 、D1 、D2 、aおよびbは式Iで与えられ
た意味を有し、同じ定義のすべての記号は互いに同一ま
たは異種であることが可能であり且つ基Q上の少なくと
も1個の置換基中のaは0である〕のアクリル酸エステ
ルおよびアルクアクリル酸エステルである。
【0042】式IVの化合物のうち、尿素基に加えて少な
くとも1個のウレタン基を含有するものが、好ましい。
くとも1個のウレタン基を含有するものが、好ましい。
【0043】式IV中の記号aは、好ましくは0または1
である。iは、好ましくは2〜10の数である。
である。iは、好ましくは2〜10の数である。
【0044】式IVの重合性化合物は、式Iの化合物と類
似に生成する。式IVの化合物およびその製法は、EP−
A第355,387号明細書に詳述されている。
似に生成する。式IVの化合物およびその製法は、EP−
A第355,387号明細書に詳述されている。
【0045】光重合性フィルム中の重合性化合物の%
は、一般に不揮発性成分に対して約10〜80重量%、
好ましくは20〜60重量%である。
は、一般に不揮発性成分に対して約10〜80重量%、
好ましくは20〜60重量%である。
【0046】使用できる結合剤の例は、塩素化ポリエチ
レン、塩素化ポリプロピレン、ポリアルキル(メタ)ア
クリレート(アルキル基は、例えば、メチル、エチル、
n−ブチル、i−ブチル、n−ヘキシルまたは2−エチ
ルヘキシルである)、アルキル(メタ)アクリレートと
アクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、スチ
レン、ブタジエンなどの少なくとも1種の単量体との共
重合体、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル/アクリロニトリ
ル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン/ア
クリロニトリル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリビニル
アルコール、ポリアクリロニトリル、アクリロニトリル
/スチレン共重合体、アクリロニトリル/ブタジエン/
スチレン共重合体、ポリスチレン、ポリメチルスチレ
ン、ポリアミド(例えば、ナイロン−6)、ポリウレタ
ン、メチルセルロース、エチルセルロース、アセチルセ
ルロース、ポリビニルホルマールおよびポリビニルブチ
ラールである。
レン、塩素化ポリプロピレン、ポリアルキル(メタ)ア
クリレート(アルキル基は、例えば、メチル、エチル、
n−ブチル、i−ブチル、n−ヘキシルまたは2−エチ
ルヘキシルである)、アルキル(メタ)アクリレートと
アクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、スチ
レン、ブタジエンなどの少なくとも1種の単量体との共
重合体、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル/アクリロニトリ
ル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン/ア
クリロニトリル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリビニル
アルコール、ポリアクリロニトリル、アクリロニトリル
/スチレン共重合体、アクリロニトリル/ブタジエン/
スチレン共重合体、ポリスチレン、ポリメチルスチレ
ン、ポリアミド(例えば、ナイロン−6)、ポリウレタ
ン、メチルセルロース、エチルセルロース、アセチルセ
ルロース、ポリビニルホルマールおよびポリビニルブチ
ラールである。
【0047】水不溶性であり、有機溶媒に可溶性であり
且つ水性アルカリ性溶液に可溶性または少なくとも膨潤
性である結合剤が、特に好適である。
且つ水性アルカリ性溶液に可溶性または少なくとも膨潤
性である結合剤が、特に好適である。
【0048】カルボキシル含有結合剤、例えば、(メ
タ)アクリル酸および/またはそれらの不飽和同族体、
例えば、クロトン酸からなる共重合体、無水マレイン酸
またはそのモノエステルの共重合体、ヒドロキシル含有
重合体とジカルボン酸無水物との反応生成物およびそれ
らの混合物が、特に挙げられるべきである。
タ)アクリル酸および/またはそれらの不飽和同族体、
例えば、クロトン酸からなる共重合体、無水マレイン酸
またはそのモノエステルの共重合体、ヒドロキシル含有
重合体とジカルボン酸無水物との反応生成物およびそれ
らの混合物が、特に挙げられるべきである。
【0049】基を担持する重合体と酸性水素との反応生
成物(これは活性化イソシアネートと完全または部分的
に反応されている)、例えば、ヒドロキシル含有重合体
と脂肪族または芳香族スルホニルイソシアネートまたは
ホスフィニルイソシアネートとの反応生成物も、好適で
ある。
成物(これは活性化イソシアネートと完全または部分的
に反応されている)、例えば、ヒドロキシル含有重合体
と脂肪族または芳香族スルホニルイソシアネートまたは
ホスフィニルイソシアネートとの反応生成物も、好適で
ある。
【0050】下記のものも好適である:ヒドロキシル含
有重合体、例えば、ヒドロキシルアルキル(メタ)アク
リレート共重合体、アリルアルコール共重合体、ビニル
アルコール共重合体、ポリウレタンまたはポリエステル
およびエポキシ樹脂(十分な数の遊離OH基を担持する
か水性アルカリ性溶液に可溶性であるような方式で変性
される限り)、または芳香族的に結合されたヒドロキシ
ル基を担持するこの種の重合体、例えば、縮合性カルボ
ニル化合物、特にホルムアルデヒド、アセトアルデヒド
またはアセトンとフェノール類との縮合物またはヒドロ
キシスチレン共重合体。最後に、(メタ)アクリルアミ
ドとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体も、使
用できる。
有重合体、例えば、ヒドロキシルアルキル(メタ)アク
リレート共重合体、アリルアルコール共重合体、ビニル
アルコール共重合体、ポリウレタンまたはポリエステル
およびエポキシ樹脂(十分な数の遊離OH基を担持する
か水性アルカリ性溶液に可溶性であるような方式で変性
される限り)、または芳香族的に結合されたヒドロキシ
ル基を担持するこの種の重合体、例えば、縮合性カルボ
ニル化合物、特にホルムアルデヒド、アセトアルデヒド
またはアセトンとフェノール類との縮合物またはヒドロ
キシスチレン共重合体。最後に、(メタ)アクリルアミ
ドとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体も、使
用できる。
【0051】上記重合体は、分子量500〜200,0
00またはそれ以上、好ましくは1,000〜100,
000および酸価10〜250、好ましくは20〜20
0またはヒドロキシル価50〜750、好ましくは10
0〜500を有するならば、特に好適である。感光性層
中の結合剤の量は、一般に20〜90重量%、好ましく
は40〜80重量%である。
00またはそれ以上、好ましくは1,000〜100,
000および酸価10〜250、好ましくは20〜20
0またはヒドロキシル価50〜750、好ましくは10
0〜500を有するならば、特に好適である。感光性層
中の結合剤の量は、一般に20〜90重量%、好ましく
は40〜80重量%である。
【0052】所期用途および所望の性質に応じて、広範
囲の物質が光重合性フィルムに添加剤として存在でき
る。例は、単量体の熱重合を防止するための抑制剤、水
素供与体、染料、着色顔料および未着色顔料、発色剤、
指示薬、可塑剤および連鎖移動剤である。これらの成分
は、有利には開始プロセスに重要な化学線領域内での最
低の可能な吸収を有するような方式で選ばれる。
囲の物質が光重合性フィルムに添加剤として存在でき
る。例は、単量体の熱重合を防止するための抑制剤、水
素供与体、染料、着色顔料および未着色顔料、発色剤、
指示薬、可塑剤および連鎖移動剤である。これらの成分
は、有利には開始プロセスに重要な化学線領域内での最
低の可能な吸収を有するような方式で選ばれる。
【0053】この説明の文脈で、化学線は、エネルギー
が少なくとも可視光線のものに対応するいかなる放射線
も意味すると理解される。特に、可視光線および長波紫
外線、また短波紫外線、レーザー放射線、電子およびX
線は、好適である。光感度は、約300nm〜700nmで
ある。
が少なくとも可視光線のものに対応するいかなる放射線
も意味すると理解される。特に、可視光線および長波紫
外線、また短波紫外線、レーザー放射線、電子およびX
線は、好適である。光感度は、約300nm〜700nmで
ある。
【0054】本発明に係る方法に可能な応用は、凸版印
刷、オフセット印刷、凹版印刷、スクリーン印刷、レリ
ーフコピー用印刷版の光機械的製版、例えば、点字にお
けるテキスト、個々のコピー、染料画像、顔料画像など
の製造である。更に、プロセスは、エッチレジストの光
機械的製造、例えば、名札、複写回路の製作および化学
ミリングのために使用できる。平版印刷版の製版および
フォトレジスト技術は、特定の重要性を有する。
刷、オフセット印刷、凹版印刷、スクリーン印刷、レリ
ーフコピー用印刷版の光機械的製版、例えば、点字にお
けるテキスト、個々のコピー、染料画像、顔料画像など
の製造である。更に、プロセスは、エッチレジストの光
機械的製造、例えば、名札、複写回路の製作および化学
ミリングのために使用できる。平版印刷版の製版および
フォトレジスト技術は、特定の重要性を有する。
【0055】好適な支持体の例は、アルミニウム、鋼、
亜鉛、銅およびプラスチックシート、例えば、ポリエチ
レンテレフタレートまたは酢酸セルロース製のもの、お
よびスクリーン印刷支持体、例えば、パーロン(Perlo
n)ガーゼである。多くの場合に、支持体の表面の平版
特性を改善するか複写層の化学線領域内の支持体の反射
を減少するために(ハレーション防止)層の接着を適当
に調整する目的で、支持体の表面を前処理(化学的にま
たは機械的に)に付すことが有利である。
亜鉛、銅およびプラスチックシート、例えば、ポリエチ
レンテレフタレートまたは酢酸セルロース製のもの、お
よびスクリーン印刷支持体、例えば、パーロン(Perlo
n)ガーゼである。多くの場合に、支持体の表面の平版
特性を改善するか複写層の化学線領域内の支持体の反射
を減少するために(ハレーション防止)層の接着を適当
に調整する目的で、支持体の表面を前処理(化学的にま
たは機械的に)に付すことが有利である。
【0056】一般に、光重合性材料を光重合時に実質上
空気酸素の効果に対して保護することが有利である。混
合物を薄い複写層の形態で適用する場合には、低い酸素
透過性を有する好適なトップフィルムを適用することが
推奨される。このフィルムは、自立性であり且つ複写層
を現像する前に除去してもよい。この目的で、例えば、
ポリエステルフィルムが、好適である。トップフィルム
は、現像液に可溶性である材料からも作ることができ、
または現像時に少なくとも未硬化部分において除去でき
る。
空気酸素の効果に対して保護することが有利である。混
合物を薄い複写層の形態で適用する場合には、低い酸素
透過性を有する好適なトップフィルムを適用することが
推奨される。このフィルムは、自立性であり且つ複写層
を現像する前に除去してもよい。この目的で、例えば、
ポリエステルフィルムが、好適である。トップフィルム
は、現像液に可溶性である材料からも作ることができ、
または現像時に少なくとも未硬化部分において除去でき
る。
【0057】これに好適である材料の例は、ポリビニル
アルコール、ポリホスフェート、糖類などである。この
種のトップコートは、一般に、厚さ0.1〜10μm、
好ましくは1〜5μmを有する。
アルコール、ポリホスフェート、糖類などである。この
種のトップコートは、一般に、厚さ0.1〜10μm、
好ましくは1〜5μmを有する。
【0058】現像のためには、材料は、好適な現像液、
例えば、有機溶媒で処理するが、好ましくは弱アルカリ
性水溶液で処理し、そして層の未露光部は除去し、露光
部は支持体上に残る。現像液は、小さい部分(好ましく
は5重量%未満)の水混和性有機溶媒を含有できる。現
像液は、湿潤剤、染料、塩類および他の添加剤を更に含
有できる。
例えば、有機溶媒で処理するが、好ましくは弱アルカリ
性水溶液で処理し、そして層の未露光部は除去し、露光
部は支持体上に残る。現像液は、小さい部分(好ましく
は5重量%未満)の水混和性有機溶媒を含有できる。現
像液は、湿潤剤、染料、塩類および他の添加剤を更に含
有できる。
【0059】現像は、光重合性層の未露光部と一緒に全
トップコートを除去する。
トップコートを除去する。
【0060】本発明の実施例を以下に与える。そこで、
gがcm3 に関連するように、重量部(pbw)は、容量
部(pbv)に関連する。%および量は、特に断らない
限り、重量単位である。例1〜7(比較例) 酸化物層
3g/ m2 を有し且つポリビニルホスホン酸の水溶液で
前処理された電気化学的粗面化/陽極処理アルミニウム
を印刷版用支持体として使用した。支持体を下記組成の
溶液で被覆した。すべてのこれらの操作を赤色光線下で
行った。 プロピレングリコールモノメチルエーテル2
2pbw中のメチルエチルケトン中の、スチレンとメタ
クリル酸n−ヘキシルとメタクリル酸とからなり(1
0:60:30)且つ酸価190を有する三元共重合体
の22.3%濃度の溶液2.84pbw、表1の単量体
1.49pbw、エオシンアルコール可溶物(C.I.
45386)0.04pbw、2,4−ビス−トリクロ
ロメチル−6−(4−スチリルフェニル)−s−トリア
ジン0.03pbwおよびジシクロペンタジエニルビス
(ペンタフルオロフェニル)チタン0.01pbw。
gがcm3 に関連するように、重量部(pbw)は、容量
部(pbv)に関連する。%および量は、特に断らない
限り、重量単位である。例1〜7(比較例) 酸化物層
3g/ m2 を有し且つポリビニルホスホン酸の水溶液で
前処理された電気化学的粗面化/陽極処理アルミニウム
を印刷版用支持体として使用した。支持体を下記組成の
溶液で被覆した。すべてのこれらの操作を赤色光線下で
行った。 プロピレングリコールモノメチルエーテル2
2pbw中のメチルエチルケトン中の、スチレンとメタ
クリル酸n−ヘキシルとメタクリル酸とからなり(1
0:60:30)且つ酸価190を有する三元共重合体
の22.3%濃度の溶液2.84pbw、表1の単量体
1.49pbw、エオシンアルコール可溶物(C.I.
45386)0.04pbw、2,4−ビス−トリクロ
ロメチル−6−(4−スチリルフェニル)−s−トリア
ジン0.03pbwおよびジシクロペンタジエニルビス
(ペンタフルオロフェニル)チタン0.01pbw。
【0061】混合物は、乾燥重量2.4〜2.8g/ m
2 が得られるような方式でスピン被覆することによって
塗布した。次いで、プレートを100℃において空気循
環乾燥オーブン中で2分間乾燥した。次いで、プレート
をポリビニルアルコールの15%濃度の水溶液(残留ア
セチル基12%、K値4)で被覆した。乾燥後、重量
2.5〜4g/ m2 を有するトップコートが、得られ
た。得られた印刷版を距離110cmにおいて13ステッ
プ露光ウェッジ下で濃度増分0.15で2kWの金属ハラ
イドランプに露光した。可視光線における印刷版の感度
を試験するために、透過エッジ455nmを有するショッ
ト製の3mm厚のエッジフィルターと、灰色フィルターと
して均一な暗色化(濃度1.4)および有効なスペクト
ル範囲にわたって均一な吸収を有する銀フィルムとを露
光ウェッジ上に装着した。プレートを10秒間露光し、
次いで、100℃で1分間加熱した。次いで、下記組成
の現像液を使用して、それらを現像した。
2 が得られるような方式でスピン被覆することによって
塗布した。次いで、プレートを100℃において空気循
環乾燥オーブン中で2分間乾燥した。次いで、プレート
をポリビニルアルコールの15%濃度の水溶液(残留ア
セチル基12%、K値4)で被覆した。乾燥後、重量
2.5〜4g/ m2 を有するトップコートが、得られ
た。得られた印刷版を距離110cmにおいて13ステッ
プ露光ウェッジ下で濃度増分0.15で2kWの金属ハラ
イドランプに露光した。可視光線における印刷版の感度
を試験するために、透過エッジ455nmを有するショッ
ト製の3mm厚のエッジフィルターと、灰色フィルターと
して均一な暗色化(濃度1.4)および有効なスペクト
ル範囲にわたって均一な吸収を有する銀フィルムとを露
光ウェッジ上に装着した。プレートを10秒間露光し、
次いで、100℃で1分間加熱した。次いで、下記組成
の現像液を使用して、それらを現像した。
【0062】完全に脱イオンされた水4000pbw中
のメタケイ酸ナトリウム×9H2 O 120pbw、塩
化ストロンチウム2.13pbw、非イオン湿潤剤(コ
コナッツ脂肪アルコール/約8個のオキシエチレン単位
を有するポリオキシエチレンエーテル)1.2pbwお
よび消泡剤0.12pbw。
のメタケイ酸ナトリウム×9H2 O 120pbw、塩
化ストロンチウム2.13pbw、非イオン湿潤剤(コ
コナッツ脂肪アルコール/約8個のオキシエチレン単位
を有するポリオキシエチレンエーテル)1.2pbwお
よび消泡剤0.12pbw。
【0063】プレートを脂肪印刷インキで被覆した。表
2に与える完全に架橋されたウェッジステップが、得ら
れた。
2に与える完全に架橋されたウェッジステップが、得ら
れた。
【0064】表1例 No. 単量体1 トリエタノール
アミン1モルとメタクリル酸イソシアナトエチル3モル
との反応生成物2 N,N′−ビス(β−ヒドロキシ
エチル)ピペリジン1モルとメタクリル酸イソシアナト
エチル2モルとの反応生成物3 トリエタノールアミ
ン1モルとメタクリル酸グリシジル3モルとの反応生成
物4 2,2,4−トリメチルヘキサメチレンジイソ
シアネート1モルとメタクリル酸2−ヒドロキシエチル
2モルとの反応生成物5 ヘキサメチレンジイソシア
ネート1モルとメタクリル酸2−ヒドロキシエチル1モ
ルとトリエタノールアミン0.33モルとの反応生成物
6 トリメチロールエタントリアクリレート7 ヘ
キサメチレンジイソシアネート1モルとメタクリル酸2
−ヒドロキシエチル0.5モルと2−ピペリジノエタノ
ール0.25モルとの反応生成物例8〜14 例1〜7
に記載の印刷版をそこに記載のように製版し、造像的露
光に付した。次いで、それらを約400〜700nmの光
を放出する蛍光灯からの拡散光(500nm未満のスペク
トル部分をフィルターによって吸収)で全面積にわたっ
て15ルクスの光強度で20秒間再露光した後、例1〜
7と同様に加熱し、現像した。得られたウェッジステッ
プの数を表2に示す。
アミン1モルとメタクリル酸イソシアナトエチル3モル
との反応生成物2 N,N′−ビス(β−ヒドロキシ
エチル)ピペリジン1モルとメタクリル酸イソシアナト
エチル2モルとの反応生成物3 トリエタノールアミ
ン1モルとメタクリル酸グリシジル3モルとの反応生成
物4 2,2,4−トリメチルヘキサメチレンジイソ
シアネート1モルとメタクリル酸2−ヒドロキシエチル
2モルとの反応生成物5 ヘキサメチレンジイソシア
ネート1モルとメタクリル酸2−ヒドロキシエチル1モ
ルとトリエタノールアミン0.33モルとの反応生成物
6 トリメチロールエタントリアクリレート7 ヘ
キサメチレンジイソシアネート1モルとメタクリル酸2
−ヒドロキシエチル0.5モルと2−ピペリジノエタノ
ール0.25モルとの反応生成物例8〜14 例1〜7
に記載の印刷版をそこに記載のように製版し、造像的露
光に付した。次いで、それらを約400〜700nmの光
を放出する蛍光灯からの拡散光(500nm未満のスペク
トル部分をフィルターによって吸収)で全面積にわたっ
て15ルクスの光強度で20秒間再露光した後、例1〜
7と同様に加熱し、現像した。得られたウェッジステッ
プの数を表2に示す。
【0065】表2 例 N0. 灰色フィル
ター ウェッジステップ1 あり
6〜72 あり
73 あり 5〜9 4
あり 4〜5 5
あり 5〜76 あり
−★6 なし 1〜2 7
あり 8〜9 8
あり 9〜119 あ
り 1010あり 8
〜1211 あり 7〜8
12 あり 8〜1
013 あり 2〜313
なし 3〜514あり
11〜12★画像なし例15 被覆重量2.5
g/ m2 が得られるような方式で、下記組成の溶液を例
1〜7に述べた支持体上にそこと同じ条件下でスピン被
覆した。
ター ウェッジステップ1 あり
6〜72 あり
73 あり 5〜9 4
あり 4〜5 5
あり 5〜76 あり
−★6 なし 1〜2 7
あり 8〜9 8
あり 9〜119 あ
り 1010あり 8
〜1211 あり 7〜8
12 あり 8〜1
013 あり 2〜313
なし 3〜514あり
11〜12★画像なし例15 被覆重量2.5
g/ m2 が得られるような方式で、下記組成の溶液を例
1〜7に述べた支持体上にそこと同じ条件下でスピン被
覆した。
【0066】プロピレングリコールモノメチルエーテル
22pbw中の例1に述べた三元共重合体溶液2.84
pbw、表7の単量体1.49pbw、エオシンアルコ
ール可溶物(C.I.45386)0.04pbw、
2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−スチリ
ルフェニル)−s−トリアジン0.03pbwおよびジ
シクロペンタジエニルビス(2,4,6−トリフルオロ
フェニル)チタン0.01pbw。
22pbw中の例1に述べた三元共重合体溶液2.84
pbw、表7の単量体1.49pbw、エオシンアルコ
ール可溶物(C.I.45386)0.04pbw、
2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−スチリ
ルフェニル)−s−トリアジン0.03pbwおよびジ
シクロペンタジエニルビス(2,4,6−トリフルオロ
フェニル)チタン0.01pbw。
【0067】ポリビニルアルコールからなるトップコー
トを適用した後、プレートを例1〜7と同じ方式で5秒
間露光し、次いで、現像した。可視光線における印刷版
の感度を試験するために、透過エッジ455nmを有する
ショット製の3mm厚のエッジフィルターと、灰色フィル
ターとして均一な暗色化(濃度1.1)を有する銀フィ
ルムとを露光ウェッジ上に装着した。8〜9の完全架橋
ウェッジステップが、得られた。更に他の実験におい
て、印刷版を例8〜14に述べるように拡散再露光に露
光した。11〜12の完全架橋ウェッジステップが、得
られた。
トを適用した後、プレートを例1〜7と同じ方式で5秒
間露光し、次いで、現像した。可視光線における印刷版
の感度を試験するために、透過エッジ455nmを有する
ショット製の3mm厚のエッジフィルターと、灰色フィル
ターとして均一な暗色化(濃度1.1)を有する銀フィ
ルムとを露光ウェッジ上に装着した。8〜9の完全架橋
ウェッジステップが、得られた。更に他の実験におい
て、印刷版を例8〜14に述べるように拡散再露光に露
光した。11〜12の完全架橋ウェッジステップが、得
られた。
【0068】両方の場合とも、印刷版は、スカムを含ま
ずに現像され且つ150,000よりも多い優秀な印刷
物を与えた。例16 例7と同様に製版した光重合性印
刷版にアルゴンイオンレーザー(λ=488nm)によっ
て市販のフィルム露光装置で182μJ/cm2 で照射
し、例7と同様に再露光なしに加工した。150,00
0よりも多い優秀な印刷物が、得られた。同じ印刷版を
例14に記載のようにレーザー照射後に375ルクス秒
で再露光した。これらの条件下では、印刷版を完全に硬
化するのに32μJ/cm2の照射エネルギーしか必要と
されなかったことが見出された。再度、150,000
よりも多い印刷物が、得られた。
ずに現像され且つ150,000よりも多い優秀な印刷
物を与えた。例16 例7と同様に製版した光重合性印
刷版にアルゴンイオンレーザー(λ=488nm)によっ
て市販のフィルム露光装置で182μJ/cm2 で照射
し、例7と同様に再露光なしに加工した。150,00
0よりも多い優秀な印刷物が、得られた。同じ印刷版を
例14に記載のようにレーザー照射後に375ルクス秒
で再露光した。これらの条件下では、印刷版を完全に硬
化するのに32μJ/cm2の照射エネルギーしか必要と
されなかったことが見出された。再度、150,000
よりも多い印刷物が、得られた。
【0069】更に他の実験においては、500ルクス秒
を使用した再露光を行ったところ、レーザー画像形成に
18μJ/cm2 しか必要としなかった。例17 乾燥後
に被覆重量15g/ m2 が得られるような方式で、例7
からのコーティング溶液を二軸延伸された35μm厚の
ポリエチレンテレフタレートフィルム上にスピン被覆し
た。次いで、フィルムを100℃において空気循環乾燥
オーブン中で3分間乾燥した。次いで、フィルムを11
5℃および1.5m/分で35μmの銅層が被覆された
絶縁プレートからなる清浄化支持体上に積層した。
を使用した再露光を行ったところ、レーザー画像形成に
18μJ/cm2 しか必要としなかった。例17 乾燥後
に被覆重量15g/ m2 が得られるような方式で、例7
からのコーティング溶液を二軸延伸された35μm厚の
ポリエチレンテレフタレートフィルム上にスピン被覆し
た。次いで、フィルムを100℃において空気循環乾燥
オーブン中で3分間乾燥した。次いで、フィルムを11
5℃および1.5m/分で35μmの銅層が被覆された
絶縁プレートからなる清浄化支持体上に積層した。
【0070】原稿としてステップウェッジを使用して、
フィルムを例1に記載のようにエッジフィルター455
nm下で2kWの金属ハライドランプ(距離140cm)に3
0秒間露光し、再露光した後、例1〜7に記載のように
加熱し、フィルム除去後、吹付けプロセッサー中で0.
8%濃度の炭酸ナトリウム溶液で20秒間現像した。8
個の完全架橋ウェッジステップが、得られた。架橋フィ
ルムは、プリント回路テクノロジーで普通である塩化鉄
(III)溶液に抵抗性であった。耐エッチング性は、良好
であった。例18(比較例) 下記被覆溶液を例1〜7
に記載の支持体に塗布し、乾燥した。
フィルムを例1に記載のようにエッジフィルター455
nm下で2kWの金属ハライドランプ(距離140cm)に3
0秒間露光し、再露光した後、例1〜7に記載のように
加熱し、フィルム除去後、吹付けプロセッサー中で0.
8%濃度の炭酸ナトリウム溶液で20秒間現像した。8
個の完全架橋ウェッジステップが、得られた。架橋フィ
ルムは、プリント回路テクノロジーで普通である塩化鉄
(III)溶液に抵抗性であった。耐エッチング性は、良好
であった。例18(比較例) 下記被覆溶液を例1〜7
に記載の支持体に塗布し、乾燥した。
【0071】2−メトキシエタノール13pbw中の酸
価115を有するメタクリル酸/メタクリル酸メチル混
合重合体1.4pbw、トリメチロールエタントリアク
リレート1.4pbw、ジヒドロキシエトキシヘキサン
0.2pbwおよび9−フェニルアクリジン0.05p
bw。
価115を有するメタクリル酸/メタクリル酸メチル混
合重合体1.4pbw、トリメチロールエタントリアク
リレート1.4pbw、ジヒドロキシエトキシヘキサン
0.2pbwおよび9−フェニルアクリジン0.05p
bw。
【0072】プレートをステップウェッジ下で5,00
0Wの金属ハライドランプに35秒間露光した後、例1
と同様に加熱した。6〜7の完全架橋ウェッジステップ
が、得られた。更に他の実験において、同じプレートを
15秒だけ露光し、画像露光の後に300ルクス秒で拡
散露光に付し、次いで、加熱した。画像は、得られなか
った。35秒の未変化画像露光後の300ルクス秒での
拡散露光は、同様に6〜7の完全架橋ウェッジステップ
を与えた。
0Wの金属ハライドランプに35秒間露光した後、例1
と同様に加熱した。6〜7の完全架橋ウェッジステップ
が、得られた。更に他の実験において、同じプレートを
15秒だけ露光し、画像露光の後に300ルクス秒で拡
散露光に付し、次いで、加熱した。画像は、得られなか
った。35秒の未変化画像露光後の300ルクス秒での
拡散露光は、同様に6〜7の完全架橋ウェッジステップ
を与えた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ペーター、ヨット、マッティーセン ドイツ連邦共和国タウヌスシュタイン- ベーエン、ドレスナー、シュトラーセ、 8 (56)参考文献 特開 昭63−269153(JP,A) 特開 平3−163454(JP,A) 特開 平3−179352(JP,A) 米国特許3784378(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G03F 7/38 G03F 7/027 G03F 7/029
Claims (13)
- 【請求項1】光重合性記録材料の造像的照射による印刷
版またはフォトレジストの製法において、前記光重合性
記録材料の光重合性層は重合体結合剤、遊離基によって
重合でき且つ少なくとも1個の末端エチレン性二重結合
を含有するエチレン性不飽和化合物および照射時に遊離
基を形成する重合開始剤または開始剤の組み合わせを含
有し、そして材料を造像的照射後に短時間加熱し、次い
で、現像する方法であって、前記遊離基形成重合開始剤
としてメタロセン化合物を使用し、前記材料を造像的露
光前、造像的露光と同時または造像的露光後に原稿なし
で少なくとも400nmの波長を有する可視光線に短時間
露光することを特徴とする、光重合性記録材料の造像的
照射による印刷版またはフォトレジストの製法。 - 【請求項2】材料を原稿の不在下で露光なしで且つ追加
の加熱なしで層の完全な硬化に必要なエネルギーの5〜
50%に対応する照射エネルギーで造像的露光に付す、
請求項1に記載の方法。 - 【請求項3】レーザー光線を使用して造像的照射を行
う、請求項1に記載の方法。 - 【請求項4】化学線を使用して、造像的照射を投影露光
によって行う、請求項1に記載の方法。 - 【請求項5】造像的に露光された材料を温度60〜14
0℃に追加的に加熱する、請求項1に記載の方法。 - 【請求項6】材料を10〜120秒間追加的に加熱す
る、請求項1または5に記載の方法。 - 【請求項7】追加的加熱および再露光は、画線部を完全
に硬化し且つ非画線部が現像液に完全に可溶性のままで
あるような強度を有する、請求項1または2に記載の方
法。 - 【請求項8】光重合性記録材料を先ず造像的照射に付
し、次いで、原稿なしに露光し、次いで、加熱する、請
求項1に記載の方法。 - 【請求項9】光還元性染料を補助開始剤として光重合性
層に加える、請求項1に記載の方法。 - 【請求項10】遊離基によって重合できる化合物が、少
なくとも1個の光酸化性基を含有する、請求項1または
9に記載の方法。 - 【請求項11】放射線によって開裂できるトリハロメチ
ル化合物を光重合性層に追加的に配合する、請求項9に
記載の方法。 - 【請求項12】メタロセンが、チタノセンまたはジルコ
ノセンである、請求項11に記載の方法。 - 【請求項13】光還元性染料が、キサンテン、トリアジ
ン、ピロニン、ポルフィリンまたはアクリジン染料であ
る、請求項9に記載の方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4013358.3 | 1990-04-26 | ||
DE4013358A DE4013358A1 (de) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | Verfahren zur herstellung von druckformen oder photoresists durch bildmaessiges bestrahlen eines photopolymerisierbaren aufzeichnungsmaterials |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04261544A JPH04261544A (ja) | 1992-09-17 |
JP3118520B2 true JP3118520B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=6405164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03122425A Expired - Fee Related JP3118520B2 (ja) | 1990-04-26 | 1991-04-25 | 光重合性記録材料の造像的照射による印刷板またはフォトレジストの製法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0453953B1 (ja) |
JP (1) | JP3118520B2 (ja) |
KR (1) | KR0180737B1 (ja) |
BR (1) | BR9101676A (ja) |
CA (1) | CA2041191A1 (ja) |
DE (2) | DE4013358A1 (ja) |
ES (1) | ES2106039T3 (ja) |
FI (1) | FI103696B1 (ja) |
IE (1) | IE911389A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2273101B (en) * | 1992-11-10 | 1997-03-05 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Photosensitive resin composition |
IL106619A0 (en) * | 1993-08-08 | 1993-12-08 | Scitex Corp Ltd | Apparatus and method for exposing a photosensitive substrate |
JPH07134409A (ja) * | 1993-11-09 | 1995-05-23 | Nippon Kayaku Co Ltd | 光造形用樹脂組成物 |
DE4418645C1 (de) | 1994-05-27 | 1995-12-14 | Sun Chemical Corp | Lichtempfindliches Gemisch und daraus herstellbares Aufzeichnungsmaterial |
JPH08240908A (ja) * | 1994-12-29 | 1996-09-17 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 感光性樹脂組成物、それを用いた感光性平版印刷版、および平版印刷用版材の製造方法 |
US7074546B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-07-11 | Konica Corporation | Light sensitive planographic printing plate precursor and its processing method |
DE10255667B4 (de) | 2002-11-28 | 2006-05-11 | Kodak Polychrome Graphics Gmbh | Strahlungsempfindliche Elemente mit ausgezeichneter Lagerbeständigkeit |
WO2008090640A1 (ja) | 2007-01-23 | 2008-07-31 | Fujifilm Corporation | オキシム化合物、感光性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示素子 |
EP2402315A1 (en) | 2007-05-11 | 2012-01-04 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
JP5535064B2 (ja) | 2007-05-11 | 2014-07-02 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | オキシムエステル光重合開始剤 |
US9051397B2 (en) | 2010-10-05 | 2015-06-09 | Basf Se | Oxime ester |
CN103153952B (zh) | 2010-10-05 | 2016-07-13 | 巴斯夫欧洲公司 | 苯并咔唑化合物的肟酯衍生物及其在可光聚合组合物中作为光敏引发剂的用途 |
DE102011006189A1 (de) * | 2011-03-28 | 2012-06-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Belichten einer lichtempfindlichen Schicht |
WO2013083505A1 (en) | 2011-12-07 | 2013-06-13 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
EP2963014B1 (en) | 2012-05-09 | 2017-09-13 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
EP2909165B1 (en) | 2012-10-19 | 2018-05-30 | IGM Group B.V. | Hybrid photoinitiators |
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